JP2000162032A - 地震検出装置 - Google Patents

地震検出装置

Info

Publication number
JP2000162032A
JP2000162032A JP10342130A JP34213098A JP2000162032A JP 2000162032 A JP2000162032 A JP 2000162032A JP 10342130 A JP10342130 A JP 10342130A JP 34213098 A JP34213098 A JP 34213098A JP 2000162032 A JP2000162032 A JP 2000162032A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
acceleration
time
acceleration sensor
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10342130A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Saito
博幸 斉藤
Tadashi Yanai
忠司 谷内
Tsutomu Kairiku
力 海陸
Satoshi Takagi
聡 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SENSOR GIJUTSU KENKYUSHO KK
Osaka Gas Co Ltd
Original Assignee
SENSOR GIJUTSU KENKYUSHO KK
Osaka Gas Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SENSOR GIJUTSU KENKYUSHO KK, Osaka Gas Co Ltd filed Critical SENSOR GIJUTSU KENKYUSHO KK
Priority to JP10342130A priority Critical patent/JP2000162032A/ja
Publication of JP2000162032A publication Critical patent/JP2000162032A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 予め定める震度、たとえば震度5である地震
を検出する。 【解決手段】 ガスメータに内蔵された加速度センサS
1〜S3によって検出される加速度が、たとえば80ga
lである第1の値L1以上になったとき、衝撃力の継続
時間を超える第1の時間W1、たとえば0.5secを計
測し、その後、第2の時間W2、たとえば1.0secを
タイマによって計測する。第2の時間W2内で、検出さ
れる加速度が、第2の値L2以上、たとえば100gal
以上である振動時間W2aを計測し、比η(=W2a/
W2)が、予め定める比η1、たとえば25%以上であ
るとき、エネルギ密度が震度5に対応して高く、したが
って地震が発生したものと判別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、地震を検出する地
震検出装置に関し、また地震以外の振動を検出する振動
検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、都市ガスのガスメータ内に
は、地震が震度5以上で発生したとき、ガスの供給を遮
断する遮断弁を設けることが規定されている。この震度
5の地震では、最大加速度が、地震の種類に依存して異
なり、たとえば80〜250galである。典型的な先行
技術では、地震の発生していない状態では、固定位置に
設けられた部材の凹所に、球体が嵌り込んでおり、地震
が発生して前記部材が振動すると、球体が凹所から外れ
る。これによってスイッチング素子のスイッチング状態
がたとえばオフからオンに変化し、地震が発生したこと
が検出される。
【0003】この先行技術では、各地震の種類に依存し
て、各地震の周波数が異なることによって、加速度がた
とえば200galを中心にして、その検出される加速度
に、ばらつきを生じる。
【0004】しかも、この先行技術によって加速度が正
確に検出されたとしても、前述の地震の程度である震度
5を正確に検出することができない。なぜなら、地震に
よるガス配管および家屋の損傷などの被害の程度(震
度)は、地震波のエネルギ密度にほぼ正確に対応するか
らであり、加速度に正確に対応してはいないからであ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、地震
またはその他の振動の程度を正確に検出することができ
るようにした地震検出装置および震度検出装置を提供す
ることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、振動の加速度
を検出する加速度センサと、加速度センサの出力に応答
し、加速度センサによって検出される加速度が、予め定
める第1の値L1以上になったことをレベル弁別し、ま
たその予め定める第2の値L2以上になったことをレベ
ル弁別する振動時間計測用レベル弁別手段と、振動時間
計測用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度センサに
よって検出される加速度が、前記第1の値L1以上にな
った時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力の継
続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測し、さ
らに第1の時間W1に後続する予め定める第2の時間W
2を計測するタイマと、タイマと振動時間計測用レベル
弁別手段との出力に応答し、加速度センサによって検出
される加速度が、第2の時間W2内で、第2の値L2以
上である振動時間W2aを計測する振動時間計測手段
と、振動時間計測手段の出力に応答し、計測された振動
時間W2aの第2の時間W2内における比η(=W2a
/W2)が、予め定める比η1以上であることを判別す
る時間判別手段と、時間判別手段の出力に応答し、地震
が発生したことを判別する地震判別手段とを含むことを
特徴とする地震検出装置である。
【0007】本発明に従えば、加速度センサに振動が作
用し、検出される加速度が第1の値L1以上になると、
タイマは、第1の時間W1を計測する。第1の値L1
は、たとえば80galであってもよい。第1の時間W1
は、たとえば0.2〜1.0secの範囲内で定められ、
たとえば0.5secであってもよい。第1の時間W1
は、衝撃力の継続時間を超える時間であり、この衝撃力
というのは、たとえば加速度センサが内蔵されたガスメ
ータに、人および物体、たとえばボールまたは掃除用箒
などが衝突したときに作用する。
【0008】振動時間計測手段は、この第1の時間W1
を経過した後の第2の時間W2において、検出される加
速度が、第2の値L2以上である振動時間W2aを計測
する。第2の値L2は、たとえば70〜100galの範
囲内で定められ、たとえば100galであってもよく、
または前述の第1の値L1と等しい値であってもよく、
この第2の値L2は、第1の値L1を越える値であって
もよく、または第1の値L1未満の値であってもよい。
第2の時間W2は、たとえば0.5〜3.0secの値の
範囲に選ばれ、特に1.0secであってもよい。時間判
別手段は、時間の比ηを演算し、こうして得られた比η
が、予め定める比η1、たとえば25%以上であること
を判別し、これによって地震判別手段は、地震の発生し
たことを判別する。こうして第2の時間W2内で検出さ
れる加速度が第2の値L2以上である振動時間W2a
が、比較的長く継続することによって、振動のエネルギ
密度が大きいものと判断することができ、したがって地
震の程度、たとえば震度を、前記予め定める比η1に対
応して判別することができるようになる。
【0009】タイマによって前記第2の時間W2が設定
され、この第2の時間W2内での振動時間W2aが加算
されるので、第2の時間W2を超えて長時間にわたって
振動時間W2aが加算されて計測されることはない。し
たがって振動時間計測手段および本件地震検出装置の消
費電力を低減することができる。特にこのような地震検
出装置は、たとえば都市ガスの極めて多数のガスメータ
毎に設けられ、電池によって駆動され、したがって消費
電力が小さく、メンテナンスが容易であることが望まれ
る。本発明はこのような用途に好適して実施することが
できる。
【0010】また第2の時間W2内で、振動時間W2a
における比ηが、前述のように予め定める比η1以上に
なると、直ちに地震の発生したことが判別され、第2の
時間W2経過前であっても、地震の発生が判別される。
したがって地震の発生を素早く判別することができると
ともに、このような構成によってもまた、消費電力を低
減することができる。
【0011】また本発明は、加速度センサとタイマとの
出力に応答し、第1および第2の時間W1,W2内に、
加速度センサによって検出される加速度が、第1および
第2の値L1,L2を超える予め定める第3の値L3以
上になったことをレベル弁別する振動検出用レベル弁別
手段をさらに含み、地震判別手段は、時間判別手段と振
動検出用レベル弁別手段との出力に応答し、前記計測さ
れた振動時間の比ηが前記予め定める比η1以上であっ
て、かつ、前記検出される加速度が第3の値L3以上に
なったとき、地震が発生したことを判別することを特徴
とする。
【0012】本発明に従えば、タイマによって計測され
る第1および第2の時間W1,W2内(=W1+W2)
に、検出される加速度が比較的大きな第3の値L3以上
になったとき、このことが振動検出用レベル弁別手段に
よって検出される。この第3の値L3は、第1の値L1
を超える値であり、しかも第2の値L2を超える値であ
る(L3>L1およびL3>L2)。第3の値L3は、
たとえば250galであってもよい。
【0013】地震判別手段は、検出される加速度が第2
の値L2以上となっている振動時間W2aの比ηが、予
め定める値η1以上であり、しかも、前記検出される加
速度が第1および第2の時間(W1+W2)にわたっ
て、1回でも第3の値L3以上になったとき、地震の発
生したものと判別する。これによって地震波を、そのエ
ネルギ密度にほぼ正確に対応して検出することができ
る。したがって地震によるガス配管および家屋の損傷な
どの程度に対応した予め定める震度を正確に検出するこ
とができるようになる。
【0014】また本発明は、振動の加速度を検出する加
速度センサと、加速度センサの出力に応答し、加速度セ
ンサによって検出される加速度が、予め定める第1の値
L1以上になったことをレベル弁別し、またその第1の
値L1を超える予め定める第2の値L3以上になったこ
とをレベル弁別する振動検出用レベル弁別手段と、振動
検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度センサに
よって検出される加速度が、前記第1の値L1以上にな
った時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力の継
続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測し、さ
らに第1の時間W1に後続する予め定める第2の時間W
2を計測するタイマと、振動用検出用レベル弁別手段の
出力に応答し、加速度センサによって検出される加速度
が、第2の値L3以上である回数を計数する計数手段
と、タイマと計数手段との出力に応答し、第2の時間W
2内で、計数値が予め定める複数回以上であるとき、地
震が発生したことを判別する地震判別手段とを含むこと
を特徴とする地震検出装置である。
【0015】本発明に従えば、振動検出用レベル弁別手
段によって、第2の値L3以上の加速度をレベル弁別
し、その第2の値L3以上である加速度の回数を計数手
段によって計数する。第2の値L3は、たとえば250
galであってもよい。衝撃力の継続時間を超える第1の
時間W1経過後、第2の時間W2における計数手段によ
る計数値が、2回以上であるとき、地震の発生したもの
と判別する。こうして衝撃力が作用することによる地震
の誤判別を防ぐとともに、比較的大きな第2の値L3以
上の加速度の計数値が予め定める複数回以上検出された
とき、地震の発生したものと判別する。これによって地
震波のエネルギ密度にほぼ正確に対応した地震を判別す
ることができるようになる。前記複数回は、たとえば2
回であってもよい。第1の時間W1では、前記計数値
は、零であってもよく、または1以上の値であってもよ
い。
【0016】また本発明は、振動の加速度を検出する加
速度センサと、加速度センサの出力に応答し、加速度セ
ンサによって検出される加速度が、予め定める第1の値
L1以上になったことをレベル弁別し、またその第1の
値L1を超える予め定める第2の値L3以上になったこ
とをレベル弁別する振動検出用レベル弁別手段と、振動
検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度センサに
よって検出される加速度が、前記第1の値L1以上にな
った各時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力の
継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測し、
さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の時間
W2を計測するタイマと、タイマと振動検出用レベル弁
別手段との出力に応答し、加速度センサによって検出さ
れる加速度が、第1および第2の各時間W1,W2内
で、第2の値L3以上に、それぞれなったとき、地震が
発生したことを判別する地震判別手段とを含むことを特
徴とする地震検出装置である。
【0017】本発明に従えば、衝撃力の継続時間を超え
る第1の時間W1内で、検出される加速度が第2の値L
3以上になり、しかもその第1の時間W1に後続する第
2の時間W2内で検出される加速度が第2の値L3以上
になったとき、地震判別手段は地震が発生したことを判
別する。こうして比較的大きな加速度が第1および第2
の各時間W1およびW2においてそれぞれ発生したと
き、エネルギ密度が比較的高いものと判断することがで
き、こうして地震の発生が検出される。
【0018】また本発明は、加速度センサS1〜S3
は、少なくとも水平面内の直交する2つの方向x,yの
加速度αx,αyをそれぞれ検出し、加速度センサS1
〜S3の出力に応答し、加速度αx,αyの合成値を演
算する加速度演算手段39,65〜68と、加速度セン
サと加速度演算手段との出力に応答し、検出された加速
度αx,αyおよび加速度演算手段の演算結果の各絶対
値を演算する絶対値演算手段41,69と、絶対値演算
手段の出力のうち、最大値を選択して加速度センサの出
力として導出する最大値選択手段とを含むことを特徴と
する。
【0019】本発明に従えば、水平面内の直交する2つ
の方向x,yの加速度αx,αyを少なくともそれぞれ
検出し、さらにそれらの合成値を演算し、その加速度α
x,αyおよび合成値の絶対値のうちで時間経過に伴っ
て最大値を選択して前述の加速度センサの出力として導
出する。こうして地震波のエネルギ密度に高精度に対応
して、地震の発生を判別することができるようになる。
【0020】また本発明は、振動の加速度を検出する加
速度センサと、加速度センサの出力に応答し、加速度セ
ンサによって検出される加速度が、予め定める第1の値
L1以上になったことをレベル弁別し、またその予め定
める第2の値L2以上になったことをレベル弁別する振
動時間計測用レベル弁別手段と、振動時間計測用レベル
弁別手段の出力に応答し、加速度センサによって検出さ
れる加速度が、前記第1の値L1以上になった時点か
ら、加速センサに作用する外部の衝撃力の継続時間を超
える予め定める第1の時間W1を計測し、さらに第1の
時間W1に後続する予め定める第2の時間W2を計測す
るタイマと、タイマと振動時間計測用レベル弁別手段と
の出力に応答し、加速度センサによって検出される加速
度が、第2の時間W2内で、第2の値L2以上である振
動時間W2aを計測する振動時間計測手段と、振動時間
計測手段の出力に応答し、計測された振動時間の第2の
時間W2内における比η(=W2a/W2)が予め定め
る比η1以上であることを判別する時間判別手段とを含
むことを特徴とする振動検出装置である。
【0021】また本発明は、振動の加速度を検出する加
速度センサと、加速度センサの出力に応答し、加速度セ
ンサによって検出される加速度が、予め定める第1の値
L1以上になったことをレベル弁別し、またその第1の
値L1を超える予め定める第2の値L3以上になったこ
とをレベル弁別する振動検出用レベル弁別手段と、振動
検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度センサに
よって検出される加速度が、前記第1の値L1以上にな
った時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力の継
続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測し、さ
らに第1の時間W1に後続する予め定める第2の時間W
2を計測するタイマと、振動用検出用レベル弁別手段の
出力に応答し、加速度センサによって検出される加速度
が、第2の値L3以上である回数を計数する計数手段
と、タイマと計数手段との出力に応答し、第2の時間W
2内で、計数値が予め定める値以上であることを判別す
る判別手段とを含むことを特徴とする振動検出装置であ
る。
【0022】また本発明は、振動の加速度を検出する加
速度センサと、加速度センサの出力に応答し、加速度セ
ンサによって検出される加速度が、予め定める第1の値
L1以上になったことをレベル弁別し、またその第1の
値L1を超える予め定める第2の値L3以上になったこ
とをレベル弁別する振動検出用レベル弁別手段と、振動
検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度センサに
よって検出される加速度が、前記第1の値L1以上にな
った各時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力の
継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測し、
さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の時間
W2を計測するタイマと、タイマと振動検出用レベル弁
別手段との出力に応答し、加速度センサによって検出さ
れる加速度が、第1および第2の時間W1,W2内で、
第2の値L3以上に、それぞれなったことを判別する判
別手段とを含むことを特徴とする振動検出装置である。
【0023】本発明に従えば、前述の請求項1,3,4
にそれぞれ対応し、地震以外の振動のエネルギ密度に対
応した程度を高精度で検出することができる。たとえば
水などの流体を輸送する管内で、ウォータハンマ現象が
生じたとき、そのウォータハンマ現象による振動を、本
発明の振動検出装置によって検出することができる。こ
のウォータハンマ現象が生じたとき、本件振動検出装置
の出力によって、その管が接続される開閉弁を、制御手
段によって閉じるようにしてもよく、またはその管が接
続されるボイラなどの被制御装置を、制御手段によって
運転停止するように制御してもよい。第1および第2の
時間W1,W2ならびに第1、第2および第3の値L1
〜L3は、このような地震以外の用途において、適切な
値に定めればよい。
【0024】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態の
全体の電気的構成を示すブロック図である。感震器10
は、水平面内における相互に直交するx,yの各軸方向
の加速度αx,αyをそれぞれ検出する加速度センサS
1,S2を含む。これらの加速度センサS1,S2の出
力は、加速度αx,αyに対応したレベルを有し、加速
度の方向に対応した極性を有し、バッファ35,36を
介して絶対値回路37,38に与えられてそれらの加速
度αx,αyの絶対値│αx│および│αy│を演算す
る。さらに演算回路39は、絶対値回路37,38の出
力に応答し、その加算値(=│αx│+│αy│)を求
め、その加算値を約1/√2倍し、こうしてベクトル合
成演算によって合成された加速度成分α3を求める。前
述の1/√2は、ほぼ0.75(=3/4)であり、し
たがって演算回路39では、演算動作の簡略化を図るた
めに、これらの絶対値回路37,38の出力の加算値
(=│αx│+│αy│)を0.75倍して演算する。
【0025】これらの各回路37,38,39の出力
は、最大値選択回路41に与えられる。最大値選択回路
41は、各回路37,38,39の各出力のうち、時間
経過に伴って、最大値である出力を選択してライン42
に導出する。
【0026】ライン42に導出された最大値選択回路4
1の信号cpは、3つのレベル弁別回路43〜45の一
方の入力にそれぞれ与えられる。これらのレベル弁別回
路43〜45の他方の入力には、弁別レベル設定回路7
1,72,73から、第1、第2および第3の値L1,
L2,L3を表す信号がそれぞれ与えられる。第2の値
L2は、たとえば70〜100galであっもよく、たと
えば100galであってもよく、前述の第1の値L1と
同一の値であってもよい。第3の値L3は、たとえば2
50galであり、第1の値L1および第2の値L2を超
える値である(L3>L1、およびL3>L2)。
【0027】第1および第2レベル弁別回路43,44
の出力は、ライン46,47を介してANDゲート4
8,49にそれぞれ与えられる。
【0028】タイマ51からライン52に導出される信
号は、反転回路53を介してANDゲート48に入力さ
れるとともに、ライン52からそのままANDゲート4
9に与えられる。ANDゲート49にはまた、パルス発
生回路54からのパルスがライン55を介して与えられ
る。
【0029】ANDゲート48,49の出力およびレベ
ル弁別回路45の出力は、マイクロコンピュータなどに
よって実現される処理回路56にそれぞれ入力される。
処理回路56は、地震が発生したものと判断したとき、
駆動回路57によって都市ガスの遮断弁58を閉じる。
こうして地震の震度が予め定める値、たとえば震度5以
上であるとき、遮断弁58が閉じられ、安全が確保され
る。本発明の図1に示される地震検出装置は、都市ガス
のガスメータに内蔵され、電池によって駆動される。
【0030】図2は、図1に示される地震検出装置の動
作を説明するための波形図である。地震によって感震器
10の加速度センサS1,S2から地震の振動の加速度
に対応した信号が導出される。たとえば加速度センサS
1からは、図2(1)に示される加速度に対応したレベ
ルを有する信号が導出される。加速度センサS1,S2
の各出力は、回路37〜39に与えられて演算され、最
大値選択回路41からは、ライン42に、図2(2)に
示される信号が導出される。このライン42に導出され
る信号は、レベル弁別回路43〜45によってレベル弁
別される。
【0031】図3は、処理回路56の動作を説明するた
めのフローチャートである。ステップa1において本件
地震検出装置の電源が投入されることによって、次のス
テップa2では初期化動作が行われる。ステップa3で
は、ライン42に導出される最大値選択回路41からの
信号cpのレベルが、レベル弁別回路43によって予め
定める第1の値L1以上であるかどうかが判断される。
以下の説明では、レベルを信号と同一参照符で表すこと
がある。信号cpが、第1の値L1以上であるとき、ス
テップa4では、処理回路56はタイマ51をスタート
し、これによって第1の時間W1を計測する。第1の時
間W1は、0.2〜1.0secであり、たとえば0.5s
ecであってもよい。
【0032】信号cpが、第1の値L1以上になったと
き、図2(3)に示されるように、レベル弁別手段43
からライン46には、図2(3)に示される信号が導出
される。前述のタイマ51はステップa4において図2
(3)の時刻t1で第1の時間W1の計測を図2(6)
のように開始する。
【0033】ステップa5では、この第1の時間W1に
おいてレベル弁別回路45によって信号cpが第3の値
L3以上であるかどうかが判断される。信号cpが第3
の値L3以上であるとき、ステップa6において、チェ
ックフラグF31をオンにする。
【0034】ステップa5において、レベル弁別回路4
5で検出される信号cpが第3の値L3以上であると
き、レベル弁別回路45からは図2(4)に示される波
形を有する信号が導出される。
【0035】ステップa7では、第1の時間W1が経過
していないとき、ステップa5に戻る。
【0036】第1の時間W1が経過した後、ステップa
8ではタイマ51は、第2の時間W2を計測する。この
第2の時間W2は、たとえば0.5〜3.0secであ
り、たとえば1.0secであってもよい。ステップa9
では、カウンタ59の計数値nを零にリセットする。
【0037】ステップa10では、フラグF21がオン
であるかどうかが判断される。初期化された状態では、
フラグF21はオフであり、したがってステップa10
から次のステップa11に移る。
【0038】信号cpが、レベル弁別回路44において
第2の値L2以上であるとき、ライン47には、図2
(5)に示される波形を有する信号が導出される。タイ
マ51は、ライン52に図2(6)に示される信号波形
を導出し、したがってANDゲート48は、この第1の
時間W1において、信号cpが第1の値L1以上である
とき、その信号を図2(3)のように導出する。
【0039】ANDゲート49は、時刻t2〜t3にお
ける第2の時間W2において、信号cpが第2の値L2
以上である期間中、パルス発生回路54からの図2
(7)に示されるパルスを導出し、したがってこのAN
Dゲート49の出力波形は図2(8)に示される。
【0040】ステップa11では、ANDゲート49か
らのパルスの数をカウンタ61によって計数する。すな
わちカウンタ61は、信号cpが第2の値L2以上であ
る期間W2aが、第2の時間W2内での比η(=W2a
/W2)を演算し、その比ηが、予め定める比η1以上
であるかどうかを判断する。比ηが予め定める比η1以
上であるとき、たとえば25%以上であるとき、ステッ
プa12においてフラグF21をオンにする。こうして
地震波のエネルギ密度が比較的高いとき、地震が発生し
たものと判断することができる。ステップa11におい
て、信号cpに関してη≧η1であることが判断される
と、ステップa12では、フラグF21をオンにする。
本発明の実施の一形態では、ステップa12から、ステ
ップa17に移り、地震が発生したものと判別する。フ
ラグF21が一旦、オンになったときには、ステップa
10からはステップa13に移る。
【0041】ステップa13では、信号cpが、第2の
時間W2において第3の値L3以上であるかどうかを判
断する。信号cpが第3の値L3以上であるとき、ステ
ップa14では、フラグF32をオンにし、次のステッ
プa15では、カウンタ59の計数値を、1だけインク
リメントする。
【0042】ステップa16においてフラグF21がオ
ンであるかどうかが判断され、オンであれば、ステップ
a17において地震が発生したものと判別する。こうし
て前記計測された振動時間の比ηが、予め定める比η1
以上であって、すなわちフラグF21がオンであって、
かつ、検出される加速度が第3の値L3以上であり、し
たがってフラグF32がオンであるとき、地震が発生し
たことが判別される。
【0043】フラグF21がオンでないとき、ステップ
a16からステップa19に移り、フラグF31がオン
であるかが判断される。すなわち前述の第1の時間W1
において、信号cpが第3の値L3以上であるか、すな
わちフラグF31がオンであるかどうかが判断される。
フラグF31がオフであるとき、次のステップa20で
は、カウンタ59の計数値nが予め定める値、たとえば
2以上(n≧2)であれば、ステップa17において地
震が発生したことが判別される。こうして第2の時間W
2のみにおいて、信号cpが第3の値L3以上である回
数nが、2以上であるとき、地震が発生したものと判別
される。
【0044】ステップa19においてフラグF31がオ
ンであれば、すなわち第1の時間W1において信号cp
が第3の値L3以上であれば、ステップa17において
地震が発生したことが判別される。すなわち第1の時間
W1において信号cpが第3の値L3以上であり、しか
も前述のステップa14において第2の時間W2で信号
cpが第3の値L3以上である回数が少なくとも1以上
であれば、地震が発生したことが判別される。
【0045】時間W2がステップa21において経過し
たことが判断されると、ステップa22に移り、地震の
発生が検出されず、ステップa18で一連の動作が終了
する。
【0046】図4は、本発明の実施の他の形態の一部の
電気的構成を示すブロック図である。この実施の形態で
は、感震器10において、鉛直方向であるz軸方向の加
速度を検出する加速度センサS3がさらに追加される。
加速度センサS3の出力は、バッファ63から絶対値回
路64に与えられてz軸方向の加速度の絶対値が演算さ
れる。演算回路65は、絶対値回路38,64の出力を
演算して、前述の演算回路39と同様に、α4=0.7
5(│αy│+│αz│)を演算する。さらに演算回路
66は、絶対値回路37,64の出力に応答して合成加
速度α5=0.75(│αx│+│αz│)を演算す
る。さらに演算回路67,68は、絶対値回路37,3
8,64の出力に応答し、加速度α6,α7を演算す
る。加速度α6は、α6=│αx│・│αy│・│αz
│である。加速度α7は、α7=│αx│+│αy│+
│αz│である。これらの絶対値回路37,38,64
および演算回路39,65,66,67,68の各出力
は、最大値選択回路69に与えられ、これらの値のうち
の最大値が、時間経過に伴ってライン42に導出され
る。その他の構成と動作は、前述の実施の形態と同様で
ある。
【0047】図5は、感震器10を示す斜視図である。
感震器10は、直方体または立方体などのブロック体1
1と、ブロック体11の相互に直交する3つの取付面1
2,13,14にそれぞれ固定される加速度センサS
1,S2,S3とを備える。ブロック体11は、鉄もし
くはアルミニウムなどの金属製または合成樹脂製などの
剛体である。
【0048】図6(1)はセンサS1の断面図であり、
図6(2)はセンサS1を切り欠いて示す斜視図であ
る。センサS1は、片持ち支持される振り子15と、振
り子15の往復運動する方向(図6(1)の上下方向)
に振り子15の両側で配置される一対の電極16,17
とを有する。振り子15は、振り子本体18と、片持ち
支持部分19とから成り、片持ち支持部分19は取付け
部20に連なる。振り子15と取付け部20とは、導電
性単結晶シリコンから成る。振り子本体18に対向して
スペーサ21が配置される。電極16,17は扁平なガ
ラス板22,23に形成されており、これらの電極1
6,17はアルミニウム製薄膜であり、たとえば蒸着な
どの手法で形成される。ガラス板22,23は、導電性
単結晶シリコンから成る基板24,25にそれぞれ固定
されており、電極16,17はガラス板22,23に形
成された連結孔26,27を介して基板24,25に電
気的に接続される。こうしてセンサS1は、図6(1)
の対称面28に関して対称に構成される。
【0049】片持ち支持部分19は、完全弾性体である
ので、ヒステリシス、脆性およびクリープが生じない。
取付け部20とガラス板22,23と基板24,25
は、二酸化シリコンを介して完全に融合し、またスペー
サ21も同様であり、こうして内部空間29は気密状態
であり、真空となっている。振り子本体18と電極1
6,17との間の間隔d1,d2は、自然状態、すなわ
ち加速度が作用していない状態では,2〜5μm程度で
あり、この実施例ではd1=d2である。スペーサ21
は、振り子15および取付け部20と同一材料から成
る。こうしてセンサS1は、たとえば縦2×横2×厚さ
3mmであって、微小な形状に構成される。振り子15
の厚さ方向(図6(1)の上下方向)をx方向とすると
き、センサS1は図1のブロック体11の取付面12に
x方向が一致するように接着剤などによって固定され
る。残余のセンサS2,S3もまた同様に構成される。
【0050】このようなセンサS1は、長期間にわたっ
て特性が安定しており、また−40〜+125℃の広い
温度範囲で高精度で加速度を検出することができる。セ
ンサS1は、面28に関して対称であり、したがって熱
膨張によっても、全体が均一に膨張するので、振り子本
体18と各電極16,17との容量の合成値は変わらな
い。またセンサS1は、たとえば4000g(gは重力
加速度)程度の過衝撃、すなわち過加速度による振り子
本体18の振れを、サンドイッチ状の電極16,17、
すなわちガラス板22,23で制限するので、振り子本
体18を支持する片持ち支持部分19に過度のたわみ力
が作用せず、したがって片持ち支持部分19の破損を防
止できる。さらに本実施例の構成によれば、感度方向の
選択性に優れている。すなわち振り子15を含めてセン
サS1が図6(1)の上下方向に積層構造を形成してい
るので、図6(1)の上下方向には感度が優れており、
図6(1)の紙面垂直方向の感度は極めて低くなる。
【0051】さらに、振り子15および取付け部20
は、半導体エッチング技術によって微細な加工が容易で
あり、センサS1の自動化による大幅な製造工数の削減
によって、品質を安定化し、量産効果による低価格化を
実現できる。またシリコンウエハ技術でセンサS1を製
造することができ、また温度係数が非常に低いので、室
温で調整して出荷することができ、これによって製造工
数を大幅に削減できる。またマイクロエッチング技術を
採用することができ、小型化が可能である。残余のセン
サS2,S3もまたセンサS1と同様な構成を有する。
【0052】感震器は、片持ち支持される導電性振り子
および該振り子の振動方向に隔てて配置される一対の対
向電極から成る感震センサと、該振り子と各対向電極と
の間の静電容量を検出する容量検出手段とを具備するこ
とによって、小型軽量な構成で、地震の加速度を高精度
で計測することができる。
【0053】感震器の振り子は、導電性単結晶シリコン
で形成されることによって、ヒステリシス、脆性、クリ
ープ等が無い完全弾性体として機能するため、測定精度
が向上する。また、シリコンウエハに関する製造技術を
利用することによって、数mmオーダのセンサを高品質
で大量に製造することができる。
【0054】振り子15と各電極16,17との間の容
量をC1,C2とするとき、加速度が存在しない自然状
態では、C1=C2であり、加速度が発生すると、慣性
の法則によって、間隔d1,d2(図6(1)参照)が
相互に異なり、これによってC1<C2またはC1>C
2となる。変換回路は、ライン31,32,33に接続
され、1つのセンサS1の容量C1,C2に対応する電
圧V1、V2をそれぞれ出力する。前述の図1および図
4に示される各センサS1,S2,S3は、この変換器
を含めた構成を示している。
【0055】図7〜図11は本件発明者の実験結果を示
す波形図である。図7は、x軸方向の加速度センサS1
の出力波形を示す。図8はy軸方向の加速度センサS2
の出力波形を示す図である。図9はz軸方向の加速度セ
ンサS3の出力波形を示す図である。地震発生時には、
これらの加速度センサS1〜S3から、図7〜図9に示
される信号がそれぞれ導出される。
【0056】図10は、加速度センサS1に外部から衝
撃力が作用したときにおける加速度センサS1の出力波
形を示す図である。加速度センサS1に衝撃力が作用し
たとき、その衝撃力は、前述の第1の時間W1未満で大
きく減衰する。衝撃力の継続時間は、0.2〜1.0se
c未満であり、たとえばこの実験データでは、0.4sec
である。前述の第1の時間W1は、この衝撃力の継続時
間を超える時間に定められ、これによって衝撃力による
地震の誤検出を防ぐ。
【0057】図11は、本件発明者の実験結果を示す波
形図であり、図1〜図3に示される実施の形態におい
て、最大値選択回路41からライン42に導出される信
号cpの波形を示す図である。本発明によれば、地震波
のエネルギ密度に対応した程度を検出することができ
る。
【0058】
【発明の効果】請求項1の本発明によれば、地震の程度
である震度を正確に検出することができるようになる。
しかも第1の時間W1内では、振動時間が計測されず、
したがって外部の衝撃力が作用することによる地震の誤
検出を防ぐことができる。さらに本発明によれば、第2
の時間W2内における第2の値L2以上である加速度の
振動時間W2aが計測されて、その比ηが、予め定める
比η1以上であるとき、地震が発生したことが判別さ
れ、こうして振動のエネルギ密度が大きいとき、地震を
正確に判別することができる。
【0059】さらに本発明によれば、第2の時間W2に
おいて振動時間W2aが計測され、したがって長時間に
わたる振動時間の計測による無駄な電力の消費を防ぐこ
とができる。このことは特に、電池を駆動源とする構成
において重要であり、メンテナンスを容易にすることが
できる。
【0060】さらに本発明によれば、第2の時間W2未
満であっても、前記比ηが、予め定める比η1以上にな
ると、直ちに地震の発生したことが判別されるので、こ
のことによってもまた、消費電力を低減することがで
き、また地震の発生を迅速に行うことができる。
【0061】請求項2の本発明によれば、地震の発生を
もっと正確に判別することができるようにするために、
震動時間の比ηが前記予め定める比η1以上であるだけ
でなく、さらに第1および第2の時間W1,W2内で加
速度が予め定める第3の値L3以上になって大きいと
き、地震が発生したものと判別する。こうして地震波の
エネルギ密度にほぼ正確に対応して地震の発生を検出す
ることができるようになる。
【0062】請求項3の本発明によれば、衝撃力による
誤検出を防ぐために、第2の時間W2内で、加速度が、
比較的大きい第2の値L3以上になった回数を計数し、
予め定める複数回以上であるとき、地震が発生したもの
と判別し、これによってエネルギ密度にほぼ正確に対応
した地震の程度を検出することができる。
【0063】請求項4の本発明によれば、加速度が第1
の時間W1内で比較的大きい第2の値L3以上になり、
しかも第2の時間W2でもまた第2の値L3以上になっ
たとき、地震が発生したものと判別し、こうしてエネル
ギ密度が比較的高い震度に対応した地震の発生を正確に
検出することができる。
【0064】請求項5の本発明によれば、水平面内の直
交する2つの方向の加速度αx,αyを少なくともそれ
ぞれ検出し、さらにそれらの合成値を演算してそれらの
最大値を選択することによって、地震波のエネルギ密度
に高精度に対応して、地震の発生を判別することができ
るようになる。
【0065】請求項6〜8の各発明によれば、前述の請
求項1,3,4と同様に、地震波以外の振動のエネルギ
密度に対応した程度を正確に判別することができるよう
になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態の全体の電気的構成を示
すブロック図である。
【図2】図1に示される地震検出装置の動作を説明する
ための波形図である。
【図3】処理回路56の動作を説明するためのフローチ
ャートである。
【図4】本発明の実施の他の形態の一部の電気的構成を
示すブロック図である。
【図5】感震器10を示す斜視図である。
【図6】図6(1)はセンサS1の断面図であり、図6
(2)はセンサS1を切り欠いて示す斜視図である。
【図7】本件発明者の実験結果を示し、x軸方向の加速
度センサS1の出力波形を示す波形図である。
【図8】本件発明者の実験結果を示し、y軸方向の加速
度センサS2の出力波形を示す波形図である。
【図9】本件発明者の実験結果を示し、z軸方向の加速
度センサS3の出力波形を示す波形図である。
【図10】本件発明者の実験結果を示し、加速度センサ
S1に外部から衝撃力が作用したときにおける加速度セ
ンサS1の出力波形を示す波形図である。
【図11】本件発明者の実験結果を示し、図1〜図3に
示される実施の形態における最大値選択回路41からラ
イン42に導出される絶対値信号cpの波形を示す波形
図である。
【符号の説明】
10 感震器 35,36,63 バッファ 37,38,64 絶対値回路 41,69 最大値選択回路 43,44,45 レベル弁別回路 51 タイマ 54 パルス発生回路 56 処理回路 57 駆動回路 58 遮断弁 59,61 カウンタ S1,S2,S3 加速度センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷内 忠司 大阪府大阪市淀川区木川東3丁目4番9号 株式会社センサー技術研究所内 (72)発明者 海陸 力 大阪府大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 高木 聡 大阪府大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪瓦斯株式会社内 Fターム(参考) 2G064 AA05 AB04 AB19 BA05 BA08 BD05 BD32 BD43 CC13 CC55 CC60 DD29 DD32

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその予め定める第2の値L
    2以上になったことをレベル弁別する振動時間計測用レ
    ベル弁別手段と、 振動時間計測用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度
    センサによって検出される加速度が、前記第1の値L1
    以上になった時点から、加速センサに作用する外部の衝
    撃力の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計
    測し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2
    の時間W2を計測するタイマと、 タイマと振動時間計測用レベル弁別手段との出力に応答
    し、加速度センサによって検出される加速度が、第2の
    時間W2内で、第2の値L2以上である振動時間W2a
    を計測する振動時間計測手段と、 振動時間計測手段の出力に応答し、計測された振動時間
    W2aの第2の時間W2内における比η(=W2a/W
    2)が、予め定める比η1以上であることを判別する時
    間判別手段と、 時間判別手段の出力に応答し、地震が発生したことを判
    別する地震判別手段とを含むことを特徴とする地震検出
    装置。
  2. 【請求項2】 加速度センサとタイマとの出力に応答
    し、第1および第2の時間W1,W2内に、加速度セン
    サによって検出される加速度が、第1および第2の値L
    1,L2を超える予め定める第3の値L3以上になった
    ことをレベル弁別する振動検出用レベル弁別手段をさら
    に含み、 地震判別手段は、 時間判別手段と振動検出用レベル弁別手段との出力に応
    答し、前記計測された振動時間の比ηが前記予め定める
    比η1以上であって、かつ、前記検出される加速度が第
    3の値L3以上になったとき、地震が発生したことを判
    別することを特徴とする請求項1記載の地震検出装置。
  3. 【請求項3】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその第1の値L1を超える
    予め定める第2の値L3以上になったことをレベル弁別
    する振動検出用レベル弁別手段と、 振動検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セン
    サによって検出される加速度が、前記第1の値L1以上
    になった時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力
    の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測
    し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の
    時間W2を計測するタイマと、 振動用検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セ
    ンサによって検出される加速度が、第2の値L3以上で
    ある回数を計数する計数手段と、 タイマと計数手段との出力に応答し、第2の時間W2内
    で、計数値が予め定める複数回以上であるとき、地震が
    発生したことを判別する地震判別手段とを含むことを特
    徴とする地震検出装置。
  4. 【請求項4】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその第1の値L1を超える
    予め定める第2の値L3以上になったことをレベル弁別
    する振動検出用レベル弁別手段と、 振動検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セン
    サによって検出される加速度が、前記第1の値L1以上
    になった各時点から、加速センサに作用する外部の衝撃
    力の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測
    し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の
    時間W2を計測するタイマと、 タイマと振動検出用レベル弁別手段との出力に応答し、
    加速度センサによって検出される加速度が、第1および
    第2の各時間W1,W2内で、第2の値L3以上に、そ
    れぞれなったとき、地震が発生したことを判別する地震
    判別手段とを含むことを特徴とする地震検出装置。
  5. 【請求項5】 加速度センサS1〜S3は、 少なくとも水平面内の直交する2つの方向x,yの加速
    度αx,αyをそれぞれ検出し、 加速度センサS1〜S3の出力に応答し、加速度αx,
    αyの合成値を演算する加速度演算手段39,65〜6
    8と、 加速度センサと加速度演算手段との出力に応答し、検出
    された加速度αx,αyおよび加速度演算手段の演算結
    果の各絶対値を演算する絶対値演算手段41,69と、 絶対値演算手段の出力のうち、最大値を選択して加速度
    センサの出力として導出する最大値選択手段とを含むこ
    とを特徴とする請求項1〜4のうちの1つに記載の地震
    検出装置。
  6. 【請求項6】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその予め定める第2の値L
    2以上になったことをレベル弁別する振動時間計測用レ
    ベル弁別手段と、 振動時間計測用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度
    センサによって検出される加速度が、前記第1の値L1
    以上になった時点から、加速センサに作用する外部の衝
    撃力の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計
    測し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2
    の時間W2を計測するタイマと、 タイマと振動時間計測用レベル弁別手段との出力に応答
    し、加速度センサによって検出される加速度が、第2の
    時間W2内で、第2の値L2以上である振動時間W2a
    を計測する振動時間計測手段と、 振動時間計測手段の出力に応答し、計測された振動時間
    の第2の時間W2内における比η(=W2a/W2)が
    予め定める比η1以上であることを判別する時間判別手
    段とを含むことを特徴とする振動検出装置。
  7. 【請求項7】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその第1の値L1を超える
    予め定める第2の値L3以上になったことをレベル弁別
    する振動検出用レベル弁別手段と、 振動検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セン
    サによって検出される加速度が、前記第1の値L1以上
    になった時点から、加速センサに作用する外部の衝撃力
    の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測
    し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の
    時間W2を計測するタイマと、 振動用検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セ
    ンサによって検出される加速度が、第2の値L3以上で
    ある回数を計数する計数手段と、 タイマと計数手段との出力に応答し、第2の時間W2内
    で、計数値が予め定める値以上であることを判別する判
    別手段とを含むことを特徴とする振動検出装置。
  8. 【請求項8】 振動の加速度を検出する加速度センサ
    と、 加速度センサの出力に応答し、加速度センサによって検
    出される加速度が、予め定める第1の値L1以上になっ
    たことをレベル弁別し、またその第1の値L1を超える
    予め定める第2の値L3以上になったことをレベル弁別
    する振動検出用レベル弁別手段と、 振動検出用レベル弁別手段の出力に応答し、加速度セン
    サによって検出される加速度が、前記第1の値L1以上
    になった各時点から、加速センサに作用する外部の衝撃
    力の継続時間を超える予め定める第1の時間W1を計測
    し、さらに第1の時間W1に後続する予め定める第2の
    時間W2を計測するタイマと、 タイマと振動検出用レベル弁別手段との出力に応答し、
    加速度センサによって検出される加速度が、第1および
    第2の時間W1,W2内で、第2の値L3以上に、それ
    ぞれなったことを判別する判別手段とを含むことを特徴
    とする振動検出装置。
JP10342130A 1998-12-01 1998-12-01 地震検出装置 Pending JP2000162032A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10342130A JP2000162032A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 地震検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10342130A JP2000162032A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 地震検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000162032A true JP2000162032A (ja) 2000-06-16

Family

ID=18351371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10342130A Pending JP2000162032A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 地震検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000162032A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012184837A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Niigata Loading Systems Ltd 導管用緊急離脱装置
JP2018124222A (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 感震装置及びこれを用いた保安装置
CN108431518A (zh) * 2016-12-13 2018-08-21 株式会社瑰都啦咪 具有燃气检测和地震检测功能的锅炉及其控制方法
WO2018168101A1 (ja) * 2017-03-14 2018-09-20 オムロン株式会社 感震センサ及び地震判定方法
JP2020020595A (ja) * 2018-07-30 2020-02-06 日置電機株式会社 測定装置
WO2023007447A1 (en) * 2021-07-30 2023-02-02 Pietro Fiorentini S.P.A. An improved method for evaluating a vibrational event
JP7435419B2 (ja) 2020-11-24 2024-02-21 オムロン株式会社 感震センサ

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012184837A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Niigata Loading Systems Ltd 導管用緊急離脱装置
CN108431518B (zh) * 2016-12-13 2021-05-28 株式会社瑰都啦咪 具有燃气检测和地震检测功能的锅炉及其控制方法
EP3388756A4 (en) * 2016-12-13 2019-10-16 Kiturami Co., Ltd. GAS DETECTION AND GROUND SEPARATING FUNCTION BOILER AND METHOD OF CONTROLLING SAME
CN108431518A (zh) * 2016-12-13 2018-08-21 株式会社瑰都啦咪 具有燃气检测和地震检测功能的锅炉及其控制方法
CN110114644A (zh) * 2017-02-03 2019-08-09 松下知识产权经营株式会社 测震装置和使用该测震装置的安全装置
WO2018142996A1 (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 感震装置及びこれを用いた保安装置
EP3578936A4 (en) * 2017-02-03 2020-01-15 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. SEISMIC DEVICE AND SAFETY DEVICE THEREFOR
JP2018124222A (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 感震装置及びこれを用いた保安装置
JP2018151290A (ja) * 2017-03-14 2018-09-27 オムロン株式会社 感震センサ及び地震判定方法
WO2018168101A1 (ja) * 2017-03-14 2018-09-20 オムロン株式会社 感震センサ及び地震判定方法
US11422272B2 (en) 2017-03-14 2022-08-23 Omron Corporation Seismic sensor and earthquake determination method
JP2020020595A (ja) * 2018-07-30 2020-02-06 日置電機株式会社 測定装置
JP7435419B2 (ja) 2020-11-24 2024-02-21 オムロン株式会社 感震センサ
WO2023007447A1 (en) * 2021-07-30 2023-02-02 Pietro Fiorentini S.P.A. An improved method for evaluating a vibrational event

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kunz et al. Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors
Pike et al. A broad-band silicon microseismometer with 0.25 NG/rtHz performance
US3858065A (en) Annular 3m class piezoelectric crystal transducer
JPH10177033A (ja) 加速度測定装置
JP2000162032A (ja) 地震検出装置
CN106706108B (zh) 基于压电效应的mems同振型球形振子矢量水听器
JP2920868B2 (ja) 地震レベル判定方法およびガスメータ
CN104359547A (zh) 差动隔振式mems矢量水听器
CN109239400A (zh) 一体式石英双振梁加速度计及制备方法
JPH08304555A (ja) 振動の種類の弁別方法および装置
Benech et al. Acceleration measurement using PVDF
Helsel et al. A navigation grade micro-machined silicon accelerometer
JPS63168536A (ja) 振動式密度計に於ける振動周期検出方法
JP2007198812A (ja) 震度計
EP2990807B1 (en) Resonant sensor
JP3037676B1 (ja) ガスメ―タの感震装置
CN110457858B (zh) 基于双轴实测加速度的高层建筑模态振动主轴的确定方法
JP3229706B2 (ja) 感震器
Xu et al. The electrochemical seismometer based on a novel designed sensing electrode for undersea exploration
JP2001059761A (ja) 遮断弁を有するガスメータ
JP3247762B2 (ja) 地震検出装置
JPH11248849A (ja) 地震検出装置
JP2005283598A (ja) 渦巻き型振動検知器
JPH0682067B2 (ja) 地震検出装置
RU2533752C1 (ru) Способ определения параметров прецизионного кварцевого маятникового акселерометра