JP2000150612A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェーハ搬送装置において、過負荷状態を検知
した際に、ウェーハ搬送アームがスムーズに後退できる
ようにして、ウェーハホルダ、ウェーハカセット、ウェ
ーハ等の破損、転倒、落下等を防止できるようにする。 【解決手段】ウェーハ搬送アーム２０を固定ベース３０
に対して往復動自在に案内して支持する案内支持手段４
０を、ウェーハ搬送アームの可動ベース２３に形成した
第１の案内溝２３ｂと、固定ベース３０に形成した第２
の案内溝３１ａと、第１の案内溝及び第２の案内溝の間
に介在されて転動するクロスローラ４１とにより形成し
て、過負荷状態となったときに、ウェーハ搬送アーム２
０がスムーズにかつ素早く後退できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に用い
られるウェーハを搬送するウェーハ搬送装置に関し、特
に、ウェーハホルダあるいはウェーハカセット等の収納
ケース間でウェーハの搬送を行なうウェーハ搬送装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウェーハ搬送装置は、図４に示す
ように、ウェーハを載置して搬送するウェーハ搬送アー
ム１と、このウェーハ搬送アーム１を軸Ｓ１回りに回動
自在に支持すると共に揺動する第１揺動アーム２と、こ
の第１揺動アーム２を軸Ｓ２回りに回動自在に支持する
と共に所定軸回りに揺動する第２揺動アーム３等を備え
ている。

【０００３】上記のようなウェーハ搬送装置を用いて、
例えば、ウェーハを複数枚積層して収納するウェーハホ
ルダと所定の枚数だけウェーハを積層して収納するウェ
ーハカセットとの間で、ウェーハの受け渡しを行なう場
合、先ず、ウェーハ搬送アーム１の先端部１ａを、ウェ
ーハホルダ内あるいはウェーハカセット内に向けて前進
移動させ、先端部１ａにウェーハを乗せた後、第１揺動
アーム２さらには第２揺動アーム３を揺動させて、ウェ
ーハホルダ外あるいはウェーハカセット外に向けて後退
移動させ、再びウェーハ搬送アーム１の先端部１ａを搬
送先のウェーハカセット内あるいはウェーハホルダ内に
向けて移動させることになる。

【０００４】この際、ウェーハ搬送アーム１とウェーハ
ホルダあるいはウェーハカセットとの位置決めが正しく
行なわれなかった場合に、ウェーハ搬送アーム１の先端
部１ａが、ウェーハホルダの枠部分あるいはウェーハカ
セットの枠部分に衝突して、ウェーハホルダあるいはウ
ェーハカセットを破損、転倒させ、又、積層されたウェ
ーハを落下させて破損させ、あるいは、ウェーハに直接
衝突してウェーハを破損させ、又、積層されたウェーハ
のピッチがずれているような場合にウェーハに直接衝突
してウェーハを破損させ、さらには、ウェーハ搬送アー
ム１そのものを破損させる場合があった。

【０００５】そこで、このような衝突が生じた場合に、
この衝突状態から回避するべく、過負荷検知器を設けた
ものが、例えば、特開平７−２４９６７３号公報等に開
示されている。この公報に開示のウェーハ搬送装置は、
ウェーハ搬送アームを２分割にして、この間に、圧縮ば
ね，光検出センサ，遮光板等により構成した過負荷検知
器を配置し、ウェーハ搬送アームの先端部が衝突して過
負荷状態になると、圧縮ばねが撓んで、光検出センサが
作動し、ウェーハ搬送アームの前進駆動を停止させるよ
うにしたものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような過負荷検知器を設けた場合であっても、経時劣化
等の要因により圧縮ばねのばね定数が高くなり、所定以
上の負荷が加わってもウェーハ搬送アームの先端部が後
退せず、従って、光検知センサも作動せず、そのまま過
負荷状態が続いてウェーハの落下、破損、あるいは、ウ
ェーハホルダ、ウェーハカセットの破損、転倒等を招く
場合があった。

【０００７】また、ウェーハ搬送アームが、スムーズに
後退できるような構造で支持されていないと、衝突によ
り過負荷状態となっても、容易に後退することができ
ず、上述同様に、光検出センサの不作動により、そのま
ま過負荷状態が続いてウェーハの落下、破損、あるい
は、ウェーハホルダ、ウェーハカセットの破損、転倒等
を招く場合があった。

【０００８】本発明は、上記のような従来技術の問題点
に鑑みて成されたものであり、その目的とするところ
は、過負荷状態を検知した際に、ウェーハ搬送アームが
スムーズに後退できるようにして、ウェーハホルダ、ウ
ェーハカセット、ウェーハ等の破損、転倒、落下等を防
止できるウェーハ搬送装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するべく鋭意検討を重ねた結果、以下の如き構成
をなす発明を見出すに至った。すなわち、本発明のウェ
ーハ搬送装置は、ウェーハを載置して搬送するウェーハ
搬送アームと、このウェーハ搬送アームを担持する固定
ベースと、ウェーハ搬送アームを固定ベースに対して移
動可能に案内して支持する案内支持手段と、ウェーハ搬
送アーム及び固定ベースの間に介在されて両者の間に所
定の付勢力を及ぼす付勢手段と、ウェーハ搬送アームに
所定以上の負荷が加わった状態を検知し駆動源を停止さ
せる信号を発する過負荷検知手段と、を備えるウェーハ
搬送装置であって、上記案内支持手段が、ウェーハ搬送
アーム側に形成された第１の案内路と、固定ベース側に
形成された第２の案内路と、第１の案内路及び第２の案
内路の間に介在されて転動する転動体とを有する、こと
を特徴としている。

【００１０】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
上記第１の案内路及び第２の案内路が、Ｖ字断面をなし
て開口部がお互いに対向するように配置された第１の案
内溝及び第２の案内溝からなり、かつ、上記転動体が、
上記第１の案内溝及び第２の案内溝を形成する面に接し
て転動する円筒状のクロスローラからなる、構成を採用
することができる。

【００１１】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
上記過負荷検知手段が、ウェーハ搬送アーム及び固定ベ
ースの一方側に設けられた発光素子及び受光素子からな
る光検知センサと、ウェーハ搬送アーム及び固定ベース
の他方側に設けられて光検知センサの光を遮断し得る遮
光板とを有する、構成を採用することができる。

【００１２】また、上記構成のウェーハ搬送装置におい
ては、上記付勢手段が、ウェーハ搬送アームと固定ベー
スとをお互いに引き寄せる引っ張りばねであり、又、こ
の引っ張りばねの付勢力を調整する付勢力調整手段を有
する、構成を採用することができる。

【００１３】さらに、上記構成のウェーハ搬送装置にお
いては、上記付勢力調整手段が、引っ張りばねの一端部
が係止されてウェーハ搬送アーム及び固定ベースの一方
に形成された保持部に位置付けられるねじ部材と、この
ねじ部材のねじ部に螺合して保持部に対するねじ部材の
位置を調節するロックナットとを有する、構成を採用す
ることができる。

【００１４】本発明のウェーハ搬送装置においては、ウ
ェーハ搬送アームに所定以上の負荷が加わると、付勢手
段の付勢力に抗して、このウェーハ搬送アームは、第１
の案内路及び第２の案内路に介在する転動体により、ス
ムーズに固定ベース上を後退する。そして、所定位置ま
で後退したところで、過負荷検知手段が作動して停止信
号を発し、駆動源を停止させる。

【００１５】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
第１の案内路及び第２の案内路が、Ｖ字断面をなして開
口部がお互いに対向するように配置された第１の案内溝
及び第２の案内溝からなり、かつ、上記転動体が、第１
の案内溝及び第２の案内溝を形成する面に接して転動す
る円筒状のクロスローラからなる場合は、ウェーハ搬送
アームに所定以上の負荷が加わると、クロスローラが第
１の案内溝及び第２の案内溝の面に接触して転動し、安
定した状態でウェーハ搬送アームの後退移動を案内す
る。

【００１６】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
上記過負荷検知手段を光検知センサ及び遮光板により構
成した場合は、ウェーハ搬送アームに所定以上の負荷が
加わって、ウェーハ搬送アームが所定位置まで後退する
と、遮光板が光検知センサの発光素子から発信される発
信光を遮り、この光を遮る動作に対応して停止信号を発
し、駆動源を停止させる。

【００１７】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
上記付勢手段を引っ張りばねとし、、又、この引っ張り
ばねの付勢力を調整する付勢力調整手段を設けた場合
は、ウェーハ搬送アームと固定ベースとは所定の付勢力
で常時引き寄せられた状態にあり、ウェーハ搬送アーム
に所定以上の負荷が加わると、この引っ張りばねが伸長
してウェーハ搬送アームの後退を許容する。また、付勢
力調整手段により、引っ張りばねの付勢力が調整され
て、負荷によりウェーハ搬送アームが後退するときの耐
負荷限界が所望の値に設定される。

【００１８】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
上記付勢力調整手段を、ねじ部材及びロックナットによ
り構成した場合は、ロックナットを回して、保持部に対
するねじ部材の位置を調節することで、引っ張りばねの
付勢力が所定の値に設定される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面に基づいて詳細に説明する。図１ないし図３は、
本発明のウェーハ搬送装置の一実施形態を示すものであ
り、図１は装置全体の外観斜視図、図２は装置の一部を
拡大した平面図及び側面図、図３は装置の断面図であ
る。

【００２０】この実施形態に係るウェーハ搬送装置１０
は、図１に示すように、ウェーハを載置して搬送するウ
ェーハ搬送アーム２０と、ウェーハ搬送アーム２０を担
持すると共にその移動を許容する固定ベース３０と、ウ
ェーハ搬送アーム２０を固定ベース３０に対して移動可
能に案内して支持する案内支持手段４０と、ウェーハ搬
送アーム２０及び固定ベース３０の間に介在されて両者
の間に所定の付勢力を及ぼす付勢手段５０と、ウェーハ
搬送アーム２０に所定以上の負荷が加わった状態を検知
し駆動源を停止させる信号を発する過負荷検知手段６０
等を、その基本構成として備えている。

【００２１】ウェーハ搬送アーム２０は、セラミック等
により形成されて、ウェーハを載置するべく上下方向に
配列された複数（ここでは、５枚）の載置板２１と、こ
の載置板２１を支持する支持部２２と、この支持部２２
を挟んで載置板２１と反対側に位置付けられ、支持部２
２に一体的に固定された可動ベース２３とにより構成さ
れている。

【００２２】上記可動ベース２３は、固定ベース３０上
に担持されており、この固定ベース３０に対して所定範
囲で往復動自在に支持されている。すなわち、図３に示
すように、可動ベース２３の下面には、載置板２１の伸
長方向に直交する断面が凹形状でかつ載置板２１の伸長
方向に肉抜きされた嵌合凹部２３ａが形成されており、
この嵌合凹部２３ａの両側面には、第１の案内路として
のＶ字断面をなす第１の案内溝２３ｂが形成されてい
る。

【００２３】一方、固定ベース３０には、図３に示すよ
うに、上記可動ベース２３の嵌合凹部２３ａに相補的に
嵌合する嵌合凸部３１が形成されており、この嵌合凸部
３１の両側面には、第２の案内路としてのＶ字断面をな
す第２の案内溝３１ａが形成されている。

【００２４】上記可動ベース２３と固定ベース３０とが
嵌合された状態で、第１の案内溝２３ｂと第２の案内溝
３１ａとは、それぞれの開口部がお互いに対向するよう
に配置されており、この第１の案内溝２３ｂ及び第２の
案内溝３１ａを画定する両方の傾斜面に接触するように
転動体としてのクロスローラ４１が配置されている。こ
のクロスローラ４１は、高剛性の鋼材等により形成され
ており、荷重を支えるに必要なだけ複数個配置されてい
る。

【００２５】上記第１の案内溝２３ｂ、第２の案内溝３
１ａ、及びクロスローラ４１等により、固定ベース３０
に対して、ウェーハ搬送アーム２０を直線的に往復自在
に案内して支持する案内支持手段４０としてのリニアガ
イドが構成されている。このように、支持部にクロスロ
ーラ４１を用いることにより、比較的大きい荷重を支え
ることができ、又、いずれの方向から力を受けても、ガ
タを生ずることなく高精度に安定した状態で支持するこ
とができる。これにより、長期に亘るメンテナンスフリ
ー化を実現でき、又、ウェーハ搬送アーム２０の載置板
２１をウェーハホルダあるいはウェーハカッセトに対し
て位置決めする際に、ガタを生じないことから高精度な
位置決めを行なうことができる。

【００２６】図２に示すように、上記固定ベース３０の
縁部には、上方に向けて突出する保持部３２が形成され
ており、この上方部にネジ部材５１を挿通させる貫通孔
が形成されている。一方、可動ベース２３の一側部に
は、係止ピン２３ｃが形成されている。そして、保持部
３２に保持されたねじ部材５１の一端部５１ａと係止ピ
ン２３ｃとの間に付勢手段としての引っ張りばね５０が
張設されている。また、ねじ部材５１の他端部に形成さ
れたねじ部５１ｂにロックナット５２が螺合されてお
り、このロックナット５２を回転させることにより、保
持部３２に対するねじ部材５１の位置を調整でき、これ
により、引っ張りばね５０の初期張力を調節できるよう
になっている。さらに、固定ベース３０の端部にはスト
ッパ３３が上方に向けて突出するように形成されてお
り、引っ張りばね５０の付勢力により、このストッパ３
３に対して可動ベース２３の端部２３ｅが当接させられ
ている。

【００２７】上記のように、付勢手段として、圧縮ばね
ではなく引っ張りばね５０を用いていることから、ばね
定数，自由長，外径、材質等の選定が容易であり、ばね
選定の自由度が増加する。

【００２８】また、上記ねじ部材５１、ロックナット５
２、保持部３２等により、引っ張りばね５０の付勢力を
調整する付勢力調整手段が構成されており、このような
付勢力調整手段を設けたことから、可動ベース２３と固
定ベース３０との間に及ぼす付勢力を、引っ張りばねを
交換することなく最適な値に調節することができる。ま
た、引っ張りばね５０の付勢力が経時変化した場合で
も、上記付勢力調整手段を用いることで、容易に所望の
付勢力に調節することができる。尚、この実施形態にお
いては、係止ピンを可動ベース２３に設け、保持部を固
定ベース３０に設けたが、逆に、保持部を可動ベース２
３に設け、係止ピンを固定ベース３０に設ける構成とし
てもよい。

【００２９】ここで、引っ張りばね５０の付勢力を調節
する場合、石英ボード等により形成されたウェーハホル
ダあるいはウェーハカッセトの耐荷重強度、ウェーハの
耐荷重強度、ウェーハ搬送アーム２０の耐荷重強度等を
考慮して行なわれ、例えば、付勢力として約１３０Ｋｇ
程度の値を採用することができる。

【００３０】図１に示すように、固定ベース３０の後方
端部には、光検知センサ６１を形成する発光素子６１ａ
と、の発光素子６１ａから発信された発信光を受光する
受光素子６１ｂとが、所定間隔を開けて設けられてお
り、一方、可動ベース２３の後方端部には、遮光板６２
が直立した状態で設けられている。そして、ウェーハ搬
送アーム２０が過負荷状態になって、案内支持手段４０
により案内されて所定の距離だけ後退すると、この遮光
板６２が、発光素子６１ａと受光素子６１ｂとの間に入
り込んで発信光を遮るようになっている。

【００３１】上記光検知センサ６１（６１ａ，６１
ｂ）、遮光板６２等により、ウェーハ搬送アーム２０に
所定以上の負荷が加わった状態を検知し駆動源を停止さ
せる信号を発する過負荷検知手段６０が構成されてお
り、このような過負荷検知手段６０を設けたことによ
り、容易にかつ迅速に過負荷状態を検知して駆動源を停
止させ、この過負荷状態からウェーハ搬送アーム２０を
開放することができる。

【００３２】尚、上記実施形態においては、遮光板６２
を可動ベース２３すなわちウェーハ搬送アーム２０側
に、光検知センサ６１を固定ベース３０側に、それぞれ
設ける構成としたが、逆に、光検知センサ６１を可動ベ
ース２３すなわちウェーハ搬送アーム２０側に、遮光板
６２を固定ベース３０側に、それぞれ設ける構成とする
ことも可能である。また、過負荷検知手段としては、上
記の光検知方式に限るものではなく、ロードセル等の検
知手段を採用することも可能である。

【００３３】図１に示すように、上記固定ベース３０と
ウェーハ搬送アーム２０とは、一体となって第１揺動ア
ーム７０に支持されており、軸Ｓ１回りに回動自在とな
っている。また、この第１揺動アーム７０は、第２揺動
アーム８０に支持されており、軸Ｓ２回りに回動自在と
なっている。さらに、この第２揺動アーム８０は、基台
（不図示）に支持されており、この基台上で回動自在と
なっている。

【００３４】次に、上記ウェーハ搬送装置１０の動作に
ついて説明する。例えばウェーハホルダ内に収納されて
いるウェーハを、ウェーハカセットに搬送する場合、先
ず、第１揺動アーム７０あるいは第２揺動アーム８０等
が、所望の角度だけ回動させられて、ウェーハ搬送アー
ム２０の載置板２１の先端部２１ａがウェーハホルダの
取り出し口に位置付けられる。

【００３５】そして、積層されたウェーハの間にそれぞ
れの載置板２１が挿入されてその上にウェーハが担持さ
れ、その後、第１揺動アーム７０あるいは第２揺動アー
ム８０等が必要に応じて回動させられて、ウェーハ搬送
アーム２０が引き出される。続いて、ウェーハカセット
の挿入口に向けてウェーハ搬送アーム２０が移動させら
れ、ウェーハカセットの内部に挿入されて、所定の位置
にウェーハが載置されることになる。

【００３６】この一連の動作において、ウェーハ搬送ア
ーム２０の載置板２１が、例えば、ウェーハホルダの枠
部分、ウェーハカセットの枠部分、ウェーハそのもの等
に衝突して、ウェーハ搬送アーム２０に所定値以上の負
荷が加わると、引っ張りばね５０の付勢力に抗して、ウ
ェーハ搬送アーム２０が、案内支持手段４０を介して、
固定ベース３０上を後退し始める。この際、案内支持手
段４０が、Ｖ字断面をなす第１の案内溝２３ｂ及び第２
の案内溝３１ａ、クロスローラ４１等により形成されて
いることから、ウェーハ搬送アーム２０はスムーズに後
退移動を行なうことができる。

【００３７】そして、所定の距離だけ後退すると、遮光
板６２が発光素子６１ａと受光素子６１ｂの間に入り込
み、発光素子６１ａから受光素子６１ｂに向けて発信さ
れる発信光を遮断する。この遮断動作に同期して、信号
が制御部（不図示）に送られ、この信号に基づいて制御
部から停止信号が発せられ、駆動源（不図示）の動作が
停止させられる。

【００３８】これにより、ウェーハ搬送アーム２０の過
負荷状態が解消され、再度、ウェーハ搬送アーム２０の
位置決め等を行なって、後続の動作を行なわせることが
できる。

【００３９】このように、ウェーハ搬送アーム２０の後
退動作がスムーズに行なわれて、過負荷状態が素早く解
消されることにより、ウェーハホルダ又はウェーハカセ
ットの破損あるいは転倒、ウェーハの脱落あるいは破損
等を未然に防止することができる。

【００４０】以上述べた実施形態においては、過負荷検
知手段として光検知方式のものを採用したが、これに限
定されるものではなく、又、案内支持手段としてクロス
ローラを採用したが、同様に高精度でかつスムーズな移
動を許容するものであれば、その他のものを採用するも
可能である。

【００４１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のウェーハ搬
送装置によれば、ウェーハ搬送アームを往復動自在に案
内して支持する案内支持手段を、ウェーハ搬送アーム側
に形成された第１の案内路と、固定ベース側に形成され
た第２の案内路と、第１の案内路及び前記第２の案内路
の間に介在されて転動する転動体とにより構成したこと
により、ウェーハ搬送アームが所定以上の負荷を受けて
後退する際に、ガタを生じることなく、スムーズにかつ
高精度に案内されるため、確実に後退移動を行なわせる
ことができる。これにより、過負荷検知手段を介して、
ウェーハ搬送アームの動作を停止させることができ、素
早く過負荷状態から開放することができる。従って、ウ
ェーハホルダ及びウェーハカセット等の破損あるいは転
倒、ウェーハの破損あるいは脱落、ウェーハ搬送アーム
そのものの破損等を未然に防止することができる。

【００４２】上記構成のウェーハ搬送装置においては、
第１の案内路及び第２の案内路としてＶ字断面をなして
開口部がお互いに対向するように配置された第１の案内
溝及び第２の案内溝を採用し、かつ、転動体として第１
の案内溝及び第２の案内溝を形成する面に接して転動す
る円筒状のクロスローラを採用した場合は、より一層安
定した状態でウェーハ搬送アームの後退移動を案内する
ことができ、又、ガタツキ等を確実に防止することがで
きる。これにより、長期に亘るメンテナンスフリー化を
実現できる。

【００４３】上記構成のウェーハ搬送装置において、付
勢手段を引っ張りばねとし、又、この引っ張りばねの付
勢力を調整する付勢力調整手段を設けた場合は、ばねの
選定自由度が増加し、又、衝突する対象物の耐荷重強度
に応じて、付勢力を適宜所望の値に調節することがで
き、さらに、付勢力が経時的に変化した場合でも、ばね
を取り替えることなく再び所望の値に調節することがで
きる。

【００４４】上記構成のウェーハ搬送装置において、付
勢力調整手段を、ねじ部材及びロックナットにより構成
した場合は、ロックナットを回して、保持部に対するね
じ部材の位置を調節することで、引っ張りばねの付勢力
を容易に所望の値に調節することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハ搬送装置の一実施形態を示す
外観斜視図である。

【図２】本発明のウェーハ搬送装置の一部を拡大して示
すものであり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面
図である。

【図３】図２（ａ）中のＡ−Ａ部における縦断面図であ
る。

【図４】従来のウェーハ搬送装置を示す外観斜視図であ
る。

【符号の説明】

１０・・・ウェーハ搬送装置、２０・・・ウェーハ搬送
アーム、２１・・・載置板、２２・・・支持部、２３・
・・可動ベース、２３ａ・・・嵌合凹部、２３ｂ・・・
第１の案内溝（第１の案内路）、２３ｃ・・・係止ピ
ン、３０・・・固定ベース、３１・・・嵌合凸部、３１
ａ・・・第２案内溝（第２案内路）、３２・・・保持
部、３３・・・ストッパ、４０・・・案内支持手段、４
１・・・クロスローラ（転動体）、５０・・・引っ張り
ばね（付勢手段）、５１・・・ねじ部材、５２・・・ロ
ックナット、６０・・・過負荷検知手段、６１・・・光
検知センサ、６１ａ・・・発光素子、６１ｂ・・・受光
素子、６２・・・遮光板、７０・・・第１揺動アーム、
８０・・・第２揺動アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F059 CA02 DC01 DC07 DD12 3F060 AA01 BA00 EB12 EC12 FA05 FA11 GB00 GD05 GD15 HA32 5F031 CA02 GA03 GA43 JA05 JA47 JA51 PA20

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを載置して搬送するウェーハ搬送
   アームと、前記ウェーハ搬送アームを担持する固定ベー
   スと、前記ウェーハ搬送アームを前記固定ベースに対し
   て移動可能に案内して支持する案内支持手段と、前記ウ
   ェーハ搬送アーム及び前記固定ベースの間に介在されて
   両者の間に所定の付勢力を及ぼす付勢手段と、前記ウェ
   ーハ搬送アームに所定以上の負荷が加わった状態を検知
   し駆動源を停止させる信号を発する過負荷検知手段と、
   を備えるウェーハ搬送装置であって、 前記案内支持手段は、前記ウェーハ搬送アーム側に形成
   された第１の案内路と、前記固定ベース側に形成された
   第２の案内路と、前記第１の案内路及び前記第２の案内
   路の間に介在されて転動する転動体とを有する、ことを
   特徴とするウェーハ搬送装置。
2. 【請求項２】前記第１の案内路及び前記第２の案内路
   は、Ｖ字断面をなして開口部がお互いに対向するように
   配置された第１の案内溝及び第２の案内溝からなり、 前記転動体は、前記第１の案内溝及び前記第２の案内溝
   を形成する面に接して転動する円筒状のクロスローラで
   ある、ことを特徴とする請求項１記載のウェーハ搬送装
   置。
3. 【請求項３】前記過負荷検知手段は、前記ウェーハ搬送
   アーム及び前記固定ベースの一方側に設けられた発光素
   子及び受光素子からなる光検知センサと、前記ウェーハ
   搬送アーム及び前記固定ベースの他方側に設けられて前
   記光検知センサの光を遮断し得る遮光板とを有する、こ
   とを特徴とする請求項１記載のウェーハ搬送装置。
4. 【請求項４】前記付勢手段は、前記ウェーハ搬送アーム
   と前記固定ベースとをお互いに引き寄せる引っ張りばね
   である、ことを特徴とする請求項１記載のウェーハ搬送
   装置。
5. 【請求項５】前記引っ張りばねの付勢力を調整する付勢
   力調整手段を有する、ことを特徴とする請求項４記載の
   ウェーハ搬送装置。
6. 【請求項６】前記付勢力調整手段は、前記引っ張りばね
   の一端部が係止されて前記ウェーハ搬送アーム及び前記
   固定ベースの一方に形成された保持部に位置付けられる
   ねじ部材と、前記ねじ部材のねじ部に螺合して前記保持
   部に対する前記ねじ部材の位置を調節するロックナット
   とを有する、ことを特徴とする請求項５記載のウェーハ
   搬送装置。