JP2000142417A - Carrying car - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工場のクリ
ーンルーム内に荷の搬送作業のために配備され、荷の収
容室を清浄に保つためのファンフィルタユニットを備え
た搬送車に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transport vehicle provided with a fan filter unit for keeping loads in a clean room of a factory for transporting loads, for example.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、半導体工場のクリーンルーム内に
おいて、液晶基板、半導体デバイス等の荷の搬送作業に
搬送車が使用されている。図４に示すように、搬送車４
１の本体４２には、荷４３を収容する収容室４４が備え
られている。収容室４４は、上部に設けたフィルタ４５
を介して送風ファン４６から供給される空気が清浄な空
気になって送り込まれて正圧に保持されている。2. Description of the Related Art In recent years, transport vehicles have been used for transporting loads such as liquid crystal substrates and semiconductor devices in a clean room of a semiconductor factory. As shown in FIG.
One main body 42 is provided with a storage chamber 44 for storing a load 43. The accommodation chamber 44 is provided with a filter 45 provided on the upper part.
The air supplied from the blower fan 46 is sent as clean air and is maintained at a positive pressure.
【０００３】従って、正圧に保持された収容室４４内に
粉塵が侵入することはない。そして、搬送車４１は粉塵
の侵入を遮断した収容室４４内に荷４３を収容してクリ
ーンルーム内を走行する。Accordingly, dust does not enter the storage chamber 44 maintained at a positive pressure. Then, the transport vehicle 41 accommodates the load 43 in the accommodation room 44 in which the intrusion of dust is blocked, and travels in the clean room.
【０００４】ところで、搬送車４１が走行するクリーン
ルーム内は、クリーンルーム内全体の清浄度を維持する
ために、天井から床に向かって気流（ダウンフロー）が
吹き付けられている。このダウンフローによって、床上
から粉塵がクリーンルーム内に舞い上がるのを防いでい
る。[0004] In the clean room where the carrier 41 travels, an airflow (downflow) is blown from the ceiling to the floor in order to maintain the cleanliness of the entire clean room. This downflow prevents dust from rising from the floor into the clean room.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、図４（ｂ）
に示すように、搬送車４１の走行中、進行方向と反対側
の搬送車４１の後方では矢印で示した渦を巻く乱気流が
発生する。この乱気流が発生している場所では、クリー
ンルーム内のダウンフローがこの乱気流によって乱され
て上から下に向かって流れない。その結果、床から粉塵
が舞い上がるおそれがある。However, FIG. 4 (b)
As shown in (2), during traveling of the carrier 41, a turbulent air swirling as indicated by an arrow is generated behind the carrier 41 on the side opposite to the traveling direction. In a place where the turbulence is generated, the downflow in the clean room is disturbed by the turbulence and does not flow downward from above. As a result, there is a possibility that dust will soar from the floor.
【０００６】従って、搬送車４１の走行中、進行方向と
反対側の搬送車４１の後方に発生する乱気流を抑圧して
粉塵の舞い上がりを抑制することが要求されている。本
発明の目的は、搬送車の走行中、進行方向と反対側の搬
送車本体の後方に発生する乱気流を抑圧して、クリーン
ルーム内の粉塵の舞い上がりを抑制することができる搬
送車を提供することにある。Therefore, it is required that the turbulence generated behind the transport vehicle 41 on the opposite side of the traveling direction during travel of the transport vehicle 41 be suppressed to suppress the soaring of dust. An object of the present invention is to provide a transport vehicle capable of suppressing turbulence generated behind a transport vehicle body on the opposite side to the traveling direction during travel of the transport vehicle, thereby suppressing soaring of dust in a clean room. It is in.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、荷を搬送車本体内に形
成した収容室内に収容し、搬送する搬送車において、搬
送車本体内の進行方向と反対側の後部に、走行中に後側
に発生する乱気流を搬送車本体内に導入し、吸収するた
めの空気吸引部材を設けたことを要旨とする。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to a transportation vehicle for storing and transporting a load in a storage room formed in a transportation vehicle body. The gist of the invention is that an air suction member is provided at a rear portion of the main body opposite to the traveling direction to introduce turbulence generated on the rear side during traveling into the main body of the vehicle and to absorb the turbulence.
【０００８】請求項２に記載の発明は、荷を搬送車本体
内に形成した収容室内に収容し、搬送する搬送車におい
て、搬送車本体内の進行方向と反対側の後側に、走行中
に後側に発生する乱気流を搬送車本体内に導入し、吸収
するとともに、前記収容室内を正圧に保持するために、
その搬送車本体内に導入した空気を収容室に送り込む空
気吸引部材を設けたことを要旨とする。[0010] According to a second aspect of the present invention, in a transport vehicle for storing and transporting a load in a storage chamber formed in the transport vehicle main body, the load is traveling rearward on the opposite side to the traveling direction in the transport vehicle main body. In order to introduce and absorb the turbulence generated on the rear side into the carrier body, and to maintain the accommodation chamber at a positive pressure,
The gist of the invention is to provide an air suction member for sending the air introduced into the carrier body into the storage chamber.
【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の搬送車において、前記空気吸引部材はフィルタを備
え、そのフィルタを介して収容室に空気を送り込むよう
にしたことを要旨とする。According to a third aspect of the present invention, in the transport vehicle according to the second aspect, the air suction member includes a filter, and air is supplied to the storage chamber through the filter. .
【００１０】請求項１に記載の発明によれば、走行中、
空気吸引部材が搬送車の後方の空気を搬送車本体内に導
入することから、搬送車の後方で発生する乱気流は抑制
される。その結果、例えばクリーンルーム内を搬送車が
走行する場合、その走行によって生じるクリーンルーム
内の気流の乱れを抑制することができる。According to the first aspect of the present invention, during traveling,
Since the air suction member introduces the air behind the transport vehicle into the transport vehicle body, turbulence generated behind the transport vehicle is suppressed. As a result, for example, when the transport vehicle travels in a clean room, it is possible to suppress the turbulence of the air flow in the clean room caused by the traveling.
【００１１】請求項２に記載の発明によれば、走行中、
空気吸引部材が搬送車の後方の空気を搬送車本体内に導
入することから、搬送車の後方で発生する乱気流は抑制
される。又、空気吸引部材は搬送車本体内に導入した空
気を収容室内に送り込み、同室内を正圧の状態にする。
その結果、１つの空気吸引部材によって、走行によって
生じる気流の乱れを抑制することができるとともに、収
容室内を正圧に保持することができる。According to the second aspect of the present invention, during traveling,
Since the air suction member introduces the air behind the transport vehicle into the transport vehicle body, turbulence generated behind the transport vehicle is suppressed. The air suction member sends air introduced into the main body of the carrier into the accommodation room, and makes the interior of the accommodation room a positive pressure state.
As a result, the turbulence of the airflow caused by traveling can be suppressed by one air suction member, and the accommodation chamber can be maintained at a positive pressure.
【００１２】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
の作用に加え、収容室内にはフィルタを介して正常な空
気が送り込まれる。According to the invention described in claim 3, according to claim 2,
In addition to the operation described above, normal air is sent into the accommodation chamber through the filter.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した搬送車
の一実施形態を図１〜図３に従って説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a carrier according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１４】図１及び図２に示すように、搬送車１は搬
送車本体２を本体カバー３によって覆設され、搬送車本
体２の中央部には荷を収容するための収容室４が設けら
れている。この収容室４の側面の本体カバー３には荷を
受け渡しするための受け渡し口５が形成されている。
又、この収容室４の下部には、底板６がその側面を本体
カバー３の内側面７に密接固定されている。底板６の中
央位置には駆動軸８が回動可能に設けられている。この
駆動軸８は±９０度回動するようになっている。この駆
動軸８の上部には、即ち収容室４内には荷を載置するた
めのフォーク装置９が固定されている。フォーク装置９
の下面には２本の支持腕１０が受け渡し口５に向かって
固着され、支持腕１０の先端部にはそれぞれシャッタ１
１が受け渡し口５を塞いで立設されている。これらのシ
ャッタ１１は、板状に形成されるとともに、その両端部
にくの字状に曲げられた屈曲部１２が形成され、それら
の屈曲部１２間には複数の排気孔１３が形成されてい
る。この際、受け渡し口５の側面とシャッタ１１の屈曲
部１２との間には間隙１４が形成される。この間隙１４
及び前記複数の排気孔１３は、収容室４内とクリーンル
ーム内とを連通している。As shown in FIGS. 1 and 2, the carrier 1 has a carrier body 2 covered by a main body cover 3, and an accommodation chamber 4 for accommodating a load is provided in the center of the carrier body 2. Have been. A transfer port 5 for transferring a load is formed in the main body cover 3 on the side surface of the storage chamber 4.
Further, a bottom plate 6 is closely fixed to the inner side surface 7 of the main body cover 3 at a lower portion of the storage chamber 4. A drive shaft 8 is rotatably provided at a central position of the bottom plate 6. The drive shaft 8 rotates ± 90 degrees. A fork device 9 for mounting a load is fixed to an upper portion of the drive shaft 8, that is, in the accommodation chamber 4. Fork device 9
Two support arms 10 are fixed to the lower surface of the support arm 10 toward the transfer port 5.
1 stands up so as to close the delivery port 5. These shutters 11 are formed in a plate shape, and have bent portions 12 bent in a V shape at both ends thereof, and a plurality of exhaust holes 13 are formed between the bent portions 12. I have. At this time, a gap 14 is formed between the side surface of the transfer port 5 and the bent portion 12 of the shutter 11. This gap 14
The plurality of exhaust holes 13 communicate the inside of the accommodation room 4 and the inside of the clean room.
【００１５】従って、走行中、搬送車１はシャッタ１１
によって受け渡し口５を塞ぐことができ、停車中は駆動
軸８を９０度回転させて両シャッタ１１間の開放側から
受け渡し口５を介してフォーク装置９上に荷の受け渡し
をすることができる。Accordingly, during traveling, the transport vehicle 1 is
Thus, the transfer shaft 5 can be closed, and while the vehicle is stopped, the drive shaft 8 can be rotated by 90 degrees, and the load can be transferred onto the fork device 9 via the transfer opening 5 from the open side between the two shutters 11.
【００１６】又、前記底板６の上面６ａの四隅にはそれ
ぞれ支柱１５が底板６に立設されている。対向する２本
の支柱１５のそれぞれの側面には遮蔽板１６が固定され
ている。これらの遮蔽板１６の両側面は本体カバー３の
内側面７に密接固定されるとともに、これらの遮蔽板１
６の上面は本体カバー３の上部の内側面７に密接固定さ
れている。更に、これらの遮蔽板１６の下面は前記底板
６の上面６ａに密接固定されている。At the four corners of the upper surface 6a of the bottom plate 6, columns 15 are respectively provided on the bottom plate 6. A shielding plate 16 is fixed to each side surface of the two opposing columns 15. Both side surfaces of these shielding plates 16 are closely fixed to the inner side surface 7 of the main body cover 3.
The upper surface of 6 is tightly fixed to the upper inner surface 7 of the main body cover 3. Further, the lower surfaces of these shielding plates 16 are closely fixed to the upper surface 6a of the bottom plate 6.
【００１７】図１及び図２に示した進行方向と反対側の
遮蔽板１６には、図３に示すように通風孔１７が形成さ
れている。この遮蔽板１６の進行方向と反対側の面には
その通風孔１７に覆設するフィルタファンユニット１８
が設けられている。The shielding plate 16 on the opposite side to the traveling direction shown in FIGS. 1 and 2 has ventilation holes 17 as shown in FIG. A filter fan unit 18 covering the ventilation hole 17 is provided on a surface of the shield plate 16 on the side opposite to the traveling direction.
Is provided.
【００１８】従って、収容室４は本体カバー３の内側面
７，両遮蔽板１６，底板６，両シャッタ１１及びフィル
タファンユニット１８によって囲まれ、複数の排気孔１
３及びシャッタ１１の屈曲部１２と受け渡し口５との間
の間隙１４のみによってクリーンルーム内に連通した閉
空間に形成されている。Accordingly, the accommodation chamber 4 is surrounded by the inner side surface 7 of the main body cover 3, the two shielding plates 16, the bottom plate 6, the two shutters 11, and the filter fan unit 18, and the plurality of exhaust holes 1 are provided.
3 and a gap 14 between the bent portion 12 of the shutter 11 and the transfer port 5 alone form a closed space communicating with the clean room.
【００１９】フィルタファンユニット１８は、フィルタ
１８ａ及び空気吸引部材としてのファン１８ｂを備えて
いる。このフィルタ１８ａは、前記通風孔１７に覆設さ
れ、吹き付けされた空気を清浄して通風孔１７介して収
容室４に送出するようになっている。フィルタ１８ａの
側面にはファン１８ｂが固着されている。ファン１８ｂ
は中央部に羽根１８ｃを備えており、搬送車１の走行
中、回転してその後方の空気を吸い込んでフィルタ１８
ａに吹き付けるようになっている。The filter fan unit 18 has a filter 18a and a fan 18b as an air suction member. The filter 18 a is covered by the ventilation hole 17, cleans the blown air, and sends it to the storage chamber 4 through the ventilation hole 17. A fan 18b is fixed to a side surface of the filter 18a. Fan 18b
Is provided with a blade 18c at a central portion thereof.
a.
【００２０】更に、図１及び図２に示すように、ファン
１８ｂの後方のファン１８ｂに相対する搬送車１の後面
１９には、複数の吸気孔２０が形成されている。この複
数の吸気孔２０は、搬送車本体２の内部とクリーンルー
ム内を連通している。Further, as shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of intake holes 20 are formed in the rear surface 19 of the transport vehicle 1 opposite to the fan 18b behind the fan 18b. The plurality of intake holes 20 communicate between the inside of the transport vehicle main body 2 and the inside of the clean room.
【００２１】従って、搬送車１の走行中、ファン１８ｂ
の羽根１８ｃが回転すると搬送車本体２の後方の空気
は、吸気孔２０を介してファン１８ｂに吸い込まれ、フ
ィルタ１８ａに吹き付けられる。フィルタ１８ａは、吹
き付けられた空気を清浄して収容室４内に送出する。収
容室４内に送り込まれた空気は、その空気圧によって閉
空間に形成された収容室４内を正圧にすることができ
る。そして、収容室４内に送り込まれた空気は両シャッ
タ１１の排気孔１３及び間隙１４を介してクリーンルー
ム内に排気される。Therefore, while the carrier 1 is traveling, the fan 18b
When the blade 18c rotates, the air behind the vehicle body 2 is sucked into the fan 18b through the intake hole 20, and is blown to the filter 18a. The filter 18a cleans the blown air and sends it into the storage chamber 4. The air sent into the accommodation room 4 can make the inside of the accommodation room 4 formed in the closed space a positive pressure by the air pressure. Then, the air sent into the storage chamber 4 is exhausted into the clean room through the exhaust holes 13 and the gaps 14 of both the shutters 11.
【００２２】本実施形態の搬送車１によれば、以下のよ
うな特徴を得ることができる。 （１）本実施形態では、搬送車１の走行中、ファン１８
ｂの羽根１８ｃが回転すると搬送車１の後方にある空気
は複数の吸気孔２０を介して搬送車本体２内に流れるた
め、搬送車１の後方に発生する乱気流は抑制される。According to the carrier 1 of the present embodiment, the following features can be obtained. (1) In the present embodiment, while the carrier 1 is traveling, the fan 18
When the blade 18c of b rotates, the air behind the carrier 1 flows through the plurality of intake holes 20 into the carrier main body 2, so that the turbulent airflow generated behind the carrier 1 is suppressed.
【００２３】従って、搬送車１の走行によって生じるク
リーンルーム内の気流の乱れを抑制することができ、ダ
ウンフローが正常に保たれる。その結果、床上の粉塵が
舞い上がるおそれが低減される。Therefore, the turbulence of the air flow in the clean room caused by the traveling of the transport vehicle 1 can be suppressed, and the down flow can be normally maintained. As a result, the possibility that dust on the floor soars is reduced.
【００２４】（２）本実施形態では、走行中、ファン１
８ｂは搬送車本体２内に導入した空気を収容室４内に送
り込み、同室内を正圧の状態にする。その結果、１つの
ファン１８ｂによって、走行によって生じる気流の乱れ
を抑制することができるとともに、収容室４内を正圧に
保持することができ、クリーンルーム内から収容室４内
に粉塵が入り込むことを防止することができる。(2) In this embodiment, during traveling, the fan 1
8b sends the air introduced into the carrier body 2 into the storage chamber 4 to bring the chamber into a positive pressure state. As a result, the turbulence of the airflow caused by traveling can be suppressed by one fan 18b, and the inside of the accommodation room 4 can be maintained at a positive pressure, so that dust can enter the accommodation room 4 from the clean room. Can be prevented.
【００２５】（３）本実施形態では、走行中、ファン１
８ｂに吸い込まれた空気はフィルタ１８ａを通して清浄
にされ、収容室４内に送り込まれる。その結果、収容室
４内の荷は清潔に保たれる。(3) In the present embodiment, during traveling, the fan 1
The air sucked into 8b is cleaned through the filter 18a and sent into the storage chamber 4. As a result, the load in the accommodation room 4 is kept clean.
【００２６】（４）本実施形態では、収容室４は閉空間
に形成されたので、収容室４に送り込まれた空気によっ
て、収容室４内はクリーンルーム内に対して正圧に保つ
ことができる。その結果、収容室４内にクリーンルーム
内から粉塵が入り込むことを防止することができる。(4) In the present embodiment, since the accommodation room 4 is formed in a closed space, the inside of the accommodation room 4 can be maintained at a positive pressure with respect to the clean room by the air sent into the accommodation room 4. . As a result, dust can be prevented from entering the storage room 4 from within the clean room.
【００２７】（５）本実施形態では、収容室４に送り込
まれた空気はシャッタ１１に形成された複数の排気孔１
３及びシャッタ１１の屈曲部１２と受け渡し口５との間
に形成された間隙１４から僅かずつ排気されるため、収
容室４内の圧力はクリーンルーム内に対して正圧に保つ
ことができる。その結果、収容室４内にクリーンルーム
内から粉塵が入り込むことを防止することができる。(5) In this embodiment, the air sent into the storage chamber 4 is supplied to the plurality of exhaust holes 1 formed in the shutter 11.
Since the air is evacuated little by little from the gap 3 formed between the transfer port 3 and the bent portion 12 of the shutter 11 and the transfer port 5, the pressure in the storage chamber 4 can be maintained at a positive pressure with respect to the clean room. As a result, dust can be prevented from entering the storage room 4 from within the clean room.
【００２８】なお、本発明の実施形態は以下のように変
更してもよい。 ○ファンフィルタユニットを搬送車本体２の後側にのみ
設けたが、これを搬送車本体２の前側にも設けてよい。
このような構成にした場合、搬送車１が前後２方向に進
行できる場合、進行方向に対して後側のファンフィルタ
ユニットのみを作動させる。The embodiment of the present invention may be modified as follows. Although the fan filter unit is provided only on the rear side of the carrier body 2, it may be provided on the front side of the carrier body 2.
In such a configuration, when the transport vehicle 1 can travel in two front and rear directions, only the fan filter unit on the rear side in the traveling direction is operated.
【００２９】○シャッタ１１に複数の排気孔１３を設け
たが、これは収容室４に面した搬送車本体２の側面のど
こに設けてもよい。 ○ファンフィルタユニットにて、フィルタ１８ａの後方
にファン１８ｂを設けたが、フィルタ１８ａの前方、即
ち収容室４側にファン１８ｂを設けてもよい。The shutter 11 is provided with a plurality of exhaust holes 13, but may be provided anywhere on the side surface of the carrier body 2 facing the storage chamber 4. In the fan filter unit, the fan 18b is provided behind the filter 18a, but the fan 18b may be provided in front of the filter 18a, that is, on the storage chamber 4 side.
【００３０】○本実施形態では、クリーンルーム内の床
上を走行する搬送車１に具体化したが、クリーンルーム
内であれば天井、又は空間等を走行する搬送車１に応用
してもよい。In the present embodiment, the carrier 1 travels on the floor in a clean room. However, the invention may be applied to a carrier 1 traveling on a ceiling or a space in a clean room.
【００３１】次に、前記実施形態及び別例から把握でき
る請求項に記載した発明以外の技術的思想について、そ
れらの効果と共に以下に記載する。 （１）請求項３に記載の搬送車１において、前記収容室
４は、閉空間に形成されたことを特徴とする搬送車。Next, technical ideas other than the invention described in the above-described embodiments and other examples which can be understood from the claims will be described below together with their effects. (1) The carrier according to claim 3, wherein the storage chamber (4) is formed in a closed space.
【００３２】（２）請求項３に記載の搬送車１におい
て、前記収容室４は、複数の排気孔１３及び間隙１４に
よってクリーンルーム内と連通したことを特徴とする搬
送車。(2) The transport vehicle according to claim 3, wherein the storage chamber (4) communicates with the inside of the clean room through a plurality of exhaust holes (13) and gaps (14).
【００３３】従って、この（１），（２）に記載の発明
によれば、外側から粉塵が入り込むことを防止すること
ができる。Therefore, according to the inventions described in (1) and (2), dust can be prevented from entering from the outside.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、床上の粉塵が舞い上がるおそれが低減さ
れる。As described above in detail, according to the first aspect of the present invention, the possibility that dust on the floor soars can be reduced.
【００３５】請求項２に記載の発明によれば、クリーン
ルーム内から収容室内に粉塵が入り込むことを防止する
ことができる。請求項３に記載の発明によれば、収容室
内の荷は清潔に保たれる。According to the second aspect of the present invention, it is possible to prevent dust from entering the storage room from inside the clean room. According to the invention described in claim 3, the load in the accommodation room is kept clean.
【図１】 本実施形態における搬送車の切り欠け正面
図。FIG. 1 is a cutaway front view of a carrier according to an embodiment.
【図２】 同じく搬送車の切り欠け平面図。FIG. 2 is a cutaway plan view of the carrier.
【図３】 同じく搬送車の切り欠け側面図。FIG. 3 is a cutaway side view of the transportation vehicle.
【図４】 （ａ）は従来の搬送車の切り欠け側面図、
（ｂ）は従来の搬送車の平面図。FIG. 4A is a cutaway side view of a conventional carrier,
(B) is a plan view of a conventional carrier.
１…搬送車、２…搬送車本体、４…収容室、１８ａ…フ
ィルタ、１８ｂ…空気吸引部材としてのファン。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transport vehicle, 2 ... Transport vehicle main body, 4 ... Accommodation chamber, 18a ... Filter, 18b ... Fan as an air suction member.
Claims (3)
収容し、搬送する搬送車において、 搬送車本体内の進行方向と反対側の後部に、走行中に後
側に発生する乱気流を搬送車本体内に導入し、吸収する
ための空気吸引部材を設けた搬送車。A transport vehicle for storing and transporting a load in a storage chamber formed in a transport vehicle main body, wherein a turbulent airflow generated in a rear portion of the transport vehicle main body at a rear side opposite to a traveling direction is generated. A transport vehicle provided with an air suction member for introduction and absorption in the transport vehicle body.
収容し、搬送する搬送車において、 搬送車本体内の進行方向と反対側の後部に、走行中に後
側に発生する乱気流を搬送車本体内に導入し、吸収する
とともに、前記収容室内を正圧に保持するために、その
搬送車本体内に導入した空気を収容室に送り込む空気吸
引部材を設けた搬送車。2. A transport vehicle for storing and transporting a load in a storage chamber formed in a transport vehicle main body, wherein a turbulent airflow generated in a rear portion of the transport vehicle main body at a rear side opposite to the traveling direction is generated. A transport vehicle provided with an air suction member for introducing air into the transport vehicle main body, absorbing the air, and sending air introduced into the transport vehicle main body to the storage chamber in order to maintain the storage chamber at a positive pressure.
して収容室に空気を送り込むようにした搬送車。3. The carrier according to claim 2, wherein the air suction member includes a filter, and the air is supplied to the storage chamber through the filter.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP31350398A JP3351362B2 (en) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | Carrier |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP31350398A JP3351362B2 (en) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | Carrier |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1998
- 1998-11-04 JP JP31350398A patent/JP3351362B2/en not_active Expired - Fee Related
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