JP2000138407A - 多層膜ミラー - Google Patents
多層膜ミラーInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ５００〜７７０ｎｍの波長帯域を有する光パ
ルスの幅を数〜数十ｆｓオーダに圧縮可能な多層膜ミラ
ーを提供する。 【解決手段】 この多層膜ミラーによれば、最外膜４０
が低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射
された場合においても、照射による最外膜の電界集中を
減少させて、その破壊を抑制することができる。前記帯
域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも
大きくなるように設定するため、最外膜４０直下の膜の
屈折率これよりも高くし、光学膜厚がこれよりも薄くし
た。光学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜
ミラーは、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域
を有することができる。この帯域は、従来の多層膜ミラ
ーのものよりも著しく広いため、広帯域反射光のチャー
プ補償を行うことができる。
ルスの幅を数〜数十ｆｓオーダに圧縮可能な多層膜ミラ
ーを提供する。 【解決手段】 この多層膜ミラーによれば、最外膜４０
が低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射
された場合においても、照射による最外膜の電界集中を
減少させて、その破壊を抑制することができる。前記帯
域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも
大きくなるように設定するため、最外膜４０直下の膜の
屈折率これよりも高くし、光学膜厚がこれよりも薄くし
た。光学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜
ミラーは、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域
を有することができる。この帯域は、従来の多層膜ミラ
ーのものよりも著しく広いため、広帯域反射光のチャー
プ補償を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光のパルス
圧縮等に用いることが可能な多層膜ミラーに関する。
圧縮等に用いることが可能な多層膜ミラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】フェムト秒（ｆｓ）オーダのパルス幅を
有する超短パルス光は、種々の計測技術や加工技術への
応用が期待されている。また、超短パルス光の帯域が広
ければ、その応用範囲も広くなる。
有する超短パルス光は、種々の計測技術や加工技術への
応用が期待されている。また、超短パルス光の帯域が広
ければ、その応用範囲も広くなる。
【０００３】広帯域の光は光非線形媒質に高強度の光を
入射させることによって生成することができる。すなわ
ち、光非線形媒質の屈折率は光強度によって変化する。
光非線形媒質に高強度の光が入射すると、自己位相変調
（ＳＰＭ）、すなわち媒質の屈折率変化に伴う光の位相
速度変化が生じ、非線形媒質からの出射光は複数の波長
成分を有する白色光となる。このようにして得られた白
色光を増幅させる手段として光パラメトリック増幅（Ｏ
ＰＡ）がある。ＯＰＡにおいて信号光と励起光を非線形
光学結晶中で非平行に位相整合させる非平行光パラメト
リック増幅では、例えばチタンサファイアレーザーの２
倍波を励起光とすれば、可視域に４０００ｃｍ-1から最
大６０００ｃｍ-1もの広帯域な超短パルス光を発生させ
ることができる。
入射させることによって生成することができる。すなわ
ち、光非線形媒質の屈折率は光強度によって変化する。
光非線形媒質に高強度の光が入射すると、自己位相変調
（ＳＰＭ）、すなわち媒質の屈折率変化に伴う光の位相
速度変化が生じ、非線形媒質からの出射光は複数の波長
成分を有する白色光となる。このようにして得られた白
色光を増幅させる手段として光パラメトリック増幅（Ｏ
ＰＡ）がある。ＯＰＡにおいて信号光と励起光を非線形
光学結晶中で非平行に位相整合させる非平行光パラメト
リック増幅では、例えばチタンサファイアレーザーの２
倍波を励起光とすれば、可視域に４０００ｃｍ-1から最
大６０００ｃｍ-1もの広帯域な超短パルス光を発生させ
ることができる。
【０００４】このような白色光の超短パルス光は、個々
の波長成分を有する単一波長パルス光の重ね合わせと捉
えることができる。この白色光の超短パルス光は、群速
度分散（ＧＶＤ）、すなわち波長成分毎の群速度の相違
のために、非線形光学結晶や空気などの分散媒質により
周波数チャープを受け、光が進行するに従ってパルス幅
が広がってしまう。広がったパルス幅を圧縮するために
は、低速の波長成分を進ませ、高速の波長成分を遅らせ
ればよい。これにより、個々の波長成分を有するパルス
が同一時間内に重複する比率が高くなり、結果的にパル
ス幅が狭くなる。
の波長成分を有する単一波長パルス光の重ね合わせと捉
えることができる。この白色光の超短パルス光は、群速
度分散（ＧＶＤ）、すなわち波長成分毎の群速度の相違
のために、非線形光学結晶や空気などの分散媒質により
周波数チャープを受け、光が進行するに従ってパルス幅
が広がってしまう。広がったパルス幅を圧縮するために
は、低速の波長成分を進ませ、高速の波長成分を遅らせ
ればよい。これにより、個々の波長成分を有するパルス
が同一時間内に重複する比率が高くなり、結果的にパル
ス幅が狭くなる。
【０００５】上述の群速度分散補償、換言すれば周波数
チャープ補償を行う光学系は種々考えられているが、そ
の中で誘電体多層膜ミラーを用いたものは損失や寸法の
観点から見れば他のものよりも優れている。このような
誘電体多層膜ミラーは、特許第２７５４２１４号及び米
国特許５７３４５０３号に記載されている。
チャープ補償を行う光学系は種々考えられているが、そ
の中で誘電体多層膜ミラーを用いたものは損失や寸法の
観点から見れば他のものよりも優れている。このような
誘電体多層膜ミラーは、特許第２７５４２１４号及び米
国特許５７３４５０３号に記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特許第
２７５４２１４号に記載のミラーは反射帯域に比して周
波数チャープ補償に用いられる帯域が狭く、米国特許５
７３４５０３号に記載のミラーは波長７２０ｎｍ〜８９
０ｎｍの周波数チャープ補償を行うことができるが、そ
の周波数帯域は２７００ｃｍ-1程度と狭い。すなわち、
いずれのミラーもその性能は未だ十分ではなく、これら
のミラーでは、ＯＰＡの４０００ｃｍ-1を超える周波数
帯域を有する光パルスを高反射効率で数〜数十ｆｓオー
ダのパルス幅に圧縮することは困難である。
２７５４２１４号に記載のミラーは反射帯域に比して周
波数チャープ補償に用いられる帯域が狭く、米国特許５
７３４５０３号に記載のミラーは波長７２０ｎｍ〜８９
０ｎｍの周波数チャープ補償を行うことができるが、そ
の周波数帯域は２７００ｃｍ-1程度と狭い。すなわち、
いずれのミラーもその性能は未だ十分ではなく、これら
のミラーでは、ＯＰＡの４０００ｃｍ-1を超える周波数
帯域を有する光パルスを高反射効率で数〜数十ｆｓオー
ダのパルス幅に圧縮することは困難である。
【０００７】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、可視域、特に５００ｎｍ〜７７０ｎｍの
波長帯域を有する光パルスの幅を数〜数十ｆｓオーダに
圧縮可能な多層膜ミラーを提供することを目的とする。
たものであり、可視域、特に５００ｎｍ〜７７０ｎｍの
波長帯域を有する光パルスの幅を数〜数十ｆｓオーダに
圧縮可能な多層膜ミラーを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る多層膜ミラーは、屈折率の異なる複数
の誘電体膜を基板上に積層してなる多層膜ミラーにおい
て、可視光帯域における反射率が９５％以上であって、
その露出面を構成する最外膜の屈折率がこの最外膜直下
の膜の屈折率よりも低く、且つ、前記帯域内の長波長成
分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも大きくなるよう
に、前記最外膜を含む前記誘電体膜各膜の光学膜厚が設
定されていることを特徴とする。
め、本発明に係る多層膜ミラーは、屈折率の異なる複数
の誘電体膜を基板上に積層してなる多層膜ミラーにおい
て、可視光帯域における反射率が９５％以上であって、
その露出面を構成する最外膜の屈折率がこの最外膜直下
の膜の屈折率よりも低く、且つ、前記帯域内の長波長成
分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも大きくなるよう
に、前記最外膜を含む前記誘電体膜各膜の光学膜厚が設
定されていることを特徴とする。
【０００９】本発明の多層膜ミラーによれば、最外膜が
低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射さ
れた場合においても、照射による最外膜の電界集中を減
少させて、その破壊を抑制することができる。この場
合、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように設定するためには、少なく
とも最外膜直下の膜の屈折率がこれよりも高く、且つ、
光学膜厚がこれよりも薄いことが好ましい。そして、光
学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜ミラー
は、反射光波長帯域５００ｎｍ〜７７０ｎｍ、換言すれ
ば、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域を有す
ることができる。この帯域は、従来の多層膜ミラーのも
のよりも著しく広いため、広帯域光のチャープ補償を行
うことができる。
低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射さ
れた場合においても、照射による最外膜の電界集中を減
少させて、その破壊を抑制することができる。この場
合、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように設定するためには、少なく
とも最外膜直下の膜の屈折率がこれよりも高く、且つ、
光学膜厚がこれよりも薄いことが好ましい。そして、光
学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜ミラー
は、反射光波長帯域５００ｎｍ〜７７０ｎｍ、換言すれ
ば、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域を有す
ることができる。この帯域は、従来の多層膜ミラーのも
のよりも著しく広いため、広帯域光のチャープ補償を行
うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態に係る多層膜ミ
ラー及び広帯域レーザについて説明する。同一要素又は
同一機能を有する要素には同一符号を用いるものとし、
重複する説明は省略する。
ラー及び広帯域レーザについて説明する。同一要素又は
同一機能を有する要素には同一符号を用いるものとし、
重複する説明は省略する。
【００１１】図１は、第１実施形態に係る多層膜ミラー
の断面構成図である。この多層膜ミラーは、ガラス基板
ＳＢと基板ＳＢ上に形成された多層膜ＭＬとからなる。
多層膜ＭＬは、屈折率の異なる２種類の誘電体膜を交互
に積層してなる。本実施の形態においては、多層膜ＭＬ
の層数Ｎ＝４０である。基板ＳＢ側から奇数番目の誘電
体膜１，３，５，７・・・３９は高屈折率膜（Ｈ）であ
り、偶数番目の誘電体膜２，４，６，８・・・４０は、
低屈折率膜（Ｌ）である。高屈折率膜（Ｈ）は、ＴｉＯ
2であり、低屈折率膜（Ｌ）はＳｉＯ2である。上記ガラ
ス基板ＳＢ、ＴｉＯ2、及びＳｉＯ2の屈折率ｎ0、ｎ1、
ｎ2は、それぞれ、１．５２、２．３５、１．４６であ
る。最外膜４０は空気に露出しており、その露出表面は
屈折率ｎAIR＝１．０の空気と最外膜４０との間の界面
を構成する。
の断面構成図である。この多層膜ミラーは、ガラス基板
ＳＢと基板ＳＢ上に形成された多層膜ＭＬとからなる。
多層膜ＭＬは、屈折率の異なる２種類の誘電体膜を交互
に積層してなる。本実施の形態においては、多層膜ＭＬ
の層数Ｎ＝４０である。基板ＳＢ側から奇数番目の誘電
体膜１，３，５，７・・・３９は高屈折率膜（Ｈ）であ
り、偶数番目の誘電体膜２，４，６，８・・・４０は、
低屈折率膜（Ｌ）である。高屈折率膜（Ｈ）は、ＴｉＯ
2であり、低屈折率膜（Ｌ）はＳｉＯ2である。上記ガラ
ス基板ＳＢ、ＴｉＯ2、及びＳｉＯ2の屈折率ｎ0、ｎ1、
ｎ2は、それぞれ、１．５２、２．３５、１．４６であ
る。最外膜４０は空気に露出しており、その露出表面は
屈折率ｎAIR＝１．０の空気と最外膜４０との間の界面
を構成する。
【００１２】図２は、第１実施形態に係る各膜の光学膜
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示す。また、光学膜厚とは、各膜の屈折率ｎと厚み
ｄの積（ｎ×ｄ）である。
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示す。また、光学膜厚とは、各膜の屈折率ｎと厚み
ｄの積（ｎ×ｄ）である。
【００１３】図３は、図２に示した多層膜各膜の番号
１，２・・・４０と光学膜厚（ｎｍ）との関係を示すグ
ラフである。なお、グラフ中の実線は膜厚近似曲線を示
し、空気側から基板側へ向かう方向を正方向とすると、
この曲線は概ね二次関数を示す。
１，２・・・４０と光学膜厚（ｎｍ）との関係を示すグ
ラフである。なお、グラフ中の実線は膜厚近似曲線を示
し、空気側から基板側へ向かう方向を正方向とすると、
この曲線は概ね二次関数を示す。
【００１４】図４は、図２に示した多層膜ミラーによる
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜７
５０ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は１０〜１５ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２８ｆｓの
範囲にある。
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜７
５０ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は１０〜１５ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２８ｆｓの
範囲にある。
【００１５】本多層膜ミラーにおいては、入射した光の
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
【００１６】図５は、第２実施形態に係る各膜の光学膜
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝５４である。
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝５４である。
【００１７】図６は、図５に示した多層膜ミラーによる
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜８
００ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあり、
波長７００ｎｍにおける群遅延は２０〜２５ｆｓの範囲
にある。
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜８
００ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあり、
波長７００ｎｍにおける群遅延は２０〜２５ｆｓの範囲
にある。
【００１８】本多層膜ミラーにおいても、入射した光の
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
【００１９】図７は、第３実施形態に係る各膜の光学膜
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝５６である。
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝５６である。
【００２０】図８は、図７に示した多層膜ミラーによる
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜８
００ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は１３〜１８ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２０〜２５ｆｓの
範囲にある。
反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグ
ラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜８
００ｎｍにおいて、傾き０．０５〜０．１５（ｆｓ／ｎ
ｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５００
ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長６
００ｎｍにおける群遅延は１３〜１８ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２０〜２５ｆｓの
範囲にある。
【００２１】本多層膜ミラーにおいても、入射した光の
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
【００２２】図９は、第４実施形態に係る各膜の光学膜
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝４０である。
厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表である。
なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層目の
膜を示し、層数Ｎ＝４０である。
【００２３】図１０は、図９に示した多層膜ミラーによ
る反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示す
グラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜
７７０ｎｍにおいて、傾き０．１５〜０．１９（ｆｓ／
ｎｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５０
０ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長
６００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２７ｆｓの
範囲にある。
る反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示す
グラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ〜
７７０ｎｍにおいて、傾き０．１５〜０．１９（ｆｓ／
ｎｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５０
０ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波長
６００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２７ｆｓの
範囲にある。
【００２４】本多層膜ミラーにおいても、入射した光の
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
【００２５】図１１は、第５実施形態に係る各膜の光学
膜厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表であ
る。なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層
目の膜を示し、層数Ｎ＝４０である。
膜厚（ｎｍ）及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表であ
る。なお、同表は下から順に１層目、２層目・・・Ｎ層
目の膜を示し、層数Ｎ＝４０である。
【００２６】図１２は、図１１に示した多層膜ミラーに
よる反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示
すグラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ
〜７７０ｎｍにおいて、傾き０．１５〜０．１９（ｆｓ
／ｎｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５
００ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波
長６００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２７ｆｓの
範囲にある。
よる反射光波長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示
すグラフである。本ミラーにおいては、波長５００ｎｍ
〜７７０ｎｍにおいて、傾き０．１５〜０．１９（ｆｓ
／ｎｍ）で群遅延が単調に増加している。また、波長５
００ｎｍにおける群遅延は０〜５ｆｓの範囲にあり、波
長６００ｎｍにおける群遅延は５〜１０ｆｓの範囲にあ
り、波長７００ｎｍにおける群遅延は２３〜２７ｆｓの
範囲にある。
【００２７】本多層膜ミラーにおいても、入射した光の
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
長波長成分の群速度を短波長成分の群速度に対して相対
的に遅らせるので、分散媒質によってパルス幅が広がっ
たレーザ光のパルス幅を圧縮することができる。
【００２８】上記第１〜第５実施形態に係る多層膜ミラ
ーは、屈折率の異なる複数の誘電体膜をガラス基板ＳＢ
上に積層してなる多層膜ミラーにおいて、可視光帯域、
特に波長５００ｎｍ〜７５０ｎｍの帯域における反射率
が９５％以上であって、その露出面を構成する最外膜の
屈折率がこの最外膜直下の膜の屈折率よりも低く、且
つ、この帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように、最外膜を含む誘電体膜各
膜の光学膜厚が設定されている。
ーは、屈折率の異なる複数の誘電体膜をガラス基板ＳＢ
上に積層してなる多層膜ミラーにおいて、可視光帯域、
特に波長５００ｎｍ〜７５０ｎｍの帯域における反射率
が９５％以上であって、その露出面を構成する最外膜の
屈折率がこの最外膜直下の膜の屈折率よりも低く、且
つ、この帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように、最外膜を含む誘電体膜各
膜の光学膜厚が設定されている。
【００２９】これらの多層膜ミラーによれば、最外膜が
低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射さ
れた場合においても、照射による最外膜の電界集中を減
少させて、その破壊を抑制することができる。この場
合、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように設定するためには、少なく
とも最外膜直下の膜の屈折率がこれよりも高く、且つ、
光学膜厚がこれよりも薄いことが好ましい。そして、光
学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜ミラー
は、反射光波長帯域５００ｎｍ〜７７０ｎｍ、換言すれ
ば、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域を有す
ることができる。この帯域は、従来の多層膜ミラーのも
のよりも著しく広いため、広帯域反射光のチャープ補償
を行うことができる。
低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射さ
れた場合においても、照射による最外膜の電界集中を減
少させて、その破壊を抑制することができる。この場
合、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群
遅延よりも大きくなるように設定するためには、少なく
とも最外膜直下の膜の屈折率がこれよりも高く、且つ、
光学膜厚がこれよりも薄いことが好ましい。そして、光
学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜ミラー
は、反射光波長帯域５００ｎｍ〜７７０ｎｍ、換言すれ
ば、最大で７０００ｃｍ-1超の反射光周波数帯域を有す
ることができる。この帯域は、従来の多層膜ミラーのも
のよりも著しく広いため、広帯域反射光のチャープ補償
を行うことができる。
【００３０】なお、図１４は、上記光学膜厚を設定する
ために用いるための式（１）〜（９）を示す表である。
設定の手順は以下の通りである。
ために用いるための式（１）〜（９）を示す表である。
設定の手順は以下の通りである。
【００３１】式（８）に示される反射率Ｒが、波長帯域
５００ｎｍ〜７７０ｎｍ内のそれぞれの光に対して９５
％以上となるように設定される。
５００ｎｍ〜７７０ｎｍ内のそれぞれの光に対して９５
％以上となるように設定される。
【００３２】式（９）に示されるΦは、その１階周波数
微分が群遅延（ＧＤ）を、２階周波数微分が群遅延分散
（ＧＤＤ）を示す変数、換言すれば複素振幅反射率Ｒの
偏角であり、上記波長帯域５００ｎｍ〜７５０ｎｍにお
いて、この群遅延ＧＤは波長に対して単調増加するよう
に設定される。なお、Ｒ及びΦ（ＧＤ）は波長依存性を
有するので、帯域内のそれぞれの波長毎に演算を行う。
微分が群遅延（ＧＤ）を、２階周波数微分が群遅延分散
（ＧＤＤ）を示す変数、換言すれば複素振幅反射率Ｒの
偏角であり、上記波長帯域５００ｎｍ〜７５０ｎｍにお
いて、この群遅延ＧＤは波長に対して単調増加するよう
に設定される。なお、Ｒ及びΦ（ＧＤ）は波長依存性を
有するので、帯域内のそれぞれの波長毎に演算を行う。
【００３３】Ｒ及びΦは、ｋ層目の複素振幅反射率γ
k+1 kが求められれば算出できる。第１層目の複素振幅
反射率γ21、第２層目の複素振幅反射率γ32は、それぞ
れ式（４）及び（５）から算出される。なお、第ｋ層目
の複素振幅反射率γk+1 kは、式（６）から算出され
る。なお、これらの式におけるフレネル係数ｒは、ｊ番
目の膜の屈折率をｎjとすると、屈折率の式（２）から
算出され、式中のδはｊ番目の光の入射角をθj、ｊ番
目の膜の膜の厚みをｄj、入射光波長をλとすると、式
（１）で与えられる。なお、複素振幅反射率γ10は式
（３）で与えられ、θjを与えるｃｏｓθjは式（７）で
与えられる。なお、ｎairは入射媒体の屈折率であっ
て、本例では空気であるためｎair≒１．０であり、θ
airは入射界面の光の入射角度、すなわち、ミラーに対
する光の入射角度である。以上の設定を満たすように計
算を行うと、上記３つの実施形態に係る多層膜ミラーを
得ることができる。
k+1 kが求められれば算出できる。第１層目の複素振幅
反射率γ21、第２層目の複素振幅反射率γ32は、それぞ
れ式（４）及び（５）から算出される。なお、第ｋ層目
の複素振幅反射率γk+1 kは、式（６）から算出され
る。なお、これらの式におけるフレネル係数ｒは、ｊ番
目の膜の屈折率をｎjとすると、屈折率の式（２）から
算出され、式中のδはｊ番目の光の入射角をθj、ｊ番
目の膜の膜の厚みをｄj、入射光波長をλとすると、式
（１）で与えられる。なお、複素振幅反射率γ10は式
（３）で与えられ、θjを与えるｃｏｓθjは式（７）で
与えられる。なお、ｎairは入射媒体の屈折率であっ
て、本例では空気であるためｎair≒１．０であり、θ
airは入射界面の光の入射角度、すなわち、ミラーに対
する光の入射角度である。以上の設定を満たすように計
算を行うと、上記３つの実施形態に係る多層膜ミラーを
得ることができる。
【００３４】図１３は、上記いずれかの多層膜ミラーを
用いた広帯域レーザのシステム構成図である。この広帯
域レーザは、１対の上記多層膜ミラー１００ａ，１００
ｂを備えており、チャープ補償を行っている。
用いた広帯域レーザのシステム構成図である。この広帯
域レーザは、１対の上記多層膜ミラー１００ａ，１００
ｂを備えており、チャープ補償を行っている。
【００３５】この広帯域レーザは、波長７９０ｎｍのレ
ーザ光を出射するチタンサファイアレーザからなるレー
ザ光源１０１を備えている。レーザ光源１０１から出射
されるレーザ光は、パルス幅１３０ｆｓ、光強度４００
μＪ、繰り返し周波数１ｋＨｚを有する。
ーザ光を出射するチタンサファイアレーザからなるレー
ザ光源１０１を備えている。レーザ光源１０１から出射
されるレーザ光は、パルス幅１３０ｆｓ、光強度４００
μＪ、繰り返し周波数１ｋＨｚを有する。
【００３６】このレーザ光は、ビームスプリッタＢＳに
よって２つに分割され、分割された光の一方は可変ＮＤ
フィルタ（アッテネータ）１０２、レンズ１０３、通過
するレーザ光の波長帯域を少なくとも５００ｎｍ〜８０
０ｎｍに広げるサファイア基板１０４、ミラー１０５、
ミラー１０６、１０７、光学フィルタ１０８、ミラー１
０９、ミラー１１１を介し、信号光として非線形光学結
晶（ＢＢＯ）１１２に入射される。なお、光学フィルタ
１０８は、波長５００ｎｍ〜８００ｎｍのレーザ光から
波長７５０ｎｍ以下のレーザ光を選択する光学フィルタ
１０８であり、非線形光学結晶１１２には５００ｎｍ〜
７５０ｎｍの信号光が入射される。
よって２つに分割され、分割された光の一方は可変ＮＤ
フィルタ（アッテネータ）１０２、レンズ１０３、通過
するレーザ光の波長帯域を少なくとも５００ｎｍ〜８０
０ｎｍに広げるサファイア基板１０４、ミラー１０５、
ミラー１０６、１０７、光学フィルタ１０８、ミラー１
０９、ミラー１１１を介し、信号光として非線形光学結
晶（ＢＢＯ）１１２に入射される。なお、光学フィルタ
１０８は、波長５００ｎｍ〜８００ｎｍのレーザ光から
波長７５０ｎｍ以下のレーザ光を選択する光学フィルタ
１０８であり、非線形光学結晶１１２には５００ｎｍ〜
７５０ｎｍの信号光が入射される。
【００３７】分割された光の他方は、ミラー２０１、レ
ンズ２０２、非線形光学結晶（ＬｉＢ3Ｏ4）２０３、レ
ンズ２０４、第２高調波である波長３９５ｎｍの光を反
射し基本波である波長７９０ｎｍの光を透過するハーモ
ニックセパレータ２０５、プリズム２０６、レンズ２０
７、２０８を介し、波長３９５ｎｍの励起光として非線
形光学結晶１１２に入射される。なお、信号光と励起光
の偏光方位は直交している。
ンズ２０２、非線形光学結晶（ＬｉＢ3Ｏ4）２０３、レ
ンズ２０４、第２高調波である波長３９５ｎｍの光を反
射し基本波である波長７９０ｎｍの光を透過するハーモ
ニックセパレータ２０５、プリズム２０６、レンズ２０
７、２０８を介し、波長３９５ｎｍの励起光として非線
形光学結晶１１２に入射される。なお、信号光と励起光
の偏光方位は直交している。
【００３８】励起光の照射によって非線形光学結晶１１
２が励起されている間に、信号光がこれに入射すると、
この信号光は光パラメトリック効果によって増幅され
る。なお、増幅された信号光が波長５５０ｎｍ〜７００
ｎｍの波長帯域を有するように、光路長調整用ミラー１
０７の位置決めが行われている。増幅された信号光は、
ミラー１１３ａにより反射され、再び非線形光学結晶１
１２に入射する。この時、非線形光学結晶１１２を通過
した励起光もミラー１１３ｂにより反射され再び非線形
光学結晶１１２に入射する。これにより信号光は再び増
幅され、ミラー１１１で反射されてミラー１１０に入射
する。この時ミラー１１３ａは縦方向に若干傾いている
ため光路が空間的に分離され、ミラー１１０は、増幅さ
れた信号光を反射し、反射された信号光はミラー１１
４、１１５、ペリスコープＰＳ、ミラー１１７を介して
プリズム対３００ａ，３００ｂに入射する。
２が励起されている間に、信号光がこれに入射すると、
この信号光は光パラメトリック効果によって増幅され
る。なお、増幅された信号光が波長５５０ｎｍ〜７００
ｎｍの波長帯域を有するように、光路長調整用ミラー１
０７の位置決めが行われている。増幅された信号光は、
ミラー１１３ａにより反射され、再び非線形光学結晶１
１２に入射する。この時、非線形光学結晶１１２を通過
した励起光もミラー１１３ｂにより反射され再び非線形
光学結晶１１２に入射する。これにより信号光は再び増
幅され、ミラー１１１で反射されてミラー１１０に入射
する。この時ミラー１１３ａは縦方向に若干傾いている
ため光路が空間的に分離され、ミラー１１０は、増幅さ
れた信号光を反射し、反射された信号光はミラー１１
４、１１５、ペリスコープＰＳ、ミラー１１７を介して
プリズム対３００ａ，３００ｂに入射する。
【００３９】増幅された信号光（波長５５０ｎｍ〜７０
０ｎｍ）は、この時点までの経路の通過によって、群遅
延分散を有している。プリズム対３００ａ，３００ｂ
は、この分散を若干補償し、補償された信号光はミラー
１１７を介することなくその側部を通過して多層膜ミラ
ー対１００ａ，１００ｂに入射する。ここで、入射する
レーザ光の帯域（波長５５０ｎｍ〜７００ｎｍ）は、多
層膜ミラー１００ａ，１００ｂの反射帯域（波長５００
ｎｍ〜７７０ｎｍ）よりも狭いため、反射光は効率的に
チャープ補償される。
０ｎｍ）は、この時点までの経路の通過によって、群遅
延分散を有している。プリズム対３００ａ，３００ｂ
は、この分散を若干補償し、補償された信号光はミラー
１１７を介することなくその側部を通過して多層膜ミラ
ー対１００ａ，１００ｂに入射する。ここで、入射する
レーザ光の帯域（波長５５０ｎｍ〜７００ｎｍ）は、多
層膜ミラー１００ａ，１００ｂの反射帯域（波長５００
ｎｍ〜７７０ｎｍ）よりも狭いため、反射光は効率的に
チャープ補償される。
【００４０】多層膜ミラー１００ａ，１００ｂは、互い
に平行に配置されており、多層膜ミラー１００ａのへの
光の入射角は４５度以内に設定されている。信号光は多
層膜ミラー対１００ａ，１００ｂによって数回反射され
た後、これから出射される。なお、出射光の波長は５５
０ｎｍ〜７００ｎｍであって、パルス幅５ｆｓ以上、光
強度５μＪ以上である。
に平行に配置されており、多層膜ミラー１００ａのへの
光の入射角は４５度以内に設定されている。信号光は多
層膜ミラー対１００ａ，１００ｂによって数回反射され
た後、これから出射される。なお、出射光の波長は５５
０ｎｍ〜７００ｎｍであって、パルス幅５ｆｓ以上、光
強度５μＪ以上である。
【００４１】以上、説明したように、本実施の形態に係
る広帯域レーザは、レーザ光源１０１から出力された所
定波長（７９０ｎｍ）のレーザ光から、多層膜ミラー１
００ａ，１００ｂによる反射光帯域（５００ｎｍ〜７７
０ｎｍ）よりも狭帯域（波長５５０ｎｍ〜７００ｎｍ）
のレーザ光を生成し多層膜ミラーに入射させる光学系Ｂ
Ｓ，１０２〜１１６，２０１〜２０８，３００ａ，３０
０ｂ，３００ｃを備えている。この光学系によるレーザ
光の帯域は多層膜ミラー１００ａ，１００ｂの反射帯域
よりも狭いため、反射光は効率的にチャープ補償され
る。
る広帯域レーザは、レーザ光源１０１から出力された所
定波長（７９０ｎｍ）のレーザ光から、多層膜ミラー１
００ａ，１００ｂによる反射光帯域（５００ｎｍ〜７７
０ｎｍ）よりも狭帯域（波長５５０ｎｍ〜７００ｎｍ）
のレーザ光を生成し多層膜ミラーに入射させる光学系Ｂ
Ｓ，１０２〜１１６，２０１〜２０８，３００ａ，３０
０ｂ，３００ｃを備えている。この光学系によるレーザ
光の帯域は多層膜ミラー１００ａ，１００ｂの反射帯域
よりも狭いため、反射光は効率的にチャープ補償され
る。
【００４２】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る多
層膜ミラーは、上述の設定を行うことにより、５００ｎ
ｍ〜７７０ｎｍの波長帯域を有する光パルスの幅を数〜
数十ｆｓオーダに圧縮することができる。このミラーを
用いた広帯域レーザは、超短パルスの広帯域レーザ光を
出射することができる。
層膜ミラーは、上述の設定を行うことにより、５００ｎ
ｍ〜７７０ｎｍの波長帯域を有する光パルスの幅を数〜
数十ｆｓオーダに圧縮することができる。このミラーを
用いた広帯域レーザは、超短パルスの広帯域レーザ光を
出射することができる。
【図１】第１実施の形態に係る多層膜ミラーの断面構成
図。
図。
【図２】第１実施形態に係る各膜の光学膜厚（ｎｍ）及
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
【図３】図２に示した多層膜各膜の番号１，２・・・４
０と光学膜厚（ｎｍ）との関係を示すグラフ。
０と光学膜厚（ｎｍ）との関係を示すグラフ。
【図４】図２に示した多層膜ミラーによる反射光波長
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
【図５】第２実施形態に係る各膜の光学膜厚（ｎｍ）及
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
【図６】図５に示した多層膜ミラーによる反射光波長
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
【図７】第３実施形態に係る各膜の光学膜厚（ｎｍ）及
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
【図８】図７に示した多層膜ミラーによる反射光波長
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
【図９】第４実施形態に係る各膜の光学膜厚（ｎｍ）及
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
【図１０】図９に示した多層膜ミラーによる反射光波長
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
【図１１】第５実施形態に係る各膜の光学膜厚（ｎｍ）
及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
及びその好適範囲（ｎｍ）を示す表。
【図１２】図１１に示した多層膜ミラーによる反射光波
長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
長（ｎｍ）と群遅延（ｆｓ）との関係を示すグラフ。
【図１３】多層膜ミラーを用いた広帯域レーザのシステ
ム構成図。
ム構成図。
【図１４】光学膜厚を設定するために用いるための式
（１）〜（９）をまとめて示す表。
（１）〜（９）をまとめて示す表。
ＳＢ…ガラス基板、ＭＬ…多層膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H042 DA08 DA12 DB02 DE07 2H048 GA07 GA14 GA36 GA51 GA61 2K002 AA04 AA07 AB12 AB27 AB30 AB33 BA02 BA04 CA02 DA20 EA07 HA08 HA16 HA20 HA23 HA26 5F072 AB20 JJ20 KK05 KK11 KK12 QQ02 QQ03 RR03
Claims (2)
- 【請求項１】 屈折率の異なる複数の誘電体膜を基板上
に積層してなる多層膜ミラーにおいて、可視光帯域にお
ける反射率が９５％以上であって、その露出面を構成す
る最外膜の屈折率がこの最外膜直下の膜の屈折率よりも
低く、且つ、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長
成分の群遅延よりも大きくなるように、前記最外膜を含
む前記誘電体膜各膜の光学膜厚が設定されていることを
特徴とする多層膜ミラー。 - 【請求項２】 前記可視光帯域は波長５００ｎｍ〜７７
０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の多層膜
ミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30869198A JP4142179B2 (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 多層膜ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30869198A JP4142179B2 (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 多層膜ミラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000138407A true JP2000138407A (ja) | 2000-05-16 |
| JP4142179B2 JP4142179B2 (ja) | 2008-08-27 |
Family
ID=17984133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30869198A Expired - Fee Related JP4142179B2 (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 多層膜ミラー |
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001094991A1 (fr) * | 2000-06-08 | 2001-12-13 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Dispositif composite de compensation de dispersion de la lumiere et procede de compensation de dispersion de la lumiere l'utilisant |
| WO2002023234A1 (fr) * | 2000-09-14 | 2002-03-21 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Dispositif de compensation de la dispersion optique, dispositif composite de compensation de la dispersion optique comportant ledit dispositif et procede de compensation de la dispersion optique a l'aide de ce dispositif |
| WO2002031542A1 (fr) * | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Element de correction de dispersion optique, element composite de correction de dispersion optique utilisant cet element, et procede de correction de dispersion optique utilisant cet element |
| WO2002037174A1 (fr) * | 2000-10-31 | 2002-05-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | Modulateur optique spatial et dispositif de commande de forme d'impulsion optique |
| JP2003107223A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Sekiji Yamagata | 誘電体多層膜ミラー |
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| EP2136442A1 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | FUJIFILM Corporation | Compact mode-locked solid-state laser |
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|---|---|---|---|---|
| WO2011140152A2 (en) * | 2010-05-04 | 2011-11-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Broadband dispersion-free optical filter cavities based on dielectric mirrors with complementary dispersion |
| JP5718017B2 (ja) | 2010-10-27 | 2015-05-13 | オリンパス株式会社 | 多層膜フィルタ |
-
1998
- 1998-10-29 JP JP30869198A patent/JP4142179B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| WO2001094991A1 (fr) * | 2000-06-08 | 2001-12-13 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Dispositif composite de compensation de dispersion de la lumiere et procede de compensation de dispersion de la lumiere l'utilisant |
| WO2002023234A1 (fr) * | 2000-09-14 | 2002-03-21 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Dispositif de compensation de la dispersion optique, dispositif composite de compensation de la dispersion optique comportant ledit dispositif et procede de compensation de la dispersion optique a l'aide de ce dispositif |
| WO2002031542A1 (fr) * | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Oyokoden Lab Co., Ltd. | Element de correction de dispersion optique, element composite de correction de dispersion optique utilisant cet element, et procede de correction de dispersion optique utilisant cet element |
| WO2002037174A1 (fr) * | 2000-10-31 | 2002-05-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | Modulateur optique spatial et dispositif de commande de forme d'impulsion optique |
| JP2002139716A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調器および光パルス波形制御装置 |
| US7057788B2 (en) | 2000-10-31 | 2006-06-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spatial light modulator and light pulse waveform controller |
| JP2003107223A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Sekiji Yamagata | 誘電体多層膜ミラー |
| EP2042893A3 (en) * | 2007-09-28 | 2010-12-15 | Fujinon Corporation | Negative dispersion mirror and mode-locked solid-state laser apparatus including the mirror |
| EP2042893A2 (en) | 2007-09-28 | 2009-04-01 | Fujinon Corporation | Negative dispersion mirror and mode-locked solid-state laser apparatus including the mirror |
| US8199397B2 (en) | 2007-09-28 | 2012-06-12 | Fujifilm Corporation | Negative dispersion mirror and mode-locked solid-state laser apparatus including the mirror |
| EP2136442A1 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | FUJIFILM Corporation | Compact mode-locked solid-state laser |
| EP2136440A1 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | FUJIFILM Corporation | Mode-locked solid-state laser |
| US7949018B2 (en) | 2008-06-20 | 2011-05-24 | Fujifilm Corporation | Mode-locked solid-state laser apparatus |
| US7953127B2 (en) | 2008-06-20 | 2011-05-31 | Fujifilm Corporation | Mode-locked solid-state laser apparatus |
| EP2136441A1 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | FUJIFILM Corporation | Mode-locked solid-state laser |
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