JP2000127014A - ガラス板加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ガラス板、特にフォトマスクの端
面の面取り加工や、コーナマーク形成加工等の生産性、
作業性を向上させると共に、加工精度を向上させること
ができるガラス板加工装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 間欠回転駆動するインデックステーブル
１２と、このインデックステーブルの各割り出し位置に
設けられた複数のガラス板保持機構２と、前記インデッ
クステーブルの外周囲であって、ガラス板保持機構の形
成位置に対応して、前記ガラス板をインデックステーブ
ルのガラス板保持機構に供給するガラス板供給装置４
と、ガラス板保持機構上のガラス板の位置決めを行う位
置決め装置５と、前記ガラス板の面取りを行う面取り加
工装置６と、ガラス板の角部を曲面処理すると共にコー
ナマークを形成する角部曲面及びコーナマーク形成加工
装置７と、前記ガラス板をインデックステーブルのガラ
ス板保持機構から排出するガラス板排出装置９とを備え
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はガラス板の端面の面
取り等を行うためのガラス板加工装置に関し、例えば、
フォトマスク等のガラス板端面の面取り加工や、コーナ
ーマーク等の形成加工等を行うことができるガラス板加
工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガラス板、特に、半導体ウエハの製造工
程において用いられるフォトマスクは、取扱い等の関係
から端面の面取り、角部の曲面処理、コーナマーク形成
加工が行われている。従来、この種のフォトマスクの端
面の面取加工装置としては、図１２及び図１３に示すよ
うに、外周面に凹溝を有する円柱状の面取り用砥石１０
１がスピンドルモ−タ１００の回転軸の先端に装着さ
れ、このスピンドルモ−タ１００をＮＣ加工装置（図示
せず）の加工ヘッドに取り付けられたものが用いられて
いる。そして、前記面取加工装置を用いて、フォトマス
クＷ（以下、ワークＷと称する）の側面に面取り用砥石
１０１の凹溝を押し当て、スピンドルモ−タ１００を回
転させつつ、ワークＷの周囲を一周させることによって
面取り加工がなされていた。また、ワ−クＷの側面が交
差する角部の曲面処理においても、前記面取加工装置を
用いて、加工処理がなされていた。

【０００３】一方、コーナーマーク形成加工装置として
は、図１４及び図１５に示すように、円錐状のコーナマ
ーク加工用砥石１０２を装着したスピンドルモ−タ１０
０をＮＣ加工装置（図示せず）の加工ヘッドに取り付け
たものが用いられている。なお、前記面取加工装置の面
取り用砥石１０１をコーナマーク加工用砥石１０２に交
換し、前記面取加工装置をコーナーマーク形成加工装置
として用いる場合もある。そして、前記コーナーマーク
形成加工装置を用いて、ワ−クＷの対向する角部にコー
ナマーク加工用砥石１０２を押し当て、コーナーマーク
の形成加工が行われていた。なお、このコーナーマーク
は、ワークＷの表裏を区別するため付している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したフ
ォトマスク等のガラス板の端面の面取加工装置とコーナ
ーマーク形成加工装置とを別々なものとして構成し、そ
れぞれを用いて所定の加工を行うと、装置にワ−クを取
りつける毎にワークの位置ずれ等が生じ、加工精度が低
下するという技術的課題があった。また、この加工精度
を一定の精度以上に維持しようとすると、ワークの位置
合わせ等の作業時間がかかり、生産コストの上昇を招く
という技術的課題があった。また一方において、ワーク
の端面加工終了後、面取加工装置に装着された面取り用
砥石をコーナマーク加工用砥石に交換し、コーナーマー
ク形成加工を行う場合には、交換作業等の時間がかかる
と共に、ワークの位置合わせ等の作業時間がかかり、生
産コストの上昇を招くという技術的課題があった。

【０００５】本発明は、ガラス板、特にフォトマスクの
端面の面取り加工や、コーナマーク形成加工等の生産
性、作業性を向上させると共に、加工精度を向上させる
ことができるガラス板加工装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
になされた本発明にかかるガラス板加工装置は、間欠回
転駆動するインデックステーブルと、このインデックス
テーブルの割り出し位置に設けられた複数のガラス板保
持機構とを具備し、前記インデックステーブルの外周囲
であって、前記ガラス板保持機構の形成位置に対応し
て、前記ガラス板をインデックステーブルのガラス板保
持機構に供給するガラス板供給装置と、ガラス板保持機
構上のガラス板の位置決めを行う位置決め装置と、前記
ガラス板の面取りを行う面取り加工装置と、ガラス板の
角部を曲面処理すると共にコーナマークを形成する角部
曲面及びコーナマーク形成加工装置と、前記ガラス板を
インデックステーブルのガラス板保持機構から排出する
ガラス板排出装置とを少なくとも備えていることを特徴
としている。

【０００７】このように、ガラス板保持機構上のガラス
板の位置決めを行なった後、ガラス板保持機構をインデ
ックステ−ブル上で回転させる等して、一連の加工処理
を行うようになしているため、加工精度が高く、加工時
間も短くすることができる。

【０００８】ここで、前記ガラス板保持機構は、ガラス
板が載置される回転テーブルと、前記回転テーブルに対
して上下動可能に設けられると共に、回転可能な回転プ
ッシャと、前記回転プッシャを下方に移動させるエアシ
リンダと、前記回転プッシャを上方に移動させるバネ
と、前記回転プッシャに取り付けられ、モータからの駆
動が伝達されるギャとを備え、エアシリンダの動作によ
って下方に位置する回転プッシャがガラス板を保持した
状態において、モータからの駆動力によって回転テーブ
ル上に載置されたガラス板が回転するように構成されて
いることが望ましい。

【０００９】また、前記位置決め装置は、基台上に設け
られた直進テーブルと、前記直進テーブル上に進退可能
に設けられた移動ステージと、前記移動ステージに設け
られた第１のギャと、前記第１のギャと噛合するラック
が一端に形成され、他端にガラス板の各端面を把持する
位置決めブロックが取り付けられた１対の第１の位置決
めアームと、前記移動ステージに設けられた第２のギャ
と、前記ギャと噛合するラックが一端に形成され、他端
にガラス板の各端面を把持する位置決めブロックが取り
付けられた１対の第２の位置決めアームとを有し、前記
第１、第２のギャを回転することにより前記第１、第２
の位置決めアームが移動し、ガラス板を把持することに
よって、ガラス板の位置決めを行うことが望ましい。こ
のように位置決め装置が構成されているため、対になっ
ている位置決めアームの中心にガラス板の中心を配する
ことができ、容易にしかも高精度にガラス板を位置決め
することができる。

【００１０】更に、前記面取り加工装置は、基台上に設
けられる直進テーブルと、前記直進テーブル上に進退可
能に設けられた移動ステージと、前記移動ステージに設
けられたギャと、一端に前記ギャと噛合するラックが形
成され、前記ギャの回転によって移動する１対のラック
付きバーと、前記ラック付きバーの他端に取り付けられ
たブラケットと、前記ブラケットに取り付けられると共
に砥石が装着されたスピンドルモ−タとからなることが
望ましい。このように前記面取り加工装置が構成されて
いるため、砥石が装着されたスピンドルモ−タに装着さ
れた砥石を横方向に同距離だけ移動させることができ、
面取り加工を高精度に行うことができる。

【００１１】また、角部曲面及びコーナマーク形成加工
装置における角部曲面加工装置は、基台上に設けられた
直進テーブルと、前記直進テーブル上を進退可能に設け
られた移動ステージと、前記移動ステージに取り付けら
れたブラケットと、前記ブラケットに取り付けられると
共に砥石が装着されたスピンドルモ−タとからなり、コ
ーナマーク形成加工装置は、基台上に設けられたエアシ
リンダと、前記エアシリンダのシリンダロッドの先端に
取り付けられたブラケットと、前記ブラケットに取り付
けられると共にコーナーマーク加工砥石が装着されたス
ピンドルモ−タとからなることが望ましい。

【００１２】本発明は上記のように構成することによ
り、ガラス板の端面の面取加工装置及びコーナーマーク
形成加工装置を別々なものとして用いる場合に比べて、
ガラス板の位置ずれ等による加工精度の低下を防止する
ことができ、しかもガラス板の位置合わせ等の作業時間
の短縮することができるため、生産効率が向上すると共
に生産コストの上昇を抑えることができる。また、ガラ
ス板の端面加工終了後、面取加工装置に装着された面取
り用砥石をコーナマーク加工用砥石に交換し、コーナー
マーク形成加工を行う場合に比べて、交換作業等の時間
がかからず、ガラス板の位置合わせ等の作業時間もかか
らないため、生産効率が向上すると共に生産コストを抑
えることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるガラス板加
工装置の概略を図１及び図２基づいて説明する。ここ
で、図１は本発明にかかるガラス板加工装置の正面図を
示したものであり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
図において符号１はガラス板加工装置を示している。前
記ガラス板加工装置１は、その下部にベース１１を有
し、このベース１１の上面にベース板１１ａが設けられ
ている。このベース板１１ａの中央部には、６分割で間
欠回転駆動されるインデックステーブル１２が設けら
れ、このインデックステーブル１２上の各割り出し位置
にはガラス板保持機構２が設けられている。すなわち、
インデックステーブル１２上には、６つガラス板保持機
構２が設けられている。

【００１４】また、前記インデックステーブル１２の各
割り出し位置に対応したインデックステーブル１２の外
周囲には、ガラス板供給装置４と、位置決め装置５と、
面取り加工装置６と、角部曲面及びコーナマーク形成加
工装置７と、面取り加工装置８と、ガラス板排出装置９
とが設けられている。そして、前記ガラス板供給装置４
は、フォトマスク等のガラス板（ワ−クＷ）が収納され
ている供給側カセットステージ４１と前記供給側カセッ
トステージ４１に収納されているワ−クＷをガラス板保
持機構２に搬送する搬送部３とから構成されている。ま
た、ガラス板排出装置９は、加工が終了したワ−クＷを
収納する排出側カセットステージ９１と、面取り加工装
置８によって端面処理が終了したワークＷをインデック
ステーブル１２から排出側カセットステージ９１に搬送
する搬送部３とから構成されている。

【００１５】次に、本発明にかかるガラス板加工装置１
のインデックステーブル１２上に設けられるガラス板保
持機構２について、図３を参照しながら説明する。図３
は、ガラス板保持機構２の動作状態を示す図であって、
（ａ）は、ガラス板保持機構の非動作状態を示す図、
（ｂ）はガラス板保持機構の動作状態を示す図である。
このガラス板保持機構２は、下部ブラケット２１により
インデックステーブル１２に取り付けられ、この下部ブ
ラケット２１上には回転テーブル２２が設けられてい
る。この回転テーブル２２の上方には上下動可能な回転
プッシャ２３があり、この回転プッシャ２３の上部に
は、エアシリンダ２４が設けられている。このエアシリ
ンダ２４は、下部ブラケット２１に連結された上部ブラ
ケット２５に取り付けられ、シリンダロッド２４ａの伸
長により回転プッシャ２３を下方に移動させることがで
きるように構成されている。また回転プッシャ２３を下
方に移動した状態において、シリンダロッド２４ａの押
圧力によって、回転テーブル２２に載置されているワー
クＷを保持することができるように構成されている。

【００１６】また、この回転プッシャ２３の端部にはギ
ャ２６が取り付けられ、このギャ２６には、上部ブラケ
ット２５に取り付けたモータ２７のギャ２７ａが噛合さ
れている。そのため、モータ２７の回転駆動がギャ２７
ａ、２６を介して回転プッシャ２３に伝達され、回転テ
ーブル２２と回転プッシャ２３とによって保持されたワ
ークＷを必要な角度だけ回転させることができる。さら
に、シリンダロッド２４ａによる回転プッシャ２３の下
方押圧力が解除された場合には、回転プッシャ２３が上
昇することができるように、ギャ２６と回転プッシャ２
３の上下動を規制するガイド２８との間にバネ２９が設
けられている。すなわち、シリンダロッド２４ａによる
回転プッシャ２３の下方押圧力が解除されるとバネ２９
は伸び、回転プッシャ２３が上昇し、ガラス板保持機構
を非動作状態になす。

【００１７】次に、インデックステーブル１２の外周囲
に設けられた各種作業を行う装置を作業順に沿って説明
する。図１に示すように、最初のガラス板保持機構２
（第１ポジションＰ１のガラス板保持機構２）に対峙す
る位置には、ガラス板供給装置４が設けられている。こ
のガラス板供給装置４は、ガラス板保持機構２にワーク
Ｗを供給するための装置である。このガラス板供給装置
４は、図４に示すように、ワークＷが所定間隔をもって
収納されている供給側カセットステージ４１と、ワーク
Ｗを供給側カセットステージ４から取り出して、ガラス
板保持機構２の回転テーブル２２上にワークＷを搬送す
るロボットハンド３２を有する搬送ロボット３１を備え
た搬送部３とから構成されている。

【００１８】なお、搬送部３を構成する搬送ロボット３
１は、基台３３上に設けられている。また、前記基台３
３上にはモータ３４が設けられ、前記モータ３４からの
回転駆動がギャ、チェーン、タイミングベルト（図示せ
ず）等からなる伝達手段を介して搬送ロボット３１を駆
動するように構成されている。さらに搬送ロボットの腕
の端部に各々モータ（図示せず）を配設し、各々の腕を
動かすようにしてもよい。また、搬送ロボット３１の先
端に設けられるロボットハンド３２は、吸引等の手段を
用いてワークＷを保持し、このワークＷをガラス板保持
機構２の回転テーブル２２へ搬送できるようになってい
る。

【００１９】また図１に示すように、２番目のガラス板
保持機構２（第２ポジションＰ２のガラス板保持機構
２）に対峙する位置には、位置決め装置５が設けられて
いる。この位置決め装置５は、ガラス板保持機構２によ
って保持するワークＷの位置決めを行うための装置であ
る。この位置決め装置５について図５乃至図８に基づい
て詳述する。この位置決め装置５は、図５に示すよう
に、基台５１上に直進テーブル５２が設けられ、この直
進テーブル５２上にはガラス板保持機構２の方向に直進
可能な移動ステージ５３が設けられている。なお、移動
ステージ５３は、基台５１上のステージ駆動モータ５３
ａ、ギャ５３ｃによって回転するねじシャフト５３ｂに
噛合しており、前記ねじシャフト５３ｂが回転すること
により、ガラス板保持機構２に対して進退するように構
成されている。

【００２０】また、この移動ステージ５３上には、４本
の位置決めアーム５４、５５、５６、５７が設けられて
おり、これらアーム５４、５５、５６、５７の先端部に
はワークＷの各端面を把持できるように位置決めブロッ
ク５４ａ、５５ａ、５６ａ、５７ａが設けられている。
また、これらアーム５４、５５、５６、５７の後端部に
は、ギャ５８、５９と歯合するラック５４ｂ、５５ｂ、
５６ｂ、５７ｂが形成されている。

【００２１】詳しくは、図６に示すように、位置決めア
ーム５５、５７の端部に形成されるラック５５ｂ、５７
ｂの間にはギャ５９が設けられている。このギャ５９の
下部に設けられたモータ５９ａが回転することによりギ
ャ５９が回転して、対向する位置決めアーム５５、５７
が反対方向に同じ距離移動する。これにより、位置決め
ブロック５５ａ、５７ａの間隔を調節して、ワークＷを
把持して縦方向の位置決めできるようになっている。

【００２２】同様に、位置決めアーム５４、５６の端部
に形成されるラック５４ｂ、５６ｂの間にはギャ５８が
設けられている。このギャ５８の下部に設けられたモー
タ５８ａが回転することによりギャ５８が回転して、対
向する位置決めアーム５４、５６が反対方向に同じ距離
移動する。これにより、位置決めブロック５４ａ、５６
ａの間隔を調節して、ワークＷを把持して縦方向の位置
決めできるようになっている。

【００２３】なお、位置決めアーム５７の先端部には、
シリンダ５７１が設けられ、このシリンダ５７１のシリ
ンダロッド５７２の先端部にはブラケット５７３を介し
て位置決めブロック５７ａが取り付けられ、この位置決
めブロック５７ａにはガイド用アーム５７４が取り付け
られている。前記ガイド用アーム５７４は、位置決めア
ーム５７の先端部に設けられた挿通孔に案内されるもの
である。また、ここで用いられる位置決めブロック５４
ａ、５５ａ、５６ａ、５７ａは、把持するワークＷに傷
をつけないように樹脂により形成することが好ましい。

【００２４】また図１に示すように、３番目のガラス板
保持機構２（第３ポジションＰ３のガラス板保持機構
２）に対峙する位置には、図９、図１０に示す面取り加
工装置６が設けられている。この面取り加工装置６は、
ガラス板保持機構２に保持されたワークＷの端面の面取
り加工を行う装置である。この面取り加工装置６は、図
９及び図１０に示すように、基台６１上に直進テーブル
６２が設けられ、更に前記直進テーブル６２上にはステ
ージ駆動モータ６３ａによって進退可能な移動ステージ
６３が設けられている。この移動ステ−ジ６３は、ステ
ージ駆動モータ６３ａによって回転するねじシャフト６
２ａと噛合し、前記ねじシャフト６２ａが回転すること
により、ガラス板保持機構２に対して進退可能に構成さ
れている。

【００２５】また、この移動ステージ６３上には、一端
にラック６４ａ、６５ａが形成されたラック付きバー６
４、６５があり、このラック付きバー６４、６５は、ギ
ャ６６によって反対方向（横方向）に同距離移動するこ
とがきるようになっている。なお、ギャ６６には移動ス
テージ６３上に設けたモータ６７からの駆動がベルト６
７ａを介して伝達できるようになっている。また、ラッ
ク付きバー６４、６５の先端部にはスピンドルモ−タ１
００を取りつけるためのブラケット６８ａ、６８ｂが取
り付けられている。そして、このスピンドルブラケット
６８ａ、６８ｂの先端部には、外周面に凹溝を有する円
柱状の面取り用砥石１０１が装着されたスピンドルモ−
タ１００が取り付けられている。また、ブラケット６８
ａ、６８ｂの下方には、スライドレール６９が設けら
れ、ラック付きバー６４，６５の移動が直線運動となる
ように規制している。

【００２６】また図１に示すように、４番目のガラス板
保持機構２（第４ポジションＰ４のガラス板保持機構
２）に対峙する位置には、図１１に示す角部曲面及びコ
ーナマーク形成加工装置７が設けられている。この角部
曲面処理装置及びコーナマーク形成加工装置７は、図１
１に示すように、ガラス板保持機構２に保持されたワー
クＷの角部分を曲面に形成する角部曲面処理装置７１
と、ワークＷにコーナマークを形成するコーナマーク形
成加工装置７２とから構成されている。

【００２７】この角部曲面処理装置７１は、基台７３上
に設けられた直進テーブル７１１と、前記直進テーブル
７１１上にステージ駆動モータ７１２によって進退可能
に形成された移動ステージ７１３とから構成されてい
る。この移動ステ−ジ７１３は、ステージ駆動モータ７
１２によって回転するねじシャフト７１１ａと噛合し、
前記ねじシャフト７１１ａが回転することにより、ガラ
ス板保持機構２に対して進退可能に構成されている。ま
た、この移動ステージ７１３上には、ブラケット７１４
が取り付けられており、このスピンドルブラケット７１
４の先端部には、外周面に凹溝を有する円柱状の面取り
用砥石１０１を装着したスピンドルモ−タ１００が取り
付けられている。

【００２８】一方、コーナマーク形成加工装置７２は、
基台７３上に設けられたエアシリンダ７２１と、このエ
アシリンダ７２１のシリンダロッド７２２の先端に取り
付けられたブラケット７２３と、このブラケット７２３
の先端部に取り付けられると共にコーナーマーク加工砥
石１０２が装着されたスピンドルモ−タ１００から構成
されている。コーナマーク形成加工装置７２がこのよう
に構成されているため、スピンドルモ−タ１００に装着
されたコーナーマーク加工砥石１０２がこのシリンダロ
ッド７２２の伸縮により上下動することができる。

【００２９】また図１に示すように、５番目のガラス板
保持機構２（第５ポジションＰ５のガラス板保持機構
２）に対峙する位置には、図９、図１０に示す面取り加
工装置８が設けられている。この面取り加工装置８は、
第３ポジションＰ３で加工がなされていないワークＷの
両端面を加工するためのものであり、その構造は第３ポ
ジションの面取り加工装置６と同様であるため説明は省
略する。

【００３０】また図１に示すように、６番目のガラス板
保持機構２（第６ポジションＰ６のガラス板保持機構
２）に対峙する位置には、ガラス板排出装置９が設けら
れている。このガラス板排出装置９は、ガラス板保持機
構２に保持されたワークＷを、上述した搬送部３を用い
て排出側カセットステージ９１に収容するものであり、
ガラス板供給装置４と同様であるため、その説明は省略
する。

【００３１】次に、本発明にかかるガラス板加工装置１
を用いてワークＷの加工を行う場合について説明する。
まず、第１ポジションＰ１で、供給側カセットステージ
４１に収容されているワークＷを、搬送部３のロボット
ハンド３２で吸着し、搬送ロボット３１によりガラス板
保持機構２の回転テーブル２２上に載置する。載置後、
シリンダロッド２４ａを伸長させ、回転プッシャ２３を
下方に移動させることにより、シリンダロッド２４ａの
押圧力によって、ワークＷを回転テーブル２２に保持、
固定する。そして、インデックステーブル１２を間欠回
転駆動させ、ガラス板保持機構２を第２ポジションＰ２
に移動する。

【００３２】ガラス板保持機構２が第２ポジションＰ２
に移動した後、ワークＷは位置決め装置５によってガラ
ス板保持機構２に正規な位置に位置決めされる。すなわ
ち、図７（ａ）に示すように、位置決め装置５のステー
ジ駆動モータ５３ａを駆動させて移動ステージ５３をガ
ラス板保持機構２方向に前進させる。このとき、シリン
ダロッド２４ａを収縮させ、バネ２９によって回転プッ
シャ２３を上方に移動させ、ワークＷの保持を解除した
状態になす。そして、位置決めアーム５４、５６がワー
クＷのほぼ中央部分に位置したら、図７（ｂ）、（ｃ）
に示すように、位置決めアーム５７のエアシリンダ５７
１のシリンダロッド５７２を伸長させる。その後、モー
タ５８ａ、５９ａによってギャ５８、５９を回転させ、
４つの位置決めブロック５４ａ、５５ａ、５６ａ、５７
ａによりワークＷの端面を把持する（図７（ｄ））。

【００３３】このとき、前記ワ−クＷはガラス板保持機
構２によって保持されていないため、４つの位置決めブ
ロック５４ａ、５５ａ、５６ａ、５７ａによって移動さ
せられ、位置ずれが修正される。なお、横方向を保持す
る位置決めブロック５４ａ、５６ａは同距離移動するた
め、ワ−クＷの横方向の中心は位置決めブロック５４
ａ、５６ａの中間点に位置することになる。また、縦方
向を保持する位置決めブロック５５ａ、５７ａは同距離
移動するため、ワ−クＷの縦方向の中心は位置決めブロ
ック５５ａ、５７ａの中間点に位置することになる。

【００３４】位置ずれ修正後、ガラス板保持機構２のシ
リンダ２４を再び伸長させ、回転テーブル２２と回転プ
ッシャ２３とでワークＷを保持し、図８に示すように位
置決め作業が終了する。そして、前記位置決め装置５を
初期状態に復帰させ、ワークＷの位置決め作業が終了
後、インデックステーブル１２を間欠回転駆動させ、ガ
ラス板保持機構２を第３ポジションＰ３に移動する。

【００３５】ガラス板保持機構２が第３ポジションＰ３
に移動した後、ワークＷは端面加工装置６による面取り
加工がなされる。すなわち、移動ステージ６３上のギャ
６６をモータ６７によって回転させることにより、ラッ
ク付きバー６４、６５を移動させ、スピンドルモ−タ１
００、１００に装着した面取り用砥石１０１、１０１の
間隔をワークＷの面取り加工可能な間隔とする。そし
て、スピンドルモ−タ１００、１００に装着された面取
り用砥石１０１、１０１を回転させつつ、ステージ駆動
モータ６３ａによって移動ステージ６３をガラス板保持
機構２の方向に前進させてワークＷに面取り加工を施
す。このワークＷの面取り加工終了後、端面加工装置６
は初期状態に復帰し、インデックステーブル１２を間欠
回転駆動させ、このガラス板保持機構２を第４ポジショ
ンＰ４に移動する。

【００３６】そして、ガラス板保持機構２が第４ポジシ
ョンに移動後、角部曲面及びコ−ナマ−ク形成加工装置
７によるワークＷの角部曲面処理及びコ−ナマ−ク形成
加工がなされる。すなわち、図１１に示すように、ステ
ージ駆動モータ７１２の回転によって直進テーブル７１
１上の移動ステージ７１３を移動させ、スピンドルモ−
タ１００の面取り用砥石１０１によってワークＷ側面が
交差する角部に曲面加工を施す。また、前記曲面加工終
了後（あるいは同時進行して）、基台７３上に設けた上
下動可能なエアシリンダ７２１を動作させることによ
り、スピンドルモ−タ１００に装着されたコーナマーク
加工砥石１０２を徐々に下降させながら、ワークＷにコ
ーナマークを形成加工する。

【００３７】１つの角部における角部曲面処理及びコ−
ナマ−ク形成加工が終了した後、ガラス板保持機構２の
モータ２７により、ワークＷを９０°回転させ、隣接す
る角部の角部曲面処理を行う。このときコーナマークの
形成加工は行なわない。そして、前記角部曲面処理後、
ワークＷを９０°回転させ、更に隣接する角部曲面処理
及びコーナマークの形成加工を行う。更に、前記角部曲
面処理及びコーナマークの形成加工終了後、ワークＷを
９０°回転させ、残りの角部曲面処理を行う。このとき
コーナマークの形成加工は行なわない。このようにし
て、ワークＷの４つの角部の曲面処理及び対向する２つ
のコーナマークの形成加工が終了する。そして、その
後、インデックステーブル１２を間欠回転駆動させ、こ
のガラス板保持機構２を第５ポジションＰ５に移動す
る。

【００３８】ガラス板保持機構２が第５ポジションＰ５
に移動後、面取り加工がされていない端面が加工できる
ように、ガラス板保持機構２のモータ２７によりワーク
Ｗを９０°回転させ、第３ポジションに設けられた面取
り加工装置と同様な面取り加工装置８により面取り加工
がなされる。なお、第５ポジションＰ５での動作は、第
３ポジションにおける面取り加工装置の動作と同様であ
るため、ここでの説明は省略する。そして、ワークＷの
面取り加工が終了したら、インデックステーブル１２を
間欠回転駆動させ、このガラス板保持機構２を第６ポジ
ションＰ６に移動する。

【００３９】ガラス板保持機構２が第６ポジションＰ６
に移動後、ガラス板保持機構２のエアシリンダ２４のシ
リンダロッド２４ａを縮め、バネ２９により回転プッシ
ャー２３は上方へと移動し、ワークＷの保持が解除され
る。そして、ワークＷを搬送部３のロボットハンド３２
が吸着し、搬送ロボット３１によりガラス板保持機構２
の回転テーブル２２上から排出側カセットステージ９１
に移動収容し、作業を終了する。

【００４０】上記説明は、１つのガラス板保持機構２に
着目し、前記ガラス板保持機構２に保持されているワ−
クＷが各ポジションにおいてなされる加工について説明
したが、インデックステ−ブル１２には６個のガラス板
保持機構２が設けられているため、それぞれに保持され
たワ−クＷは同時並行的に各ポジションにおいて加工が
なされる。

【００４１】次に、本発明にかかるガラス板加工装置に
よる加工時間について説明する。本発明にかかるガラス
板加工装置では、第３ポジションでワークの２つ端面の
面取り加工を同時に行い（加工時間はＴａ）、第４ポジ
ションで角部曲面加工（１つの角部の加工時間をＴｂと
すると総加工時間は４Ｔｂ）及びコーナマークの形成加
工（１つのコーナマークの形成加工時間をＴｄとすると
総形成加工時間は２Ｔｄ）を行い、さらに、第５ポジシ
ョンで第３ポジションにおいて加工されていない他の２
端面の面取り加工を同時に行った（加工時間はＴａ）。
この結果、角部曲面加工終了後、コ−ナマ−ク形成加工
を施す場合における、本発明にかかるガラス板加工装置
による加工時間の合計は、１枚だけ流した場合２Ｔａ＋
４Ｔｂ＋２Ｔｄとなる。しかし、本発明においては、連
続して流すため複数のワークについて同時並行して加工
が行われ、かつ、角部曲面の加工時間（Ｔｂ）やコーナ
マークの形成加工時間（Ｔｄ）は端面加工時間（Ｔａ）
内に並行して行われるため、見かけ上発生せず（４Ｔｂ
＋２Ｔｄ＜Ｔａ）、その結果加工時間はＴａとすること
ができる。

【００４２】一方、従来の加工装置は、ワークの４端面
の加工を行った後（加工時間４Ｔａ）、ワークの４コー
ナの加工を行い（加工時間４Ｔｂ）、スピンドルの交換
作業を行った後（交換時間Ｔｃ）、コーナマークの加工
作業を２か所行う（加工時間２Ｔｄ）。したがって、加
工時間の合計は、４Ｔａ＋４Ｔｂ＋Ｔｃ＋２Ｔｄとな
る。このように、本発明にかかるガラス板加工装置を用
いた場合には、加工時間は実質的にＴａのみであり、従
来装置による加工時間（４Ｔａ＋４Ｔｂ＋Ｔｃ＋２Ｔ
ｄ）と比較して飛躍的に短縮される。

【００４３】なお、上記実施形態においては、インデッ
クステーブルの割り出し位置を六分割としているが、特
に六分割のものに限定されるものではなく、作業工程、
作業時間等を考慮して適宜選定することができる。ま
た、上記実施形態においては、端面の面取り加工におい
て、上部稜線部と下部稜線部を同じ砥石を使って、面取
り加工しているが、多少加工時間は長くなるが、上下別
々に面取り加工しても良い。

【００４４】

【発明の効果】本発明は、以上のような構成を採用する
ことにより、ガラス板の端面の面取り加工や、コーナマ
ーク形成加工等の生産性、作業性を向上させると共に、
加工精度を向上させることができる。特に、ガラス板の
位置ずれ等による加工精度の低下を防止すると共に、位
置合わせ等の作業時間を短縮化することにより、生産コ
ストの上昇を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明にかかるガラス板加工装置の正
面図である。

【図２】図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図３はガラス板保持機構を示す図であって、
（ａ）はガラス板保持機構のワーク非保持状態の側面図
であり、（ｂ）はガラス板保持機構のワーク保持状態の
側面図である。

【図４】図４は、搬送部によるワークの搬送作業を示す
側面図である。

【図５】図５は、位置決め装置の上面図である。

【図６】図６は、位置決め装置の部分拡大図である。

【図７】図７は、位置決め装置によるワークの位置決め
動作を説明するための正面図である。

【図８】図８は、位置決め装置を示す斜視図である。

【図９】図９は、面取り装置の斜視図である。

【図１０】図１０は面取り装置の動作状態を示す斜視図
である。

【図１１】図１１は、角部曲面処理及びコーナマーク形
成加工装置を示す斜視図である。

【図１２】図１２は、従来の面取り加工を示す斜視図で
ある。

【図１３】図１３は、従来の面取り用砥石を装着したス
ピンドルの側面図である。

【図１４】図１４は、従来のコーナマーク形成加工装置
を示す斜視図である。

【図１５】図１５は、従来のコーナマーク形成加工装置
の動作状態を示す側面図である。

【符号の説明】

１ ガラス板加工装置 １１ ベース １１ａ ベース板 １２ インデックステーブル ２ ガラス板保持機構 ３ 搬送部 ４ ガラス板供給装置 ４１ 供給側カセットステージ ５ 位置決め装置 ６ 面取り加工装置 ７ 角部曲面及びコーナマーク形成加工装置 ８ 面取り加工装置 ９ ガラス板排出装置 ９１ 排出側カセットステージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大津 朗 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社開発研究所内 (72)発明者 横堀 義一 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社秦野工場内 Ｆターム(参考） 3C049 AA03 AA04 AA18 AB03 AB04 AB08 CA01 CA06 CB01 CB03

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 間欠回転駆動するインデックステーブル
   と、このインデックステーブルの割り出し位置に設けら
   れた複数のガラス板保持機構とを具備し、 前記インデックステーブルの外周囲であって、前記ガラ
   ス板保持機構の形成位置に対応して、前記ガラス板をイ
   ンデックステーブルのガラス板保持機構に供給するガラ
   ス板供給装置と、ガラス板保持機構上のガラス板の位置
   決めを行う位置決め装置と、前記ガラス板の面取りを行
   う面取り加工装置と、ガラス板の角部を曲面処理すると
   共にコーナマークを形成する角部曲面及びコーナマーク
   形成加工装置と、前記ガラス板をインデックステーブル
   のガラス板保持機構から排出するガラス板排出装置とを
   少なくとも備えていることを特徴とするガラス板加工装
   置。
2. 【請求項２】 前記ガラス板保持機構は、ガラス板が載
   置される回転テーブルと、前記回転テーブルに対して上
   下動可能に設けられると共に、回転可能な回転プッシャ
   と、前記回転プッシャを下方に移動させるエアシリンダ
   と、前記回転プッシャを上方に移動させるバネと、前記
   回転プッシャに取り付けられ、モータからの駆動が伝達
   されるギャとを備え、 エアシリンダの動作によって下方に位置する回転プッシ
   ャがガラス板を保持した状態において、モータからの駆
   動力によって回転テーブル上に載置されたガラス板が回
   転するように構成されていることを特徴とする請求項１
   に記載されたガラス板加工装置。
3. 【請求項３】 前記位置決め装置は、基台上に設けられ
   た直進テーブルと、前記直進テーブル上に進退可能に設
   けられた移動ステージと、前記移動ステージに設けられ
   た第１のギャと、前記第１のギャと噛合するラックが一
   端に形成され、他端にガラス板の各端面を把持する位置
   決めブロックが取り付けられた１対の第１の位置決めア
   ームと、前記移動ステージに設けられた第２のギャと、
   前記ギャと噛合するラックが一端に形成され、他端にガ
   ラス板の各端面を把持する位置決めブロックが取り付け
   られた１対の第２の位置決めアームとを有し、前記第
   １、第２のギャを回転することにより前記第１、第２の
   位置決めアームが移動し、ガラス板を把持することによ
   って、ガラス板の位置決めを行うことを特徴とする請求
   項１または請求項２に記載されたガラス板加工装置。
4. 【請求項４】 前記面取り加工装置は、基台上に設けら
   れる直進テーブルと、前記直進テーブル上に進退可能に
   設けられた移動ステージと、前記移動ステージに設けら
   れたギャと、一端に前記ギャと噛合するラックが形成さ
   れ、前記ギャの回転によって移動する１対のラック付き
   バーと、前記ラック付きバーの他端に取り付けられたブ
   ラケットと、前記ブラケットに取り付けられると共に砥
   石が装着されたスピンドルモ−タとからなることを特徴
   とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載されたガ
   ラス板加工装置。
5. 【請求項５】 角部曲面及びコーナマーク形成加工装置
   における角部曲面加工装置は、基台上に設けられた直進
   テーブルと、前記直進テーブル上を進退可能に設けられ
   た移動ステージと、前記移動ステージに取り付けられた
   ブラケットと、前記ブラケットに取り付けられると共に
   砥石が装着されたスピンドルモ−タとからなり、 コーナマーク形成加工装置は、基台上に設けられたエア
   シリンダと、前記エアシリンダのシリンダロッドの先端
   に取り付けられたブラケットと、前記ブラケットに取り
   付けられると共にコーナーマーク加工砥石が装着された
   スピンドルモ−タとからなることを特徴とする請求項１
   乃至請求項４のいずれかに記載されたガラス板加工装
   置。