JP2000109987A - 新規な組成物 - Google Patents
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- JP2000109987A JP2000109987A JP10296190A JP29619098A JP2000109987A JP 2000109987 A JP2000109987 A JP 2000109987A JP 10296190 A JP10296190 A JP 10296190A JP 29619098 A JP29619098 A JP 29619098A JP 2000109987 A JP2000109987 A JP 2000109987A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レジスト材料により表面にパターンを形成させ
たクロム材に対して濡れ性が良く、且つ低泡性であり、
しかも優れたエッチング効果を奏するクロムエッチング
剤組成物及びこれを用いたエッチング方法の提供。 【解決手段】第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及び
アルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物及びこれ
を用いたエッチング方法。
たクロム材に対して濡れ性が良く、且つ低泡性であり、
しかも優れたエッチング効果を奏するクロムエッチング
剤組成物及びこれを用いたエッチング方法の提供。 【解決手段】第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及び
アルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物及びこれ
を用いたエッチング方法。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、クロム材のエッチ
ングに使用されるエッチング剤組成物及び該組成物を用
いるクロム材のエッチング方法に関する。
ングに使用されるエッチング剤組成物及び該組成物を用
いるクロム材のエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＳＩの高集積化に伴ってクロム
材にエッチングを施し作製するマスク線幅の微細化が要
望されている。そのためにエッチング剤の、レジスト材
料により表面にパターンを形成させたクロム材に対する
濡れについて改善が必要で、種々の界面活性剤の添加が
検討されている。中でもフッ素系界面活性剤が濡れの改
善に有効で、さらに経時的に安定であるとの報告がされ
ている（例えば、特公昭63-45461号公報、特開平5-2719
67号公報等）。
材にエッチングを施し作製するマスク線幅の微細化が要
望されている。そのためにエッチング剤の、レジスト材
料により表面にパターンを形成させたクロム材に対する
濡れについて改善が必要で、種々の界面活性剤の添加が
検討されている。中でもフッ素系界面活性剤が濡れの改
善に有効で、さらに経時的に安定であるとの報告がされ
ている（例えば、特公昭63-45461号公報、特開平5-2719
67号公報等）。
【０００３】しかしながら、界面活性剤を添加すること
でエッチング処理時に泡が発生し、この泡が要因となっ
てエッチング不良が起ったり、更にこの泡の為に溶液の
取り扱いや廃棄処理が煩雑になったり、エッチング剤が
基板搬送装置に付着するなどの問題がある。
でエッチング処理時に泡が発生し、この泡が要因となっ
てエッチング不良が起ったり、更にこの泡の為に溶液の
取り扱いや廃棄処理が煩雑になったり、エッチング剤が
基板搬送装置に付着するなどの問題がある。
【０００４】また、このような泡の問題を解決する目的
で、シリコーン型やポリオキシエチレンポリオキシプロ
ピレン付加型等に代表されるような一般的な消泡剤を添
加すると、濁りが発生して、却ってエッチングの効果を
妨げてしまう。
で、シリコーン型やポリオキシエチレンポリオキシプロ
ピレン付加型等に代表されるような一般的な消泡剤を添
加すると、濁りが発生して、却ってエッチングの効果を
妨げてしまう。
【０００５】更にまた、低泡性のフッ素系界面活性剤を
用いることも考えられるが、エッチング剤組成物に対す
る溶解性が乏しく、更に組成物成分と反応して分解され
るので不安定であるという問題がある。しかも多くの界
面活性剤は強酸化性溶液中で経時的劣化が起こるという
共通した欠点を有している。
用いることも考えられるが、エッチング剤組成物に対す
る溶解性が乏しく、更に組成物成分と反応して分解され
るので不安定であるという問題がある。しかも多くの界
面活性剤は強酸化性溶液中で経時的劣化が起こるという
共通した欠点を有している。
【０００６】上記のような問題点を解決し、しかもエッ
チング効果の優れたクロムエッチング剤組成物が強く望
まれているが、未だ実現されていない。
チング効果の優れたクロムエッチング剤組成物が強く望
まれているが、未だ実現されていない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した如き状況に鑑
み本発明が解決しようとする課題は、レジスト材料によ
り表面にパターンを形成させたクロム材に対して濡れ性
が良く、且つ低泡性であり、しかも優れたエッチング効
果を奏するクロムエッチング剤組成物及びこれを用いた
エッチング方法を提供することにある。
み本発明が解決しようとする課題は、レジスト材料によ
り表面にパターンを形成させたクロム材に対して濡れ性
が良く、且つ低泡性であり、しかも優れたエッチング効
果を奏するクロムエッチング剤組成物及びこれを用いた
エッチング方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
する目的でなされたものであり、第二セリウム塩、酸、
付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで
成る組成物の発明である。また、本発明は、第二セリウ
ム塩、酸、付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合
物を含んで成るクロムエッチング剤組成物の発明であ
る。更にまた、本発明は、第二セリウム塩、酸、付着張
力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組
成物でエッチングを行うことを特徴とするクロム材のエ
ッチング方法の発明である。
する目的でなされたものであり、第二セリウム塩、酸、
付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで
成る組成物の発明である。また、本発明は、第二セリウ
ム塩、酸、付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合
物を含んで成るクロムエッチング剤組成物の発明であ
る。更にまた、本発明は、第二セリウム塩、酸、付着張
力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組
成物でエッチングを行うことを特徴とするクロム材のエ
ッチング方法の発明である。
【０００９】本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研
究を重ねた結果、第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤
及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物が、
レジスト材料により表面にパターンを形成させたクロム
材に対して濡れ性がよく、且つ低泡性であり、これを用
いてクロム材をエッチングすれば優れたエッチング効果
が得られ、且つ上記した如き従来のクロムエッチング剤
に於ける問題点を解決し得ることを見出し、本発明を完
成させるに至った。
究を重ねた結果、第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤
及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物が、
レジスト材料により表面にパターンを形成させたクロム
材に対して濡れ性がよく、且つ低泡性であり、これを用
いてクロム材をエッチングすれば優れたエッチング効果
が得られ、且つ上記した如き従来のクロムエッチング剤
に於ける問題点を解決し得ることを見出し、本発明を完
成させるに至った。
【００１０】本発明に係る第二セリウム塩としては、強
酸の第二セリウム塩またはこれらとその酸のアンモニウ
ム塩との複塩が挙げられる。強酸としては、硫酸、硝酸
等の鉱酸が挙げられる。
酸の第二セリウム塩またはこれらとその酸のアンモニウ
ム塩との複塩が挙げられる。強酸としては、硫酸、硝酸
等の鉱酸が挙げられる。
【００１１】本発明の係る第二セリウム塩の具体例とし
ては、例えば、硫酸第二セリウム、硝酸第二セリウム、
硫酸第二セリウムアンモニウム、硝酸第二セリウムアン
モニウム等が挙げられ、この中でも、硝酸第二セリウム
アンモニウムが特に好ましい。
ては、例えば、硫酸第二セリウム、硝酸第二セリウム、
硫酸第二セリウムアンモニウム、硝酸第二セリウムアン
モニウム等が挙げられ、この中でも、硝酸第二セリウム
アンモニウムが特に好ましい。
【００１２】また、本発明に係る酸としては、本願発明
の組成物中の第二セリウム塩を沈殿させないものが好ま
しく、例えば、過塩素酸、硫酸、硝酸、塩酸等の無機強
酸が挙げられ、これらの中でも、過塩素酸、硝酸等が特
に好ましい。
の組成物中の第二セリウム塩を沈殿させないものが好ま
しく、例えば、過塩素酸、硫酸、硝酸、塩酸等の無機強
酸が挙げられ、これらの中でも、過塩素酸、硝酸等が特
に好ましい。
【００１３】本発明に係る酸は、単独で使用しても、ま
た、２種以上を適宜組み合わせて用いても良い。
た、２種以上を適宜組み合わせて用いても良い。
【００１４】本発明に係る付着張力増強剤としては、下
記式で示される付着張力の値がより小さいものが挙げら
れる。 付着張力＝γAcosθ＝Ｗ−γA 但し、Ｗ＝γA（１＋cosθ） γA：液体Ａの表面張力 θ ：個体Ｂの上に液体Ａを置くときの接触角 そのような化合物の具体例としては例えば界面活性剤が
挙げられ、中でも炭素数７〜16の直鎖状、分岐状又は環
状で、且つフッ素原子を少なくとも１つ以上含んでいて
もよいアルキルスルホン酸化合物又はその塩が挙げら
れ、中でもフッ素原子を１つ以上含んだものが好まし
く、さらにはその水素原子のすべてがフッ素原子で置換
されたペルフルオロ化合物が好ましい。塩としては例え
ばナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属
塩、アンモニウム塩、モノ乃至テトラアルキルアンモニ
ウム塩等が挙げられる。これらペルフルオロ化合物又は
その塩としては例えばペルフルオロヘプタンスルホン
酸、ペルフルオロヘプタンスルホン酸リチウム、ペルフ
ルオロヘプタンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロヘ
プタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロヘプタンスル
ホン酸アンモニウム、ペルフルオロヘプタンスルホン酸
テトラメチルアンモニウム、ペルフルオロヘプタンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、ペルフルオロヘプタ
ンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、ペルフルオ
ロヘプタンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、ペル
フルオロオクタンスルホン酸、ペルフルオロオクタンス
ルホン酸リチウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸ナ
トリウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸カリウム、
ペルフルオロオクタンスルホン酸アンモニウム、ペルフ
ルオロオクタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、
ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラエチルアンモニ
ウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラプロピル
アンモニウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラ
ブチルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸、
ペルフルオロノナンスルホン酸リチウム、ペルフルオロ
ノナンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロノナンスル
ホン酸カリウム、ペルフルオロノナンスルホン酸アンモ
ニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラメチルア
ンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラエチ
ルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラ
プロピルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸
テトラブチルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホ
ン酸、ペルフルオロデカンスルホン酸リチウム、ペルフ
ルオロデカンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロデカ
ンスルホン酸カリウム、ペルフルオロデカンスルホン酸
アンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸テトラメ
チルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸テト
ラエチルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸
テトラプロピルアンモニウム、ペルフルオロデカンスル
ホン酸テトラブチルアンモニウム等が挙げられる。更に
この中でも、特にペルフルオロオクタンスルホン酸リチ
ウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸ナトリウム、ペ
ルフルオロオクタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロ
オクタンスルホン酸アンモニウム、ペルフルオロオクタ
ンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ペルフルオロ
オクタンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ペルフ
ルオロオクタンスルホン酸テトラプロピルアンモニウ
ム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラブチルアン
モニウム等のペルフルオロオクタンスルホン酸塩がより
好ましい。
記式で示される付着張力の値がより小さいものが挙げら
れる。 付着張力＝γAcosθ＝Ｗ−γA 但し、Ｗ＝γA（１＋cosθ） γA：液体Ａの表面張力 θ ：個体Ｂの上に液体Ａを置くときの接触角 そのような化合物の具体例としては例えば界面活性剤が
挙げられ、中でも炭素数７〜16の直鎖状、分岐状又は環
状で、且つフッ素原子を少なくとも１つ以上含んでいて
もよいアルキルスルホン酸化合物又はその塩が挙げら
れ、中でもフッ素原子を１つ以上含んだものが好まし
く、さらにはその水素原子のすべてがフッ素原子で置換
されたペルフルオロ化合物が好ましい。塩としては例え
ばナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属
塩、アンモニウム塩、モノ乃至テトラアルキルアンモニ
ウム塩等が挙げられる。これらペルフルオロ化合物又は
その塩としては例えばペルフルオロヘプタンスルホン
酸、ペルフルオロヘプタンスルホン酸リチウム、ペルフ
ルオロヘプタンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロヘ
プタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロヘプタンスル
ホン酸アンモニウム、ペルフルオロヘプタンスルホン酸
テトラメチルアンモニウム、ペルフルオロヘプタンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、ペルフルオロヘプタ
ンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、ペルフルオ
ロヘプタンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、ペル
フルオロオクタンスルホン酸、ペルフルオロオクタンス
ルホン酸リチウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸ナ
トリウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸カリウム、
ペルフルオロオクタンスルホン酸アンモニウム、ペルフ
ルオロオクタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、
ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラエチルアンモニ
ウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラプロピル
アンモニウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラ
ブチルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸、
ペルフルオロノナンスルホン酸リチウム、ペルフルオロ
ノナンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロノナンスル
ホン酸カリウム、ペルフルオロノナンスルホン酸アンモ
ニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラメチルア
ンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラエチ
ルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸テトラ
プロピルアンモニウム、ペルフルオロノナンスルホン酸
テトラブチルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホ
ン酸、ペルフルオロデカンスルホン酸リチウム、ペルフ
ルオロデカンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロデカ
ンスルホン酸カリウム、ペルフルオロデカンスルホン酸
アンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸テトラメ
チルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸テト
ラエチルアンモニウム、ペルフルオロデカンスルホン酸
テトラプロピルアンモニウム、ペルフルオロデカンスル
ホン酸テトラブチルアンモニウム等が挙げられる。更に
この中でも、特にペルフルオロオクタンスルホン酸リチ
ウム、ペルフルオロオクタンスルホン酸ナトリウム、ペ
ルフルオロオクタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロ
オクタンスルホン酸アンモニウム、ペルフルオロオクタ
ンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ペルフルオロ
オクタンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ペルフ
ルオロオクタンスルホン酸テトラプロピルアンモニウ
ム、ペルフルオロオクタンスルホン酸テトラブチルアン
モニウム等のペルフルオロオクタンスルホン酸塩がより
好ましい。
【００１５】本発明に係るアルキルスルホン酸化合物と
しては、アルキルスルホン酸、又はその塩が挙げられ、
塩としてはアンモニウム塩，モノ乃至テトラアルキルア
ンモニウム塩，アルカリ金属塩等が挙げられる
しては、アルキルスルホン酸、又はその塩が挙げられ、
塩としてはアンモニウム塩，モノ乃至テトラアルキルア
ンモニウム塩，アルカリ金属塩等が挙げられる
【００１６】アルキルスルホン酸のアルキル基として
は、直鎖状、分岐状又は環状の何れでも良く、中でも炭
素数が１〜６のアルキル基が好ましく、このようなアル
キル基としては例えば、メチル基、エチル基、n-プロピ
ル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、n-ブチル
基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-
ペンチル基、イソペンチル基、tert-ペンチル基、シク
ロペンチル基、1-メチルペンチル基、n-ヘキシル基、イ
ソヘキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また
当該アルキル基は、二重結合を有していてもよく、この
ようなアルキル基としては例えばエテニル基、プロペニ
ル基等が挙げられる。
は、直鎖状、分岐状又は環状の何れでも良く、中でも炭
素数が１〜６のアルキル基が好ましく、このようなアル
キル基としては例えば、メチル基、エチル基、n-プロピ
ル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、n-ブチル
基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-
ペンチル基、イソペンチル基、tert-ペンチル基、シク
ロペンチル基、1-メチルペンチル基、n-ヘキシル基、イ
ソヘキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また
当該アルキル基は、二重結合を有していてもよく、この
ようなアルキル基としては例えばエテニル基、プロペニ
ル基等が挙げられる。
【００１７】また、アルキルスルホン酸のアルキル基は
ハロゲン原子を含んでいてもよく、そのハロゲン原子と
しては塩素、臭素、フッ素、ヨウ素等が挙げられる。
ハロゲン原子を含んでいてもよく、そのハロゲン原子と
しては塩素、臭素、フッ素、ヨウ素等が挙げられる。
【００１８】本発明に係るアルキルスルホン酸化合物の
具体例としては、例えばメタンスルホン酸、メタンスル
ホン酸リチウム、メタンスルホン酸ナトリウム、メタン
スルホン酸カリウム、メタンスルホン酸アンモニウム、
メタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、メタンス
ルホン酸テトラエチルアンモニウム、メタンスルホン酸
テトラプロピルアンモニウム、メタンスルホン酸テトラ
ブチルアンモニウム、エタンスルホン酸、エタンスルホ
ン酸リチウム、エタンスルホン酸ナトリウム、エタンス
ルホン酸カリウム、エタンスルホン酸アンモニウム、エ
タンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、エタンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、エタンスルホン酸テ
トラプロピルアンモニウム、エタンスルホン酸テトラブ
チルアンモニウム、プロパンスルホン酸、プロパンスル
ホン酸リチウム、プロパンスルホン酸ナトリウム、プロ
パンスルホン酸カリウム、プロパンスルホン酸アンモニ
ウム、プロパンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、
プロパンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、プロパ
ンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、プロパンス
ルホン酸テトラブチルアンモニウム、ブタンスルホン
酸、ブタンスルホン酸リチウム、ブタンスルホン酸ナト
リウム、ブタンスルホン酸カリウム、ブタンスルホン酸
アンモニウム、ブタンスルホン酸テトラメチルアンモニ
ウム、ブタンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ブ
タンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、ブタンス
ルホン酸テトラブチルアンモニウム、ペンタンスルホン
酸、ペンタンスルホン酸リチウム、ペンタンスルホン酸
ナトリウム、ペンタンスルホン酸カリウム、ペンタンス
ルホン酸アンモニウム、ペンタンスルホン酸テトラメチ
ルアンモニウム、ペンタンスルホン酸テトラエチルアン
モニウム、ペンタンスルホン酸テトラプロピルアンモニ
ウム、ペンタンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、
ヘキサンスルホン酸、ヘキサンスルホン酸リチウム、ヘ
キサンスルホン酸ナトリウム、ヘキサンスルホン酸カリ
ウム、ヘキサンスルホン酸アンモニウム、ヘキサンスル
ホン酸テトラメチルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸
テトラエチルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸テトラ
プロピルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸テトラブチ
ルアンモニウム及びこれらのアルキル基の水素原子の少
なくとも１つ乃至全てがハロゲン原子に置き換わったも
の等が挙げられる。この中でも、炭素数３〜４のアルキ
ルスルホン化合物がより好ましく、これらの例としては
例えばプロパンスルホン酸、プロパンスルホン酸リチウ
ム、プロパンスルホン酸ナトリウム、プロパンスルホン
酸カリウム、プロパンスルホン酸アンモニウム、プロパ
ンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、プロパンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、プロパンスルホン酸
テトラブチルアンモニウム、ブタンスルホン酸、ブタン
スルホン酸リチウム、ブタンスルホン酸ナトリウム、ブ
タンスルホン酸カリウム、ブタンスルホン酸アンモニウ
ム、ブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ブタ
ンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ブタンスルホ
ン酸テトラブチルアンモニウム、ペルフルオロブタンス
ルホン酸、ペルフルオロブタンスルホン酸リチウム、ペ
ルフルオロブタンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロ
ブタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロブタンスルホ
ン酸アンモニウム、ペルフルオロブタンスルホン酸テト
ラメチルアンモニウム、ペルフルオロブタンスルホン酸
テトラエチルアンモニウム、ペルフルオロブタンスルホ
ン酸テトラブチルアンモニウム等が挙げられる。
具体例としては、例えばメタンスルホン酸、メタンスル
ホン酸リチウム、メタンスルホン酸ナトリウム、メタン
スルホン酸カリウム、メタンスルホン酸アンモニウム、
メタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、メタンス
ルホン酸テトラエチルアンモニウム、メタンスルホン酸
テトラプロピルアンモニウム、メタンスルホン酸テトラ
ブチルアンモニウム、エタンスルホン酸、エタンスルホ
ン酸リチウム、エタンスルホン酸ナトリウム、エタンス
ルホン酸カリウム、エタンスルホン酸アンモニウム、エ
タンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、エタンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、エタンスルホン酸テ
トラプロピルアンモニウム、エタンスルホン酸テトラブ
チルアンモニウム、プロパンスルホン酸、プロパンスル
ホン酸リチウム、プロパンスルホン酸ナトリウム、プロ
パンスルホン酸カリウム、プロパンスルホン酸アンモニ
ウム、プロパンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、
プロパンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、プロパ
ンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、プロパンス
ルホン酸テトラブチルアンモニウム、ブタンスルホン
酸、ブタンスルホン酸リチウム、ブタンスルホン酸ナト
リウム、ブタンスルホン酸カリウム、ブタンスルホン酸
アンモニウム、ブタンスルホン酸テトラメチルアンモニ
ウム、ブタンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ブ
タンスルホン酸テトラプロピルアンモニウム、ブタンス
ルホン酸テトラブチルアンモニウム、ペンタンスルホン
酸、ペンタンスルホン酸リチウム、ペンタンスルホン酸
ナトリウム、ペンタンスルホン酸カリウム、ペンタンス
ルホン酸アンモニウム、ペンタンスルホン酸テトラメチ
ルアンモニウム、ペンタンスルホン酸テトラエチルアン
モニウム、ペンタンスルホン酸テトラプロピルアンモニ
ウム、ペンタンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、
ヘキサンスルホン酸、ヘキサンスルホン酸リチウム、ヘ
キサンスルホン酸ナトリウム、ヘキサンスルホン酸カリ
ウム、ヘキサンスルホン酸アンモニウム、ヘキサンスル
ホン酸テトラメチルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸
テトラエチルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸テトラ
プロピルアンモニウム、ヘキサンスルホン酸テトラブチ
ルアンモニウム及びこれらのアルキル基の水素原子の少
なくとも１つ乃至全てがハロゲン原子に置き換わったも
の等が挙げられる。この中でも、炭素数３〜４のアルキ
ルスルホン化合物がより好ましく、これらの例としては
例えばプロパンスルホン酸、プロパンスルホン酸リチウ
ム、プロパンスルホン酸ナトリウム、プロパンスルホン
酸カリウム、プロパンスルホン酸アンモニウム、プロパ
ンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、プロパンスル
ホン酸テトラエチルアンモニウム、プロパンスルホン酸
テトラブチルアンモニウム、ブタンスルホン酸、ブタン
スルホン酸リチウム、ブタンスルホン酸ナトリウム、ブ
タンスルホン酸カリウム、ブタンスルホン酸アンモニウ
ム、ブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ブタ
ンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ブタンスルホ
ン酸テトラブチルアンモニウム、ペルフルオロブタンス
ルホン酸、ペルフルオロブタンスルホン酸リチウム、ペ
ルフルオロブタンスルホン酸ナトリウム、ペルフルオロ
ブタンスルホン酸カリウム、ペルフルオロブタンスルホ
ン酸アンモニウム、ペルフルオロブタンスルホン酸テト
ラメチルアンモニウム、ペルフルオロブタンスルホン酸
テトラエチルアンモニウム、ペルフルオロブタンスルホ
ン酸テトラブチルアンモニウム等が挙げられる。
【００１９】本発明の組成物をクロムエッチング剤とし
て用いる場合は、通常、水溶液の形で用いられる。
て用いる場合は、通常、水溶液の形で用いられる。
【００２０】本発明に係る第二セリウム塩は、クロム材
をエッチングする強酸化剤の主剤として、エッチング剤
水溶液1000ml当り通常10〜500ｇ、好ましくは100〜300
ｇ程度用いられる。
をエッチングする強酸化剤の主剤として、エッチング剤
水溶液1000ml当り通常10〜500ｇ、好ましくは100〜300
ｇ程度用いられる。
【００２１】また、本発明に係る酸は、エッチング剤組
成物中で第二セリウム塩を安定化させる目的で用いら
れ、エッチング剤水溶液1000ml当り通常10〜500ｇ、好
ましくは30〜300ｇ程度用いられる。
成物中で第二セリウム塩を安定化させる目的で用いら
れ、エッチング剤水溶液1000ml当り通常10〜500ｇ、好
ましくは30〜300ｇ程度用いられる。
【００２２】本発明に係る付着張力増強剤は、レジスト
材料により表面にパターンを形成させたクロム材に対す
るエッチング剤組成物の濡れを調整する目的で用いら
れ、エッチング剤水溶液1000ml当り通常0.001〜10ｇ、
好ましくは0.01〜１ｇ程度用いられる。
材料により表面にパターンを形成させたクロム材に対す
るエッチング剤組成物の濡れを調整する目的で用いら
れ、エッチング剤水溶液1000ml当り通常0.001〜10ｇ、
好ましくは0.01〜１ｇ程度用いられる。
【００２３】本発明に係るアルキルスルホン酸化合物
は、付着張力増強剤を混合した為にエッチング剤組成物
の吹き付けや撹拌又は振動等機械的要因で発生した泡を
迅速に消失させる目的で用いられ、エッチング剤水溶液
1000ml当り通常0.01〜100ｇ、好ましくは0.1〜10ｇ程度
用いられる。
は、付着張力増強剤を混合した為にエッチング剤組成物
の吹き付けや撹拌又は振動等機械的要因で発生した泡を
迅速に消失させる目的で用いられ、エッチング剤水溶液
1000ml当り通常0.01〜100ｇ、好ましくは0.1〜10ｇ程度
用いられる。
【００２４】本発明の組成物は、第二セリウム塩、酸、
付着張力増強剤、アルキルスルホン酸化合物を水に混
合、溶解することにより製造することができる。尚、各
成分は適宜の順序で水に順次添加混合しても良く、ま
た、まず全ての成分を添加した後水に溶解させても良
い。尚、混合して調製した本発明の組成物は使用前に濾
過処理を行うのが好ましい。
付着張力増強剤、アルキルスルホン酸化合物を水に混
合、溶解することにより製造することができる。尚、各
成分は適宜の順序で水に順次添加混合しても良く、ま
た、まず全ての成分を添加した後水に溶解させても良
い。尚、混合して調製した本発明の組成物は使用前に濾
過処理を行うのが好ましい。
【００２５】ここで用いる水は、蒸留、イオン交換処理
等により精製されたものであればよいが、この分野で用
いられるいわゆる超純水がより好ましい。
等により精製されたものであればよいが、この分野で用
いられるいわゆる超純水がより好ましい。
【００２６】本発明の組成物を用いたエッチング方法と
しては、(１)クロム材を当該組成物に浸漬させる方法、
(２)クロム材を当該組成物に浸漬させた状態で当該組成
物を機械的手段で撹拌する方法、(３)クロム材を当該組
成物に浸漬させた状態で超音波等にて当該組成物を振動
させ攪拌する方法、(４)当該組成物をクロム材に吹き付
ける方法等が挙げられる。
しては、(１)クロム材を当該組成物に浸漬させる方法、
(２)クロム材を当該組成物に浸漬させた状態で当該組成
物を機械的手段で撹拌する方法、(３)クロム材を当該組
成物に浸漬させた状態で超音波等にて当該組成物を振動
させ攪拌する方法、(４)当該組成物をクロム材に吹き付
ける方法等が挙げられる。
【００２７】以下に、実施例、比較例を挙げて本発明を
更に詳細に説明するが、本発明はこれにより何ら限定さ
れるものではない。
更に詳細に説明するが、本発明はこれにより何ら限定さ
れるものではない。
【００２８】
【実施例】実施例１〜７及び比較例１〜４ 下記の組成からなるクロムエッチング剤組成物に下記表
１に示す付着張力増強剤（20ppm）及びアルキルスルホ
ン酸化合物（500ppm）を混合して、クロムエッチング剤
組成物を調製した。 硝酸第二セリウムアンモニウム 170ｇ 過塩素酸（70％） 45ml 水 1000ml
１に示す付着張力増強剤（20ppm）及びアルキルスルホ
ン酸化合物（500ppm）を混合して、クロムエッチング剤
組成物を調製した。 硝酸第二セリウムアンモニウム 170ｇ 過塩素酸（70％） 45ml 水 1000ml
【００２９】得られた組成物について、濡れ性を調べる
尺度の一つとして自動表面張力計（CBVP-A3、協和界面
科学(株)製）で表面張力（dyne/cm）を求めた。また、
得られた組成物20mlを50ml容の栓付き比色管に入れ１分
間に120回振盪した直後の泡高さ（mm）、及びそれから
泡が消失する迄の時間（sec）を計測した。この様にし
て求めた結果を表１に併せて示す。
尺度の一つとして自動表面張力計（CBVP-A3、協和界面
科学(株)製）で表面張力（dyne/cm）を求めた。また、
得られた組成物20mlを50ml容の栓付き比色管に入れ１分
間に120回振盪した直後の泡高さ（mm）、及びそれから
泡が消失する迄の時間（sec）を計測した。この様にし
て求めた結果を表１に併せて示す。
【００３０】
【００３１】表１から明らかな如く、実施例１〜７のよ
うに本発明に係る付着張力増強剤と本発明に係るスルホ
ン酸化合物をともに添加したクロムエッチング剤組成物
は比較例に比べ表面張力が７２dyne/cmから３３dyne/cm
と濡れ性が改善され、低泡性に関しても消失時間が130s
ec以下となり改善された。
うに本発明に係る付着張力増強剤と本発明に係るスルホ
ン酸化合物をともに添加したクロムエッチング剤組成物
は比較例に比べ表面張力が７２dyne/cmから３３dyne/cm
と濡れ性が改善され、低泡性に関しても消失時間が130s
ec以下となり改善された。
【００３２】しかしながら、比較例１のように付着張力
増強剤とスルホン酸化合物を何れも添加していないクロ
ムエッチング剤組成物では濡れ性が良好でなかった。ま
た、比較例２のような付着張力増強剤のみを添加したク
ロムエッチング剤組成物は濡れ性は良好となっても、泡
が長時間残存し、低泡性とするという課題を解決するに
至らなかった。また、本発明に係るアルキルスルホン酸
化合物のみが添加され、付着張力増強剤を含有しない比
較例３及び比較例４のようなクロムエッチング剤組成物
では良好な濡れ性を示さないことが判った。
増強剤とスルホン酸化合物を何れも添加していないクロ
ムエッチング剤組成物では濡れ性が良好でなかった。ま
た、比較例２のような付着張力増強剤のみを添加したク
ロムエッチング剤組成物は濡れ性は良好となっても、泡
が長時間残存し、低泡性とするという課題を解決するに
至らなかった。また、本発明に係るアルキルスルホン酸
化合物のみが添加され、付着張力増強剤を含有しない比
較例３及び比較例４のようなクロムエッチング剤組成物
では良好な濡れ性を示さないことが判った。
【００３３】また、一般に低泡性を示す界面活性剤とし
て知られているメガファックＦ−１４２Ｄ〔大日本イン
キ化学(株)製；ポリオキシエチレンペルフルオロアルキ
ルエーテル、エチレンオキサイド付加数１０〕のみを添
加したクロムエッチング剤組成物の場合には調製から２
日後には表面張力が58dyne/cmになり、経時的に組成物
の一部が分解してクロムエッチング剤としての性能が劣
化してしまった。
て知られているメガファックＦ−１４２Ｄ〔大日本イン
キ化学(株)製；ポリオキシエチレンペルフルオロアルキ
ルエーテル、エチレンオキサイド付加数１０〕のみを添
加したクロムエッチング剤組成物の場合には調製から２
日後には表面張力が58dyne/cmになり、経時的に組成物
の一部が分解してクロムエッチング剤としての性能が劣
化してしまった。
【００３４】更に、同様に低泡性を示す界面活性剤とし
て知られているメガファックＦ−１９１〔大日本インキ
化学(株)製；ペルフルオロアルキルリン酸エステルトリ
エチルアミン〕のみを添加したものではこれが充分に溶
解せずそのままではクロムエッチング剤組成物として使
用できなかった。そして、これを濾過すると表面張力が
69dyne/cmになってしまい濡れ性が良好な組成物とはな
らなかった。
て知られているメガファックＦ−１９１〔大日本インキ
化学(株)製；ペルフルオロアルキルリン酸エステルトリ
エチルアミン〕のみを添加したものではこれが充分に溶
解せずそのままではクロムエッチング剤組成物として使
用できなかった。そして、これを濾過すると表面張力が
69dyne/cmになってしまい濡れ性が良好な組成物とはな
らなかった。
【００３５】尚、本発明に係る付着張力増強剤（C8F17S
O3K）と一般に消泡剤として知られているアンチホーム
Ｅ−２０〔(株)花王製；非イオン性変性シリコーンエマ
ルジョン〕を添加したものの場合は、アンチホーム Ｅ
−２０が充分に溶解せずそのままではクロムエッチング
剤組成物として使用できなかった。そしてこれを濾過し
たものについて検討を行ったところ泡高さは15mm、泡の
消失時間は158secとなってしまい、低泡性の組成物とは
ならなかった。
O3K）と一般に消泡剤として知られているアンチホーム
Ｅ−２０〔(株)花王製；非イオン性変性シリコーンエマ
ルジョン〕を添加したものの場合は、アンチホーム Ｅ
−２０が充分に溶解せずそのままではクロムエッチング
剤組成物として使用できなかった。そしてこれを濾過し
たものについて検討を行ったところ泡高さは15mm、泡の
消失時間は158secとなってしまい、低泡性の組成物とは
ならなかった。
【００３６】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明はレジスト材料
により表面にパターンを形成させたクロム材に対して良
好な濡れ性を有し、且つ低泡性であるクロムエッチング
剤及びこれを用いたクロムエッチング方法を提供するも
のであり、本発明を利用することにより、従来の方法に
比べて、クロムエッチング効果に優れ、更に製品歩留ま
りの良いクロムエッチングを可能にし得るという効果を
奏する。
により表面にパターンを形成させたクロム材に対して良
好な濡れ性を有し、且つ低泡性であるクロムエッチング
剤及びこれを用いたクロムエッチング方法を提供するも
のであり、本発明を利用することにより、従来の方法に
比べて、クロムエッチング効果に優れ、更に製品歩留ま
りの良いクロムエッチングを可能にし得るという効果を
奏する。
Claims (9)
- 【請求項１】 第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及
びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物。 - 【請求項２】 第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及
びアルキルスルホン酸化合物を含んで成るクロムエッチ
ング剤組成物。 - 【請求項３】 水溶液である請求項１又は２に記載の組
成物。 - 【請求項４】 アルキルスルホン酸化合物が、炭素数１
〜６のものである請求項１〜３の何れかに記載の組成
物。 - 【請求項５】 第二セリウム塩が、強酸の第二セリウム
塩またはこれとアンモニウム塩との複塩である請求項１
〜４の何れかに記載の組成物。 - 【請求項６】 酸が、組成物中の第二セリウム塩を沈殿
させないものである請求項１〜５の何れかに記載の組成
物。 - 【請求項７】 付着張力増強剤が界面活性剤である請求
項１〜６の何れかに記載の組成物。 - 【請求項８】 界面活性剤が、炭素数７〜16のフッ素原
子を含んでいてもよいアルキルスルホン酸化合物である
請求項７に記載の組成物。 - 【請求項９】 第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及
びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物でエッ
チングを行うことを特徴とするクロム材のエッチング方
法。 【０００１】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10296190A JP2000109987A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 新規な組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10296190A JP2000109987A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 新規な組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000109987A true JP2000109987A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17830344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10296190A Withdrawn JP2000109987A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 新規な組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000109987A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008115362A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-22 | Tsurumi Soda Co Ltd | 導電性高分子用エッチング液、及び、導電性高分子をパターニングする方法 |
| JP2009105341A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Micro Process:Kk | エッチング剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
-
1998
- 1998-10-02 JP JP10296190A patent/JP2000109987A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008115362A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-22 | Tsurumi Soda Co Ltd | 導電性高分子用エッチング液、及び、導電性高分子をパターニングする方法 |
| JP2009105341A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Micro Process:Kk | エッチング剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |