JP2000101408A - Gate drive circuit for power semiconductor element - Google Patents

Gate drive circuit for power semiconductor element

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JP2000101408A
JP2000101408A JP10269299A JP26929998A JP2000101408A JP 2000101408 A JP2000101408 A JP 2000101408A JP 10269299 A JP10269299 A JP 10269299A JP 26929998 A JP26929998 A JP 26929998A JP 2000101408 A JP2000101408 A JP 2000101408A
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gate
voltage
drive circuit
power semiconductor
gate drive
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Hideki Miyazaki
英樹 宮崎
Katsunori Suzuki
勝徳 鈴木
Asako Koyanagi
阿佐子 小柳
Makoto Tachikawa
真 立川
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain quick protection processing or proper gate voltage suppression for a power semiconductor element. SOLUTION: A 2nd gate drive circuit 2, using a gate voltage of a power semiconductor element for its power supply, is placed between a gate current input output terminal of a power semiconductor element and a 1st gate drive circuit 1, and the 2nd gate drive circuit 2 is provided with an amplifying means that amplifies the difference voltage between a detected gate voltage of the power semiconductor element and the reference voltage or the detected gate voltage and a voltage, that varies with an output voltage of a 1st gate drive circuit 1 and with a variable resistive element that changes a resistance of a resistor means, provided in parallel with the gate current input output terminal. Thus, a short-circuit current is decreased or dV/dt at switching is suppressed down to a desired value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はIGBTのようなパ
ワー半導体素子の駆動回路であって、特に過電流等の大
電流をスイッチングする際にゲート電圧、或いはゲート
電流を抑制する駆動回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving circuit for a power semiconductor device such as an IGBT, and more particularly to a driving circuit for suppressing a gate voltage or a gate current when switching a large current such as an overcurrent.

【0002】[0002]

【従来の技術】大容量の電力変換装置では、IGBT
(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)のような低損失
で高速スイッチング型のパワーデバイスが主流になりつ
つある。IGBTはゲート電圧で制限される電流が大き
く、約十μs程度の短時間であれば、デバイス定格電流
の5〜10倍の電流を通流することが可能である。しか
しながら、こうした大電流を急激に遮断すると、その電
流時間変化(di/dt)と配線の寄生インダクタンス
の積で決まるスパイク電圧が発生し、この電圧がデバイ
スの耐圧限界を越えて、デバイスの破壊を招く問題があ
る。
2. Description of the Related Art In a large-capacity power converter, an IGBT is used.
Low-loss, high-speed switching type power devices such as (insulated gate bipolar transistors) are becoming mainstream. The IGBT has a large current limited by the gate voltage, and can pass a current of 5 to 10 times the device rated current for a short time of about 10 μs. However, when such a large current is suddenly cut off, a spike voltage is generated which is determined by the product of the current time change (di / dt) and the parasitic inductance of the wiring, and this voltage exceeds the breakdown voltage limit of the device, and the device is destroyed. There is a problem to invite.

【0003】デバイスを破壊することなく、過電流を遮
断する方法として、例えば特公平5−31323 号に開示さ
れる方法は、IGBTのゲートと制御電源間にダイオー
ドを設け、過電流時にゲート電圧が制御電源電圧以上に
増加することを防ぐクランプ法を述べている。また、米
国特許5,210,479 号に開示される方法は、IGBTのコ
レクタ電圧とゲート電圧をそれぞれ検出し、両者が所定
の値以上になるとゲート電流を緩やかに減少させる方法
を記載している。
As a method of interrupting an overcurrent without destroying the device, for example, a method disclosed in Japanese Patent Publication No. 5-31323 discloses a method in which a diode is provided between the gate of an IGBT and a control power supply, and the gate voltage is reduced when the overcurrent occurs. A clamp method is described which prevents the voltage from increasing beyond the control power supply voltage. Further, the method disclosed in U.S. Pat. No. 5,210,479 describes a method of detecting a collector voltage and a gate voltage of an IGBT, respectively, and gradually decreasing the gate current when both of them become equal to or more than a predetermined value.

【0004】IGBTの高速なスイッチングが招くもう
一つの課題は、スイッチング時に発生する電圧時間変化
(dV/dt)が高周波の漏れ電流を発生させ、これが
電磁障害を招くことである。電圧時間変化(dV/d
t)を駆動回路で抑制する方法が特開平6−291631 号に
記載されている。この方法はIGBTのゲート電圧とコ
レクタ電圧を検出し、これらの値に応じてターンオン、
及びターンオフ時のゲート抵抗を変化させる方法であ
る。
Another problem that causes high-speed switching of the IGBT is that a voltage time change (dV / dt) generated at the time of switching causes a high-frequency leakage current, which causes electromagnetic interference. Voltage change over time (dV / d
A method for suppressing t) by a driving circuit is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-291163. This method detects the gate voltage and the collector voltage of the IGBT, and turns on and off according to these values.
And a method of changing the gate resistance at the time of turn-off.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】特公平5−31323号に代
表されるゲート電圧のクランプ手段は、電圧の上限値を
決める為には有効である。しかしながら、過電流を遮断
する場合に、IGBTのゲート電圧を定格電圧(15
V)から数Vまで連続的に抑制したいような場合には、
制御手段を持たないこの方法は適さない。
The gate voltage clamping means represented by Japanese Patent Publication No. 5-31323 is effective for determining the upper limit of the voltage. However, when the overcurrent is cut off, the gate voltage of the IGBT is reduced to the rated voltage (15).
If you want to suppress continuously from V) to several V,
This method without control means is not suitable.

【0006】米国特許5,210,479号或いは特開平6−2916
3 号のようにゲート電圧の出力そのものを可変化する方
法は、ゲート駆動回路とIGBTモジュールが近接する
状態で、過電流の遮断する用途に有効である。しかしな
がら、ゲート駆動回路の出力端子とIGBTのゲート端
子間の配線長が長くなると、その寄生インダクタンスに
よって、上記ゲート駆動回路はIGBTのゲート電圧を
抑制できない事態も起きる。顕著な例は、スイッチング
時に帰還容量を充放電する期間である。IGBTは、コレク
タ端子とゲート端子間に帰還容量を持ち、ターンオフ時
に電圧時間変化(dV/dt)と帰還容量で決まる変位
電流がゲート端子に流れ込み、ゲート電圧を増加させ
る。ここで、ゲート駆動回路とIGBT間の配線長が長
い場合は、その寄生インダクタンスのインピーダンスに
よって、ゲート駆動回路は変位電流で増加したゲート電
圧を急速に制御できない。この期間は数μs程度である
が、その影響は大きい。例えば、IGBTをブリッジに
接続したインバータで上下のIGBTが同時にオン状態
となるアーム短絡が発生すると、数μsの期間に電流は
定格の数倍以上になる。そこで、異常を検出すると、ゲ
ート駆動回路でIGBTのゲート電圧を即座に抑制すること
が望ましい。電源電圧が1kVを越えるような大容量変
換装置では、ゲート配線長が数mに及ぶ場合があり、過
電流遮断は容易でない。また、遮断電流が定格値以下で
も、dV/dtを抑制しようとする場合には数μsの遅
れの影響は大きく、ゲート電圧の変化でコレクタ電圧の
上昇を抑制することが難しくなる。更に、並列接続され
た複数のIGBTモジュールに対し、米国特許5,210,47
9 号のゲート駆動回路を共通に使用する場合には、問題
が複雑になる。即ち、短絡時には並列接続された複数の
IGBTの内、いずれか一つが先に短絡状態となる場合
が多い。この場合には、最初に短絡したIGBTと、遅
れて短絡するIGBTでは、ゲート電圧の抑制程度を変
える必要がある。こうした処理の為には遅れ時間の短い
ゲート抑制回路が必要である。
US Pat. No. 5,210,479 or JP-A-6-2916
The method of varying the output of the gate voltage itself as in No. 3 is effective in applications in which overcurrent is cut off in a state where the gate drive circuit and the IGBT module are close to each other. However, when the wiring length between the output terminal of the gate drive circuit and the gate terminal of the IGBT becomes long, the gate drive circuit may not be able to suppress the gate voltage of the IGBT due to the parasitic inductance. A prominent example is a period during which the feedback capacitance is charged and discharged during switching. The IGBT has a feedback capacitance between the collector terminal and the gate terminal, and at the time of turn-off, a displacement current determined by a voltage time change (dV / dt) and the feedback capacitance flows into the gate terminal to increase the gate voltage. Here, when the wiring length between the gate drive circuit and the IGBT is long, the gate drive circuit cannot rapidly control the gate voltage increased by the displacement current due to the impedance of the parasitic inductance. This period is on the order of several μs, but its influence is great. For example, if an inverter in which the IGBTs are connected to a bridge causes an arm short circuit in which the upper and lower IGBTs are simultaneously turned on, the current becomes several times the rated value or more in a period of several μs. Therefore, when an abnormality is detected, it is desirable that the gate drive circuit immediately suppresses the gate voltage of the IGBT. In a large-capacity converter in which the power supply voltage exceeds 1 kV, the gate wiring length may reach several meters, and it is not easy to cut off the overcurrent. In addition, even if the cutoff current is equal to or less than the rated value, when trying to suppress dV / dt, the effect of a delay of several μs is large, and it becomes difficult to suppress the rise in the collector voltage due to a change in the gate voltage. Further, US Pat. No. 5,210,47 discloses a plurality of IGBT modules connected in parallel.
The problem is complicated when the No. 9 gate drive circuit is commonly used. That is, at the time of short-circuit, one of the plurality of IGBTs connected in parallel is often short-circuited first. In this case, it is necessary to change the degree of suppression of the gate voltage between the first short-circuited IGBT and the short-circuited IGBT. For such processing, a gate suppression circuit having a short delay time is required.

【0007】本発明の目的は、大容量の電力変換装置の
ように、ゲート駆動回路とIGBTモジュール間の配線
長が長い場合、或いは複数のIGBTが並列に接続され
た場合においても、遅れ時間がなくゲート電圧の抑制が
開始され、過電流遮断、或いはdV/dt抑制が達成さ
れるゲート駆動回路を提供することにある。
[0007] An object of the present invention is to provide a delay time even when a wiring length between a gate drive circuit and an IGBT module is long or a plurality of IGBTs are connected in parallel as in a large-capacity power converter. It is another object of the present invention to provide a gate drive circuit in which the suppression of the gate voltage is started and the overcurrent cutoff or the dV / dt suppression is achieved.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題の解決は、パワ
ー半導体素子のゲート電流入出力端子と、第一ゲート駆
動回路の間に、前記パワー半導体素子のゲート電圧を電
源とする第二のゲート駆動回路を供え、前記パワー半導
体素子のゲート電圧検出値と基準電圧との差電圧、或い
は第一ゲート回路の出力電圧に応じて変化する電圧との
差電圧を増幅させる増幅手段と、該増幅手段の出力に応
じて、前記ゲート電流入出力端子に並列に設けた抵抗手
段の抵抗値を変化させる可変抵抗素子を備えたことを特
徴とするパワー半導体素子のゲート駆動回路。との差電
圧を増幅させる増幅手段と、該増幅手段の出力に応じ
て、前記ゲート電流入出力端子に並列に設けた抵抗手段
の抵抗値を変化させる可変抵抗素子を備えたことで達成
される。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a power supply device comprising: a gate current input / output terminal of a power semiconductor device and a first gate drive circuit; Amplifying means for providing a drive circuit for amplifying a difference voltage between a gate voltage detection value of the power semiconductor element and a reference voltage, or a difference voltage varying according to an output voltage of the first gate circuit; A variable resistance element for changing a resistance value of a resistance means provided in parallel with the gate current input / output terminal according to the output of the gate drive circuit. This is achieved by providing an amplifying unit for amplifying a difference voltage between the first and second gates, and a variable resistance element for changing a resistance value of a resistance unit provided in parallel with the gate current input / output terminal according to an output of the amplifying unit. .

【0009】また、前記第一ゲート駆動回路に、前記パ
ワー半導体素子の入出力端子間電圧を検出する第二の電
圧検出手段を備え、該第二の電圧検出手段の出力と、前
記第二ゲート駆動回路に備えた前記増幅手段の出力が所
定の状態となった場合に、前記第一ゲート駆動回路から
前記パワー半導体素子に供給する正又は負方向のゲート
電流を抑制することで遅れ時間の無いゲート電圧抑制が
達成できる。
Further, the first gate drive circuit includes second voltage detecting means for detecting a voltage between the input and output terminals of the power semiconductor element, and an output of the second voltage detecting means and the second gate detecting means. When the output of the amplifying means provided in the drive circuit is in a predetermined state, there is no delay time by suppressing the positive or negative gate current supplied from the first gate drive circuit to the power semiconductor element. Gate voltage suppression can be achieved.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を用いて説明する。図1は、パワー半導体素子の過電
流保護を達成する本発明の一実施例である。図1で、Q
1はIGBTであり、破線で囲んだ領域1は第一のゲー
ト駆動回路、IGBTのゲートとエミッタ端子間に並列
に設けた領域2が第二のゲート駆動回路である。まず、
本発明で特徴となる第二ゲート駆動回路について説明す
る。領域2でIGBTのゲートとエミッタ端子間に並列
に、R1とR2の抵抗を直列接続で設け、それぞれにC
1とC2のキャパシタを接続する。R1とR2によりI
GBTのゲート−エミッタ間電圧Vge(以後、ゲート電
圧と略称する)を分圧する。C1とC2は振動防止用で
ある。R1とR2の接続点はnpnトランジスタQ4の
ベース端子に接続する。Q4のエミッタ端子はツエナー
ダイオードZD1を経てIGBTのエミッタ端子に接続
する。ここで、Q4のベース−エミッタ間電圧Vbeは、
VgeをR1とR2で分圧した値(この値をVge′とす
る)から、ツエナーダイオードZD1の電圧(これをV
ZD1と呼ぶ)を差し引いた値(Vge′−VZD1)が加
わる。Q4のコレクタ端子は抵抗R3を経てIGBTの
ゲートに接続する。ここでQ4のコレクタ端子をaで表
す。a点にはダーリントン接続されたpnpトランジス
タ(Q2とQ3)のベース端子を接続する。このような
接続により、Q4は(Vge′−VZD1)を増幅し、ダ
ーリントン接続されたQ2の抵抗を可変化させる働きを
持つ。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention for achieving overcurrent protection of a power semiconductor device. In FIG. 1, Q
Reference numeral 1 denotes an IGBT, a region 1 surrounded by a broken line is a first gate drive circuit, and a region 2 provided in parallel between the gate and the emitter terminal of the IGBT is a second gate drive circuit. First,
The second gate drive circuit which is a feature of the present invention will be described. In a region 2, resistors R1 and R2 are connected in series between the gate and the emitter terminal of the IGBT in parallel.
1 and the capacitor of C2 are connected. R1 and R2 give I
The gate-emitter voltage Vge (hereinafter abbreviated as gate voltage) of the GBT is divided. C1 and C2 are for vibration prevention. The connection point between R1 and R2 is connected to the base terminal of npn transistor Q4. The emitter terminal of Q4 is connected to the emitter terminal of the IGBT via Zener diode ZD1. Here, the base-emitter voltage Vbe of Q4 is
From the value obtained by dividing Vge by R1 and R2 (this value is referred to as Vge '), the voltage of Zener diode ZD1 (this is referred to as Vge)
ZD1) (Vge'-VZD1). The collector terminal of Q4 is connected to the gate of the IGBT via the resistor R3. Here, the collector terminal of Q4 is represented by a. At point a, the base terminals of pnp transistors (Q2 and Q3) connected in Darlington are connected. With such a connection, Q4 functions to amplify (Vge'-VZD1) and vary the resistance of the Darlington-connected Q2.

【0011】第二ゲート駆動回路と第一ゲート駆動回路
は配線で接続するが、その寄生インダクタンスを図1で
はLsで表している。第一ゲート駆動回路1はプッシュ
プル接続されたトランジスタTr1とTr2を有し、その出
力側にゲート抵抗Rgを備えている。Tr1がオンする
と、電源電圧Vcc1 の値を順バイアス電圧としてIGBTの
ゲート−エミッタ間に印加し、逆にTr2がオンすると、
電源電圧Vcc2 の値をゲート逆バイアスとしてIGBT
に印加する。Tr1とTr2のベース端子にはベース電流制
御手段3から電流を供給する。ここで、ベース電流制御
手段3は入力信号Vsの他、IGBTのコレクタ−エミ
ッタ間電圧Vce(以後、コレクタ電圧と略称する)の検
出値と第二ゲート駆動回路内、a点の信号に応じて、出
力電流を可変化する機能を有する。次に、これらの検出
系について説明する。
The second gate drive circuit and the first gate drive circuit are connected by wiring, and the parasitic inductance is represented by Ls in FIG. The first gate drive circuit 1 has push-pull connected transistors Tr1 and Tr2, and has a gate resistor Rg on the output side. When Tr1 turns on, the value of the power supply voltage Vcc1 is applied as a forward bias voltage between the gate and emitter of the IGBT, and conversely, when Tr2 turns on,
IGBT with power supply voltage Vcc2 value as gate reverse bias
Is applied. Current is supplied from the base current control means 3 to the base terminals of Tr1 and Tr2. Here, the base current control means 3 responds to the input signal Vs, the detected value of the collector-emitter voltage Vce of the IGBT (hereinafter abbreviated as the collector voltage) and the signal at the point a in the second gate drive circuit. And a function of varying the output current. Next, these detection systems will be described.

【0012】まず、Vceの検出を述べる。電源電圧Vcc
1 にはpnpトランジスタTr3のエミッタ端子を接続
し、Tr3のベース端子はダイオードDcを経てIGBT
のコレクタ端子に接続する。Tr3のエミッタ−ベース間
には抵抗Rd1を並列に接続するが、これはTr3のオフを
早めるための抵抗である。Tr3のコレクタ端子は抵抗R
d2を経てVcc2 の負電極に接続する。Tr3のコレクタ端
子と抵抗Rd2の接続点はロジックインバータINVを介
して、ベース電流制御手段3に入力する。このVce検出
方法は多くの公知例でも実施されており、IGBTのV
ceが基準とする値(Vcc1 からTr3のベース電圧とDc
のオン電圧を差し引いた値)より高いことを検出する。
次に、ベース電流制御手段3について述べる。a点の電
圧はコンパレータCMPによって基準電圧Vref と比較
され、その結果がベース電流制御手段3に入力される。
First, the detection of Vce will be described. Power supply voltage Vcc
1 is connected to the emitter terminal of a pnp transistor Tr3, and the base terminal of Tr3 is connected to the IGBT via a diode Dc.
To the collector terminal of A resistor Rd1 is connected in parallel between the emitter and the base of Tr3. This resistor is used to accelerate the turning off of Tr3. The collector terminal of Tr3 is a resistor R
Connected to the negative electrode of Vcc2 via d2. The connection point between the collector terminal of Tr3 and the resistor Rd2 is input to the base current control means 3 via the logic inverter INV. This Vce detection method is also implemented in many known examples, and the Vce of IGBT is
ce is a reference value (Vcc1 to Tr3 base voltage and Dc
Is higher than the value obtained by subtracting the on-state voltage of the signal).
Next, the base current control means 3 will be described. The voltage at the point a is compared with the reference voltage Vref by the comparator CMP, and the result is input to the base current control means 3.

【0013】ベース電流制御手段3は下記3つの条件か
ら出力電流ibを変化させる。
The base current control means 3 changes the output current ib under the following three conditions.

【0014】1)a点の電圧がVref より低い 2)IGBTのVceは上記基準値より高い 3)入力信号Vsが与えられている。1) The voltage at point a is lower than Vref. 2) Vce of the IGBT is higher than the reference value. 3) The input signal Vs is given.

【0015】ここでは、1)〜3)の全ての条件が満足
されると、ベース電流制御手段3は図1で矢印で示した
電流ibを図1中の正値ib1から負値ib2に変化させ
る。この時、ibの変化は所定の期間を要して連続的に
変わるものとする。
Here, when all of the conditions 1) to 3) are satisfied, the base current control means 3 changes the current ib indicated by the arrow in FIG. 1 from a positive value ib1 in FIG. 1 to a negative value ib2. Let it. At this time, it is assumed that the change of ib changes continuously over a predetermined period.

【0016】前述のように、第二ゲート駆動回路のQ4
は(Vge′−VZD1)を増幅し、この値をa点の電圧
として出力すると共に、(Vge′−VZD1)に応じて
ダーリントン接続されたQ2の抵抗を可変化させる。こ
こで、IGBTのVgeを検出し、この値とVce検出結果
の両方に応じてゲート出力を変化させる従来例は、米国
特許5,210,479 号に記載があることは既に述べた。そこ
で、この従来例と本発明の違いを説明する。
As described above, Q4 of the second gate drive circuit
Amplifies (Vge'-VZD1), outputs this value as the voltage at point a, and varies the resistance of the Darlington-connected Q2 according to (Vge'-VZD1). Here, it has already been described that US Pat. No. 5,210,479 describes a conventional example in which Vge of the IGBT is detected and the gate output is changed according to both the value and the Vce detection result. Therefore, the difference between the conventional example and the present invention will be described.

【0017】図2には、上記従来例と本発明をそれぞれ
用いて、IGBTのアーム短絡試験を行った結果を示
す。アーム短絡では、図1のIGBTに直列にもう一つ
のIGBTを接続し、両者をオンさせる形で行った。図2
(a)の結果は、米国特許5,210,479 号に記載された方
法による動作波形である。始めにオン状態にあったIG
BTをQ1として、Q1の短絡保護回路が対アームの誤
点弧により発生した短絡を検知して、ソフト遮断を実施
した動作である。図2(a)で、アーム短絡が発生する
と、始めにオン状態にあったIGBT Q1のゲート電
圧が盛り上がることが分かる。この現象はアーム短絡に
よってコレクタ−エミッタ間電圧が数十Vに増加する
と、コレクタ−ゲート間の帰還容量Crss を通って変位
電流がゲート容量に流れ込み、ゲート電圧を増加させる
ために生じる。米国特許5,210,479号に記載された従来
例では、IGBTのコレクタ電圧の増加と、上記変位電
流によるゲート電圧の増加を検知して、短絡が発生した
ことを認識する。本来であれば、短絡発生時点から保護
回路の機能によってゲートが緩やかに減少するはず(こ
れをゲートソフト遮断と呼ぶ)であるが、図2(a)で
は20μsの期間はゲート電圧が盛り上がるだけに終わ
っている。これは、IGBTモジュールからゲート駆動
回路までの配線が持つ寄生インダクタンスによって、ゲ
ートソフト遮断が有効に働かず、逆に変位電流の流入に
よってゲート電圧が増加することを示している。
FIG. 2 shows the results of an arm short-circuit test of an IGBT using the conventional example and the present invention. In the arm short circuit, another IGBT was connected in series to the IGBT of FIG. 1 and both were turned on. FIG.
The result of (a) is an operating waveform according to the method described in U.S. Pat. No. 5,210,479. IG that was on at the beginning
With BT as Q1, the short-circuit protection circuit of Q1 detects a short-circuit caused by erroneous firing of the arm, and performs soft cutoff. FIG. 2A shows that when an arm short circuit occurs, the gate voltage of the IGBT Q1 that was initially turned on rises. This phenomenon occurs because the displacement current flows into the gate capacitance through the collector-gate feedback capacitance Crss when the collector-emitter voltage increases to several tens of volts due to the arm short circuit, and the gate voltage increases. In the conventional example described in US Pat. No. 5,210,479, an increase in the collector voltage of the IGBT and an increase in the gate voltage due to the displacement current are detected to recognize that a short circuit has occurred. Normally, the gate should gradually decrease due to the function of the protection circuit from the point of occurrence of the short circuit (this is called gate soft cutoff). However, in FIG. 2A, the gate voltage rises only during the period of 20 μs. Is over. This indicates that the gate soft cutoff does not work effectively due to the parasitic inductance of the wiring from the IGBT module to the gate drive circuit, and conversely, the gate voltage increases due to the inflow of the displacement current.

【0018】次に、図2(b)には図1の実施例を用い
た本発明の動作波形を示す。本発明では、短絡発生直後
に、変位電流の流入によってゲート電圧が増加しようと
すると、第二ゲート駆動回路2のQ4が(Vge′−VZ
D1)を増幅し、この値をベース電流制御手段に伝える
と共に、(Vge′−VZD1)に応じてダーリントン接
続されたQ2の抵抗を可変化させる。図2(b)の場合
にはVge′が増加しようとする為、Q4の電流が増え、
この結果としてQ2の抵抗は減少する。このため、Q2
は流入して来る変位電流を低抵抗でバイパスし、IGB
T Q1のゲート電圧を増加させることはない。次に、
ベース電流制御手段3はVceとa点の出力から短絡の発
生を検知し、ベース電流を制御して、Tr1とTr2でゲー
ト電圧をソフト遮断させるように動作させる。図2
(b)の波形を図2(a)の結果と比較すると明らかなよ
うに、図2(b)では、アーム短絡時に生じるゲート電
圧の盛り上がりが解消され、その結果、短絡電流の最大
値は約1000A低減している。また、図2(a)の従
来例では、ゲート電圧が盛り上がる影響で、ゲート電圧
の減少率(dVge/dt)が正常なソフト遮断時の値よ
り急峻になるため、遮断時の電流減少率(di/dt)
が大きい。図2(b)の本発明では、ゲート電圧の盛り上
がりが解消されたため、dVge/dtは小さく、遮断時
のdi/dtも抑制されている。この結果、ソフト遮断
中のコレクタ電圧Vceも減少し、IGBTの電圧−電流
ローカス(軌跡)をデバイスメーカが補償する安全動作
範囲内に納めることができる。
Next, FIG. 2B shows an operation waveform of the present invention using the embodiment of FIG. According to the present invention, if the gate voltage is to be increased due to the inflow of the displacement current immediately after the occurrence of the short circuit, Q4 of the second gate drive circuit 2 becomes (Vge'-VZ).
D1) is amplified, this value is transmitted to the base current control means, and the resistance of the Darlington-connected Q2 is varied according to (Vge'-VZD1). In the case of FIG. 2B, the current of Q4 increases because Vge 'tries to increase,
As a result, the resistance of Q2 decreases. Therefore, Q2
Bypasses the incoming displacement current with low resistance,
It does not increase the gate voltage of TQ1. next,
The base current control means 3 detects the occurrence of a short circuit from Vce and the output at the point a, controls the base current, and operates so as to softly cut off the gate voltage at Tr1 and Tr2. FIG.
As is clear from the comparison between the waveform of FIG. 2B and the result of FIG. 2A, in FIG. 2B, the swelling of the gate voltage caused when the arm is short-circuited is eliminated, and as a result, the maximum value of the short-circuit current becomes approximately It has been reduced by 1000A. Further, in the conventional example of FIG. 2A, the rate of decrease of the gate voltage (dVge / dt) becomes steeper than the value at the time of the normal soft cutoff due to the effect of the rise of the gate voltage. di / dt)
Is big. In the present invention shown in FIG. 2B, since the swell of the gate voltage is eliminated, dVge / dt is small, and di / dt at the time of cutoff is also suppressed. As a result, the collector voltage Vce during the soft cutoff also decreases, and the voltage-current locus (trajectory) of the IGBT can be kept within a safe operation range where the device maker compensates.

【0019】次に、本発明の第二の実施例を図3に示
す。図3は第一,第二ゲート駆動回路を用いてIGBT
がターンオン、或いはターンオフする際の電圧時間変化
(dV/dt)を抑制する回路である。図3で第一ゲー
ト駆動回路1は図1に示した構成と類似しており、異な
る部位のみを説明する。図3の実施例では、第二ゲート
駆動回路中のa点の電圧と基準電圧Vref の差を増幅器
AMPを用いて増幅し、AMPの出力をベース電流制御
手段3に入力する。尚、回路全体での動作の違いは後述
する。
Next, a second embodiment of the present invention is shown in FIG. FIG. 3 shows an IGBT using first and second gate drive circuits.
Is a circuit that suppresses a voltage time change (dV / dt) when turning on or off. In FIG. 3, the first gate drive circuit 1 is similar to the configuration shown in FIG. 1, and only different portions will be described. In the embodiment of FIG. 3, the difference between the voltage at point a in the second gate drive circuit and the reference voltage Vref is amplified using an amplifier AMP, and the output of the AMP is input to the base current control means 3. The difference in the operation of the entire circuit will be described later.

【0020】第二ゲート駆動回路は、図1の実施例とは
異なる。領域2でIGBTのゲートとエミッタ端子間に
並列に、R1とR2の抵抗を直列接続で設け、R1に振
動防止用のキャパシタC1を接続する。R1とR2でI
GBTのゲート電圧Vgeを分圧する点は図1と同じであ
り、R1とR2の接続点はnpnトランジスタQ4のベ
ース端子に接続する。Q4のエミッタ端子はツエナーダ
イオードZD1を経てIGBTのエミッタ端子に接続す
る。Q4のコレクタ端子は抵抗R3を経てIGBTのゲート
に接続し、Q4のコレクタ端子aをダーリントン接続さ
れたpnpトランジスタ(Q2とQ3)のベース端子を
接続することも図1と同じである。
The second gate drive circuit differs from the embodiment of FIG. In region 2, resistors R1 and R2 are connected in series between the gate and emitter terminals of the IGBT in parallel, and a capacitor C1 for preventing vibration is connected to R1. I at R1 and R2
The point at which the gate voltage Vge of the GBT is divided is the same as that of FIG. 1, and the connection point between R1 and R2 is connected to the base terminal of the npn transistor Q4. The emitter terminal of Q4 is connected to the emitter terminal of IGBT via Zener diode ZD1. The collector terminal of Q4 is connected to the gate of the IGBT via a resistor R3, and the collector terminal a of Q4 is connected to the base terminals of pnp transistors (Q2 and Q3) connected in Darlington as in FIG.

【0021】図3と図1の違いはQ4のエミッタ電圧の
与え方である。図3では、IGBTのゲート−エミッタ
端子間に抵抗R6とR7を直列に接続し、R6とR7の
接続箇所をnpnトランジスタQ5のベース端子に接続
する。Q5のエミッタ端子は抵抗R5を経てIGBTの
エミッタ端子に接続する。また、Q5のコレクタ端子は
IGBTのゲート端子に接続する。
The difference between FIG. 3 and FIG. 1 lies in how the emitter voltage of Q4 is applied. In FIG. 3, resistors R6 and R7 are connected in series between the gate and emitter terminals of the IGBT, and the connection point between R6 and R7 is connected to the base terminal of npn transistor Q5. The emitter terminal of Q5 is connected via a resistor R5 to the emitter terminal of the IGBT. The collector terminal of Q5 is connected to the gate terminal of the IGBT.

【0022】このような接続によって抵抗R5両端の電
圧は、図中に示した第二ゲート電圧の入力電圧Voに応
じて変化する電圧(Vref2と表す)になる。Vref2の値
を抵抗R4とツエナーダイオードZD1の内部抵抗で分
圧した電圧がQ4のエミッタ電圧となる。ただし、ZD
1の内部抵抗はR4に比べて遥かに大きいため、Q4の
エミッタ電圧は実質、Vref2となる。図2に示したよう
に、短絡が発生してゲート電圧が盛り上がるような場合
には、Vref2はVZD1より大きくなろうとするが、Z
D1にクランプされるため、Q4のエミッタ電圧の上限
はVZD1になる。
With this connection, the voltage across the resistor R5 becomes a voltage (denoted as Vref2) that changes according to the input voltage Vo of the second gate voltage shown in the figure. The voltage obtained by dividing the value of Vref2 by the resistor R4 and the internal resistance of the Zener diode ZD1 becomes the emitter voltage of Q4. However, ZD
Since the internal resistance of 1 is much larger than that of R4, the emitter voltage of Q4 is substantially Vref2. As shown in FIG. 2, when a short circuit occurs and the gate voltage rises, Vref2 tends to become larger than VZD1.
Since it is clamped at D1, the upper limit of the emitter voltage of Q4 is VZD1.

【0023】以上の構成によってQ4のベース−エミッ
タ間電圧Vbeは、VgeをR1とR2で分圧した値Vge′
から、Vref2を差し引いた値(Vge′−Vref2)が加わ
る。また、Q4は(Vge′−Vref2)を増幅し、ダーリン
トン接続されたQ2の抵抗を可変化させる。従来技術で
は、第一ゲート駆動回路でIGBTのゲート電圧を所望
する波形に制御しようとしても、配線インダクタンスL
sと帰還容量の変位電流によって、ゲート波形は崩れて
しまう。図3の実施例では、Vref2が第二ゲート電圧の
入力電圧Voに応じて変化する。即ち、電圧Voに応じ
たVref2を用いて、ゲート電圧検出値Vge′が増加しよ
うとすることを抑制することが本発明の目的である。
With the above configuration, the base-emitter voltage Vbe of Q4 is a value Vge 'obtained by dividing Vge by R1 and R2.
Is subtracted from Vref2 (Vge'-Vref2). Also, Q4 amplifies (Vge'-Vref2) and varies the resistance of Darlington-connected Q2. In the prior art, even if the first gate drive circuit attempts to control the gate voltage of the IGBT to a desired waveform, the wiring inductance L
The gate waveform collapses due to s and the displacement current of the feedback capacitance. In the embodiment of FIG. 3, Vref2 changes according to the input voltage Vo of the second gate voltage. That is, it is an object of the present invention to suppress the gate voltage detection value Vge 'from going to increase by using Vref2 corresponding to the voltage Vo.

【0024】図4に本発明の効果を現す。図4(a)は
第二のゲート回路を使用せず、第一ゲート回路内部のゲ
ート抵抗RgでIGBTのゲート電圧を放電させた場合
である。このようなターンオフ時では、ゲート電圧は定
格15Vの順バイアス状態からー10Vの逆バイアスに
変化する際、10V付近で一旦、階段状の平坦な期間が
できる。これをテラス期間と命名すると、IGBTのコ
レクタ−エミッタ電圧が立ち上がり、ゲート回路にコレ
クタ−ゲート間の帰還容量Crss を通る変位電流が流れ
込み、この影響でゲート−エミッタ間容量の放電が休止
するためにテラス期間が生じる。このテラス期間が終了
する間際に、IGBTのコレクタ電圧は急激に増加し、
続いてIGBTの電流は遮断される。しかしながら、I
GBTのゲート電圧がテラス期間の値から減少する際の
変化は制御不能であった。即ち、ゲート電圧を緩やかに
減少させてターンオフ時のコレクタ電圧変化dV/dt
を抑制しようとしても、テラス期間の影響で達成されな
かった。
FIG. 4 shows the effect of the present invention. FIG. 4A shows a case where the gate voltage of the IGBT is discharged by the gate resistance Rg inside the first gate circuit without using the second gate circuit. At the time of such turn-off, when the gate voltage changes from a forward bias state of a rated 15V to a reverse bias of -10V, a stepwise flat period is once formed at about 10V. If this is termed the terrace period, the collector-emitter voltage of the IGBT rises, a displacement current flows through the collector-gate feedback capacitance Crss into the gate circuit, and the discharge of the gate-emitter capacitance pauses due to this effect. A terrace period occurs. Just before the end of this terrace period, the collector voltage of the IGBT increases sharply,
Subsequently, the current of the IGBT is cut off. However, I
The change when the gate voltage of the GBT decreased from the value during the terrace period was uncontrollable. That is, the gate voltage is gradually reduced to change the collector voltage dV / dt at turn-off.
Was not achieved due to the influence of the terrace period.

【0025】次に、図3の実施例を適用した場合のター
ンオフ波形を図4(b)に示す。本発明では帰還容量Crs
s を通る変位電流はダーリントントランジスタQ2,Q
3によってバイパスされるため、テラス期間は生じてい
ない。また、基準電圧Vref2は第二ゲート駆動回路の入
力電圧Voに応じて変化するため、この値で抑制された
IGBTのゲート電圧VgeはVoと同様な波形になって
いることが確認できる。
Next, FIG. 4B shows a turn-off waveform when the embodiment of FIG. 3 is applied. In the present invention, the feedback capacitance Crs
The displacement current passing through s is the Darlington transistor Q2, Q
3, the terrace period does not occur. Further, since the reference voltage Vref2 changes in accordance with the input voltage Vo of the second gate drive circuit, it can be confirmed that the gate voltage Vge of the IGBT suppressed by this value has a waveform similar to Vo.

【0026】図3に示した第一ゲート駆動回路と第二ゲ
ート駆動回路の関係を述べると、下記のようになる。即
ち、 1)第一ゲート駆動回路は、ターンオフ開始と共に、所
定のゲート電流を流す。
The relationship between the first gate drive circuit and the second gate drive circuit shown in FIG. 3 is as follows. That is, 1) the first gate drive circuit causes a predetermined gate current to flow at the start of turn-off.

【0027】2)IGBTのゲート電圧Vgeがテラス期
間に入ろうとすると、(Vge′−Vref2)が増加し、Q
4の働きでQ2の抵抗が減少し、変位電流をバイパスす
る。
2) When the gate voltage Vge of the IGBT enters the terrace period, (Vge'-Vref2) increases and Q
The action of 4 reduces the resistance of Q2 and bypasses the displacement current.

【0028】3)Q4のコレクタ電圧(a点)が変化
し、第一ゲート駆動回路内部のベース電流制御手段3は
増幅器AMPの出力から、電流ibを変化させる。
3) The collector voltage (point a) of Q4 changes, and the base current control means 3 in the first gate drive circuit changes the current ib from the output of the amplifier AMP.

【0029】4)電流ibに応じて、IGBTのゲート
電圧の減少は緩やかになる。ここで、コレクタ電圧はゆ
っくりと増加し、電流は遮断される。
4) The gate voltage of the IGBT gradually decreases according to the current ib. Here, the collector voltage increases slowly and the current is cut off.

【0030】5)IGBTのゲート電圧が順バイアスか
ら逆バイアスに変わると、第二ゲート駆動回路は動作を
終了し、ゲート電圧は第一ゲート駆動回路だけで減少し
てゆく。尚、この期間を増幅器AMPの出力から検知す
ると、ベース電流制御手段3はIGBTのゲート電圧を
急激に減少させて良い。
5) When the gate voltage of the IGBT changes from the forward bias to the reverse bias, the operation of the second gate drive circuit ends, and the gate voltage decreases only in the first gate drive circuit. If this period is detected from the output of the amplifier AMP, the base current control means 3 may rapidly decrease the gate voltage of the IGBT.

【0031】6)また、IGBTがオン期間中にアーム
短絡が発生すると、Vref2がVZD1でクランプされ、その
後の動作は図1の実施例と同じになるように制御する。
図5には図3の実施例を並列接続したIGBTに適用し
た実施例を示す。図5で並列接続されたIGBT Q1
とQ6のゲート−エミッタ端子間にはそれぞれ第二のゲ
ート駆動回路2−1と2−2を備える。第一のゲート駆
動回路はQ1とQ6のいずれかのコレクタ電圧が所定値
以上になることを検出する。第二のゲート駆動回路2−
1と2−2はQ1とQ6のいずれか一方が、先にアーム
短絡状態となると、内部のトランジスタQ4でこれを検
出し、ゲート電圧の盛り上がりを抑制する。他方のIG
BTは遅れて短絡するが、両者はいずれもゲート電圧が
盛り上がらない為、短絡電流は図2(b)に示したよう
に低減する。その後の動作は図1の実施例と同様であ
る。
6) If an arm short circuit occurs during the ON period of the IGBT, Vref2 is clamped at VZD1, and the subsequent operation is controlled so as to be the same as that of the embodiment of FIG.
FIG. 5 shows an embodiment in which the embodiment of FIG. 3 is applied to an IGBT connected in parallel. IGBT Q1 connected in parallel in FIG.
And Q6 have second gate drive circuits 2-1 and 2-2 between the gate and emitter terminals, respectively. The first gate drive circuit detects that one of the collector voltages of Q1 and Q6 is higher than a predetermined value. Second gate drive circuit 2-
In the case of 1 and 2-2, when one of Q1 and Q6 is in the arm short state first, this is detected by the internal transistor Q4, and the rise of the gate voltage is suppressed. The other IG
Although the BT is short-circuited with a delay, the gate voltage does not rise in either case, so that the short-circuit current is reduced as shown in FIG. Subsequent operations are the same as in the embodiment of FIG.

【0032】従来はいずれか一方のIGBTのコレクタ
電圧,ゲート電圧を検出していたため、電圧を検出され
ていないIGBTが先に短絡すると、このIGBTに電
流が集中し、素子を破壊してしまう可能性があった。ま
た、電流が集中する結果、他方のIGBTはコレクタ電
圧とゲート電圧の変化が遅れ、第一ゲート駆動回路で短
絡の発生を検出することが遅れた。本発明では、それぞ
れに第二ゲート駆動回路を設けているため、迅速な保護
処理が可能となる。また、図5の実施例でスイッチング
時のdV/dtを抑制する場合も同様である。並列接続
ながら、配線インダクタンスが原因で両者のIGBTの
ゲート電圧は等しくならない。こうした状況でも第二の
ゲート駆動回路2−1と2−2は、それぞれのゲート電
圧を検出し、電圧Voとの差から適切なゲート電圧抑制
を行うことが可能になる。
Conventionally, the collector voltage and the gate voltage of one of the IGBTs have been detected. Therefore, if the IGBT whose voltage has not been detected is short-circuited first, current concentrates on the IGBT and the element may be destroyed. There was sex. In addition, as a result of the concentration of the current, the change in the collector voltage and the gate voltage of the other IGBT is delayed, and the detection of the occurrence of the short circuit in the first gate drive circuit is delayed. According to the present invention, since the second gate drive circuits are provided in each case, quick protection processing is possible. The same applies to the case where dV / dt during switching is suppressed in the embodiment of FIG. While connected in parallel, the gate voltages of both IGBTs are not equal due to wiring inductance. Even in such a situation, the second gate drive circuits 2-1 and 2-2 can detect the respective gate voltages and perform appropriate gate voltage suppression based on the difference from the voltage Vo.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明によれば、短絡等の異常時には、
IGBTのゲート電圧を即座に抑制して、短絡電流を軽
減し、素子の破壊を防ぐことができる。また、帰還容量
によりゲート回路へ変位電流が影響を与えることを防ぐ
と同時に、増幅トランジスタQ4の検出信号に応じた適
切なゲート電圧抑制を達成し、スイッチング時のdV/
dtを抑制して、電磁誘導障害,ノイズ誤動作を防止す
ることが出来る。更に、並列接続された複数のIGBT
モジュールに対して、最初に短絡したIGBTと、遅れ
て短絡するIGBTで、ゲート電圧の抑制程度を変え
て、それぞれを適切に保護、或いはdV/dtの抑制を
達成する事が出来る。
According to the present invention, when an abnormality such as a short circuit occurs,
The gate voltage of the IGBT can be immediately suppressed, the short-circuit current can be reduced, and the element can be prevented from being destroyed. In addition, at the same time as preventing the displacement current from affecting the gate circuit by the feedback capacitance, appropriate suppression of the gate voltage according to the detection signal of the amplification transistor Q4 is achieved, and dV /
By suppressing dt, it is possible to prevent electromagnetic induction failure and noise malfunction. Further, a plurality of IGBTs connected in parallel
The IGBT that is short-circuited first and the IGBT that is short-circuited with a delay can change the degree of suppression of the gate voltage, and appropriately protect each of them, or suppress dV / dt.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のゲート駆動回路による過電流保護の構
成。
FIG. 1 shows a configuration of overcurrent protection by a gate drive circuit of the present invention.

【図2】短絡保護における、従来例と図1実施例の比
較。
FIG. 2 is a comparison between the conventional example and the embodiment of FIG. 1 in short-circuit protection.

【図3】本発明のゲート駆動回路によるdV/dt抑制
の構成。
FIG. 3 shows a configuration of dV / dt suppression by the gate drive circuit of the present invention.

【図4】ターンオフ時における、従来技術と図2実施例
の比較。
FIG. 4 shows a comparison between the prior art and the embodiment of FIG. 2 at the time of turn-off.

【図5】本発明によるゲート駆動回路を並列IGBTに
適用した実施例。
FIG. 5 is an embodiment in which the gate drive circuit according to the present invention is applied to a parallel IGBT.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Q1,Q6…IGBT、Q1〜Q5,Tr1〜Tr3…
トランジスタ、R1〜R7,Rd1,Rd2,Rg…抵
抗、C1,C2…キャパシタ、INV…ロジックインバ
ータ、CMP…コンパレータ、AMP…増幅器、Dc…
ダイオード、ZD1…ツエナーダイオード、Vcc1,Vc
c2…電源、1…第一ゲート駆動回路、2…第二ゲート駆
動回路、3…ベース電流制御手段、Vs…入力信号。
Q1, Q6 ... IGBT, Q1 to Q5, Tr1 to Tr3 ...
Transistors, R1 to R7, Rd1, Rd2, Rg: resistor, C1, C2: capacitor, INV: logic inverter, CMP: comparator, AMP: amplifier, Dc ...
Diode, ZD1 ... Zener diode, Vcc1, Vc
c2: power supply, 1: first gate drive circuit, 2: second gate drive circuit, 3: base current control means, Vs: input signal.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小柳 阿佐子 茨城県日立市大みか町七丁目2番1号 株 式会社日立製作所電力・電機開発本部内 (72)発明者 立川 真 茨城県日立市大みか町五丁目2番1号 株 式会社日立製作所大みか工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Asako Koyanagi 7-2-1, Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside Power & Electricity Development Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Makoto Tachikawa Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 5-2-1, Hitachi, Ltd. Omika Plant

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】パワー半導体素子のゲート電流入出力端子
と、第一ゲート駆動回路の間に設けられ、前記パワー半
導体素子のゲート電圧を電源とする第二のゲート駆動回
路であって、 前記パワー半導体素子のゲート電圧検出値と基準電圧の
差電圧を増幅させる増幅手段と、該増幅手段の出力に応
じて、前記ゲート電流入出力端子に並列に設けた抵抗手
段の抵抗値を変化させる可変抵抗素子を備えたことを特
徴とするパワー半導体素子のゲート駆動回路。
1. A second gate drive circuit provided between a gate current input / output terminal of a power semiconductor element and a first gate drive circuit, and powered by a gate voltage of the power semiconductor element, Amplifying means for amplifying a difference voltage between a gate voltage detection value of a semiconductor element and a reference voltage; and a variable resistor for changing a resistance value of a resistance means provided in parallel with the gate current input / output terminal according to an output of the amplifying means. A gate drive circuit for a power semiconductor device, comprising a device.
【請求項2】請求項1記載の第二のゲート駆動回路であ
って、 前記基準電圧は、前記第一ゲート回路の出力電圧に応じ
て変化する電圧であることを特徴とするパワー半導体素
子のゲート駆動回路。
2. The second gate drive circuit according to claim 1, wherein the reference voltage is a voltage that changes according to an output voltage of the first gate circuit. Gate drive circuit.
【請求項3】請求項1又は2記載の第一,第二ゲート駆
動回路を用いた、パワー半導体素子の駆動回路であっ
て、 前記第一ゲート駆動回路に、前記パワー半導体素子の入
出力端子間電圧を検出する第二の電圧検出手段を備え、
該第二の電圧検出手段の出力と、前記第二ゲート駆動回
路に備えた前記増幅手段の出力が所定の状態となった場
合に、前記第一ゲート駆動回路から前記パワー半導体素
子に供給する正又は負方向のゲート電流を抑制すること
を特徴とするパワー半導体素子の駆動回路。
3. A drive circuit for a power semiconductor device using the first and second gate drive circuits according to claim 1 or 2, wherein an input / output terminal of the power semiconductor device is provided in the first gate drive circuit. A second voltage detecting means for detecting an inter-voltage,
When the output of the second voltage detecting means and the output of the amplifying means provided in the second gate driving circuit are in a predetermined state, the positive voltage supplied from the first gate driving circuit to the power semiconductor element is changed. Alternatively, a driving circuit for a power semiconductor element, wherein a gate current in a negative direction is suppressed.
【請求項4】並列接続された複数のパワー半導体素子を
請求項1記載の第一,第二ゲート駆動回路を用いて駆動
するパワー半導体素子の回路であって、 前記第一ゲート駆動回路に、前記並列接続された複数の
パワー半導体素子の入出力端子間電圧をそれぞれ検出す
る第二の電圧検出手段を備えると共に、前記並列接続さ
れたパワー半導体素子のゲート電流入出力端子に各々、
前記第二ゲート駆動回路を備え、該複数の第二ゲート駆
動回路に備えた前記増幅手段のいずれか一つの出力と、
前記第二の電圧検出手段の出力が所定の状態になると、
前記第一ゲート駆動回路から前記並列接続されたパワー
半導体素子に供給する正又は負方向のゲート電流を抑制
することを特徴とするパワー半導体素子の駆動回路。
4. A power semiconductor device circuit for driving a plurality of power semiconductor devices connected in parallel using the first and second gate drive circuits according to claim 1, wherein: Along with second voltage detection means for detecting the voltage between the input and output terminals of the plurality of power semiconductor elements connected in parallel, respectively, the gate current input and output terminals of the power semiconductor elements connected in parallel,
Comprising the second gate drive circuit, the output of any one of the amplifying means provided in the plurality of second gate drive circuit,
When the output of the second voltage detection means is in a predetermined state,
A drive circuit for a power semiconductor element, wherein a gate current in a positive or negative direction supplied from the first gate drive circuit to the power semiconductor element connected in parallel is suppressed.
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