JP2000097838A5 - 表面観察装置 - Google Patents
表面観察装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2000097838A5 JP2000097838A5 JP1998283361A JP28336198A JP2000097838A5 JP 2000097838 A5 JP2000097838 A5 JP 2000097838A5 JP 1998283361 A JP1998283361 A JP 1998283361A JP 28336198 A JP28336198 A JP 28336198A JP 2000097838 A5 JP2000097838 A5 JP 2000097838A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- probe
- potential
- potential distribution
- observation apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 72
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は走査型探針顕微鏡を応用した表面観察装置に関するものである。
【発明の属する技術分野】
本発明は走査型探針顕微鏡を応用した表面観察装置に関するものである。
そこで、本発明は、上記した従来のものにおける課題を解決し、試料表面の電圧分布をナノメートルスケールの分解能で観察することができる表面観察装置を提供することを目的としている。
また、本発明は、試料表面の電圧分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防ぎ安定に観察することができる表面観察装置を提供することを目的としている。
また、本発明は、試料表面の電圧分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防ぎ安定に観察することができる表面観察装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、表面観察装置をつぎのように構成したことを特徴としている。
すなわち、本発明の表面観察装置は、弾性体で支持された導電性探針を試料表面に接触させて該試料表面に水平な方向に走査し、該弾性体の変位量を検出することにより前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を算出して、前記試料表面の形状を測定するようにした表面観察装置において、
前記試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、前記探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、前記探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、前記電位検出手段による電位の検出とを、前記試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するようにしたことを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記試料表面の形状を測定するための手段が、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段と、該位置制御手段と前記弾性体の変位量を検出する変位量検出手段からの信号に基づいて前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を求める探針位置算出手段と、によって試料表面の形状を算出する表面形状算出手段を構成していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布を測定するための手段が、前記電位検出手段と、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段からの信号に基づき前記試料表面の電位分布を算出する電位分布算出手段と、で構成されていることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位検出手段が、可変電圧源と検流計とで構成された平衡回路による電位測定回路であることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布発生手段が、試料に電位分布を発生するタイミングを制御する電位分布発生制御手段を具備していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記探針が、導電性材料上に絶縁性薄膜が被覆されて形成されていることを特徴としている。
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、表面観察装置をつぎのように構成したことを特徴としている。
すなわち、本発明の表面観察装置は、弾性体で支持された導電性探針を試料表面に接触させて該試料表面に水平な方向に走査し、該弾性体の変位量を検出することにより前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を算出して、前記試料表面の形状を測定するようにした表面観察装置において、
前記試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、前記探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、前記探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、前記電位検出手段による電位の検出とを、前記試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するようにしたことを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記試料表面の形状を測定するための手段が、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段と、該位置制御手段と前記弾性体の変位量を検出する変位量検出手段からの信号に基づいて前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を求める探針位置算出手段と、によって試料表面の形状を算出する表面形状算出手段を構成していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布を測定するための手段が、前記電位検出手段と、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段からの信号に基づき前記試料表面の電位分布を算出する電位分布算出手段と、で構成されていることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位検出手段が、可変電圧源と検流計とで構成された平衡回路による電位測定回路であることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布発生手段が、試料に電位分布を発生するタイミングを制御する電位分布発生制御手段を具備していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記探針が、導電性材料上に絶縁性薄膜が被覆されて形成されていることを特徴としている。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面観察装置によると、試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、電位検出手段による電位の検出とを、試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するように構成することで、試料表面の形状を観察しながらそれに対応した試料表面の電位をナノメートルスケールで観察することができる。また、本発明によると、上記した表面観察装置における前記探針を、導電性材料上に絶縁性薄膜を被覆して形成することにより、試料表面の電位分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防止して、安定に観察することが可能となる。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面観察装置によると、試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、電位検出手段による電位の検出とを、試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するように構成することで、試料表面の形状を観察しながらそれに対応した試料表面の電位をナノメートルスケールで観察することができる。また、本発明によると、上記した表面観察装置における前記探針を、導電性材料上に絶縁性薄膜を被覆して形成することにより、試料表面の電位分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防止して、安定に観察することが可能となる。
Claims (6)
- 弾性体で支持された導電性探針を試料表面に接触させて該試料表面に水平な方向に走査し、該弾性体の変位量を検出することにより前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を算出して、前記試料表面の形状を測定するようにした表面観察装置において、
前記試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、前記探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、前記探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、前記電位検出手段による電位の検出とを、前記試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するようにしたことを特徴とする表面観察装置。 - 前記試料表面の形状を測定するための手段が、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段と、該位置制御手段と前記弾性体の変位量を検出する変位量検出手段からの信号に基づいて前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を求める探針位置算出手段と、によって試料表面の形状を算出する表面形状算出手段を構成していることを特徴とする請求項１に記載の表面観察装置。
- 前記電位分布を測定するための手段が、前記電位検出手段と、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段からの信号に基づき前記試料表面の電位分布を算出する電位分布算出手段と、で構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面観察装置。
- 前記電位検出手段が、可変電圧源と検流計とで構成された平衡回路による電位測定回路であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の表面観察装置。
- 前記電位分布発生手段が、試料に電位分布を発生するタイミングを制御する電位分布発生制御手段を具備していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の表面観察装置。
- 前記探針が、導電性材料上に絶縁性薄膜が被覆されて形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の表面観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10283361A JP2000097838A (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 表面観察装置及び表面観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10283361A JP2000097838A (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 表面観察装置及び表面観察方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000097838A JP2000097838A (ja) | 2000-04-07 |
| JP2000097838A5 true JP2000097838A5 (ja) | 2005-04-21 |
Family
ID=17664502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10283361A Pending JP2000097838A (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 表面観察装置及び表面観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000097838A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4945503B2 (ja) * | 2008-04-15 | 2012-06-06 | 株式会社日立製作所 | プローブ顕微鏡及び絶縁不良の検査装置，絶縁不良検査方法 |
-
1998
- 1998-09-18 JP JP10283361A patent/JP2000097838A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940009197B1 (ko) | 이온비임의 평행도 측정방법, 주사파형 정형방법 및 이온주입장치 | |
| EP0503032B1 (en) | Capacitance sensing probe | |
| US7404313B2 (en) | Scanning probe microscope | |
| Reddy et al. | Breakdown of organic coatings in corrosive environments examined by scanning kelvin probe and scanning acoustic microscopy | |
| Akid et al. | Scanning vibrating reference electrode technique: a calibration study to evaluate the optimum operating parameters for maximum signal detection of point source activity | |
| IL179295A0 (en) | A method and device for determining a parameter of living tissue | |
| WO2005036096A3 (en) | Measuring vector components of an electric field | |
| KR890002674A (ko) | 저항률의 측정방법 및 그 장치 | |
| JPH1048224A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| CN102654516A (zh) | 位移检测机构及使用该位移检测机构的扫描型探头显微镜 | |
| US4792755A (en) | Process and apparatus for the non-destructive examination of ferromagnetic bodies having sections of surface adjoining each other along edges and/or at corners | |
| JP2000097838A5 (ja) | 表面観察装置 | |
| JP2002156409A (ja) | 集積回路における電気信号の検出のための測定ゾンデ及びこの測定ゾンデの使用法及びこの測定ゾンデの製造方法及びこの測定ゾンデによる測定システム | |
| US20080029762A1 (en) | Test system incorporating a field effect transistor sensor | |
| Stratmann et al. | Monitoring of blistering of organic coatings by a contact‐free measurement | |
| JP2008076213A (ja) | 帯電電位測定プローブ及びこのプローブを用いた帯電電位分布測定システムと帯電電位分布測定装置 | |
| Li et al. | A comparative approach for calibration of the depth measuring system in a nanoindentation instrument | |
| JP2007010404A (ja) | 原子間力顕微鏡プローブ | |
| KR960030754A (ko) | 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법 | |
| WO2022137543A1 (ja) | 高周波エンハンスト電気化学歪み顕微鏡と、それを用いた高周波エンハンスト電気化学歪み顕微鏡法 | |
| Breuel et al. | Experiences with novel secondary conductivity sensors within the German calibration service (DKD) | |
| US11099209B2 (en) | High range and resolution scanning probe and methods | |
| JPH08248082A (ja) | 電位分布測定方法および走査型顕微鏡 | |
| JPH095373A (ja) | 薄膜の局所評価法およびその装置 | |
| Hao et al. | Investigation of the topography-dependent current in conductive AFM and the calibration method |