KR960030754A - 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법 - Google Patents

플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR960030754A
KR960030754A KR1019950000945A KR19950000945A KR960030754A KR 960030754 A KR960030754 A KR 960030754A KR 1019950000945 A KR1019950000945 A KR 1019950000945A KR 19950000945 A KR19950000945 A KR 19950000945A KR 960030754 A KR960030754 A KR 960030754A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
light
optical
plasma
vacuum vessel
Prior art date
Application number
KR1019950000945A
Other languages
English (en)
Inventor
장홍영
이평우
김용진
Original Assignee
심상철
한국과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 심상철, 한국과학기술원 filed Critical 심상철
Priority to KR1019950000945A priority Critical patent/KR960030754A/ko
Priority to US08/588,308 priority patent/US5627640A/en
Publication of KR960030754A publication Critical patent/KR960030754A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/0006—Investigating plasma, e.g. measuring the degree of ionisation or the electron temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

본 발명은 플라즈마(plasma) 내의 활성종(radical) 분포를 측정하는 방법 및 측정장치에 관한 것디다. 본 발명의 플라즈마 내 활성종 분포 측정방법은 프라즈마 진공용기 내부에 광학탐침을 삽입하고 광학탐침으로 입사된 빛을 탐지하여 빛의 세기의 적분량을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 빛의 세기의 적분량을 미분하여 진공용기 내의 각 지점에서의 빛의 세기를 구하는 과정; 진공용기 내부에 전기탐침을 삽입하여 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 전류 및 전압의 I-V 곡선으로부터 플라즈마 파라미터를 구하는 과정; 및, 전기 과정에서 의해 얻어진 빛의 세기 및 플라즈마 파라미터로부터 활성종의 분포를 구하는 과정을 포함하며, 본 발명의 측정장치는 진공용기, 광학탐침, 전기탐침, 선형운동 조절장치, 광분석기, 전기신호 분석기 및 컴퓨터를 포함한다. 본 발명의 측정방법 및 측정장치로부터 홀성종 분포의 측정시 별도의 부대장비를 부설치 않고도 진공용기의 구조와는 무관하게 플라즈마 내의 활성중 분포를 단시간에 적은 오차로 측정할 수 있다는 것이 확인되었다.

Description

플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 측정장치의 개략적 구성을 나타낸 블럭도이다. 제3도는 본 발명의 측정장치에 사용된 광학탐침의 부분 상세도이다.

Claims (2)

  1. 플라즈마 진공요기 내부에 광학탐침을 삽입하고 광학탐침으로 입사된 빛을 탐지하여 빛의 세기의 적분량을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 빛의 세기의 적분량을 미분하여 진공용기 내의 각 지점에서의 빛의 세기를 구하는 과정; 진공용기 내부의 전기탐침을 삽입하여 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 전류 및 전압의 I-V 곡선으로부터 플라즈마 파라미터를 구하는 과정; 및, 전기 과정에 의해 얻어지는 빛의 세기 및 플라즈마 파라미터로부터 활성종의 분포를 구하는 과정을 포함하는 플라즈마 내 활성종 분포의 측정방법.
  2. 선형운동장치를 삽입하기 위한 구멍이 형성된 진공용기; 수평광 집속기, 제1집속렌즈, 절연봉 및 광섬유로 구성되며 진공용기 내의 활성종에 의해 방출된 빛을 탐지하기 위한 공학탐침; 절연체가 피복된 금속봉으로 구성되며 진공용기 내의 전류와 전압을 측정하기 위한 전기탐침; 주름관이 형성되어 있으며 광학탐침 및 전기 탐침을 진공용기 내에 삽입하기 위한 선형운동 조절장치; 제2집속렌즈, 분광기, 광센서 및 광센서 조절장치로 구성되며 광학탐침에 의해 탐지된 빛을 분석하기 위한 광분석기; 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 측정기와 측정기에서 전송된 아날로그 전기신호를 디지틀 신호로 변환시키기 위한 A/D컨버터로 구성된 전기 신호 분석기; 및, 상기 광분석기와 전기신호 분석기로부터 전송된 자료에 의해 활성종의 분포를 분석하며 선형운동장치의 운동방향과 이동거리 및 전기탐침의 스위핑을 제어하기 위한 컴퓨터를 포함하는 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950000945A 1995-01-20 1995-01-20 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법 KR960030754A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950000945A KR960030754A (ko) 1995-01-20 1995-01-20 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법
US08/588,308 US5627640A (en) 1995-01-20 1996-01-18 Method for measuring radical species distribution in plasma and an apparatus therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950000945A KR960030754A (ko) 1995-01-20 1995-01-20 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR960030754A true KR960030754A (ko) 1996-08-17

Family

ID=19406997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950000945A KR960030754A (ko) 1995-01-20 1995-01-20 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5627640A (ko)
KR (1) KR960030754A (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6034781A (en) * 1998-05-26 2000-03-07 Wisconsin Alumni Research Foundation Electro-optical plasma probe
TW525213B (en) * 2000-02-16 2003-03-21 Hitachi Ltd Process monitoring methods in a plasma processing apparatus, monitoring units, and a sample processing method using the monitoring units
JP5404984B2 (ja) * 2003-04-24 2014-02-05 東京エレクトロン株式会社 プラズマモニタリング方法、プラズマモニタリング装置及びプラズマ処理装置
EP1661855A4 (en) * 2003-08-27 2012-01-18 Mineo Hiramatsu PROCESS FOR PRODUCING CARBON NANOPAROI, CARBON NANOPAROI, AND PRODUCTION APPARATUS THEREOF
US9136794B2 (en) 2011-06-22 2015-09-15 Research Triangle Institute, International Bipolar microelectronic device
CN113543439B (zh) * 2021-07-12 2022-06-07 山东大学 发射探针及用于等离子体诊断的方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5627640A (en) 1997-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5548213A (en) Method and system for forming and inspecting an electroconductive film on optical fibers and substrates using eddy current to measure electrical resistance
KR920018606A (ko) 주사광학장치
JP3404605B2 (ja) 電界センサ
KR960030754A (ko) 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치 및 측정방법
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
JPS61181952A (ja) 金属の耐食性の電気化学的エツチング測定装置
EP1191341A3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln der Qualität eines Kabels
US6034535A (en) Method utilizing a modulated light beam for determining characteristics such as the doping concentration profile of a specimen of semiconductor material
JP3717753B2 (ja) 磁気センサの感度校正装置
JPH08220184A (ja) 絶縁電線の絶縁被覆亀裂検知方法及び装置
JPS5912961B2 (ja) レ−ザ位置検出装置
JPS626809Y2 (ko)
Welch et al. Enhancements and extensions to OSEE contamination inspection
SU638842A1 (ru) Способ измерени деформаций металлических изделий
AU1158200A (en) Optical measuring device
Li et al. Design of Light Emitting Diode-Based Fiber Optic Current Sensor and Its Application in Pollution Flash Prevention in Digitalized Substations
JPS59178739A (ja) キヤリア移動度測定装置
SU1265887A1 (ru) Устройство дл регистрации неупругоотраженных электронов в растровом электронном микроскопе
SU947791A1 (ru) Устройство дл неразрушающего контрол полупроводниковых структур
CN114923894A (zh) 一种绝缘子表面涂层硬度的检测方法、系统、设备及介质
SU1474452A1 (ru) Способ контрол поверхности электропровод щих изделий и устройство дл его осуществлени
JPH1183599A (ja) 液体厚さ測定方法とその装置
SU1384928A1 (ru) Устройство дл контрол разнотолщинности цилиндрической токопровод щей оболочки
JPS61223667A (ja) 電力ケ−ブルの誘電正接異常部の検査方法
SU824004A1 (ru) Кондуктометр периодического сравнени

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application