JP2000097826A - 微小領域のクリープ試験装置及びその方法 - Google Patents

微小領域のクリープ試験装置及びその方法

Info

Publication number
JP2000097826A
JP2000097826A JP10268485A JP26848598A JP2000097826A JP 2000097826 A JP2000097826 A JP 2000097826A JP 10268485 A JP10268485 A JP 10268485A JP 26848598 A JP26848598 A JP 26848598A JP 2000097826 A JP2000097826 A JP 2000097826A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
indenter
creep
load
displacement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10268485A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuharu Chuma
康晴 中馬
Masafumi Yamauchi
雅文 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP10268485A priority Critical patent/JP2000097826A/ja
Publication of JP2000097826A publication Critical patent/JP2000097826A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】小サイズの材料のクリープ特性の高精度の計測
を可能にする。 【解決手段】設置台2とインデンタ4との間に微小の試
験体3を挟み、インデンタ4を介して試験体に局部的に
負荷として圧縮力を作用させる。試験体3の周囲環境を
整備するための環境整備手段13、インデンター4の試
験体に対する変位を計測するための計測手段18を備え
る。計測される変位は、時間の関数である。試験体は、
その一部である微小領域に局部的に圧縮力が負荷され
る。この負荷により微小領域が凹む。微小領域の凹みに
よりクリープ特性の測定が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、微小領域のクリー
プ試験装置及びその方法に関し、特に、溶接部、単結
晶、一方向凝固合金、ジルコニウムのような異方性があ
る材料であり試料としては小さいものしか得られない材
料に関してクリープ特性を測定することができる微小領
域のクリープ試験装置及びその方法に関する。
【0002】
【従来の技術】引っ張り力が作用する条件で、様々な材
料が用いられている。その引っ張りによる材料の長期間
の伸びを知ることは、その材料の破断までの寿命を知る
上で重要である。このような長期間の伸びの特性である
クリープ(蠕動)特性を試験により測定するためのクリ
ープ試験装置は、従来、引っ張り試験装置である。その
引っ張りを可能にするためには、ある程度にサイズが大
きい試験片が必要である。従来から用いられている試験
片は、通常は、長さが100mm、直径が6mmである
が、ミニチュア試験片としては、長さが30mm、直径
が2mmのものがある。
【0003】ミニチュア試験片であってもこのように大
きいサイズの試験片では、HAZ部のような狭い領域の
溶接部の各部や、単結晶、一方向凝固合金、ジルコニウ
ムなどのような異方性がある材料は、得られる材料のサ
イズが小さく、その板厚も薄いため、3方向のクリープ
特性を計測するための引っ張り試験は、非常に困難であ
り、計測したとしても精度がよくなく信頼性に乏しい。
【0004】このように小さい試験片の引っ張り試験に
代わり、信頼性が高い試験方法を新たに提案する必要が
ある。変形特性を調べる試験としては、圧縮力を負荷し
てそのへこみ変形と復元変形とから硬度を経験則的に計
測する硬さ試験装置が知られている。物理量ではない硬
さを試験するための硬さ試験では、クリープ特性を計測
することはできない。
【0005】なお、圧縮力に基づいてクリープ特性を知
る場合には、圧縮力負荷による試験では破断寿命は計測
できず、通常の引っ張りクリープ速度に相当する値を得
るためには、別途に食い込み速度と引っ張りクリープ速
度との関係を求めておけばよい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、微小
領域の計測により小さいサイズの材料のクリープ特性を
計測することができる微小領域のクリープ試験装置及び
その方法を提供することにある。本発明の他の課題は、
微小領域の計測により小さいサイズの材料のクリープ特
性を高精度に計測することができる微小領域のクリープ
試験装置及びその方法を提供することにある。本発明の
更に他の課題は、微小領域の計測により小さいサイズの
材料のクリープ特性を環境を変えて計測することができ
る微小領域のクリープ試験装置及びその方法を提供する
ことにある。本発明の更に他の課題は、微小領域の計測
により小さいサイズの材料のクリープ特性を圧縮力を可
変して計測することができる微小領域のクリープ試験装
置及びその方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明による微小領域の
クリープ試験装置は、局部的に圧縮力を負荷する試験体
の表面くぼみである変位の時間的変化を計測する試験シ
ステムであり、より詳しく特定して表現すれば、試験体
を設置するための設置台と、前記試験体が前記設置台と
の間で挟まれる位置に配置されるインデンタと、前記イ
ンデンタを介して前記試験体に局部的に負荷として圧縮
力を作用させるための作用体と、前記作用体に前記負荷
をかけるための負荷手段と、前記試験体の周囲環境を整
備するための環境整備手段と、前記インデンターの前記
試験体に対する変位を計測するための計測手段とからな
る。
【0008】計測される変位は、時間の関数である。試
験体は、その一部である微小領域に局部的に圧縮力が負
荷される。この負荷により微小領域が凹み、インデンタ
が変位する。その変位(の変位量)が計測される。その
変位Δを測定し微小領域のクリープ特性が測定される。
その計測は、二次クリープ域までが対象とされる。破断
寿命は計測できない。通常の引っ張りクリープ速度に相
当する値は、別途にFEM解析を行い、使用するインデ
ンタの大きさに対応した食い込み速度(実験値)と引っ
張りクリープ速度の関係を公知の参照応力法を用いて知
ることにより得ることができる。
【0009】本発明による微小領域のクリープ試験装置
は、更に、前記インデンタの前記設置台に対する位置を
確認するための顕微鏡を備えることが好ましい。前記負
荷手段はバネ力が調整可能であるバネであるか錘である
ことが、負荷の一定性を保証する点で好ましい。前記環
境整備手段は、電熱炉などの加熱炉あるいは電磁放射線
加熱装置であることが好ましい。これらは、環境を整備
するための手段であるが、試験を加速するための加速手
段としても用いることができる。前記計測手段は石英で
ある。石英に限られず、インデンタに対して実質的には
変形性がない硬い材料が用いられる。
【0010】言い換えれば、本発明による微小領域のク
リープ試験方法は、設置台に試験体を設置するステップ
と、前記試験体の微小領域にインデンタを介して圧縮力
を負荷するステップと、前記インデンタの変位を計測す
るステップとからなる。更に言い換えれば、試験体より
もサイズが小さいインデンターにより前記試験体の微小
領域をくぼませ、前記インデンタの負荷力と前記インデ
ンターの時間の関数である変位量との関係から前記試験
体のクリープ特性を計測する微小領域のクリープ試験方
法により、従来測定が不可能であったクリープ特性の計
測を可能にする。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は、本発明による微小領域の
クリープ試験装置の実施の形態1を示し、断面図であ
る。高剛性の基礎台1の上面に設置台2が直接に載置さ
れている。設置台2の上面に直接に試験体3が載置され
ている。単結晶、一方向凝固合金、ジルコニウムなどの
ように異方性がある試験体3は、直方体に形成されてい
る。異方性の方向を3次元直交方向のいずれかに変更す
ることができる。試験体3と設置台2とは、密着してい
ることが好ましい。
【0012】試験体3の上面に、直接にインデンタ4が
載置される。インデンタ4は、円柱に形成されている。
規格・標準化のために、例えば、直径が0.5mm〜
2.0mmの間で規格・標準化される。高さ幅は、圧縮
力がその変形に実質的に影響を与えない限り、任意でよ
い。試験体3は、厚さが数mm以上であることが好まし
い。試験体3の断面積(インデンタ4が載置初期時に接
触する試験体の接触表面の面積に一致)は、インデンタ
4の断面積(接触表面に平行な面で切断した面の面積で
ありインデンタ4の接触面積に一致)よりも十分に大き
い。言い換えれば、インデンタ4が試験体3に密着して
接する面積は、試験体3の全面積に比較して局部的又は
局所的(ローカル)である。
【0013】インデンタ4は、作用体であるロッド5に
より上方から押さえられて試験体3に圧接する。試験体
3の上面とインデンタ4の上下面が水平に形成されてい
る場合には、ロッド5の下端面即ちインデンタ4に接す
る面も水平面であり、円柱体であるロッド5の中心線即
ち軸心線は、鉛直に向いている。即ち、試験体3の上
面、インデンタ4の上下面、ロッド5の下端面は、全
て、ロッド5の軸心線に直交している。
【0014】ロッド5には、ロードセル6が介設されて
いる。ロッド5の上端部にはねじが切られ、そのねじに
ナット7がねじ込まれている。ナット7の上方側でロッ
ド5には、鍔8が形成されている。ロッド5は、鍔8を
越えて更に上方に延長されている。基礎台1に支柱9
が、強固に固着され立ち上がっている。支柱9には、ガ
イド10が水平方向に張り出して固定されている。
【0015】ロッド5は、ガイド10を貫通して摺動
し、鉛直方向にその動作がガイド10により案内され
る。支柱9の上端部に梁11が水平方向に延びて固定さ
れている。ロッド5の上端部は、梁11を貫通していて
よい。梁11の下端面と鍔8の上端面との間に圧縮力を
かける負荷手段であるコイルスプリング12が介設され
ている。ロッド5の上端部は、コイルスプリング12の
中心孔を通っている。
【0016】設置台2及び試験体3の周囲を囲むよう
に、電熱器等の円筒状の加熱炉13が設置台1上に支持
されて設けられている。加熱炉13の上端面は、蓋14
により閉じられている。実体顕微鏡15の光学系を含む
筒状部分が斜め向きに加熱炉13を貫通している。実体
顕微鏡15は後端部分として接眼レンズ部分16を備え
ている。実体顕微鏡15として、CCDカメラを用いる
ことができる。実体顕微鏡15は、斜め向きに支柱9を
摺動して移動することができ、試験中は加熱炉13から
離脱することができる。
【0017】計測にあたり、石英棒17がロッド5の下
端面と試験体3の上端面との間に挟まれる。石英棒17
は、伸び計18に結合されている。伸び計18は、物体
の変位(量)を測定することができる慣用の計測手段で
あり、その圧縮変位に対応する内部歪みを電圧、電流に
変換する素子などを含む。
【0018】試料である試験体3にコイルスプリング1
2の付勢力を圧縮力として伝達する作用体であるロッド
5は、その圧縮力を十分に伝達しうる程度の硬度を有す
る材料例えば剛材料で形成されている。インデンタ4
は、試験体3よりも十分に硬度が高く試験体に比べて実
質的に圧縮変位を受けない材料例えば超硬合金、セラミ
ックスなどで形成されている。
【0019】鍔8又はナット7を回転させることによ
り、インデンタ4と試験体3との間の圧力を変更し、調
整することができる。試験体3の変位量は僅かでありコ
イルスプリング12の伸び量も僅かであるから、初期条
件又は試験条件として設定したコイルスプリング12の
弾発力は、その後に調整し直す必要はないが、試験が1
万時間の長期に亘る場合等には、その調整が有効であ
る。
【0020】図2は、本発明による微小領域のクリープ
試験装置の測定原理を示している。直方体の試験体3
は、厚さが数mmであり、横幅・縦幅もその程度であ
る。インデンタ4は、直径が0.5mm程度である。イ
ンデンタ4の試験体3への食い込みにより試験体3の内
部に伝達される内部応力は、瞬間的でなく恒常的であ
る。圧縮応力を実質的に受ける領域は、深さ方向には試
験体4の表層部分であり、縦横方向にも僅かに拡がる局
所的領域である。
【0021】このような圧縮作用を恒常的に受ける微小
体積領域Pは、半球状である。このような内部変形は、
インデンタ4が試験体3の表層部に食い込む量に対応す
る。その食込量Δは、インデンタ4の鉛直下方への変位
(長さ)に一致している。この変位Δが、石英棒17を
介して伸び計18又は変位計により計測される。
【0022】一般に、クリープ特性は伸び量との対応で
示される。圧縮変位と伸び量は、材料により対応関係を
有している。この対応関係は、既知の材料を用いた過去
の知識の蓄積から推定することができる。即ち、その計
測は二次クリープ域までが対象とされ、破断寿命は計測
できないが、通常の引っ張りクリープ速度に相当する値
は、別途にFEM解析を行い、使用するインデンタの大
きさに対応した食い込み速度(実験値)と引っ張りクリ
ープ速度の関係を公知の参照応力法を用いて知ることに
より得ることができる。硬度計と異なり、圧縮力を与え
る負荷は、試験終了まで恒常的に連続的にかけられ、変
位は数時間〜1万時間の間の時間の関数としてコンピュ
ータの記録部に記録される。
【0023】本発明による微小領域のクリープ試験装置
の計測原理は、局所的負荷によるから、僅かな材料に対
しても計測が可能であり、又、その局所部分にのみ圧縮
力が内部応力として有効に作用するから、短時間での計
測が可能であり、計測精度も従来の引っ張り試験に比べ
てむしろ高い。
【0024】図3は、本発明による微小領域のクリープ
試験装置の実施の形態2を示し、断面図である。実施の
形態2が、実施の形態1と異なる点は、下記する2点の
みでありその他の点では、実施の形態2は実施の形態1
に全く同じである。負荷手段として、バネに代わり錘2
1が用いられている。
【0025】ロッド5の上端の置台8に錘21が置かれ
ている。錘21には、置台8に固定されこれから立ち上
がる棒22に通され安定的に載置されている。錘21は
複数種が用意され、同時に複数体の使用が可能である。
支柱9に支持棒23が固定されている。支持棒23の先
端部にダイヤルゲージ24が取り付けられている。ダイ
ヤルゲージ24の指針の先端が置台8の上面に接触して
いる。ロッド5の鉛直下方への変位が、指針を介してダ
イヤルゲージ24により計測される。
【0026】図4は、本発明による微小領域のクリープ
試験装置の実施の形態3を示し、断面図である。実施の
形態3が、実施の形態2と異なる点は、下記する1点の
みでありその他の点では、実施の形態3は実施の形態2
に全く同じである。加熱炉13に代わり、加熱器とし
て、電磁放射線加熱装置31が用いられている。
【0027】電磁放射線加熱装置31としては、例え
ば、赤外線放射加熱装置であり、光源32と放物面鏡3
3とを備える。電磁放射線加熱装置31は、インデンタ
4を局所的に加熱することができるので、装置系の熱膨
張誤差を最小に抑え、接眼レンズ部分16の移動操作も
不要である。
【0028】図5は、本発明による微小領域のクリープ
試験装置の実施の形態4を示し、射軸投影図である。実
施の形態4が、実施の形態1,2,3と異なる点は、本
発明の微小領域のクリープ試験方法が専用の装置内で適
用されずに、実機中の材料に対して適用される点であ
る。
【0029】実施の形態4の実機中の材料は、隣り合う
2体の鋼管(又は、実機高温配管)41,42を接合す
る溶接部43の溶接材であり、そのクリープ特性が実機
中で計測される。このような溶接部には、引っ張り力も
圧縮力も作用し、これらの力が交互に繰り返して作用す
ることもある。
【0030】図示しない固定台上に図示しない手段によ
り試験台1”が固定されて設けられている。図4の参照
番号10、23に対応する参照番号10’,23’は、
それぞれ、ガイド、支持棒である。ロッド5’の鍔8’
に錘21’が棒22’に通されて載置されている。錘2
1’は複数種が用意され、同時に複数体の使用が可能で
ある。試験台1”に支持棒23’が固定されている。
【0031】支持棒23’の先端部にダイヤルゲージ2
4’が取り付けられている。ダイヤルゲージ24’の指
針の先端が鍔8’の上面に接触している。ロッド5’の
鉛直下方への変位が、指針を介してダイヤルゲージ2
4’により計測される。ロッド5’の下端面と溶接部4
3との間にインデンタ4’が介設されている。
【0032】加熱炉、放射線加熱手段などの環境整備手
段は特段には設けられていない。配管41中の高温液体
自体が環境整備手段そのものである。測定原理・方法
は、実施の形態1,2,3に全く同じである。インデン
タ4’の変位は、時間の関数として、恒常的に時計内蔵
のコンピュータ44の記録部に記録される。
【0033】図6は、本発明による微小領域のクリープ
試験装置の実施の形態5を示し、射軸投影図である。実
施の形態5が、実施の形態4と異なる点は、実施の形態
4の負荷手段に代えて実施の形態1の負荷手段の主要部
分と実施の形態2の負荷手段の主要部分とを組合せたも
のを用いる点、及び、その組合せ負荷手段に更に他の手
段を付加した点である。
【0034】インデンタ4”は、作用体であるロッド
5”により下方から押さえられて溶接部43に圧接す
る。ロッド5”には、ロードセル6”が介設されてい
る。ガイド10”は、固定されている試験台1”に固定
されている。ロッド5”は、ガイド10”を貫通して摺
動し、鉛直方向にその動作がガイド10”により案内さ
れる。試験台1”の下端部に梁11”が水平方向に延び
て固定されている。ロッド5”の下端部は、梁11”を
貫通していてよい。ロッド5”の下端部は、コイルスプ
リング12”の中心孔を通っている。
【0035】ロッド5”の上端部に他の鍔8”が形成さ
れている。試験台1”に支持棒23”が固定されてい
る。支持棒23”にダイヤルゲージ24”が支持されて
いる。ダイヤルゲージ24”の指針の上端が鍔8”の下
端面に接触している。梁11”の下端面に荷重調整用モ
ータ51が取り付けられている。
【0036】荷重調整用モータ51の回転軸には多角形
ナット(図示せず)が螺合し、そのナットは梁11”に
案内され回転せずに昇降運動することができる。そのナ
ットの上面にスプリング12”の下端が支持されてい
る。
【0037】荷重調整用モータ51力が駆動されると、
ナットが昇降して、スプリング12”が伸縮し、その弾
発力が負荷として可変される。その弾発力は、ロードセ
ル6”により検出される。荷重調整用モータ51の回転
軸の回転角度位置、ロードセル6”が検出する負荷値、
ダイヤルゲージ24”が計測する変位は、コンピュータ
44”の記録部に記録される。
【0038】荷重調整用モータ51の回転軸の回転角度
位置は、数段階に設定することができ、1日周期で緩や
かに変動する負荷を発生させることもでき、任意の負荷
変動を出力することがもきる。コンピュータ44”は、
負荷をパラメータとして時間と変位の関係を記録するこ
ともでき、時刻をパラメータとして負荷変動と変位の関
係を記録することもできる。
【0039】
【発明の効果】本発明による微小領域のクリープ試験装
置及びその方法は、局所的に負荷をかけて微小領域を測
定することによりクリープ特性(変形速度特性)を高精
度に得ることができる。更には、環境を変更し、一定の
負荷力で圧縮するので、現実に対応させ、且つ、加速試
験を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の実施の形態1を示す断面図である。
【図2】図2は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の物理的原理を示す断面図である。
【図3】図3は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の実施の形態2を示す断面図である。
【図4】図4は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の実施の形態3を示す断面図である。
【図5】図5は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の実施の形態4を示す断面図である。
【図6】図6は、本発明による微小領域のクリープ試験
装置の実施の形態5を示す断面図である。
【符号の説明】
3…試験体 4…インデンタ 5,5”…ロッド(作用体) 6,6”…ロードセル(変位計測手段) 12,12”…コイルスプリング(負荷手段) 13…加熱炉(環境整備手段) 15…実体顕微鏡 16…接眼レンズ部分 21…錘(負荷手段) 24,24”…ダイヤルゲージ(変位計測手段) 31…熱線放射手段(環境整備手段) 43…溶接部(試験体) 44…コンピュータ 51…荷重調整用モータ(荷重調整手段)

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】試験体を設置するための設置台と、 前記試験体が前記設置台との間で挟まれる位置に配置さ
    れるインデンタと、 前記インデンタを介して前記試験体に局部的に負荷とし
    て圧縮力を作用させるための作用体と、 前記作用体に前記負荷をかけるための負荷手段と、 前記試験体の周囲環境を整備するための環境整備手段
    と、 前記インデンターの前記試験体に対する変位を計測する
    ための計測手段とからなる微小領域のクリープ試験装
    置。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記負荷手段はバネ力が調整可能であるバネである微小
    領域のクリープ試験装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、 前記負荷手段は錘である微小領域のクリープ試験装置。
  4. 【請求項4】請求項1において、 前記環境整備手段は加熱炉であることを特徴とする微小
    領域のクリープ試験装置。
  5. 【請求項5】請求項1おいて、 前記環境整備手段は電磁放射線加熱装置であることを特
    徴とする微小領域のクリープ試験装置。
  6. 【請求項6】請求項1において、 前記計測手段は石英であることを特徴とする微小領域の
    クリープ試験装置。
  7. 【請求項7】設置台に試験体を設置するステップと、 前記試験体の微小領域にインデンタを介して圧縮力を負
    荷するステップと、 前記インデンタの変位を計測するステップとからなる微
    小領域のクリープ試験方法。
  8. 【請求項8】試験体よりもサイズが小さいインデンター
    により前記試験体の微小領域をくぼませ、前記インデン
    タの負荷力と前記インデンターの時間の関数である変位
    量との関係から前記試験体のクリープ特性を計測する微
    小領域のクリープ試験方法。
JP10268485A 1998-09-22 1998-09-22 微小領域のクリープ試験装置及びその方法 Withdrawn JP2000097826A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10268485A JP2000097826A (ja) 1998-09-22 1998-09-22 微小領域のクリープ試験装置及びその方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10268485A JP2000097826A (ja) 1998-09-22 1998-09-22 微小領域のクリープ試験装置及びその方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000097826A true JP2000097826A (ja) 2000-04-07

Family

ID=17459160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10268485A Withdrawn JP2000097826A (ja) 1998-09-22 1998-09-22 微小領域のクリープ試験装置及びその方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000097826A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1273835A2 (en) 2001-07-06 2003-01-08 Hitachi, Ltd. Seal mechanism and fuel pump provided therewith
CN102359909A (zh) * 2011-09-01 2012-02-22 北京理工大学 一种适用于精密机械接触模型试验的非均匀压力加载装置
CN105158081A (zh) * 2015-08-24 2015-12-16 华东理工大学 一种钎焊接头蠕变性能的测量装置
CN106568558A (zh) * 2016-11-02 2017-04-19 北京强度环境研究所 一种大型液压加载装置施加微小载荷的系统
CN110346209A (zh) * 2019-06-26 2019-10-18 浙江工业大学 一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1273835A2 (en) 2001-07-06 2003-01-08 Hitachi, Ltd. Seal mechanism and fuel pump provided therewith
CN102359909A (zh) * 2011-09-01 2012-02-22 北京理工大学 一种适用于精密机械接触模型试验的非均匀压力加载装置
CN105158081A (zh) * 2015-08-24 2015-12-16 华东理工大学 一种钎焊接头蠕变性能的测量装置
CN106568558A (zh) * 2016-11-02 2017-04-19 北京强度环境研究所 一种大型液压加载装置施加微小载荷的系统
CN110346209A (zh) * 2019-06-26 2019-10-18 浙江工业大学 一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3543088B2 (ja) 高スループットの材料の物理特性測定装置及びこれを用いた測定方法
US8132447B2 (en) Universal testing machine
US8631687B2 (en) Indenter assembly
JP6162770B2 (ja) ミクロ電気機械ヒータ
CN104913981A (zh) 高温原位拉伸-疲劳测试系统及其测试方法
CN105910919B (zh) 一种高温轴压试验装置和试验方法
EP2786116B1 (en) High temperature heating system
CN102519803A (zh) 一种多头微型试样蠕变试验装置及测试方法
JP2006078365A (ja) 引張試験機
JP2013512545A5 (ja)
CN109238830B (zh) 一种木材单纤微力学测量装置及测量方法
WO2015192437A1 (zh) 压缩生热检测仪及其方法
Bergers et al. Measuring time-dependent deformations in metallic MEMS
US7021155B2 (en) Universal material testing method and device therefor
JPH04343041A (ja) プロ―ブ
JP2000097826A (ja) 微小領域のクリープ試験装置及びその方法
JP4376858B2 (ja) 超微小硬さ等測定装置および測定方法
JP2006078384A (ja) 荷重可変型強度試験機
CN112781812A (zh) 隔膜压缩机金属膜片疲劳测试方法
US2660881A (en) Creep testing of high-temperature alloys
US7395722B2 (en) Mechanical property measurement of thin films by micro plane-strain compression
JPH11125566A (ja) 表面温度測定センサ及び温度測定プローブ
Hirschberg A low cycle fatigue testing facility
CN208780563U (zh) 用于炸药长时蠕变实验的加载测试装置
CN112945752A (zh) 金属高温蠕变性能测试的设备及利用该设备的测试方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060110