JP2000093849A - 薄膜形成ノズル - Google Patents
薄膜形成ノズルInfo
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- JP2000093849A JP2000093849A JP10267544A JP26754498A JP2000093849A JP 2000093849 A JP2000093849 A JP 2000093849A JP 10267544 A JP10267544 A JP 10267544A JP 26754498 A JP26754498 A JP 26754498A JP 2000093849 A JP2000093849 A JP 2000093849A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 全く新規であって、膜厚を制御して所望の領
域に塗膜を形成する。 【解決手段】 所定の圧力で射出された液体を薄膜状に
基板上に薄膜を形成する薄膜形成ノズルにおいて、所定
の圧力に加圧された液体が供給される液溜り部２と、上
記液溜り部２に配設され、上記液溜り部２に供給された
液体を射出する一対の射出ノズル３ａ，３ｂとを備え、
これら一対の射出ノズル３ａ，３ｂから射出された液体
を互いに衝突させることによって、射出された液体を薄
膜状に延伸させ、基板上に薄膜を形成することを特徴と
する
域に塗膜を形成する。 【解決手段】 所定の圧力で射出された液体を薄膜状に
基板上に薄膜を形成する薄膜形成ノズルにおいて、所定
の圧力に加圧された液体が供給される液溜り部２と、上
記液溜り部２に配設され、上記液溜り部２に供給された
液体を射出する一対の射出ノズル３ａ，３ｂとを備え、
これら一対の射出ノズル３ａ，３ｂから射出された液体
を互いに衝突させることによって、射出された液体を薄
膜状に延伸させ、基板上に薄膜を形成することを特徴と
する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、プリント
基板上に形成する保護膜として液体状の樹脂を薄膜状に
形成する際に用いられる薄膜形成ノズルに関する。
基板上に形成する保護膜として液体状の樹脂を薄膜状に
形成する際に用いられる薄膜形成ノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、プリント基板に対して
は、実装された集積回路等を保護する保護層を形成する
際や防錆剤等を塗布する際に、当該プリント基板上にワ
ニスを薄膜状に形成するマスキング処理が施される。こ
のマスキング処理は、例えば、ワニスを所定の膜厚とな
るように噴霧したり、刷毛等により塗布することにより
行われていた。
は、実装された集積回路等を保護する保護層を形成する
際や防錆剤等を塗布する際に、当該プリント基板上にワ
ニスを薄膜状に形成するマスキング処理が施される。こ
のマスキング処理は、例えば、ワニスを所定の膜厚とな
るように噴霧したり、刷毛等により塗布することにより
行われていた。
【０００３】このようにマスキング処理によれば、プリ
ント基板上に、集積回路等を保護する保護層や防錆剤等
を形成することができる。
ント基板上に、集積回路等を保護する保護層や防錆剤等
を形成することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、上述したように、液体状のワニスを噴霧することに
より塗布する場合、当該ワニスを所望の領域のみに塗布
することが困難であった。すなわち、液体状のワニスを
噴霧するような場合には、塗布対象以外の領域に対して
も当該ワニスが塗布されてしまうようなことがあった。
ば、上述したように、液体状のワニスを噴霧することに
より塗布する場合、当該ワニスを所望の領域のみに塗布
することが困難であった。すなわち、液体状のワニスを
噴霧するような場合には、塗布対象以外の領域に対して
も当該ワニスが塗布されてしまうようなことがあった。
【０００５】また、例えば、上述したように、刷毛等で
液体状のワニスを塗布する場合には、ワニスの塗布厚を
制御することが困難であると同時に、生産性が悪いとい
った問題点があった。
液体状のワニスを塗布する場合には、ワニスの塗布厚を
制御することが困難であると同時に、生産性が悪いとい
った問題点があった。
【０００６】このように、従来のマスキング処理では、
所望の領域に、所望の膜厚で液体状のワニスを生産性よ
く塗布することができないといった問題点があった。
所望の領域に、所望の膜厚で液体状のワニスを生産性よ
く塗布することができないといった問題点があった。
【０００７】そこで、本発明は、上述の問題点に鑑みて
なされたものであり、膜厚を制御して所望の領域に塗膜
を形成することのできる全く新規な塗膜形成ノズルを提
供を目的とする。
なされたものであり、膜厚を制御して所望の領域に塗膜
を形成することのできる全く新規な塗膜形成ノズルを提
供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決し
た本発明に係る薄膜形成ノズルは、所定の圧力で射出さ
れた液体を薄膜状に基板上に薄膜を形成する薄膜形成ノ
ズルにおいて、所定の圧力に加圧された液体が供給され
る液溜り部と、上記液溜り部に配設され、上記液溜り部
に供給された液体を射出する一対の射出ノズルとを備
え、これら一対の射出ノズルから射出された液体を互い
に衝突させることによって、射出された液体を薄膜状に
延伸させ、基板上に薄膜を形成することを特徴とするも
のである。
た本発明に係る薄膜形成ノズルは、所定の圧力で射出さ
れた液体を薄膜状に基板上に薄膜を形成する薄膜形成ノ
ズルにおいて、所定の圧力に加圧された液体が供給され
る液溜り部と、上記液溜り部に配設され、上記液溜り部
に供給された液体を射出する一対の射出ノズルとを備
え、これら一対の射出ノズルから射出された液体を互い
に衝突させることによって、射出された液体を薄膜状に
延伸させ、基板上に薄膜を形成することを特徴とするも
のである。
【０００９】以上のように構成された本発明に係る薄膜
形成ノズルは、所定の圧力で液溜り部に供給された液体
を、一対の射出ノズルから射出させ、これら射出された
液体を互いに衝突させることによって、液体を薄膜状に
延伸させる。すなわち、この薄膜形成ノズルは、液体を
薄膜状にした状態で射出することができる。そして、こ
の薄膜形成ノズルは、薄膜状にした液体を基板上に形成
することにより、当該基板上に所定の厚みで薄膜を形成
することができる。
形成ノズルは、所定の圧力で液溜り部に供給された液体
を、一対の射出ノズルから射出させ、これら射出された
液体を互いに衝突させることによって、液体を薄膜状に
延伸させる。すなわち、この薄膜形成ノズルは、液体を
薄膜状にした状態で射出することができる。そして、こ
の薄膜形成ノズルは、薄膜状にした液体を基板上に形成
することにより、当該基板上に所定の厚みで薄膜を形成
することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るの薄膜形成ノ
ズルの好ましい実施の形態について図面を参照しながら
詳細に説明する。
ズルの好ましい実施の形態について図面を参照しながら
詳細に説明する。
【００１１】本実施の形態に示す薄膜形成ノズルは、図
１に示すように、所定の圧力に加圧された液体の流入部
となる供給管１と、この供給管１を介して加圧された液
体が供給される液溜り部２と、この液溜り部２に供給さ
れた液体を射出する一対の射出ノズル３ａ，３ｂとを備
えている。また、この塗膜形成ノズルでは、略円筒状に
形成された筐体４内に上述した液溜り部２が形成される
とともに、この筐体４の一方の底面に一対のノズル３
ａ，３ｂが形成されている。
１に示すように、所定の圧力に加圧された液体の流入部
となる供給管１と、この供給管１を介して加圧された液
体が供給される液溜り部２と、この液溜り部２に供給さ
れた液体を射出する一対の射出ノズル３ａ，３ｂとを備
えている。また、この塗膜形成ノズルでは、略円筒状に
形成された筐体４内に上述した液溜り部２が形成される
とともに、この筐体４の一方の底面に一対のノズル３
ａ，３ｂが形成されている。
【００１２】この一対の射出ノズル３ａ，３ｂは、例え
ば、円筒状に形成され、一方の端部が筐体４の底面にて
液溜り部２と接続されている。このとき、一対の射出ノ
ズル３ａ，３ｂは、一方の端部が所定の間隔をもって液
溜り部２に接続されるとともに、他方の端部が互いに近
接する位置に傾斜して配設されている。言い換えると、
この一対の射出ノズル３ａ，３ｂは、筐体４の底面の中
心に向かって傾斜している。
ば、円筒状に形成され、一方の端部が筐体４の底面にて
液溜り部２と接続されている。このとき、一対の射出ノ
ズル３ａ，３ｂは、一方の端部が所定の間隔をもって液
溜り部２に接続されるとともに、他方の端部が互いに近
接する位置に傾斜して配設されている。言い換えると、
この一対の射出ノズル３ａ，３ｂは、筐体４の底面の中
心に向かって傾斜している。
【００１３】また、この薄膜形成ノズルは、液溜り部２
内部を上下方向に移動自在に配設されたニードル５を備
えている。このニードル５は、略円柱状に形成され、筐
体４内に填め込まれた環状のパッキン６で移動量を規制
された状態で配設されている。
内部を上下方向に移動自在に配設されたニードル５を備
えている。このニードル５は、略円柱状に形成され、筐
体４内に填め込まれた環状のパッキン６で移動量を規制
された状態で配設されている。
【００１４】一方、この薄膜形成ノズルでは、液溜り部
２内が所定の開口部７が形成された隔壁８によって上下
に仕切られている。そして、この開口部７の開口寸法
は、上述したニードル５よりも小径となっている。この
ため、この開口部７は、ニードル５が下方向に移動され
ると、当該ニードル５の先端部が係止されることとな
る。その結果、隔壁８は、閉塞されて液溜り部２を上下
に分離する。逆に、ニードル５が上方向に移動すると、
隔壁に形成された開口部７が解放され、液溜り部２が上
下一体になる。
２内が所定の開口部７が形成された隔壁８によって上下
に仕切られている。そして、この開口部７の開口寸法
は、上述したニードル５よりも小径となっている。この
ため、この開口部７は、ニードル５が下方向に移動され
ると、当該ニードル５の先端部が係止されることとな
る。その結果、隔壁８は、閉塞されて液溜り部２を上下
に分離する。逆に、ニードル５が上方向に移動すると、
隔壁に形成された開口部７が解放され、液溜り部２が上
下一体になる。
【００１５】なお、この薄膜形成ノズルでは、図示しな
いが液体供給装置と液溜り部２とが供給管１を介して接
続されている。
いが液体供給装置と液溜り部２とが供給管１を介して接
続されている。
【００１６】以上のように構成された本実施の形態に示
す薄膜形成ノズルは、図示しない液体供給装置から所定
の圧力に加圧された液体が液溜り部２内に供給され、供
給された液体を一対の射出ノズル３ａ，３ｂから所定の
圧力で射出させる。このとき、薄膜形成ノズルでは、一
対の射出ノズル３ａ，３ｂが上述したように傾斜してい
るため、それぞれに射出ノズル３ａ，３ｂから射出され
た液体は、互いに衝突することになる。
す薄膜形成ノズルは、図示しない液体供給装置から所定
の圧力に加圧された液体が液溜り部２内に供給され、供
給された液体を一対の射出ノズル３ａ，３ｂから所定の
圧力で射出させる。このとき、薄膜形成ノズルでは、一
対の射出ノズル３ａ，３ｂが上述したように傾斜してい
るため、それぞれに射出ノズル３ａ，３ｂから射出され
た液体は、互いに衝突することになる。
【００１７】その結果、この薄膜形成ノズルから射出さ
れる液体は、図２に示すように、薄膜状に延伸された状
態となる。そして、この薄膜形成ノズルは、このよう
に、延伸された状態の液体を被塗布基板上に塗布する。
れる液体は、図２に示すように、薄膜状に延伸された状
態となる。そして、この薄膜形成ノズルは、このよう
に、延伸された状態の液体を被塗布基板上に塗布する。
【００１８】また、この薄膜形成ノズルでは、ニードル
５を上方向に移動させることによって、液溜り部２の一
対の射出ノズル３ａ，３ｂが接続された部分に加圧され
た液体が供給され、その結果、これら一対の射出ノズル
３ａ，３ｂから液体が射出される。これに対して、この
薄膜形成ノズルでは、ニードル５を下方向に移動させる
ことによって、開口部７を閉塞し、液溜り部２の一対の
射出ノズル３ａ，３ｂが接続された部分に液体の供給が
停止される。その結果、この薄膜形成ノズルでは、一対
の射出ノズル３ａ，３ｂから液体が射出されず、被塗布
物への塗布を停止する。
５を上方向に移動させることによって、液溜り部２の一
対の射出ノズル３ａ，３ｂが接続された部分に加圧され
た液体が供給され、その結果、これら一対の射出ノズル
３ａ，３ｂから液体が射出される。これに対して、この
薄膜形成ノズルでは、ニードル５を下方向に移動させる
ことによって、開口部７を閉塞し、液溜り部２の一対の
射出ノズル３ａ，３ｂが接続された部分に液体の供給が
停止される。その結果、この薄膜形成ノズルでは、一対
の射出ノズル３ａ，３ｂから液体が射出されず、被塗布
物への塗布を停止する。
【００１９】このとき、薄膜形成ノズルは、液体に加え
る圧力や一対の射出ノズル３ａ，３ｂの断面形状を調節
することにより、液体の延伸状態を調節することができ
る。具体的には、一対の射出ノズル３ａ，３ｂから射出
される液体の圧力を高くすることによって、液体を薄く
延伸させることができる。その結果、この薄膜形成ノズ
ルでは、被塗布基板上に比較的薄い薄膜を形成すること
ができる。また、これに対して、一対の射出ノズル３
ａ，３ｂから射出される液体の圧力を低くすることによ
って、液体を厚く延伸させることができる。この場合、
薄膜形成ノズルは、比較的厚膜の薄膜を形成することが
できる。
る圧力や一対の射出ノズル３ａ，３ｂの断面形状を調節
することにより、液体の延伸状態を調節することができ
る。具体的には、一対の射出ノズル３ａ，３ｂから射出
される液体の圧力を高くすることによって、液体を薄く
延伸させることができる。その結果、この薄膜形成ノズ
ルでは、被塗布基板上に比較的薄い薄膜を形成すること
ができる。また、これに対して、一対の射出ノズル３
ａ，３ｂから射出される液体の圧力を低くすることによ
って、液体を厚く延伸させることができる。この場合、
薄膜形成ノズルは、比較的厚膜の薄膜を形成することが
できる。
【００２０】一方、この薄膜形成ノズルでは、一対の射
出ノズルの３ａ，３ｂの断面形状を規定することによっ
て、射出された液体の延伸形状を規定することができ
る。具体的には、図３に示すような円形の開口を有する
一対の射出ノズル３ａ，３ｂでは、図４に示すように、
液体を比較的狭い範囲に延伸させることができ、また、
図５に示すような楕円形状の開口を有する一対の射出ノ
ズル３ａ，３ｂでは、図６に示すように、液体を比較的
広い範囲に延伸させることができる。
出ノズルの３ａ，３ｂの断面形状を規定することによっ
て、射出された液体の延伸形状を規定することができ
る。具体的には、図３に示すような円形の開口を有する
一対の射出ノズル３ａ，３ｂでは、図４に示すように、
液体を比較的狭い範囲に延伸させることができ、また、
図５に示すような楕円形状の開口を有する一対の射出ノ
ズル３ａ，３ｂでは、図６に示すように、液体を比較的
広い範囲に延伸させることができる。
【００２１】このように、この薄膜形成ノズルでは、一
対の射出ノズル３ａ，３ｂの断面形状を規定することに
よって、液体を所定の形状に延伸させることができる。
このため、この薄膜形成ノズルでは、被塗布基板上の所
望の領域のみに正確に液体を塗布することができる。
対の射出ノズル３ａ，３ｂの断面形状を規定することに
よって、液体を所定の形状に延伸させることができる。
このため、この薄膜形成ノズルでは、被塗布基板上の所
望の領域のみに正確に液体を塗布することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る薄膜形成ノズルは、一対の射出ノズルから射出され
た液体を互いに衝突させることによって、射出された液
体を薄膜状に延伸させることができる。このため、この
薄膜形成ノズルは、所望の領域に、所望の膜厚で液体を
塗布することができる。
係る薄膜形成ノズルは、一対の射出ノズルから射出され
た液体を互いに衝突させることによって、射出された液
体を薄膜状に延伸させることができる。このため、この
薄膜形成ノズルは、所望の領域に、所望の膜厚で液体を
塗布することができる。
【図１】 本発明に係る薄膜形成ノズルの一構成例を示
す薄膜形成ノズルの要部断面図である。
す薄膜形成ノズルの要部断面図である。
【図２】 図１に示した薄膜形成ノズルから射出された
液体の延伸状態をしめす平面図である。
液体の延伸状態をしめす平面図である。
【図３】 一対の射出ノズルの断面形状を示す要部断面
図である。
図である。
【図４】 図３に示す一対の射出ノズルを有する薄膜形
成ノズルを用いた場合の液体の延伸状態を示す平面図で
ある。
成ノズルを用いた場合の液体の延伸状態を示す平面図で
ある。
【図５】 他の一対の射出ノズルの断面形状を示す要部
断面図である。
断面図である。
【図６】 図５をに示す一対の射出ノズルを有する薄膜
形成ノズルを用いた場合の液体の延伸状態を示す平面図
である。
形成ノズルを用いた場合の液体の延伸状態を示す平面図
である。
１ 供給管 ２ 液溜り部 ３ 射出ノズル ４ 筐体 ５ ニードル ６ パッキン ７ 開口部 ８ 隔壁
Claims (5)
- 【請求項１】 所定の圧力で射出された液体を基板上に
所定の厚みで塗布する薄膜形成ノズルにおいて、 所定の圧力に加圧された液体が供給される液溜り部と、 上記液溜り部に配設され、上記液溜り部に供給された液
体を射出する一対の射出ノズルとを備え、 これら一対の射出ノズルから射出された液体を互いに衝
突させることによって、射出された液体を薄膜状に延伸
させ、基板上に薄膜を形成することを特徴とする薄膜形
成ノズル。 - 【請求項２】 上記一対の射出ノズルは、液体を射出さ
せる射出端が互いに所定の角度で対向するように配設さ
れたことを特徴とする請求項１記載の薄膜形成ノズル。 - 【請求項３】 上記一対の射出ノズルは、液体を射出さ
せる射出端に向かって次第に近接するように傾斜された
ことを特徴とする請求項１及び請求項２記載の薄膜形成
ノズル - 【請求項４】 上記液溜り部の内部に配設された射出制
御手段を有し、 上記射出制御手段により上記一対の射出ノズルに対する
液体の供給を制御することを特徴とする請求項１記載の
薄膜形成ノズル。 - 【請求項５】 上記射出制御手段は、上記基溜まり部の
内部を上下方向に移動自在に配設され、下方向に配置さ
れたときに上記一対の射出ノズルへの供給路を閉塞させ
るニードルであることを特徴とする請求項４記載の薄膜
形成ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267544A JP2000093849A (ja) | 1998-09-22 | 1998-09-22 | 薄膜形成ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267544A JP2000093849A (ja) | 1998-09-22 | 1998-09-22 | 薄膜形成ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000093849A true JP2000093849A (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17446300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10267544A Pending JP2000093849A (ja) | 1998-09-22 | 1998-09-22 | 薄膜形成ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000093849A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103506245A (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-15 | 玛珂系统分析和开发有限公司 | 用于涂覆部件的方法和扇形射流喷嘴 |
-
1998
- 1998-09-22 JP JP10267544A patent/JP2000093849A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103506245A (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-15 | 玛珂系统分析和开发有限公司 | 用于涂覆部件的方法和扇形射流喷嘴 |
| JP2014028364A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-02-13 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | コンポーネントの塗布方法及び装置 |
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