JP2000090865A - 電子銃とその取り扱い方法 - Google Patents
電子銃とその取り扱い方法Info
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
- H01J5/52—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it directly applied to or forming part of the vessel
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J37/02—Details
- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/50—Repairing or regenerating used or defective discharge tubes or lamps
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】交換作業が短時間なフィラメントモジュール
と、その交換方法とを提供する。 【解決手段】電子銃ＧＮは、電子銃の壁ＴＰを通り抜け
る供給手段ＦＴと、上記供給手段に接続する前記電子銃
に格納される電子ビーム発生手段とを有する電子銃であ
って、前記電子ビーム発生手段と前記銃の壁のポートと
を格納するフィラメントモジュールＦＭを備え、前記ポ
ートは、前記ポートを通して前記供給手段を取り外し、
前記供給手段と共に前記フィラメントモジュールを取り
外す。
と、その交換方法とを提供する。 【解決手段】電子銃ＧＮは、電子銃の壁ＴＰを通り抜け
る供給手段ＦＴと、上記供給手段に接続する前記電子銃
に格納される電子ビーム発生手段とを有する電子銃であ
って、前記電子ビーム発生手段と前記銃の壁のポートと
を格納するフィラメントモジュールＦＭを備え、前記ポ
ートは、前記ポートを通して前記供給手段を取り外し、
前記供給手段と共に前記フィラメントモジュールを取り
外す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビーム投影シ
ステムに関するもので、特に電極、即ちフィラメントや
カソードなどのような電子ビーム投影システムの部品
を、交換する方法と装置に関するものである。
ステムに関するもので、特に電極、即ちフィラメントや
カソードなどのような電子ビーム投影システムの部品
を、交換する方法と装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Williams他の米国特許No.4,634,921“Th
ermionic Cathode Heater”には、製造用カソードと、
伝導性環状シリンダーの内側に直線状ワイヤを設けたカ
ソードヒーターを含む電子ビームとが、書かれている。
そのシリンダは、その直線状ワイヤを１方向に流れてシ
リンダに戻る電流によって加熱されるカソードの内部
に、設けられている。カソードは、焼結タングステンの
ような導電性材料で、構成される。
ermionic Cathode Heater”には、製造用カソードと、
伝導性環状シリンダーの内側に直線状ワイヤを設けたカ
ソードヒーターを含む電子ビームとが、書かれている。
そのシリンダは、その直線状ワイヤを１方向に流れてシ
リンダに戻る電流によって加熱されるカソードの内部
に、設けられている。カソードは、焼結タングステンの
ような導電性材料で、構成される。
【０００３】Friedman他の米国特許No.4,583,023“Elec
tron Beam Heated Thermionic CAthode”には、電気的
な加熱板のような適当な加熱手段で、その背面からの低
レベル電子放射に充分な温度まで初期に加熱される、電
子ビームジェネレーターなどが、書かれている。維持電
圧がカソードと加熱板との間に印加され、カソードから
加熱板までの間の空間を通る“背面電子ビーム”という
電子流を、引き出している。背面電子ビームは、その近
傍に設けられているカソードの温度が、要求される放射
温度に上昇するのに十分な温度まで、加熱板を加熱す
る。この加熱プロセスは、その時点で終了する。という
のは、この加熱は、要求される放射温度が達成されるま
での初期にだけ、用いられるからである。
tron Beam Heated Thermionic CAthode”には、電気的
な加熱板のような適当な加熱手段で、その背面からの低
レベル電子放射に充分な温度まで初期に加熱される、電
子ビームジェネレーターなどが、書かれている。維持電
圧がカソードと加熱板との間に印加され、カソードから
加熱板までの間の空間を通る“背面電子ビーム”という
電子流を、引き出している。背面電子ビームは、その近
傍に設けられているカソードの温度が、要求される放射
温度に上昇するのに十分な温度まで、加熱板を加熱す
る。この加熱プロセスは、その時点で終了する。という
のは、この加熱は、要求される放射温度が達成されるま
での初期にだけ、用いられるからである。
【０００４】図１Ａは、そのようなシステムの出願者が
考えるような、ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬの上部に取り付
けられた電子銃ＧＮが設けられている電子ビーム投影シ
ステム（ＥＢＰＳ）の、一部を表わしている。図１Ａ
は、図４に示す一次フィラメントＦＩＬを囲む、フィラ
メントモジュールＦＭを示しており、一次フィラメント
ＦＩＬは一次電子ビームを発生する。一次フィラメント
ＦＩＬは、重量が軽く、比較的寿命の短いワイヤででき
ている。フィラメントモジュールＦＭの一次フィラメン
トＦＩＬは、フィラメントモジュールＦＭの下方で支持
されているカソードＣＡの背面に、一次電子ビームを放
射する。カソードＣＡの背面に入射するエネルギーは、
カソードＣＡによって電子ビームを発生する原因とな
る。フィラメントＦＩＬで発生した一次電子ビームから
の、カソードＣＡの背面の表面に入射するエネルギー
は、カソードＣＡを刺激して２次電子ビームとなる電子
を放射する、加熱の原因となる。
考えるような、ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬの上部に取り付
けられた電子銃ＧＮが設けられている電子ビーム投影シ
ステム（ＥＢＰＳ）の、一部を表わしている。図１Ａ
は、図４に示す一次フィラメントＦＩＬを囲む、フィラ
メントモジュールＦＭを示しており、一次フィラメント
ＦＩＬは一次電子ビームを発生する。一次フィラメント
ＦＩＬは、重量が軽く、比較的寿命の短いワイヤででき
ている。フィラメントモジュールＦＭの一次フィラメン
トＦＩＬは、フィラメントモジュールＦＭの下方で支持
されているカソードＣＡの背面に、一次電子ビームを放
射する。カソードＣＡの背面に入射するエネルギーは、
カソードＣＡによって電子ビームを発生する原因とな
る。フィラメントＦＩＬで発生した一次電子ビームから
の、カソードＣＡの背面の表面に入射するエネルギー
は、カソードＣＡを刺激して２次電子ビームとなる電子
を放射する、加熱の原因となる。
【０００５】電子銃には、エレメントが設けられてい
る。このようなエレメントには、一次電子ビームエレメ
ントがカソードからの電子の放射にエネルギーを与える
ための電子ビーム衝撃加熱に用いられるフィラメント
が、設けられている。カソードにエネルギーを与えるた
めに用いられるフィラメントの場合は、小さなフィラメ
ントは、そのエレメントの定期交換を強いる短寿命であ
る。本発明によれば、フィラメントやカソードからなる
エレメントは、新しい手順によって置き換えられる。こ
の手順には、不要なガスをシステムに導入することな
く、あるいは、そのような不要なガスの導入を最小限に
留める、フィラメントＦＩＬのようなエレメントを有す
るフィラメントモジュールＦＭの交換が、伴う。
る。このようなエレメントには、一次電子ビームエレメ
ントがカソードからの電子の放射にエネルギーを与える
ための電子ビーム衝撃加熱に用いられるフィラメント
が、設けられている。カソードにエネルギーを与えるた
めに用いられるフィラメントの場合は、小さなフィラメ
ントは、そのエレメントの定期交換を強いる短寿命であ
る。本発明によれば、フィラメントやカソードからなる
エレメントは、新しい手順によって置き換えられる。こ
の手順には、不要なガスをシステムに導入することな
く、あるいは、そのような不要なガスの導入を最小限に
留める、フィラメントＦＩＬのようなエレメントを有す
るフィラメントモジュールＦＭの交換が、伴う。
【０００６】銃ＧＮには、円筒状の壁ＧＷと供給孔ＦＨ
を有する天板ＴＰとを備える容器が、設けられている。
高電圧供給コネクタＦＴは、孔ＦＨから挿入される。コ
ネクタＦＴは、高電圧ワイヤケーブルＷＣにつながり、
コネクタＦＴは、貫通ボルトＢＴで銃ＧＮの天板ＴＰに
結び付けられ、貫通ボルトＢＴは、コネクタＦＴの基板
上の取り付けフランジＦＬを通り、天板ＴＰの貫通孔に
抜けている。
を有する天板ＴＰとを備える容器が、設けられている。
高電圧供給コネクタＦＴは、孔ＦＨから挿入される。コ
ネクタＦＴは、高電圧ワイヤケーブルＷＣにつながり、
コネクタＦＴは、貫通ボルトＢＴで銃ＧＮの天板ＴＰに
結び付けられ、貫通ボルトＢＴは、コネクタＦＴの基板
上の取り付けフランジＦＬを通り、天板ＴＰの貫通孔に
抜けている。
【０００７】電子鏡筒ＣＯＬには、天板ＣＴと筒壁ＣＷ
とが、設けられている。電子鏡筒ＣＯＬの天板ＣＴに
は、二次電子ビームが銃ＧＮから筒壁ＣＷで定義される
電子鏡筒ＣＯＬに向かうための、Ｅ−ｂｅａｍ開口ＡＰ
が、設けられている。天板ＴＰの底面への固定は、取り
付け環ＭＲに連結している２つの絶縁体ＩＮ（１つ或い
は複数の絶縁体であっても構わない）で示され、取り付
け環ＭＲは、絶縁体ＩＮの下側の表面に固定される。取
り付け環ＭＲは、供給孔ＦＨと開口ＡＰとに同軸上に並
ぶように示されている取り付け孔ＭＨを、有している。
とが、設けられている。電子鏡筒ＣＯＬの天板ＣＴに
は、二次電子ビームが銃ＧＮから筒壁ＣＷで定義される
電子鏡筒ＣＯＬに向かうための、Ｅ−ｂｅａｍ開口ＡＰ
が、設けられている。天板ＴＰの底面への固定は、取り
付け環ＭＲに連結している２つの絶縁体ＩＮ（１つ或い
は複数の絶縁体であっても構わない）で示され、取り付
け環ＭＲは、絶縁体ＩＮの下側の表面に固定される。取
り付け環ＭＲは、供給孔ＦＨと開口ＡＰとに同軸上に並
ぶように示されている取り付け孔ＭＨを、有している。
【０００８】ＥＢＰＳフィラメントモジュールＦＭは、
ネジＳＣで取り付け環ＭＲの底面に、その上面が銃ＧＮ
の底面に露出する状態で、締め付けられている。フィラ
メントモジュールＦＭの上面には、ハードワイヤＨＷで
供給コネクタＦＴの底面接続端子に電気的に接続する、
多数の接点が設けられている。取り付け環ＭＲの底面へ
の固定は、カソード環ＣＲに連結している２つ以上の絶
縁体ＩＬ（１つ或いは複数の絶縁体であっても構わな
い）で示され、カソード環ＣＲは、絶縁体ＩＬの下側の
表面に更に多くのネジＳＣで固定される。カソード環Ｃ
Ｒは、供給孔ＦＨと開口ＡＰとに同軸上に並ぶように示
されているカソード孔ＣＨを、有している。
ネジＳＣで取り付け環ＭＲの底面に、その上面が銃ＧＮ
の底面に露出する状態で、締め付けられている。フィラ
メントモジュールＦＭの上面には、ハードワイヤＨＷで
供給コネクタＦＴの底面接続端子に電気的に接続する、
多数の接点が設けられている。取り付け環ＭＲの底面へ
の固定は、カソード環ＣＲに連結している２つ以上の絶
縁体ＩＬ（１つ或いは複数の絶縁体であっても構わな
い）で示され、カソード環ＣＲは、絶縁体ＩＬの下側の
表面に更に多くのネジＳＣで固定される。カソード環Ｃ
Ｒは、供給孔ＦＨと開口ＡＰとに同軸上に並ぶように示
されているカソード孔ＣＨを、有している。
【０００９】ＥＢＰＳカソードＣＡは、カソード環ＣＲ
の上部に、その上面が銃ＧＮの底面に露出する状態で、
固定される。フィラメントモジュールＦＭの上面には、
ハードワイヤＨＷで供給コネクタＦＴの底面接続端子と
電気的に接続する、多数の接点が設けられている。図１
Ｂは、図１Ａの装置の分解図で、分解されたいくつかの
部品が、分解される前にあった場所を表わす破線で、示
されている。フィラメントモジュールＦＭを交換するに
は、図１Ｂに示すように、銃ＧＮを電子鏡筒ＣＯＬから
取り外し、そして、ネジＳＣを取り外し、ハードワイヤ
ＨＷがフィラメントモジュールＦＭの上から取り外さ
れ、フィラメントモジュールＦＭが銃ＧＮから分離され
て交換できる。これは、雰囲気に曝される銃ＧＮの内側
の空間に起因し、更に、開口ＡＰを雰囲気条件に曝すき
っかけとなるという大きな問題があり、故に、雰囲気ガ
スが開口ＡＰを通って、電子鏡筒ＣＯＬに入ることもあ
る。
の上部に、その上面が銃ＧＮの底面に露出する状態で、
固定される。フィラメントモジュールＦＭの上面には、
ハードワイヤＨＷで供給コネクタＦＴの底面接続端子と
電気的に接続する、多数の接点が設けられている。図１
Ｂは、図１Ａの装置の分解図で、分解されたいくつかの
部品が、分解される前にあった場所を表わす破線で、示
されている。フィラメントモジュールＦＭを交換するに
は、図１Ｂに示すように、銃ＧＮを電子鏡筒ＣＯＬから
取り外し、そして、ネジＳＣを取り外し、ハードワイヤ
ＨＷがフィラメントモジュールＦＭの上から取り外さ
れ、フィラメントモジュールＦＭが銃ＧＮから分離され
て交換できる。これは、雰囲気に曝される銃ＧＮの内側
の空間に起因し、更に、開口ＡＰを雰囲気条件に曝すき
っかけとなるという大きな問題があり、故に、雰囲気ガ
スが開口ＡＰを通って、電子鏡筒ＣＯＬに入ることもあ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】独自に考えたプロセス
は、本発明の開発中だったが、フィラメントモジュール
ＦＭの交換が必要だった。この交換は、交換の必要のあ
るフィラメントモジュールＦＭを、取り扱いやすくする
ために、電子鏡筒ＣＯＬから図１Ａに示す電子銃ＧＮを
取り外す作業である。しかし、銃ＧＮの取り外しは、銃
ＧＮの真空を破ること、また可能なら電子鏡筒ＣＯＬの
真空を破ることを、要求することがある。そのようなプ
ロセスの結果は、交換作業の受け入れがたい長時間化を
招くという問題点となり、これは、そのような不要なガ
スを鏡筒ＣＯＬと銃ＧＮに導入することによるシステム
への妨害の原因となる。また、交換時間が長すぎると、
その内部表面を雰囲気に曝した後に、電子鏡筒ＣＯＬを
安定した真空中に再設置することが、必要になる事があ
るという問題点もある。
は、本発明の開発中だったが、フィラメントモジュール
ＦＭの交換が必要だった。この交換は、交換の必要のあ
るフィラメントモジュールＦＭを、取り扱いやすくする
ために、電子鏡筒ＣＯＬから図１Ａに示す電子銃ＧＮを
取り外す作業である。しかし、銃ＧＮの取り外しは、銃
ＧＮの真空を破ること、また可能なら電子鏡筒ＣＯＬの
真空を破ることを、要求することがある。そのようなプ
ロセスの結果は、交換作業の受け入れがたい長時間化を
招くという問題点となり、これは、そのような不要なガ
スを鏡筒ＣＯＬと銃ＧＮに導入することによるシステム
への妨害の原因となる。また、交換時間が長すぎると、
その内部表面を雰囲気に曝した後に、電子鏡筒ＣＯＬを
安定した真空中に再設置することが、必要になる事があ
るという問題点もある。
【００１１】本発明は、このような問題点を解決し、交
換作業が短時間なフィラメントモジュールと、その交換
方法とを提供することを、目的とする。
換作業が短時間なフィラメントモジュールと、その交換
方法とを提供することを、目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の電子銃は、電
子銃の壁を通り抜ける供給手段と、上記供給手段に接続
する前記電子銃に格納される電子ビーム発生手段とを有
する電子銃であって、前記電子ビーム発生手段と前記銃
の壁のポートとを格納するフィラメントモジュールを備
え、前記ポートは、前記ポートを通して前記供給手段を
取り外し、前記供給手段と共に前記フィラメントモジュ
ールを取り外すためのものであることを特徴とする。
子銃の壁を通り抜ける供給手段と、上記供給手段に接続
する前記電子銃に格納される電子ビーム発生手段とを有
する電子銃であって、前記電子ビーム発生手段と前記銃
の壁のポートとを格納するフィラメントモジュールを備
え、前記ポートは、前記ポートを通して前記供給手段を
取り外し、前記供給手段と共に前記フィラメントモジュ
ールを取り外すためのものであることを特徴とする。
【００１３】請求項２の電子銃は、前記フィラメントモ
ジュールにはフィラメントが格納され、前記フィラメン
トモジュールは前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能であることを特徴とする。
ジュールにはフィラメントが格納され、前記フィラメン
トモジュールは前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能であることを特徴とする。
【００１４】請求項３の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記銃に接続するチャンバー
に、前記ポートを通して取り扱いと取り外しが可能であ
り、前記フィラメントモジュールの取り外し中は、真空
を破る前記チャンバーが、汚染ガスの前記銃への侵入を
防止するための手段を更に有することを特徴とする。
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記銃に接続するチャンバー
に、前記ポートを通して取り扱いと取り外しが可能であ
り、前記フィラメントモジュールの取り外し中は、真空
を破る前記チャンバーが、汚染ガスの前記銃への侵入を
防止するための手段を更に有することを特徴とする。
【００１５】請求項４の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能なビーム発生エレメントモジュールに格納され、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能なビーム発生エレメントモジュールに格納され、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。
【００１６】請求項５の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、ビーム発生手段に格納され、前記フィラメント
モジュールは、前記ポートを通して、取り扱いと取り外
しとが可能で、前記フィラメントモジュールの取り外し
中に、前記銃の真空を破るための手段を更に有し、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。
手段は、ビーム発生手段に格納され、前記フィラメント
モジュールは、前記ポートを通して、取り扱いと取り外
しとが可能で、前記フィラメントモジュールの取り外し
中に、前記銃の真空を破るための手段を更に有し、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。
【００１７】請求項６の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上にロードロックが更に
設けられることを特徴とする。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上にロードロックが更に
設けられることを特徴とする。
【００１８】請求項７の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自動的
に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前記
銃の上にロードロックが更に設けられることを特徴とす
る。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自動的
に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前記
銃の上にロードロックが更に設けられることを特徴とす
る。
【００１９】請求項８の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能で、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上にロードロックが更に設けられ、前記ロードロ
ックのバルブ手段の間に、開閉孔を更に設けることを特
徴とする。
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能で、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上にロードロックが更に設けられ、前記ロードロ
ックのバルブ手段の間に、開閉孔を更に設けることを特
徴とする。
【００２０】請求項９の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、カソードの背面に向けて一次電子ビームを発生
するフィラメントを備え、前記カソードは、前記電子ビ
ーム発生手段と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設
けられ、前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の内部に
２次電子ビームを供給するために、設けられ、前記前記
電子ビーム発生手段は、前記ポート通して取り扱いと取
り外しとが可能なフィラメントモジュールに、格納さ
れ、前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、
素早く自動的に電気的接続され、前記ポートの取り扱い
のために、前記銃の上にロードロックが更に設けられ、
前記ロードロックのバルブエレメントの間に、開閉孔が
更に設けられることを特徴とする。
手段は、カソードの背面に向けて一次電子ビームを発生
するフィラメントを備え、前記カソードは、前記電子ビ
ーム発生手段と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設
けられ、前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の内部に
２次電子ビームを供給するために、設けられ、前記前記
電子ビーム発生手段は、前記ポート通して取り扱いと取
り外しとが可能なフィラメントモジュールに、格納さ
れ、前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、
素早く自動的に電気的接続され、前記ポートの取り扱い
のために、前記銃の上にロードロックが更に設けられ、
前記ロードロックのバルブエレメントの間に、開閉孔が
更に設けられることを特徴とする。
【００２１】請求項１０の電子銃は、前記電子ビーム発
生手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが
可能なフィラメントモジュールに格納される、フィラメ
ントを備え、前記フィラメントモジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上にロードロックを更に設
け、前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に、開閉
孔を更に設けることを特徴とする。
生手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが
可能なフィラメントモジュールに格納される、フィラメ
ントを備え、前記フィラメントモジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上にロードロックを更に設
け、前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に、開閉
孔を更に設けることを特徴とする。
【００２２】請求項１１の取り扱い方法は、電子銃の壁
を通り抜ける供給手段によって、前記電子銃からエレメ
ントを取り外す方法で、前記エレメントは前記供給手段
に接続する前記銃の中に格納されている方法であって、
前記供給手段を取り外すために、前記銃の壁に取り扱い
ポートを設け、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、前記取り扱いポートを通して、前記供給手段でフ
ィラメントモジュールを取り外すことを特徴とする。
を通り抜ける供給手段によって、前記電子銃からエレメ
ントを取り外す方法で、前記エレメントは前記供給手段
に接続する前記銃の中に格納されている方法であって、
前記供給手段を取り外すために、前記銃の壁に取り扱い
ポートを設け、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、前記取り扱いポートを通して、前記供給手段でフ
ィラメントモジュールを取り外すことを特徴とする。
【００２３】請求項１２の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納することを含むことを特徴とす
る。請求項１３の取り扱い方法は、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記モジュールの取り外し中は、前記
銃の真空を破ることを含むことを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納することを含むことを特徴とす
る。請求項１３の取り扱い方法は、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記モジュールの取り外し中は、前記
銃の真空を破ることを含むことを特徴とする。
【００２４】請求項１４の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続することを含むこ
とを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続することを含むこ
とを特徴とする。
【００２５】請求項１５の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破り、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破り、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。
【００２６】請求項１６の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。
【００２７】請求項１７の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロック
を操作することを含むことを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロック
を操作することを含むことを特徴とする。
【００２８】請求項１８の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前
記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開
閉孔を、操作することを含むことを特徴とする。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前
記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開
閉孔を、操作することを含むことを特徴とする。
【００２９】請求項１９の取り扱い方法は、前記エレメ
ントは、カソードの背面に向かって一次電子を発生する
フィラメントを有し、前記カソードは、前記エレメント
と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設けられ、前記
カソードは、前記電子ビーム鏡筒の中に２次電子を発生
するために、設けられ、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能なモジュールに、前記エレメントを格
納し、前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動
的に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前記ロー
ドロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開閉孔
を、操作することを含むことを特徴とする。
ントは、カソードの背面に向かって一次電子を発生する
フィラメントを有し、前記カソードは、前記エレメント
と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設けられ、前記
カソードは、前記電子ビーム鏡筒の中に２次電子を発生
するために、設けられ、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能なモジュールに、前記エレメントを格
納し、前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動
的に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前記ロー
ドロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開閉孔
を、操作することを含むことを特徴とする。
【００３０】請求項２０の取り扱い方法は、前記エレメ
ントは、フィラメント手段を備え、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記フィラメントモジュールと前記供
給手段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロ
ックを操作し、前記ロードロックの複数のバルブ手段の
間に設けられる開閉孔を、操作することを含むことを特
徴とする。
ントは、フィラメント手段を備え、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記フィラメントモジュールと前記供
給手段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロ
ックを操作し、前記ロードロックの複数のバルブ手段の
間に設けられる開閉孔を、操作することを含むことを特
徴とする。
【００３１】
【発明の実施の形態】＜発明の概要＞本発明に係わる装
置は、フィラメントを含んでおり、フィラメントは一次
電子を発生し、１次電子はカソードを加熱し、カソード
は電子ビーム投影システムの鏡筒に向かう高エネルギー
２次電子を発生する。本発明で取上げる課題は、必要な
ときに、システムの真空を破ることなく、電子ビーム鏡
筒のフィラメントのような部品を、交換しなければなら
ないということである。
置は、フィラメントを含んでおり、フィラメントは一次
電子を発生し、１次電子はカソードを加熱し、カソード
は電子ビーム投影システムの鏡筒に向かう高エネルギー
２次電子を発生する。本発明で取上げる課題は、必要な
ときに、システムの真空を破ることなく、電子ビーム鏡
筒のフィラメントのような部品を、交換しなければなら
ないということである。
【００３２】本発明によれば、電子鏡筒から電子銃を取
り外さずに、電子ビーム発生コンポーネントのようなエ
レメントを、電子銃から取り外したり、取り付けたり、
できる方法と装置が提供される。電子ビーム発生コンポ
ーネントは、フィラメントやカソードエレメントモジュ
ールのような装置である。供給コネクタは銃の中のコネ
クタ部から取り外され、そして、そのエレメントモジュ
ールがコネクタ部から取り外される。銃の上部からの供
給エレメントの取り外しは、そのモジュールの取り扱い
を容易にする。そのエレメントは、供給エレメントを取
り外す事で容易に開く開口を通して、取り外される。そ
して、そのエレメントは、銃から簡単に持ち上げられ、
新しいエレメントが取り付けられる。素早い接続を容易
にするために、そのエレメントモジュールは、支持板と
の全ての電気的接続が自動にされるように、電子銃に取
り付けられる。
り外さずに、電子ビーム発生コンポーネントのようなエ
レメントを、電子銃から取り外したり、取り付けたり、
できる方法と装置が提供される。電子ビーム発生コンポ
ーネントは、フィラメントやカソードエレメントモジュ
ールのような装置である。供給コネクタは銃の中のコネ
クタ部から取り外され、そして、そのエレメントモジュ
ールがコネクタ部から取り外される。銃の上部からの供
給エレメントの取り外しは、そのモジュールの取り扱い
を容易にする。そのエレメントは、供給エレメントを取
り外す事で容易に開く開口を通して、取り外される。そ
して、そのエレメントは、銃から簡単に持ち上げられ、
新しいエレメントが取り付けられる。素早い接続を容易
にするために、そのエレメントモジュールは、支持板と
の全ての電気的接続が自動にされるように、電子銃に取
り付けられる。
【００３３】本発明のもう一つの観点では、ロードロッ
クはコネクタ部の上方に設けられ、銃の真空が破られる
事を防止している。供給エレメントとロードロックチャ
ンバーとの間のベローズは、銃が周辺の雰囲気ガスに露
出することなく、その供給エレメントの取り外しを容易
にしている。図２Ａと２Ｂは、それぞれ図１Ａと１Ｂの
変形であるが、本発明の第１実施形態の部分的で模式的
な引き上げ断面図である。これは図１Ａと１Ｂの問題
を、図４に示すフィラメントが交換の時期に来ていると
き、ドライ窒素ガスを銃に流入させながらフィラメント
モジュールを交換することで、解決している。
クはコネクタ部の上方に設けられ、銃の真空が破られる
事を防止している。供給エレメントとロードロックチャ
ンバーとの間のベローズは、銃が周辺の雰囲気ガスに露
出することなく、その供給エレメントの取り外しを容易
にしている。図２Ａと２Ｂは、それぞれ図１Ａと１Ｂの
変形であるが、本発明の第１実施形態の部分的で模式的
な引き上げ断面図である。これは図１Ａと１Ｂの問題
を、図４に示すフィラメントが交換の時期に来ていると
き、ドライ窒素ガスを銃に流入させながらフィラメント
モジュールを交換することで、解決している。
【００３４】図３Ａと３Ｂは、本発明の第２実施形態の
部分的で模式的な引き上げ断面図で、フィラメントモジ
ュールを交換するために、銃の真空を破る必要をなくし
ている。この場合、ロードロックの供給部の上の天板に
ある銃の上方に、電子銃を延長して付け足す。ロードロ
ックには、ガス問題を低減するために、フィラメントな
どを格納するフィラメントモジュールを交換している
間、ずっと動作し続けるバルブとベローズとが、設けら
れている。
部分的で模式的な引き上げ断面図で、フィラメントモジ
ュールを交換するために、銃の真空を破る必要をなくし
ている。この場合、ロードロックの供給部の上の天板に
ある銃の上方に、電子銃を延長して付け足す。ロードロ
ックには、ガス問題を低減するために、フィラメントな
どを格納するフィラメントモジュールを交換している
間、ずっと動作し続けるバルブとベローズとが、設けら
れている。
【００３５】図４は、図２Ａ、２Ｂと図３Ａ、３Ｂのフ
ィラメントモジュールＦＭの詳細な断面図である。図２
Ａ、２Ｂと３Ａ、３Ｂは、本発明の２つの実施形態に従
う、電子ビーム投影システム（ＥＢＰＳ）の一部分を示
しており、これらの実施例には、ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯ
Ｌの上に取り付けられた電子銃ＧＮが、設けられてい
る。ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬは、図１Ａの変形である。
本発明に従えば、図２Ａ、２Ｂと３Ａ、３Ｂに示すよう
に、電子銃ＧＮを鏡筒ＣＯＬから取り外さずに、電子銃
ＧＮからフィラメントモジュールＦＭを取り外し、また
取り付けられる、様々な方法と装置とが提供される。
ィラメントモジュールＦＭの詳細な断面図である。図２
Ａ、２Ｂと３Ａ、３Ｂは、本発明の２つの実施形態に従
う、電子ビーム投影システム（ＥＢＰＳ）の一部分を示
しており、これらの実施例には、ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯ
Ｌの上に取り付けられた電子銃ＧＮが、設けられてい
る。ＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬは、図１Ａの変形である。
本発明に従えば、図２Ａ、２Ｂと３Ａ、３Ｂに示すよう
に、電子銃ＧＮを鏡筒ＣＯＬから取り外さずに、電子銃
ＧＮからフィラメントモジュールＦＭを取り外し、また
取り付けられる、様々な方法と装置とが提供される。
【００３６】短時間の接続を容易にするために、フィラ
メントモジュールＦＭは、支持板とフィラメントとへの
全ての電気的接続が、ハンダ接続などを必要とせず自動
的に行われるように、電子銃ＧＮに取り付けられる。図
２Ｂ、３Ｂに示すように、高電圧供給コネクタＦＴの底
面には、従来技術から容易に理解できるように、接続パ
ッドＸＰに重なる標準バネ接点ＸＳが、設けられてい
る。 ＜第１実施形態＞図２Ａと２Ｂとに示す本発明の第１実
施形態は、従来技術から容易に理解できるように、図４
に示す使用中のフィラメントＦＩＬが、電子銃ＧＮにド
ライ窒素ガスを最初に入れる交換時期に来ているとき
に、フィラメントモジュールＦＭを取り替えることを、
表わしている。
メントモジュールＦＭは、支持板とフィラメントとへの
全ての電気的接続が、ハンダ接続などを必要とせず自動
的に行われるように、電子銃ＧＮに取り付けられる。図
２Ｂ、３Ｂに示すように、高電圧供給コネクタＦＴの底
面には、従来技術から容易に理解できるように、接続パ
ッドＸＰに重なる標準バネ接点ＸＳが、設けられてい
る。 ＜第１実施形態＞図２Ａと２Ｂとに示す本発明の第１実
施形態は、従来技術から容易に理解できるように、図４
に示す使用中のフィラメントＦＩＬが、電子銃ＧＮにド
ライ窒素ガスを最初に入れる交換時期に来ているとき
に、フィラメントモジュールＦＭを取り替えることを、
表わしている。
【００３７】図２Ａに示すフィラメントモジュールＦＭ
が高電圧供給コネクタＦＴの下に直接位置しているの
で、図２Ａと２Ｂの実施例では、高電圧供給コネクタＦ
ＴとフィラメントモジュールＦＭとは、供給孔ＦＨから
取り外され、交換のためのフィラメントモジュールＦＭ
の取り扱いを可能にしている。ドライ窒素ガス流（窒素
ガス注入口は鏡筒ＣＯＬの下方に設けられているので、
図示しない）は、このプロセスが供給孔ＦＨを通して銃
ＧＮ全体から雰囲気の空気を遮断している間、出続け
る。そして、古くなったフィラメントモジュールＦＭ
は、取り外され、新しいフィラメントモジュールＦＭが
取り付けられる。高電圧供給コネクタＦＴは再取り付け
されて、そのフィラメントモジュールＦＭと自動的に接
続する。窒素ガス流が停止され、電子銃ＧＮは高真空ま
で排気される。このプロセスの間、電子銃ＧＮは、電子
鏡筒ＣＯＬからは取り外されない。
が高電圧供給コネクタＦＴの下に直接位置しているの
で、図２Ａと２Ｂの実施例では、高電圧供給コネクタＦ
ＴとフィラメントモジュールＦＭとは、供給孔ＦＨから
取り外され、交換のためのフィラメントモジュールＦＭ
の取り扱いを可能にしている。ドライ窒素ガス流（窒素
ガス注入口は鏡筒ＣＯＬの下方に設けられているので、
図示しない）は、このプロセスが供給孔ＦＨを通して銃
ＧＮ全体から雰囲気の空気を遮断している間、出続け
る。そして、古くなったフィラメントモジュールＦＭ
は、取り外され、新しいフィラメントモジュールＦＭが
取り付けられる。高電圧供給コネクタＦＴは再取り付け
されて、そのフィラメントモジュールＦＭと自動的に接
続する。窒素ガス流が停止され、電子銃ＧＮは高真空ま
で排気される。このプロセスの間、電子銃ＧＮは、電子
鏡筒ＣＯＬからは取り外されない。
【００３８】図２Ａは、本発明に関する電子ビーム投影
システム（ＥＢＰＳ）を表わしており、従来と同じよう
にＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬの上に設けられる電子銃ＧＮ
が、設けられている。電子銃ＧＮは、円筒壁ＧＷと高電
圧供給コネクタＦＴの挿入用の供給孔ＦＨとが設けられ
ている容器を、有している。高電圧供給コネクタＦＴ
は、高電圧ワイヤケーブルＷＣに接続し、高電圧供給コ
ネクタＦＴはボルトＢＴで電子銃ＧＮの天板ＴＰ上に、
固定される。
システム（ＥＢＰＳ）を表わしており、従来と同じよう
にＥＢＰＳ電子鏡筒ＣＯＬの上に設けられる電子銃ＧＮ
が、設けられている。電子銃ＧＮは、円筒壁ＧＷと高電
圧供給コネクタＦＴの挿入用の供給孔ＦＨとが設けられ
ている容器を、有している。高電圧供給コネクタＦＴ
は、高電圧ワイヤケーブルＷＣに接続し、高電圧供給コ
ネクタＦＴはボルトＢＴで電子銃ＧＮの天板ＴＰ上に、
固定される。
【００３９】電子鏡筒ＣＯＬには、天板ＣＴと鏡筒壁Ｃ
Ｗとが、設けられている。電子鏡筒ＣＯＬの天板ＣＴに
は、電子ビームが電子銃ＧＮのカソードＣＡから電子鏡
筒ＣＯＬの内部に向かうためのＥビーム開口ＡＰが、設
けられている。電子銃ＧＮの天板ＴＰの底面への固定
は、取り付け環ＭＲ'に連結する２つの絶縁体ＩＮによ
ってなされ、取り付け環ＭＲ'は絶縁体ＩＮの下部面に
固定されている。環ＭＲ'は、電子銃ＧＮの内部でフィ
ラメントモジュールＦＭを適切な位置に並べるアライメ
ントフランジＡＦによって、供給孔ＦＨとＥビーム開口
ＡＰとに対して同軸上に並べられる、取り付け孔ＭＨを
有している。
Ｗとが、設けられている。電子鏡筒ＣＯＬの天板ＣＴに
は、電子ビームが電子銃ＧＮのカソードＣＡから電子鏡
筒ＣＯＬの内部に向かうためのＥビーム開口ＡＰが、設
けられている。電子銃ＧＮの天板ＴＰの底面への固定
は、取り付け環ＭＲ'に連結する２つの絶縁体ＩＮによ
ってなされ、取り付け環ＭＲ'は絶縁体ＩＮの下部面に
固定されている。環ＭＲ'は、電子銃ＧＮの内部でフィ
ラメントモジュールＦＭを適切な位置に並べるアライメ
ントフランジＡＦによって、供給孔ＦＨとＥビーム開口
ＡＰとに対して同軸上に並べられる、取り付け孔ＭＨを
有している。
【００４０】取り付け環ＭＲ'の底面への固定は、カソ
ード取り付け環ＣＲに連結する２つの下部絶縁体ＩＬに
よってなされ、カソード取り付け環ＣＲは絶縁体ＩＬの
下側の面にネジＳＣで固定される。環ＣＲは、供給孔Ｆ
ＨとＥビーム開口ＡＰとに対して同軸上にアライメント
フランジによって並べられる取り付け孔を、有してお
り、アライメントフランジは、カソード取り付け環ＣＲ
上のカソードＣＡを電子銃ＧＮの内部の適切な位置に収
納する。カソードＣＡの上部は、図４に示すフィラメン
トモジュールＦＭのフィラメントＦＩＬからの一次電子
ビームによって、活性化される位置にある。
ード取り付け環ＣＲに連結する２つの下部絶縁体ＩＬに
よってなされ、カソード取り付け環ＣＲは絶縁体ＩＬの
下側の面にネジＳＣで固定される。環ＣＲは、供給孔Ｆ
ＨとＥビーム開口ＡＰとに対して同軸上にアライメント
フランジによって並べられる取り付け孔を、有してお
り、アライメントフランジは、カソード取り付け環ＣＲ
上のカソードＣＡを電子銃ＧＮの内部の適切な位置に収
納する。カソードＣＡの上部は、図４に示すフィラメン
トモジュールＦＭのフィラメントＦＩＬからの一次電子
ビームによって、活性化される位置にある。
【００４１】本発明によるＥＢＰＳフィラメントモジュ
ールＦＭは、取り付け環ＭＲ'の表面にアライメントフ
ランジＡＦによって形成されるアニュラー環に、載置さ
れる。従って、フィラメントモジュールＦＭを取り付け
環ＭＲ'に結び付けるのに、ネジは必要ない。モジュー
ルＦＭには、電子銃ＧＮの内部に囲われるチャンバーに
露出する上面が、ある。フィラメントモジュールＦＭの
上面には、高電圧供給コネクタＦＴの底でスプリングコ
ネクタＸＳに短時間で電気的に接続する、多数の接点が
設けられている。電気接点は、カソードＣＡを活性化す
る一次電子ビームの発生用に、フィラメントＦＩＬに電
気エネルギーを供給する。
ールＦＭは、取り付け環ＭＲ'の表面にアライメントフ
ランジＡＦによって形成されるアニュラー環に、載置さ
れる。従って、フィラメントモジュールＦＭを取り付け
環ＭＲ'に結び付けるのに、ネジは必要ない。モジュー
ルＦＭには、電子銃ＧＮの内部に囲われるチャンバーに
露出する上面が、ある。フィラメントモジュールＦＭの
上面には、高電圧供給コネクタＦＴの底でスプリングコ
ネクタＸＳに短時間で電気的に接続する、多数の接点が
設けられている。電気接点は、カソードＣＡを活性化す
る一次電子ビームの発生用に、フィラメントＦＩＬに電
気エネルギーを供給する。
【００４２】図２Ｂによれば、フィラメントモジュール
ＦＭを交換するために、ボルトＢＴが取り外され、そし
て、高電圧供給コネクタＦＴが電子鏡筒ＣＯＬから持ち
上げられる。そして、フィラメントモジュールＦＭは取
り外され、新しいフィラメントモジュールＦＭが短時間
で取り付けられる；また、数秒という短時間で、高電圧
供給コネクタＦＴが電子銃ＧＮの上に再取り付けされ
る。 ＜第２実施形態＞本発明の第２実施形態を図３Ａと３Ｂ
とに示す。この実施形態では、電子銃ＧＮの真空を破っ
てフィラメントモジュールＦＭを交換する必要がない。
この場合、電子銃ＧＮが、天板ＴＰの上の電子銃ＧＮの
上方で、且つ、ロードロックＬＬの供給孔の上方で、上
側に拡張され、ロードロックＬＬ側のバルブＳＶを通す
フィラメントモジュールＦＭの交換用に、ロードロック
ＬＬの内側に置かれた通常の真空装置（図示せず）が、
用いられる。ロードロックチャンバーは、以下に述べる
ように、ロードロックＬＬの横と底の円形ゲートバルブ
ＳＶとＬＶとによって閉じられる、円形断面部を有す
る。
ＦＭを交換するために、ボルトＢＴが取り外され、そし
て、高電圧供給コネクタＦＴが電子鏡筒ＣＯＬから持ち
上げられる。そして、フィラメントモジュールＦＭは取
り外され、新しいフィラメントモジュールＦＭが短時間
で取り付けられる；また、数秒という短時間で、高電圧
供給コネクタＦＴが電子銃ＧＮの上に再取り付けされ
る。 ＜第２実施形態＞本発明の第２実施形態を図３Ａと３Ｂ
とに示す。この実施形態では、電子銃ＧＮの真空を破っ
てフィラメントモジュールＦＭを交換する必要がない。
この場合、電子銃ＧＮが、天板ＴＰの上の電子銃ＧＮの
上方で、且つ、ロードロックＬＬの供給孔の上方で、上
側に拡張され、ロードロックＬＬ側のバルブＳＶを通す
フィラメントモジュールＦＭの交換用に、ロードロック
ＬＬの内側に置かれた通常の真空装置（図示せず）が、
用いられる。ロードロックチャンバーは、以下に述べる
ように、ロードロックＬＬの横と底の円形ゲートバルブ
ＳＶとＬＶとによって閉じられる、円形断面部を有す
る。
【００４３】使われているフィラメントモジュールＦＭ
が交換時期になると、真空装置が働いて、電子銃ＧＮか
らフィラメントモジュールＦＭを引っ込め、そして、真
空装置が働いて、フィラメントモジュールＦＭを真空に
なっているロードロックＬＬの中まで移動する。ロード
ロックＬＬと電子銃ＧＮとの間のバルブＬＶが閉じて、
ロードロックＬＬが開かれる。そして、フィラメントモ
ジュールＦＭが、ロードロックＬＬからロードロックＬ
ＬのバルブＳＶを通して、取り除かれる。置き換えられ
たフィラメントモジュールＦＭは、高真空まで引かれた
ロードロックＬＬの中に、置かれる。電子銃ＧＮとロー
ドロックＬＬとの間のバルブＬＶが開いて、マニピュレ
ーターが使われて、新しいフィラメントモジュールＦＭ
を電子銃ＧＮに取り付ける。フィラメントモジュールＦ
Ｍとの全ての電気的接続は自動なので、本実施例によっ
て、銃の真空を破ったり取り除く必要がない。ロードロ
ックＬＬには、ロードロックＬＬによるチャンバーの真
空引き用の真空ポートＶが、設けられている。バルブＳ
ＶとＵＶとは、従来のゲートやシャッタータイプのバル
ブ（それぞれ真空ポートＶの横と下方に設けられてい
る）で、これらは、移動可能な円形板を有する。移動可
能な円形板は、ロードロックチャンバーの開口を横切っ
て移動でき、ロードロックチャンバーの入り口の環状開
口を閉じる。従来のシャッターバルブを模式図で示す。
が交換時期になると、真空装置が働いて、電子銃ＧＮか
らフィラメントモジュールＦＭを引っ込め、そして、真
空装置が働いて、フィラメントモジュールＦＭを真空に
なっているロードロックＬＬの中まで移動する。ロード
ロックＬＬと電子銃ＧＮとの間のバルブＬＶが閉じて、
ロードロックＬＬが開かれる。そして、フィラメントモ
ジュールＦＭが、ロードロックＬＬからロードロックＬ
ＬのバルブＳＶを通して、取り除かれる。置き換えられ
たフィラメントモジュールＦＭは、高真空まで引かれた
ロードロックＬＬの中に、置かれる。電子銃ＧＮとロー
ドロックＬＬとの間のバルブＬＶが開いて、マニピュレ
ーターが使われて、新しいフィラメントモジュールＦＭ
を電子銃ＧＮに取り付ける。フィラメントモジュールＦ
Ｍとの全ての電気的接続は自動なので、本実施例によっ
て、銃の真空を破ったり取り除く必要がない。ロードロ
ックＬＬには、ロードロックＬＬによるチャンバーの真
空引き用の真空ポートＶが、設けられている。バルブＳ
ＶとＵＶとは、従来のゲートやシャッタータイプのバル
ブ（それぞれ真空ポートＶの横と下方に設けられてい
る）で、これらは、移動可能な円形板を有する。移動可
能な円形板は、ロードロックチャンバーの開口を横切っ
て移動でき、ロードロックチャンバーの入り口の環状開
口を閉じる。従来のシャッターバルブを模式図で示す。
【００４４】図２Ａ、２Ｂと図３Ａ、３Ｂとのフィラメ
ントモジュールＦＭを、図４に詳しく示す。モジュール
ＦＭは、２つの支持板から構成され、１つめの板ＰＬ１
は図４の上側にあり、２つめの板ＰＬ２はＰＬ１の下方
にある。板ＰＬ１とＰＬ２とは、高電圧電気絶縁体Ｉ
Ｎ'で分離されている。高電圧電気絶縁体ＩＮ'は、カソ
ードＣＡを活性化する一次電子ビームを発生するのに充
分でなければならないフィラメント加熱電圧に、耐えら
れる。絶縁体ＩＮ'はまた、板ＰＬ１とＰＬ２とを（図
示の簡略化のために図示していない従来の固定手段によ
って）固定している。板ＰＬ１とＰＬ２とへの取り付け
は、それぞれフィラメント支持用（取り付け用）の柱Ｐ
１とＰ２の中心端である。柱Ｐ１とＰ２とは、貫通ネジ
ＳＣによって板ＰＬ１とＰＬ２とに、それぞれ固定さ
れ、貫通ネジＳＣは板ＰＬ１とＰＬ２の下面の対向孔に
固定されている。柱Ｐ１は、電子銃ＧＮ内の真空に用い
られている高電圧での電子の放電を、防止するのに十分
な距離だけ離れて、板ＰＬ２のスルーホールＴＨを通っ
ている。フィラメントＦＩＬは、フィラメントＦＩＬの
一端が柱Ｐ１とＰ２とのそれぞれにつながるように、柱
Ｐ１とＰ２の末端に取り付けられている。この構造によ
り、フィラメントモジュールＦＭは、分離された自己内
蔵エレメントになっている。
ントモジュールＦＭを、図４に詳しく示す。モジュール
ＦＭは、２つの支持板から構成され、１つめの板ＰＬ１
は図４の上側にあり、２つめの板ＰＬ２はＰＬ１の下方
にある。板ＰＬ１とＰＬ２とは、高電圧電気絶縁体Ｉ
Ｎ'で分離されている。高電圧電気絶縁体ＩＮ'は、カソ
ードＣＡを活性化する一次電子ビームを発生するのに充
分でなければならないフィラメント加熱電圧に、耐えら
れる。絶縁体ＩＮ'はまた、板ＰＬ１とＰＬ２とを（図
示の簡略化のために図示していない従来の固定手段によ
って）固定している。板ＰＬ１とＰＬ２とへの取り付け
は、それぞれフィラメント支持用（取り付け用）の柱Ｐ
１とＰ２の中心端である。柱Ｐ１とＰ２とは、貫通ネジ
ＳＣによって板ＰＬ１とＰＬ２とに、それぞれ固定さ
れ、貫通ネジＳＣは板ＰＬ１とＰＬ２の下面の対向孔に
固定されている。柱Ｐ１は、電子銃ＧＮ内の真空に用い
られている高電圧での電子の放電を、防止するのに十分
な距離だけ離れて、板ＰＬ２のスルーホールＴＨを通っ
ている。フィラメントＦＩＬは、フィラメントＦＩＬの
一端が柱Ｐ１とＰ２とのそれぞれにつながるように、柱
Ｐ１とＰ２の末端に取り付けられている。この構造によ
り、フィラメントモジュールＦＭは、分離された自己内
蔵エレメントになっている。
【００４５】ロードロックＬＬとバルブＳＶの詳細を、
図３Ａと３Ｂとに示す。フランジＦＬは、ベローズシー
ルＢＥ（当業者に分かりやすいように、模式図で示し
た）で、ロードロックＬＬの天板ＴＬと、つながってい
る。ベローズシールＢＥは、高電圧供給コネクタＦＴ’
がその取り付けられた位置から電子銃ＧＮの真空を破ら
ずに取り外されることを、可能にしている。
図３Ａと３Ｂとに示す。フランジＦＬは、ベローズシー
ルＢＥ（当業者に分かりやすいように、模式図で示し
た）で、ロードロックＬＬの天板ＴＬと、つながってい
る。ベローズシールＢＥは、高電圧供給コネクタＦＴ’
がその取り付けられた位置から電子銃ＧＮの真空を破ら
ずに取り外されることを、可能にしている。
【００４６】図示のように、高電圧供給コネクタＦＴ’
がマニピュレータ装置によってフィラメントモジュール
ＦＭを取り除くために、持ち上げられた位置にあるとき
に、フィラメントモジュールＦＭの取り扱いを容易にす
るために、バルブＳＶは、ロードロックＬＬの横に設け
られている。マニピュレータ装置は、モジュールＦＭを
取上げて、供給孔ＦＨとバルブＳＶとを通してフィラメ
ントモジュールＦＭを取り除ける。マニピュレータ（図
示せず）とバルブのシーケンス制御とロードロックＬＬ
への真空の適用とによって、電子銃ＧＮの真空を破った
状態でのフィラメントモジュールＦＭの取り外しと交換
とが、可能になっている。
がマニピュレータ装置によってフィラメントモジュール
ＦＭを取り除くために、持ち上げられた位置にあるとき
に、フィラメントモジュールＦＭの取り扱いを容易にす
るために、バルブＳＶは、ロードロックＬＬの横に設け
られている。マニピュレータ装置は、モジュールＦＭを
取上げて、供給孔ＦＨとバルブＳＶとを通してフィラメ
ントモジュールＦＭを取り除ける。マニピュレータ（図
示せず）とバルブのシーケンス制御とロードロックＬＬ
への真空の適用とによって、電子銃ＧＮの真空を破った
状態でのフィラメントモジュールＦＭの取り外しと交換
とが、可能になっている。
【００４７】図３Ｂにおいて、フィラメントモジュール
ＦＭは影像で描かれており、一部が取り除かれている
が、下方バルブＬＶが閉じた後、ロードロックＬＬ内に
一時的に残っている。この設計は、フィラメントの平均
交換時間（ＭＴＲ）を劇的に低減するので、好ましい。
ＦＭは影像で描かれており、一部が取り除かれている
が、下方バルブＬＶが閉じた後、ロードロックＬＬ内に
一時的に残っている。この設計は、フィラメントの平均
交換時間（ＭＴＲ）を劇的に低減するので、好ましい。
【００４８】
【発明の効果】請求項１の電子銃は、電子銃の壁を通り
抜ける供給手段と、上記供給手段に接続する前記電子銃
に格納される電子ビーム発生手段とを有する電子銃であ
って、前記電子ビーム発生手段と前記銃の壁のポートと
を格納するフィラメントモジュールを備え、前記ポート
は、前記ポートを通して前記供給手段を取り外し、前記
供給手段と共に前記フィラメントモジュールを取り外す
ためのものであることを特徴とする。従って、前記フィ
ラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
抜ける供給手段と、上記供給手段に接続する前記電子銃
に格納される電子ビーム発生手段とを有する電子銃であ
って、前記電子ビーム発生手段と前記銃の壁のポートと
を格納するフィラメントモジュールを備え、前記ポート
は、前記ポートを通して前記供給手段を取り外し、前記
供給手段と共に前記フィラメントモジュールを取り外す
ためのものであることを特徴とする。従って、前記フィ
ラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００４９】請求項２の電子銃は、前記フィラメントモ
ジュールにはフィラメントが格納され、前記フィラメン
トモジュールは前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能であることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
ジュールにはフィラメントが格納され、前記フィラメン
トモジュールは前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能であることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５０】請求項３の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記銃に接続するチャンバー
に、前記ポートを通して取り扱いと取り外しが可能であ
り、前記フィラメントモジュールの取り外し中は、真空
を破る前記チャンバーが、汚染ガスの前記銃への侵入を
防止するための手段を更に有することを特徴とする。従
って、前記汚染ガスによって前記銃が傷まない。
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記銃に接続するチャンバー
に、前記ポートを通して取り扱いと取り外しが可能であ
り、前記フィラメントモジュールの取り外し中は、真空
を破る前記チャンバーが、汚染ガスの前記銃への侵入を
防止するための手段を更に有することを特徴とする。従
って、前記汚染ガスによって前記銃が傷まない。
【００５１】請求項４の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能なビーム発生エレメントモジュールに格納され、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能なビーム発生エレメントモジュールに格納され、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５２】請求項５の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、ビーム発生手段に格納され、前記フィラメント
モジュールは、前記ポートを通して、取り扱いと取り外
しとが可能で、前記フィラメントモジュールの取り外し
中に、前記銃の真空を破るための手段を更に有し、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
手段は、ビーム発生手段に格納され、前記フィラメント
モジュールは、前記ポートを通して、取り扱いと取り外
しとが可能で、前記フィラメントモジュールの取り外し
中に、前記銃の真空を破るための手段を更に有し、前記
フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自
動的に電気的に接続することを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５３】請求項６の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上にロードロックが更に
設けられることを特徴とする。従って、前記フィラメン
トモジュールの交換時間を、短縮できる。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上にロードロックが更に
設けられることを特徴とする。従って、前記フィラメン
トモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５４】請求項７の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自動的
に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前記
銃の上にロードロックが更に設けられることを特徴とす
る。従って、前記フィラメントモジュールの交換時間
を、短縮できる。
手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可
能な前記フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールと前記供給手段とは、素早く自動的
に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前記
銃の上にロードロックが更に設けられることを特徴とす
る。従って、前記フィラメントモジュールの交換時間
を、短縮できる。
【００５５】請求項８の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能で、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上にロードロックが更に設けられ、前記ロードロ
ックのバルブ手段の間に、開閉孔を更に設けることを特
徴とする。従って、前記フィラメントモジュールの交換
時間を、短縮できる。
手段は、フィラメントモジュールに格納され、前記フィ
ラメントモジュールは、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能で、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上にロードロックが更に設けられ、前記ロードロ
ックのバルブ手段の間に、開閉孔を更に設けることを特
徴とする。従って、前記フィラメントモジュールの交換
時間を、短縮できる。
【００５６】請求項９の電子銃は、前記電子ビーム発生
手段は、カソードの背面に向けて一次電子ビームを発生
するフィラメントを備え、前記カソードは、前記電子ビ
ーム発生手段と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設
けられ、前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の内部に
２次電子ビームを供給するために、設けられ、前記前記
電子ビーム発生手段は、前記ポート通して取り扱いと取
り外しとが可能なフィラメントモジュールに、格納さ
れ、前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、
素早く自動的に電気的接続され、前記ポートの取り扱い
のために、前記銃の上にロードロックが更に設けられ、
前記ロードロックのバルブエレメントの間に、開閉孔が
更に設けられることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
手段は、カソードの背面に向けて一次電子ビームを発生
するフィラメントを備え、前記カソードは、前記電子ビ
ーム発生手段と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設
けられ、前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の内部に
２次電子ビームを供給するために、設けられ、前記前記
電子ビーム発生手段は、前記ポート通して取り扱いと取
り外しとが可能なフィラメントモジュールに、格納さ
れ、前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、
素早く自動的に電気的接続され、前記ポートの取り扱い
のために、前記銃の上にロードロックが更に設けられ、
前記ロードロックのバルブエレメントの間に、開閉孔が
更に設けられることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５７】請求項１０の電子銃は、前記電子ビーム発
生手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが
可能なフィラメントモジュールに格納される、フィラメ
ントを備え、前記フィラメントモジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上にロードロックを更に設
け、前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に、開閉
孔を更に設けることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
生手段は、前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが
可能なフィラメントモジュールに格納される、フィラメ
ントを備え、前記フィラメントモジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上にロードロックを更に設
け、前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に、開閉
孔を更に設けることを特徴とする。従って、前記フィラ
メントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００５８】請求項１１の取り扱い方法は、電子銃の壁
を通り抜ける供給手段によって、前記電子銃からエレメ
ントを取り外す方法で、前記エレメントは前記供給手段
に接続する前記銃の中に格納されている方法であって、
前記供給手段を取り外すために、前記銃の壁に取り扱い
ポートを設け、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、前記取り扱いポートを通して、前記供給手段でフ
ィラメントモジュールを取り外すことを特徴とする。従
って、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮
できる。
を通り抜ける供給手段によって、前記電子銃からエレメ
ントを取り外す方法で、前記エレメントは前記供給手段
に接続する前記銃の中に格納されている方法であって、
前記供給手段を取り外すために、前記銃の壁に取り扱い
ポートを設け、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、前記取り扱いポートを通して、前記供給手段でフ
ィラメントモジュールを取り外すことを特徴とする。従
って、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮
できる。
【００５９】請求項１２の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納することを含むことを特徴とす
る。従って、前記フィラメントモジュールの交換時間
を、短縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納することを含むことを特徴とす
る。従って、前記フィラメントモジュールの交換時間
を、短縮できる。
【００６０】請求項１３の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破ることを含むことを特徴とする。
従って、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短
縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破ることを含むことを特徴とする。
従って、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短
縮できる。
【００６１】請求項１４の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続することを含むこ
とを特徴とする。従って、前記フィラメントモジュール
の交換時間を、短縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続することを含むこ
とを特徴とする。従って、前記フィラメントモジュール
の交換時間を、短縮できる。
【００６２】請求項１５の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破り、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。従って、前記フィラメント
モジュールの交換時間を、短縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールの取り外し中
は、前記銃の真空を破り、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。従って、前記フィラメント
モジュールの交換時間を、短縮できる。
【００６３】請求項１６の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。従って、前記フィラメント
モジュールの交換時間を、短縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作するこ
とを含むことを特徴とする。従って、前記フィラメント
モジュールの交換時間を、短縮できる。
【００６４】請求項１７の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロック
を操作することを含むことを特徴とする。従って、前記
フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記モジュールと前記供給手
段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポートを
取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロック
を操作することを含むことを特徴とする。従って、前記
フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００６５】請求項１８の取り扱い方法は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前
記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開
閉孔を、操作することを含むことを特徴とする。従っ
て、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮で
きる。
を通して取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、
前記エレメントを格納し、前記ポートを取り扱うため
に、前記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前
記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開
閉孔を、操作することを含むことを特徴とする。従っ
て、前記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮で
きる。
【００６６】請求項１９の取り扱い方法は、前記エレメ
ントは、カソードの背面に向かって一次電子を発生する
フィラメントを有し、前記カソードは、前記エレメント
と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設けられ、前記
カソードは、前記電子ビーム鏡筒の中に２次電子を発生
するために、設けられ、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能なモジュールに、前記エレメントを格
納し、前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動
的に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前記ロー
ドロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開閉孔
を、操作することを含むことを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
ントは、カソードの背面に向かって一次電子を発生する
フィラメントを有し、前記カソードは、前記エレメント
と電子ビーム鏡筒の中の開口との間に、設けられ、前記
カソードは、前記電子ビーム鏡筒の中に２次電子を発生
するために、設けられ、前記ポートを通して取り扱いと
取り外しとが可能なモジュールに、前記エレメントを格
納し、前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動
的に電気的に接続し、前記ポートを取り扱うために、前
記銃の上に設けられるロードロックを操作し、前記ロー
ドロックの複数のバルブ手段の間に設けられる開閉孔
を、操作することを含むことを特徴とする。従って、前
記フィラメントモジュールの交換時間を、短縮できる。
【００６７】請求項２０の取り扱い方法は、前記エレメ
ントは、フィラメント手段を備え、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記フィラメントモジュールと前記供
給手段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロ
ックを操作し、前記ロードロックの複数のバルブ手段の
間に設けられる開閉孔を、操作することを含むことを特
徴とする。従って、前記フィラメントモジュールの交換
時間を、短縮できる。
ントは、フィラメント手段を備え、前記ポートを通して
取り扱いと取り外しとが可能なモジュールに、前記エレ
メントを格納し、前記フィラメントモジュールと前記供
給手段とは、素早く自動的に電気的に接続し、前記ポー
トを取り扱うために、前記銃の上に設けられるロードロ
ックを操作し、前記ロードロックの複数のバルブ手段の
間に設けられる開閉孔を、操作することを含むことを特
徴とする。従って、前記フィラメントモジュールの交換
時間を、短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ 従来の電子銃を表わす図 図１Ｂ 図１Ａの分解図
【図２】Ａ 電子銃の断面図 図２Ｂ 図２Ａの分解図
【図３】Ａ 電子銃の断面図 図３Ｂ 図３Ａの分解図
【図４】 フィラメントモジュールＦＭの断面図
ＡＰ Ｅビーム開口 ＣＡ カソード ＣＯＬ 電子鏡筒 ＣＴ 天板 ＣＷ 筒壁 ＦＩＬ フィラメント ＦＭ フィラメントモジュール ＧＮ 電子銃 ＩＮ 絶縁体 ＳＣ ネジ ＸＳ 標準バネ接点 ＸＰ 接続パッド
Claims (20)
- 【請求項１】電子銃の壁を通り抜ける供給手段と、上記
供給手段に接続する前記電子銃に格納される電子ビーム
発生手段とを有する電子銃であって、 前記電子ビーム発生手段と前記銃の壁のポートとを格納
するフィラメントモジュールを備え、 前記ポートは、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、前記供給手段と共に前記フィラメントモジュール
を取り外すためのものであることを特徴とする電子銃。 - 【請求項２】前記フィラメントモジュールにはフィラメ
ントが格納され、 前記フィラメントモジュールは前記ポートを通して取り
扱いと取り外しとが可能であることを特徴とする請求項
１の電子銃。 - 【請求項３】前記電子ビーム発生手段は、フィラメント
モジュールに格納され、 前記フィラメントモジュールは、前記銃に接続するチャ
ンバーに、前記ポートを通して取り扱いと取り外しが可
能であり、 前記フィラメントモジュールの取り外し中は、真空を破
る前記チャンバーが、汚染ガスの前記銃への侵入を防止
するための手段を更に有することを特徴とする請求項１
の電子銃。 - 【請求項４】前記電子ビーム発生手段は、前記ポートを
通して取り扱いと取り外しとが可能なビーム発生エレメ
ントモジュールに格納され、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的に接続することを特徴とする請求項１
の電子銃。 - 【請求項５】前記電子ビーム発生手段は、ビーム発生手
段に格納され、 前記フィラメントモジュールは、前記ポートを通して、
取り扱いと取り外しとが可能で、 前記フィラメントモジュールの取り外し中に、前記銃の
真空を破るための手段を更に有し、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的に接続することを特徴とする請求項１
の電子銃。 - 【請求項６】前記電子ビーム発生手段は、前記ポートを
通して取り扱いと取り外しとが可能な前記フィラメント
モジュールに格納され、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上にロードロッ
クが更に設けられることを特徴とする請求項１の電子
銃。 - 【請求項７】前記電子ビーム発生手段は、前記ポートを
通して取り扱いと取り外しとが可能な前記フィラメント
モジュールに格納され、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的に接続し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上にロードロッ
クが更に設けられることを特徴とする請求項１の電子
銃。 - 【請求項８】前記電子ビーム発生手段は、フィラメント
モジュールに格納され、 前記フィラメントモジュールは、前記ポートを通して取
り扱いと取り外しとが可能で、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上にロードロッ
クが更に設けられ、 前記ロードロックのバルブ手段の間に、開閉孔を更に設
けることを特徴とする請求項１の電子銃。 - 【請求項９】前記電子ビーム発生手段は、カソードの背
面に向けて一次電子ビームを発生するフィラメントを備
え、 前記カソードは、前記電子ビーム発生手段と電子ビーム
鏡筒の中の開口との間に、設けられ、 前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の内部に２次電子
ビームを供給するために、設けられ、 前記前記電子ビーム発生手段は、前記ポート通して取り
扱いと取り外しとが可能なフィラメントモジュールに、
格納され、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的接続され、 前記ポートの取り扱いのために、前記銃の上にロードロ
ックが更に設けられ、 前記ロードロックのバルブエレメントの間に、開閉孔が
更に設けられることを特徴とする請求項１の電子銃。 - 【請求項１０】前記電子ビーム発生手段は、前記ポート
を通して取り扱いと取り外しとが可能なフィラメントモ
ジュールに格納される、フィラメントを備え、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的に接続し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上にロードロッ
クを更に設け、 前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に、開閉孔を
更に設けることを特徴とする請求項１の電子銃。 - 【請求項１１】電子銃の壁を通り抜ける供給手段によっ
て、前記電子銃からエレメントを取り外す方法で、前記
エレメントは前記供給手段に接続する前記銃の中に格納
されている方法であって、 前記供給手段を取り外すために、前記銃の壁に取り扱い
ポートを設け、前記ポートを通して前記供給手段を取り
外し、 前記取り扱いポートを通して、前記供給手段でフィラメ
ントモジュールを取り外すことを特徴とする取り扱い方
法。 - 【請求項１２】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納するこ
とを含むことを特徴とする請求項１１の取り扱い方法。 - 【請求項１３】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記モジュールの取り外し中は、前記銃の真空を破るこ
とを含むことを特徴とする請求項１１の取り扱い方法。 - 【請求項１４】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動的に電
気的に接続することを含むことを特徴とする請求項１１
の取り扱い方法。 - 【請求項１５】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記モジュールの取り外し中は、前記銃の真空を破り、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作することを含むことを特徴とする請
求項１１の取り扱い方法。 - 【請求項１６】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作することを含むことを特徴とする請
求項１１の取り扱い方法。 - 【請求項１７】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動的に電
気的に接続し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作することを含むことを特徴とする請
求項１１の取り扱い方法。 - 【請求項１８】前記ポートを通して取り扱いと取り外し
とが可能なモジュールに、前記エレメントを格納し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作し、 前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる
開閉孔を、操作することを含むことを特徴とする請求項
１１の取り扱い方法。 - 【請求項１９】前記エレメントは、カソードの背面に向
かって一次電子を発生するフィラメントを有し、 前記カソードは、前記エレメントと電子ビーム鏡筒の中
の開口との間に、設けられ、 前記カソードは、前記電子ビーム鏡筒の中に２次電子を
発生するために、設けられ、 前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可能なモジ
ュールに、前記エレメントを格納し、 前記モジュールと前記供給手段とは、素早く自動的に電
気的に接続し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作し、 前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる
開閉孔を、操作することを含むことを特徴とする請求項
１１の取り扱い方法。 - 【請求項２０】前記エレメントは、フィラメント手段を
備え、 前記ポートを通して取り扱いと取り外しとが可能なモジ
ュールに、前記エレメントを格納し、 前記フィラメントモジュールと前記供給手段とは、素早
く自動的に電気的に接続し、 前記ポートを取り扱うために、前記銃の上に設けられる
ロードロックを操作し、 前記ロードロックの複数のバルブ手段の間に設けられる
開閉孔を、操作することを含むことを特徴とする請求項
１１の取り扱い方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/156,544 US6252339B1 (en) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | Removable bombardment filament-module for electron beam projection systems |
| US09/156544 | 1998-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000090865A true JP2000090865A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=22560005
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