JP2000090751A - 電源信号ラインの2重シ―ルドケ―ブル - Google Patents
電源信号ラインの2重シ―ルドケ―ブルInfo
- Publication number
- JP2000090751A JP2000090751A JP11026281A JP2628199A JP2000090751A JP 2000090751 A JP2000090751 A JP 2000090751A JP 11026281 A JP11026281 A JP 11026281A JP 2628199 A JP2628199 A JP 2628199A JP 2000090751 A JP2000090751 A JP 2000090751A
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 負荷電流が突発的に変化した場合でも、それ
に伴った電圧の変動が生じにくくする。 【解決手段】 フォース線及びセンス線は直流電圧発生
器から被測定IC側に電流を供給するものである。これ
らのフォース線及びセンス線の周囲にシールド用のガー
ド線が設けられている。従って、フォース線及びセンス
線とガード線との間の静電容量は従来のケーブルと同等
である。また、フォース線、センス線及びガード線の周
囲にはシールド用のリターン線が設けられている。従っ
て、フォース線から被測定ICに供給された電流は全て
このリターン線を介して直流電圧発生器側に戻る。ま
た、リターン線はフォース線、センス線及びガード線の
全てを取り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスを
大幅に低減することができる。
に伴った電圧の変動が生じにくくする。 【解決手段】 フォース線及びセンス線は直流電圧発生
器から被測定IC側に電流を供給するものである。これ
らのフォース線及びセンス線の周囲にシールド用のガー
ド線が設けられている。従って、フォース線及びセンス
線とガード線との間の静電容量は従来のケーブルと同等
である。また、フォース線、センス線及びガード線の周
囲にはシールド用のリターン線が設けられている。従っ
て、フォース線から被測定ICに供給された電流は全て
このリターン線を介して直流電圧発生器側に戻る。ま
た、リターン線はフォース線、センス線及びガード線の
全てを取り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスを
大幅に低減することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICデバイス(集
積回路)の電気的特性を検査するIC試験装置に用いら
れる電源信号ラインの2重シールドケーブルに関する。
積回路)の電気的特性を検査するIC試験装置に用いら
れる電源信号ラインの2重シールドケーブルに関する。
【0002】
【従来の技術】性能や品質の保証されたICデバイスを
最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門
の各工程でICデバイスの全部又は一部を抜き取り、そ
の電気的特性を検査する必要がある。
最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門
の各工程でICデバイスの全部又は一部を抜き取り、そ
の電気的特性を検査する必要がある。
【0003】IC試験装置はこのような電気的特性を検
査する装置である。IC試験装置は、被測定ICに所定
の試験用パターンデータを与え、それによる被測定IC
の出力データを読み取り、被測定ICの基本的動作及び
機能に問題が無いかどうかを被測定ICの出力データか
ら不良情報を解析し、電気的特性を検査している。
査する装置である。IC試験装置は、被測定ICに所定
の試験用パターンデータを与え、それによる被測定IC
の出力データを読み取り、被測定ICの基本的動作及び
機能に問題が無いかどうかを被測定ICの出力データか
ら不良情報を解析し、電気的特性を検査している。
【0004】IC試験装置における試験は直流試験(D
C測定試験)とファンクション試験(FC測定試験)と
に大別される。直流試験は被測定ICの入出力端子にD
C測定手段から所定の電圧又は電流を印加することによ
り、被測定ICの基本的動作に不良が無いかどうかを検
査するものである。一方、ファンクション試験は被測定
ICの入力端子にパターン発生手段から所定の試験用パ
ターンデータを与え、それによる被測定ICの出力デー
タを読み取り、被測定ICの基本的動作及び機能に問題
が無いかどうかを検査するものである。すなわち、ファ
ンクション試験は、アドレス、データ、書込みイネーブ
ル信号、チップセレクト信号などの被測定ICの各入力
信号の入力タイミングや振幅などの入力条件などを変化
させて、その出力タイミングや出力振幅などを試験した
りするものである。
C測定試験)とファンクション試験(FC測定試験)と
に大別される。直流試験は被測定ICの入出力端子にD
C測定手段から所定の電圧又は電流を印加することによ
り、被測定ICの基本的動作に不良が無いかどうかを検
査するものである。一方、ファンクション試験は被測定
ICの入力端子にパターン発生手段から所定の試験用パ
ターンデータを与え、それによる被測定ICの出力デー
タを読み取り、被測定ICの基本的動作及び機能に問題
が無いかどうかを検査するものである。すなわち、ファ
ンクション試験は、アドレス、データ、書込みイネーブ
ル信号、チップセレクト信号などの被測定ICの各入力
信号の入力タイミングや振幅などの入力条件などを変化
させて、その出力タイミングや出力振幅などを試験した
りするものである。
【0005】このようなIC試験装置では、被測定IC
に電力を供給するために専用の電源ケーブルを用いてい
る。1台のIC試験装置では多数個の被測定ICを同時
に測定するので(例えば、64個同時測定)、これらの
被測定ICに同時に電力を供給する必要があった。そこ
で、従来は電源ケーブルとして、複数芯のシールドケー
ブルを用い、それぞれの被測定ICに電流を供給し、各
被測定ICのリターン線としてアナロググランドを共有
して用いていた。
に電力を供給するために専用の電源ケーブルを用いてい
る。1台のIC試験装置では多数個の被測定ICを同時
に測定するので(例えば、64個同時測定)、これらの
被測定ICに同時に電力を供給する必要があった。そこ
で、従来は電源ケーブルとして、複数芯のシールドケー
ブルを用い、それぞれの被測定ICに電流を供給し、各
被測定ICのリターン線としてアナロググランドを共有
して用いていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、直流電圧発
生器から電源ケーブルに一定電圧を印加している場合
に、負荷電流が突然変化すると、それに応じて一時的に
電圧も変動するという問題があった。この電圧の変動
は、電流が増加する時に一時的に低くなり、逆に電流が
減少する時に一時的に高くなるというものである。従っ
て、電圧の変動によって、ファンクション試験等に悪影
響を与えるという問題が生じていた。
生器から電源ケーブルに一定電圧を印加している場合
に、負荷電流が突然変化すると、それに応じて一時的に
電圧も変動するという問題があった。この電圧の変動
は、電流が増加する時に一時的に低くなり、逆に電流が
減少する時に一時的に高くなるというものである。従っ
て、電圧の変動によって、ファンクション試験等に悪影
響を与えるという問題が生じていた。
【0007】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、負荷電流が突発的に変化した場合でも、それに伴
った電圧の変動は生じ難くいという電源信号ラインの2
重シールドケーブルを提供することを目的とする。
あり、負荷電流が突発的に変化した場合でも、それに伴
った電圧の変動は生じ難くいという電源信号ラインの2
重シールドケーブルを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係る電源信号
ラインの2重シールドケーブルは、電源供給側から被測
定デバイスに対して電流を供給するフォース線及びセン
ス線と、前記フォース線及びセンス線をシールドするた
めにその周囲に設けられた前記フォース線及びセンス線
と同電位のガード線と、前記ガード線をさらにシールド
するためにその周囲に設けられた前記被測定デバイスに
供給された電流をリターンする接地用のリターン線とか
ら構成されるものである。
ラインの2重シールドケーブルは、電源供給側から被測
定デバイスに対して電流を供給するフォース線及びセン
ス線と、前記フォース線及びセンス線をシールドするた
めにその周囲に設けられた前記フォース線及びセンス線
と同電位のガード線と、前記ガード線をさらにシールド
するためにその周囲に設けられた前記被測定デバイスに
供給された電流をリターンする接地用のリターン線とか
ら構成されるものである。
【0009】フォース線及びセンス線は電源供給側から
被測定IC側に電流を供給するものである。これらのフ
ォース線及びセンス線の周囲にシールド用のガード線が
設けられている。従って、フォース線及びセンス線とガ
ード線との間の静電容量は従来のケーブルと同等であ
る。また、フォース線、センス線及びガード線の周囲に
はシールド用のリターン線が設けられている。従って、
フォース線から被測定ICに供給された電流は全てこの
リターン線を介して直流電圧発生器側に戻る。また、リ
ターン線はフォース線、センス線及びガード線の全てを
取り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスを大幅に
低減することができる。
被測定IC側に電流を供給するものである。これらのフ
ォース線及びセンス線の周囲にシールド用のガード線が
設けられている。従って、フォース線及びセンス線とガ
ード線との間の静電容量は従来のケーブルと同等であ
る。また、フォース線、センス線及びガード線の周囲に
はシールド用のリターン線が設けられている。従って、
フォース線から被測定ICに供給された電流は全てこの
リターン線を介して直流電圧発生器側に戻る。また、リ
ターン線はフォース線、センス線及びガード線の全てを
取り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスを大幅に
低減することができる。
【0010】請求項2に記載された本発明に係る電源信
号ラインの2重シールドケーブルは、前記請求項1に記
載の電源信号ラインの2重シールドケーブルの一実施態
様として、前記電源供給側の直流電圧発生器と被測定デ
バイス側の基準接地点を接続する接地線を前記ガード線
の外側と前記リターン線との間に設けたものである。電
源供給側の直流電圧発生器は被測定デバイス毎に設けら
れているので、両者の基準接地点を接続することによっ
て、被測定デバイス毎に基準接地点を独立させることが
できる。これによって、直流電圧発生器の出力が各被測
定デバイス毎の接地点の電位差に依存しなくなり、正確
に出力されるようになる。
号ラインの2重シールドケーブルは、前記請求項1に記
載の電源信号ラインの2重シールドケーブルの一実施態
様として、前記電源供給側の直流電圧発生器と被測定デ
バイス側の基準接地点を接続する接地線を前記ガード線
の外側と前記リターン線との間に設けたものである。電
源供給側の直流電圧発生器は被測定デバイス毎に設けら
れているので、両者の基準接地点を接続することによっ
て、被測定デバイス毎に基準接地点を独立させることが
できる。これによって、直流電圧発生器の出力が各被測
定デバイス毎の接地点の電位差に依存しなくなり、正確
に出力されるようになる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に従って説明する。図1は、本発明に係る電源信
号ラインの2重シールドケーブルの断面構造を示す図で
ある。図2は図1の電源信号ラインの2重シールドケー
ブルを用いた結線状態を示す図である。ケーブル1は、
3芯の2重シールドケーブルで構成されている。2重シ
ールドケーブルの中の2芯の線11及び12がフォース
線として使用され、残りの1芯の線13がセンス線とし
て使用される。フォース線11及び12、センス線13
は共に色分けされた絶縁体で被覆される。
付図面に従って説明する。図1は、本発明に係る電源信
号ラインの2重シールドケーブルの断面構造を示す図で
ある。図2は図1の電源信号ラインの2重シールドケー
ブルを用いた結線状態を示す図である。ケーブル1は、
3芯の2重シールドケーブルで構成されている。2重シ
ールドケーブルの中の2芯の線11及び12がフォース
線として使用され、残りの1芯の線13がセンス線とし
て使用される。フォース線11及び12、センス線13
は共に色分けされた絶縁体で被覆される。
【0012】内側のシールド(1次シールド)21はフ
ォース線11,12及びセンス線13を外部からシール
ドするためにその周囲に設けられた錫メッキ軟銅線シー
ルド編組で構成されており、フォース線11,12及び
センス線13と同電位となるように結線されたガード線
と呼ばれるものである。1次シールド21の内側には1
次シールド用のドレイン線22が設けられている。外側
のシールド(2次シールド)31はフォース線11及び
12から被測定IC50に供給される電流を直流電圧発
生器60にリターンするリターン線と呼ばれるものであ
る。この2次シールド31は1次シールド21を外部か
らシールドするためにその周囲に設けられた錫メッキ軟
銅線シールド編組で構成されており、被測定IC50の
接地点GNDと直流電圧発生器60側の接地点とを接続
している。2次シールド31の内側であって、1次シー
ルド21の外側には、2次シールド用のドレイン線32
が設けられている。1次シールド21と2次シールド3
1との間には、絶縁用中間シース4が設けられている。
2次シールドの外周にはPVCシース5が設けられてお
り、ケーブル1全体を覆うように保護している。
ォース線11,12及びセンス線13を外部からシール
ドするためにその周囲に設けられた錫メッキ軟銅線シー
ルド編組で構成されており、フォース線11,12及び
センス線13と同電位となるように結線されたガード線
と呼ばれるものである。1次シールド21の内側には1
次シールド用のドレイン線22が設けられている。外側
のシールド(2次シールド)31はフォース線11及び
12から被測定IC50に供給される電流を直流電圧発
生器60にリターンするリターン線と呼ばれるものであ
る。この2次シールド31は1次シールド21を外部か
らシールドするためにその周囲に設けられた錫メッキ軟
銅線シールド編組で構成されており、被測定IC50の
接地点GNDと直流電圧発生器60側の接地点とを接続
している。2次シールド31の内側であって、1次シー
ルド21の外側には、2次シールド用のドレイン線32
が設けられている。1次シールド21と2次シールド3
1との間には、絶縁用中間シース4が設けられている。
2次シールドの外周にはPVCシース5が設けられてお
り、ケーブル1全体を覆うように保護している。
【0013】このケーブル1を用いた場合、フォースラ
イン(フォース線11及び12、センス線13、1次シ
ールド(ガイド線)21)が全体的にリターンライン
(2次シールド(リターン線)31)を密着した形で取
り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスは大幅に低
減する。また、フォース線11及び12と1次シールド
21は同電位であるため従来のケーブルと同じ静電容量
となる。
イン(フォース線11及び12、センス線13、1次シ
ールド(ガイド線)21)が全体的にリターンライン
(2次シールド(リターン線)31)を密着した形で取
り囲んでいるので、ケーブルインダクタンスは大幅に低
減する。また、フォース線11及び12と1次シールド
21は同電位であるため従来のケーブルと同じ静電容量
となる。
【0014】図3は、図1の電源信号ラインの2重シー
ルドケーブルの変形例の断面構造を示す図である。図3
において図1と同じ構成のものには同一の符号が付して
あるので、その説明は省略する。図3の2重シールドケ
ーブルが図1のものと異なる点は、図1のフォース線1
2が省略されている点である。すなわち、図1の2重シ
ールドケーブルは3芯構造であるが、図3の2重シール
ドケーブルは2芯構造である。この2重シールドケーブ
ルでは、1芯の線11がフォース線、他の1芯の線13
がセンス線として使用される。
ルドケーブルの変形例の断面構造を示す図である。図3
において図1と同じ構成のものには同一の符号が付して
あるので、その説明は省略する。図3の2重シールドケ
ーブルが図1のものと異なる点は、図1のフォース線1
2が省略されている点である。すなわち、図1の2重シ
ールドケーブルは3芯構造であるが、図3の2重シール
ドケーブルは2芯構造である。この2重シールドケーブ
ルでは、1芯の線11がフォース線、他の1芯の線13
がセンス線として使用される。
【0015】図4は、本発明に係る電源信号ラインの2
重シールドケーブルの別の実施の形態の断面構造を示す
図である。図5は図4の電源信号ラインの2重シールド
ケーブルを用いた結線状態を示す図である。図4及び図
5において図1及び図2と同じ構成のものには同一の符
号が付してあるので、その説明は省略する。図4のケー
ブル10が図1のものと異なる点は、直流電圧発生器6
0の基準接地点Ref−GNDと被測定IC(ICソケ
ット)の接地点GNDとを接続する接地線14を1次シ
ールド21と2次シールド31との間に設けた点であ
る。すなわち、図2の結線状態においては、直流電圧発
生器60の基準接地点Ref−GNDは、被測定ICの
複数個に対して1個の割合で存在していた。従って、同
じ基準接地点Ref−GNDを持つ2つの被測定IC間
で電位差が生じた場合、直流電圧発生器60自身は被測
定IC毎に独立しているので、基準接地点Ref−GN
Dに対する直流電圧発生器60の電圧は、被測定IC間
の電位差の分だけ誤差となることがあった。そこで、図
4及び図5のように接地線14を設け、直流電圧発生器
60の基準接地点Ref−GNDと被測定IC(ICソ
ケット)の接地点GNDとを接続することによって、基
準接地点Ref−GNDを被測定IC毎に独立すること
ができ、被測定ICのソケット間の電位差に依存するこ
となく、正確に出力することができるようになる。
重シールドケーブルの別の実施の形態の断面構造を示す
図である。図5は図4の電源信号ラインの2重シールド
ケーブルを用いた結線状態を示す図である。図4及び図
5において図1及び図2と同じ構成のものには同一の符
号が付してあるので、その説明は省略する。図4のケー
ブル10が図1のものと異なる点は、直流電圧発生器6
0の基準接地点Ref−GNDと被測定IC(ICソケ
ット)の接地点GNDとを接続する接地線14を1次シ
ールド21と2次シールド31との間に設けた点であ
る。すなわち、図2の結線状態においては、直流電圧発
生器60の基準接地点Ref−GNDは、被測定ICの
複数個に対して1個の割合で存在していた。従って、同
じ基準接地点Ref−GNDを持つ2つの被測定IC間
で電位差が生じた場合、直流電圧発生器60自身は被測
定IC毎に独立しているので、基準接地点Ref−GN
Dに対する直流電圧発生器60の電圧は、被測定IC間
の電位差の分だけ誤差となることがあった。そこで、図
4及び図5のように接地線14を設け、直流電圧発生器
60の基準接地点Ref−GNDと被測定IC(ICソ
ケット)の接地点GNDとを接続することによって、基
準接地点Ref−GNDを被測定IC毎に独立すること
ができ、被測定ICのソケット間の電位差に依存するこ
となく、正確に出力することができるようになる。
【0016】図6は、図4の電源信号ラインの2重シー
ルドケーブルの変形例の断面構造を示す図である。図6
において図4と同じ構成のものには同一の符号が付して
あるので、その説明は省略する。図6の2重シールドケ
ーブルが図4のものと異なる点は、図4のフォース線1
2が省略されている点である。この2重シールドケーブ
ルでは、1芯の線11がフォース線、他の1芯の線13
がセンス線として使用される。
ルドケーブルの変形例の断面構造を示す図である。図6
において図4と同じ構成のものには同一の符号が付して
あるので、その説明は省略する。図6の2重シールドケ
ーブルが図4のものと異なる点は、図4のフォース線1
2が省略されている点である。この2重シールドケーブ
ルでは、1芯の線11がフォース線、他の1芯の線13
がセンス線として使用される。
【0017】
【発明の効果】本発明の電源信号ラインの2重シールド
ケーブルによれば、負荷電流が突発的に変化した場合で
も、それに伴った電圧の変動は生じ難いという効果があ
る。
ケーブルによれば、負荷電流が突発的に変化した場合で
も、それに伴った電圧の変動は生じ難いという効果があ
る。
【図1】 本発明に係る電源信号ラインの2重シールド
ケーブルの断面構造を示す図である。
ケーブルの断面構造を示す図である。
【図2】 図1の電源信号ラインの2重シールドケーブ
ルを用いた結線状態を示す図である。
ルを用いた結線状態を示す図である。
【図3】 図1の電源信号ラインの2重シールドケーブ
ルの変形例の断面構造を示す図である。
ルの変形例の断面構造を示す図である。
【図4】 本発明に係る電源信号ラインの2重シールド
ケーブルの別の実施の形態の断面構造を示す図である。
ケーブルの別の実施の形態の断面構造を示す図である。
【図5】 図4の電源信号ラインの2重シールドケーブ
ルを用いた結線状態を示す図である。
ルを用いた結線状態を示す図である。
【図6】 図4の電源信号ラインの2重シールドケーブ
ルの変形例の断面構造を示す図である。
ルの変形例の断面構造を示す図である。
1,10…ケーブル、11,12…フォース線、13…
センス線、14…接地線、21…1次シールド(ガード
線)、22…1次シールド用ドレイン線、31…2次シ
ールド(リターン線)、32…2次シールド用ドレイン
線、4…絶縁用中間シース、5…PVCシース
センス線、14…接地線、21…1次シールド(ガード
線)、22…1次シールド用ドレイン線、31…2次シ
ールド(リターン線)、32…2次シールド用ドレイン
線、4…絶縁用中間シース、5…PVCシース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山羽 常雄 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 池田 宏史 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 小竹 英雄 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 石田 敦彦 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 電源供給側から被測定デバイスに対して
電流を供給するフォース線及びセンス線と、 前記フォース線及びセンス線をシールドするためにその
周囲に設けられた前記フォース線及びセンス線と同電位
のガード線と、 前記ガード線をさらにシールドするためにその周囲に設
けられた前記被測定デバイスに供給された電流をリター
ンする接地用のリターン線とから構成される電源信号ラ
インの2重シールドケーブル。 - 【請求項2】 前記電源供給側と被測定デバイス側の基
準接地点を接続する接地線を前記ガード線の外側と前記
リターン線との間に設けたことを特徴とする電源信号ラ
インの2重シールドケーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11026281A JP2000090751A (ja) | 1998-07-13 | 1999-02-03 | 電源信号ラインの2重シ―ルドケ―ブル |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19743298 | 1998-07-13 | ||
JP10-197432 | 1998-07-13 | ||
JP11026281A JP2000090751A (ja) | 1998-07-13 | 1999-02-03 | 電源信号ラインの2重シ―ルドケ―ブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000090751A true JP2000090751A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=26364045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11026281A Pending JP2000090751A (ja) | 1998-07-13 | 1999-02-03 | 電源信号ラインの2重シ―ルドケ―ブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000090751A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030035385A (ko) * | 2001-10-31 | 2003-05-09 | 엘지전자 주식회사 | 가전제품용 케이블 |
EP1447903A2 (en) * | 2003-02-12 | 2004-08-18 | Fanuc Ltd | Inverter unit grounding method and inverter unit |
-
1999
- 1999-02-03 JP JP11026281A patent/JP2000090751A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030035385A (ko) * | 2001-10-31 | 2003-05-09 | 엘지전자 주식회사 | 가전제품용 케이블 |
EP1447903A2 (en) * | 2003-02-12 | 2004-08-18 | Fanuc Ltd | Inverter unit grounding method and inverter unit |
EP1447903A3 (en) * | 2003-02-12 | 2006-03-29 | Fanuc Ltd | Inverter unit grounding method and inverter unit |
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