JP2000084558A - 電解水の生成方法および電解水生成装置 - Google Patents
電解水の生成方法および電解水生成装置Info
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- JP2000084558A JP2000084558A JP29751798A JP29751798A JP2000084558A JP 2000084558 A JP2000084558 A JP 2000084558A JP 29751798 A JP29751798 A JP 29751798A JP 29751798 A JP29751798 A JP 29751798A JP 2000084558 A JP2000084558 A JP 2000084558A
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- electrolysis
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/46—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods
- C02F1/461—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrolysis
- C02F1/46104—Devices therefor; Their operating or servicing
- C02F1/4618—Devices therefor; Their operating or servicing for producing "ionised" acidic or basic water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/48—Treatment of water, waste water, or sewage with magnetic or electric fields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁波を照射する構造を持った電解装置によ
って１ＭΩ／ｃｍ以上の抵抗値を有する純水の安全な電
気分解方法および装置を提供する。 【解決手段】 隔膜の有無に関わらず正極と負極の電極
を持ち、各々の電極に直流または交流の電流を通じて電
気分解を行う方法において、電気分解を促すために電極
板間、電解槽、もしくは電解前の電解に共する液に対
し、電磁波を照射する構造を持った電解水の生成方法お
よび装置によって純水の安全かつ簡便な電気分解が可能
になった。
って１ＭΩ／ｃｍ以上の抵抗値を有する純水の安全な電
気分解方法および装置を提供する。 【解決手段】 隔膜の有無に関わらず正極と負極の電極
を持ち、各々の電極に直流または交流の電流を通じて電
気分解を行う方法において、電気分解を促すために電極
板間、電解槽、もしくは電解前の電解に共する液に対
し、電磁波を照射する構造を持った電解水の生成方法お
よび装置によって純水の安全かつ簡便な電気分解が可能
になった。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は洗浄対象物へ与える
ダメージの少ない洗浄用電解水の生成方法に関し、特に
シリコンウエーハ単体もしくは無アルカリガラス単体等
の半導体基板それ自体、またはそれらの上に金属もしく
は金属酸化物等による配線構造が形成された基板の洗浄
に適した洗浄用電解水の生成方法に関する。
ダメージの少ない洗浄用電解水の生成方法に関し、特に
シリコンウエーハ単体もしくは無アルカリガラス単体等
の半導体基板それ自体、またはそれらの上に金属もしく
は金属酸化物等による配線構造が形成された基板の洗浄
に適した洗浄用電解水の生成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は半導体洗浄用の電解水を生成する
際、純水では電気伝導度が低く電気分解が困難なため、
電解質が必要となり、使用する電解質によって用途が限
定されていた。また、電解質を使うことで洗浄に利用で
きる工程が限定されていた。
際、純水では電気伝導度が低く電気分解が困難なため、
電解質が必要となり、使用する電解質によって用途が限
定されていた。また、電解質を使うことで洗浄に利用で
きる工程が限定されていた。
【０００３】純水を用いた電気分解も試みられている
が、純水を電気分解する場合、電極間距離が広くとれず
電解水の生成量が少量であった。さらに瞬間的に電気伝
導度を上げる目的で光や高電圧の電流などのトリガーを
かけることが必要であり、循環系や流水系のシステムを
組んで連続的に純水を電解するには向いていなかった。
が、純水を電気分解する場合、電極間距離が広くとれず
電解水の生成量が少量であった。さらに瞬間的に電気伝
導度を上げる目的で光や高電圧の電流などのトリガーを
かけることが必要であり、循環系や流水系のシステムを
組んで連続的に純水を電解するには向いていなかった。
【０００４】さらに電極間距離が狭いにも関わらず高電
圧のトリガーをかけることで放電が発生しこれを起因と
する火災の危険性があった。
圧のトリガーをかけることで放電が発生しこれを起因と
する火災の危険性があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の電解水生成方法では、大量に電解水を供給するに
は電解質が必要となり、使用する電解質によって用途が
限定されていた。また、従来の純水を用いた電気分解に
おいても、電極間距離が広くとれず電解水の生成量が少
量であった。さらにトリガー電圧をかけることにより放
電などによる火災の危険性があった。
従来の電解水生成方法では、大量に電解水を供給するに
は電解質が必要となり、使用する電解質によって用途が
限定されていた。また、従来の純水を用いた電気分解に
おいても、電極間距離が広くとれず電解水の生成量が少
量であった。さらにトリガー電圧をかけることにより放
電などによる火災の危険性があった。
【０００６】本発明は以上のような課題に鑑みてなされ
たものであり、電解質を用いず基板からの汚染物質の完
全除去という洗浄液本来の作用を確保しながら、安全に
かつ大量の純水を電解処理し純水による電解洗浄液の提
供をすることができればその意義は極めて大きい。
たものであり、電解質を用いず基板からの汚染物質の完
全除去という洗浄液本来の作用を確保しながら、安全に
かつ大量の純水を電解処理し純水による電解洗浄液の提
供をすることができればその意義は極めて大きい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上のような目的を達成
するために、本発明においては、隔膜の有無に関わらず
正極と負極の電極を持ち、各々の電極に直流または交流
の電流を通じて電気分解を行う方法において、電気分解
を促すために電極板間、電解槽、もしくは電解前の電解
に共する液に対し、電磁波を照射する構造を持った電解
水の生成方法および装置が提供される。
するために、本発明においては、隔膜の有無に関わらず
正極と負極の電極を持ち、各々の電極に直流または交流
の電流を通じて電気分解を行う方法において、電気分解
を促すために電極板間、電解槽、もしくは電解前の電解
に共する液に対し、電磁波を照射する構造を持った電解
水の生成方法および装置が提供される。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は電解装置の原理図、図２お
よび図３は電磁波照射方法の概略を示す断面図、であ
る。
よび図３は電磁波照射方法の概略を示す断面図、であ
る。
【０００９】図１は電解装置の原理を示す図である。電
解槽１の中が隔膜２によって２室に分けられ、正極電極
３Ａおよび負極電極３Ｂが挿入されている。正極電極３
Ａおよび負極電極３Ｂはそれぞれ直流電源の負極、正極
に接続されていおり、さらに電磁波発信器および整合器
が接続されている。電解槽１はシールドにより囲われて
おり、シールドおよび配線にはアースを接地する。
解槽１の中が隔膜２によって２室に分けられ、正極電極
３Ａおよび負極電極３Ｂが挿入されている。正極電極３
Ａおよび負極電極３Ｂはそれぞれ直流電源の負極、正極
に接続されていおり、さらに電磁波発信器および整合器
が接続されている。電解槽１はシールドにより囲われて
おり、シールドおよび配線にはアースを接地する。
【００１０】電解槽に１ＭΩ／ｃｍ以上の抵抗値を有す
る純水を満たし、正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂ間に
直流の電流および電磁波を通じることで電気分解を行
う。
る純水を満たし、正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂ間に
直流の電流および電磁波を通じることで電気分解を行
う。
【００１１】図２は本発明に係る電磁波照射方法を示す
断面図である。電解槽１の中が隔膜２によって２室に分
けられ、正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂが挿入されて
いる。正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂはそれぞれ直流
電源の負極、正極に接続されている。電解槽の入水管１
０に電磁波発信器６および共振箱９が接続されさらにそ
の外側にシールド４を設けている。シールドにはアース
を接地する。
断面図である。電解槽１の中が隔膜２によって２室に分
けられ、正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂが挿入されて
いる。正極電極３Ａおよび負極電極３Ｂはそれぞれ直流
電源の負極、正極に接続されている。電解槽の入水管１
０に電磁波発信器６および共振箱９が接続されさらにそ
の外側にシールド４を設けている。シールドにはアース
を接地する。
【００１２】図３は本発明に係る電磁波照射方法を示す
断面図である。電解槽１の横に電磁波発信器６が設置さ
れその外側にシールド４を設けている。シールドにはア
ースを接地する。
断面図である。電解槽１の横に電磁波発信器６が設置さ
れその外側にシールド４を設けている。シールドにはア
ースを接地する。
【００１３】電磁波発信器６は電解槽１内の正極電極、
負極電極の間隙を狙って設置する。
負極電極の間隙を狙って設置する。
【００１４】
【実施例】図１に示す電解装置により、電解槽に１ＭΩ
／ｃｍ以上の抵抗値を有する純水を満たし、正極電極３
Ａ、負極電極３Ｂ間に直流３０Ｖの電圧を通じ、電磁波
発信器６によって２．４５ＭＨｚの電磁波を発信し電解
を行った。このとき回路中のインピーダンスを整えるた
めに整合器を設置した。このときの正極水、負極水のｐ
Ｈを測定した。比較のために電磁波を照射しない状態で
電解したものとの比較を表１に示す。
／ｃｍ以上の抵抗値を有する純水を満たし、正極電極３
Ａ、負極電極３Ｂ間に直流３０Ｖの電圧を通じ、電磁波
発信器６によって２．４５ＭＨｚの電磁波を発信し電解
を行った。このとき回路中のインピーダンスを整えるた
めに整合器を設置した。このときの正極水、負極水のｐ
Ｈを測定した。比較のために電磁波を照射しない状態で
電解したものとの比較を表１に示す。
【表１】
【００１５】表１に示すとおり、１ＭΩ／ｃｍ以上の抵
抗値を有する純水を電気分解する場合、電圧のみを印加
したのではほとんど電流が流れず、ほとんど電解分解も
されないが、同時に電磁波を照射することで飛躍的に電
流を流すようになり、連続的に電解分解することが可能
となった。
抗値を有する純水を電気分解する場合、電圧のみを印加
したのではほとんど電流が流れず、ほとんど電解分解も
されないが、同時に電磁波を照射することで飛躍的に電
流を流すようになり、連続的に電解分解することが可能
となった。
【００１６】このデータより１ＭΩ／ｃｍ以上の抵抗値
を有する純水を電気分解する場合、本発明に係る電解装
置および電解方法によって酸性のｐＨとアルカリ性のｐ
Ｈを示す水になることが証明された。
を有する純水を電気分解する場合、本発明に係る電解装
置および電解方法によって酸性のｐＨとアルカリ性のｐ
Ｈを示す水になることが証明された。
【００１７】本発明の実施例では図１の電磁波照射方法
を説明したが、図２および図３に示す電磁波照射方法に
よっても同様な効果が得られる。
を説明したが、図２および図３に示す電磁波照射方法に
よっても同様な効果が得られる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上のような構造で、電磁波が
照射されている環境下において直流による電気分解を行
うことで、今まで電気分解が難しかった１ＭΩ／ｃｍ以
上の抵抗値を有する純水を簡便で安全に電気分解するこ
とが可能になった。
照射されている環境下において直流による電気分解を行
うことで、今まで電気分解が難しかった１ＭΩ／ｃｍ以
上の抵抗値を有する純水を簡便で安全に電気分解するこ
とが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電解装置の原理図である。
【図２】本発明の実施例で使用した電解方法の概略を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】本発明の実施例で使用した電解方法の概略を示
す断面図である。
す断面図である。
１ 電解槽 ２ 隔膜 ３Ａ 正極電極 ３Ｂ 負極電極 ４ シールド ５ アース ６ 電磁波発信器 ７ 整合器 ８ 直流電源 ９ 共振箱 １０ 入水管 １１ 出水管 １１Ａ 正極側出水管 １１Ｂ 負極側出水管
Claims (4)
- 【請求項１】 隔膜の有無に関わらず正極と負極の電極
を持ち、各々の電極に直流または交流の電流を通じて電
気分解を行う方法において、電気分解を促すために電極
板間、電解槽、もしくは電解前の電解に共する液に対
し、電磁波を照射することを特徴とする電解水の生成方
法および生成装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の電解に共する液として
１ＭΩ／ｃｍ以上の抵抗値を有する純水を用いることを
特徴とする電解水生成方法。 - 【請求項３】 請求項１〜２いずれかに記載の電解水の
生成装置において、電磁波を射出ホーンを用いて照射す
ることを特徴とする電解水の生成方法。 - 【請求項４】 請求項１〜２いずれかに記載の電解水の
生成装置において、直流電流に電磁波をのせ正極および
負極の電極に供給することを特徴とする電解水の生成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29751798A JP2000084558A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 電解水の生成方法および電解水生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29751798A JP2000084558A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 電解水の生成方法および電解水生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000084558A true JP2000084558A (ja) | 2000-03-28 |
Family
ID=17847552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29751798A Pending JP2000084558A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 電解水の生成方法および電解水生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000084558A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1547680A1 (en) * | 2002-09-06 | 2005-06-29 | Itabashi, Kazuko | Activation apparatus |
| CN108996620A (zh) * | 2018-08-25 | 2018-12-14 | 湖南三五二环保科技有限公司 | 一种电解水机及其电解方法 |
-
1998
- 1998-09-11 JP JP29751798A patent/JP2000084558A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1547680A1 (en) * | 2002-09-06 | 2005-06-29 | Itabashi, Kazuko | Activation apparatus |
| EP1547680A4 (en) * | 2002-09-06 | 2007-03-07 | Kazuko Itabashi | CONTROL DEVICE |
| CN108996620A (zh) * | 2018-08-25 | 2018-12-14 | 湖南三五二环保科技有限公司 | 一种电解水机及其电解方法 |
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