JP2000081309A - ディジタル画像処理によって目標物の位置を測定する方法 - Google Patents
ディジタル画像処理によって目標物の位置を測定する方法Info
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- G06V10/70—Arrangements for image or video recognition or understanding using pattern recognition or machine learning
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 所定のピクセルグリッドによって目標物の位
置を測定するための精度を高めることを可能にする画像
処理の方法を提案する。 【解決手段】 ディジタル画像処理により目標物の位置
を測定する方法を用いて、学習段階において、第１基準
画像２に加えて、該第１基準画像２に対してＣＣＤカメ
ラのピクセル１の数だけ各々がずらされた幾つかの基準
画像が記録されかつ貯蔵される。実施段階においては、
前記目標物のテスト画像が記録され、かつ、前記テスト
画像と前記幾つかの基準画像のうちの任意の１つとの最
適な整合が存在する前記テスト画像の位置を見つめるた
めに、前記テスト画像と全ての基準画像との比較がなさ
れる。
置を測定するための精度を高めることを可能にする画像
処理の方法を提案する。 【解決手段】 ディジタル画像処理により目標物の位置
を測定する方法を用いて、学習段階において、第１基準
画像２に加えて、該第１基準画像２に対してＣＣＤカメ
ラのピクセル１の数だけ各々がずらされた幾つかの基準
画像が記録されかつ貯蔵される。実施段階においては、
前記目標物のテスト画像が記録され、かつ、前記テスト
画像と前記幾つかの基準画像のうちの任意の１つとの最
適な整合が存在する前記テスト画像の位置を見つめるた
めに、前記テスト画像と全ての基準画像との比較がなさ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１のプリア
ンブルによれば、目標物の位置を測定する方法に関す
る。
ンブルによれば、目標物の位置を測定する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】画像処理方法は、ｘ座標とｙ座標とによ
って与えられた設定位置に対する目標物の実際の位置を
測定するために、産業上のプロセスにおいて用いられて
いる。測定された位置測定値に応じて、目標物の矯正的
移動が、例えばマニピュレータを制御することにより行
われる。通常は、ＣＣＤ画像カメラは、（目標物の実際
の位置を記録する）テスト画像の他に（設定位置を測定
する）基準画像を記録するために用いられる。前記テス
ト画像の幾つかの部分−例えば、スクリーンの対角線上
に存在する２つの部分−が評価される場合には、２つの
座標方向における位置に加えて、平面における目標物の
回転についても測定することができる。
って与えられた設定位置に対する目標物の実際の位置を
測定するために、産業上のプロセスにおいて用いられて
いる。測定された位置測定値に応じて、目標物の矯正的
移動が、例えばマニピュレータを制御することにより行
われる。通常は、ＣＣＤ画像カメラは、（目標物の実際
の位置を記録する）テスト画像の他に（設定位置を測定
する）基準画像を記録するために用いられる。前記テス
ト画像の幾つかの部分−例えば、スクリーンの対角線上
に存在する２つの部分−が評価される場合には、２つの
座標方向における位置に加えて、平面における目標物の
回転についても測定することができる。
【０００３】このような方法の利用については、とりわ
け、後でより詳細に扱う半導体組立技術において公知で
ある。チップ表面上で利用可能な回路構成から選択され
た画像領域をここで用いることができ、その結果、前記
回路構成の繰り返しの非常に高い精度は、単一チップか
ら記録されかつディジタル形式に貯蔵された１つの画像
をもたらすことを可能にする。この画像は、一連の類似
したチップ全体に対する基準画像として用いられる。
け、後でより詳細に扱う半導体組立技術において公知で
ある。チップ表面上で利用可能な回路構成から選択され
た画像領域をここで用いることができ、その結果、前記
回路構成の繰り返しの非常に高い精度は、単一チップか
ら記録されかつディジタル形式に貯蔵された１つの画像
をもたらすことを可能にする。この画像は、一連の類似
したチップ全体に対する基準画像として用いられる。
【０００４】公知のＣＣＤカメラを用いて、前記画像
は、規則的なグリッドシステムレイアウトにおける“ピ
クセル”と称される離散的なセンサ要素を有するセンサ
の配列上に投影される。これらのセンサは、画像平面に
おけるｘ座標方向またはｙ座標方向に沿った行と列との
マトリクス形式で配置されている。これらのピクセル
は、連続して応答指令信号を送られ（interrogated）、
かつ、各々のピクセル座標に割り当てられた離散的なグ
レースケール値を送る。これらの離散的グレースケール
値は、ディジタル形式で貯蔵され、かつ、対応するピク
セル座標とともに処理される。このようなカメラの解像
度は、単位面積当たりのピクセル数により与えられる。
前記解像度については、単位面積当たりのピクセル数を
増加させることにより増大することができるが、高解像
度のカメラは、５１２×５１２ピクセルの標準的なカメ
ラよりもはるかに高価である。さらに、ディジタル処理
のためには、増大したコンピュータの性能だけでなく、
より大きなメモリ容量も必要になる。
は、規則的なグリッドシステムレイアウトにおける“ピ
クセル”と称される離散的なセンサ要素を有するセンサ
の配列上に投影される。これらのセンサは、画像平面に
おけるｘ座標方向またはｙ座標方向に沿った行と列との
マトリクス形式で配置されている。これらのピクセル
は、連続して応答指令信号を送られ（interrogated）、
かつ、各々のピクセル座標に割り当てられた離散的なグ
レースケール値を送る。これらの離散的グレースケール
値は、ディジタル形式で貯蔵され、かつ、対応するピク
セル座標とともに処理される。このようなカメラの解像
度は、単位面積当たりのピクセル数により与えられる。
前記解像度については、単位面積当たりのピクセル数を
増加させることにより増大することができるが、高解像
度のカメラは、５１２×５１２ピクセルの標準的なカメ
ラよりもはるかに高価である。さらに、ディジタル処理
のためには、増大したコンピュータの性能だけでなく、
より大きなメモリ容量も必要になる。
【０００５】コンピュータ化された画像処理により、テ
スト画像と貯蔵された基準画像との間の整合の程度が、
種々の相対的位置において段階的に測定される。例え
ば、グレースケール・マトリクスの標準的な相関関係
は、比較された画像領域に関して計算される。ピクセル
グリッドによって与えられたものよりも高い位置決め精
度を達成するために、補間法を用いることができる。詳
細には、最適に計算された整合値（相関係数）を描く放
物線と、両方の隣接値とを計算し、これにより、この放
物線のピーク位置を、求められる補間値として仮定する
ことは公知である。しかしながら、このような補間は、
仮定された放物線が実際の条件と一致しない可能性が高
いという点で、全く不正確である。
スト画像と貯蔵された基準画像との間の整合の程度が、
種々の相対的位置において段階的に測定される。例え
ば、グレースケール・マトリクスの標準的な相関関係
は、比較された画像領域に関して計算される。ピクセル
グリッドによって与えられたものよりも高い位置決め精
度を達成するために、補間法を用いることができる。詳
細には、最適に計算された整合値（相関係数）を描く放
物線と、両方の隣接値とを計算し、これにより、この放
物線のピーク位置を、求められる補間値として仮定する
ことは公知である。しかしながら、このような補間は、
仮定された放物線が実際の条件と一致しない可能性が高
いという点で、全く不正確である。
【０００６】最後に、視覚イメージを離散的ピクセルグ
リッド上に投影させることにより作り出される、さらな
る誤差の原因に注意すべきである。この視覚イメージ
は、概してピクセルグリッドに対して一致して修正され
る。また、ＣＣＤカメラは、例えば丸く黒いパッチに対
する種々のグレースケール信号を、前記パッチの投影が
ピクセルの中央に集まっているか、または４つの隣接ピ
クセルと隣接している角に集まっているかに応じて送
る。
リッド上に投影させることにより作り出される、さらな
る誤差の原因に注意すべきである。この視覚イメージ
は、概してピクセルグリッドに対して一致して修正され
る。また、ＣＣＤカメラは、例えば丸く黒いパッチに対
する種々のグレースケール信号を、前記パッチの投影が
ピクセルの中央に集まっているか、または４つの隣接ピ
クセルと隣接している角に集まっているかに応じて送
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、妥当
な価格において、所定のピクセルグリッドによって目標
物の位置を測定するための精度を高めることを可能にす
る画像処理の方法を提案することである。
な価格において、所定のピクセルグリッドによって目標
物の位置を測定するための精度を高めることを可能にす
る画像処理の方法を提案することである。
【０００８】前記目的は、本発明の請求項１の特徴によ
って解決される。
って解決される。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この目
的は、学習段階の間に、中央の基準画像に加えて、該基
準画像の周囲に集められた他の幾つかの基準画像が記録
されかつ保存されるという点において解決される。前記
幾つかの基準画像の各々は、ピクセルの数（fraction）
だけ前記中央の基準画像に対してずらされている。実施
段階（workingphase）においては、目標物の実際の位置
を測定するために、そのテスト画像が、一方では前記中
央の基準画像と比較され、かつ他方では、前記他の基準
画像と比較される。前記目標物のサブピクセル補正値
は、前記他の基準画像から測定される。この接続におけ
るサブピクセル補正値を用いて、ベクトルとして説明可
能な補正値が生じ、これにより、ベクトルの成分は、
ｘ，ｙの双方の座標方向において、ピクセルグリッドに
よりもたらされた増加量よりも小さくなっている。
的は、学習段階の間に、中央の基準画像に加えて、該基
準画像の周囲に集められた他の幾つかの基準画像が記録
されかつ保存されるという点において解決される。前記
幾つかの基準画像の各々は、ピクセルの数（fraction）
だけ前記中央の基準画像に対してずらされている。実施
段階（workingphase）においては、目標物の実際の位置
を測定するために、そのテスト画像が、一方では前記中
央の基準画像と比較され、かつ他方では、前記他の基準
画像と比較される。前記目標物のサブピクセル補正値
は、前記他の基準画像から測定される。この接続におけ
るサブピクセル補正値を用いて、ベクトルとして説明可
能な補正値が生じ、これにより、ベクトルの成分は、
ｘ，ｙの双方の座標方向において、ピクセルグリッドに
よりもたらされた増加量よりも小さくなっている。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、図面
を参照して以下に、より詳細に説明する。図１および図
２は、第１および第２基準位置に設置されているＣＣＤ
カメラのピクセル上に投影された目標物の画像である。
図３は、相関値を有するマトリクスである。図４は、位
置および方位が２つの目標物によって測定可能であるア
イテムである。
を参照して以下に、より詳細に説明する。図１および図
２は、第１および第２基準位置に設置されているＣＣＤ
カメラのピクセル上に投影された目標物の画像である。
図３は、相関値を有するマトリクスである。図４は、位
置および方位が２つの目標物によって測定可能であるア
イテムである。
【００１１】ディジタル画像処理によって目標物の位置
を測定する方法は、学習段階と実施段階とを有してい
る。前記学習段階において、前記目標物は、ｘ方向と、
該ｘ方向に垂直なｙ方向とに移動可能なテーブルによっ
てＣＣＤカメラの視野のフィールドにもたらされ、これ
により、基準目標物が第１基準位置に配置される。
を測定する方法は、学習段階と実施段階とを有してい
る。前記学習段階において、前記目標物は、ｘ方向と、
該ｘ方向に垂直なｙ方向とに移動可能なテーブルによっ
てＣＣＤカメラの視野のフィールドにもたらされ、これ
により、基準目標物が第１基準位置に配置される。
【００１２】図１は、ＣＣＤカメラのピクセル１上に投
影された前記第１基準位置に配置された、例えば十字形
状の目標物の画像２を示している。前記ＣＣＤカメラの
ピクセル１については、前記画像２が存在する範囲内の
みで示されている。このピクセル１は、マトリクス形式
における間隔ｄの列および行の形で配列されている。ピ
クセル１により測定された画像２の輝度値は、第１基準
画像としてディジタル形式で保存される。その後に、テ
ーブルを動かすことによって、前記目標物は、他の基準
位置へもたらされる。前記他の基準位置は、ｘ方向およ
び／またはｙ方向において間隔ｄのピクセルの数だけ前
記第１基準位置に対してずらされている。さらに、前記
ピクセル１により測定された前記画像２の輝度値もま
た、前記他の基準位置の各々における他の基準画像とし
てディジタル形式で貯蔵される。より詳細な図示に関し
ては、図２が、前記ＣＣＤカメラのピクセル１上に投影
された第２基準位置に配置されている目標物の画像２を
示している。前記第２基準位置は、ｘ方向においてピク
セル間隔の半分、すなわちｄ／２の間隔だけ前記第１基
準位置に対してずらされている。座標表示において、前
記第２基準位置にある目標物は、前記第１基準位置に対
してベクトル（ｄ／２，０）だけずらされている。
影された前記第１基準位置に配置された、例えば十字形
状の目標物の画像２を示している。前記ＣＣＤカメラの
ピクセル１については、前記画像２が存在する範囲内の
みで示されている。このピクセル１は、マトリクス形式
における間隔ｄの列および行の形で配列されている。ピ
クセル１により測定された画像２の輝度値は、第１基準
画像としてディジタル形式で保存される。その後に、テ
ーブルを動かすことによって、前記目標物は、他の基準
位置へもたらされる。前記他の基準位置は、ｘ方向およ
び／またはｙ方向において間隔ｄのピクセルの数だけ前
記第１基準位置に対してずらされている。さらに、前記
ピクセル１により測定された前記画像２の輝度値もま
た、前記他の基準位置の各々における他の基準画像とし
てディジタル形式で貯蔵される。より詳細な図示に関し
ては、図２が、前記ＣＣＤカメラのピクセル１上に投影
された第２基準位置に配置されている目標物の画像２を
示している。前記第２基準位置は、ｘ方向においてピク
セル間隔の半分、すなわちｄ／２の間隔だけ前記第１基
準位置に対してずらされている。座標表示において、前
記第２基準位置にある目標物は、前記第１基準位置に対
してベクトル（ｄ／２，０）だけずらされている。
【００１３】前記他の基準位置の数および位置について
は、自由に選択可能である。前記実施段階において、１
／２ピクセル間隔の解像度によって目標物の位置を得る
ためには、前記第１基準位置と８つの他の基準位置とに
相当する９つの基準位置を用いることが好ましい。これ
により、前記８つの他の基準位置は、ｘ方向およびｙ方
向にベクトル（−ｄ／２，０），（−ｄ／２，−ｄ／
２），（０，−ｄ／２），（ｄ／２，−ｄ／２），（ｄ
／２，０），（ｄ／２，ｄ／２），（０，ｄ／２），
（−ｄ／２，ｄ／２）だけ、前記第１基準位置に対して
ずらされている。０．２５ピクセルの解像度のために
は、２５の基準位置を用いることが同様に好ましく、か
つ、０．１２５ピクセルの解像度のためには、８１の基
準位置を用いることが好ましい。
は、自由に選択可能である。前記実施段階において、１
／２ピクセル間隔の解像度によって目標物の位置を得る
ためには、前記第１基準位置と８つの他の基準位置とに
相当する９つの基準位置を用いることが好ましい。これ
により、前記８つの他の基準位置は、ｘ方向およびｙ方
向にベクトル（−ｄ／２，０），（−ｄ／２，−ｄ／
２），（０，−ｄ／２），（ｄ／２，−ｄ／２），（ｄ
／２，０），（ｄ／２，ｄ／２），（０，ｄ／２），
（−ｄ／２，ｄ／２）だけ、前記第１基準位置に対して
ずらされている。０．２５ピクセルの解像度のために
は、２５の基準位置を用いることが同様に好ましく、か
つ、０．１２５ピクセルの解像度のためには、８１の基
準位置を用いることが好ましい。
【００１４】前記実施段階において、位置を測定すべき
目標物は、ＣＣＤカメラの視界のフィールドにもたらさ
れ、かつ、ピクセル上に投影された前記目標物の画像
は、テスト画像としてディジタル形式で記録される。そ
の後に、この目標物の位置は、前記テスト画像を貯蔵さ
れた基準画像と比較することにより、公知の方法で測定
される。好ましい方法について、図３を参照して以下
に、より詳細に説明する。図３においては、相関値がマ
トリクス形式のフィールドにおける例として配置されて
いる。この例において、他の基準画像の数は８である。
目標物は、ＣＣＤカメラの視界のフィールドにもたらさ
れ、かつ、ピクセル上に投影された前記目標物の画像
は、テスト画像としてディジタル形式で記録される。そ
の後に、この目標物の位置は、前記テスト画像を貯蔵さ
れた基準画像と比較することにより、公知の方法で測定
される。好ましい方法について、図３を参照して以下
に、より詳細に説明する。図３においては、相関値がマ
トリクス形式のフィールドにおける例として配置されて
いる。この例において、他の基準画像の数は８である。
【００１５】第１段階においては、従来技術でのよう
に、前記テスト画像と前記第１基準画像との比較のみ
が、前記目標物の位置が測定されるまで行われる。前記
位置において、前記テスト画像の位置を前記基準画像と
整合させるための基準である相関値は最大であると仮定
している。図３において、この計算された相関値は、５
つの太線フィールド３，３’の各々の中心に入れられて
おり、これにより、中央のフィールド３’における相関
値が最大となっている。本例においては、この最大の相
関値が７０に達していると仮定している。この中央のフ
ィールド３’は、例えば、前記第１基準画像に対して、
ｘ方向に４ピクセルかつｙ方向に３ピクセルだけずらさ
れている目標物の位置に対応している。残りの４つのフ
ィールド３は、正または負のｘ方向またはｙ方向にそれ
ぞれ１ピクセルだけずらされている目標物の位置に割当
てられている。
に、前記テスト画像と前記第１基準画像との比較のみ
が、前記目標物の位置が測定されるまで行われる。前記
位置において、前記テスト画像の位置を前記基準画像と
整合させるための基準である相関値は最大であると仮定
している。図３において、この計算された相関値は、５
つの太線フィールド３，３’の各々の中心に入れられて
おり、これにより、中央のフィールド３’における相関
値が最大となっている。本例においては、この最大の相
関値が７０に達していると仮定している。この中央のフ
ィールド３’は、例えば、前記第１基準画像に対して、
ｘ方向に４ピクセルかつｙ方向に３ピクセルだけずらさ
れている目標物の位置に対応している。残りの４つのフ
ィールド３は、正または負のｘ方向またはｙ方向にそれ
ぞれ１ピクセルだけずらされている目標物の位置に割当
てられている。
【００１６】第２段階において、前記テスト画像の位置
が、前記第１段階において測定されたようにｘ方向に４
ピクセルかつｙ方向に３ピクセルだけ、前記８つの他の
基準画像に対してずらされている場合に生じる相関値が
計算される。与えられる模範的な相関値は、フィールド
４に入れられている。ｘ方向またはｙ方向におけるフィ
ールド３間の間隔が１ピクセルに達している一方で、フ
ィールド３と隣接フィールド４との間の間隔が１／２ピ
クセルに達していることが分かる。この例は、フィール
ド４’における相関値が最大で７５になるように選択さ
れている。したがって、ｘ方向に４．５ピクセルかつｙ
方向に２．５ピクセルだけ、前記第１基準画像に対して
ずらされている前記目標物の最適位置は、１／２ピクセ
ルの解像度によって見つけられる。
が、前記第１段階において測定されたようにｘ方向に４
ピクセルかつｙ方向に３ピクセルだけ、前記８つの他の
基準画像に対してずらされている場合に生じる相関値が
計算される。与えられる模範的な相関値は、フィールド
４に入れられている。ｘ方向またはｙ方向におけるフィ
ールド３間の間隔が１ピクセルに達している一方で、フ
ィールド３と隣接フィールド４との間の間隔が１／２ピ
クセルに達していることが分かる。この例は、フィール
ド４’における相関値が最大で７５になるように選択さ
れている。したがって、ｘ方向に４．５ピクセルかつｙ
方向に２．５ピクセルだけ、前記第１基準画像に対して
ずらされている前記目標物の最適位置は、１／２ピクセ
ルの解像度によって見つけられる。
【００１７】選択的に、第３段階においては、４つの相
関値が測定される。これらの４つの相関値は、前記テス
ト画像の位置が、正または負のｘ方向またはｙ方向にそ
れぞれ１ピクセルだけ最も高い相関値を有する基準画像
に対して再びずらされている場合に生じる。模範的な５
５，６４，６６，６０の値を有するこれらの４つの相関
値は、対応するフィールド４の右上の隅に入れられてい
る。ｘ軸に沿って配置されている３つのフィールド４
（図３ではｘの印がついている）の相関値の補間と、ｙ
軸に沿って配置されている３つのフィールド４（図３で
はｙの印がついている）の相関値の補間とによって、目
標物の位置を、従来技術でのように、すなわち放物線補
間により、サブピクセル範囲に存在する精度を有して測
定することができる。この例においては、前記目標物の
位置は、前記第１基準画像の位置に対してｘ方向に４．
４ピクセルかつｙ方向に２．７ピクセルだけずらされた
ものとして生じている。
関値が測定される。これらの４つの相関値は、前記テス
ト画像の位置が、正または負のｘ方向またはｙ方向にそ
れぞれ１ピクセルだけ最も高い相関値を有する基準画像
に対して再びずらされている場合に生じる。模範的な５
５，６４，６６，６０の値を有するこれらの４つの相関
値は、対応するフィールド４の右上の隅に入れられてい
る。ｘ軸に沿って配置されている３つのフィールド４
（図３ではｘの印がついている）の相関値の補間と、ｙ
軸に沿って配置されている３つのフィールド４（図３で
はｙの印がついている）の相関値の補間とによって、目
標物の位置を、従来技術でのように、すなわち放物線補
間により、サブピクセル範囲に存在する精度を有して測
定することができる。この例においては、前記目標物の
位置は、前記第１基準画像の位置に対してｘ方向に４．
４ピクセルかつｙ方向に２．７ピクセルだけずらされた
ものとして生じている。
【００１８】明らかに、異なった基準画像に関してでは
あるが前記目標物のほぼ同じ位置に関して計算された、
前記第１基準画像に対するこれらの相関値の平均をと
り、かつ、これらの平均した相関値を補間のために用い
ることが可能である。
あるが前記目標物のほぼ同じ位置に関して計算された、
前記第１基準画像に対するこれらの相関値の平均をと
り、かつ、これらの平均した相関値を補間のために用い
ることが可能である。
【００１９】前記方法については、比較的単純な目標物
の位置を測定するためにだけでなく、２次元のアイテム
５の位置および方位を測定するためにも用いることがで
きる。図４は、このような例を示している。アイテム５
は、例えば長方形形状の半導体チップであり、該半導体
チップに関して、２つのドットのような円６，７が、２
つの斜方向に対向する角にある目標物として認識でき
る。ｘｙ平面における前記アイテム５のｘｙ位置を測定
し、かつ、ｘ軸に対するその回転角度φを測定するため
に、円６の位置および円７の位置は、前述した方法によ
って、前記実施段階において順次的に測定される。一旦
円６，７の位置が測定されると、アイテム５の回転角度
φを公知の方法で計算することができる。
の位置を測定するためにだけでなく、２次元のアイテム
５の位置および方位を測定するためにも用いることがで
きる。図４は、このような例を示している。アイテム５
は、例えば長方形形状の半導体チップであり、該半導体
チップに関して、２つのドットのような円６，７が、２
つの斜方向に対向する角にある目標物として認識でき
る。ｘｙ平面における前記アイテム５のｘｙ位置を測定
し、かつ、ｘ軸に対するその回転角度φを測定するため
に、円６の位置および円７の位置は、前述した方法によ
って、前記実施段階において順次的に測定される。一旦
円６，７の位置が測定されると、アイテム５の回転角度
φを公知の方法で計算することができる。
【図１】 第１基準位置に設置されているＣＣＤカメラ
のピクセル上に投影された目標物の画像である。
のピクセル上に投影された目標物の画像である。
【図２】 第２基準位置に設置されているＣＣＤカメラ
のピクセル上に投影された目標物の画像である。
のピクセル上に投影された目標物の画像である。
【図３】 相関値を有するマトリクスである。
【図４】 位置および方位が２つの目標物によって測定
可能であるアイテムである。
可能であるアイテムである。
１ ピクセル ２ 画像 ３，３’ フィールド ４，４’ フィールド ５ アイテム ６，７ 円
Claims (2)
- 【請求項１】 実施段階において、目標物のテスト画像
がカメラにより記録され、かつ、それ以前の学習段階に
おいて、ディジタル形式で貯蔵された第１の基準画像と
比較されるという、ディジタル画像処理によって目標物
の位置を測定する方法において、 前記学習段階において、前記第１基準画像に加えて、該
第１基準画像に対して前記カメラのピクセルの数だけ各
々がずらされている幾つかの基準画像が記録されかつ貯
蔵されることと、 前記実施段階において、全ての他の基準画像に対する、
前記テスト画像の比較が、前記テスト画像と前記他の基
準画像のうちの任意の１つとの最適な整合が存在する前
記目標物の位置を見つけるために行われることとを特徴
とする方法。 - 【請求項２】 実施段階において、最初に、前記テスト
画像と前記第１基準画像との最適な整合が存在する前記
目標物の位置が測定されるまで、前記比較が、前記第１
基準画像に対してだけ行われることと、その後に、前記
テスト画像と前記他の基準画像のうちの任意の１つとの
最適な整合が存在する前記目標物の位置を見つけるため
に、前記比較が、前記他の基準画像に対して行われるこ
ととを特徴とする請求項１に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP98810420A EP0955605A1 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Verfahren zur Lagebestimmung eines Objektes mittels digitaler Bildverarbeitung |
| EP98810420.4 | 1998-05-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000081309A true JP2000081309A (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=8236076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11099851A Pending JP2000081309A (ja) | 1998-05-07 | 1999-04-07 | ディジタル画像処理によって目標物の位置を測定する方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0955605A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000081309A (ja) |
| KR (1) | KR19990088074A (ja) |
| TW (1) | TW414884B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007041910A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Shinsedai Kk | 指示位置検出方法 |
| CN102506705A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-06-20 | 罗艺 | Pcb板上定位标记坐标的获取方法、装置及贴片设备 |
| CN110986765A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-04-10 | 北京自动化控制设备研究所 | 背面套刻误差测量方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 1998-05-07 EP EP98810420A patent/EP0955605A1/de not_active Withdrawn
-
1999
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- 1999-04-07 JP JP11099851A patent/JP2000081309A/ja active Pending
- 1999-05-06 KR KR1019990016155A patent/KR19990088074A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102506705B (zh) * | 2011-10-17 | 2014-04-09 | 罗艺 | Pcb板上定位标记坐标的获取方法、装置及贴片设备 |
| CN110986765A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-04-10 | 北京自动化控制设备研究所 | 背面套刻误差测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW414884B (en) | 2000-12-11 |
| EP0955605A1 (de) | 1999-11-10 |
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