JP2000077683A - Photo semiconductor device and its manufacture - Google Patents

Photo semiconductor device and its manufacture

Info

Publication number
JP2000077683A
JP2000077683A JP10245241A JP24524198A JP2000077683A JP 2000077683 A JP2000077683 A JP 2000077683A JP 10245241 A JP10245241 A JP 10245241A JP 24524198 A JP24524198 A JP 24524198A JP 2000077683 A JP2000077683 A JP 2000077683A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
semiconductor device
lens
resin sealing
optical semiconductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10245241A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Kunii
秀雄 国井
Toshiyuki Take
俊之 武
Hiroshi Inoguchi
浩 井野口
Tsutomu Ishikawa
勉 石川
Masashi Arai
政至 新井
Hiroshi Kobori
浩 小堀
Hiroki Seyama
浩樹 瀬山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP10245241A priority Critical patent/JP2000077683A/en
Priority to US09/291,202 priority patent/US6252252B1/en
Priority to KR10-1999-0013419A priority patent/KR100459347B1/en
Priority to CNB991048911A priority patent/CN1175497C/en
Publication of JP2000077683A publication Critical patent/JP2000077683A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make thin the profile of a light-emitting device and a photodetector, and to minimize a module and a set where the light-emitting device and the photo detector are incorporated. SOLUTION: A photo semiconductor device is provided with semiconductor chips 23 and 24 as a light-emitting device and a photo detector, and a resin- sealing body 25 for sealing them is made of a material that becomes transparent to light. On a region where light is emitted from the device and on a region where light enters the device, a groove 27 is formed, and a reflection surface 26 is composed in the groove 27, thus allowing light to be emitted and enter via a side surface E. Also, although a lens is formed on the side surface E for stopping down the lens, the outermost end part OS of a projection part is allowed to coincide with the junction surface of a mold, thus improving mold releasing after sealing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光半導体装置およ
びこれを実装した光半導体モジュールに関するもので、
特に光半導体装置の構造を薄くし、この薄い側面から光
を射出(または入射)させるものであり、これらを用い
た機器の小型化・薄型化を実現するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor device and an optical semiconductor module mounting the same.
In particular, the structure of the optical semiconductor device is made thinner, and light is emitted (or made incident) from the thinner side surface, thereby realizing miniaturization and thinning of a device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、サブノートパソコン、携帯情報端
末、電子スチルカメラ等のマルチメディア機器がめざま
しい発展を遂げている。
2. Description of the Related Art Recently, multimedia equipment such as a sub-notebook personal computer, a portable information terminal, and an electronic still camera has been remarkably developed.

【0003】しかも携帯機器は、年間700万台も販売
され、約8割がIrDA(InfraredData Association)規
格の赤外線方式を採用している。つまり外部機器と本体
との赤外線信号を介した送受信が必要で、そこには、赤
外線を発光する発光素子、赤外線を受光する受光素子が
必要となってくる。
[0003] Moreover, 7 million portable devices are sold annually, and about 80% adopt the infrared system of the IrDA (InfraredData Association) standard. That is, transmission / reception between the external device and the main body via an infrared signal is required, and a light emitting element that emits infrared light and a light receiving element that receives infrared light are required.

【0004】またMDやCD等の光学式記録再生装置で
用いられる光学ヘッドは、光学記録媒体へビームを照射
して光学記録媒体からの変調されたビームを検出するこ
とにより、情報の記録や再生を行う。やはりここでも発
光素子、受光素子が必要となってくる。
An optical head used in an optical recording / reproducing apparatus such as an MD or a CD irradiates a beam onto an optical recording medium to detect a modulated beam from the optical recording medium, thereby recording and reproducing information. I do. Also here, a light emitting element and a light receiving element are required.

【0005】しかしこれら発光素子、受光素子は、小型
化が実現されていない。例えば、図15は、特公平7−
28085号公報の技術を説明するもので、半導体レー
ザ1が半導体基板2に直接配置され、断面形状が台形の
プリズム3が半導体基板2に固定されている。なお図番
4は、光学記録媒体である。半導体レーザ1と対向して
いるプリズム3の傾斜面5は半透過反射面で、半導体基
板2と対接しているプリズム面6は、光検出器(受光素
子)7以外の部分が、また面6と対向しているプリズム
面8は、共に反射面となっている。
However, these light emitting elements and light receiving elements have not been reduced in size. For example, FIG.
The semiconductor laser 1 is directly disposed on a semiconductor substrate 2, and a prism 3 having a trapezoidal cross section is fixed to the semiconductor substrate 2. FIG. 4 is an optical recording medium. The inclined surface 5 of the prism 3 facing the semiconductor laser 1 is a semi-transmissive reflecting surface, and the prism surface 6 in contact with the semiconductor substrate 2 has a portion other than the photodetector (light receiving element) 7. The prism surfaces 8 facing each other are reflection surfaces.

【0006】半導体レーザ1から発光され、傾斜面5か
らプリズム3に入射したビーム9は、反射面6と8で反
射されてから、光検出器7で検出される。
A beam 9 emitted from the semiconductor laser 1 and incident on the prism 3 from the inclined surface 5 is reflected by the reflecting surfaces 6 and 8 and detected by the photodetector 7.

【0007】一方、図16は、赤外線データ通信モジュ
ール11で、赤外線LED、LEDドライバ、PINフ
ォトダイオード、アンプ等が内蔵されている。例えば基
板に前記LED12が実装され、ここから射出される光
は、レンズ13を介して外部へ放出される。また前記基
板に実装されたフォトダイオード14には、レンズ15
を介してモールド11内に入射される。
FIG. 16 shows an infrared data communication module 11, which includes an infrared LED, an LED driver, a PIN photodiode, an amplifier, and the like. For example, the LED 12 is mounted on a substrate, and light emitted from the LED 12 is emitted to the outside via the lens 13. The photodiode 14 mounted on the substrate has a lens 15
And enters the mold 11.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】前述のモジュールに於
いて、図15では半導体基板の上方に光学機器が実装さ
れるため、非常に高度な技術が必要となり、価格も高価
となる問題があった。
In the above-mentioned module, the optical equipment is mounted above the semiconductor substrate in FIG. 15, so that a very advanced technique is required and the price is high. .

【0009】また図16では、モールド体の上で光の出
し入れが必要となり、対向位置にもう一つの光半導体装
置をセットする必要があるため、これらを組み込んだセ
ットは、厚みを有し小型化が実現できない問題があっ
た。
In FIG. 16, light needs to be put in and out of the mold body, and it is necessary to set another optical semiconductor device at the opposing position. There was a problem that could not be realized.

【0010】また図16で光の出し入れを水平方向にし
ようとすれば、図17のように光半導体装置11のリー
ド16を90度に折り曲げなければ成らず、リード11
の曲げ方によってはこの光半導体装置11の位置固定、
安定性に問題があった。
If the light is to be taken in and out in the horizontal direction in FIG. 16, the lead 16 of the optical semiconductor device 11 must be bent at 90 degrees as shown in FIG.
Depending on how the optical semiconductor device 11 is bent,
There was a problem with stability.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題に
鑑みて成され、上面を受光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差する位置
に設けられ、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面
と、前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状
のレンズとを有し、前記レンズの飛び出しに方向に沿っ
た最端部と前記樹脂封止体を封止する上下金型の接合部
を、実質一致させることで解決するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the aforementioned problems, and has a semiconductor chip having an upper surface as a light receiving surface, a resin sealing the semiconductor chip, and a resin transparent to at least a predetermined light. A sealing member, a reflection surface provided at a position intersecting a perpendicular to the light receiving surface, a reflection surface provided on the resin sealing member, and a convex lens integrally formed on a side surface of the resin sealing member. The problem is solved by making the end portions of the upper and lower molds that seal the resin sealing body substantially coincide with the outermost portions along the direction in which the lens protrudes.

【0012】反射面を設けることで光を側面に入射させ
ることができ、しかも金型の接合部にレンズの最端部を
位置させることで、本光半導体装置の離型性を向上させ
ることができる。
By providing a reflecting surface, light can be made incident on the side surface. In addition, the releasability of the optical semiconductor device can be improved by locating the extreme end of the lens at the joint of the mold. it can.

【0013】第2に、上面を発光面とする半導体チップ
と、前記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に
対して透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差
し、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面と、前記樹
脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状のレンズと
を有し、前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と
前記樹脂封止体を封止する上下金型の接合部と、実質一
致させることで解決するものである。
Second, the semiconductor chip having an upper surface as a light emitting surface, the semiconductor chip sealed, a resin sealing body transparent to at least a predetermined light, and a line intersecting a perpendicular to the light receiving surface, A reflecting surface provided on the resin sealing body, and a convex lens formed by integral molding on a side surface of the resin sealing body, and an extreme end portion along a direction in which the lens protrudes; This problem can be solved by making them substantially coincide with the joining portions of the upper and lower molds for sealing the resin sealing body.

【0014】第3に、前記樹脂封止体は、リードを有
し、リードの上面と前記最端部とを同一面に延在させる
ことで解決するものである。
Third, the problem is solved by providing the resin sealing body with a lead, and extending the upper surface of the lead and the outermost end on the same plane.

【0015】両者は、第1と同様に、反射面を設けるこ
とで光を側面から発射さることができ、しかも金型内で
成型された本光半導体装置の離型性を向上させることが
できる。
Both can emit light from the side by providing the reflection surface, as in the first case, and can improve the releasability of the optical semiconductor device molded in the mold. .

【0016】第4に、前記レンズの最下端部と前記レン
ズの焦点で形成される仮想線分を、前記反射面と交差さ
せる事で解決するものである。
Fourth, the problem is solved by making a virtual line segment formed by the lowermost end of the lens and the focal point of the lens intersect with the reflection surface.

【0017】前記仮想線分が反射面と交差するように溝
を深く形成することで効率の良い反射が実現できる。
By forming the groove deeply so that the imaginary line intersects the reflection surface, efficient reflection can be realized.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0019】図は理解のために、三つの図を一体にした
もので、左上が光半導体装置の平面図、左下が前記平面
図のA−A線に於ける断面図、右上が前記平面図のB−
B線に於ける断面図である。
For the sake of comprehension, the figures are made by integrating the three figures, wherein the upper left is a plan view of the optical semiconductor device, the lower left is a cross-sectional view taken along line AA of the plan view, and the upper right is the plan view. B-
It is sectional drawing in the B line.

【0020】まずリードフレームがある。このリードフ
レームは、2点鎖線で示すアイランド21とリード22
により構成され、ここではCuより成り、この上に発光
部となる一点鎖線で示す半導体チップ23、受光部とな
る一点鎖線で示す半導体チップ24が半田等の固着手段
を介して固定されている。
First, there is a lead frame. This lead frame includes an island 21 and a lead 22 indicated by a two-dot chain line.
Here, a semiconductor chip 23 indicated by an alternate long and short dash line serving as a light emitting portion and a semiconductor chip 24 indicated by an alternate long and short dash line serving as a light receiving portion are fixed via Cu or other fixing means.

【0021】また半導体チップ23は、例えば赤外LE
D、レーザ等の発光素子であり、駆動回路が一体になっ
ていても良い。赤外線LEDは、チップの上面から上に
出るため図1のようにアイランドに水平に配置される
が、半導体レーザの場合は、チップの側面から光が発射
されるため、図のような溝は必要としない。しかし製造
上図3のように溝を作るよりも図12のように全面に設
けた方が簡便な、この上にも溝を形成しても良い。
The semiconductor chip 23 is, for example, an infrared LE.
D, a light emitting element such as a laser, and a driving circuit may be integrated. Infrared LEDs are arranged horizontally on the island as shown in FIG. 1 because they come out from the top surface of the chip. However, in the case of a semiconductor laser, light is emitted from the side surface of the chip, so a groove as shown is necessary. And not. However, in terms of manufacturing, it is more convenient to form the groove as shown in FIG. 12 than to form the groove as shown in FIG. 3, and the groove may be formed thereon.

【0022】また半導体チップ24は、フォトセンサで
あり、PINダイオード等であり、やはりこのPINダ
イオードの駆動回路が一体のものでよし、更にはLED
やレーザの駆動回路が一体で構成されても良い。これら
の半導体チップの周囲には、ボンディングパッドが形成
され、これに対応して、チップの周囲から外部へ複数の
リード22が延在され、この間を金属細線で接続してい
る。ここで封止材としては光に対して透明で有ればよ
く、材料は特に選ばない。またLEDでは、一般的に光
は、赤外線であるので、この赤外線を透過する樹脂であ
ればよい。つまり所定の光に対して少なくとも透過であ
れば良く、リードの先端および半導体チップは、この光
に対して透明な封止体25で封止されている。そしてこ
の封止体25には、反射面26を持つ溝27が設けられ
ている。
The semiconductor chip 24 is a photo sensor, such as a PIN diode, and the driving circuit of the PIN diode may be an integrated circuit.
Alternatively, a laser driving circuit may be integrally formed. Bonding pads are formed around these semiconductor chips. Correspondingly, a plurality of leads 22 extend from the periphery of the chips to the outside, and these are connected by thin metal wires. Here, the sealing material only needs to be transparent to light, and the material is not particularly limited. In the case of LEDs, light is generally infrared light, and any resin that transmits this infrared light may be used. In other words, it suffices to transmit at least the predetermined light, and the tip of the lead and the semiconductor chip are sealed with the sealing body 25 transparent to the light. The sealing body 25 has a groove 27 having a reflection surface 26.

【0023】本発明の特徴は、前記反射面26にあり、
この反射面は封止体25に溝を形成することで構成さ
れ、これにより点線矢印で示すように封止体25の側面
Eから光の射出、側面Eへの入射が可能となる。
A feature of the present invention resides in the reflection surface 26,
The reflecting surface is formed by forming a groove in the sealing body 25, whereby light can be emitted from the side surface E of the sealing body 25 and incident on the side surface E as indicated by a dotted arrow.

【0024】一般には、発光部や受光部を構成する半導
体チップは、この上に、プリズムやレンズを構成して半
導体装置となるため、これを使用したモジュールやセッ
トは、セット自身の縦方向の厚みが厚くなり、しかもこ
の上や周辺に光学機器が配置されるため、薄型・小型が
難しかった。しかし封止体の溝の一部分である反射面2
6により、封止体の側面Eから光の出し入れが可能とな
るため、プリズムは不要であるし、レンズが必要で有れ
ば、この側面Eに形成できる。つまり図3の様に透明封
止体の側面に凸状のレンズを一体成型することも可能で
あるし、ここに別途レンズを取り付けても良い。従って
装置自身の厚みを薄くすることができる。
In general, a semiconductor chip constituting a light emitting section and a light receiving section constitutes a semiconductor device by constituting a prism and a lens on the semiconductor chip. Since the thickness is increased, and optical devices are arranged on and around this, it is difficult to reduce the thickness and size. However, the reflecting surface 2 which is a part of the groove of the sealing body
6 allows light to enter and exit from the side E of the sealing body, so that no prism is required, and if a lens is needed, it can be formed on this side E. That is, as shown in FIG. 3, a convex lens can be integrally molded on the side surface of the transparent sealing body, or a lens may be separately attached here. Therefore, the thickness of the device itself can be reduced.

【0025】前記リードフレームはCuより成り、厚さ
は、約0.125mmで、半導体チップの厚みは、例え
ば250〜300μm程度である。また封止体25は、
透明なエポキシ材料で、例えばトランスファーモールド
により成され、全体の厚みは、約1mm〜1.5mmで
ある。当然チップの厚みが薄くなれば、更に薄くできる
事は言うまでもない。また金型にも溝を形成する部分が
設けられており、透明の樹脂封止体で半導体チップをト
ランスファーモールドした際に、溝が同時に形成され
る。
The lead frame is made of Cu, the thickness is about 0.125 mm, and the thickness of the semiconductor chip is, for example, about 250 to 300 μm. The sealing body 25 is
It is made of a transparent epoxy material, for example, by transfer molding, and has a total thickness of about 1 mm to 1.5 mm. It goes without saying that if the thickness of the chip is reduced, it can be further reduced. The mold is also provided with a portion for forming a groove, and when the semiconductor chip is transfer-molded with a transparent resin sealing body, the groove is formed at the same time.

【0026】ここで溝27は、半導体チップを露出する
ことなく、反射面が構成されればよく、例えば厚みの半
分程度、ここでは750μm程度の深さを有し、少なく
とも反射面26を構成する部分は45°に成っている。
ここの反射面は、界面の両側の空気と透明樹脂の屈折率
の違いにより、反射面となる。しかし全ての光が反射さ
れないので、反射面に金属被膜を形成しても良い。
The groove 27 may have a reflection surface without exposing the semiconductor chip. For example, the groove 27 has a depth of about half the thickness, here about 750 μm, and constitutes at least the reflection surface 26. The part is at 45 °.
The reflecting surface here becomes a reflecting surface due to the difference in the refractive index between the air on both sides of the interface and the transparent resin. However, since not all light is reflected, a metal film may be formed on the reflection surface.

【0027】この被膜方法としては、半導体技術で使用
される蒸着、スパッタ成膜が考えられ、またその他に
は、メッキが考えられる。ここで注意を要する所は、封
止体25に形成された被膜材料との短絡である。前者の
二つの被膜方法では、マスクを必要とする。また例えば
無電解メッキで、溶液の中に全体をディップする場合
は、導出する部分のリード22、その導出部周囲の封止
体25の部分に樹脂を塗り、その後でメッキし、この樹
脂を取り除けばよい。またディップ以外では、この溶液
を溝の部分のみに滴下してメッキさせても良い。金属材
料としては、金、Al、ニッケル等が考えられる。
As the coating method, vapor deposition and sputter deposition used in semiconductor technology can be considered, and in addition, plating can be considered. A point to be noted here is a short circuit with the coating material formed on the sealing body 25. The former two coating methods require a mask. When the whole is dipped in a solution by, for example, electroless plating, a resin is applied to a lead 22 of a lead-out part and a sealing body 25 around the lead-out part, and thereafter, plating is performed to remove the resin. I just need. In addition to the dip, this solution may be dropped only on the groove to perform plating. As the metal material, gold, Al, nickel and the like can be considered.

【0028】また金型は、放電加工が施されて形成され
るため、また成型品の離型性が考慮されて梨地加工され
るため、反射面に対応する部分を鏡面研磨し、前述した
反射面の被膜の代わりにしても良いし、さらにこの表面
に被膜処理しても良い。また側面Eから入射または発光
されるためこの部分も鏡面処理された方が良い。
Since the mold is formed by electrical discharge machining, and is matte-finished in consideration of the releasability of a molded product, the portion corresponding to the reflection surface is mirror-polished, and the above-described reflection is performed. The film may be substituted for the surface, or the surface may be subjected to a film treatment. Further, since the light is incident or emitted from the side surface E, it is preferable that this portion is also subjected to mirror finishing.

【0029】本実施例では、光の出し入れ(射出や入
射)が行われる側面Eを除いた側面F、G、Hにリード
を配置できる。しかし金属細線やリードによる反射を考
えると、側面Hが好ましい。平面図に於いて、受光部で
ある半導体チップは、実質右側に受光素子領域(第1の
領域)が形成され、左側にこれを駆動する駆動素子領域
(第2の領域)が形成される。つまり第2の半導体領域
は、光の経路とは成らないため、この領域をリードが導
出される領域、金属細線の領域として活用でき、光の反
射等によるノイズが第1の領域に浸入することを防止し
ている。また第1の領域が右側にずれているので、当然
溝27も右側にずれ、溝から左側の領域は、ワイヤを延
在させる領域として確保できる。もし左側や中央に第1
の領域があれば、ワイヤは、溝から露出する可能性があ
る。
In this embodiment, the leads can be arranged on the side surfaces F, G and H excluding the side surface E where the light enters and exits (emission and incidence). However, the side surface H is preferable in consideration of reflection by a thin metal wire or a lead. In the plan view, a semiconductor chip serving as a light receiving section has a light receiving element region (first region) substantially on the right side and a drive element region (second region) for driving the light receiving element region on the left side. That is, since the second semiconductor region does not serve as a light path, this region can be used as a region from which leads are led out and a thin metal wire region, and noise due to light reflection or the like enters the first region. Has been prevented. Since the first region is shifted to the right, the groove 27 is also shifted to the right, and the region on the left from the groove can be secured as a region for extending the wire. If the first on the left or center
If there is an area, the wire may be exposed from the groove.

【0030】以上述べた光半導体装置を、例えばプリン
ト基板、セラミック基板、絶縁性金属基板、TAB等の
樹脂フィルムに実装する場合、図1の左下断面図の如
く、水平に配置されるので、薄型のモジュールや機器が
形成可能である。
When the optical semiconductor device described above is mounted on a resin film such as a printed circuit board, a ceramic substrate, an insulated metal substrate, or a TAB, for example, as shown in the lower left sectional view of FIG. Modules and devices can be formed.

【0031】例えばICカード等に実装すれば、カード
自身の厚みを薄く且つ側辺方向で光信号のやりとりがで
きる。
For example, when mounted on an IC card or the like, the thickness of the card itself can be reduced and optical signals can be exchanged in the lateral direction.

【0032】一方、アイランド21は、2点鎖線で示す
ように二つで成っているが、一体で構成しても良い。ま
た樹脂封止体25は、二つの半導体チップを一体でモー
ルドしているが、個別でも良い。当然、一つのアイラン
ドに二つの半導体チップを固着し、各々を個別にモール
ドしても良いし、更には、リードフレームを別にしてデ
ィスクリート部品のように個別モールドしても良い。
On the other hand, the island 21 is composed of two islands as shown by a two-dot chain line, but may be constituted integrally. Further, the resin sealing body 25 is formed by integrally molding two semiconductor chips, but may be individually formed. Naturally, two semiconductor chips may be fixed to one island and each of them may be individually molded, or may be separately molded like a discrete component separately from the lead frame.

【0033】なお点線で囲んだ最小の矩形は、光の照射
される、または光が射出される部分を示している。
The smallest rectangle surrounded by a dotted line indicates a portion where light is emitted or light is emitted.

【0034】一方、図2は、溝27の一方の反射面30
を垂直にしたものである。この場合図1と比較し溝から
左の領域を確保でき、この部分にワイヤーを延在させる
ことも可能となるし、この近傍まで第2の領域を拡大配
置できる。しかし垂直な面であると金型からの離型性が
悪化するので、若干左側に傾けた方がよい。
FIG. 2 shows one reflecting surface 30 of the groove 27.
Is made vertical. In this case, as compared with FIG. 1, a left area can be secured from the groove, it is possible to extend the wire in this part, and the second area can be enlarged and arranged to the vicinity. However, if the surface is vertical, the releasability from the mold deteriorates. Therefore, it is better to incline slightly to the left.

【0035】図3は、実際に形成した光半導体装置の図
面で、中央左が上から見た平面図、中央右が前記平面図
を左側から見た図面、上段は、平面図のA−A線の断面
図でホトIC部分である。また下段は、平面図B−B線
断面図で、発光ダイオードの部分である。また図4は、
リードフレームにホトダイオードとLEDを実装した図
面である。
FIG. 3 is a plan view of the optical semiconductor device actually formed. The left side of the center is a plan view seen from above, the right side of the figure is a plan view of the plan view seen from the left side, and the upper part is an AA of the plan view. It is a photo IC part in the sectional view of the line. The lower part is a plan view taken along the line BB, and shows a light emitting diode portion. Also, FIG.
It is the drawing which mounted the photodiode and LED on the lead frame.

【0036】先ず図4から説明すれば、ここではアイラ
ンド21の左側辺にのみリード22が延在され、その先
端にはボンディング用の拡張部30が形成されている。
またICチップの左側辺と下側辺にボンディシングパッ
ドが形成され、拡張部30とボンディングパッドとの間
をワイヤーボンディングで電気的に接続している。符号
31は、LEDのアイランドで、光を上方に飛ばすため
に、図3下段のようにカップ状になっている。このカッ
プは、側面が斜めに形成され、上方以外に飛んだ光をこ
の傾斜部分で集光して効率よく上方へ飛ばしている。例
えば携帯用ランプの豆球の周囲に形成されている集光板
の様なものである。受光部24には、PINホトダイオ
ードが形成され、周囲にはこの駆動用のIC回路が作り
込まれている。またLEDから延在されている二本のワ
イヤーの接続部近傍には、LEDの駆動回路が作り込ま
れている。また点線で示す矩形は、樹脂封止領域を示す
部分である。
Referring first to FIG. 4, here, the lead 22 extends only on the left side of the island 21, and a bonding extension 30 is formed at the tip thereof.
Bonding pads are formed on the left side and the lower side of the IC chip, and the extended portion 30 and the bonding pads are electrically connected by wire bonding. Reference numeral 31 denotes an LED island, which has a cup shape as shown in the lower part of FIG. This cup is formed with a slanted side surface, and condenses the light that has flown to a position other than the upper portion at the inclined portion to efficiently fly upward. For example, it is like a light collector formed around a bean ball of a portable lamp. A PIN photodiode is formed in the light receiving unit 24, and a driving IC circuit is built around the PIN photodiode. An LED driving circuit is built in the vicinity of the connection between the two wires extending from the LED. A rectangle indicated by a dotted line is a portion indicating a resin sealing region.

【0037】図3を説明する。中央左を見れば判るよう
に、反射面26が形成された溝が二つ形成され、この溝
の間は、間を遮るように壁体32が形成されている。こ
の溝は、図12に示すように、一方の側辺から他方の側
辺まで連続して形成しても良いが、この構造であると外
力が加わった際、溝の底部を中心に割れが発生するおそ
れがある。そのため、ホトICとLEDを囲むように枠
が形成され、前記破壊に対する強度の向上を図ってい
る。また溝の反射面以外は、モールド後の離型(光半導
体装置の抜き特性)を向上させるためにある角度を持た
せている。当然外形形状もこの離型特性向上のため、抜
き方向と平行にならないように角度を持たせている。
Referring to FIG. As can be seen from the left side of the center, two grooves having the reflection surface 26 are formed, and a wall 32 is formed between the grooves so as to block the gap. This groove may be formed continuously from one side to the other side as shown in FIG. 12, but with this structure, when an external force is applied, cracks are formed around the bottom of the groove. May occur. Therefore, a frame is formed so as to surround the photo IC and the LED, thereby improving the strength against the destruction. Except for the reflection surface of the groove, a certain angle is provided to improve the mold release after molding (pulling characteristics of the optical semiconductor device). Naturally, the outer shape is also angled so as not to be parallel to the drawing direction in order to improve the release characteristics.

【0038】また側面Eには、球面を切ったレンズLが
設けられている。しかしレンズLは、楕円レンズでも良
い。この光半導体装置は、IrDA様に形成されたもの
で、上の受光素子が形成されている所のレンズLは、外
部からの光信号を効率よく、受光素子の光検出領域に光
が当たるように設計されている。また下のLEDは、発
光された光を、別の光半導体装置の検出領域に到達する
ように設計されている。
A lens L having a spherical surface is provided on the side surface E. However, the lens L may be an elliptical lens. This optical semiconductor device is formed in an IrDA-like manner, and the lens L where the upper light receiving element is formed efficiently receives an external optical signal so that light shines on the light detection area of the light receiving element. Designed for The lower LED is designed so that emitted light reaches a detection area of another optical semiconductor device.

【0039】本レンズの詳細は、更に図18、図19を
採用して後述する。
The details of the present lens will be described later with reference to FIGS.

【0040】図5は、反射面の他の形成方法を説明した
もので、実質直方体の樹脂封止体(前述の如く離型性が
考えられ、テーパー面が形成されても良い。)に反射面
26を有する手段(以下プリズム体40と呼ぶ。)を固
着したものである。このプリズム体40と樹脂封止体
は、少なくとも点線で示した光路が所定の光に対して透
過性を有する材料である必要がある。また屈折を考える
と図1の様に、両者が一体の構造が好ましい。しかし個
別部品にして固着しても良い。この場合、固着する接着
剤も含めて屈折率が実質同一のものが好ましい。
FIG. 5 illustrates another method of forming the reflection surface, and the reflection is performed on a substantially rectangular parallelepiped resin sealing body (a tapered surface may be formed in consideration of releasability as described above). A means having a surface 26 (hereinafter, referred to as a prism body 40) is fixed thereto. The prism body 40 and the resin sealing body need to be made of a material having at least an optical path indicated by a dotted line having transparency to predetermined light. Considering refraction, it is preferable that both are integrated as shown in FIG. However, they may be fixed as individual parts. In this case, those having substantially the same refractive index including the adhesive to be fixed are preferable.

【0041】図6は、基板41について述べたものであ
る。前述したよう例えばプリント基板、セラミック基
板、絶縁性金属基板、TAB等の樹脂フィルムに実装で
きると述べた。
FIG. 6 describes the substrate 41. As described above, it can be mounted on a resin film such as a printed board, a ceramic substrate, an insulating metal substrate, or TAB.

【0042】またこれらはいわゆるハイブリッド基板と
して採用するもので、半導体ベアチップ等の能動素子、
受動素子が半田等により固着され、光半導体装置も含め
て所定の機能が実現されている。またプリント基板で
は、モールドしたチップで構成されている場合もある。
These are employed as so-called hybrid substrates, and include active elements such as semiconductor bare chips,
The passive element is fixed by solder or the like, and a predetermined function including the optical semiconductor device is realized. Further, the printed circuit board may be constituted by a molded chip.

【0043】例えば金属基板等は、枠部材が基板の周囲
に形成され、この中にエポキシ樹脂等が充填されている
のが一般的であるが、点線から右側の領域は、少なくと
も所定の光に対して透過である材料が好ましい。またこ
の場合、光の光路に該当する部分は、光に対して透過な
材料で構成する必要がある。またフルモールドで形成す
る場合は、全てが光に対して透過な材料で構成する必要
がある。
For example, a metal substrate or the like generally has a frame member formed around the substrate and filled with an epoxy resin or the like, but the area on the right side of the dotted line is at least a predetermined light. Materials that are permeable to them are preferred. In this case, the portion corresponding to the optical path of light needs to be made of a material that transmits light. Further, in the case of forming by a full mold, it is necessary that all are formed of a material that transmits light.

【0044】セラミック基板は、図2と同様にフルモー
ルドで封止されている場合が多く、この場合、全てが所
定の光に対して透過な材料が好ましい。更にはプリント
基板等は、一般的モールドされたチップを使用するた
め、点線から右側だけ封止しても良い。しかし一般的に
は、単に図1の光半導体装置を図12のように実装した
方が合理的である。
In many cases, the ceramic substrate is sealed with a full mold as in FIG. 2, and in this case, it is preferable that all of the material is transparent to predetermined light. Further, since a printed board or the like uses a general molded chip, only the right side from the dotted line may be sealed. However, in general, it is more reasonable to simply mount the optical semiconductor device of FIG. 1 as shown in FIG.

【0045】図7、図8は、セラミックパッケージ、金
属で構成されるカンタイプに応用したものであり、図番
43がセラミックパッケージ、44が金属より成るカン
であり、両者ともに光に対して非透過の材料であり、中
が中空構造である。従ってこの場合、蓋となる部分に反
射面を有する光に対して透過なプリズム体45、46が
設けられ、点線のように光は90度曲げられ、水平方向
に射出または入射される。ここの図は、封止体の説明に
用いたため、具体的なリード、電極、金属細線等は省略
した。
FIGS. 7 and 8 show a case where the present invention is applied to a can type made of a ceramic package and a metal. FIG. 43 shows a ceramic package and 44 shows a can made of a metal. It is a permeable material and the inside has a hollow structure. Therefore, in this case, prisms 45 and 46 that transmit light having a reflection surface are provided in a portion serving as a lid, and the light is bent 90 degrees as indicated by a dotted line, and is emitted or incident in the horizontal direction. Since the drawings are used for describing the sealing body, specific leads, electrodes, fine metal wires, and the like are omitted.

【0046】図4では、リードフレームについて説明し
たが、このリードフレーム以外にも半導体分野で使用さ
れているリードフレームは全て使用可能である。しかし
モールド時の樹脂圧によるアイランドの安定性を考えた
なら、吊りリードが相対向する側辺にあった方がよい。
またアイランドの四つの角部から延在されているいわゆ
る4方向吊りリードも、アイランドの安定性を向上さ
せ、製品の光の方向性を一定にさせるための重要な構造
である。
In FIG. 4, the lead frame has been described. However, other than this lead frame, all lead frames used in the semiconductor field can be used. However, considering the stability of the island due to the resin pressure at the time of molding, it is preferable that the suspension leads are on the opposite sides.
The so-called four-way suspension leads extending from the four corners of the island are also important structures for improving the stability of the island and keeping the light directivity of the product constant.

【0047】また封止構造も、いろいろ適用できる。例
えばエレクトロニクス(1997年10月号、74頁〜)
に述べているように、パッケージのリードを基板のスル
ーホールに挿入するタイプ、つまりリード挿入型として
は、インライン型ののSIP、HSIP、ZIP、デュ
アルライン型のDIP、HDIP、SDIP、WDI
P、PGA(ピングリッドアレイ)、また基板の表面に半
田クリーム等を用いて直接半田付けする表面実装型とし
ては、SVP、SOP、SSOP、TSOP、HSO
P、QFP、TQFP、HQFP、QFN、SOJ、Q
FJ、BGA、LGA、DTP、QTP等が考えられ
る。
Also, various sealing structures can be applied. For example, Electronics (October 1997, p. 74-)
As described in the above, the type in which the lead of the package is inserted into the through hole of the substrate, that is, the lead insertion type is inline type SIP, HSIP, ZIP, dual line type DIP, HDIP, SDIP, WDI.
P, PGA (pin grid array), and surface mount types that are directly soldered to the surface of the substrate using solder cream, etc. are SVP, SOP, SSOP, TSOP, HSO
P, QFP, TQFP, HQFP, QFN, SOJ, Q
FJ, BGA, LGA, DTP, QTP and the like can be considered.

【0048】もちろんフェイスアップ、フェイスダウン
が採用できるし、最近特に話題を呼んでいるCSP、B
GAでも可能である。
Of course, face-up and face-down can be adopted, and CSP, B
GA is also possible.

【0049】図9、図10、図11は、ICカードにつ
いて説明したものである。これは金属ケース47の中に
回路素子が半田付けされたプリント基板48が入ったも
ので、このケース47からの光の出入り口は、口が開い
ているか、または透過な材料、例えばガラスやプラスチ
ックが設けられている。光半導体装置50は、ここで
は、基板と一緒にモールドしたものが示されているが、
図1のような部品を実装したものでも良い。図10は、
ICカードの概略平面図を示したもので、右側より、光
が発光されて外部に発射され、また外部からの光を取り
入れ、光ICで光信号を電気信号に変えている。この変
換された信号は、例えばフラッシュメモリ、FRAM等
のメモリに記憶される。
FIGS. 9, 10, and 11 illustrate the IC card. This is a case in which a printed circuit board 48 to which circuit elements are soldered is placed in a metal case 47, and the entrance of light from the case 47 is open or a transparent material such as glass or plastic. Is provided. Although the optical semiconductor device 50 is shown here molded together with the substrate,
A component as shown in FIG. 1 may be mounted. FIG.
FIG. 1 is a schematic plan view of an IC card, in which light is emitted from the right side and emitted to the outside, and light from outside is taken in, and an optical signal is converted into an electric signal by an optical IC. The converted signal is stored in a memory such as a flash memory and an FRAM.

【0050】図11は、ICカードの使用方法を説明し
たもので、パーソナルコンピュータ48とICカード4
9のIrDAを実現させたものである。ICカードの電
源としては、ICカード内に電池を内蔵させたもの、コ
イルを用いて電磁誘導したもの等が考えられる。また光
は、データー量が多くスピードも早いため、高速の光通
信が可能となる。更には、電気信号のやりとりと違い、
信号のための電気的接続は不要となるため、電気的接続
不良による信頼性低下が全くなくなる。
FIG. 11 illustrates a method of using an IC card.
9 realizes IrDA. As a power source of the IC card, a power source in which a battery is built in the IC card, a power source in which electromagnetic induction is performed using a coil, and the like can be considered. In addition, light has a large amount of data and a high speed, so that high-speed optical communication is possible. Furthermore, unlike the exchange of electrical signals,
Since electrical connection for signals is not required, there is no reduction in reliability due to poor electrical connection.

【0051】図12は、サーキットボード50、51に
本光半導体装置52、53を実装したもので、ボード間
の信号のやりとりを実現した構造を示している。また図
1の反射面をハーフミラーとして光信号を上方にも透過
させたものである。ボード54にも光半導体装置55が
実装され、ボード裏面の光半導体装置56と上下方向で
光通信を実現している。従って、水平、上下に配置され
たサーキットボードの信号のやりとりに必要な電気的配
線は、不要となる。
FIG. 12 shows a structure in which the present optical semiconductor devices 52 and 53 are mounted on circuit boards 50 and 51, and a structure in which signals are exchanged between the boards. The optical signal is also transmitted upward using the reflection surface of FIG. 1 as a half mirror. The optical semiconductor device 55 is also mounted on the board 54, and realizes optical communication with the optical semiconductor device 56 on the back surface of the board in the vertical direction. Therefore, electrical wirings necessary for exchanging signals between circuit boards arranged horizontally and vertically are not required.

【0052】図13は、図15の光学媒体の読みとりを
再現したものである。レーザ60から出た光は、本光半
導体装置61のハーフミラーの反射面を介して一端記録
媒体62に飛び、この光が反射してハーフミラーの反射
面を介して光半導体装置の光ICに入り、記録媒体の
1、0の状況を判断する。
FIG. 13 is a reproduction of the reading of the optical medium of FIG. The light emitted from the laser 60 jumps once to the recording medium 62 via the reflection surface of the half mirror of the optical semiconductor device 61, and this light is reflected to the optical IC of the optical semiconductor device via the reflection surface of the half mirror. Then, the status of the recording medium 1 or 0 is determined.

【0053】図14は、光半導体装置63は、封止体に
レーザ64も一体封止されたものであり、発光面、受光
面および媒体は、直線上に配置されたものである。ま
た、図1の左上の様にレーザと受光素子が取り付けら
れ、紙面に対して上方に媒体が取り付けられたトライア
ングル構造では、反射面の角度の調整が必要となる。
FIG. 14 shows an optical semiconductor device 63 in which a laser 64 is also integrally sealed in a sealing body, and a light emitting surface, a light receiving surface and a medium are arranged on a straight line. Further, in a triangle structure in which a laser and a light receiving element are attached as shown in the upper left of FIG.

【0054】最後に金型について説明する。まず光束を
絞るためにレンズLを取り付けた方が良いため、封止体
の側面に図19のようにレンズL2を取り付けた。しか
し以下の問題が有った。つまり中心Pを通るレンズL2
の最端部OS(レンズL2の最大突出点)が、上金型7
1側に有ったため、封止後、封止体が離型できない問題
が発生した。
Finally, the mold will be described. First, since it is better to attach the lens L to narrow the light beam, the lens L2 was attached to the side surface of the sealing body as shown in FIG. However, there were the following problems. That is, the lens L2 passing through the center P
Of the upper mold 7 (the maximum projecting point of the lens L2)
Due to the presence on the first side, there was a problem that the sealed body could not be released after sealing.

【0055】この問題は、図16の従来構造では発生し
なかった。つまりレンズの最端部OSに対応する部分
は、上に向いているため離型性については全く考慮する
必要がなかった。
This problem did not occur in the conventional structure shown in FIG. That is, since the portion corresponding to the end portion OS of the lens faces upward, there is no need to consider the releasability at all.

【0056】本光半導体装置は、光路の位置決め精度、
また実装基板を下金型70に当接する等の制約条件から
どうしても上金型71と下金型70にまたがるようにレ
ンズLを形成しなければならない。
The present optical semiconductor device has an optical path positioning accuracy,
In addition, the lens L must be formed so as to straddle the upper mold 71 and the lower mold 70 due to constraints such as contact of the mounting substrate with the lower mold 70.

【0057】従って、図18のようにレンズL1の最端
部OSと上下金型70、71の接合面72は、一致させ
る必要がある。また反射面26は、レンズL1の下端部
Vと焦点をPを結ぶ線分R2が交差するように深く形成
しなければならない。図では、焦点が半導体チップの表
面に一致するように形成しているが、ある面積を有した
スポット上にするには、焦点Pから若干前後させる必要
があり、その場合も線分R2は反射面と交差するように
形成されなければならない。ここでR1、R2は、球面
L1の半径と成る。
Therefore, as shown in FIG. 18, the end surface OS of the lens L1 and the bonding surface 72 of the upper and lower molds 70 and 71 need to be aligned. The reflecting surface 26 must be formed deeply so that a line segment R2 connecting the lower end V of the lens L1 and the focal point P intersects. In the figure, the focal point is formed so as to coincide with the surface of the semiconductor chip. However, it is necessary to move the focal point slightly from the focal point P on a spot having a certain area. Must be formed to intersect the plane. Here, R1 and R2 are the radius of the spherical surface L1.

【0058】また一般に、リード22は、モールドする
際、下金型70に埋め込まれる。また樹脂バリを考える
と、リード22の表面と接合面は、一致させる必要があ
る。従って、最端部OSの位置とリード22の表面は、
仮想的に同一平面を構成する必要がある。
Generally, the leads 22 are embedded in the lower mold 70 when molding. Also, in consideration of resin burrs, the surface of the lead 22 and the bonding surface need to be aligned. Accordingly, the position of the end portion OS and the surface of the lead 22 are:
It is necessary to virtually configure the same plane.

【0059】これにより、封止された光半導体装置は、
金型からの離型が容易となる。
As a result, the sealed optical semiconductor device becomes
Release from the mold becomes easy.

【0060】[0060]

【発明の効果】本発明によれば、 第1に、反射面を設
けることで光を側面に入射させることができ、しかも金
型の接合部にレンズの最端部を位置させることで、本光
半導体装置の離型性を向上させることができる。
According to the present invention, first, by providing a reflecting surface, light can be made incident on the side surface, and furthermore, by positioning the extreme end of the lens at the joint of the mold, the present invention can be applied. The mold releasability of the optical semiconductor device can be improved.

【0061】第2に、反射面を設けることで光を側面か
ら発射さることができ、しかも金型内で成型された本光
半導体装置の離型性を向上させることができる。
Second, by providing a reflecting surface, light can be emitted from the side surface, and the releasability of the optical semiconductor device molded in a mold can be improved.

【0062】第3に、レンズの最下端部と前記レンズの
焦点で形成される仮想線分を、前記反射面と交差させる
事で、効率の良い反射が実現できる。
Third, by making a virtual line segment formed by the lowermost end of the lens and the focal point of the lens intersect with the reflection surface, efficient reflection can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態である光半導体装置の説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an optical semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の溝の説明をする図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a groove in FIG. 1;

【図3】本発明の実施の形態である光半導体装置の説明
図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an optical semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【図4】図3に用いたリードフレームを説明する図であ
る。
FIG. 4 is a diagram illustrating a lead frame used in FIG. 3;

【図5】反射面を構成する手段を説明したものである。FIG. 5 is a view for explaining means for forming a reflection surface.

【図6】ハイブリッド基板に応用した際の図である。FIG. 6 is a diagram when applied to a hybrid substrate.

【図7】セラミックパッケージに応用した際の図面であ
る。
FIG. 7 is a drawing when applied to a ceramic package.

【図8】カンタイプのパッケージに応用した際の図面で
ある。
FIG. 8 is a drawing when applied to a can type package.

【図9】ICカードに応用したときの図である。FIG. 9 is a diagram when applied to an IC card.

【図10】図9の概略平面図を説明したものである。FIG. 10 is a schematic plan view of FIG. 9;

【図11】ICカードとコンピュータの関係を説明した
図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a relationship between an IC card and a computer.

【図12】三次元に配置したサーキットボードに本光半
導体装置を実装した図である。
FIG. 12 is a diagram in which the present optical semiconductor device is mounted on a circuit board arranged three-dimensionally.

【図13】本発明の光半導体装置を光ピックアップに応
用した図である。
FIG. 13 is a diagram in which the optical semiconductor device of the present invention is applied to an optical pickup.

【図14】本発明の光半導体装置を光ピックアップに応
用した図である。
FIG. 14 is a diagram in which the optical semiconductor device of the present invention is applied to an optical pickup.

【図15】従来の光半導体装置と光学機器を組んだ概略
図である。
FIG. 15 is a schematic view showing a combination of a conventional optical semiconductor device and an optical device.

【図16】従来の光半導体装置の概略図である。FIG. 16 is a schematic view of a conventional optical semiconductor device.

【図17】従来の光半導体装置をサーキットボードに取
り付けた図である。
FIG. 17 is a diagram in which a conventional optical semiconductor device is mounted on a circuit board.

【図18】本光半導体装置の封止方法を説明する図であ
る。
FIG. 18 is a diagram illustrating a method for sealing the optical semiconductor device.

【図19】本光半導体装置の封止方法に於ける問題点を
説明する図である。
FIG. 19 is a view for explaining a problem in the method for sealing the optical semiconductor device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井野口 浩 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 石川 勉 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 新井 政至 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 小堀 浩 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 瀬山 浩樹 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 Fターム(参考) 5F088 AA03 BA15 BA18 BA20 BB01 EA07 EA09 JA02 JA06 JA10 JA11 JA12 LA01  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Inoguchi 2-5-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Tsutomu Ishikawa 2-5-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka No. 5 Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Masatoshi Arai 2-5-2-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka Pref. Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Hiroshi Kobori, Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka 2-5-5 Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Hiroki Seyama 2-5-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka F-term in Sanyo Electric Co., Ltd. 5F088 AA03 BA15 BA18 BA20 BB01 EA07 EA09 JA02 JA06 JA10 JA11 JA12 LA01

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面を受光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差する位置
に設けられ、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面
と、前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状
のレンズとを有し、 前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と前記樹脂
封止体を封止する上下金型の接合部は、実質一致するこ
とを特徴とした光半導体装置。
1. A semiconductor chip having an upper surface as a light receiving surface, a resin sealing member for sealing the semiconductor chip and transparent to at least a predetermined light, and provided at a position intersecting a perpendicular to the light receiving surface. A reflecting surface provided on the resin sealing body, and a convex lens formed by integral molding on a side surface of the resin sealing body, and an end portion along a direction in which the lens projects. And an upper and lower mold part for sealing the resin sealing body substantially coincides with each other.
【請求項2】 上面を発光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差し、前記
樹脂封止体に設けられて成る反射面と、前記樹脂封止体
の側面に一体成型で形成された凸状のレンズとを有し、 前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と前記樹脂
封止体を封止する上下金型の接合部は、実質一致するこ
とを特徴とした光半導体装置。
2. A semiconductor chip having an upper surface as a light emitting surface, sealing the semiconductor chip, a resin sealing body transparent to at least a predetermined light, and intersecting a perpendicular line of the light receiving surface, and forming the resin sealing member. A reflecting surface provided on a stationary body, and a convex lens formed by integral molding on a side surface of the resin sealing body; an end portion along a direction in which the lens protrudes; An optical semiconductor device characterized in that the joining portions of the upper and lower molds for sealing the stopper substantially coincide with each other.
【請求項3】 前記樹脂封止体は、リードを有し、実質
リードの上面と前記最端部とは同一面を構成する請求項
1または2記載の光半導体装置。
3. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein the resin sealing body has a lead, and an upper surface of the substantial lead and the outermost end form the same plane.
【請求項4】 前記レンズの最下端部と前記レンズの焦
点で形成される仮想線分は、前記反射面と交差する請求
項1、2または3記載の光半導体装置。
4. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein an imaginary line segment formed by a lowermost end of said lens and a focal point of said lens intersects with said reflection surface.
【請求項5】 受光面(または発光面)を有する半導体
チップが少なくとも固着された実装基板を下金型に配置
し、 下金型と接合する上金型と前記下金型を接合し、 前記上金型と前記下金型とで成る空間に、少なくとも所
定の光に対して透明な樹脂を注入して前記半導体チップ
を封止する光半導体装置の製造方法に於いて、 前記上金型には、受光面(または発光面)の垂線と交差
する位置に設けられ、前記樹脂封止体に設けられる反射
面となる部分が設けられ、 前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成されるレンズの
飛び出しに方向に沿った最端部と上金型または下金型の
接合部を実質一致させた状態で封止し、 後に、前記光半導体装置を金型から離型することを特徴
とした光半導体装置の製造方法。
5. A mounting substrate on which at least a semiconductor chip having a light receiving surface (or a light emitting surface) is fixed is disposed in a lower die, and an upper die and a lower die are bonded to the lower die. In a method for manufacturing an optical semiconductor device for sealing a semiconductor chip by injecting a resin transparent to at least predetermined light into a space formed by an upper mold and the lower mold, Is provided at a position that intersects a perpendicular line of the light receiving surface (or light emitting surface), a portion serving as a reflection surface provided on the resin sealing body is provided, and is formed by integral molding on a side surface of the resin sealing body. The optical semiconductor device is sealed in a state where the end portion along the direction in which the lens protrudes and the joining portion of the upper mold or the lower mold are substantially matched, and thereafter, the optical semiconductor device is released from the mold. Of manufacturing an optical semiconductor device.
JP10245241A 1998-04-16 1998-08-31 Photo semiconductor device and its manufacture Pending JP2000077683A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10245241A JP2000077683A (en) 1998-08-31 1998-08-31 Photo semiconductor device and its manufacture
US09/291,202 US6252252B1 (en) 1998-04-16 1999-04-14 Optical semiconductor device and optical semiconductor module equipped with the same
KR10-1999-0013419A KR100459347B1 (en) 1998-04-16 1999-04-15 Optic semiconductor device and optic semiconductor module mounting optic semiconductor device
CNB991048911A CN1175497C (en) 1998-04-16 1999-04-16 Optical semiconductor device and optical semiconductor module assemblied using same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10245241A JP2000077683A (en) 1998-08-31 1998-08-31 Photo semiconductor device and its manufacture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000077683A true JP2000077683A (en) 2000-03-14

Family

ID=17130767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10245241A Pending JP2000077683A (en) 1998-04-16 1998-08-31 Photo semiconductor device and its manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000077683A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100714738B1 (en) * 2001-10-23 2007-05-04 덴끼 가가꾸 고교 가부시키가이샤 Cement admixture, cement composition, and cement concrete made therefrom
JP2009014901A (en) * 2007-07-03 2009-01-22 Totoku Electric Co Ltd Liquid crystal display unit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100714738B1 (en) * 2001-10-23 2007-05-04 덴끼 가가꾸 고교 가부시키가이샤 Cement admixture, cement composition, and cement concrete made therefrom
JP2009014901A (en) * 2007-07-03 2009-01-22 Totoku Electric Co Ltd Liquid crystal display unit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100459347B1 (en) Optic semiconductor device and optic semiconductor module mounting optic semiconductor device
US6754407B2 (en) Flip-chip package integrating optical and electrical devices and coupling to a waveguide on a board
US7302125B2 (en) Optical device and optical apparatus
JP3109885B2 (en) Optical semiconductor device
JP2000077683A (en) Photo semiconductor device and its manufacture
JP2000004067A (en) Optical semiconductor device and optical semiconductor module mounted with the same
JP2000077687A (en) Optical semiconductor device
CN101615399B (en) Optical module and optical pickup apparatus
JPH08330635A (en) Light-emitting device
JP2000077791A (en) Electronic device and optical semiconductor device
JP2000133822A (en) Optical semiconductor device
TW406439B (en) Photo semiconductor device and a semiconductor module having such photo semiconductor device
JP2000077686A (en) Mounting structure of semiconductor device
JPH1069674A (en) Optical pickup device
JP3976420B2 (en) Optical semiconductor device
JP2000077688A (en) Optical semiconductor device
JP2000077689A (en) Optical semiconductor device and module thereof
JP3976419B2 (en) Optical semiconductor device
JP2001014720A (en) Optical pickup device
JP4159147B2 (en) Semiconductor device
JP4301588B2 (en) Photocoupler device
JP3469776B2 (en) Optical semiconductor device
JP3762545B2 (en) Optical semiconductor device
JP2000133835A (en) Optical semiconductor device
JPH10256595A (en) Semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040714

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20051227

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070328

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070424

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070904