JP2000074851A

JP2000074851A - 塗布層の検査方法及び装置

Info

Publication number: JP2000074851A
Application number: JP10260824A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Morikawa; 雅弘森川; Kazumi Furuta; 和三古田
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1998-08-31
Filing date: 1998-08-31
Publication date: 2000-03-14

Abstract

(57)【要約】【課題】塗布層の放射温度を計測することにより該塗布
層の検査を行うに際し、塗布前の塗布液とウェブとの温
度差が存在していなくても、塗布層の欠陥を検出するこ
とができると共に、塗布工程を経た後の搬送過程で形成
される塗布層の欠陥をも検出することのできる塗布層の
検査方法及び塗布層の形成装置を提供することにある。【解決手段】塗布層の検査方法は、連続して走行する支
持体１上に塗布液３Ａを塗布して塗布層３Ｂを塗設する
塗布工程と、該塗布層３Ｂを乾燥させる乾燥工程５とを
少なくとも経由することにより前記支持体１上に形成さ
れる塗布層３Ｂを検査する方法であって、前記乾燥工程
５途上にある塗布層３Ｂの放射温度を計測することによ
り該塗布層３Ｂの欠陥を検出することを特徴とし、塗布
層の形成装置は、上記乾燥工程５中に、該乾燥工程５途
上にある塗布層３Ｂの放射温度を計測することにより該
塗布層３Ｂの欠陥を検出するための放射温度計６を配置
したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、連続して走行する
支持体上に形成される塗布層の検査方法及び装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】写真用フィルム等の感光材料は、連続し
て走行する帯状の支持体（以下、ウェブという）上に、
例えばスライドホッパ方式により感光性材料からなる塗
布液を単層若しくは同時に多層塗布することにより塗布
層を形成することによって製造される。

【０００３】この製造過程において、塗布層にゴミが付
着していたり、塗布層内に気泡や異物が存在していた
り、或いはウェブ上に塗布液を塗布する塗布装置自体の
異常により塗布液切れ等が発生したりすると、これが原
因で感光材料の塗布層に欠陥が発生する。

【０００４】このため、従来から、ウェブ上に塗布層を
形成した後に該塗布層の表面を検査することによりその
欠陥箇所を検出する検査方法が種々提案されており、代
表的なものとしては、塗布層に光学系を走査してその反
射光を受光し、各走査位置での光量変化によって塗布層
の欠陥を検出する技術が知られている。

【０００５】しかしながら、かかる欠陥検査方法におい
て感光材料の欠陥検査を行う場合、感光材料を感光させ
ない波長及び照射量の光を用いて検査する必要があり、
利用できる検査光が自ずと限定される。特に、感光材料
の分野においては色の再現性の更なる向上が図られつつ
あり、近時、Ｂ層（青感光性層）、Ｇ層（緑感光性
層）、Ｒ層（赤感光性層）の可視光波長に感光波長域を
持つ感光層に加え、非可視光波長に感光波長域を持つ赤
外感光性層（ＩＥＬ層）をも有する感光材料が出現する
に及んでいる。このため、検査光を照射することによる
検査方法は一層慎重に行われなくてはならない状況にあ
る。

【０００６】ところで、従来では、塗布層に光学系を走
査させずに該塗布層の欠陥検査を行うことができるよう
にした検査方法が特開平８−３３８８１１号公報におい
て提案されている。この検査方法は、高温の塗布液を塗
布した直後の比較的温度が高い状態にある塗布層と、該
塗布層よりも温度の低い（常温）のウェブとの温度差に
着目し、塗布液を塗布した直後のウェブ走行路後流側に
放射温度計を配置して、この放射温度計によって塗布直
後の依然高温状態にある塗布層表面の放射温度を計測
し、塗布液切れ等によりウェブが露出した欠陥部位を低
温部位として検出することによって塗布層の欠陥を検出
するようにしたものであり、ウェブと塗布層との温度差
に基づくことにより光学系を走査する必要なく塗布層の
検査を行える利点がある。

【０００７】かかる放射温度計を用いた検査方法では、
高温の塗布層と常温のウェブとの温度差の存在が必要不
可欠の条件であり、この温度差が存在していなくては欠
陥を検出することができない。従って、塗布層を構成す
る塗布液としてウェブとの温度差がほとんど存在しない
ものを用いる場合には適用できなかった。しかも、塗布
直後の依然高温状態にある塗布層表面の温度を計測する
必要性から、放射温度計は塗布工程中において塗布液を
塗布した直後に配置しなくてはならない。この塗布工程
を経て塗布層が塗設されたウェブは、その後長い距離に
亘って搬送されていくが、上述の検査方法によって検査
され得るのは、塗布工程における塗布液を塗布した直後
の塗布層のみであり、塗布工程を経た後の搬送過程で形
成される塗布層のスクレイプ等の欠陥を検出することは
不可能であった。

【０００８】一方、ウェブ表面の塗布層に光学系を走査
して欠陥を検査する技術に着目すると、感光材料の検査
を行う場合には、感光材料の感光波長域内の波長を有す
る検査光では、感光材料の感光層内に検査光が潜り込む
ことによって感光させ、感光材料にカブリを発生させて
しまう。このため、光量を感光材料を感光させない程度
の数μｗオーダーまで下げて使用せざるを得なかった。
しかし、光量を下げると、受光に十分な光量が得られな
いためにｓ／ｎ比を稼ぐことができず、光量変化を満足
に検出することができないことにより塗布層の欠陥を検
出することができないという問題がある。

【０００９】また、感光材料の感光層が感光しない波長
を有する検査光を選択して検査を行う場合では、従来、
検査光として非可視光波長が専ら用いられてきたが、前
記したＢ層（青感光性層）、Ｇ層（緑感光性層）、Ｒ層
（赤感光性層）の可視光波長に感光波長域を持つ感光層
に加え、非可視光波長に感光波長域を持つ赤外感光性層
（ＩＥＬ層）をも有する感光材料（ＩＥＬ感材）に対し
ては、光源波長域とＩＥＬ層の感光波長域とが合致して
しまい、感光材料の機能を損なわせてしまう虞れがあ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の第一の目的
は、塗布層の放射温度を計測することにより該塗布層の
検査を行うに際し、塗布前の塗布液とウェブとの温度差
が存在していなくても、塗布層の欠陥を検出することが
できると共に、塗布工程を経た後の搬送過程で形成され
る塗布層の欠陥をも検出することのできる塗布層の検査
方法及び装置を提供することにある。

【００１１】本発明の第二の目的は、感光材料の感光波
長域内の波長を有する検査光を用いても、検査光の光量
を下げる必要なく且つ感光材料を感光させずに塗布層の
検査を行うことができる塗布層の検査方法及び装置を提
供することにある。

【００１２】本発明の三の目的は、可視光波長に感光波
長域を持つ感光層に加え、赤外光側の非可視光波長に感
光波長域を持つ感光層をも有する感光材料に対して、感
光材料の機能を損なわせずに、その表面の塗布層の検査
を行うことができる塗布層の検査方法及び装置を提供す
ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の塗布層の
検査方法は、連続して走行する支持体上に塗布液を塗布
して塗布層を塗設する塗布工程と、該塗布層を乾燥させ
る乾燥工程とを少なくとも経由することにより前記支持
体上に形成される塗布層を検査する方法であって、前記
乾燥工程途上にある塗布層の放射温度を計測することに
より該塗布層の欠陥を検出することを特徴とする。

【００１４】請求項２記載の塗布層の検査方法は、請求
項１記載の方法において、前記塗布層の欠陥は、塗布層
の放射温度を計測した計測値の高温部位であることであ
る。

【００１５】請求項３記載の塗布層の検査方法は、請求
項１又は２記載の方法において、前記乾燥工程における
恒率乾燥区間にある塗布層の放射温度を計測することを
特徴とする。

【００１６】請求項４記載の塗布層の検査方法は、請求
項１又は２記載の方法において、前記乾燥工程における
減率乾燥区間にある塗布層の放射温度を計測することを
特徴とする。

【００１７】請求項５記載の塗布層の形成装置は、連続
して走行する支持体上に塗布液を塗布して塗布層を塗設
する塗布工程と、該塗布層を乾燥させる乾燥工程とを少
なくとも有し、前記支持体上に塗布層を形成する塗布層
の形成装置であって、上記乾燥工程中に、該乾燥工程途
上にある塗布層の放射温度を計測することにより該塗布
層の欠陥を検出するための放射温度計を配置したことを
特徴とする。

【００１８】請求項６記載の塗布層の形成装置は、請求
項５記載の装置において、前記塗布層の欠陥は、塗布層
の放射温度を計測した計測値の高温部位であることであ
る。請求項７記載の塗布層の形成装置は、請求項５又は
６記載の装置において、前記乾燥工程における恒率乾燥
区間に放射温度計を配置したことを特徴とする。

【００１９】請求項８記載の塗布層の形成装置は、請求
項５又は６記載の装置において、前記乾燥工程における
減率乾燥区間に放射温度計を配置したことを特徴とす
る。

【００２０】請求項９記載の塗布層の検査方法は、ロー
ルに支持されて連続して走行する支持体上に塗設された
塗布層表面へ向けて検査光を照射し、その反射光を受光
部で受光することにより該塗布層表面を検査する塗布層
の検査方法において、前記ロール上に位置する塗布層表
面に対して前記検査光を偏向手段を介して８０°以上の
入射角度で照射する一方、前記支持体を支持するロール
の回転振動に伴う変位量を検出し、その検出結果を前記
偏向手段にフィードバックして前記検査光の照射位置を
補正することを特徴とする。

【００２１】請求項１０記載の塗布層の検査方法は、請
求項９記載の方法において、前記検査光として、Ｓ偏向
されたレーザー光を用いることを特徴とする。

【００２２】請求項１１記載の塗布層の検査方法は、請
求項９又は１０記載の方法において、前記偏向手段とし
て、ファラデー素子又は音響光学効果素子を用いたこと
を特徴とする。

【００２３】請求項１２記載の塗布層の検査方法は、請
求項９、１０又は１１記載の方法において、支持体上に
塗設された塗布層を乾燥させる乾燥工程途上の恒率乾燥
区間において行うことを特徴とする。

【００２４】請求項１３記載の塗布層の検査装置は、ロ
ールに支持されて連続して走行する支持体上に塗設され
た塗布層表面へ向けて検査光を照射し、その反射光を受
光部で受光することにより塗布層表面を検査する塗布層
の検査装置において、前記ロール上に位置する塗布層表
面に対して前記検査光を偏向手段を介して８０°以上の
入射角度で照射する投光手段と、前記支持体を支持する
ロールの回転振動に伴う変位量を検出するロール変位検
出手段と、その検出結果を前記偏向手段にフィードバッ
クして検査光の照射位置を補正する補正手段とを有する
ことを特徴とする。

【００２５】請求項１４記載の塗布層の検査装置は、請
求項１３記載の装置において、前記検査光は、Ｓ偏向さ
れたレーザー光であることを特徴とする。

【００２６】請求項１５記載の塗布層の検査装置は、請
求項１３又は１４記載の装置において、前記偏向手段
は、ファラデー素子又は音響光学効果素子であることを
特徴とする。

【００２７】請求項１６記載の塗布層の検査装置は、請
求項１３、１４又は１５記載の装置において、支持体上
に塗設された塗布層を乾燥させる乾燥工程途上の恒率乾
燥区間に配置したことを特徴とする。

【００２８】請求項１７記載の塗布層の検査方法は、ロ
ールに支持されて連続して走行する支持体上に塗設され
た塗布層表面へ向けて検査光を照射し、その反射光を受
光部で受光することにより塗布層表面を検査する塗布層
の検査方法において、前記ロール上に位置する塗布層表
面に対して前記検査光を偏向手段を介して８０°以上の
入射角度で照射する一方、その反射光を受光した際の入
射位置から前記ロールの回転振動に伴う変位量を検出
し、その検出結果を前記偏向手段にフィードバックして
前記検査光の照射位置を補正することを特徴とする。

【００２９】請求項１８記載の塗布層の検査方法は、請
求項１７記載の方法において、前記受光部は支持体の幅
方向に亘って延在し、該受光部の受光中心軸の両端部に
それぞれ位置検出素子を装着し、該位置検出素子によっ
て反射光の入射位置を検出することを特徴とする。

【００３０】請求項１９記載の塗布層の検査方法は、請
求項１７又は１８記載の方法において、前記検査光とし
て、Ｓ偏向されたレーザー光を用いることを特徴とす
る。

【００３１】請求項２０記載の塗布層の検査方法は、請
求項１７、１８又は１９記載の方法において、前記偏向
手段として、ファラデー素子又は音響光学効果素子を用
いたことを特徴とする。

【００３２】請求項２１記載の塗布層の検査方法は、請
求項１７、１８、１９又は２０記載の方法において、支
持体上に塗設された塗布層を乾燥させる乾燥工程途上の
恒率乾燥区間において行うことを特徴とする。

【００３３】請求項２２記載の塗布層の検査装置は、ロ
ールに支持されて連続して走行する支持体上に塗設され
た塗布層表面へ向けて検査光を照射し、その反射光を受
光部で受光することにより塗布層表面を検査する塗布層
の検査装置において、前記ロール上に位置する塗布層表
面に対して前記検査光を偏向手段を介して８０°以上の
入射角度で照射する投光手段と、その反射光を受光して
その入射位置から前記ロールの回転振動に伴う変位量を
検出する入射位置検出手段と、その検出結果を前記偏向
手段にフィードバックして前記検査光の照射位置を補正
する補正手段とを有することを特徴とする。

【００３４】請求項２３記載の塗布層の検査装置は、請
求項２２記載の装置において、前記受光部は支持体の幅
方向に亘って延在し、前記受光位置検出手段は、該受光
部の受光中心軸の両端部にそれぞれ位置検出素子を装着
してなるものであることを特徴とする。

【００３５】請求項２４記載の塗布層の検査装置は、請
求項２２又は２３記載の装置において、前記検査光は、
Ｓ偏向されたレーザー光であることを特徴とする。

【００３６】請求項２５記載の塗布層の検査装置は、請
求項２２、２３又は２４記載の装置において、前記偏向
手段は、ファラデー素子又は音響光学効果素子であるこ
とを特徴とする。

【００３７】請求項２６記載の塗布層の検査装置は、請
求項２２、２３、２４又は２５記載の装置において、支
持体上に塗設された塗布層を乾燥させる乾燥工程途上の
恒率乾燥区間に配置したことを特徴とする。

【００３８】請求項２７記載の塗布層の検査方法は、支
持体上に赤外光側の非可視光波長に感光波長領域を持つ
層を有する感光材料に対し、８００ｎｍ以上の波長を有
する検査光を用いて塗布層の検査を行うことを特徴とす
る。

【００３９】請求項２８記載の塗布層の検査方法は、請
求項２７記載の方法において、８３０ｎｍ以上の波長を
有する検査光を用いることを特徴とする。

【００４０】請求項２９記載の塗布層の検査方法は、請
求項２７記載の方法において、９５０ｎｍ以上の波長を
有する検査光を用いることを特徴とする。

【００４１】請求項３０記載の塗布層の検査装置は、支
持体上に赤外光側の非可視光波長に感光波長領域を持つ
層を有する感光材料に対し、８００ｎｍ以上の波長を有
する検査光を照射する投光手段を有することを特徴とす
る。

【００４２】請求項３１記載の塗布層の検査装置は、請
求項３０記載の装置において、８３０ｎｍ以上の波長を
有する検査光を照射する投光手段を有することを特徴と
する。

【００４３】請求項３２記載の塗布層の検査装置は、請
求項３０記載の装置において、９５０ｎｍ以上の波長を
有する検査光を照射する投光手段を有することを特徴と
する。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。

【００４５】まず、請求項１〜８の塗布層の検査方法及
び塗布層の形成装置について説明する。

【００４６】図１は、塗布層形成装置の概要を説明する
構成図である。図中、１はウェブ（支持体）であり、図
示しない駆動手段によりバックロール２Ａを介して図示
右方向に所定の速度で連続して走行し、最終的に巻取ロ
ール２Ｂによって巻き取られるようになっている。３は
コーティングヘッドであり、図示しない供給手段によっ
て１種又は２種以上の塗布液３Ａが供給され、それらが
単層又は多層状をなして、上記バックロール２Ａ近傍位
置において、連続して走行する上記ウェブ１表面に塗布
するようになっている。これによって該ウェブ１上に塗
布層３Ｂが塗設される塗布工程を構成している。

【００４７】上記塗布工程の後にセット工程４が設けら
れており、塗布工程を経て塗布層３Ｂが塗設されたウェ
ブ１はこのセット工程４に搬入される。このセット工程
４は冷却手段（図示せず）を有しており、塗布工程でウ
ェブ１上に塗設された塗布層３Ｂを冷却するようになっ
ている。

【００４８】セット工程４の下流側に乾燥工程５が設け
られ、セット工程４を経て塗布層３Ｂが冷却されたウェ
ブ１が搬入される。乾燥工程５では、所定温度に加熱さ
れた乾燥風をウェブ１表面に吹き付けることにより、該
ウェブ１上に塗設された塗布層３Ｂを乾燥させ、該塗布
層３Ｂをウェブ１上に固定させるようになっている。

【００４９】この乾燥工程５には放射温度計６が配置さ
れている。この放射温度計６は、乾燥工程５中を走行し
ている塗布層３Ｂが塗設されたウェブ１の表面から放射
される熱エネルギーを検出し、その温度を該乾燥工程５
途上において非接触で測定する温度計である。図２に示
すように、放射温度計６は、乾燥工程５中を走行するウ
ェブ１の幅方向に亘って架設されたガイドレール６Ａに
スライド移動可能に支持されると共に、駆動手段（図示
せず）からの駆動力を受けて該ガイドレール６Ａに沿っ
て所定の速度で往復移動される。放射温度計６のこの往
復移動により、ウェブ１の表面がその幅方向に沿って走
査され、該ウェブ１表面から放射される熱エネルギーを
計測するようになっている。

【００５０】この放射温度計６で計測されたウェブ１の
表面温度の計測値は制御部７に出力される。この制御部
７では、前記計測値に基づいてウェブ１上の塗布層３Ｂ
の欠陥の有無を検出し、更にその位置を特定して記憶す
る。これにより必要に応じてウェブ１の搬送を停止した
り、或いは後工程において欠陥の位置情報に基づいて欠
陥部位を排除するための指令を出力したりする。

【００５１】次に、検査方法について説明すると、塗布
工程において塗布層３Ｂが塗設されたウェブ１がセット
工程４を経てその塗布層３Ｂが冷却され、乾燥工程５に
搬入されると、該乾燥工程５において所定温度に加熱さ
れた乾燥風がその表面に吹き付けられ、塗布層３Ｂの乾
燥が開始される。そして、この乾燥工程５途上におい
て、ウェブ１が放射温度計６の下方を通過するタイミン
グで該放射温度計６をガイドレール６Ａに沿ってウェブ
１の幅方向に往復移動し、その表面温度を走査計測して
制御部７に計測値を出力する。

【００５２】制御部７では、放射温度計６からの計測値
を片道分毎に記憶し、その計測値を微分して塗布層３Ｂ
の欠陥の有無を検出する。このとき、塗布層３Ｂの表面
に塗布液切れ等の欠陥ｅが存在すると、該欠陥ｅは塗布
層３Ｂの放射温度を計測した計測値の高温部位となって
検出される。

【００５３】すなわち、乾燥工程５では、ウェブ１上に
形成された塗布層３Ｂ中の含有水分が徐々に蒸発してい
き、その結果、塗布層３Ｂはウェブ１上に固定される。
この時、ウェブ１及び塗布層３Ｂの双方とも所定の乾燥
風温度に晒されることになるが、ウェブ１はこの乾燥風
温度まで上昇する一方で、塗布層３Ｂは含有水分の蒸発
により蒸発潜熱を奪われるので、ウェブ１に比較して温
度上昇勾配が緩やかとなり、このウェブ１と塗布層３Ｂ
との温度上昇勾配の相違により該ウェブ１と塗布層３Ｂ
との間には温度差が生じることとなる。この塗布層３Ｂ
に塗布液切れ等の欠陥ｅが存在すると、該欠陥ｅには蒸
発潜熱が奪われることにより温度上昇勾配が緩やかな塗
布層３Ｂに比べて表面温度の高いウェブ１が一部露出す
るため、このウェブ１と塗布層３Ｂとの温度差によっ
て、塗布層３Ｂの計測値とウェブ１の計測値との異なる
温度の計測値が混在し、その結果、図３に示すように、
このウェブ１が一部露出する欠陥ｅは放射温度計６によ
る計測値の高温部位として検出される。従って、たとえ
塗布前の塗布液３Ａとウェブ１との間に予め温度差が存
在していなくても、また、セット工程４を経ることによ
り塗布層３Ｂが冷却された後であっても、この乾燥工程
５中においてウェブ１表面の放射温度を計測することに
より、ウェブ１と塗布層３Ｂとの温度差に基づいて塗布
層３Ｂの欠陥を検出することが可能となる。

【００５４】かかる検査方法によれば、放射温度計６に
より塗布層３Ｂの放射温度を計測するのは、塗布工程か
ら長い距離を経た乾燥工程５途上であり、同じく放射温
度計により塗布層の放射温度を計測して検査するもので
ありながら、従来技術とは異なり、塗布液を塗布した直
後の塗布工程中で塗布層３Ｂの表面温度を計測する必要
がないため、塗布工程を経てから乾燥工程５に至る間に
形成された塗布層３Ｂ表面のスクレイプ等の欠陥をも検
出することが可能となる。

【００５５】この放射温度計６による放射温度の計測
は、該放射温度計６を塗布層３Ｂの形成装置における乾
燥工程５中の恒率乾燥区間に配置して行うと好ましい結
果が得られる。すなわち、恒率乾燥区間は乾燥工程５に
おける初期の段階であり、単位時間当り加えた熱量に応
じて塗布層３Ｂ中の含有水分が一定量ずつ蒸発していく
比較的乾燥速度の速い区間である。このためウェブ１と
塗布層３Ｂの間の温度上昇勾配の相違はこの区間におい
ては一層顕著に見られ、ウェブ１と塗布層３Ｂとの温度
差が大きくなる。従って、この恒率乾燥区間において塗
布層３Ｂの放射温度を計測するようにすれば、より精度
良く欠陥検出を行うことができる。

【００５６】また、放射温度計６を乾燥工程５中の減率
乾燥区間に配置し、この減率乾燥区間において塗布層３
Ｂの放射温度の計測を行うこともできる。この減率乾燥
区間は乾燥工程５の終了間近の段階である。従って、こ
の区間において塗布層３Ｂの放射温度を計測するように
すれば、塗布工程を経てこの乾燥工程５における終了間
近の減率乾燥区間に至るまでの搬送過程で何らかの原因
により塗布層３Ｂ表面に形成されたスクレイプ等の欠陥
を、ウェブ１と塗布層３Ｂとの温度上昇勾配の相違によ
って生ずる温度差に基づいて検出することができ、放射
温度の計測により欠陥検出するものにおいて、塗布工程
経過後から乾燥工程５終了間近までに発生した欠陥の検
出も可能となるので好ましい。

【００５７】この欠陥ｅの検出の結果、制御部７は、必
要に応じてウェブ１の搬送を停止したり、或いは後工程
において欠陥ｅの位置情報に基づいて欠陥部位を排出す
るための指令を出力する。

【００５８】次に、請求項９〜１６の塗布層の検査方法
及び検査装置について図面に基づいて説明する。

【００５９】図４は、この塗布層の検査方法を実施する
ための好ましい検査装置の実施の形態を示す説明図であ
る。

【００６０】図中、１０はウェブであり、その表面には
図示しない塗布工程によって塗布液が塗設され、塗布層
２０が形成されている。この塗布層２０が形成されたウ
ェブ１０は、支持ロール３０によって支持され、図示し
ない駆動手段により図示右方向に所定の速度で連続して
走行する。

【００６１】本装置は、ウェブ１上に塗設された塗布層
２０表面へ向けて検査光を照射するための投光手段４０
と、その反射光を受光する受光部５０と、支持ロールの
回転振動を検出するためのロール変位検出手段６０とを
有して構成されている。

【００６２】投光手段４０は、検査光としてレーザー光
を発信する投光部４０Ａと、該投光部４０Ａから発信さ
れたレーザー光の光路途上に配置され、所定の速度で回
転するポリゴンミラー４０Ｂと、前記投光部４０Ａとポ
リゴンミラー４０Ｂとの間のレーザー光の光路途上に配
置された偏向手段４０Ｃとからなるフライングスポット
方式の光学系である。

【００６３】投光部４０Ａから発信されたレーザー光
は、偏向手段４０Ｃを介して所定の速度で回転するポリ
ゴンミラー４０Ｂの有効反射面によって反射され、支持
ロール３０上に位置する塗布層２０表面の幅方向に沿っ
て走査される。

【００６４】上記偏向手段４０Ｃは、投光部４０Ａから
発信されたレーザー光の光路を補正するためのものであ
り、後述するロール変位検出手段６０からの検出信号を
受けて、投光部４０Ａから発信されたレーザー光の光路
を補正する。該偏向手段４０Ｃによって光路補正された
レーザー光は、ポリゴンミラー４０Ｂを介して塗布層２
０表面の幅方向に沿って走査される。

【００６５】この偏向手段４０Ｃとしては、ファラデー
素子又は音響光学効果素子を用いることが好ましい。こ
れらファラデー素子や音響光学効果素子は、電気信号に
よるコントロールが可能で制御が容易である。しかも、
応答速度が速く、後述するロール変位検出手段６０によ
って検出される支持ロール３０の偏芯の周波数のよう
な、機械的な偏向手段では追従できないような周波数に
も追従することができる。

【００６６】投光手段４０は、投光部４０Ａからポリゴ
ンミラー４０Ｂを経て照射されるレーザー光の塗布層２
０表面に対する入射角度θが８０°以上となるように配
置されており、従って、この投光手段４０からレーザー
光を、塗布層２０表面に対して８０°以上の入射角度で
照射するようになっている。

【００６７】上記投光手段４０によって塗布層２０表面
に対して８０°以上の入射角度で照射されたレーザー光
は、該塗布層２０表面で反射され、その反射光の光路上
に受光部５０が配置される。受光部５０はウェブ１０の
幅方向に沿って延在し、塗布層２０表面にその幅方向に
沿って走査されたレーザー光の反射光を受光する受光素
子（図示せず）を備え、該受光素子によって受光した受
光信号の光量変化から塗布液切れ、スクレイプ等の塗布
層２０の欠陥を検出する。

【００６８】本検査方法では、このように塗布層２０表
面に対してレーザー光を８０°以上の入射角度で照射す
ることにより、入射角度と反射率との関係を表す図５の
グラフに示すように、塗布層２０表面での表面反射率が
上がり、塗布層２０内に潜り込む光量が１／４以下にま
で減少する。従って、塗布層２０が感光材料の感光層で
ある場合には、感光材料の感光波長域内の波長を有する
検査光を用いても、該感光層が受ける光量が減少するた
め、感光材料を感光させることがなく、しかも受光に必
要な光量を下げることもなく、カブリ安全率を向上させ
ることができる。

【００６９】なお、この入射角度が８０°未満である
と、塗布層２０内に潜り込む光量が大きくなり好ましく
ない。

【００７０】一方、塗布層２０表面に対して照射するレ
ーザー光の入射角度が８０°以上になると、ウェブ１０
を支持する支持ロール３０の回転による振動が大きく影
響してくる。すなわち、支持ロール３０の回転振動に伴
って該支持ロール３０に変位が生じ、図４において鎖線
で示すように塗布層２０表面に照射された反射光の受光
位置が変化してしまい、受光部５０に適正に反射光を位
置させることが困難になる。このため、前記投光手段４
０によってレーザー光が照射される塗布層２０（ウェブ
１０）を支持している支持ロール３０の近傍に、該支持
ロール３０の回転振動に伴う変位量を検出するためのロ
ール変位検出手段６０を設けている。

【００７１】このロール変位検出手段６０は、前記支持
ロール３０に向けてレーザー光を照射する投光器（図示
せず）と、その反射光を受光する受光素子（図示せず）
とを有するレーザー変位計からなり、その投光器から発
信したレーザー光を、走行するウェブ１０を支持してい
る支持ロール３０に向けて照射し、その反射光を受光素
子で捉らえてその受光位置を検出する。支持ロール３０
の回転振動によって該支持ロール３０に変位が発生する
と、受光位置が予め設定された基準点からずれるため、
そのずれ量によって支持ロール３０の変位量を検出する
ことができる。

【００７２】ロール変位検出手段６０は、その検出信号
を前記偏向手段４０Ｃにフィードバックできるように該
偏向手段４０Ｃと連絡されており、ロール変位検出手段
６０からの検出信号を受けた偏向手段４０Ｃは、支持ロ
ール３０の回転振動に伴う変位量に応じてレーザー光の
光路を偏向させるべく作動し、レーザー光の照射位置が
適正な位置となるように補正することができるようにし
ている。

【００７３】これにより、レーザー光の入射角度を８０
°以上としても、支持ロール３０の回転振動による影響
を小さく抑えることができる。

【００７４】ここで用いる検査光としてのレーザー光
は、Ｓ偏向されたものであることが好ましい。図５に示
されるように、Ｓ偏向されたレーザー光は塗布層２０表
面に照射した際の反射率が大きく、従って、検査光とし
てこのＳ偏向されたレーザー光を用いると、受光部５０
が受け取る検査光量が大きくなり、ｓ／ｎ比をより向上
させることができるようになる。

【００７５】また、かかる検査方法は、所定の速度で連
続して走行するウェブ１０を支持している支持ロール３
０上に位置する塗布層２０表面に向けて検査光であるレ
ーザー光を照射することにより行うが、特に、ウェブ１
０上に塗設された塗布層２０を乾燥する乾燥工程途上の
恒率乾燥区間において行うようにすることが好ましい。

【００７６】この恒率乾燥区間は乾燥工程における初期
の段階であり、水分を含有する塗布層２０の表面には水
膜が形成されて鏡面に近い状態にある。従って、この区
間に検査装置を配置させ、区間内を走行しているウェブ
１０の塗布層２０表面にレーザー光を照射して検査を行
うと、レーザー光の反射率が増し、検査光量を十分に確
保することができる。特に、塗布層２０が、その層中に
マット剤粒子が含まれている感光層である場合には、従
来では該マット剤粒子によってレーザー光が散乱してし
まい、その反射光の一部が塗布層２０内に入り込んでし
まう虞れがあるためにレーザー光の光量を下げる必要が
あったが、乾燥工程途上の恒率乾燥区間において検査を
行うことにより、マット剤粒子を含有した塗布層２０で
あってもレーザー光の光量を下げることなく検査を行う
ことができるようになる。

【００７７】次に、請求項１７〜２６の塗布層の検査方
法及び検査装置について説明する。

【００７８】図６は、この塗布層の検査方法を実施する
ための好ましい検査装置の実施の形態を示す説明図であ
る。図４と同一構成は同一符号を付し、その詳細は図４
に示す検査装置と同一であるため説明は省略する。

【００７９】この実施の形態に示す検査装置は、支持ロ
ール３０の回転振動に伴う変位量を検出する手段とし
て、図４に示す検査装置におけるロール変位検出手段６
０の代わりに、投光部４０Ａから塗布層２０表面に向け
て照射したレーザー光の反射光を受光する受光部５０
に、該反射光の入射位置を検出する位置検出手段７０を
設けている。

【００８０】位置検出手段７０は、例えばＰＳＤ（Posi
tion Sensitive Device）等の位置検出素子７１からな
り、図７に示すように、ウェブ１０の幅方向に沿って走
査されるレーザー光を受光するためにウェブの幅方向に
亘って設けられた受光部５０の受光中心軸ｘの両端部に
それぞれ装着されている。このように位置検出素子７１
を、受光部５０の受光中心軸ｘの両端部に装着すること
で、受光部５０の受光面５１を邪魔することがなく、受
光部５０本来の機能を実質的に阻害することなく、支持
ロール３０の回転振動に伴う変位量を検出するための反
射光を捉えることができる。

【００８１】投光手段４０から塗布層２０表面に対して
８０°以上に入射角度で照射され、該塗布層２０の幅方
向に沿って走査されたレーザー光の反射光を、受光部５
０において受光すると同時に、該受光部５０に設けられ
た位置検出素子７１によっても受光し、該位置検出素子
７１においてその入射位置を検出する。このとき、支持
ロール３０の回転振動によって該支持ロール３０に変位
が発生すると、位置検出素子７１によって受光した反射
光の入射位置が予め設定された基準点からずれるため、
そのずれ量を検出することによって支持ロール３０の変
位量を検出することができる。

【００８２】この位置検出手段７０は、その検出信号を
前記偏向手段４０Ｃにフィードバックできるように該偏
向手段４０Ｃと連絡されている。これにより位置検出手
段７０からの検出信号を受けた偏向手段４０Ｃは、位置
検出手段７０から検出信号を受け、支持ロール３０の回
転振動に伴う変位量に応じてレーザー光の光路を偏向さ
せるべく作動し、レーザー光の照射位置が適正な位置と
なるように補正することができるようにしている。

【００８３】この方法によっても、塗布層２０表面に対
するレーザー光の入射角度を８０°以上としても、支持
ロール３０の回転振動による影響を小さく抑えることが
できる。

【００８４】その他の構成及び作用については、図４に
示す検査装置並びに検査方法と同一である。

【００８５】次に、請求項２７〜３２の塗布層の検査方
法及び装置について説明する。

【００８６】ウェブ上に赤外感光性層を塗設した感光材
料（以下、ＩＥＬ感材という）は、図８の分光感度特性
に示すように、Ｂ層（青感光性層）、Ｇ層（緑感光性
層）、Ｒ層（赤感光性層）のそれぞれ可視光波長に感光
波長域を有する層に加え、赤外光側の非可視光波長域側
に赤外感光性層（以下、ＩＥＬ層という）を有してい
る。従って、ＩＥＬ感材では、従来検査光として用いら
れていた７８０ｎｍ程度のレーザー光でも感光し、感光
材料にカブリを生じてしまう。

【００８７】そこで、この塗布層の検査方法は、このよ
うなＩＥＬ感材に対し、８００ｎｍ以上の波長を有する
レーザー光を検査光として用いて塗布層の検査を行う。

【００８８】この検査光は、更に８３０ｎｍ以上の波長
を有するレーザー光であることが好ましく、９５０ｎｍ
以上の波長を有するレーザー光であることがより好まし
い。

【００８９】このＩＥＬ感材の透過率特性を図９（ａ）
に示す。ウェブ（支持体）のみの透過率（イ）に対し、
該ウェブにＩＥＬ層のみを塗設した場合の透過率（ロ）
と、ウェブにＩＥＬ層とＢ，Ｇ，Ｒ層をそれぞれ塗設し
た場合の透過率（ハ）とで相違があることがわかる。よ
って、８００ｎｍ以上、好ましくは８３０ｎｍ以上、よ
り好ましくは９５０ｎｍ以上の波長を有するレーザー光
をＩＥＬ感材の表面に照射した場合、その透過率の相違
から、支持体であるウェブとＩＥＬ層との識別、ウェブ
とＩＥＬ層及びＢ，Ｇ，Ｒ層との識別、ＩＥＬ層とＩＥ
Ｌ層及びＢ，Ｇ，Ｒ層との識別がそれぞれ可能であり、
例えば塗布先頭の塗布液の有無についても検知すること
ができるようになる。

【００９０】また、ＩＥＬ感材の反射率特性を図９
（ｂ）に示す。ＩＥＬ感材の反射率特性においても、ウ
ェブのみの透過率（イ）に対し、該ウェブにＩＥＬ層の
みを塗設した場合の透過率（ロ）と、ウェブにＩＥＬ層
とＢ，Ｇ，Ｒ層をそれぞれ塗設した場合の透過率（ハ）
とで相違があることがわかる。従って、検査光の反射光
を検出することにより検査を行う場合でも、８００ｎｍ
以上、好ましくは８３０ｎｍ以上、より好ましくは９５
０ｎｍ以上の波長を有するレーザー光をＩＥＬ感材の表
面に照射して行うことにより、その反射率の相違から、
支持体であるウェブとＩＥＬ層との識別、ウェブとＩＥ
Ｌ層及びＢ，Ｇ，Ｒ層との識別、ＩＥＬ層とＩＥＬ層及
びＢ，Ｇ，Ｒ層との識別がそれぞれ可能であり、例えば
塗布先頭の塗布液の有無についても検知することができ
るようになる。

【００９１】図１０に、このかかる検査方法を実施する
ために好ましい検査装置の概略図を示す。

【００９２】この検査装置は、検査対象である赤外感光
性層を有するウェブ１００を搬送する搬送ローラー１１
０と、該ウェブ１００に対して検査光の走査を行うフラ
イングスポット方式の光学系１２０と、ウェブ１００に
照射された後の反射光を検出する光検出手段１３０と、
該反射光を光検出手段１３０へと導く導光部材１４０と
を有している。

【００９３】ウェブ１００は搬送ローラー１１０を介し
て所定の速度で搬送され、このウェブ１００に対して検
査光がフライングスポット方式の光学系１２０によりウ
ェブ１００の幅方向に沿って走査される。

【００９４】フライングスポット方式の光学系１２０
は、レーザー光源１２１、ＮＤフィルタ１２２、集光レ
ンズ群１２３、ポリゴンミラー１２４、Ｆθレンズ１２
５及びシャッター１２６とから構成されている。上記レ
ーザー光源１２１は、波長８００ｎｍ以上、好ましくは
８３０ｎｍ以上、より好ましくは９５０ｎｍ以上のレー
ザー光を発信し、該レーザー光は、ＮＤフィルタ１２２
で減光され、所定速度で回転するポリゴンミラー１２４
で反射され、Ｆθレンズ１２５を介してウェブ１００の
表面に走査される。

【００９５】搬送ローラー１１０にはロータリーエンコ
ーダー１１１が設けられており、これから搬送パルスが
出力される。そして、この搬送パルスを計数することに
よって、ウェブ１００の搬送速度を検知し、低速の場合
はシャッター１２６に信号を送り、カブリを防止するた
めにシャッター１２６を閉じて光路を閉鎖する。

【００９６】なお、ＮＤフィルタ１２２からの反射光を
受けるようにパワーモニターを設け、パワーモニターに
よって、ＮＤフィルター１２２の異常を検出し、異常が
発生した場合は、シャッター１２６を閉鎖してカブリを
防止するようにしてもよい。また、ポリゴンミラー１２
４に回転検出装置を設け、ポリゴンミラー１２４の回転
速度の検出を行うようにし、回転速度が低下している場
合は、シャッター１２６を閉鎖してカブリを防止するよ
うにしてもよい。

【００９７】ウェブ１００に対向して導光部材１４０が
配置されている。この導光部材１４０は、円柱状の光伝
達性部材１４１と光伝達性部材１４１の表面に円柱軸方
向に形成された光反射帯１４２からなり、光伝達性部材
１４１の円柱軸方向がウェブ１００の幅方向に一致して
いる。検査光はウェブ１００表面に走査された後、ウェ
ブ１００の透過光又は反射光（本実施形態では反射光）
として光伝達性部材の１４１曲表面から入射する。した
がって、レーザー光は、導光部材１４０の光反射帯１４
２の対向した面に光を到達することになる。

【００９８】光伝達性部材１４１の表面には、光伝達性
部材１４１の円柱軸方向に亘り、所定幅を有する光反射
帯１４２が設けられている。光伝達性部材１４１に入射
した光は、光反射帯１４２によって反射された後、光伝
達性部材１４１の軸方向の端面へと光伝達性部材１４１
内部を導光される。従って、導光部材１４０により１次
元又は２次元の入射光が一点又は二点に導光される。

【００９９】なお、光伝達性部材１４１はアクリルロッ
ドを用いることが好ましく、光反射帯１４２は、平均粒
径０．２〜０．３μｍの酸化チタン粒子をアプリケータ
塗布することによって形成されることが好ましい。

【０１００】また、検査光がウェブ１００に対して正反
射した正反射光によって塗布層の欠陥を検査する場合
は、前述した円柱状の光伝達性部材１４１と光伝達性部
材１４１表面に形成された光反射帯１４２からなる導光
部材１４０を用いることが好ましいが、検査光がウェブ
１００に拡散反射した拡散反射光によって塗布層の欠陥
を検査する場合は、図１１に示すような円柱状の光伝達
性部材１４１に複数のＶ字状溝を設け、該Ｖ字状溝の表
面に光反射面として鏡面１４３を設けた導光部材１４０
Ａを用いることが好ましい。また、正反射光のみか、又
は拡散反射光のみの一方を用いて塗布層の欠陥を行う場
合には、正反射光を用いて塗布層の欠陥を行う場合に比
して、拡散反射光を用いて行う方が、欠陥部での光量変
化が大きく、検査能が高くなり好ましい。

【０１０１】導光部材１４０の軸方向の両端部には、導
光部材１４０により端面に導光される光を検出する光検
出手段１３０が配置され、この光検出手段１３０により
光を検出する。光検出手段１３０は、例えば光電変換器
で構成され、検出した光を電気信号に変換し、それぞれ
所定の出力波形１３１を得る。この導光部材１４０両端
それぞれの光検出手段１３０の出力１３１は、加算器１
３２に入力され、この加算器１３２で光検出手段１３０
の出力１３１を加算して所定の合成出力１３３を得るこ
とができる。

【０１０２】ウェブ１００に、塗布層の有無、層厚の変
化等の欠陥が発生している場合には、合成出力１３３に
凸部１３３ａ、或いは凹部１３３ｂのような歪み部分が
生じ、この合成出力１３３の波形から欠陥を検出するこ
とができる。

【０１０３】なお、欠陥が大きいほど、出力される信号
が大きいことを利用して、欠陥の程度を分級して認知す
るようにしてもよい。

【０１０４】また、正反射光のみか、又は拡散反射光の
みの一方を用いて塗布層の欠陥検査を行わず、図１２
（ａ）（ｂ）に示すように、拡散反射光を検出する検出
部材１５０に加え、検査光の正反射光を検出する検出部
材１６０を設け、検査光の拡散反射光と、正反射光を共
に検出することにより塗布層の欠陥を行うことが、ウェ
ブ１００を走査した光の拡散反射光と正反射光の反射光
量分布の差異を知ることができるようになり、該反射光
量分布の差異により異物の混入、層厚の変化などの欠陥
の種類もある程度識別可能となり、より正確に塗布層の
欠陥を検査することができ、検査装置の性能が向上して
好ましい。また、透過光によって塗布層の欠陥検査を行
う場合も、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、拡散透過
光を検出するための検出部材１７０に加え、検査光の正
透過光を検出する検出部材１８０を設け、検査光の拡散
透過光と正透過光を共に検出することにより塗布層の欠
陥検査を行うことが同様の理由から好ましい。

【０１０５】

【発明の効果】請求項１〜８記載の発明により、塗布層
の放射温度を計測することにより該塗布層の検査を行う
に際し、塗布前の塗布液とウェブとの温度差が存在して
いなくても、塗布層の欠陥を検出することができると共
に、塗布工程を経た後の搬送過程で形成される塗布層の
欠陥をも検出することのできる塗布層の検査方法及び装
置を提供することができる。

【０１０６】請求項９〜２６記載の発明により、感光材
料の感光波長域内の波長を有する検査光を用いても、検
査光の光量を下げる必要なく且つ感光材料を感光させず
に塗布層の検査を行うことができる塗布層の検査方法及
び装置を提供することができる。

【０１０７】請求項２７〜３２記載の発明により、可視
光波長に感光波長域を持つ感光層に加え、赤外光側の非
可視光波長に感光波長域を持つ感光層をも有する感光材
料に対して、感光材料の機能を損なわせずに、その表面
の塗布層の検査を行うことができる塗布層の検査方法及
び装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】塗布層の形成装置の概要を説明する構成図

【図２】塗布層形成装置における要部の構成を示す斜
視図

【図３】放射温度計から出力される検出信号を示す説
明図

【図４】塗布層の検査装置の概要を示す説明図

【図５】入射角と反射率との関係を示すグラフ

【図６】他の塗布層の検査装置の概要を示す説明図

【図７】受光部を示す正面図

【図８】ＩＥＬ感材の分光感度特性を示すグラフ

【図９】ＩＥＬ感材の分光透過特性及び分光反射特性
を示すグラフ

【図１０】塗布層の検査装置の概要を示す説明図

【図１１】光伝達性部材の説明図

【図１２】拡散反射及び正反射光を検出する塗布層の
検査装置の概要を示す説明図

【図１３】拡散反射及び正反射光を検出する塗布層の
検査装置の概要を示す説明図

【符号の説明】

１，１０ウェブ（支持体）３コーテイングヘッド３Ａ塗布液３Ｂ，２０塗布層５乾燥工程６放射温度計ｅ欠陥３０支持ロール４０投光手段４０Ｃ偏向手段５０受光部６０ロール変位検出手段７０入射位置検出手段７１位置検出素子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G051 AA41 AA90 AB01 AB02 AB12 AC11 BA06 BA10 BA11 BB07 BB11 BB20 BC06 CA01 CB01 CB05 CB10 CC17 DA06 DA09 EA25 EC01 2G066 AC20 BC01 CA20 2H023 EA00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】連続して走行する支持体上に塗布液を塗布
して塗布層を塗設する塗布工程と、該塗布層を乾燥させ
る乾燥工程とを少なくとも経由することにより前記支持
体上に形成される塗布層を検査する方法であって、前記
乾燥工程途上にある塗布層の放射温度を計測することに
より該塗布層の欠陥を検出することを特徴とする塗布層
の検査方法。
【請求項２】前記塗布層の欠陥は、塗布層の放射温度を
計測した計測値の高温部位であることを特徴とする請求
項１記載の塗布層の検査方法。
【請求項３】前記乾燥工程における恒率乾燥区間にある
塗布層の放射温度を計測することを特徴とする請求項１
又は２記載の塗布層の検査方法。
【請求項４】前記乾燥工程における減率乾燥区間にある
塗布層の放射温度を計測することを特徴とする請求項１
又は２記載の塗布層の検査方法。
【請求項５】連続して走行する支持体上に塗布液を塗布
して塗布層を塗設する塗布工程と、該塗布層を乾燥させ
る乾燥工程とを少なくとも有し、前記支持体上に塗布層
を形成する塗布層の形成装置であって、上記乾燥工程中
に、該乾燥工程途上にある塗布層の放射温度を計測する
ことにより該塗布層の欠陥を検出するための放射温度計
を配置したことを特徴とする塗布層の形成装置。
【請求項６】前記塗布層の欠陥は、塗布層の放射温度を
計測した計測値の高温部位であることを特徴とする請求
項５記載の塗布層の検査方法。
【請求項７】前記乾燥工程における恒率乾燥区間に放射
温度計を配置したことを特徴とする請求項５又は６記載
の塗布層の形成装置。
【請求項８】前記乾燥工程における減率乾燥区間に放射
温度計を配置したことを特徴とする請求項５又は６記載
の塗布層の形成装置。
【請求項９】ロールに支持されて連続して走行する支持
体上に塗設された塗布層表面へ向けて検査光を照射し、
その反射光を受光部で受光することにより該塗布層表面
を検査する塗布層の検査方法において、前記ロール上に
位置する塗布層表面に対して前記検査光を偏向手段を介
して８０°以上の入射角度で照射する一方、前記支持体
を支持するロールの回転振動に伴う変位量を検出し、そ
の検出結果を前記偏向手段にフィードバックして前記検
査光の照射位置を補正することを特徴とする塗布層の検
査方法。
【請求項１０】前記検査光として、Ｓ偏向されたレーザ
ー光を用いることを特徴とする請求項９記載の塗布層の
検査方法。
【請求項１１】前記偏向手段として、ファラデー素子又
は音響光学効果素子を用いたことを特徴とする請求項９
又は１０記載の塗布層の検査方法。
【請求項１２】支持体上に塗設された塗布層を乾燥させ
る乾燥工程途上の恒率乾燥区間において行うことを特徴
とする請求項９、１０又は１１記載の塗布層の検査方
法。
【請求項１３】ロールに支持されて連続して走行する支
持体上に塗設された塗布層表面へ向けて検査光を照射
し、その反射光を受光部で受光することにより塗布層表
面を検査する塗布層の検査装置において、前記ロール上
に位置する塗布層表面に対して前記検査光を偏向手段を
介して８０°以上の入射角度で照射する投光手段と、前
記支持体を支持するロールの回転振動に伴う変位量を検
出するロール変位検出手段と、その検出結果を前記偏向
手段にフィードバックして検査光の照射位置を補正する
補正手段とを有することを特徴とする塗布層の検査装
置。
【請求項１４】前記検査光は、Ｓ偏向されたレーザー光
であることを特徴とする請求項１３記載の塗布層の検査
装置。
【請求項１５】前記偏向手段は、ファラデー素子又は音
響光学効果素子であることを特徴とする請求項１３又は
１４記載の塗布層の検査装置。
【請求項１６】支持体上に塗設された塗布層を乾燥させ
る乾燥工程途上の恒率乾燥区間に配置したことを特徴と
する請求項１３、１４又は１５記載の塗布層の検査装
置。
【請求項１７】ロールに支持されて連続して走行する支
持体上に塗設された塗布層表面へ向けて検査光を照射
し、その反射光を受光部で受光することにより塗布層表
面を検査する塗布層の検査方法において、前記ロール上
に位置する塗布層表面に対して前記検査光を偏向手段を
介して８０°以上の入射角度で照射すると共に、その反
射光を受光した際の入射位置から前記ロールの回転振動
に伴う変位量を検出し、その検出結果を前記偏向手段に
フィードバックして前記検査光の照射位置を補正するこ
とを特徴とする塗布層の検査方法。
【請求項１８】前記受光部は支持体の幅方向に亘って設
けられ、該受光部の受光中心軸の両端部にそれぞれ位置
検出素子を装着し、該位置検出素子によって反射光の入
射位置を検出することを特徴とする請求項１７記載の塗
布層の検査方法。
【請求項１９】前記検査光として、Ｓ偏向されたレーザ
ー光を用いることを特徴とする請求項１７又は１８記載
の塗布層の検査方法。
【請求項２０】前記偏向手段として、ファラデー素子又
は音響光学効果素子を用いたことを特徴とする請求項１
７、１８又は１９記載の塗布層の検査方法。
【請求項２１】支持体上に塗設された塗布層を乾燥させ
る乾燥工程途上の恒率乾燥区間において行うことを特徴
とする請求項１７、１８、１９又は２０記載の塗布層の
検査方法。
【請求項２２】ロールに支持されて連続して走行する支
持体上に塗設された塗布層表面へ向けて検査光を照射
し、その反射光を受光部で受光することにより塗布層表
面を検査する塗布層の検査装置において、前記ロール上
に位置する塗布層表面に対して前記検査光を偏向手段を
介して８０°以上の入射角度で照射する投光手段と、そ
の反射光を受光してその入射位置から前記ロールの回転
振動に伴う変位量を検出する入射位置検出手段と、その
検出結果を前記偏向手段にフィードバックして前記検査
光の照射位置を補正する補正手段とを有することを特徴
とする塗布層の検査装置。
【請求項２３】前記受光部は支持体の幅方向に亘って延
在し、前記受光位置検出手段は、該受光部の受光中心軸
の両端部にそれぞれ位置検出素子を装着してなるもので
あることを特徴とする請求項２２記載の塗布層の検査装
置。
【請求項２４】前記検査光は、Ｓ偏向されたレーザー光
であることを特徴とする請求項２２又は２３記載の塗布
層の検査装置。
【請求項２５】前記偏向手段は、ファラデー素子又は音
響光学効果素子であることを特徴とする請求項２２、２
３又は２４記載の塗布層の検査装置。
【請求項２６】支持体上に塗設された塗布層を乾燥させ
る乾燥工程途上の恒率乾燥区間に配置したことを特徴と
する請求項２２、２３、２４又は２５記載の塗布層の検
査装置。
【請求項２７】支持体上に、赤外感光性を有する層が塗
設された感光材料に対し、８００ｎｍ以上の波長を有す
る検査光を用いて塗布層の検査を行うことを特徴とする
塗布層の検査方法。
【請求項２８】８３０ｎｍ以上の波長を有する検査光を
用いることを特徴とする請求項２７記載の塗布層の検査
方法。
【請求項２９】９５０ｎｍ以上の波長を有する検査光を
用いることを特徴とする請求項２７記載の塗布層の検査
方法。
【請求項３０】支持体上に、赤外感光性を有する層が塗
設された感光材料に対し、８００ｎｍ以上の波長を有す
る検査光を照射する投光手段を有することを特徴とする
塗布層の検査装置。
【請求項３１】８３０ｎｍ以上の波長を有する検査光を
照射する投光手段を有することを特徴とする請求項３０
記載の塗布層の検査装置。
【請求項３２】９５０ｎｍ以上の波長を有する検査光を
照射する投光手段を有することを特徴とする請求項３０
記載の塗布層の検査装置。