JP2000074716A

JP2000074716A - 流量測定方法

Info

Publication number: JP2000074716A
Application number: JP10247278A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Suzuki; 伸一鈴木; Taiko Ko; 太好高
Original assignee: Ricoh Elemex Corp; Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Elemex Corp; Ricoh Co Ltd
Priority date: 1998-09-01
Filing date: 1998-09-01
Publication date: 2000-03-14

Abstract

(57)【要約】【課題】発熱が安定する前の立ち上がりのような直線
性のよい部分を利用することで、測定精度を上げ、感熱
式流量測定装置の要する消費電力を低減し得る流量測定
方法を提供する。【解決手段】この種の流量測定においては、流量と抵
抗値差に対応する差電圧との関係は直線的であるが、加
熱開始から短時間ほど直線性がよく安定する時間になる
ほど直線性が悪くなる点に着目し、加熱装置を間欠的に
駆動させることで第１,２の感温抵抗体の発熱が安定す
るまでの立ち上がり状態の“時間１０”等の時点で差電
圧、従って、第１,２の感温抵抗体の抵抗値差成分を得
ることができ、流量と流量信号との関係の直線性がよく
なるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感熱式流量測定装
置を用いる流量測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６に感熱式流量測定装置の一つの構成
例を示す。概略的には、センサ駆動部１と差電圧検出部
２と増幅部３とより構成されている。センサ駆動部１に
あっては、流路中に配設されるセンサ基板（図示せず）
上に実装された第１の感温抵抗体Ｒ_s1と第２の感温抵抗
体Ｒ_s2が設けられている。これらの第１及び第２の感温
抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2も流体中に晒されるが、ここでは、第
１の感温抵抗体Ｒ_s1が上流側、第２の感温抵抗体Ｒ_s2が
下流側となるように位置関係が設定されているものとす
る。また、これらの第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ
_s2は抵抗値が等しく、かつ、高抵抗温度係数を持つもの
が用いられている。これらの第１及び第２の感温抵抗体
Ｒ_s1，Ｒ_s2は加熱装置として作用する電流源４とともに
直列に接続されている。即ち、電流源４は電流Ｉ₁を流
して抵抗体自身にジュール熱を発生させることで流体温
度よりも高い温度となるようにこれらの第１及び第２の
感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2を等しく熱する（もっとも、加熱
装置としては別個の熱源によりこれらの第１及び第２の
感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2を加熱するものてあってもよ
い）。また、センサ駆動部１において、第２の感温抵抗
体Ｒ_s2の両端ｂ，ｃ点がフィードバックループ中に接続
されたオペアンプ５と、電流源４と第１の感温抵抗体Ｒ
_s1との接続点ａの出力側に接続されたオペアンプ６とが
設けられている。

【０００３】差電圧検出部２は検出装置として作用する
もので、オペアンプ６からｄ点に出力される第１の感温
抵抗体Ｒ_s1の端子電圧（＝ｆ点の出力）とオペアンプ５
からｃ点（＝ｅ点）に出力される第２の感温抵抗体Ｒ_s2
の端子電圧（＝ｈ点の出力）との差電圧をｇ点に出力す
る加算器７を備えている。

【０００４】増幅部３は、第１の感温抵抗体Ｒ_s1の端子
電圧、第２の感温抵抗体Ｒ_s2の端子電圧、及び、差電圧
（ｇ点出力）を各々増幅する増幅器８，９，１０を備え
ている。

【０００５】このような構成において、第１及び第２の
感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の熱は流体の流れにより奪われ
る。奪われる熱量は、流体の流れと関係している。例え
ば、流体に流れがなければ、第１及び第２の感温抵抗体
Ｒ_s1，Ｒ_s2の温度はほぼ等しくなるため、抵抗値もほぼ
等しい。よって、第１の感温抵抗体Ｒ_s1の端子電圧と第
２の感温抵抗体Ｒ_s2の端子電圧とはほぼ等しく、差電圧
検出部２のｇ点の出力もほぼ０となる。一方、流体に流
れがある場合には下流側よりも上流側の第１の感温抵抗
体Ｒ_s1の熱が多く奪われるため、第１及び第２の感温抵
抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の温度が異なることとなり、この上流側
の第１の感温抵抗体Ｒ_s1の抵抗値が下流側よりも小さく
なる。よって、第１の感温抵抗体Ｒ_s1の端子電圧は第２
の感温抵抗体Ｒ_s2の端子電圧よりも小さくなる。この端
子電圧の差が流速に関係した電圧値として現れる。この
結果、差電圧検出部２のｇ点の出力の大きさを測定する
ことで流体の流速を知ることができるといえる。なお、
これらの端子電圧、差電圧等を測定するのにＡ／Ｄコン
バータ等を用いる場合、Ａ／Ｄコンバータ等に合せた電
圧信号に変換する必要があるため、後段に増幅部３が設
けられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような従来例にお
いて、時間０で電流源４が電流を流し始めるとし、第１
及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の発熱が安定する過程
での差電圧検出部２のｇ点の出力の変化の様子を調べた
ところ図７のような特性を示したものである。即ち、電
流Ｉ₁を流し始めてから第１及び第２の感温抵抗体
Ｒ_s1，Ｒ_s2の発熱状態が安定するまでには時間が必要で
あり、ｇ点の出力は徐々に変化していく。そして、第１
及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の発熱の状態が流体に
奪われる熱と平衡状態になるとｇ点の出力は安定する。
このように、ｇ点の出力は、時間とともに流量に関係の
ある一定値に安定することが分かる。ちなみに、図示例
では、電流Ｉ₁を１．７５ｍＡとした。

【０００７】ここで、流量との関係を分かりやすくする
ため、流量を横軸にとり、電流源４の駆動開始から任意
の時間経過後に観測したｇ点の出力との関係をグラフに
すると、図８のようになる。これによれば、流量とｇ点
の出力とは直線に近い関係があることが分かる。さら
に、観測する時間によって流量によるｇ点の出力の直線
性に違いがあることを確認するため、図８を正規化する
と、図９のようになる。図９から“時間１０”が一番直
線性がよく、時間が増える毎に直線性が悪くなることが
分かる。

【０００８】ところが、従来にあっては、図７に示すよ
うな特性に注目し、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ
_s2に電流Ｉ₁を流し始めてから十分な時間、例えば、
“時間６０”、が経過してｇ点の出力が安定した状態で
ｇ点の出力、即ち、流量を測定するようにしているた
め、時間がかかる上に、その間は電流源４を駆動しなけ
ればならないため、流量測定に必要な電力が多くなって
しまう。また、図９に示した特性を参照すれば、“時間
５０”で示すように直線性が低下する状態を利用するこ
ととなり、測定精度が低下してしまう。

【０００９】そこで、本発明は、“時間１０”のような
直線性のよい部分を利用することで、測定精度を上げ得
るとともに、感熱式流量測定装置の要する消費電力を低
減し得る流量測定方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
流体中に配設される第１の感温抵抗体と、この第１の感
温抵抗体の下流側に配設される第２の感温抵抗体と、前
記第１及び第２の感温抵抗体を熱する加熱装置と、前記
第１及び第２の感温抵抗体の抵抗値差を検出する検出装
置とを備えた感熱式流量測定装置を用いる流量測定方法
において、前記加熱装置を間欠的に駆動させてこの加熱
装置の駆動開始から前記第１及び第２の感温抵抗体の発
熱が安定する前の一定時間経過時点の前記検出装置の出
力を流量信号に用いるとともに、前記一定時間経過後直
ちに前記駆動装置の駆動を休止させるようにした。

【００１１】従って、加熱装置を間欠的に駆動させるこ
とで、第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定する前の
直線性のよい立上がり状態の抵抗値差成分を得ることが
できる。結果として、加熱装置を駆動する時間を短縮す
ることができ、流量測定に必要な電力を低減させること
もできる。

【００１２】請求項２記載の発明は、流体中に配設され
る第１の感温抵抗体と、この第１の感温抵抗体の下流側
に配設される第２の感温抵抗体と、前記第１及び第２の
感温抵抗体を熱する加熱装置と、前記第１及び第２の感
温抵抗体の抵抗値差を検出する検出装置とを備えた感熱
式流量測定装置を用いる流量測定方法において、前記加
熱装置を間欠的に駆動させてこの加熱装置の駆動開始か
ら前記第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定する前の
第１の一定時間経過時点の前記検出装置の第１の出力
と、前記第１の一定時間より後の第２の一定時間経過時
点の前記検出装置の第２の出力との出力差を流量信号に
用いるとともに、前記第２の一定時間経過後直ちに前記
駆動装置の駆動を休止させるようにした。

【００１３】従って、加熱装置を間欠的に駆動させるこ
とで、第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定する前の
立上がり状態の波形の傾き成分を流量信号とすること
で、発熱が安定するまで加熱することなく流量を知るこ
とができるようになる。結果として、加熱装置を駆動す
る時間を短縮することができ、流量測定に必要な電力を
低減させることもできる。併せて、２点で測定して流量
信号を得るため、流体に脈流や振動があった場合もその
影響によるノイズ成分を除去できる。

【００１４】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の流量測定方法において、前記加熱装置の駆動開始か
ら前記検出装置の出力の微分波形が最大値に達する時間
を経過した後の時点で前記検出装置の出力を取得するよ
うに前記一定時間を設定した。

【００１５】従って、加熱装置により第１及び第２の感
温抵抗体を加熱駆動する際の安定化時間や回路の安定化
時間を考慮し、電気的な動作が安定した時点以降に流量
信号を測定するので、より正確な流量測定が可能とな
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図６
ないし図９を参照して説明する。本実施の形態では、図
６に示した感熱式流量測定装置をそのまま用いるものと
する。本実施の形態は、測定時には加熱装置として電流
源４を間欠的に駆動させることを基本とする。「間欠
的」とは、電流値Ｉ₁を第１及び第２の感温抵抗体
Ｒ_s1，Ｒ_s2が発熱しない電流値Ｉ_off（例えば、０）に
設定し、その後、電流値Ｉ₁を第１及び第２の感温抵抗
体Ｒ_s1，Ｒ_s2が発熱するような電流値Ｉ_onに設定し、そ
の後、電流値Ｉ₁を第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ
_s2が発熱しない電流値Ｉ_offに戻す、というような動作
を繰り返すことを意味する。ここに、電流源４の電流値
Ｉ₁を電流値Ｉ_onに設定した時点（駆動開始時点）か
ら、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の発熱が安定
する前の或る一定時間Ｔ_aが経過した時点で、ｇ点に対
応するｒ点の出力値Ｖ_rを観測する。即ち、このｒ点の
出力値Ｖ_rはｇ点の電圧を増幅器１０で増幅したもので
あり、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の抵抗値差
を表す信号に相当する。或る一定時間Ｔ_aが経過した時
点でｒ点の出力値Ｖ_rを観測したら、直ちに、電流源４
の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_offに設定する。以後、このよう
な動作を間欠的動作として適宜繰り返す。間欠動作の繰
り返し周期は任意でよく、要は、流量を測定する必要が
ある時点で電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_onにすれば
よい。

【００１７】ここで、或る一定時間Ｔ_aを変化させる
と、流体の流量と観測する出力値Ｖ_rとの関係は、図８
に示した場合と同様となる。即ち、一定時間Ｔ_aを“時
間３０”としたり“時間１０”とすることにより、流量
と出力値Ｖ_rとの直線性を変化させることができること
となる。換言すれば、従来法の場合は、出力値Ｖ_rが安
定した状態、例えば“時間５０”の時点のような直線性
のよくない関係しか得ることができなかったが、本実施
の形態では、電流源４を間欠的に駆動させることによ
り、安定する前の立上がり途中の直線性のよりよい関係
を得ることができる。また、“時間１０”というように
電流を供給する時間を短縮させることができるので、流
量測定に必要な電力を低減させることもできる。

【００１８】本発明の第二の実施の形態を図６ないし図
９を参照して説明する。本実施の形態でも、図６に示し
た感熱式流量測定装置をそのまま用いるものとする。ま
た、本実施の形態も、測定時には加熱装置として電流源
４を間欠的に駆動させることを基本とする。本実施の形
態では、電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_onに設定した
時点（駆動開始時点）から、第１及び第２の感温抵抗体
Ｒ_s1，Ｒ_s2の発熱が安定する前の或る第１の一定時間Ｔ
_aが経過した時点で、ｇ点に対応するｒ点の第１の出力
値Ｖ_raを観測し、さらに、電流値Ｉ_onに設定した時点か
ら第２の或る一定時間Ｔ_b（ただし、Ｔ_a＜Ｔ_b）が経過
した時点で、ｇ点に対応するｒ点の第２の出力値Ｖ_rbを
観測し、或る一定時間Ｔ_bが経過した時点でｒ点の出力
値Ｖ_rを観測したら、直ちに、電流源４の電流値Ｉ₁を電
流値Ｉ_offに設定する。以後、このような動作を間欠的
動作として適宜繰り返す。そして、２時点で観測された
出力値Ｖ_ra，Ｖ_rbの差を流量信号として利用する。間欠
動作の繰り返し周期は任意でよく、要は、流量を測定す
る必要がある時点で電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_o _n
にすればよい。

【００１９】ここに、従来であれば、第１及び第２の感
温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2に電流を供給してから十分な時間
（例えば、“時間６０”）が経過してｒ点の出力が安定
した状態になってから測定する必要があったが、本実施
の形態によれば、例えば一定時間Ｔ_aを“時間１０”、
一定時間Ｔ_bを“時間５０”のように設定し、図７に示
したような流量に応じた立上がりの傾きの違いから流量
を求めることができる。つまり、本実施の形態によれ
ば、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2に電流を供給
する時間は、“時間５０”まででよいことなり、電流を
供給する時間を短縮し、流量測定に必要な電力を低減さ
せることができる。また、第一の実施の形態と対比する
と、第一の実施の形態の場合には１時点の測定で流量を
得ているため流体に脈流や振動があった場合にノイズと
して観測されてしまうが、本実施の形態の場合には２時
点で測定して流量信号を得ているため脈流や振動があっ
たとしてもその影響を除去し得る効果も得られる。

【００２０】なお、本実施の形態の場合、流量に応じた
立上がり波形の傾きを得る必要があるため、少なくとも
一定時間Ｔ_aは波形が立ち上がり状態にある時間である
必要があるが、“時間１０”に限られるわけではない。
“立ち上がり状態にある時間”とは、例えば、流量４０
０の特性波形の安定状態の９０％以下の値を持つような
時間として設定すればよい。

【００２１】本発明の第三の実施の形態を図１に基づい
て説明する。図６ないし図９で示した部分と同一部分は
同一符号を用いて示し、説明も省略する（以降の各実施
の形態でも同様とする）。本実施の形態では、図６に示
した流量測定装置の構成に対して、差電圧検出部２のｇ
点の出力と増幅器１０との間に低域通過フィルタ（ＬＰ
Ｆ）１１が付加されている。この低域通過フィルタ１１
の遮断周波数は図７に示したよう立ち上がり波形を通過
させ得る周波数に設定されている。例えば、図７に示し
たような特性下であれば、波形の立上がり時間は“時間
５０”程度であるので、“時間５０”周期の遮断周波数
に設定される。流量測定方法としては、前述した第一，
二の実施の形態の方法が用いられる。

【００２２】前述したように、電流源４を間欠的に駆動
させて第１及び第２の感温抵抗体Ｒ _s1，Ｒ_s2が熱的に安
定する以前に流量信号を得る方法の場合、ｇ点の電圧の
大きさは安定状態の電圧値より小さい電圧値であるた
め、電圧測定のＳ／Ｎとしては安定状態で測定する従来
方式よりも悪くなり、流量信号がノイズの影響を受けや
すくなることは否めない。この点、本実施の形態では、
ｇ点の出力側に低域通過フィルタ１１が付加されている
ので、電気的なノイズはもちろん、流体に脈流や振動が
あった場合のノイズも除去することができる。

【００２３】本発明の第四の実施の形態を図２に基づい
て説明する。本実施の形態では、図６に示した流量測定
装置の構成に対して、差電圧検出部２のｇ点の出力と増
幅器１０との間に積分装置１２が付加されている。この
積分装置１２は電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_onに設
定するタイミングに同期して初期化され、ｇ点の出力の
積分動作を行ない、電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_off
に設定するタイミングに同期して動作が停止されるよう
に設定されている。流量測定方法としては、前述した第
一，二の実施の形態の方法が用いられる。

【００２４】前述したように、電流源４を間欠的に駆動
させて第１及び第２の感温抵抗体Ｒ _s1，Ｒ_s2が熱的に安
定する以前に流量信号を得る方法の場合、ｇ点の電圧の
大きさは安定状態の電圧値より小さい電圧値であるた
め、電圧測定のＳ／Ｎとしては安定状態で測定する従来
方式よりも悪くなり、流量信号がノイズの影響を受けや
すくなることは否めない。この点、本実施の形態では、
ｇ点の出力側に積分装置１２が付加されており、電圧が
小さくなった分を積分装置１２により時間的に加算する
ことで大きくしているので、ノイズの影響を低減させる
ことができる。

【００２５】本発明の第五の実施の形態を図３及び図４
に基づいて説明する。本実施の形態では、図６に示した
流量測定装置の構成に対して、差電圧検出部２のｇ点の
出力と増幅器１０との間に微分装置１３が付加されてい
る。流量測定方法としては、前述した第一の実施の形態
の方法が用いられる。

【００２６】このような構成において、ｇ点の出力電圧
を微分装置１３により微分すると、図４に示すような特
性の波形が得られる。ここに、流量により微分波形の大
きさが変化していることが分かる。例えば、第一の実施
の形態の測定方法において、一定時間Ｔ_aを“時間１
５”の如く設定すれば、微分波形の大きさの違いから流
量に関係した出力が得られることが分かる。従って、従
来であれば、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2に電
流を供給してから十分な時間（例えば、“時間６０”）
が経過してｒ点の出力が安定した状態になってから測定
する必要があったが、本実施の形態によれば、図７に示
したような流量に応じた立上がりの傾きの違いから流量
を求めるため、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2に
電流を供給する時間は“時間１５”まででよいことにな
り、電流を供給する時間を短縮し、流量測定に必要な電
力を低減させることができる。また、２時点測定を必要
とする第二の実施の形態と対比すれば、本実施の形態の
場合には１時点の測定のみで立ち上がり波形の傾きを検
出することができる。

【００２７】本発明の第六の実施の形態を図５に基づい
て説明する。本実施の形態では、図３に示した流量測定
装置の構成に対して、差電圧検出部２のｇ点の出力と微
分装置１３との間に低域通過フィルタ１１が付加されて
いる。流量測定方法としては、前述した第一の実施の形
態の方法が用いられる。

【００２８】微分装置１３を設けただけの場合、ノイズ
成分を増幅してしまうが、その前段に低域通過フィルタ
１１を付加することにより、第三の実施の形態で説明し
たように、ノイズ成分の影響を低減させることができ、
微分装置１３に入力されるノイズ成分を極力減らすこと
で、ノイズによる悪影響を防止できる。

【００２９】本発明の第七の実施の形態を図４を参照し
て説明する。本実施の形態は、前述した何れの実施の形
態にも適用し得るもので、一定時間Ｔ_a，Ｔ_bに関してｇ
点の出力の微分波形が最大値に達する時間を経過した後
の時点でこのｇ点の出力を取得するように設定されてい
る。

【００３０】電流源４の電流値Ｉ₁を電流値Ｉ_onに設定
しても、その瞬間から正確に電流値Ｉ_onが出力されるこ
とはなく、電流源４には安定化時間が必要である。ま
た、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2を直列接続し
ているとはいえ、他の回路、例えば、オペアンプ５の動
作安定化時間により、第１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，
Ｒ_s2への電流の供給タイミングにずれを生ずることが考
えられる。

【００３１】この点、ｇ点の微分波形を示す図４を見れ
ば、その微分値は“時間０”での急激な電流供給による
値から単調に減少するのではなく、“時間約６．５”に
向かって増加し、その後、減少しているのが分かる。そ
こで、本実施の形態では、“時間約６．５”までの期間
と、それ以後の期間とでは、回路的な状態が違うものと
見做し、微分波形のピーク値を示す“時間６．５”以降
に流量信号を取得させるものである。つまり、ｇ点の出
力を測定する時点を示す一定時間Ｔ_a，Ｔ_bが“時間６．
５”以降となるように設定され、“時間６．５”以前に
はｇ点の出力を流量信号に用いないようにしたものであ
る。

【００３２】なお、本実施の形態では、微分波形のピー
ク時点が“時間約６．５”である図４に示した微分特性
を利用するため、一定時間Ｔ_a，Ｔ_bを“時間６．５”以
降となるように設定したが、微分波形のピーク時点は第
１及び第２の感温抵抗体Ｒ_s1，Ｒ_s2の構造や回路の特性
によって変化するため、“時間６．５”以降に限定され
るわけではない。要は、少なくとも１回、微分波形を観
測してそのピーク値が生ずる時間を確認して、そのピー
ク値を示す時間以降となるように一定時間Ｔ_a，Ｔ_bを設
定すればよい。

【００３３】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、第１及び
第２の感温抵抗体を熱する加熱装置を間欠的に駆動させ
ることで、第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定する
前の直線性のよい立上がり状態の抵抗値差成分を得るこ
とができ、結果として、加熱装置を駆動する時間を短縮
することができ、流量測定に必要な電力を低減させるこ
ともできる。

【００３４】請求項２記載の発明によれば、第１及び第
２の感温抵抗体を熱する加熱装置を間欠的に駆動させ、
第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定する前の立上が
り状態の波形の傾き成分を流量信号とすることで、発熱
が安定するまで電流を流さずに流量を知ることができ、
結果として、加熱装置を駆動する時間を短縮することが
でき、流量測定に必要な電力を低減させることもでき
る。併せて、２時点で測定して流量信号を得るため、流
体に脈流や振動があった場合もその影響によるノイズ成
分を除去することもできる。

【００３５】請求項３記載の発明によれば、加熱装置に
より第１及び第２の感温抵抗体を加熱駆動する際の安定
化時間や回路の安定化時間を考慮し、電気的な動作が安
定した時点以降に流量信号を測定するようにしたので、
より正確な流量測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第三の実施の形態を示す流量測定装置
の回路構成図である。

【図２】本発明の第四の実施の形態を示す流量測定装置
の回路構成図である。

【図３】本発明の第五の実施の形態を示す流量測定装置
の回路構成図である。

【図４】その微分波形を示す特性図である。

【図５】本発明の第六の実施の形態を示す流量測定装置
の回路構成図である。

【図６】従来例及び本発明の第一，二の実施の形態を説
明するための流量測定装置の回路構成図である。

【図７】流量に応じた差電圧を示すｇ点の出力特性図で
ある。

【図８】時間をパラメータとして流量とｇ点の出力との
関係を示す特性図である。

【図９】時間をパラメータとして流量とｇ点の出力との
関係を正規化して示す特性図である。

【符号の説明】

２検出装置４加熱装置Ｒ_s1 第１の感温抵抗体Ｒ_s2 第２の感温抵抗体

フロントページの続き (72)発明者高太好東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内Ｆターム(参考） 2F035 EA04 EA09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体中に配設される第１の感温抵抗体
と、この第１の感温抵抗体の下流側に配設される第２の
感温抵抗体と、前記第１及び第２の感温抵抗体を熱する
加熱装置と、前記第１及び第２の感温抵抗体の抵抗値差
を検出する検出装置とを備えた感熱式流量測定装置を用
いる流量測定方法において、前記加熱装置を間欠的に駆動させてこの加熱装置の駆動
開始から前記第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定す
る前の一定時間経過時点の前記検出装置の出力を流量信
号に用いるとともに、前記一定時間経過後直ちに前記駆
動装置の駆動を休止させるようにしたことを特徴とする
流量測定方法。
【請求項２】流体中に配設される第１の感温抵抗体
と、この第１の感温抵抗体の下流側に配設される第２の
感温抵抗体と、前記第１及び第２の感温抵抗体を熱する
加熱装置と、前記第１及び第２の感温抵抗体の抵抗値差
を検出する検出装置とを備えた感熱式流量測定装置を用
いる流量測定方法において、前記加熱装置を間欠的に駆動させてこの加熱装置の駆動
開始から前記第１及び第２の感温抵抗体の発熱が安定す
る前の第１の一定時間経過時点の前記検出装置の第１の
出力と、前記第１の一定時間より後の第２の一定時間経
過時点の前記検出装置の第２の出力との出力差を流量信
号に用いるとともに、前記第２の一定時間経過後直ちに
前記駆動装置の駆動を休止させるようにしたことを特徴
とする流量測定方法。
【請求項３】前記加熱装置の駆動開始から前記検出装
置の出力の微分波形が最大値に達する時間を経過した後
の時点で前記検出装置の出力を取得するように前記一定
時間を設定したことを特徴とする請求項１又は２記載の
流量測定方法。