JP2000065696A - Filter device and sulfur analytical system provided with filter device - Google Patents
Filter device and sulfur analytical system provided with filter deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、紫外蛍光
法を用いて試料中の硫黄成分を測定する際に、試料を燃
焼して得た被分析ガスを精製するために用いて好適な、
フィルタ装置に関するとともに、更にはこのようなフィ
ルタ装置を有する硫黄分析システムに関する。The present invention relates to a method for purifying an analyte gas obtained by burning a sample, for example, when measuring a sulfur component in the sample using an ultraviolet fluorescence method.
The present invention relates to a filter device, and further to a sulfur analysis system having such a filter device.
【0002】[0002]
【従来の技術】分析システム(硫黄分析システム)に
は、試料中の硫黄成分を定量するために、紫外蛍光法を
用いた分析装置が設けられている。ここで、紫外蛍光法
は、二酸化硫黄ガスを含む被分析ガスに紫外線を照射す
ると、被分析ガス中の二酸化硫黄ガスが励起されて蛍光
を発することを利用し、この蛍光の強度を測定して被分
析ガス中の二酸化硫黄ガス濃度を測定するものである。2. Description of the Related Art An analysis system (sulfur analysis system) is provided with an analyzer using an ultraviolet fluorescence method for quantifying a sulfur component in a sample. Here, the ultraviolet fluorescence method utilizes the fact that when an analyte gas containing a sulfur dioxide gas is irradiated with ultraviolet rays, the sulfur dioxide gas in the analyte gas is excited and emits fluorescence, and the intensity of the fluorescence is measured. It measures the concentration of sulfur dioxide gas in the gas to be analyzed.
【0003】そして、分析システムには、試料中の硫黄
成分を二酸化硫黄ガスに変化させるために、分析装置の
前段に、分析用試料燃焼装置が設けられている。なお、
この分析用試料燃焼装置は、試料を燃焼することにより
試料中の硫黄成分を二酸化硫黄ガスに変化させて、この
二酸化硫黄ガスを含む被分析ガスを生成するものであ
る。[0003] In the analysis system, a sample combustion device for analysis is provided in front of the analyzer in order to change the sulfur component in the sample into sulfur dioxide gas. In addition,
This sample combustion device for analysis converts a sulfur component in a sample into sulfur dioxide gas by burning the sample to generate a gas to be analyzed containing the sulfur dioxide gas.
【0004】そして、分析システムにおいては、分析用
試料燃焼装置により生成された被分析ガスが、ガス除湿
器を介して分析装置に導入されるようになっている。In the analysis system, the gas to be analyzed generated by the sample combustion device for analysis is introduced into the analyzer via a gas dehumidifier.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、分析用
試料燃焼装置にて試料が不完全燃焼した場合には、スス
や不飽和炭化水素類等の不純物が生じ、これら不純物を
含んだ被分析ガスが、ガス除湿器を介して分析装置に導
入されるため、被分析ガス中のススによりガス除湿器や
分析装置等が汚染されたり、被分析ガス中の不飽和炭化
水素類により分析装置での測定誤差が生じるという課題
がある。なお、不飽和炭化水素類は、紫外蛍光法におい
て強い正の誤差をもたらすものである。However, when the sample is incompletely burned by the sample combustion device for analysis, impurities such as soot and unsaturated hydrocarbons are generated, and the gas to be analyzed containing these impurities is generated. Since the gas is introduced into the analyzer through the gas dehumidifier, the soot in the gas to be analyzed contaminates the gas dehumidifier and the analyzer, and the measurement by the analyzer due to unsaturated hydrocarbons in the gas to be analyzed. There is a problem that an error occurs. Note that unsaturated hydrocarbons cause a strong positive error in the ultraviolet fluorescence method.
【0006】従って、分析用試料燃焼装置にて試料が不
完全燃焼した場合には、ススによる汚染に対しては、分
析装置を分解洗浄したりガス除湿器及びガス配管を交換
したりすることにより対応しているが、このような対応
では手間及びコストがかかるという課題がある。一方、
不飽和炭化水素類による測定誤差に対しては、効果的な
対応は特になされていない。Therefore, when the sample is incompletely burned in the sample combustion apparatus for analysis, contamination by soot can be solved by disassembling and cleaning the analysis apparatus or replacing gas dehumidifiers and gas pipes. Although such measures are taken, there is a problem that such measures are troublesome and costly. on the other hand,
No effective countermeasures have been taken against measurement errors caused by unsaturated hydrocarbons.
【0007】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、簡易な構成により、被分析ガスに含まれる二
酸化硫黄ガスを吸着することなく被分析ガスに含まれる
不純物を除去できるようにした、フィルタ装置及びこの
ようなフィルタ装置を有する硫黄分析システムを提供す
ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and has a simple configuration so that impurities contained in a gas to be analyzed can be removed without adsorbing sulfur dioxide gas contained in the gas to be analyzed. It is an object of the present invention to provide a filter device and a sulfur analysis system having such a filter device.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】このため、本発明のフィ
ルタ装置は、硫黄分析用試料を燃焼して酸化硫黄ガスを
生成する燃焼装置の下流側に設けられるフィルタ装置で
あって、フィルタホルダと、該酸化硫黄ガスを吸着しな
い素材からなるフィルタとをそなえて構成されたことを
特徴としている(請求項1)。Therefore, a filter device according to the present invention is a filter device provided downstream of a combustion device that generates a sulfur oxide gas by burning a sulfur analysis sample. And a filter made of a material that does not adsorb the sulfur oxide gas.
【0009】また、本発明のフィルタ装置は、該フィル
タが、シリカ繊維からなることを特徴としている(請求
項2)。ここで、該フィルタホルダの主要部は、フッ素
樹脂であることが好ましく(請求項3)、該フッ素樹脂
が、テトラフロロエチレン−パーフロロアルキルビニル
エーテル共重合体であることがより好ましい(請求項
4)。Further, the filter device of the present invention is characterized in that the filter is made of silica fiber. Here, the main part of the filter holder is preferably a fluororesin (claim 3), and the fluororesin is more preferably a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (claim 4). ).
【0010】また、該フィルタ装置を加熱する加熱手段
を設けることが好ましい(請求項5)。さらに、本発明
の硫黄分析システムは、硫黄分析用試料を燃焼して酸化
硫黄ガスを生成する燃焼装置と、該燃焼装置の下流側に
設けられた、主要部がフッ素樹脂で構成されたフィルタ
ホルダと、該フィルタホルダ内に収納されたシリカ繊維
からなるフィルタとをそなえてなるフィルタ装置と、該
フィルタ装置の下流側に設けられ、該フィルタ装置を通
じて導入されてきた該燃焼装置で生成された該酸化硫黄
ガスに紫外線照射光源部からの紫外線を照射して該酸化
硫黄ガス中の硫黄成分の測定を行なう酸化硫黄ガス分析
装置とをそなえて構成されたことを特徴としている(請
求項6)。Preferably, a heating means for heating the filter device is provided (claim 5). Further, the sulfur analysis system of the present invention comprises a combustion device for burning a sulfur analysis sample to generate a sulfur oxide gas, and a filter holder provided on the downstream side of the combustion device and having a main part made of a fluororesin. And a filter device comprising a filter made of silica fibers housed in the filter holder, and a filter device provided downstream of the filter device and generated by the combustion device introduced through the filter device. The apparatus is characterized in that the apparatus is provided with a sulfur oxide gas analyzer for irradiating the sulfur oxide gas with ultraviolet rays from an ultraviolet light source to measure a sulfur component in the sulfur oxide gas.
【0011】また、本発明の硫黄分析システムは、該フ
ッ素樹脂が、テトラフロロエチレン−パーフロロアルキ
ルビニルエーテル共重合体であることを特徴としている
(請求項7)。The sulfur analysis system according to the present invention is characterized in that the fluororesin is a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (claim 7).
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明するが、発明の主旨を越えない限り、以
下の説明に限定されるものではない。図1は本発明の一
実施形態にかかるフィルタ装置を有する硫黄分析システ
ムの構成を示すブロック図であり、図7はこの硫黄分析
システムの構成を示す機能ブロック図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but are not limited to the following description without departing from the gist of the invention. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a sulfur analysis system having a filter device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a functional block diagram illustrating a configuration of the sulfur analysis system.
【0013】この硫黄分析システム(以下、単に分析シ
ステムという)1は、紫外蛍光法を用いて分析用試料
(硫黄分析用試料)中の硫黄成分の含有量を測定するも
のであり、図1に示すように、分析用試料燃焼装置2,
フィルタ装置3,ガス除湿器4及び分析装置(二酸化硫
黄ガス分析装置)5をそなえて構成されている。ここ
で、本実施形態にかかる分析用試料燃焼装置2は、硫黄
成分を含む試料を燃焼することにより、試料中の硫黄成
分が変化した二酸化硫黄ガスを含む被分析ガスを生成す
るものであり、反応部6及びヒータ(加熱部)7からな
る試料燃焼部11をそなえるほか、ガス精製器8A,8
B,ガス流量計9A〜9C及びガス切替弁10をそなえ
て構成されている。This sulfur analysis system (hereinafter simply referred to as an analysis system) 1 measures the content of a sulfur component in an analysis sample (sulfur analysis sample) using an ultraviolet fluorescence method. As shown in FIG.
The apparatus includes a filter device 3, a gas dehumidifier 4, and an analyzer (sulfur dioxide gas analyzer) 5. Here, the sample burning device for analysis 2 according to the present embodiment burns a sample containing a sulfur component to generate an analyte gas containing a sulfur dioxide gas in which the sulfur component in the sample has changed, In addition to a sample combustion section 11 consisting of a reaction section 6 and a heater (heating section) 7, a gas purifier 8A, 8
B, gas flow meters 9A to 9C and a gas switching valve 10.
【0014】反応部6は、試料を燃焼することにより被
分析ガスを生成するための石英製ガラス反応管として構
成されており、内管(第1反応部)62と外管(第2反
応部)63とを有している。内管62は、内部に導入さ
れた試料を一部気化させて熱分解することにより試料ガ
スを発生させるものであり、分析用試料導入部61及び
不活性ガス導入部62Aに連なり、試料導入部61を通
じて試料を導入されるとともに、不活性ガス導入部62
Aを通じてアルゴンガス等の不活性ガス(キャリアガ
ス)を導入されるようになっている。The reaction section 6 is configured as a quartz glass reaction tube for generating a gas to be analyzed by burning a sample, and includes an inner pipe (first reaction section) 62 and an outer pipe (second reaction section). ) 63. The inner tube 62 generates a sample gas by partially vaporizing and thermally decomposing the sample introduced therein, and is connected to the analysis sample introduction unit 61 and the inert gas introduction unit 62A. The sample is introduced through an inert gas introduction section 62.
An inert gas (carrier gas) such as an argon gas is introduced through A.
【0015】なお、本実施形態では、試料を試料ボート
65にのせて内管62内に導入しているが、試料は注射
器等を用いて内管62内に注入することもでき、また、
試料を導入する試料導入管を内管62に接続してこの試
料導入管から試料を注入することもできる。また、本実
施形態では、熱分解後の試料は、この内管62内にて完
全燃焼させるようになっている。In the present embodiment, the sample is placed on the sample boat 65 and introduced into the inner tube 62. However, the sample can be injected into the inner tube 62 using a syringe or the like.
A sample introduction tube for introducing a sample may be connected to the inner tube 62 to inject a sample from the sample introduction tube. In the present embodiment, the sample after the thermal decomposition is completely burned in the inner tube 62.
【0016】また、外管63は、内管62で発生した試
料ガスを燃焼させるものであり、内管62の外周に内管
62を含んで設けられ、且つ、酸素ガス導入部(酸素含
有ガス導入部)63Bを通じて酸素ガスを導入されるよ
うになっている。なお、外管63内には、反応を促進す
るための石英綿64が設けられている。つまり、内管6
2は、その外端開口部62Cが外管63内に位置するよ
うに外管63に一部挿通されており、換言すれば、外管
63は、内管62に連通するとともに内管62に隣接
し、酸素ガス導入部63Bに連なるように設けられてい
ることになる。The outer tube 63 burns the sample gas generated in the inner tube 62. The outer tube 63 is provided so as to include the inner tube 62 on the outer periphery of the inner tube 62. Oxygen gas is introduced through an introduction section 63B. In addition, quartz wool 64 for accelerating the reaction is provided in the outer tube 63. That is, the inner tube 6
2 is partially inserted into the outer tube 63 such that the outer end opening 62C is located inside the outer tube 63. In other words, the outer tube 63 communicates with the inner tube 62 and It is provided adjacent to and connected to the oxygen gas introduction part 63B.
【0017】さらに、ヒータ7は、反応部6を加熱して
高温雰囲気に設定するための環状の電気炉を構成するも
のであり、主として内管62に試料ガスを発生させるた
めの熱を与える前段ヒータ7Aと、主として外管63に
試料ガスを燃焼するための熱を与える後段ヒータ7Bと
により構成され、前段ヒータ7Aと後段ヒータ7Bとが
協働して反応部6に熱を与えるようになっている。Further, the heater 7 constitutes an annular electric furnace for heating the reaction section 6 to set it in a high-temperature atmosphere, and mainly comprises a pre-stage for applying heat for generating a sample gas to the inner tube 62. It is composed of a heater 7A and a rear-stage heater 7B that mainly supplies heat for burning the sample gas to the outer tube 63, and the front-stage heater 7A and the rear-stage heater 7B cooperate to apply heat to the reaction unit 6. ing.
【0018】なお、本実施形態では、前段ヒータ7Aの
設定温度を約800℃とし、後段ヒータ7Bの設定温度
を約1000℃とする。また、ヒータ7は、通常、本実
施形態のように、反応部6の外周に設けられるが、外周
の全体に設けてもよいし、外周の一部に設けてもよい。
さらに、ヒータ7は、反応部6の内部に設けてもよい。In this embodiment, the set temperature of the first-stage heater 7A is about 800 ° C., and the set temperature of the second-stage heater 7B is about 1000 ° C. The heater 7 is usually provided on the outer periphery of the reaction section 6 as in the present embodiment, but may be provided on the entire outer periphery or on a part of the outer periphery.
Further, the heater 7 may be provided inside the reaction section 6.
【0019】一方、ガス精製器8Aは、反応部6に供給
する不活性ガスを精製するものであり、ガス精製器8B
は、反応部6に供給する酸素ガスを精製するものであ
る。さらに、ガス流量計9Aは、ガス精製器8Aにて精
製された不活性ガスの流量を調節するものであり、ガス
流量計9B,9Cは、ガス精製器8Bにて精製された酸
素ガスの流量を調節するものである。本実施形態では、
後述するガス切替弁10により酸素ガスの供給流路を切
替可能にするために、酸素ガス用のガス流量計9B,9
Cを設け、酸素ガスの流路を2つに分けている。On the other hand, the gas purifier 8A purifies the inert gas supplied to the reaction section 6, and the gas purifier 8B
Is for purifying the oxygen gas supplied to the reaction section 6. Further, the gas flow meter 9A adjusts the flow rate of the inert gas purified by the gas purifier 8A, and the gas flow meters 9B and 9C control the flow rate of the oxygen gas purified by the gas purifier 8B. Is to adjust. In this embodiment,
In order to enable the supply flow path of the oxygen gas to be switched by the gas switching valve 10 described later, the gas flow meters 9B and 9 for the oxygen gas are used.
C is provided and the oxygen gas flow path is divided into two.
【0020】一例として、反応部6に導入する不活性ガ
スの流量を400mL/minとし、反応部6に導入す
る酸素ガスの流量を600mL/minとした場合に
は、ガス流量計9Aは、不活性ガスの流量を400mL
/minとなるように調整し、ガス流量計9B,9C
は、それぞれ酸素ガスの流量を300mL/minとな
るように調整している。As an example, when the flow rate of the inert gas introduced into the reaction section 6 is 400 mL / min and the flow rate of the oxygen gas introduced into the reaction section 6 is 600 mL / min, the gas flow meter 9 A 400 mL of active gas flow
/ Min, and gas flow meters 9B and 9C
Are adjusted so that the flow rate of oxygen gas is 300 mL / min.
【0021】また、ガス切替弁10は、ガス流量計9B
からの酸素ガスを、外管63の酸素ガス導入部63Bへ
供給したり、内管62の酸素ガス導入部62Bへ供給し
たりするように、酸素ガスの供給流路を切り替えるもの
である。換言すれば、ガス切替弁10は、外管63へ供
給している酸素ガスの一部を、内管62へ供給しうる酸
素含有ガス供給切替手段として機能するものである。The gas switching valve 10 is provided with a gas flow meter 9B.
The supply path of the oxygen gas is switched so as to supply the oxygen gas from the supply port to the oxygen gas introduction section 63B of the outer pipe 63 and the oxygen gas supply section 62B of the inner pipe 62. In other words, the gas switching valve 10 functions as an oxygen-containing gas supply switching unit that can supply a part of the oxygen gas supplied to the outer pipe 63 to the inner pipe 62.
【0022】即ち、本実施形態における分析用試料燃焼
装置2では、内管62内にて試料を熱分解する際に、ガ
ス流量計9Bから供給される酸素ガスはガス切替弁10
及び酸素ガス導入部63Bを通じて外管63へ供給され
るようになっているが(図1参照)、熱分解後の試料を
内管62内にて完全燃焼させる際には、ガス切替弁10
により酸素ガスの流路を切り替えて、ガス流量計9Bか
ら供給される酸素ガス(外管63へ供給している酸素ガ
スの一部)をガス切替弁10及び酸素ガス導入部62B
を通じて内管62へ供給するようになっている。That is, in the sample burning device for analysis 2 of this embodiment, when the sample is pyrolyzed in the inner tube 62, the oxygen gas supplied from the gas flow meter 9B is supplied to the gas switching valve 10
The oxygen gas is supplied to the outer tube 63 through the oxygen gas inlet 63B (see FIG. 1). However, when the pyrolyzed sample is completely burned in the inner tube 62, the gas switching valve 10 is used.
To switch the flow path of the oxygen gas to supply the oxygen gas (a part of the oxygen gas supplied to the outer tube 63) supplied from the gas flow meter 9B to the gas switching valve 10 and the oxygen gas introduction section 62B.
Through the inner tube 62.
【0023】そして、本実施形態においては、ガス切替
弁10の切り替え後に、内管62内に速やかに酸素ガス
を導入するために、酸素ガスの一部を試料導入部61よ
り下流側にある酸素ガス導入部62Bから導入して、酸
素ガスの一部を内管62へ供給しうるようになってい
る。本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、被分析ガス
中の酸素ガス濃度が変動すると、分析装置5のベースラ
インが変動する(即ち、分析装置5の出力にノイズが出
る)ことを見い出した。In the present embodiment, after the gas switching valve 10 is switched, a part of the oxygen gas is introduced into the inner tube 62 in order to quickly introduce the oxygen gas into the inner pipe 62. A part of the oxygen gas can be supplied to the inner pipe 62 by being introduced from the gas introduction part 62B. As a result of intensive studies, the present inventors have found that when the oxygen gas concentration in the gas to be analyzed fluctuates, the baseline of the analyzer 5 fluctuates (that is, noise is generated in the output of the analyzer 5). Was.
【0024】そこで、本実施形態においては、試料を燃
焼する際の酸素ガス濃度を一定に保つために、ガス切替
弁10により酸素ガスの流路を切り替えて、ガス流量計
9Bからの酸素ガスを酸素ガス導入部62Bを通じて内
管62に混合することにより、酸素ガスと不活性ガスの
総流量及び流量比が変化しないようにしているのであ
る。Therefore, in the present embodiment, in order to keep the oxygen gas concentration at the time of burning the sample constant, the flow path of the oxygen gas is switched by the gas switching valve 10 so that the oxygen gas from the gas flow meter 9B is supplied. By mixing with the inner pipe 62 through the oxygen gas introduction part 62B, the total flow rate and the flow rate ratio of the oxygen gas and the inert gas are not changed.
【0025】即ち、前述した例では、内管62内にて試
料を熱分解する際には、ガス流量計9Aから流量400
mL/minの不活性ガスを内管62に供給する一方、
図1に示すように、ガス流量計9Bからの酸素ガスがガ
ス流量計9Cからの酸素ガスと合流するようにガス切替
弁10の位置を設定して、ガス流量計9B,9Cからそ
れぞれ流量300mL/minの酸素ガスを外管63に
供給するようになっている。That is, in the above-described example, when the sample is thermally decomposed in the inner tube 62, the flow rate of 400
While supplying the inert gas of mL / min to the inner tube 62,
As shown in FIG. 1, the position of the gas switching valve 10 is set so that the oxygen gas from the gas flow meter 9B merges with the oxygen gas from the gas flow meter 9C, and the flow rates of the gas flow meters 9B and 9C are 300 mL, respectively. / Min oxygen gas is supplied to the outer tube 63.
【0026】そして、熱分解後の試料を内管62内にて
完全燃焼させる際には、やはりガス流量計9Aから流量
400mL/minの不活性ガスを内管62に供給する
一方、ガス流量計9Bからの酸素ガスが酸素ガス導入部
62Bに導入されるようにガス切替弁10を切り替え
て、ガス流量計9Bから流量300mL/minの酸素
ガスを更に内管62に供給するとともに、ガス流量計9
Cから流量300mL/minの酸素ガスを外管63に
供給するようになっている。When the pyrolyzed sample is completely burned in the inner tube 62, an inert gas having a flow rate of 400 mL / min is supplied from the gas flow meter 9A to the inner tube 62, while the gas flow meter 9A is used. The gas switching valve 10 is switched so that oxygen gas from 9B is introduced into the oxygen gas introduction section 62B, and oxygen gas at a flow rate of 300 mL / min is further supplied from the gas flow meter 9B to the inner pipe 62, and the gas flow meter 9
An oxygen gas at a flow rate of 300 mL / min is supplied to the outer tube 63 from C.
【0027】このように、本実施形態においては、外管
63へ供給している酸素ガスの一部を内管62に供給し
ているので、酸素ガスと不活性ガスの総流量及び流量比
が変化しないようにすることができるのである。ところ
で、本実施形態にかかるフィルタ装置3は、分析用試料
燃焼装置2により生成された被分析ガスに含まれる不純
物(不完全燃焼により生じたススや不飽和炭化水素類
等)を除去して、被分析ガスを精製するものであり、分
析用試料燃焼装置2の下流側の分析用試料燃焼装置2と
ガス除湿器4との間に設けられている。As described above, in this embodiment, since a part of the oxygen gas supplied to the outer pipe 63 is supplied to the inner pipe 62, the total flow rate and the flow rate ratio of the oxygen gas and the inert gas are reduced. It can be kept unchanged. By the way, the filter device 3 according to the present embodiment removes impurities (such as soot and unsaturated hydrocarbons generated by incomplete combustion) contained in the analyte gas generated by the sample combustion device for analysis 2, It is for purifying the gas to be analyzed, and is provided between the gas dehumidifier 4 and the sample combustion device 2 for analysis downstream of the sample combustion device 2 for analysis.
【0028】ここで、このフィルタ装置3は、図1に示
すように、フィルタホルダ31,フィルタ32及びヒー
タ(加熱手段)33をそなえて構成されている。なお、
フィルタホルダ31及びフィルタ32の斜視図を図4に
示す。フィルタホルダ31は、フィルタ32を保持する
ものであり、主要部が耐熱性素材(好ましくは、フッ素
系樹脂)で構成されている。Here, the filter device 3 is provided with a filter holder 31, a filter 32 and a heater (heating means) 33 as shown in FIG. In addition,
FIG. 4 shows a perspective view of the filter holder 31 and the filter 32. The filter holder 31 holds the filter 32, and its main part is made of a heat-resistant material (preferably, a fluororesin).
【0029】ここで、フッ素系樹脂としては、例えば、
テトラフロロエチレン−パーフロロアルキルビニルエー
テル共重合体(PFA),ポリテトラフルオロエチレ
ン,テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体,ポリクロロトリフルオロエチレン,クロロ
トリフルオロエチレン−エチレン共重合体,ポリビニリ
デンフルオライド,ポリビニルフルオライド等があげら
れるが、中でも、テトラフロロエチレン−パーフロロア
ルキルビニルエーテル共重合体(PFA)が好適であ
る。Here, as the fluorine resin, for example,
Tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, polychlorotrifluoroethylene, chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer, polyvinylidene fluoride And polyvinyl fluoride. Among them, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA) is preferable.
【0030】なお、フィルタホルダ31は、二酸化硫黄
ガスを吸着しない素材であれば、金属又はセラミックよ
りなる素材で構成してもよい。また、フィルタ32は、
被分析ガス中の上記不純物以外の成分を透過させるもの
であり、フィルタホルダ31内に収納され、被分析ガス
中の二酸化硫黄ガスと反応せず、また、二酸化硫黄ガス
を吸着しない素材からなるものである。The filter holder 31 may be made of metal or ceramic as long as it does not adsorb sulfur dioxide gas. Also, the filter 32
A material that allows components other than the above impurities in the analyte gas to pass therethrough, is contained in the filter holder 31, does not react with the sulfur dioxide gas in the analyte gas, and is made of a material that does not adsorb the sulfur dioxide gas. It is.
【0031】ここで、このような素材としては、通常、
金属繊維又はセラミック繊維の織物,金属繊維又はセラ
ミック繊維の不織布等があげられるが、特に、アルミナ
バインダを含まないシリカ繊維が好適である。また、本
実施形態では、0.3μm以上の微粒子を95%以上除
去できる程度の密度を有するフィルタを用いる必要があ
る。Here, such a material is usually
A woven fabric of a metal fiber or a ceramic fiber, a non-woven fabric of a metal fiber or a ceramic fiber, and the like can be given. In particular, a silica fiber containing no alumina binder is preferable. Further, in the present embodiment, it is necessary to use a filter having a density capable of removing 95% or more of fine particles of 0.3 μm or more.
【0032】さらに、ヒータ33は、フィルタ32での
水蒸気の凝縮を防止するためにフィルタホルダ31を加
熱するものであり、フィルタホルダ31の外周に環状に
設けられている。なお、本実施形態では、ヒータ33と
して、フィルタホルダ31を保持しながら110〜15
0℃程度に保温できるパイプ用マントルヒータを使用し
た。Further, the heater 33 heats the filter holder 31 in order to prevent condensation of water vapor in the filter 32, and is provided on the outer periphery of the filter holder 31 in an annular shape. Note that, in the present embodiment, as the heater 33, while holding the filter holder 31, 110 to 15
A pipe mantle heater capable of keeping the temperature at about 0 ° C. was used.
【0033】本発明者らは、フィルタ32及びフィルタ
ホルダ31の素材を決定するために、各種フィルタと各
種フィルタホルダとを組み合わせてフィルタ装置を構成
し、これらのフィルタ装置での二酸化硫黄ガスの吸着や
シグナルの再現性等について試験したところ、以下に示
すような結果を得た。なお、以下は、硫黄含有標準試料
を燃焼して生成した被分析ガスをこれらのフィルタ装置
を通じて分析装置5に供給し、分析装置5によりピーク
形状及びベースラインを測定して、フィルタ装置を設け
ない場合のピーク形状及びベースラインと比較したもの
である。In order to determine the materials of the filter 32 and the filter holder 31, the present inventors constructed a filter device by combining various filters and various filter holders, and adsorbed sulfur dioxide gas in these filter devices. And the reproducibility of the signal were tested, and the following results were obtained. In the following, the analyte gas generated by burning the sulfur-containing standard sample is supplied to the analyzer 5 through these filter devices, and the peak shape and the baseline are measured by the analyzer 5, and no filter device is provided. It is a comparison with the peak shape and the baseline in the case.
【0034】[0034]
【表1】 [Table 1]
【0035】なお、テフロンは、テトラフルオロエチレ
ンを表す登録商標である。ここで、フィルタについて
は、フッ素樹脂とガラス繊維との複合メンブレン,テフ
ロンメンブレン,ホウケイ酸ガラスメンブレン,シリカ
繊維メンブレン2種をテストした。フッ素樹脂とガラス
繊維との複合メンブレンの場合は、二酸化硫黄ガスの吸
着が激しいことから不適であると判断した。また、テフ
ロンメンブレンとホウケイ酸ガラスメンブレンは、シグ
ナルの再現性不良,分析値過小である点から二酸化硫黄
ガスが吸着しているらしいと考えられるため、それぞれ
不適であると判断した。さらに、シリカ繊維メンブレン
は、アルミナバインダを含むものは二酸化硫黄ガスと若
干反応して吸着したようであったが、アルミナバインダ
を含まないものは二酸化硫黄ガスを吸着せず良好な結果
が得られた。Teflon is a registered trademark representing tetrafluoroethylene. Here, two types of filters were tested for a composite membrane of a fluororesin and glass fiber, a Teflon membrane, a borosilicate glass membrane, and a silica fiber membrane. In the case of a composite membrane of a fluororesin and glass fiber, it was judged to be unsuitable because the adsorption of sulfur dioxide gas was severe. In addition, the Teflon membrane and the borosilicate glass membrane were judged to be unsuitable, respectively, because it is considered that sulfur dioxide gas was adsorbed from the point that the signal reproducibility was poor and the analysis value was too small. Further, the silica fiber membrane containing the alumina binder seemed to slightly react with and adsorb to the sulfur dioxide gas, but the silica fiber membrane not containing the alumina binder did not adsorb the sulfur dioxide gas, so that good results were obtained. .
【0036】また、フィルタホルダについては、ポリプ
ロピレン(PP)製,ステンレス(SUS)製,PFA
製のものをテストしたが、PFA製のものを加熱して使
用すれば、分析値に問題はなかった。従って、本発明者
らは、上記結果から、耐熱性及び耐薬品性を有するPF
Aからなるフィルタホルダと、二酸化硫黄を吸着しない
シリカ繊維からなるフィルタ(アルミナバインダを含ま
ない)との組み合わせが、最も二酸化硫黄ガスの吸着や
シグナルの再現性に対する妨害が少なく、有効であるこ
とを見い出した。The filter holder is made of polypropylene (PP), stainless steel (SUS), PFA
The product made from PFA was tested, but if the product made from PFA was heated and used, there was no problem in the analytical value. Therefore, the present inventors have found from the above results that PF having heat resistance and chemical resistance
The combination of a filter holder made of A and a filter made of silica fiber that does not adsorb sulfur dioxide (does not contain an alumina binder) has the least effect on the adsorption of sulfur dioxide gas and the reproducibility of signals, and is effective. I found it.
【0037】そして、上記仕様のフィルタ装置3を用
い、分析用試料燃焼装置2にて不完全燃焼を起こさせた
場合のシグナル変化をみたところ、汚染されたフィルタ
装置3の交換後、約1.5時間で元の低いベースライン
に戻った。なお、従来は、分解洗浄しなければベースラ
インは復活しなかった。ベースラインが徐々に回復する
のは、フィルタ装置3を通過した妨害ガス成分等が配管
系に付着し、その置換に時間を要したためであると考え
られる。When the incomplete combustion was caused in the sample combustion device 2 for analysis using the filter device 3 of the above specification, the signal change was observed. After the replacement of the contaminated filter device 3, about 1. It returned to its original low baseline in 5 hours. Conventionally, the baseline was not restored unless it was decomposed and washed. It is considered that the reason why the baseline is gradually recovered is that the disturbing gas components and the like that have passed through the filter device 3 adhere to the piping system, and it takes time to replace the piping system.
【0038】なお、一般的な分析システム(硫黄分析シ
ステム)1には、分析用試料燃焼装置2と分析装置5と
の間に、フィルタ装置3を設けているものはない。とこ
ろで、ガス除湿器4は、分析用試料燃焼装置2からの被
分析ガスに含まれる水分を除去するものである。さら
に、分析装置5は、フィルタ装置3及びガス除湿器4の
下流側に設けられ、分析用試料燃焼装置2で生成された
被分析ガスがフィルタ装置3及びガス除湿器4を通じて
導入されると、この被分析ガス中に含まれる二酸化硫黄
ガスの濃度の測定を行なうものである。There is no general analysis system (sulfur analysis system) 1 in which a filter device 3 is provided between an analysis sample combustion device 2 and an analysis device 5. The gas dehumidifier 4 removes moisture contained in the gas to be analyzed from the sample combustion device for analysis 2. Further, the analyzer 5 is provided on the downstream side of the filter device 3 and the gas dehumidifier 4, and when the analyte gas generated by the sample combustion device for analysis 2 is introduced through the filter device 3 and the gas dehumidifier 4, The concentration of the sulfur dioxide gas contained in the gas to be analyzed is measured.
【0039】図5にこの分析装置5の構成を示す。ここ
で、分析装置5は、図1,図5に示すように、紫外線照
射光源部55と測定セル部56とをそなえて構成されて
いる。紫外線照射光源部55は、紫外線を照射する紫外
線照射光源を内蔵するものであるが、具体的には、光源
部51及び分光セル部52をそなえて構成されている。FIG. 5 shows the structure of the analyzer 5. Here, the analyzer 5 includes an ultraviolet irradiation light source unit 55 and a measurement cell unit 56, as shown in FIGS. The ultraviolet irradiation light source section 55 has a built-in ultraviolet irradiation light source for irradiating ultraviolet rays. Specifically, the ultraviolet irradiation light source section 55 includes a light source section 51 and a spectral cell section 52.
【0040】光源部51は、例えばキセノンランプ等の
光源51Aと集光レンズ51Bとを円筒状のケーシング
部51C内に内蔵する。また、分光セル部52は、好ま
しくは200〜240nmの紫外線を反射するフィルタ
52A,52Bを直方体状のケーシング部52C内に内
蔵することにより、光源部51からの光から紫外線を抽
出して測定セル部56に出射するものである。The light source 51 includes a light source 51A such as a xenon lamp and a condenser lens 51B in a cylindrical casing 51C. In addition, the spectroscopic cell unit 52 preferably incorporates filters 52A and 52B that reflect ultraviolet rays having a wavelength of 200 to 240 nm in a rectangular parallelepiped casing 52C, thereby extracting ultraviolet rays from light from the light source unit 51 and measuring cells. The light is emitted to the unit 56.
【0041】ここで、ケーシング部52Cは、図6に示
すように、枠部材52bと蓋部材52a,52cとから
構成されており、フィルタ52A,52Bは、図5に示
すように、ケーシング部52C内に、光源部51からの
光が通過する光路に対して約45°傾斜した状態で配置
されている。さらに、光源部51には、図5,図6に示
すように、ケーシング部51Cの分光セル部52と接続
される壁面(光源51Aからの光が通過する光通過部P
1を形成されたケーシング部51Cの壁面)W1以外
の、円筒状の壁面W2の対向する位置に、一対の開孔部
H1,H2が形成されている。なお、本実施形態におい
ては、開孔部H1,H2は、円筒状の壁面W2の分光セ
ル部52の近傍に形成されている。As shown in FIG. 6, the casing 52C comprises a frame member 52b and lid members 52a and 52c, and the filters 52A and 52B have a casing 52C as shown in FIG. The light source unit 51 is disposed at an angle of about 45 ° with respect to the optical path through which the light from the light source unit 51 passes. Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the light source unit 51 has a wall surface (a light passing unit P through which light from the light source 51A passes) connected to the spectral cell unit 52 of the casing unit 51C.
A pair of openings H1 and H2 are formed at positions opposite to the cylindrical wall surface W2 other than the wall surface W1 of the casing portion 51C formed with No. 1. In the present embodiment, the openings H1 and H2 are formed in the vicinity of the spectroscopic cell section 52 on the cylindrical wall surface W2.
【0042】また、分光セル部52には、図5,図6に
示すように、ケーシング部52Cの光源部51と接続さ
れる壁面(光源部51からの光が通過する光通過部P2
を形成されたケーシング部52Cの壁面)W3及びケー
シング部52Cの測定セル部56と接続される壁面(分
光セル部52で得られた紫外線が通過する光通過部P3
を形成されたケーシング部52Cの壁面)W4以外の壁
面のうちの対向する壁面W5,W6に、一対の開孔部H
3,H4が形成されている。As shown in FIGS. 5 and 6, the spectroscopic cell section 52 has a wall surface (a light passing section P2 through which light from the light source section 51 passes) connected to the light source section 51 of the casing section 52C.
Is formed on the wall of the casing portion 52C) and the wall connected to the measurement cell portion 56 of the casing portion 52C (the light passing portion P3 through which the ultraviolet light obtained by the spectroscopic cell portion 52 passes).
Are formed on the opposite wall surfaces W5 and W6 of the wall surfaces other than W4).
3, H4 are formed.
【0043】ここで、開孔部H1,H2は、光源部51
のケーシング部51Cの内部ガスの換気を行なうための
ものであり、開孔部H3,H4は、分光セル部52のケ
ーシング部52Cの内部ガスの換気を行なうためのもの
である。光源部51及び分光セル部52のケーシング部
51C,52C内には空気が存在しているため、空気中
に含まれる酸素ガスが二酸化硫黄ガス励起用の紫外線を
吸収する一方、紫外線を吸収した酸素ガスはオゾンガス
に変化して、このオゾンガスも更に紫外線を吸収するた
め、このままの状態で分析装置5を使用していると、測
定セル部56に入射される紫外線の強度が低下してしま
う。特に、時間の経過に従ってオゾンガスの濃度が上昇
した場合は、紫外線の強度は連続的に低下する。Here, the openings H1 and H2 are connected to the light source 51.
The openings H3 and H4 are provided for ventilation of the internal gas of the casing portion 52C of the spectroscopic cell portion 52. Since air is present in the casings 51C and 52C of the light source unit 51 and the spectroscopic cell unit 52, oxygen gas contained in the air absorbs ultraviolet rays for exciting the sulfur dioxide gas, while oxygen that has absorbed the ultraviolet rays. The gas changes to ozone gas, and this ozone gas also absorbs ultraviolet rays. Therefore, if the analyzer 5 is used as it is, the intensity of the ultraviolet rays incident on the measurement cell unit 56 will decrease. In particular, when the concentration of the ozone gas increases with the passage of time, the intensity of the ultraviolet light continuously decreases.
【0044】このように二酸化硫黄ガス励起用の紫外線
の強度が変化すると、被分析ガスから発生する蛍光強度
も変化してしまい、その結果として、硫黄分析値の精度
不良や経時変化を引き起こすことになる。そこで、本実
施形態においては、紫外線により発生するオゾンガスの
内部滞留を低減するために、開孔部H1,H2をケーシ
ング部51Cの壁面W2に設ける一方、開孔部H3,H
4をケーシング部52Cの壁面W5,W6に設け、不活
性ガス又は大気等により通気置換することにより、ケー
シング部51C,52Cの内部ガスの換気を行なってい
る。As described above, when the intensity of the ultraviolet ray for exciting the sulfur dioxide gas changes, the intensity of the fluorescent light generated from the gas to be analyzed also changes. Become. Therefore, in the present embodiment, in order to reduce the internal retention of the ozone gas generated by the ultraviolet rays, the openings H1 and H2 are provided on the wall surface W2 of the casing 51C, while the openings H3 and H2 are provided.
4 is provided on the wall surfaces W5 and W6 of the casing portion 52C, and the inside gas of the casing portions 51C and 52C is ventilated by venting and replacing with an inert gas or the atmosphere.
【0045】ここで、不活性ガスにより通気置換する場
合には、ケーシング部51Cの開孔部H1,H2(又は
ケーシング部52Cの開孔部H3,H4)のいずれか一
方の開孔部に、例えば不活性ガスを供給する不活性ガス
ボンベ(図示せず)を接続し、この不活性ガスボンベか
らの不活性ガスをケーシング部51C(又はケーシング
部52C)に導入し、他方の開孔部から排気を行なっ
て、ケーシング部51C(又はケーシング部52C)の
内部ガスを強制的に換気するように構成すればよい。Here, in the case where the gas is replaced by the inert gas, one of the openings H1 and H2 of the casing 51C (or the openings H3 and H4 of the casing 52C) is provided. For example, an inert gas cylinder (not shown) for supplying an inert gas is connected, the inert gas from the inert gas cylinder is introduced into the casing 51C (or the casing 52C), and the exhaust gas is exhausted from the other opening. In this case, the internal gas of the casing 51C (or the casing 52C) may be forcibly ventilated.
【0046】また、大気により通気置換する場合には、
ケーシング部51Cの開孔部H1,H2(又はケーシン
グ部52Cの開孔部H3,H4)のいずれか一方の開孔
部に、例えば送風機を接続し、この送風機からの風をケ
ーシング部51C(又はケーシング部52C)に導入
し、他方の開孔部から排気を行なって、ケーシング部5
1C(又はケーシング部52C)の内部ガスを強制的に
換気するように構成すればよい。When the air is replaced by air,
For example, a blower is connected to one of the openings H1 and H2 of the casing portion 51C (or the opening portions H3 and H4 of the casing portion 52C), and the wind from the blower is sent to the casing portion 51C (or Into the casing part 52C) and exhaust air through the other opening.
What is necessary is just to comprise so that the internal gas of 1C (or casing part 52C) may be forcibly ventilated.
【0047】なお、大気により通気置換する場合には、
送風機等を用いることなく、ケーシング部51Cの開孔
部H1,H2(又はケーシング部52Cの開孔部H3,
H4)を大気中に開放して、ケーシング部51C(又は
ケーシング部52C)の内部ガスを自然に換気するよう
にしてもよい。つまり、本実施形態における分析装置5
においては、内部ガスの換気を行なう換気手段が、紫外
線照射光源部55のケーシング部51C,52Cに形成
された開孔部H1〜H4を含んで構成されているのであ
り、この換気手段は、分析装置5に不活性ガスボンベや
送風機を付設した場合には内部ガスの強制換気手段とし
て構成されることになり、開孔部H1〜H4を大気中に
開放した場合には内部ガスの自然換気手段として構成さ
れることになる。When the air is replaced by air,
Without using a blower or the like, the opening portions H1 and H2 of the casing portion 51C (or the opening portions H3 and H3 of the casing portion 52C).
H4) may be opened to the atmosphere so that the gas inside the casing 51C (or the casing 52C) is naturally ventilated. That is, the analyzer 5 in the present embodiment
In the above, the ventilation means for ventilating the internal gas is configured to include openings H1 to H4 formed in the casing parts 51C and 52C of the ultraviolet light source 55, When an inert gas cylinder or a blower is attached to the device 5, it is configured as a forced ventilation means for the internal gas, and when the openings H1 to H4 are opened to the atmosphere, it serves as a natural ventilation means for the internal gas. Will be composed.
【0048】一方、測定セル部56は、紫外線照射光源
部55からの紫外線を被分析ガスに照射して、被分析ガ
ス中の成分測定(二酸化硫黄ガスの濃度測定)を行なう
ものであり、具体的には、図1,図5,図7に示すよう
に、セル53,光検出部54及び制御部57(図7参
照)をそなえて構成されている。セル53は、紫外線を
被分析ガスに照射して二酸化硫黄ガスに蛍光を発生させ
るためのものであり、集光レンズ(図示せず),二酸化
硫黄成分に蛍光を発生させるための空間部を有するセル
本体53A,被分析ガスを導入するためのガス入口部5
3B,被分析ガスを排出するためのガス出口部53Cか
ら構成されている。On the other hand, the measuring cell section 56 irradiates the gas to be analyzed with ultraviolet rays from the ultraviolet light source 55 to measure the components in the gas to be analyzed (measure the concentration of sulfur dioxide gas). More specifically, as shown in FIGS. 1, 5, and 7, it is configured to include a cell 53, a photodetector 54, and a controller 57 (see FIG. 7). The cell 53 is for irradiating the gas to be analyzed with ultraviolet rays to generate fluorescence in the sulfur dioxide gas, and has a condenser lens (not shown) and a space for generating fluorescence in the sulfur dioxide component. Cell body 53A, gas inlet 5 for introducing gas to be analyzed
3B, a gas outlet 53C for discharging the gas to be analyzed.
【0049】また、光検出部54は、セル53にて発生
した蛍光を検出して光電変換し、蛍光の強度に応じた電
気信号を発生するものであり、集光レンズ(図示せ
ず),光電子増倍管(PMT:Photo-Multiplier Tube
)54A,蛍光を抽出するフィルタ54Bをそなえて
いる。なお、フィルタ54Bは、二酸化硫黄ガス特有の
蛍光波長のうち好ましくは300〜400nmの波長の
みを選択的に透過しうる光学フィルタである。The light detecting section 54 detects the fluorescence generated in the cell 53, performs photoelectric conversion, and generates an electric signal corresponding to the intensity of the fluorescence, and includes a condenser lens (not shown), Photomultiplier tube (PMT)
) 54A and a filter 54B for extracting fluorescence. The filter 54B is an optical filter that can selectively transmit only the wavelength of preferably 300 to 400 nm among the fluorescent wavelengths unique to the sulfur dioxide gas.
【0050】さらに、制御部57は、光検出部54にて
得られた電気信号を増幅するものである。上述の構成に
より、本発明の一実施形態にかかるフィルタ装置3を有
する分析システム1においては、測定対象となる試料が
分析用試料燃焼装置2に導入されると、分析用試料燃焼
装置2では、この試料を燃焼させて二酸化硫黄ガスを含
む被分析ガスが生成される。Further, the control section 57 amplifies the electric signal obtained by the light detection section 54. With the above-described configuration, in the analysis system 1 having the filter device 3 according to one embodiment of the present invention, when a sample to be measured is introduced into the analysis sample combustion device 2, the analysis sample combustion device 2 By burning this sample, an analyte gas containing sulfur dioxide gas is generated.
【0051】分析用試料燃焼装置2により生成された被
分析ガスは、フィルタ装置3及びガス除湿器4を介して
分析装置5へ導入される。なお、この際に、フィルタ装
置3では被分析ガスに含まれるスス等が除去され、ガス
除湿器4では被分析ガスに含まれる水分が除去される。
そして、分析装置5では、導入された被分析ガス中の二
酸化硫黄ガスの濃度が測定され、測定後の被分析ガスは
分析装置5から排出される。The analyte gas generated by the sample combustion device for analysis 2 is introduced into the analyzer 5 through the filter device 3 and the gas dehumidifier 4. At this time, the filter device 3 removes soot and the like contained in the gas to be analyzed, and the gas dehumidifier 4 removes moisture contained in the gas to be analyzed.
Then, in the analyzer 5, the concentration of the sulfur dioxide gas in the introduced analyte gas is measured, and the measured analyte gas is discharged from the analyzer 5.
【0052】ここで、分析用試料燃焼装置2での試料の
燃焼処理について説明すると、まず、分析用試料燃焼装
置2においては、試料燃焼部11の反応部6の内管62
に試料及び不活性ガスが導入された状態にするととも
に、外管63に酸素ガスが導入された状態にしておく。
例えば、前述した例では、内管62に、ガス流量計9A
からの流量400mL/minの不活性ガスが導入され
るような状態にし、外管63に、図1に示すような状態
にあるガス切替弁10を介して、ガス流量計9B,9C
からの総流量600mL/minの酸素ガスが導入され
るような状態にしておく。Here, the combustion processing of the sample in the sample burning device for analysis 2 will be described. First, in the sample burning device for analysis 2, the inner pipe 62 of the reaction section 6 of the sample burning portion 11 is used.
In this state, the sample and the inert gas are introduced, and the outer tube 63 is introduced with the oxygen gas.
For example, in the example described above, the gas flow meter 9A is attached to the inner pipe 62.
A gas flow meter 9B, 9C is supplied to the outer pipe 63 through the gas switching valve 10 in a state as shown in FIG.
From which oxygen gas having a total flow rate of 600 mL / min is introduced.
【0053】そして、反応部6をヒータ7で加熱して反
応部6内を高温雰囲気にし、反応部6内の高温雰囲気に
より、試料を一部気化させて熱分解することにより内管
62内の試料から試料ガスを発生させる。さらに、内管
62内では、不活性ガスを更に導入し続けることでこの
試料ガスを外管63内に搬送し、外管63内では、搬送
された試料ガスを外管63内の酸素ガスにより燃焼させ
る(以上、第1ステップ)。Then, the reaction section 6 is heated by the heater 7 to make the inside of the reaction section 6 a high-temperature atmosphere, and the sample is partially vaporized and thermally decomposed by the high-temperature atmosphere in the reaction section 6 to thereby decompose the sample in the inner tube 62. A sample gas is generated from the sample. Further, in the inner tube 62, the sample gas is transported into the outer tube 63 by continuing to introduce the inert gas, and in the outer tube 63, the transported sample gas is transported by the oxygen gas in the outer tube 63. Burn (the above is the first step).
【0054】その後、ガス切替弁10を切り替えて、内
管62に、不活性ガスの供給に加え、外管63へ供給し
ているガス流量計9Bからの酸素ガスを供給することに
より、内管62内での試料燃焼を促進して、内管62内
で試料を完全燃焼させる(第2ステップ)。例えば、前
述した例では、ガス切替弁10を切り替えることによ
り、内管62には、ガス流量計9Aからの流量400m
L/minの不活性ガスが導入されるのに加えてガス流
量計9Bからの流量300mL/minの酸素ガスも導
入され、外管63には、ガス流量計9Cからの流量30
0mL/minの酸素ガスが導入されるようにして、内
管62内で試料を完全燃焼させる。Thereafter, the gas switching valve 10 is switched to supply the inner pipe 62 with the inert gas and also supply the oxygen gas from the gas flow meter 9 B which is supplying the outer pipe 63 with the inner pipe 62. The sample combustion in the inner tube 62 is promoted to completely burn the sample in the inner tube 62 (second step). For example, in the above-described example, by switching the gas switching valve 10, the inner pipe 62 has a flow rate of 400 m from the gas flow meter 9A.
In addition to the L / min inert gas introduced, an oxygen gas at a flow rate of 300 mL / min from the gas flow meter 9B is also introduced.
The sample is completely burned in the inner tube 62 by introducing oxygen gas at 0 mL / min.
【0055】最後に、分析用試料燃焼装置2において
は、次の試料についての被分析ガスの生成にそなえ、ガ
ス切替弁10を再度切り替えて、内管62へガス流量計
9Bからの酸素ガスを供給するのを停止する一方、当該
酸素ガスを外管63へ供給して、内管62への不活性ガ
スの導入状態及び外管63への酸素ガスの導入状態をそ
れぞれ始めの状態(上記第1ステップと同じ状態)に戻
しておく(第3ステップ)。例えば、前述した例では、
ガス切替弁10を再度切り替えて図1に示すような状態
に戻すことにより、内管62に、ガス流量計9Aからの
流量400mL/minの不活性ガスのみが導入される
ような状態に戻し、外管63に、ガス流量計9B,9C
からの総流量600mL/minの酸素ガスが導入され
るような状態に戻しておく。Finally, in the sample burning device for analysis 2, the gas switching valve 10 is switched again to supply the oxygen gas from the gas flow meter 9 B to the inner pipe 62 in preparation for the generation of the gas to be analyzed for the next sample. While the supply is stopped, the oxygen gas is supplied to the outer tube 63, and the state of introduction of the inert gas into the inner tube 62 and the state of introduction of the oxygen gas into the outer tube 63 are respectively the initial states (the above-described first state). (The same state as one step) (third step). For example, in the example above,
By switching the gas switching valve 10 again to return to the state shown in FIG. 1, the inner pipe 62 is returned to a state in which only the inert gas with a flow rate of 400 mL / min from the gas flow meter 9A is introduced. Gas flow meter 9B, 9C
Is returned to a state where oxygen gas with a total flow rate of 600 mL / min is introduced.
【0056】このようにすれば、上記第2ステップにお
ける反応部6全体に供給される酸素ガスと不活性ガスと
の流通比を、上記の第1ステップ,第3ステップにおけ
る反応部6全体に供給される酸素ガスと不活性ガスとの
流通比と同じ値に設定することができ、酸素ガスと不活
性ガスの総流量及び混合比の変化を最小限に抑えること
ができる。In this way, the flow ratio between the oxygen gas and the inert gas supplied to the entire reaction section 6 in the second step is supplied to the entire reaction section 6 in the first and third steps. It can be set to the same value as the flow ratio of the oxygen gas and the inert gas to be performed, and the change in the total flow rate and the mixing ratio of the oxygen gas and the inert gas can be minimized.
【0057】なお、分析用試料を燃焼させる際に、従来
のように内管62に酸素ガスを別途供給した場合〔図3
(a)にこれを模式的に示す〕には、図3(b)に示す
ように分析装置5のベースラインは変動しているが、本
実施形態のように外管63に供給する酸素ガスの一部を
内管62に供給した場合〔図2(a)にこれを模式的に
示す〕には、図2(b)に示すように分析装置5のベー
スラインの変動を低減することができる。When the sample for analysis is burned, oxygen gas is separately supplied to the inner tube 62 as in the prior art [FIG.
FIG. 3 (a) schematically shows this]. As shown in FIG. 3 (b), although the baseline of the analyzer 5 fluctuates, the oxygen gas supplied to the outer tube 63 as in this embodiment is changed. Is supplied to the inner tube 62 (this is schematically shown in FIG. 2A), it is possible to reduce the fluctuation of the baseline of the analyzer 5 as shown in FIG. 2B. it can.
【0058】このように、本実施形態における分析用試
料燃焼装置2によれば、ガス切替弁10を設け、内管6
2内で試料を燃焼する際にガス切替弁10を切り替え
て、不活性ガスの供給に加え、外管63へ供給している
酸素ガスの一部を内管62へ供給しているので、酸素ガ
スと不活性ガスの総流量及び混合比を変化させることな
く、反応部6へのガス流路を切り替えることができる。
従って、被分析ガス中の酸素ガス濃度の変化を防いで分
析装置5におけるベースラインの変動を防ぐことがで
き、試料が微量の硫黄成分を含む場合でも正確に硫黄成
分を測定することができる。As described above, according to the sample burning device for analysis 2 of the present embodiment, the gas switching valve 10 is provided and the inner pipe 6 is provided.
Since the gas switching valve 10 is switched when the sample is burned in the inside 2, a part of the oxygen gas supplied to the outer tube 63 is supplied to the inner tube 62 in addition to the supply of the inert gas. The gas flow path to the reaction section 6 can be switched without changing the total flow rate and the mixing ratio of the gas and the inert gas.
Therefore, it is possible to prevent a change in the oxygen gas concentration in the gas to be analyzed, thereby preventing a change in the baseline in the analyzer 5, and to accurately measure the sulfur component even when the sample contains a trace amount of the sulfur component.
【0059】さらに、この分析用試料燃焼装置2におい
ては、外管63に供給されている酸素ガスの一部を流路
を切り替えて内管62へ供給する際に、酸素ガスの一部
を試料導入部61Aより下流側に設けられた酸素ガス導
入部62Bから導入しているので、内管62内に速やか
に酸素ガスを導入して内管62内に不活性ガスのみが流
通する時間を短くすることができる。一方、前述のよう
にして分析用試料燃焼装置2により生成された被分析ガ
スは、フィルタ装置3を通過する際に、フィルタ32に
より被分析ガスに含まれるスス等の不純物が除去され
る。Further, in this sample combustion apparatus for analysis 2, when a part of the oxygen gas supplied to the outer tube 63 is supplied to the inner tube 62 by switching the flow path, a part of the oxygen gas is supplied to the sample. Since the oxygen gas is introduced from the oxygen gas introduction part 62B provided downstream of the introduction part 61A, the oxygen gas is quickly introduced into the inner pipe 62 to shorten the time during which only the inert gas flows through the inner pipe 62. can do. On the other hand, when the gas to be analyzed generated by the sample combustion device for analysis 2 as described above passes through the filter device 3, impurities such as soot contained in the gas to be analyzed are removed by the filter 32.
【0060】このとき、フィルタ装置3では、ヒータ3
3によりフィルタホルダ31が110〜150℃程度に
保温されているので、フィルタ32での水蒸気の凝縮を
防止することができる。このように、本実施形態にかか
るフィルタ装置3によれば、被分析ガスに含まれる二酸
化硫黄ガスを吸着することなく被分析ガスに含まれる不
純物を除去することができるので、その後段に設けられ
たガス除湿器4及び分析装置5が汚染されるのを防止す
ることができるほか、分析装置5での測定誤差を低減す
ることができる。At this time, in the filter device 3, the heater 3
3, the filter holder 31 is kept at a temperature of about 110 to 150 ° C., so that condensation of water vapor in the filter 32 can be prevented. As described above, according to the filter device 3 according to the present embodiment, the impurities contained in the gas to be analyzed can be removed without adsorbing the sulfur dioxide gas contained in the gas to be analyzed. In addition to preventing the gas dehumidifier 4 and the analyzer 5 from being contaminated, measurement errors in the analyzer 5 can be reduced.
【0061】従って、分析装置5におけるベースライン
回復時間を短縮するとともに、ベースライン回復に要す
る手間を少なくして、分析装置5のメンテナンスを容易
にすることができるほか、ガス除湿器4及びガス配管を
交換する必要がなくなるので、交換にかかるコストを低
減することができる。そして、分析装置5での測定を精
度よく行なうことができる。Accordingly, the time required for the baseline recovery in the analyzer 5 can be shortened, the labor required for the baseline recovery can be reduced, the maintenance of the analyzer 5 can be facilitated, and the gas dehumidifier 4 and the gas piping can be used. It is no longer necessary to replace the battery, so that the cost for replacement can be reduced. And the measurement in the analyzer 5 can be performed with high accuracy.
【0062】なお、本実施形態では、図1,図4に示す
ような形状のフィルタ装置3を用いているが、その他の
形状(例えばカラム状等)のものを用いてもよい。さら
に、フィルタ装置3により精製された被分析ガスは、ガ
ス除湿器4を通過する際に水分が除去された後に、分析
装置5へ導入される。ここで、分析装置5での被分析ガ
スの測定処理について説明すると、まず、紫外線照射光
源部55においては、光源部51からの光が分光セル部
52に照射されると、分光セル部52では、フィルタ5
2A,52Bにて上記光中の紫外線が反射することによ
り紫外線が選択され、選択された紫外線が測定セル部5
6に出射される。In the present embodiment, the filter device 3 having a shape as shown in FIGS. 1 and 4 is used, but another shape (for example, a column shape) may be used. Further, the gas to be analyzed purified by the filter device 3 is introduced into the analyzer 5 after the moisture is removed when passing through the gas dehumidifier 4. Here, the measurement processing of the gas to be analyzed in the analyzer 5 will be described. First, in the ultraviolet irradiation light source unit 55, when the light from the light source unit 51 is irradiated to the spectral cell unit 52, the spectral cell unit 52 , Filter 5
The ultraviolet rays in the light are reflected at 2A and 52B to select the ultraviolet rays, and the selected ultraviolet rays are measured.
6 is emitted.
【0063】このとき、光源部51では、開孔部H1,
H2を通じてケーシング部51Cの内部ガスの換気が行
なわれており、分光セル部52では、開孔部H3,H4
を通じてケーシング部52Cの内部ガスの換気が行なわ
れている。ケーシング部51C,52Cの内部ガスの換
気を行なう際に、不活性ガスにより通気置換する場合に
は、ケーシング部51Cの開孔部H1,H2(又はケー
シング部52Cの開孔部H3,H4)のいずれか一方の
開孔部から、例えば不活性ガスボンベ(図示せず)によ
り不活性ガスをケーシング部51C(又はケーシング部
52C)に導入し、他方の開孔部から排気を行なって、
ケーシング部51C(又はケーシング部52C)の内部
ガスを強制的に換気する。At this time, in the light source section 51, the apertures H1,
The gas inside the casing portion 51C is ventilated through H2, and the opening portions H3, H4
The ventilation of the internal gas of the casing part 52C is performed through. When ventilating the inside gas of the casing portions 51C and 52C and replacing the ventilation with an inert gas, the opening portions H1 and H2 of the casing portion 51C (or the opening portions H3 and H4 of the casing portion 52C). An inert gas is introduced into the casing 51C (or the casing 52C) from one of the openings by, for example, an inert gas cylinder (not shown), and the other opening is used to exhaust gas.
The gas inside the casing 51C (or the casing 52C) is forcibly ventilated.
【0064】また、大気により通気置換する場合には、
ケーシング部51Cの開孔部H1,H2(又はケーシン
グ部52Cの開孔部H3,H4)のいずれか一方の開孔
部から、例えば送風機により風をケーシング部51C
(又はケーシング部52C)に導入し、他方の開孔部か
ら排気を行なって、ケーシング部51C(又はケーシン
グ部52C)の内部ガスを強制的に換気する。When the air is replaced by air,
For example, a blower blows wind from one of the openings H1 and H2 of the casing 51C (or the openings H3 and H4 of the casing 52C) to the casing 51C.
(Or the casing 52C), and exhaust is performed through the other opening to forcibly ventilate the gas inside the casing 51C (or the casing 52C).
【0065】なお、大気により通気置換する場合には、
送風機等を用いることなく、ケーシング部51Cの開孔
部H1,H2(又はケーシング部52Cの開孔部H3,
H4)を大気中に開放して、ケーシング部51C(又は
ケーシング部52C)の内部ガスを自然に換気してもよ
い。このような状態で、ガス除湿器4から被分析ガスが
測定セル部56へ導入されると、測定セル部56のセル
53では、被分析ガス中の二酸化硫黄ガスが紫外線によ
り励起されて蛍光が発生する。そして、セル53にて発
生した蛍光は、光検出部54のPMT54Aにより検出
されて、その蛍光強度に応じた電気信号に変換される。
なお、光検出部54にて得られた電気信号は、制御部5
7にて増幅された後に波形処理され、被分析ガス中の硫
黄成分の分析結果が得られる。When the air is replaced by air,
Without using a blower or the like, the opening portions H1 and H2 of the casing portion 51C (or the opening portions H3 and H3 of the casing portion 52C).
H4) may be opened to the atmosphere to naturally ventilate the gas inside the casing 51C (or the casing 52C). In this state, when the gas to be analyzed is introduced from the gas dehumidifier 4 into the measurement cell section 56, the sulfur dioxide gas in the gas to be analyzed is excited by ultraviolet rays in the cell 53 of the measurement cell section 56, and the fluorescence is emitted. appear. Then, the fluorescence generated in the cell 53 is detected by the PMT 54A of the light detection unit 54, and is converted into an electric signal according to the fluorescence intensity.
The electric signal obtained by the light detection unit 54 is transmitted to the control unit 5
After being amplified at 7, the waveform is processed, and the analysis result of the sulfur component in the gas to be analyzed is obtained.
【0066】このように、本実施形態における分析装置
5によれば、紫外線照射光源部55(即ち、光源部51
及び分光セル部52)に開孔部H1〜H4を設けて、内
部ガスの換気を行なっているので、オゾンガスの内部滞
留を低減して、紫外線強度の変化を低減又は防止するこ
とができる。従って、分析値の精度を向上させることが
できるほか、図8に示すように、分析値の日内変動を防
止することもできる(図8の●参照)。なお、図8は、
硫黄含有標準試料を燃焼して生成した被分析ガスの分析
値の日内変動について示す図であり、この図8におい
て、紫外線照射光源部55に開孔部H1〜H4を設けな
い場合の分析値を○で示し、紫外線照射光源部55に開
孔部H1〜H4を設けた場合の分析値を●で示してい
る。As described above, according to the analyzer 5 of this embodiment, the ultraviolet light source 55 (that is, the light source 51)
Further, since the opening portions H1 to H4 are provided in the spectral cell portion 52) to ventilate the internal gas, the internal retention of the ozone gas can be reduced, and the change in the ultraviolet intensity can be reduced or prevented. Therefore, the accuracy of the analysis value can be improved, and also, as shown in FIG. 8, daily fluctuation of the analysis value can be prevented (see ● in FIG. 8). In addition, FIG.
FIG. 9 is a diagram showing the diurnal variation of the analysis value of the gas to be analyzed generated by burning the sulfur-containing standard sample. In FIG. 8, the analysis values when the apertures H1 to H4 are not provided in the ultraviolet light source 55 are shown. The analysis value when the opening portions H1 to H4 are provided in the ultraviolet irradiation light source unit 55 is indicated by ○, and the analysis value is indicated by ●.
【0067】また、光源部51の分光セル部52の近傍
に開孔部H1,H2を形成しているので、オゾンガスの
内部滞留を効果的に低減することができる。なお、本実
施形態における分析装置5では、開孔部H1,H2が、
円筒状の壁面W2の分光セル部52の近傍に、図6に示
すように水平方向に対向するように形成されているが、
垂直方向に対向するように形成してもよい。なお、開孔
部H1,H2は、壁面W2の近接した位置にそれぞれ形
成してもよい。Further, since the apertures H1 and H2 are formed in the vicinity of the spectroscopic cell section 52 of the light source section 51, the internal stagnation of ozone gas can be effectively reduced. In the analyzer 5 according to the present embodiment, the openings H1 and H2 are
It is formed in the vicinity of the spectroscopic cell portion 52 of the cylindrical wall surface W2 so as to face in the horizontal direction as shown in FIG.
It may be formed so as to be opposed in the vertical direction. The openings H1 and H2 may be formed at positions near the wall surface W2.
【0068】また、本実施形態では、開孔部H3,H4
が、光通過部P2を形成された壁面W3及び光通過部P
3を形成された壁面W4以外の壁面のうちの対向する壁
面W5,W6に形成されているが、開孔部H3,H4
は、上記壁面W3,W4以外の壁面であれば、対向する
壁面W5,W6以外の壁面に形成してもよく、同一壁面
に形成してもよい。In this embodiment, the opening portions H3, H4
Is the wall surface W3 formed with the light passing portion P2 and the light passing portion P
3 are formed on opposing wall surfaces W5 and W6 of the wall surfaces other than the wall surface W4 on which the holes 3 are formed.
As long as it is a wall surface other than the wall surfaces W3 and W4, it may be formed on the wall surfaces other than the opposing wall surfaces W5 and W6, or may be formed on the same wall surface.
【0069】さらに、本実施形態では、分析装置5の光
源部51に開孔部H1,H2が形成されるとともに、分
光セル部52に開孔部H3,H4が形成されているが、
光源部51のみに開孔部H1,H2を形成したり、分光
セル部52のみに開孔部H3,H4を形成してもよい。
また、本実施形態では、光源部51に一対の開孔部H
1,H2が形成されるとともに、分光セル部52に一対
の開孔部H3,H4が形成されているが、対をなさない
単独の開孔部を形成してもよい。Further, in the present embodiment, the apertures H1 and H2 are formed in the light source 51 of the analyzer 5 and the apertures H3 and H4 are formed in the spectroscopic cell 52.
The openings H1 and H2 may be formed only in the light source unit 51, or the openings H3 and H4 may be formed only in the spectral cell unit 52.
In the present embodiment, the light source 51 has a pair of apertures H.
1 and H2 are formed, and a pair of openings H3 and H4 are formed in the spectroscopic cell unit 52, but a single unpaired opening may be formed.
【0070】さらに、本実施形態における分析装置5で
は、分光セル部52において、フィルタ52A,52B
として、反射型の光学フィルタを用いているが、透過型
の光学フィルタを用いても構わない。その他、図1に示
す分析システム1においては、分析用試料燃焼装置2と
して、ガス切替弁10をそなえない一般的な分析用試料
燃焼装置を用いることもできる。また、分析システム1
においては、ガス除湿器4を設けない構成とすることも
できる。Further, in the analyzer 5 of the present embodiment, the filters 52A and 52B
Although a reflection-type optical filter is used as an example, a transmission-type optical filter may be used. In addition, in the analysis system 1 shown in FIG. 1, a general analysis sample combustion device that does not include the gas switching valve 10 can be used as the analysis sample combustion device 2. Analysis system 1
, The gas dehumidifier 4 may not be provided.
【0071】さらに、分析システム1においては、分析
装置5として、本実施形態で説明したような開孔部H1
〜H4をもたない一般的な分析装置を用いることもでき
る。Further, in the analysis system 1, the opening H 1 as described in the present embodiment is used as the analyzer 5.
A general analyzer having no H4 can be used.
【0072】[0072]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
被分析ガスに含まれる二酸化硫黄ガスを吸着することな
く被分析ガスに含まれる不純物を除去することができる
ので、その後段に設けられたガス除湿器及び分析装置が
汚染されるのを防止することができる利点があるほか、
分析装置での測定誤差を低減することができる利点があ
る。従って、ベースライン回復に要する手間を少なくし
て分析装置のメンテナンスを容易にすることができ、ガ
ス除湿器及びガス配管の交換にかかるコストを低減する
ことができるほか、分析装置での測定を精度よく行なう
ことができる(請求項1〜4,6,7)。As described in detail above, according to the present invention,
Since the impurities contained in the gas to be analyzed can be removed without adsorbing the sulfur dioxide gas contained in the gas to be analyzed, it is possible to prevent the gas dehumidifier and the analyzer provided at the subsequent stage from being contaminated. Has the advantage of being able to
There is an advantage that a measurement error in the analyzer can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the labor required for the restoration of the baseline, to facilitate the maintenance of the analyzer, to reduce the cost of replacing the gas dehumidifier and the gas piping, and to improve the accuracy of the measurement by the analyzer. It can be carried out well (claims 1-4, 6, 7).
【0073】また、本発明のフィルタ装置によれば、フ
ィルタ装置を加熱する加熱手段を設けているので、フィ
ルタでの水蒸気の凝縮を防止することができる利点があ
る(請求項5)。Further, according to the filter device of the present invention, since the heating means for heating the filter device is provided, there is an advantage that the condensation of water vapor on the filter can be prevented (claim 5).
【図1】本発明の一実施形態にかかるフィルタ装置を有
する硫黄分析システムの構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a sulfur analysis system having a filter device according to one embodiment of the present invention.
【図2】(a),(b)は、ともに本発明の一実施形態
における分析用試料燃焼装置にて用いられる酸素ガス供
給方法を説明する図である。FIGS. 2A and 2B are diagrams illustrating an oxygen gas supply method used in the sample combustion apparatus for analysis according to one embodiment of the present invention.
【図3】(a),(b)は、ともに一般的な分析用試料
燃焼装置にて用いられる酸素ガス供給方法を説明する図
である。FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating an oxygen gas supply method used in a general analytical sample combustion apparatus.
【図4】本発明の一実施形態にかかるフィルタ装置の構
成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of a filter device according to one embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施形態における分析装置の構成を
模式的に示す図である。FIG. 5 is a diagram schematically showing a configuration of an analyzer according to one embodiment of the present invention.
【図6】光源部及び分光セル部の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view showing a configuration of a light source unit and a spectral cell unit.
【図7】本発明の一実施形態にかかるフィルタ装置を有
する硫黄分析システムの構成を示す機能ブロック図であ
る。FIG. 7 is a functional block diagram showing a configuration of a sulfur analysis system having a filter device according to one embodiment of the present invention.
【図8】本発明の一実施形態における分析装置による分
析値の日内変動の低減効果を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an effect of reducing daily fluctuation of an analysis value by the analyzer according to the embodiment of the present invention.
1 分析システム(硫黄分析システム) 2 分析用試料燃焼装置 3 フィルタ装置 4 ガス除湿器 5 分析装置 6 反応部 7 ヒータ(加熱部) 7A 前段ヒータ 7B 後段ヒータ 8A,8B ガス精製器 9A〜9C ガス流量計 10 ガス切替弁(酸素含有ガス供給切替手段) 11 試料燃焼部 31 フィルタホルダ 32 フィルタ 33 ヒータ(加熱手段) 51 光源部 51A 光源 51B 集光レンズ 51C ケーシング部 52 分光セル部 52A,52B フィルタ 52C ケーシング部 53 セル 53A セル本体 53B ガス入口部 53C ガス出口部 54 光検出部 54A 光電子増倍管 54B フィルタ 55 紫外線照射光源部 56 測定セル部 57 制御部 61 試料導入部 62 内管(第1反応部) 62A 不活性ガス導入部 62B 酸素ガス導入部 62C 外端開口部 63 外管(第2反応部) 63B 酸素ガス導入部(酸素含有ガス導入部) 64 石英綿 65 試料ボート H1〜H4 開孔部 P1〜P3 光通過部 W1〜W6 壁面 Reference Signs List 1 analysis system (sulfur analysis system) 2 sample combustion device for analysis 3 filter device 4 gas dehumidifier 5 analyzer 6 reaction unit 7 heater (heating unit) 7A front stage heater 7B rear stage heater 8A, 8B gas purifier 9A to 9C gas flow rate Total 10 Gas switching valve (oxygen-containing gas supply switching means) 11 Sample burning part 31 Filter holder 32 Filter 33 Heater (Heating means) 51 Light source part 51A Light source 51B Condensing lens 51C Casing part 52 Spectral cell part 52A, 52B Filter 52C Casing Unit 53 Cell 53A Cell body 53B Gas inlet 53C Gas outlet 54 Light detector 54A Photomultiplier tube 54B Filter 55 Ultraviolet irradiation light source unit 56 Measurement cell unit 57 Control unit 61 Sample introduction unit 62 Inner tube (first reaction unit) 62A Inert gas introduction section 62B Oxygen gas introduction Part 62C Outer end opening 63 Outer tube (second reaction part) 63B Oxygen gas introduction part (oxygen-containing gas introduction part) 64 Quartz wool 65 Sample boat H1 to H4 Opening part P1 to P3 Light passing part W1 to W6 Wall surface
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 敏男 神奈川県横浜市青葉区鴨志田町1000番地 三菱化学株式会社横浜総合研究所内 Fターム(参考) 2G042 AA01 BA08 DA04 DA09 EA02 HA07 HA10 2G043 AA01 BA07 DA01 DA02 EA01 GA06 GA14 HA01 JA01 KA03 LA02 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Toshio Kaneko 1000 Kamoshitacho, Aoba-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Mitsubishi Chemical Corporation Yokohama Research Laboratory F-term (reference) 2G042 AA01 BA08 DA04 DA09 EA02 HA07 HA10 2G043 AA01 BA07 DA01 DA02 EA01 GA06 GA14 HA01 JA01 KA03 LA02
Claims (7)
を生成する燃焼装置の下流側に設けられるフィルタ装置
であって、 フィルタホルダと、 該酸化硫黄ガスを吸着しない素材からなるフィルタとを
そなえて構成されたことを特徴とする、フィルタ装置。1. A filter device provided downstream of a combustion device for producing a sulfur oxide gas by burning a sulfur analysis sample, comprising: a filter holder; and a filter made of a material that does not adsorb the sulfur oxide gas. A filter device comprising:
を特徴とする、請求項1記載のフィルタ装置。2. The filter device according to claim 1, wherein said filter is made of silica fiber.
脂であることを特徴とする、請求項1または請求項2に
記載のフィルタ装置。3. The filter device according to claim 1, wherein a main part of the filter holder is made of a fluororesin.
−パーフロロアルキルビニルエーテル共重合体であるこ
とを特徴とする、請求項3記載のフィルタ装置。4. The filter device according to claim 3, wherein said fluororesin is a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer.
けられたことを特徴とする、請求項1〜請求項4のいず
れか1項に記載のフィルタ装置。5. The filter device according to claim 1, further comprising heating means for heating the filter device.
を生成する燃焼装置と、 該燃焼装置の下流側に設けられた、主要部がフッ素樹脂
で構成されたフィルタホルダと、該フィルタホルダ内に
収納されたシリカ繊維からなるフィルタとをそなえてな
るフィルタ装置と、 該フィルタ装置の下流側に設けられ、該フィルタ装置を
通じて導入されてきた該燃焼装置で生成された該酸化硫
黄ガスに紫外線照射光源部からの紫外線を照射して該酸
化硫黄ガス中の硫黄成分の測定を行なう酸化硫黄ガス分
析装置とをそなえて構成されたことを特徴とする、フィ
ルタ装置を有する硫黄分析システム。6. A combustion device for producing a sulfur oxide gas by burning a sample for sulfur analysis, a filter holder provided on the downstream side of the combustion device and having a main part made of fluororesin, and the filter holder A filter device comprising a filter made of silica fibers housed therein; and an ultraviolet ray provided to the sulfur oxide gas generated by the combustion device provided downstream of the filter device and introduced through the filter device. A sulfur analysis system having a filter device, comprising: a sulfur oxide gas analyzer for irradiating ultraviolet rays from an irradiation light source unit to measure a sulfur component in the sulfur oxide gas.
−パーフロロアルキルビニルエーテル共重合体であるこ
とを特徴とする、請求項6記載のフィルタ装置を有する
硫黄分析システム。7. The sulfur analysis system having a filter device according to claim 6, wherein the fluororesin is a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP10233344A JP2000065696A (en) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | Filter device and sulfur analytical system provided with filter device |
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