JP2000063148A - Optical fiber core member, optical fiber preform and their production - Google Patents

Optical fiber core member, optical fiber preform and their production

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JP2000063148A JP10237998A JP23799898A JP2000063148A JP 2000063148 A JP2000063148 A JP 2000063148A JP 10237998 A JP10237998 A JP 10237998A JP 23799898 A JP23799898 A JP 23799898A JP 2000063148 A JP2000063148 A JP 2000063148A
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core
clad
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for flattening the refractive index distribution of the clad of an optical fiber core member and an optical fiber preform, to obtain the flattened core member and preform, to widen an area of a fiber to be designed, to improve quality and yield and to better stabilization of operation and productivity. SOLUTION: In this a quartz-based optical fiber core member, the refractive index distribution in the radial direction of a clad by chlorine is made high at the outer periphery and reduced toward the center and is balanced with the refractive index rising distribution in the radial direction of the clad by outward diffusion of the dopant of the core to the clad. The variation of specific refractive index is <=5×10-5 in a clad zone of >= twice the core diameter.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバのコア
部材、光ファイバ母材(プリフォーム)、特には塩素を
ドープした分散特性の高いシングルモード光ファイバ用
コア部材、光ファイバ母材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber core member, an optical fiber base material (preform), and more particularly to a chlorine-doped single mode optical fiber core member having high dispersion characteristics and an optical fiber base material.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバを通過する光が基底モードの
みになる波長をカットオフ波長という。カットオフ波長
より長い波長の光がこの光ファイバに入射すると、高次
モードが消滅し、基底モードのみが伝播する。一方、シ
ングルモード光ファイバにおいては、分散により信号劣
化が生じる。分散がなくなる波長をゼロ分散波長とい
う。使用波長が決まっていることから市場で要求される
ゼロ分散波長の上限が決まる。
2. Description of the Related Art A wavelength at which light passing through an optical fiber has only a fundamental mode is called a cutoff wavelength. When light with a wavelength longer than the cutoff wavelength enters this optical fiber, the higher-order modes disappear and only the fundamental mode propagates. On the other hand, in a single mode optical fiber, signal degradation occurs due to dispersion. The wavelength at which dispersion disappears is called the zero dispersion wavelength. Since the used wavelength is fixed, the upper limit of the zero-dispersion wavelength required in the market is determined.

【0003】光ファイバを接続する際に、光が伝播する
領域が狭いと、この接続ポイントにおける光信号の損失
が大きくなり易い。この光が伝播する領域はモードフィ
ールド径(MFD)で表される。一般にシステムは複数
の接続ポイントを持つため、光ファイバは損失が許容範
囲以下に収まる程度のMFDを持つ必要がある。このよ
うにして市場で要求されるMFDの最小値が決定され
る。
When connecting an optical fiber, if the region where the light propagates is narrow, the loss of the optical signal at this connection point tends to increase. The region where this light propagates is represented by the mode field diameter (MFD). Since the system generally has a plurality of connection points, the optical fiber needs to have an MFD in which the loss falls within an allowable range. In this way, the minimum MFD value required in the market is determined.

【0004】光ファイバ内を伝播する光は、光ファイバ
が曲がっていることにより外に漏れ出し、従って信号が
劣化する。これを曲げ損失と呼ぶ。この曲げ損失は光フ
ァイバのカットオフ波長λC とMFDの比と相関がある
ことが判っている。この曲げ損失を許容範囲以下に抑え
る必要性からカットオフ波長の下限とモードフィールド
径の上限が限定されることになる。
The light propagating in the optical fiber leaks out due to the bending of the optical fiber, thus degrading the signal. This is called bending loss. It has been found that this bending loss correlates with the ratio of the cutoff wavelength λ C of the optical fiber to the MFD. Since it is necessary to keep the bending loss below the allowable range, the lower limit of the cutoff wavelength and the upper limit of the mode field diameter are limited.

【0005】光ファイバを通過する光は、厳密には単一
波長ではないため、その波長の差により伝送速度に差が
生じ信号が広がる。この現象は分散と呼ばれている。前
述のように分散が0となる波長をゼロ分散波長と呼ぶ。
理想的にはシステム全体で使用波長における分散が0で
あることが望ましい。つまり、分散補償ファイバを用い
ない通常のシステムにおいては、使用波長とゼロ分散波
長が一致することが望ましい。このようにして市場で要
求されるゼロ分散波長の範囲が決定される。
Strictly speaking, the light passing through the optical fiber does not have a single wavelength, so that the difference in the wavelengths causes a difference in the transmission speed and spreads the signal. This phenomenon is called dispersion. The wavelength at which the dispersion is 0 as described above is called the zero dispersion wavelength.
Ideally, it is desirable that the dispersion at the used wavelength is 0 in the entire system. That is, in a normal system that does not use a dispersion compensating fiber, it is desirable that the used wavelength and the zero dispersion wavelength match. In this way, the range of zero dispersion wavelength required on the market is determined.

【0006】以上のような制約から、図2(a)に示す
ような光ファイバの設計エリアが決定される。ここで、
図2は、カットオフ波長λC とMFDとの関係を表した
図で、曲げ損失の許容範囲に対応するλC とMFDを決
めることができる。通常、このような設計エリアに収ま
るようにコアの屈折率分布およびクラッドの厚みが決定
される。ここで、ある屈折率分布を持ったコア部材が在
る時にクラッド厚みを決定する作業を「設計する」と言
う。
From the above constraints, the design area of the optical fiber as shown in FIG. 2A is determined. here,
2, can be determined by drawing showing a relation between a cutoff wavelength lambda C and MFD, the lambda C and MFD corresponding to the allowable range of the bending loss. Usually, the refractive index distribution of the core and the thickness of the clad are determined so as to fit within such a design area. Here, the work of determining the clad thickness when there is a core member having a certain refractive index distribution is referred to as “designing”.

【0007】例えば、1310nmを使用波長とする一
般的な光ファイバでは、公知のとおり理想的な屈折率分
布は完全な矩形であるが、VAD法(気相軸付け法)や
OVD法(外付け化学気相蒸着法)といった現実の製造
方法で矩形にするのは非常に困難である。なぜなら、一
般にこれらの製造方法では、外周から中心に近い程高く
なるなだらかな屈折率の上昇がクラッドに現れるためで
ある。この屈折率の上昇は脱水・ガラス化の工程におい
て加熱されることによりコアからクラッドへドーパント
であるGeが拡散することによって起こっている。
For example, in a general optical fiber having a working wavelength of 1310 nm, as is well known, the ideal refractive index distribution is a perfect rectangle, but the VAD method (vapor phase axis method) and the OVD method (external method) are used. It is very difficult to make a rectangle by an actual manufacturing method such as a chemical vapor deposition method. This is because, in general, in these manufacturing methods, a gentle increase in the refractive index appears in the clad from the outer periphery to the center. This increase in the refractive index is caused by the diffusion of Ge, which is a dopant, from the core to the clad by being heated in the dehydration / vitrification process.

【0008】通常はこのようになだらかな屈折率の上昇
があるプロファイルでしか製造できないために、図2
(c)に示すように、従来の実際に設計できる「設計可
能エリア」は、市場の要求で決まる図2(a)の「設計
エリア」の内非常に狭い部分のみとなってしまう。ま
た、このような「設計可能エリア」内のもののみである
と、図3(b)に示すように、ゼロ分散波長の分布の中
心が使用波長よりも大きい値となり、ゼロ分散波長の大
きいファイバとゼロ分散波長の小さい波長のファイバを
組合せてシステム全体でのゼロ分散波長を使用波長に合
わせることが困難となる。
Since it is usually possible to manufacture only a profile having such a gradual increase in the refractive index, as shown in FIG.
As shown in (c), the conventional "designable area" that can be actually designed is only a very narrow portion in the "design area" of FIG. 2 (a) determined by the market requirements. In addition, if only within such a “designable area”, as shown in FIG. 3B, the center of the zero dispersion wavelength distribution becomes a value larger than the used wavelength, and the fiber having a large zero dispersion wavelength is obtained. It becomes difficult to match the zero-dispersion wavelength of the entire system to the used wavelength by combining the fiber with a wavelength having a small zero-dispersion wavelength.

【0009】クラッドの屈折率分布を調節する方法とし
ては、例えば、特許第2659066号公報に記載され
ているように、フッ素化合物をドープして屈折率を下げ
る方法が知られているが、この方法によると屈折率の高
いコア近辺にフッ素を多くドープする必要がある。しか
しながら、光が伝播する領域でのドーパントの増加は損
失を招くため好ましくない。
As a method of adjusting the refractive index distribution of the clad, for example, as described in Japanese Patent No. 2659066, a method of doping a fluorine compound to lower the refractive index is known. This method is known. According to the report, it is necessary to dope a large amount of fluorine near the core having a high refractive index. However, the increase of the dopant in the region where the light propagates causes a loss, which is not preferable.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、こ
のような問題点に鑑みなされたもので、光ファイバコア
部材および光ファイバ母材のクラッドの屈折率分布を平
坦化する方法と平坦化されたコア部材および母材を提供
し、ファイバの設計可能エリアを拡げて、品質の向上と
歩留りの向上を図ると共に操業の安定化と生産性の向上
を図ることを主たる目的とする。
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and a method and a method for flattening the refractive index distribution of the optical fiber core member and the cladding of the optical fiber preform. The main purpose is to provide an improved core member and preform, expand the designable area of the fiber, improve the quality and yield, and stabilize the operation and improve the productivity.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項1に記載した発明は、石英系光ファ
イバのコア部材において、塩素によるクラッドの径方向
の屈折率分布が外周において高く、中心に向かって低く
なる分布であり、コアのドーパントがクラッドへ外方拡
散したことによるクラッドの径方向の屈折率上昇分布と
均衡していることを特徴とする光ファイバのコア部材で
ある。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the invention described in claim 1 of the present invention, in the core member of a silica-based optical fiber, the radial refractive index distribution of the clad due to chlorine is at the outer periphery. A core member of an optical fiber characterized in that the distribution is high and decreases toward the center, and is balanced with the refractive index increase distribution in the radial direction of the cladding due to the outward diffusion of the core dopant into the cladding. .

【0012】このように、本発明では塩素によるクラッ
ドの径方向の外から内へ傾斜する屈折率分布とコアのド
ーパントによるクラッドにおける逆傾斜の屈折率分布と
が均衡しているので、クラッドの屈折率分布が極めて平
坦になったコア部材であり、使用波長からずれていたゼ
ロ分散波長がほぼ一致するようになり、従来狭くなって
いた光ファイバの設計可能範囲を大きく拡大することが
可能である。
As described above, according to the present invention, since the refractive index distribution of the chlorine which is inclined from the outside to the inside in the radial direction of the cladding and the refractive index distribution of the reverse inclination in the cladding which is caused by the dopant of the core are balanced, It is a core member with an extremely flat rate distribution, and the zero-dispersion wavelength, which has deviated from the used wavelength, becomes almost the same, and it is possible to greatly expand the designable range of the optical fiber, which was conventionally narrower. .

【0013】また、本発明の請求項2に記載した発明
は、コア直径の2倍以上のクラッド領域における、比屈
折率の変動が5×10-5以下であることを特徴とする光
ファイバのコア部材である。このように、クラッドにお
ける比屈折率の変動を5×10-5以下に抑えたものとす
れば、ゼロ分散波長λ0 は使用波長と許容範囲内でほぼ
一致するようになり、分散特性が向上して、光ファイバ
の設計可能範囲を拡大することができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical fiber characterized in that the fluctuation of the relative refractive index is 5 × 10 -5 or less in the cladding region having a core diameter twice or more. It is a core member. In this way, if the fluctuation of the relative refractive index in the clad is suppressed to 5 × 10 −5 or less, the zero dispersion wavelength λ 0 becomes almost the same as the used wavelength within the allowable range, and the dispersion characteristics are improved. Thus, the designable range of the optical fiber can be expanded.

【0014】そして、請求項3に記載したように、前記
コアにドープされたドーパントをGeとすることができ
る。このように、コアのドーパントがGeである場合、
コアからクラッドに外方拡散して屈折率分布がコア側が
高いものになるのを、本発明により修正することが可能
となる。
Then, as described in claim 3, the dopant doped in the core can be Ge. Thus, when the core dopant is Ge,
The present invention can correct the fact that the refractive index distribution becomes high on the core side due to outward diffusion from the core to the clad.

【0015】本発明の請求項4に記載した発明は、前記
請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光ファ
イバのコア部材から作製される光ファイバ母材である。
このように前記特性を有するコア部材に残りのクラッド
を堆積させ、塩素で脱水し、塩素をドープして透明ガラ
ス化して製造した光ファイバ母材であるから、コア部材
と同様、所望の特性を有する光ファイバ母材となる。
The invention described in claim 4 of the present invention is an optical fiber preform manufactured from the core member of the optical fiber according to any one of claims 1 to 3.
In this way, the remaining clad is deposited on the core member having the above-mentioned characteristics, dehydrated with chlorine, and the optical fiber preform produced by transparently vitrifying with chlorine to produce the desired characteristics like the core member. It becomes an optical fiber preform.

【0016】さらに、本発明の請求項5に記載した発明
は、前記請求項4に記載した光ファイバ母材から作製さ
れることを特徴とする光ファイバである。このように前
記特性を有する光ファイバ母材を延伸して製造した光フ
ァイバとすれば、光ファイバ母材と同様、所望の特性を
有する光ファイバとなる。
Further, the invention described in claim 5 of the present invention is an optical fiber manufactured from the optical fiber preform described in claim 4. When the optical fiber manufactured by stretching the optical fiber preform having the above characteristics is manufactured, the optical fiber has desired properties, like the optical fiber preform.

【0017】次に本発明の請求項6に記載した発明は、
出発部材にドーパントをドープしたSiO2 から成るコ
アおよびこれにSiO2 から成るクラッドの一部を堆積
させてスート堆積体を製造し、これを塩素により脱水
し、透明ガラス化して光ファイバコア部材を製造する方
法において、該スート堆積体に残留する塩素濃度が外周
に近い程高くなるように制御して、塩素によるクラッド
の径方向の屈折率分布が外周において高く、中心に向か
って低くなる分布とし、コアのドーパントがクラッドへ
外方拡散したことによるクラッドの径方向の屈折率上昇
分布と均衡するように作製することを特徴とする光ファ
イバコア部材の製造方法である。
The invention according to claim 6 of the present invention is as follows.
A core made of SiO 2 doped with a dopant and a part of a clad made of SiO 2 are deposited on the starting member to manufacture a soot deposit body, which is dehydrated with chlorine to be transparent vitrified to form an optical fiber core member. In the method for producing, the chlorine concentration remaining in the soot deposit is controlled to be higher as it is closer to the outer circumference, and the distribution of the refractive index in the radial direction of the clad due to chlorine is high at the outer circumference and becomes lower toward the center. The method for producing an optical fiber core member is characterized in that the core dopant is produced so as to be balanced with the refractive index increase distribution in the radial direction of the clad due to the outward diffusion of the core dopant into the clad.

【0018】このようにしてコア部材を製造すれば、ク
ラッドにおける屈折率分布は極めて平坦化され、使用波
長からずれていたゼロ分散波長がほぼ一致するようにな
り、分散特性が向上するので、従来狭くなっていた光フ
ァイバの設計可能範囲を大きく拡大することが可能とな
り、歩留りと生産性の向上を図ることができる。
When the core member is manufactured in this manner, the refractive index distribution in the clad is extremely flattened, the zero dispersion wavelength deviated from the used wavelength becomes substantially the same, and the dispersion characteristic is improved. The designable range of the narrowed optical fiber can be greatly expanded, and the yield and the productivity can be improved.

【0019】この場合、請求項7に記載したように、コ
ア直径の2倍以上のクラッド領域における比屈折率の変
動を、5×10-5以下に抑えることが望ましい。このよ
うに、クラッドにおける比屈折率の変動範囲を決めれ
ば、ゼロ分散波長λ0 は使用波長と許容範囲内でほぼ一
致するようになり、分散特性が向上し、光ファイバの設
計可能範囲を拡大することができる。
In this case, as described in claim 7, it is desirable to suppress the fluctuation of the relative refractive index in the cladding region having a diameter twice or more the core diameter of 5 × 10 −5 or less. In this way, if the variation range of the relative index of refraction in the cladding is determined, the zero dispersion wavelength λ 0 will be almost the same as the operating wavelength within the allowable range, improving the dispersion characteristics and expanding the designable range of the optical fiber. can do.

【0020】そしてこの場合、請求項8に記載したよう
に、前記コアのドーパントをGeとすることができる。
このようにすれば、コアからクラッドに外方拡散したG
eによる屈折率の上昇と、外からクラッドに拡散する塩
素による屈折率の上昇とを均衡させ、クラッドの屈折率
を平坦化できる。
In this case, the core dopant may be Ge.
By doing this, G diffused outward from the core to the clad
The increase in the refractive index due to e and the increase in the refractive index due to chlorine diffused into the clad from the outside can be balanced to flatten the refractive index of the clad.

【0021】本発明の請求項9に記載した発明は、請求
項6ないし請求項8で製造された光ファイバコア部材か
ら光ファイバ母材を形成する光ファイバ母材を製造する
方法である。このように前記コア部材を出発材として残
りの多孔質クラッド(以下、第2クラッドということが
ある)を堆積させて、塩素で脱水し、塩素をドープして
透明ガラス化し、良好な特性を有する光ファイバ母材を
形成することができる。
The invention described in claim 9 of the present invention is a method for producing an optical fiber preform for forming an optical fiber preform from the optical fiber core member produced in any one of claims 6 to 8. In this way, the remaining porous clad (hereinafter, sometimes referred to as the second clad) is deposited using the core member as a starting material, dehydrated with chlorine, doped with chlorine to form transparent glass, and has good characteristics. An optical fiber preform can be formed.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるも
のではない。本発明者らは、クラッドの屈折率分布を平
坦化するに当たり、脱水に使用する塩素がGeと同様に
シリカ(SiO2 )の屈折率を上昇させると共に、屈折
率の分布の方向が逆になることに着目し、諸条件を確認
して本発明を完成させた。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The embodiments of the present invention will be specifically described below, but the present invention is not limited thereto. When the present inventors flatten the refractive index distribution of the cladding, chlorine used for dehydration raises the refractive index of silica (SiO 2 ) like Ge, and reverses the direction of the refractive index distribution. Focusing on this, the present invention was completed by confirming various conditions.

【0023】すなわち、コアにドープしたGeは、クラ
ッドの方に外方拡散してクラッドの屈折率を高めると共
に、屈折率の分布はコア側から外周にかけてなだらかに
低下するように傾斜している。これに反して塩素は、ク
ラッドの屈折率を高めると共に、屈折率の分布は外周か
らコアの中心に向けてなだらかに低下するように傾斜し
ている。つまり、クラッドでのGeによる屈折率上昇と
全く等価で傾斜のみが反対となる塩素による屈折率上昇
を与えることにより、Geによる屈折率上昇は塩素によ
る屈折率上昇と均衡し、その結果、クラッドの屈折率分
布は平坦なものとすることが出来るのである。
That is, Ge doped into the core is diffused outward toward the clad to increase the refractive index of the clad, and the distribution of the refractive index is gradually inclined from the core side to the outer periphery. On the other hand, chlorine increases the refractive index of the clad, and at the same time, the distribution of the refractive index is inclined so as to gradually decrease from the outer circumference toward the center of the core. In other words, by giving the refractive index increase due to chlorine, which is completely equivalent to the refractive index increase due to Ge in the clad and only has the opposite slope, the refractive index increase due to Ge is balanced with the refractive index increase due to chlorine, and as a result, The refractive index distribution can be made flat.

【0024】ここで、実際に与え得る塩素による屈折率
の上昇は、なだらかなものであるため、コア近傍におけ
るGeの拡散による急激な屈折率の上昇を完全に打ち消
すことは極めて困難である。ここで言うコア近傍とは、
コア直径の2倍程度の領域である。このコア近傍におけ
る屈折率の上昇が従来どうりである時の、コア近傍以外
のコア直径の2倍以上のクラッド領域における屈折率の
変動と「設計可能範囲」との関係を調べた。その結果、
図4に示すように実用的には、使用波長(ゼロ分散波長
λ0 )1310±1nmに対して比屈折率の変動は、5
×10-5 以下であればよいことが判った。
Here, since the increase in refractive index due to chlorine that can be actually given is gentle, it is extremely difficult to completely cancel the sudden increase in refractive index due to the diffusion of Ge in the vicinity of the core. The vicinity of the core referred to here is
This is an area about twice the core diameter. When the increase in the refractive index in the vicinity of the core is similar to the conventional one, the relationship between the variation in the refractive index in the cladding region other than the vicinity of the core and at least twice the core diameter and the "designable range" was examined. as a result,
As shown in FIG. 4, practically, the variation of the relative refractive index is 5 with respect to the used wavelength (zero dispersion wavelength λ 0 ) 1310 ± 1 nm.
It has been found that a value of × 10 -5 or less is sufficient.

【0025】具体的にはコア部材用スート堆積体の脱
水、ガラス化工程における処理温度範囲である1000
〜1400℃に対応した塩素/ヘリウム混合ガス中塩素
濃度を、上記比屈折率の変動範囲内に収まるように設定
すればよい。
Specifically, the processing temperature range in the dehydration and vitrification process of the soot deposit body for core member is 1000.
The chlorine concentration in the chlorine / helium mixed gas corresponding to ˜1400 ° C. may be set so as to be within the fluctuation range of the relative refractive index.

【0026】このような本発明によれば、クラッドの屈
折率を調節するためのドーパントである塩素の量は、コ
アに近くなるほど、少なくなるため、従来のフッ素化合
物を添加する調整方法に比べて損失増加の危険性が極め
て少ない。
According to the present invention as described above, the amount of chlorine, which is a dopant for adjusting the refractive index of the clad, becomes smaller as it gets closer to the core, and therefore, compared with the conventional adjustment method of adding a fluorine compound. The risk of increased loss is extremely low.

【0027】ここで、添付した図面に基づき、さらに詳
細に本発明を説明する。図6(a)はコア部材製造装
置、図6(b)は焼結反応炉、図6(c)はクラッド製
造装置の構成例を示す概要図である。
The present invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings. 6A is a schematic diagram showing a configuration example of a core member manufacturing apparatus, FIG. 6B is a sintering reaction furnace, and FIG. 6C is a schematic diagram showing a configuration example of a clad manufacturing apparatus.

【0028】本発明のような所望のファイバ特性を有す
る光ファイバコア部材の製造装置としては、例えばVA
D法(気相軸付け法)によるコア部材の製造装置によっ
て製造することができる。この装置は、例えば図6
(a)に示すように、基材としての石英基材(コア)3
が挿入されるチャンバ4と、排気管と、該石英基材3の
下端のターゲット部に先端を向けて配置されるコア用バ
ーナ1を備えており、このバーナ1に、光ファイバコア
部材の原料となる四塩化ケイ素(SiCl4 )、屈折率
を制御するためのドーパントとしての四塩化ゲルマニウ
ム(GeCl4 )等の原料ライン、酸水素火炎用のH2
ガス、O2 ガス等のガスラインが接続されている。ま
た、石英基材3の側面に向けて配置される第1クラッド
用バーナ2を備え、四塩化ケイ素ガスと酸水素ガスライ
ンに接続されている。
An example of an apparatus for producing an optical fiber core member having desired fiber characteristics as in the present invention is, for example, VA.
It can be manufactured by the manufacturing apparatus of the core member by the D method (gas phase axial method). This device is shown in FIG.
As shown in (a), a quartz substrate (core) 3 as a substrate
Is provided with a chamber 4 into which is inserted, an exhaust pipe, and a core burner 1 arranged with its tip facing a target portion at the lower end of the quartz base material 3. The burner 1 is provided with a raw material of an optical fiber core member. Raw material lines such as silicon tetrachloride (SiCl 4 ), germanium tetrachloride (GeCl 4 ) as a dopant for controlling the refractive index, H 2 for oxyhydrogen flame
Gas lines such as gas and O 2 gas are connected. Further, the first cladding burner 2 arranged toward the side surface of the quartz substrate 3 is provided and is connected to the silicon tetrachloride gas and the oxyhydrogen gas line.

【0029】そしてこのような装置により、石英基材3
を回転させつつターゲット部に向けてバーナ1とバーナ
2から原料とガスを吹き付け、火炎加水分解反応を起こ
させてターゲット部の表面にすす状の反応生成物(Si
2 )を軸方向に堆積させて行くと共に、石英基材3を
引上げて、屈折率の高いコアと屈折率の低い第1クラッ
ドから成るスート堆積体である多孔質コア部材5を製造
する。
Then, by using such a device, the quartz substrate 3
The raw material and the gas are blown from the burner 1 and the burner 2 toward the target portion while rotating, and a flame hydrolysis reaction is caused to occur, soot-like reaction products (Si
O 2 ) is deposited in the axial direction and the quartz substrate 3 is pulled up to manufacture a porous core member 5 which is a soot deposit body including a core having a high refractive index and a first cladding having a low refractive index.

【0030】次に、図6(b)に示したように、この多
孔質コア部材5をヘリウムガス、塩素ガスの混合ガス導
入管および排気管と加熱装置6を備えた焼結反応炉7内
に入れ、塩素ガス濃度を調整しつつ1100℃に加熱し
て脱水し、塩素をドープし、さらに焼結して透明ガラス
化し、コア部材を作製する。この時、本発明において
は、雰囲気の塩素ガス濃度を、コア近傍のGeによる屈
折率の上昇分と均衡させるように制御することが重要で
ある。これは、コアのドーパント濃度、焼結温度等によ
る外方拡散量とから、これと均衡するように塩素濃度を
決定する。
Next, as shown in FIG. 6B, the porous core member 5 is placed in a sintering reaction furnace 7 equipped with a mixed gas introduction pipe and an exhaust pipe of helium gas and chlorine gas and a heating device 6. The mixture is heated to 1100 ° C. while adjusting the chlorine gas concentration, dehydrated, doped with chlorine, and further sintered to form a transparent glass to prepare a core member. At this time, in the present invention, it is important to control the chlorine gas concentration in the atmosphere so as to be balanced with the increase in the refractive index due to Ge in the vicinity of the core. This determines the chlorine concentration so as to be in balance with the dopant concentration of the core and the amount of outward diffusion due to the sintering temperature.

【0031】次いで、このコア部材8を、SiCl4
スと酸水素火炎が供給される第2クラッド用バーナ9と
排気管を有する図6(c)に示したクラッド製造装置1
0に装着し、OVD法によりバーナ9を左右に移動させ
ながら、このコア部材8の上に、所望のファイバ特性が
得られように第2クラッドを形成させる。その後この第
2クラッド付きガラスロッド11を再度図6(b)に示
した焼結反応炉7に装着し、ヘリウムガス、塩素ガスの
混合ガス雰囲気下に1100℃で脱水し、塩素をドープ
し、さらに焼結して透明ガラス化し光ファイバ母材を製
造する。
Next, the core member 8 is provided with the second cladding burner 9 to which the SiCl 4 gas and the oxyhydrogen flame are supplied and the clad manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 6 (c).
The second clad is formed on the core member 8 so that desired fiber characteristics can be obtained while the burner 9 is moved to the left and right by the OVD method. After that, the glass rod 11 with the second clad was attached again to the sintering reaction furnace 7 shown in FIG. 6B, dehydrated at 1100 ° C. in a mixed gas atmosphere of helium gas and chlorine gas, and doped with chlorine, Further, it is sintered into transparent glass to manufacture an optical fiber preform.

【0032】[0032]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施の形態を実施例
を挙げて説明するが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。 (実施例)図6(a)に示したコア部材製造装置を用い
て、SiCl4 ガスとドーパントとしてGeCl4 ガス
を酸水素火炎で燃焼させて、石英基材にスートを堆積さ
せて多孔質コアを形成し、同時にその上にSiCl4
スを酸水素火炎分解してスートを堆積させて多孔質クラ
ッドを形成し、多孔質コア部材を製造する。
EXAMPLES Specific embodiments of the present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these. (Example) Using the core member manufacturing apparatus shown in FIG. 6A, SiCl 4 gas and GeCl 4 gas as a dopant were burned with an oxyhydrogen flame to deposit soot on a quartz substrate to form a porous core. Is formed, and at the same time, SiCl 4 gas is decomposed by oxyhydrogen flame to deposit soot to form a porous clad to manufacture a porous core member.

【0033】次いで図6(b)に示した焼結反応炉に導
入した5モル%の塩素を含むヘリウムガス中にこの多孔
質コア部材を5mm/minの引下げ速度で、1100
℃の焼結炉を通過させて脱水し、塩素をドープし、透明
ガラス化して光ファイバコア部材を作製した。
Then, the porous core member was introduced into the sintering reaction furnace shown in FIG. 6 (b) in a helium gas containing 5 mol% of chlorine at a pulling rate of 5 mm / min for 1100.
It was passed through a sintering furnace at a temperature of ℃, dehydrated, doped with chlorine and made into a transparent glass to prepare an optical fiber core member.

【0034】このコア部材を分析したところ、図1
(c)に示したように、コア直径の2倍以上のクラッド
領域における比屈折率の変動が1×10-5以下である平
坦な屈折率分布を持つクラッドを形成することができ
た。この値は図4で明らかなように、ゼロ分散波長λ0
=1309.4nmに相当し、使用波長1310nmの
許容範囲(±1nm)内に収まっているものであった。
When this core member was analyzed, FIG.
As shown in (c), it was possible to form a clad having a flat refractive index distribution in which the fluctuation of the relative refractive index was 1 × 10 −5 or less in the clad region having twice the core diameter or more. This value is zero dispersion wavelength λ 0 , as is apparent from FIG.
= 1309.4 nm, which was within the allowable range (± 1 nm) of the used wavelength of 1310 nm.

【0035】ここで、図1(a)はコアにドープしたド
ーパントGeのみによる屈折率分布を表している。図1
(b)はクラッドに拡散した塩素のみによる屈折率分布
を表している。そして、図1(c)ではクラッド領域に
おいて、(a)と(b)の分布が相殺され、平坦な分布
となり、屈折率そのものはドーパント濃度(Ge+C
l)にほぼ比例して上昇しているのが判る。
Here, FIG. 1A shows the refractive index distribution due to only the dopant Ge doped into the core. Figure 1
(B) shows the refractive index distribution due to only chlorine diffused in the clad. Then, in FIG. 1C, in the cladding region, the distributions of (a) and (b) are canceled out, resulting in a flat distribution, and the refractive index itself is the dopant concentration (Ge + C).
It can be seen that it is rising almost in proportion to l).

【0036】また、光ファイバのゼロ分散波長λ0 の分
布を求めたところ、図3(a)に示したように分布の中
心が、使用波長とほぼ一致したものとなり、システム全
体で使用波長における分散をゼロとするファイバの構成
が極めて容易であることが判る。さらに、この条件で造
したコア部材を用いると、下記比較例(図2(c)参
照)に比べて光ファイバの設計可能範囲は大きく拡大し
た(図2(b)参照)。
Further, when the distribution of the zero-dispersion wavelength λ 0 of the optical fiber was obtained, the center of the distribution was almost coincident with the used wavelength as shown in FIG. It can be seen that it is extremely easy to construct a fiber with zero dispersion. Further, when the core member manufactured under these conditions is used, the designable range of the optical fiber is greatly expanded as compared with the following comparative example (see FIG. 2C) (see FIG. 2B).

【0037】(比較例)実施例で製造した多孔質コア部
材を1モル%の塩素を含むヘリウムガス中に5mm/m
inの引下げ速度で、1100℃の焼結炉を通過させて
脱水し、塩素をドープし、焼結して透明ガラス化し、光
ファイバコア部材を作製した。このコア部材を分析した
ところ、図5(c)に示したように、コアに近い程屈折
率が高くなるなだらかな屈折率の上昇が見られた。この
場合、コア直径の2倍以上のクラッド領域における比屈
折率の変動は8×10-5と大きいものであり、図4のゼ
ロ分散波長の許容範囲から大きく外れてしまった。図3
(b)にゼロ分散波長の分布を示したが、使用波長とは
全く一致することなく大きい方へズレてしまった。
(Comparative Example) The porous core member produced in the example was immersed in helium gas containing 1 mol% of chlorine at 5 mm / m.
It was passed through a sintering furnace at 1100 ° C. at a pull-down rate of in, dehydrated, doped with chlorine, sintered, and made into a transparent glass to prepare an optical fiber core member. When this core member was analyzed, as shown in FIG. 5C, a gentle increase in the refractive index was observed as the refractive index increased toward the core. In this case, the fluctuation of the relative refractive index in the cladding region which is twice the core diameter or more is as large as 8 × 10 −5 , which is largely outside the allowable range of the zero dispersion wavelength in FIG. Figure 3
The distribution of the zero-dispersion wavelength is shown in (b), but it did not match the used wavelength at all and was shifted to the larger side.

【0038】図5(a)はコアにドープしたドーパント
Geのみによる屈折率分布を表している。図5(b)は
クラッドに拡散した塩素のみによる屈折率分布を表して
いる。このように、図5(c)ではクラッド領域におけ
る(a)と(b)の分布が相殺しきれないでコアから外
周にかけてゆるい下り傾斜となっている。
FIG. 5A shows the refractive index distribution only with the dopant Ge doped in the core. FIG. 5B shows a refractive index distribution due to only chlorine diffused in the clad. As described above, in FIG. 5C, the distributions of (a) and (b) in the cladding region cannot be canceled out, and there is a gentle downward slope from the core to the outer periphery.

【0039】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention, and has any similar effect to the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
アから外方拡散したドーパントにより傾斜したクラッド
の屈折率分布を平坦化することができるので、使用波長
からずれていたゼロ分散波長がほぼ一致するようにな
り、分散特性が向上し、従来狭くなっていた光ファイバ
の設計可能範囲を大きく拡大することが可能となり、歩
留りと生産性の向上を図ることができる。
As described above, according to the present invention, the refractive index distribution of the slanted cladding can be flattened by the dopant diffused outward from the core, so that the zero dispersion wavelength deviated from the used wavelength can be reduced. It becomes almost the same, the dispersion characteristic is improved, the designable range of the optical fiber which has been narrowed in the past can be greatly expanded, and the yield and the productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光ファイバコア部材における径方向屈
折率分布を示す図である。 (a)コアにドープしたGeによる屈折率分布、(b)
クラッドに拡散した塩素による屈折率分布、(c):
(a)と(b)で合成された屈折率分布。
FIG. 1 is a diagram showing a radial direction refractive index distribution in an optical fiber core member of the present invention. (A) Refractive index distribution due to Ge doped in the core, (b)
Refractive index distribution due to chlorine diffused in the clad, (c):
The refractive index distributions synthesized in (a) and (b).

【図2】光ファイバを設計する際の、カットオフ波長λ
C とMFDとの相関関係から決まる設計可能エリアを示
す図である。 (a)市場の要求で決まる設計エリア、(b)本発明の
設計可能エリア、(c)従来技術による設計可能エリ
ア。
FIG. 2 Cutoff wavelength λ when designing an optical fiber
It is a figure which shows the designable area determined by the correlation of C and MFD. (A) Design area determined by market requirements, (b) Designable area of the present invention, (c) Designable area by conventional technology.

【図3】ゼロ分散波長λ0 の度数分布を示す図である。 (a)本発明の光ファイバ、(b)従来の光ファイバ。FIG. 3 is a diagram showing a frequency distribution of zero-dispersion wavelength λ 0 . (A) The optical fiber of the present invention, (b) the conventional optical fiber.

【図4】設計可能エリア内で設計した時のゼロ分散波長
λ0 の平均値とコア直径の2倍以上のクラッド領域にお
ける比屈折率の変化の関係を表す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between an average value of zero-dispersion wavelength λ 0 when designed in a designable area and a change in relative refractive index in a cladding region having a core diameter twice or more.

【図5】従来の光ファイバコア部材における径方向屈折
率分布を示す図である。 (a)コアにドープしたGeによる屈折率分布、 (b)クラッドに拡散した塩素による屈折率分布、
(c):(a)と(b)で合成された屈折率分布。
FIG. 5 is a diagram showing a radial direction refractive index distribution in a conventional optical fiber core member. (A) refractive index distribution due to Ge doped in the core, (b) refractive index distribution due to chlorine diffused into the clad,
(C): Refractive index distribution synthesized in (a) and (b).

【図6】本発明で使用した光ファイバ母材製造装置の構
成例を示す概要図である。 (a)コア部材製造装置、(b)焼結反応炉、(c)ク
ラッド製造装置。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a configuration example of an optical fiber preform manufacturing apparatus used in the present invention. (A) Core member manufacturing apparatus, (b) Sintering reaction furnace, (c) Clad manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…コア用バーナ、2…第1クラッド用バーナ、3…石
英基材(コア)、4…チャンバ、5…多孔質コア部材、
6…加熱装置、7…焼結反応炉、8…コア部材、9…第
2クラッド用バーナ、10…クラッド製造装置、11…
第2クラッド付きガラスロッド。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Burner for core, 2 ... Burner for 1st clad, 3 ... Quartz base material (core), 4 ... Chamber, 5 ... Porous core member,
6 ... Heating device, 7 ... Sintering reaction furnace, 8 ... Core member, 9 ... Burner for second clad, 10 ... Clad manufacturing device, 11 ...
A glass rod with a second cladding.

フロントページの続き (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Fターム(参考) 2H050 AA01 AB05X AB18Y AC35 AC36 4G062 AA06 BB02 LA03 LB01 MM04 NN01 Continued front page    (72) Inventor Tadakatsu Shimada             2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu             Gaku Kogyo Co., Ltd. Precision Materials Research Laboratory (72) Inventor Hideo Hirasawa             2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu             Gaku Kogyo Co., Ltd. Precision Materials Research Laboratory F-term (reference) 2H050 AA01 AB05X AB18Y AC35                       AC36                 4G062 AA06 BB02 LA03 LB01 MM04                       NN01

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 石英系光ファイバのコア部材において、
塩素によるクラッドの径方向の屈折率分布が外周におい
て高く、中心に向かって低くなる分布であり、コアのド
ーパントがクラッドへ外方拡散したことによるクラッド
の径方向の屈折率上昇分布と均衡していることを特徴と
する光ファイバのコア部材。
1. A core member of a silica-based optical fiber,
The refractive index distribution of chlorine in the radial direction of the clad is high at the outer circumference and becomes lower toward the center, which is in balance with the radial refractive index increase distribution of the clad due to outward diffusion of the core dopant into the clad. An optical fiber core member characterized in that
【請求項2】 コア直径の2倍以上のクラッド領域にお
ける、比屈折率の変動が5×10-5以下であることを特
徴とする光ファイバのコア部材。
2. A core member for an optical fiber, characterized in that the fluctuation of the relative refractive index is 5 × 10 −5 or less in a cladding region having a core diameter twice or more.
【請求項3】 前記コアにドープされたドーパントがG
eであることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載した光ファイバのコア部材。
3. The dopant doped into the core is G
It is e, The core member of the optical fiber of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項4】 前記請求項1ないし請求項3のいずれか
1項に記載の光ファイバのコア部材から作製されること
を特徴とする光ファイバ母材。
4. An optical fiber preform manufactured from the core member of the optical fiber according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】 前記請求項4に記載した光ファイバ母材
から作製されることを特徴とする光ファイバ。
5. An optical fiber manufactured from the optical fiber preform according to claim 4.
【請求項6】 出発部材にドーパントをドープしたSi
2 から成るコアおよびこれにSiO2 から成るクラッ
ドの一部を堆積させてスート堆積体を製造し、これを塩
素により脱水し、透明ガラス化して光ファイバコア部材
を製造する方法において、該スート堆積体に残留する塩
素濃度が外周に近い程高くなるように制御して、塩素に
よるクラッドの径方向の屈折率分布が外周において高
く、中心に向かって低くなる分布とし、コアのドーパン
トがクラッドへ外方拡散したことによるクラッドの径方
向の屈折率上昇分布と均衡するように作製することを特
徴とする光ファイバコア部材の製造方法。
6. The starting member is a Si doped with a dopant.
A method for producing an optical fiber core member by depositing a core made of O 2 and a part of a clad made of SiO 2 on the core to produce a soot deposit body, dehydrating this with chlorine, and vitrifying it into a transparent glass to produce an optical fiber core member. The chlorine concentration remaining in the deposit is controlled so that it becomes higher as it gets closer to the outer circumference, and the distribution of the refractive index in the radial direction of the clad due to chlorine is high at the outer circumference and becomes lower toward the center, and the core dopant is A method of manufacturing an optical fiber core member, characterized in that the optical fiber core member is manufactured so as to be balanced with the radial refractive index increase distribution of the cladding due to the outward diffusion.
【請求項7】 コア直径の2倍以上のクラッド領域にお
ける比屈折率の変動が、5×10-5以下となるように作
製することを特徴とする請求項6に記載の光ファイバコ
ア部材の製造方法。
7. The optical fiber core member according to claim 6, wherein the optical fiber core member is manufactured so that the fluctuation of the relative refractive index in the cladding region that is twice or more the core diameter is 5 × 10 −5 or less. Production method.
【請求項8】 前記ドーパントをGeとすることを特徴
とする請求項6または請求項7に記載の光ファイバコア
部材の製造方法。
8. The method of manufacturing an optical fiber core member according to claim 6, wherein the dopant is Ge.
【請求項9】 請求項6ないし請求項8で製造された光
ファイバコア部材から光ファイバ母材を形成することを
特徴とする光ファイバ母材を製造する方法。
9. A method of manufacturing an optical fiber preform, which comprises forming an optical fiber preform from the optical fiber core member produced in any one of claims 6 to 8.
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