JP2000058433A

JP2000058433A - 露光装置

Info

Publication number: JP2000058433A
Application number: JP10236294A
Authority: JP
Inventors: Kimikichi Deguchi; 公吉出口; Jiro Nakamura; 二朗中村; Makoto Fukuda; 真福田; Nobuyuki Takeuchi; 信行竹内
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1998-08-07
Filing date: 1998-08-07
Publication date: 2000-02-25

Abstract

(57)【要約】【課題】露光用室内に配される被露光体に、露光用室
内の気体が露光光によって照射されることによって発生
する不所望成分が侵入するのを有効に回避させる。【解決手段】露光用室内において、清浄な気体を、被
露光体の表面に沿った領域に効果的に流す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光光を被露光体
に露光用マスクを通じて露光させるようにした露光装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、図４を伴って次に述べる露光装置
が提案されている。すなわち、例えば半導体ウエハ上に
フォトレジスト層が塗布されている構成の被露光体１を
その被露光面が例えば垂直に保つように載置する（その
載置手段は図示せず）被露光体載置用台２を支台３を用
いて内部に設置しているとともに、露光用マスク４を被
露光体載置台２上に載置される被露光体１と対向するよ
うに配置する（その配置手段は図示せず）露光用マスク
配置用台５を内部に設置（その設置手段は図示せず）し
ている露光用室６を有する。

【０００３】また、露光用室６外に設置された例えばシ
ンクロトロン放射光源でなる光源からの例えば軟Ｘ線ビ
ームでなる露光光を、ビーム管７を介して露光用室６内
に導入し、その露光光を、被露光体載置台２上に載置さ
れる被露光体１に、矢８に示すように、露光用マスク配
置用台５上に配置される露光用マスク４を通じて露光さ
せる露光光照射手段９を有する。

【０００４】さらに、露光用室６の上方位置にそれと連
通するように配され、且つ露光用室６内に、上方から、
露光用室６内の雰囲気を形成する、気体（例えば乾燥空
気）を、温度、湿度、流量などについて調整して、矢１
０で示すように、送出する空調装置１１を有する。

【０００５】また、露光用室６内に、その下部において
連通し、且つ露光用室６内に、空調装置１１から送出さ
れる気体を、矢１０で示すように、露光用室６の被露光
体載置台２及び露光用マスク配置用台５が設置されてい
る領域を含む内部を通って、露光用室６外に排出する排
気ポンプでなる排気手段１２を有する。

【０００６】そして、排気手段１２から排出される露光
用室６からの気体を、矢２１に示すように、送風用ポン
プ１４に送り、その送風用ポンプ１４からの気体を、矢
２２に示すように、空調装置１１に、それに用いる気体
として送出すようになされている。

【０００７】以上が、従来提案されている露光装置の構
成である。このような構成を有する従来の露光装置によ
れば、露光用室６内において、その被露光体載置台２上
に被露光体１を載置するとともに、露光用マスク配置用
台５上に露光用マスク４を載置し、そして、空調装置１
１、排気手段１２及び送風用ポンプ１４を作動させるこ
とによって、気体（例えば乾燥空気）を露光用室６内に
その内部を通って循環させている状態を得、しかる後、
露光光照射手段９を作動させ、ビーム管７から、露光光
を出射させれば、被露光体１を、露光光によって、露光
用マスク４を介して照射させることができ、よって、露
光装置としての機能を得ることができる。

【０００８】そして、この場合、被露光体１に露光光を
露光用マスクを通じて露光させている間、気体（例えば
乾燥空気）が露光用室６内の内部を通って循環している
ので、気体（例えば乾燥空気）中に被露光体１にとって
望ましくない不純物が混入されていても、それが影響を
回避させることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】図４に示す従来の露光
装置の場合、被露光体１に露光光を露光用マスク４を通
じて露光させている場合、露光用室６内のその内部を通
って循環させている気体（例えば乾燥空気）が、ビーム
管７と被露光体１との間の領域において、ビーム管７か
らの露光光の照射を受ける。

【００１０】そして、この場合、被露光体１を露光光に
よって露光用マスク４を通じてそのパターンに応じた高
い解像度を有する露光パターンに露光させるために、露
光光を、超高圧水銀灯から得られるｇ線（波長：４３６
ｎｍ）や、ｉ線（波長：３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマ
レーザーから得られるレーザ光（波長：２４８ｎｍ）な
どに比し十分短い波長を有するＡｒＦエキシマレーザー
から得られるレーザ光（波長：１９３ｎｍ）や、上述し
たシンクロトロン放射光源から得られる軟Ｘ線（波長：
１ｎｍ）とする場合、それらの露光光が、６ｅＶ以上と
いうような高いエネルギーを有するため、ビーム管７と
被露光体１との間の領域で気体（例えば乾燥空気）及び
それに混入している不純物が励起またはイオン化され
て、励起物またはイオン化物が発生したり、また、それ
らの化学反応によって、硫酸、硝酸、塩酸などの酸が発
生したり、さらには、それら酸が水分によって解離して
酸イオンが発生したりする。

【００１１】そして、それら励起物またはイオン化物；
硫酸、硝酸、塩酸などの酸；酸イオンなどが、被露光体
１のフォトレジスト層内に望ましくない不所望成分とし
て侵入し、そのフォトレジスト層に、余分な感光を引き
起こさせたりする。とくに、被露光体１のフォトレジス
ト層が化学増幅レジストであって、そのフォトレジスト
内に上述した酸イオンが侵入する場合、フォトレジスト
層において、露光光が露光された場合と同様の酸の触媒
反応が生ずるので、いわゆる「かぶり」が大きく生じ
る。

【００１２】以上のことから、従来の露光装置の場合、
被露光体１を露光光によって露光用マスクを通じてその
パターンに応じた高い解像度を有する露光パターンに露
光させることができない、という欠点を有していた。

【００１３】よって、本発明は、上述した欠点のない、
新規な露光装置を提案せんとするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願第１番目の発明によ
る露光装置は、図４に示す従来の露光装置の場合と同様
に、（ａ）被露光体を載置する被露光体載置用台と、露
光用マスクを上記被露光体載置台上に載置される上記被
露光体と対向するように配置する露光用マスク配置用台
とを内部に設置している露光用室と、（ｂ）上記露光用
室外に設置された光源からの露光光を、上記露光用室内
に導入し、その露光光を、上記被露光体載置台上に設置
される上記被露光体に、上記露光用マスク配置用台上に
設置される上記露光用マスクを通じて露光させる露光光
照射手段と、（ｃ）上記露光用室内に、上記露光用室内
の雰囲気を形成する気体を、温度、湿度、流量などにつ
いて調整して送出する空調装置と、（ｄ）上記露光用室
内に上記空調装置から送出される気体を、上記露光用室
の内部を通って、上記露光用室外に排出する排気手段と
を有する。

【００１５】しかしながら、本願第１番目の発明による
露光装置は、このような構成を有する露光装置におい
て、（ａ）上記露光用室内に上記空調装置から送出され
る気体が、上記被露光体載置台上に載置される上記被露
光体の表面に沿って流れて、上記露光用室外に排出させ
るようになされ、そして、（ｂ）上記排気手段から排出
される上記露光用室からの気体を、それに混入される、
上記気体が上記露光光の照射を受けて発生する上記被露
光体にとって望ましくない不所望成分を除去する不所望
成分除去用手段と除湿手段とに通して、送風用ポンプに
送り、（ｃ）その送風用ポンプからの気体を、上記空調
装置に、それに用いる気体として送出すようになされて
いる。

【００１６】この場合、不所望成分除去用手段を、アル
カリ性ケミカルフイルタまたは水フイルタ、もしくは上
記アルカリ性ケミカルフイルタ及び水フイルタの従属構
成とし得る。

【００１７】また、本願第２番目の発明による露光装置
は、本願第１番目の発明による露光装置の場合と同様
に、（ａ）被露光体を載置する被露光体載置用台と、露
光用マスクを上記被露光体載置台上に載置される上記被
露光体と対向するように配置する露光用マスク配置用台
とを内部に設置している露光用室と、（ｂ）上記露光用
室外に設置された光源からの露光光を、上記露光用室内
に導入し、その露光光を、上記被露光体載置台上に載置
される上記被露光体に、上記露光用マスク配置用台上に
配置される上記露光用マスクを通じて露光させる露光光
照射手段と、（ｃ）上記露光用室内に、上記露光用室内
の雰囲気を形成する気体を、温度、湿度、流量などにつ
いて調整して送出する空調装置と、（ｄ）上記露光用室
内に上記空調装置から送出される気体を、上記露光用室
の内部を通って、上記露光用室外に排出する排気手段と
を有する。

【００１８】しかしながら、本願第２番目の発明による
露光装置は、このような露光装置において、（ａ）上記
露光用室外に設置されたガス供給源からの清浄ガスを、
除湿手段を通って、送風用ポンプに送り、（ｂ）その送
風用ポンプからの清浄ガスを、上記被露光体載置台上に
載置される上記被露光体の表面に沿って流すようになさ
れている。

【００１９】この場合、（ａ）上記露光用室内に、上記
被露光体載置台上に載置される上記被露光体の表面に沿
った領域、またはその領域及びその周辺領域を含む領域
を他の領域から仕切る仕切手段が設けられ、（ｂ）上記
送風用ポンプから、上記露光用室に、上記清浄ガスを送
給する清浄ガス送給管が、上記仕切手段が仕切っている
領域内に延長されているのを可とする。

【００２０】また、（ａ）上記送風用ポンプから、上記
清浄ガスを送給する清浄ガス送給管が、上記露光用室内
に延長され、（ｂ）その清浄ガス送給管の上記露光用室
内に延長している部の遊端が閉塞され、（ｃ）上記清浄
ガス送給管に、上記露光用室内に延長している部におい
て、ノズルが設けられ、そして、（ｄ）上記清浄ガス送
給管の上記ノズルが設けられている部が、上記露光用室
内に、上記ノズルから噴出する上記清浄ガスが上記被露
光体載置台上に載置される上記被露光体の表面に沿って
流れるように位置決めされているのも可とする。

【００２１】さらに、上記ガス供給源として、ヘリウ
ム、窒素または乾燥空気が上記清浄ガスとして得られる
ガス供給源を用い得る。

【００２２】

【発明の実施の形態１】次に、図１を伴って本発明によ
る露光装置の第１の実施の形態を述べよう。図１におい
て、図４との対応部分には同一符号を付して示し、詳細
説明を省略する。

【００２３】図１に示す本発明による露光装置は、図４
に示す従来の露光装置の場合と同様に、（ａ）被露光体
１を載置する被露光体載置用台２と、露光用マスク４を
被露光体載置台２上に載置される被露光体１と対向する
ように配置する露光用マスク配置用台５とを内部に設置
している露光用室６と、（ｂ）露光用室６外に設置され
た光源からの露光光を、ビーム管７を介して露光用室６
内に導入し、その露光光を、被露光体載置台２上に載置
される被露光体１に、露光用マスク配置用台５上に配置
される露光用マスク４を通じて露光させる露光光照射手
段９と、（ｃ）露光用室６内に、露光用室６内の雰囲気
を形成する気体（例えば乾燥空気）を、温度、湿度、流
量などについて調整して、送出する空調装置１１と、
（ｄ）露光用室６内に空調装置１１から送出される気体
を、露光用室６の内部を通って、露光用室６外に排出す
る排気手段１２とを有する。

【００２４】しかしながら、図１に示す本発明による露
光装置は、このような構成を有する露光装置において、
露光用室６内に空調装置１１から送出される気体（例え
ば乾燥空気）が、矢１３に示すように、被露光体載置台
２上に載置される被露光体１の表面に沿って流れて、露
光用室６外に排出させるように、空調装置１１の露光用
室６との連通位置、排気手段１２の露光用室６との連通
位置などが、位置決めされている。

【００２５】また、排気手段１２から排出される露光用
室６からの気体を、図４に示す従来の露光装置の場合の
ように直接的に送風用ポンプ１４に送るようにしている
のに代え、その気体に混入される、気体が露光光の照射
を受けて発生する被露光体１にとって望ましくない不所
望成分を除去する不所望成分除去用手段１５に矢２１に
示すように送ってそれに通し、次で除湿手段１７に矢２
３に示すように送ってそれに通して、送風用ポンプ１４
に矢２４に示すように送り、そして、その送風用ポンプ
１４からの気体を、空調装置１１に、それに用いる気体
として、矢２２に示すように、送出するようになされて
いる。

【００２６】この場合、気体が露光光の照射を受けて発
生する被露光体１にとって望ましくない不所望成分は、
［発明が解決しようとする課題］で上述した励起物また
はイオン化物、硫酸、硝酸、塩酸などの酸、酸イオンな
どでなる成分であり、このため、不所望成分除去用手段
１５は、例えばポリアミド系樹脂を用いたアルカリ性ケ
ミカルフイルタ１８と、水フイルタ１９との従属構成で
なる。

【００２７】以上が、本発明による露光装置の第１の実
施の形態の構成である。このような構成を有する本発明
による露光装置の第１の実施の形態は、（ａ）露光用室
６内に空調装置１１から送出される気体が、被露光体載
置台２上に載置される被露光体１の表面に沿って流れ
て、露光用室６外に排出させるようになされ、また、
（ｂ）排気手段１２から排出される露光用室６からの気
体を、直接的に送風用ポンプ１４に送るのに代え、気体
（例えば乾燥空気）に混入される、気体（例えば乾燥空
気）が露光光の照射を受けて発生する被露光体１にとっ
て望ましくない不所望成分を除去する不所望成分除去用
手段１５と、除湿手段１７とに通して、送風用ポンプ１
４に送り、そして、その送風用ポンプ１４からの気体
を、空調装置１１に、それに用いる気体として、矢１２
に示すように、送出すようになされている、という事項
を除いて、図４に示す従来の露光装置と同様の構成を有
する。

【００２８】このため、詳細説明は省略するが、図４に
示す従来の露光装置の場合で述べたように、露光用室６
内において、その被露光体載置台２上に被露光体１を載
置するとともに、露光用マスク配置用台５上に露光用マ
スク４を配置し、そして、空調装置１１、排気手段１２
及び送風用ポンプ１４を作動させることによって、気体
（例えば乾燥空気）を露光用室６内にその内部を通って
循環させている状態を得、しかる後、露光光照射手段９
を作動させ、ビーム管７から、露光光を出射させれば、
被露光体１を、露光光によって、露光用マスク４を介し
て照射させることができ、よって、露光装置としての機
能を得ることができ、そして、この場合、被露光体１に
露光光を露光用マスクを通じて照射させている間、気体
（例えば乾燥空気）が露光用室６内の内部を通って循環
しているので、気体（例えば乾燥空気）中に被露光体１
にとって望ましくない不純物が混入されていても、それ
が影響を回避させることができる。

【００２９】しかしながら、図１に示す本発明による露
光装置の場合、上述した（ａ）及び（ｂ）事項を有する
ので、図４に示す従来の露光装置の場合で述べたよう
に、被露光体１に露光光を露光用マスク４を通じて露光
させている場合において、露光用室６内のその内部を通
って循環させている気体（例えば乾燥空気）が、ビーム
管７と被露光体１との間の領域において、ビーム管７か
らの露光光の照射を受けることによって、ビーム管７と
被露光体１との間の領域に、励起物またはイオン化物、
硫酸、硝酸、塩酸などの酸、酸イオンなどの、被露光体
１にとって望ましくない不所望成分が発生する、という
ことが生じても、そのような不所望成分を、不所望成分
除去用手段１５によって、露光用室６内に空調装置１１
から送出される気体（例えば乾燥空気）に、実質的に含
ませず、また、気体（例えば乾燥空気）を被露光体１の
表面に沿って効果的に流させ、しかも、除湿手段１７に
よって気体（例えば乾燥空気）に水分をほとんど含ませ
ないので、不所望成分が、被露光体１のフォトレジスト
層内に侵入することによってそのフォトレジスト層に余
分な感光を引き起こさせたり、かぶりを生ぜしめたりす
る、ということを有効に回避させることができる。

【００３０】このことは、不所望成分除去用手段１５
が、アルカリ性ケミカルフイルタ１８と水フィルタ１９
との従属構成でなり、そのアルカリ性ケミカルフイルタ
１８が、気体中の不所望成分をトラップするが、とくに
その不所望成分中の酸イオンを効果的にトラップし、ま
た、水フィルタ１９が、その水中内に気体中の不所望成
分を溶け込ませるが、とくに、その不所望成分中の酸イ
オンを効果的に溶け込ませるので、なおさらである。

【００３１】よって、図１に示す本発明による露光装置
によれば、被露光体１を露光光によって露光用マスクを
通じてそのパターンに応じた高い解像度を有する露光パ
ターンに露光させることができる。

【００３２】

【発明の実施の形態２】次に、図２を伴って本発明によ
る露光装置の第２の実施の形態を述べよう。図２におい
て、図４との対応部分には同一符号を付して示す。

【００３３】図２に示す本発明による露光装置は、次の
事項を除いて、図４に示す本発明による露光装置の場合
と同様の構成を有する。

【００３４】すなわち、露光用室６外に設置されたガス
供給源３０からの清浄ガスを、矢３１に示すように除湿
手段３２に送ってそれに通し、次で、他の送風用ポンプ
３３に矢３４に示すように送り、そして、その送風用ポ
ンプ３３からの清浄ガスを、被露光体載置台２上に載置
される被露光体１の表面に沿って流すようになされてい
る。

【００３５】この場合、ガス供給源３０として、ヘリウ
ム、窒素または乾燥空気が清浄ガスとして得られるガス
供給源を用いる。また、露光用室６内に、その露光用室
６の被露光体載置台２上に載置される被露光体１の表面
に沿った領域、またはその領域及びその周辺領域を含む
領域を他の領域から仕切る、仕切室を形成するような仕
切手段３５が設けられている。この場合、仕切手段３５
は、露光用室６内に、その露光用室６の被露光体載置台
２上に載置される被露光体１の表面に沿った領域、また
はその領域及びその周辺領域を含む領域を、他の領域と
一部連通させてもよい。

【００３６】さらに、送風用ポンプ３３から、露光用室
６に、清浄ガスを送給する清浄ガス送給管３６が、仕切
手段３５によって仕切られている被露光体載置台２上に
設置される被露光体１の表面に沿った領域、またはその
領域及びその周辺領域を含む領域と連通するように延長
されている。

【００３７】また、仕切手段３５によって仕切られてい
る被露光体載置台２上に設置される被露光体１の表面に
沿った領域、またはその領域及びその周辺領域を含む領
域から、ガス管３７が、露光用室６外に延長し、その延
長端に他の排気手段３８が連結されている。

【００３８】以上が、本発明による露光装置の第２の実
施の形態の構成である。このような構成を有する本発明
による露光装置の第２の実施の形態によれば、それが上
述した事項を除いて、図４に示す従来の露光装置と同様
の構成を有するので、詳細説明は省略するが、図４に示
す従来の露光装置の場合と同様の作用・効果を得ること
ができることは明らかである。

【００３９】また、図２に示す本発明による露光装置に
よれば、排気手段３８を作動させることによって、ガス
供給源３０からの清浄ガスを、矢３９に示すように、被
露光体１の表面に沿って効果的に流すことができるの
で、詳細説明は省略するが、図１に示す本発明による露
光装置の場合と同様の作用・効果を得ることができるこ
とは明らかである。

【００４０】

【発明の実施の形態３】次に、図３を伴って本発明によ
る露光装置の第３の実施の形態を述べよう。図３におい
て、図２との対応部分には同一符号を付して示す。

【００４１】図３に示す本発明による露光装置は、図２
に示す本発明による露光装置の第１の実施の形態におい
て、露光用室６内に設けられた仕切手段３５が省略さ
れ、これに応じ、（ａ）送風用ポンプ３３から、清浄ガ
スを送給する清浄ガス送給管３６が、露光用室６内に延
長され、（ｂ）その清浄ガス送給管３６の露光用室６内
に延長している部の遊端が閉塞され、また、（ｃ）清浄
ガス送給管３６に、露光用室６内に延長している部にお
いて、ノズル４２が設けられ、そして、（ｄ）その清浄
ガス送給管３６のノズル４２が設けられいる部が、露光
用室６内に、ノズル４２から噴出する清浄ガスが被露光
体載置台２上に載置される被露光体１の表面に沿って流
れるように位置決めされている、ということを除いて、
図２に示す本発明による露光装置の場合と同様の構成を
有する。

【００４２】以上が、本発明による露光装置の第３の実
施の形態の構成である。このような構成を有する本発明
による露光装置の第３の実施の形態によれば、上述した
事項を除いて、図２に示す本発明による露光装置と同様
の構成を有し、そして、図２に示す本発明による露光装
置の場合と同様に、排気手段３８を作動させることによ
って、ガス供給源３０からの清浄ガスを、矢３９に示す
ように、被露光体１の表面に沿って効果的に流すことが
できるので、詳細説明は省略するが、図２に示す本発明
による露光装置の場合で述べたと同様の作用・効果が得
られることは明らかである。

【００４３】なお、上述においては、本発明による露光
装置の僅かな実施の形態を述べたに過ぎず、本発明の精
神を脱することなしに、種々の変型、変更をなし得るで
あろう。

【００４４】

【発明の効果】本発明による露光装置によれば、被露光
体に露光光を露光用マスクを通じて露光させている場合
において、露光用室内のその内部を通って循環させてい
る気体が、被露光体の表面に沿った領域において、露光
光の照射を受けることによって、被露光体の表面に沿っ
た領域に、励起物またはイオン化物；硫酸、硝酸、塩酸
などの酸；酸イオンなどの、被露光体にとって望ましく
ない不所望成分が発生する、ということが生じても、そ
のような不所望成分を、不所望成分除去用手段によっ
て、露光用室内に空調装置から送出される気体に、実質
的に含ませず、また、気体を被露光体の表面に沿って効
果的に流させ、しかも、除湿手段によって気体に水分を
ほとんど含ませないので、不所望成分が、被露光体内に
侵入することによって被露光体にに余分な感光を引き起
こさせたり、かぶりを生ぜしめたりする、ということを
有効に回避させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による露光装置の第１の実施の形態を示
す略線図である。

【図２】本発明による露光装置の第２の実施の形態を示
す略線図である。

【図３】本発明による露光装置の第３の実施の形態を示
す略線図である。

【図４】従来の露光装置を示す略線図である。

【符号の説明】

１被露光体２被露光体載置台４露光用マスク５露光用マスク配置用台６露光用室７ビーム管９露光光照射手段１１空調装置１２排気手段１４送風用ポンプ１５不所望成分除去用手段１８アルカリ性ケミカルフイルタ１９水フィルタ３０ガス供給源３２除湿手段３３送風用ポンプ３８排気手段３６清浄ガス送給管４２ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者福田真東京都新宿区西新宿３丁目19番２号日本電信電話株式会社内 (72)発明者竹内信行東京都新宿区西新宿３丁目19番２号日本電信電話株式会社内Ｆターム(参考） 5F046 AA22 DA04 GA08 GC04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）（ａ）被露光体を載置する被露光体
載置用台と、露光用マスクを上記被露光体載置台上に載
置される上記被露光体と対向するように配置する露光用
マスク配置用台とを内部に設置している露光用室と、（ｂ）上記露光用室外に設置された光源からの露光光
を、上記露光用室内に導入し、その露光光を、上記被露
光体載置台上に載置される上記被露光体に、上記露光用
マスク配置用台上に配置される上記露光用マスクを通じ
て露光させる露光光照射手段と、（ｃ）上記露光用室内に、上記露光用室内の雰囲気を形
成する気体を、温度、湿度、流量などについて調整して
送出する空調装置と、（ｄ）上記露光用室内に上記空調装置から送出される気
体を、上記露光用室の内部を通って、上記露光用室外に
排出する排気手段とを有する露光装置において、（Ｂ）（ａ）上記露光用室内に上記空調装置から送出さ
れる気体が、上記被露光体載置台上に載置される上記被
露光体の表面に沿って流れて、上記露光用室外に排出さ
せるようになされ、（ｂ）上記排気手段から排出される上記露光用室からの
気体を、それに混入される、上記気体が上記露光光の照
射を受けて発生する上記被露光体にとって望ましくない
不所望成分を除去する不所望成分除去用手段と除湿手段
とに通して、送風用ポンプに送り、（ｃ）上記送風用ポンプからの気体を、上記空調装置
に、それに用いる気体ととして送出すようになされてい
ることを特徴とする露光装置。
【請求項２】請求項１記載の露光装置において、上記不所望成分除去用手段が、アルカリ性ケミカルフイ
ルタまたは水フイルタ、もしくは上記アルカリ性ケミカ
ルフイルタ及び水フイルタの従属構成でなることを特徴
とする露光装置。
【請求項３】（Ａ）（ａ）被露光体を載置する被露光体
載置用台と、露光用マスクを上記被露光体載置台上に載
置される上記被露光体と対向するように配置する露光用
マスク配置用台とを内部に設置している露光用室と、（ｂ）上記露光用室外に設置された光源からの露光光
を、上記露光用室内に導入し、その露光光を、上記被露
光体載置台上に載置される上記被露光体に、上記露光用
マスク配置用台上に配置される上記露光用マスクを通じ
て露光させる露光光照射手段と、（ｃ）上記露光用室内に、上記露光用室内の雰囲気を形
成する気体を、温度、湿度、流量などについて調整して
送出する空調装置と、（ｄ）上記露光用室内に上記空調装置から送出される気
体を、上記露光用室の内部を通って、上記露光用室外に
排出する排気手段とを有する露光装置において、（Ｂ）（ａ）上記露光用室外に設置されたガス供給源か
らの清浄ガスを、除湿手段を通って、送風用ポンプに送
り、（ｂ）上記送風用ポンプからの清浄ガスを、上記被露光
体載置台上に載置される上記被露光体の表面に沿って流
すようになされていることを特徴とする露光装置。
【請求項４】請求項３記載の露光装置において、（ａ）上記露光用室内に、上記被露光体載置台上に載置
される上記被露光体の表面に沿った領域、またはその領
域及びその周辺領域を含む領域を他の領域から仕切る仕
切手段が設けられ、（ｂ）上記送風用ポンプから、上記露光用室に、上記清
浄ガスを送給する清浄ガス送給管が、上記仕切手段が仕
切っている領域内に延長されていることを特徴とする露
光装置。
【請求項５】請求項３記載の露光装置において、（ａ）上記送風用ポンプから、上記清浄ガスを送給する
清浄ガス送給管が、上記露光用室内に延長され、（ｂ）上記清浄ガス送給管の上記露光用室内に延長して
いる部の遊端が閉塞され、（ｃ）上記清浄ガス送給管に、上記露光用室内に延長し
ている部において、ノズルが設けられ、（ｄ）上記清浄ガス送給管の上記ノズルが設けられてい
る部が、上記露光用室内に、上記ノズルから噴出する上
記清浄ガスが上記被露光体載置台上に載置される上記被
露光体の表面に沿って流れるように位置決めされている
ことを特徴とする露光装置。
【請求項６】請求項３記載の露光装置において、上記ガス供給源として、ヘリウム、窒素または乾燥空気
が上記清浄ガスとして得られるガス供給源を用いること
を特徴とする露光装置。