JP2000058379A - Apparatus for manufacturing laminate for laminated type electronic components - Google Patents

Apparatus for manufacturing laminate for laminated type electronic components

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JP2000058379A
JP2000058379A JP22591098A JP22591098A JP2000058379A JP 2000058379 A JP2000058379 A JP 2000058379A JP 22591098 A JP22591098 A JP 22591098A JP 22591098 A JP22591098 A JP 22591098A JP 2000058379 A JP2000058379 A JP 2000058379A
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JP
Japan
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green sheet
tension
roll
electronic component
bonding
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Pending
Application number
JP22591098A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Yoshino
道夫 吉野
Masatoshi Osono
正敏 大薗
Takahisa Ono
隆央 大野
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Teijin Ltd
Original Assignee
Teijin Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for manufacturing a laminate for a laminated type electronic component, which can improve its productivity. SOLUTION: This apparatus for manufacturing a laminate for a laminated type electronic component includes a roll-out part 2 having a tension adjustment device for adjusting the tension of green sheet and having a shaft for rolling out the green sheet, a tension detection device 3 for the tension of the green sheet between the roll-out part and a polygonal-columnar roll 5, a guide roller 4 for guiding various types of sheets, the polygonal columnar roll 5 having a plurality of planar parts which are continuous along its peripheral plane in its peripheral direction for rolling up the green sheet to form a laminate a position adjustment part 6 for determining the relative position between the peripheral planar parts of the polygonal columnar roll and an internal electrode formation part 9, a green sheet nip device 7 for closely contacting rolled-up layers of the green sheet together, a sheet bonding part 8 for fixing the layers of the rolled-up green sheet with an adhesive so that the layers are not shifted, and the internal electrode formation part 9 provided above the green sheet for forming an internal electrode which has a predetermined pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型電子部品の
ための積層体の製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a laminate for a multilayer electronic component.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子部品の分野では、高密度表面
実装化にともない、積層セラミックコンデンサや積層型
バリスタ、積層フィルタ、積層圧電素子などの積層型電
子部品の小型化、機能の高度化が望まれている。ここで
は、積層セラミックコンデンサを例にとり説明する。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of electronic components, multilayer electronic components such as multilayer ceramic capacitors, multilayer varistors, multilayer filters, multilayer piezoelectric elements, etc. have been reduced in size and advanced in function with the development of high-density surface mounting. Is desired. Here, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example.

【0003】積層セラミックコンデンサは、複数の誘電
体セラミックス層と各誘電体セラミックス層間に形成さ
れる複数の内部電極と、誘電体セラミック層の各端面に
おいてこれらの内部電極と接続される外部電極からなっ
ている。
A multilayer ceramic capacitor comprises a plurality of dielectric ceramic layers, a plurality of internal electrodes formed between the dielectric ceramic layers, and external electrodes connected to these internal electrodes at each end face of the dielectric ceramic layer. ing.

【0004】従来、積層セラミックコンデンサは、以下
のような工程で製造されている。例えばセラミックスス
ラリーをドクターブレード法によってステンレススチー
ルベルト等の上にキャストすることによりシート状に成
形されたセラミックグリーンシート上面に例えばパラジ
ウム、銀−パラジウム、ニッケル等の内部電極となる金
属を含む導電ペーストを使用して、スクリーン印刷等の
方法で所定の電極パターンを形成する。通常1枚のグリ
ーンシート上に複数の電極パターンを形成し、後の工程
で切断することにより複数個の積層セラミックコンデン
サを製造する。
Conventionally, multilayer ceramic capacitors have been manufactured by the following steps. For example, palladium, silver-palladium, a conductive paste containing a metal to be an internal electrode such as nickel on the upper surface of a ceramic green sheet formed into a sheet by casting a ceramic slurry on a stainless steel belt or the like by a doctor blade method. In addition, a predetermined electrode pattern is formed by a method such as screen printing. Usually, a plurality of electrode patterns are formed on one green sheet, and cut in a later step to manufacture a plurality of multilayer ceramic capacitors.

【0005】導電ペースト層が形成されたセラミックス
グリーンシートは、所定形状に切断するとともに複数枚
積層され、厚み方向にプレスすることにより圧着する。
あるいは湿式あるいは乾式の等方圧プレスも使用され
る。
[0005] The ceramic green sheet on which the conductive paste layer is formed is cut into a predetermined shape, a plurality of the sheets are stacked, and pressed in the thickness direction by pressing.
Alternatively, a wet or dry isostatic press is also used.

【0006】次に圧着された積層体は個々の積層セラミ
ックコンデンサを得るための積層体が得られるように切
断され、得られた個々の積層体を脱バインダーしさらに
焼成して焼結体を得る。その後、内部電極と導通する外
部電極を焼き付けることにより積層セラミックコンデン
サが製造される。
Next, the pressed laminate is cut so as to obtain a laminate for obtaining an individual multilayer ceramic capacitor, and the obtained individual laminate is debindered and fired to obtain a sintered body. . Thereafter, the multilayer ceramic capacitor is manufactured by baking the external electrodes that are electrically connected to the internal electrodes.

【0007】近年、このような積層型電子部品において
小型化、大容量化を得るためにセラミック積層体の薄層
化および多層化することが望まれている。
In recent years, it has been desired to reduce the thickness and the number of layers of the ceramic laminate in order to obtain a smaller size and a larger capacity in such a multilayer electronic component.

【0008】しかしながら、前記のごとくセラミックグ
リーンシートを複数枚積層して積層型電子部品を製造す
る装置では、セラミック積層体の薄層化、多層化による
セラミックグリーンシートの積層枚数の増大は、1つの
積層体を作製するのに時間がかかることになる。
However, in an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component by laminating a plurality of ceramic green sheets as described above, the increase in the number of ceramic green sheets to be laminated due to the reduction in the thickness and the number of layers of the ceramic laminate is one. It takes time to make the laminate.

【0009】そのため、前記のごとくセラミックグリー
ンシートを所定形状に切断するとともに複数枚積層して
積層型電子部品を製造する以外の、生産性を向上させる
積層体製造装置の開発が必要となる。
Therefore, it is necessary to develop a laminated body manufacturing apparatus for improving productivity other than manufacturing a multilayer electronic component by cutting ceramic green sheets into a predetermined shape and laminating a plurality of ceramic green sheets as described above.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
したような生産性を向上できる、積層型電子部品のため
の積層体の製造装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a laminated body for a laminated electronic component, which can improve the productivity as described above.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、次の構成を取る。すなわち、セラミック
スおよび有機結合材成分からなるグリーンシートおよび
内部電極からなる積層型電子部品のための積層体を製造
する装置において、第1の発明は、グリーンシートを巻
き出すための巻き出し部と、グリーンシートを巻き出し
部から多角柱状ロールまで案内する各種シート案内ロー
ラと、グリーンシートを巻き取り、積層体を形成するた
めの、周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成
されている多角柱状ロールと、巻き取られたグリーンシ
ート同士を密着させるグリーンシートニップ装置と、巻
き取られたグリーンシートの各層間がずれないために接
着により固定するための、巻き取られたグリーンシート
を接着させる接着装置と、必要に応じ、巻き取られたグ
リーンシートの幅方向または幅方向および長手方向を接
着するために接着装置を移動する接着装置駆動装置とか
らなるシート接着部と、多角柱状ロールの周面上の平面
部分に対向して設置された、グリーンシート上に所定の
パターンを有する内部電極を形成するための、内部電極
形成部と、多角柱状ロールの周面上の特定位置に対向し
て設置された、多角柱状ロールの周面上の平面部分と内
部電極形成部との相対位置を決める、位置決め機構と、
必要に応じ、位置決め機構を多角柱状ロール側へ移動さ
せる駆動装置とからなる位置調整部と、巻き出し部と多
角柱状ロール間のグリーンシートの張力を検出する張力
検出装置と、前記検出された張力に基づいてグリーンシ
ートの張力を調整する張力調整装置とからなる張力調整
部とを備えたことを特徴とする。
The present invention has the following configuration to achieve the above object. That is, in an apparatus for manufacturing a laminate for a multilayer electronic component including a green sheet including ceramics and an organic binder component and an internal electrode, the first invention includes an unwinding unit for unwinding the green sheet, Various sheet guide rollers for guiding the green sheet from the unwinding section to the polygonal column-shaped roll, and a plurality of flat portions are formed in a circumferential direction on the peripheral surface for winding the green sheet and forming a laminate. A polygonal column-shaped roll, a green sheet nip device for bringing the rolled green sheets into close contact with each other, and a rolled green sheet for fixing each layer of the rolled green sheet by bonding so as not to be displaced. The bonding device to be bonded and, if necessary, the width direction or the width direction and longitudinal direction of the wound green sheet A sheet bonding portion including a bonding device driving device that moves the bonding device for bonding, and an internal electrode having a predetermined pattern on a green sheet, which is installed to face a flat portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll. For forming the internal electrode forming portion, the relative position between the flat portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll and the internal electrode forming portion, which is installed facing a specific position on the peripheral surface of the polygonal columnar roll, Decision, positioning mechanism,
If necessary, a position adjusting unit including a driving device for moving the positioning mechanism to the polygonal columnar roll side, a tension detecting device for detecting a tension of the green sheet between the unwinding unit and the polygonal columnar roll, and the detected tension And a tension adjusting unit that adjusts the tension of the green sheet based on the tension adjustment unit.

【0012】第2の発明は、第1の発明において位置決
め機構が、多角柱状ロールの特定位置に設けられた特定
形状部と、それと嵌合する位置決め装置に設けられた特
定形状部との、相互嵌合によるものであることを特徴と
する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the positioning mechanism is provided so that the specific shape portion provided at the specific position of the polygonal columnar roll and the specific shape portion provided in the positioning device fitted with the specific shape portion are mutually reciprocated. It is characterized by fitting.

【0013】第3の発明は、第1又は2の発明において
接着が熱融着であり、接着装置がヒータであることを特
徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the bonding is heat fusion, and the bonding device is a heater.

【0014】第4の発明は、第1〜3の発明のいずれか
において接着が、多角柱状ロールの周面上の平面部分上
で、非クローズドラインで実施されることを特徴とす
る。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the bonding is performed in a non-closed line on a plane portion on the peripheral surface of the polygonal roll.

【0015】第5の発明は、第1〜4の発明のいずれか
において内部電極形成部が、転写フィルムの巻き出し装
置と、複数のガイドローラと、巻き取り装置と、熱転写
ヘッドと、転写フィルムの張力を検出する張力検出装置
と、前記検出された張力を調整する張力調整装置と、転
写フィルムの位置決め装置からなることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the internal electrode forming portion includes a transfer film unwinding device, a plurality of guide rollers, a winding device, a thermal transfer head, and a transfer film. A tension detecting device for detecting the tension of the transfer film, a tension adjusting device for adjusting the detected tension, and a transfer film positioning device.

【0016】第6の発明は、第1〜5の発明のいずれか
においてグリーンシートが、焼結可能なセラミックス成
分50〜95重量%、および有機結合材成分5〜50重
量%からなることを特徴とする。
A sixth invention is characterized in that in any one of the first to fifth inventions, the green sheet comprises 50 to 95% by weight of a sinterable ceramic component and 5 to 50% by weight of an organic binder component. And

【0017】第7の発明は、第1〜6の発明のいずれか
において有機結合材成分が、重量平均分子量40万以上
のポリオレフィンであることを特徴とする。
A seventh invention is characterized in that in any one of the first to sixth inventions, the organic binder component is a polyolefin having a weight average molecular weight of 400,000 or more.

【0018】第8の発明は、第7の発明においてポリオ
レフィンが、ポリエチレン、ポリビニルアルコールおよ
びそれらの共重合体からなる群より選ばれる少なくとも
一種のポリオレフィンであることを特徴とする。
An eighth invention is characterized in that, in the seventh invention, the polyolefin is at least one polyolefin selected from the group consisting of polyethylene, polyvinyl alcohol and a copolymer thereof.

【0019】第9の発明は、第1〜8の発明のいずれか
において積層型電子部品が、積層型セラミックコンデン
サであることを特徴とする。
A ninth invention is characterized in that in any one of the first to eighth inventions, the multilayer electronic component is a multilayer ceramic capacitor.

【0020】第1の発明における、グリーンシートを巻
き出すための巻き出し部は、ロール状のグリーンシート
を供給する巻き出し軸で構成される。また必要に応じ、
巻き出し軸にブレーキやクラッチあるいは駆動用モータ
を使用することもできる。前記駆動モータとしは、サー
ボモータ、DCモータ、インダクションモータなどが使用
可能である。
In the first invention, the unwinding section for unwinding the green sheet is constituted by an unwinding shaft for supplying a roll-shaped green sheet. If necessary,
A brake, a clutch or a drive motor may be used for the unwinding shaft. As the drive motor, a servo motor, a DC motor, an induction motor, or the like can be used.

【0021】各種シート案内ローラは、グリーンシート
を巻き出し部から多角柱状ロールまで搬送、方向転換、
横ぶれ防止をするためのローラであり、ローラとグリー
ンシート間に滑りが生じない構造であればよく、モータ
駆動による回転またはグリーンシートの走行によって回
転してもよい。各種シート案内ローラの材質は、金属、
樹脂などからなるものが使用可能である。
Various sheet guide rollers transport the green sheet from the unwinding section to the polygonal column-shaped roll, change the direction,
The roller is a roller for preventing lateral displacement, and may have any structure that does not cause slippage between the roller and the green sheet. The roller may be rotated by a motor or run by running the green sheet. The material of various sheet guide rollers is metal,
What consists of resin etc. can be used.

【0022】多角柱状ロールは、グリーンシートを巻き
取り、積層体を形成するためのロールであり、多角柱状
ロールと、多角柱状ロールを間欠回転させるための駆動
源から構成されている。また前記駆動源は、サーボモー
タやステッピングモータ、DCモータ、インダクションモ
ータあるいは前記モータのいずれかとカム機構やゼネバ
機構などの機械式の割出し装置の組み合わせなどが使用
可能である。
The polygonal column-shaped roll is a roll for winding a green sheet to form a laminate, and includes a polygonal column-shaped roll and a driving source for intermittently rotating the polygonal column-shaped roll. Further, as the drive source, a servo motor, a stepping motor, a DC motor, an induction motor, or a combination of any one of the motors and a mechanical indexing device such as a cam mechanism or a Geneva mechanism can be used.

【0023】グリーンシートニップ装置は、一定張力で
かつしわなく多角柱状ロール上でグリーンシート同士を
密着させるため、接着装置の上流側に設置し、自由に回
転するフリーローラと、フリーローラを所定位置へ移動
させる直線運動機構から構成される。直線運動機構は、
空気圧機器や油圧機器あるいはボールねじとモータによ
り直線運動させる方式などが適用できる。
The green sheet nip device is installed at the upstream side of the bonding device so that the green sheets are brought into close contact with each other on a polygonal column-shaped roll with constant tension and without wrinkling. It is composed of a linear motion mechanism that moves to. The linear motion mechanism is
A pneumatic device, a hydraulic device, or a system in which a ball screw and a motor perform a linear motion are applicable.

【0024】接着装置は、巻き取られたグリーンシート
の各層間がずれないよう固定するための接着装置であ
り、接着剤で接着させる装置又は熱融着装置などであ
り、例えば熱融着装置はヒータコントロール装置とヒー
タコントロール装置によって所定の温度に温度制御され
るヒータから構成されることができる。接着装置により
接着される領域は、内部電極形成部により形成される内
部電極の面積よりも大きければよい。加熱方式による接
着で使用するヒータとしては、先端尖状や平板状あるい
は矩形状の形状をしたヒータを使用し、接触あるいは非
接触状態でグリーンシートを加熱接着できる方式が適用
できる。
The bonding device is a bonding device for fixing each layer of the wound green sheet so as not to be displaced, and is a device for bonding with an adhesive or a heat fusion device. It can be composed of a heater control device and a heater whose temperature is controlled to a predetermined temperature by the heater control device. The area to be bonded by the bonding device may be larger than the area of the internal electrode formed by the internal electrode forming portion. As a heater used for bonding by a heating method, a heater having a pointed, flat, or rectangular shape can be used, and a method in which a green sheet can be heated and bonded in a contact or non-contact state can be applied.

【0025】接着装置駆動装置は、接着装置をグリーン
シートに近づく方向、グリーンシートの幅方向及び/又
はグリーンシートの長手方向の所定位置に移動させるた
め、例えば直線運動機構で構成される。直線運動機構
は、空気圧機器や油圧機器あるいはボールねじとモータ
により直線運動させる方式などが適用できる。
The bonding device driving device is constituted by, for example, a linear motion mechanism for moving the bonding device to a predetermined position in a direction approaching the green sheet, a width direction of the green sheet and / or a longitudinal direction of the green sheet. As the linear motion mechanism, a pneumatic device, a hydraulic device, or a method of performing a linear motion using a ball screw and a motor can be applied.

【0026】内部電極形成部は、所定の形状を有する内
部電極を印刷などの手段により形成するものであり、あ
らかじめ内部電極が形成された転写フィルムを、室温ま
たは加熱雰囲気でグリーンシートに接触させ圧着して形
成する方式や、スクリーン印刷法、グラビヤ印刷法など
の各種印刷法あるいは蒸着法、スパッタ法などの薄膜形
成法といった方式により形成する。内部電極形成部は、
多角柱状ロールの周面上の任意の平面部分に設置できる
が、ごみなどの付着を防ぐため、多角柱状ロールの上面
に設置することが好ましい。転写フィルムを用いた内部
電極形成部は、ロール状の転写フィルムを供給するため
の巻き出し軸を有する巻き出し装置と、転写フィルムを
転写ヘッドまで搬送、方向転換、横ぶれ防止をするため
のローラであり、ローラと転写フィルム間に滑りが生じ
ない構造、材質であればよく、モータ駆動による回転ま
たは転写フィルムの走行によって回転してもよいガイド
ローラと、熱転写ヘッドによって内部電極をグリーンシ
ート上に転写した後、転写フィルムのベースフィルムを
巻き取るための巻き取り軸を有する巻き取り装置と、空
気圧機器や油圧機器あるいはボールねじとモータによっ
て駆動される転写ヘッド駆動装置と、転写ヘッド駆動装
置のラムの先端に取り付けられ、転写フィルムをグリー
ンシート上に室温または加熱して加圧により圧着して内
部電極を転写させるための転写ヘッドを有する転写ヘッ
ドと、ロードセル方式などの転写フィルムの張力を直接
測定する方式や、ダンサロール方式により、巻き出し装
置と巻き取り装置間の転写フィルムの張力を検出する張
力検出装置と、ブレーキあるいは駆動モータあるいは駆
動モータとクラッチにより、前記の検出された張力デー
タに基づいて転写フィルムの張力を調整する張力調整装
置と、パターン認識あるいは画像処理などの視覚認識装
置により転写フィルムの位置を検出する位置決め装置か
ら構成される。
The internal electrode forming section is for forming an internal electrode having a predetermined shape by means of printing or the like. The transfer film on which the internal electrode has been formed is brought into contact with the green sheet at room temperature or in a heated atmosphere to be pressed. And a printing method such as a screen printing method or a gravure printing method, or a thin film forming method such as a vapor deposition method or a sputtering method. The internal electrode forming part is
Although it can be installed on an arbitrary plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll, it is preferable to install it on the upper surface of the polygonal columnar roll in order to prevent adhesion of dust and the like. The internal electrode forming unit using the transfer film includes an unwinding device having an unwinding shaft for supplying a roll-shaped transfer film, and a roller for transporting the transfer film to the transfer head, changing the direction, and preventing sideways movement. A guide roller that can be rotated by a motor drive or by running the transfer film, and an internal electrode on the green sheet by a thermal transfer head, may be any structure and material that does not cause slippage between the roller and the transfer film. After the transfer, a winding device having a winding shaft for winding the base film of the transfer film, a pneumatic device or a hydraulic device or a transfer head drive device driven by a ball screw and a motor, and a ram of the transfer head drive device The transfer film is mounted on the green sheet at room temperature or A transfer head having a transfer head for transferring internal electrodes and a load cell method or the like for directly measuring the transfer film tension, or a dancer roll method for transferring the film tension between the unwinding device and the winding device. A tension detecting device that detects the tension, a tension adjusting device that adjusts the tension of the transfer film based on the detected tension data by a brake or a drive motor or a drive motor and a clutch, and a visual recognition such as pattern recognition or image processing. It comprises a positioning device for detecting the position of the transfer film by the device.

【0027】多角柱状ロールの周面上の特定位置に対向
して設置され、多角柱状ロールの周面上の平面部分と内
部電極形成部との相対位置を決める位置決め機構は、当
業者は公知の手段から種種選択できると考えられるが、
例えば多角柱状ロールの特定位置に設けられた特定形状
部と、それと嵌合する形状の位置決めピンや機械的スト
ッパとからなる機構、あるいは所定位置にあらかじめマ
ーキングを施し、パターン認識あるいは画像処理にて検
出する視覚認識装置などからなる機構等が挙げられる。
前記多角柱状ロールの周面上の特定位置は、内部電極形
成部と一体化していることが好ましい。
A positioning mechanism which is installed facing a specific position on the peripheral surface of the polygonal columnar roll and determines the relative position between the plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll and the internal electrode forming portion is known to those skilled in the art. It is thought that the species can be selected from the means,
For example, a mechanism consisting of a specific shape part provided at a specific position of a polygonal column-shaped roll and a positioning pin or a mechanical stopper of a shape to be fitted with it, or a predetermined position is marked in advance and detected by pattern recognition or image processing And a mechanism including a visual recognition device.
It is preferable that a specific position on the peripheral surface of the polygonal columnar roll is integrated with the internal electrode forming portion.

【0028】位置決め機構を多角柱状ロール側へ移動さ
せる駆動装置は、空気圧機器や油圧機器あるいはモータ
とボールねじなどから構成される。
The driving device for moving the positioning mechanism toward the polygonal roll is composed of a pneumatic device, a hydraulic device, a motor and a ball screw.

【0029】巻き出し部と多角柱状ロール間のグリーン
シートの張力を検出するフィルム張力検出装置は、ダン
サロール方式やロードセル方式などのグリーンシートの
張力を直接測定する方式の張力検出器から構成される。
The film tension detecting device for detecting the tension of the green sheet between the unwinding portion and the polygonal column-shaped roll is constituted by a tension detector of a system for directly measuring the green sheet tension such as a dancer roll system or a load cell system. .

【0030】グリーンシートの張力を調整する張力調整
装置は、巻き出し部から多角柱状ロール間の特定位置
に、ブレーキや駆動モータあるいは駆動モータとクラッ
チなどから構成され、前記の検出されたグリーンシート
の張力データに基づいて前記グリーンシートの張力を調
整する。前記駆動モータとしては、サーボモータ、DCモ
ータ、インダクションモータなどが使用可能である。
The tension adjusting device for adjusting the tension of the green sheet comprises a brake, a driving motor or a driving motor and a clutch at a specific position between the unwinding portion and the polygonal columnar roll. The tension of the green sheet is adjusted based on the tension data. As the drive motor, a servo motor, a DC motor, an induction motor, or the like can be used.

【0031】本発明で使用されるセラミックグリーンシ
ートと呼ばれるフィルムは、セラミックスおよび有機結
合材成分からなる。そしてキャリヤテープ等の支持基材
なしで、単独で扱うことができる自立性を持ち、平板あ
るいは円筒ボビンに巻くことができるような柔軟さ、し
なやかさを有するフィルムである。このフィルムは、空
孔率が体積の1〜80%を有するものであり、空孔率5
〜50%のものを好ましく用いることができる。かかる
セラミックグリーンシートとしては特表平4−5008
35号公報にて開示されている無機物含有フィルムを例
示することができる。
The film called a ceramic green sheet used in the present invention comprises ceramics and an organic binder component. It is a self-supporting film that can be handled independently without a supporting substrate such as a carrier tape, and has flexibility and flexibility so that it can be wound on a flat plate or a cylindrical bobbin. This film has a porosity of 1 to 80% of the volume and a porosity of 5%.
5050% can be preferably used. Such a ceramic green sheet is disclosed in JP-T-4-5008.
An inorganic material-containing film disclosed in JP-A-35-35 can be exemplified.

【0032】本発明における焼結可能なセラミックスと
しては、従来の積層型電子部品の製造に使用可能な材料
であれば制限はなく、各種誘電体材料が使用可能であ
る。例えばチタン、アルミ、バリウム、鉛、ジルコニウ
ム、珪素、イットリウム等からなる酸化物セラミックス
を挙げることができる。
The ceramic that can be sintered in the present invention is not limited as long as it is a material that can be used for manufacturing a conventional multilayer electronic component, and various dielectric materials can be used. For example, oxide ceramics composed of titanium, aluminum, barium, lead, zirconium, silicon, yttrium and the like can be mentioned.

【0033】本発明における有機結合材成分としては、
上記無機成分の結合材として自立性のフィルムを形成で
きる高分子量のポリマーが使用可能であり、上記公表公
報に記載されているように重量平均分子量40万以上の
ポリマー、特に重量平均分子量40万以上ポリオレフィ
ンを好ましく使用することができる。分子量はグリーン
シートへの成形が可能であれば、伸度、強度の点で高い
ほうが好ましく、100万以上が更に好ましい。ポリオ
レフィンとしてはポリエチレン、ポリビニルアルコール
およびそれらの共重合体のいずれかからなるポリオレフ
ィンであることが好ましく、超高分子量ポリエチレンが
特に好ましい。
The organic binder component in the present invention includes:
As the binder of the inorganic component, a polymer having a high molecular weight capable of forming a self-supporting film can be used, and as described in the above publication, a polymer having a weight average molecular weight of 400,000 or more, particularly a weight average molecular weight of 400,000 or more Polyolefins can be preferably used. If the molecular weight can be formed into a green sheet, the molecular weight is preferably higher in terms of elongation and strength, and more preferably 1,000,000 or more. The polyolefin is preferably a polyolefin composed of any one of polyethylene, polyvinyl alcohol and a copolymer thereof, and an ultrahigh molecular weight polyethylene is particularly preferred.

【0034】本発明で巻回に使用されるフィルムは、焼
結可能なセラミックス成分50〜95重量%、有機結合
材成分5〜50重量%からなる。セラミックスの含有率
は高いほど有機成分の除去には有利であるが、シートの
形状保持の点から有機結合材成分が5〜50重量%程度
あることが好ましい。有機結合材成分としては6〜35
重量%がより好ましく、7〜20重量%の範囲が更に好
ましい。
The film used for winding in the present invention comprises 50 to 95% by weight of a sinterable ceramic component and 5 to 50% by weight of an organic binder component. The higher the content of ceramics, the more advantageous is the removal of organic components, but from the viewpoint of maintaining the shape of the sheet, it is preferred that the organic binder component is about 5 to 50% by weight. 6 to 35 as the organic binder component
% By weight, and more preferably in the range of 7 to 20% by weight.

【0035】本発明で好ましく使用される電極転写方式
における電極の転写用フィルムは、ベースフィルムの片
面に、矩形の電極パターンの内部回路要素が多数形成さ
れているものである。かかる電極パターンは、圧着によ
って巻回する上記フィルム上に転写される。
The electrode transfer film in the electrode transfer system preferably used in the present invention has a large number of internal circuit elements having a rectangular electrode pattern formed on one surface of a base film. Such an electrode pattern is transferred onto the film wound by pressure bonding.

【0036】転写フィルムは、ポリエステル、ポリオレ
フィン等のベースフィルム上に、転写されるべき電極パ
ターンが形成されたものである。この電極パターンが形
成されるベースフィルム上には、適宜シリコンなどから
なる離型剤がコーティングされたものが好ましい。電極
パターンは、スクリーン印刷法、グラビア印刷法等の各
種印刷法あるいは蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成法と
いった従来公知の方法により形成することができる。
The transfer film is a film in which an electrode pattern to be transferred is formed on a base film such as polyester or polyolefin. It is preferable that the base film on which the electrode pattern is formed is appropriately coated with a release agent made of silicon or the like. The electrode pattern can be formed by various printing methods such as a screen printing method and a gravure printing method, or a conventionally known method such as a thin film forming method such as a vapor deposition method and a sputtering method.

【0037】[0037]

【発明の実施の形態】以下に、本発明を積層セラミック
コンデンサのための積層体の製造に適用した形態につい
て説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to the production of a laminated body for a multilayer ceramic capacitor will be described.

【0038】図1は、本発明による積層セラミックコン
デンサのための積層体製造装置の実施例の基本構成を示
した説明図である。ここで図中2は、張力検出装置3に
よって検出された張力に基づいてグリーンシート1の張
力を調整する張力調整装置と、ロール状のグリーンシー
ト1を巻き出すための巻き出し軸を有する巻き出し部、
3は、グリーンシート1の搬送中に生じる張力変動を検
出する張力検出装置、4は、グリーンシート1を巻き出
し部2から多角柱状ロール5まで案内する各種シート案
内ローラ、5は、グリーンシート1を巻き取り、積層体
を形成するための、周面上に複数の平面部分が周方向に
連なって形成されている多角柱状ロール、6は、多角柱
状ロールの周面上の平面部分と内部電極形成部との相対
位置を決める位置調整部、7は、巻き取られたグリーン
シート1の各層間を密着させるグリーンシートニップ装
置、8は、巻き取られたグリーンシート1の各層間がず
れないために接着により固定するためのシート接着部、
9は、多角柱状ロール5の周面上の平面部分に対向して
設置された、所定のパターンを有する内部電極をグリー
ンシート1上に形成するための内部電極形成部、10
は、多角柱状ロール5を所定方向に回転させる多角柱状
ロール駆動モータである。
FIG. 1 is an explanatory view showing the basic structure of an embodiment of a multilayer body manufacturing apparatus for a multilayer ceramic capacitor according to the present invention. Here, reference numeral 2 denotes a tension adjusting device that adjusts the tension of the green sheet 1 based on the tension detected by the tension detecting device 3 and an unwinding shaft that has an unwinding shaft for unwinding the roll-shaped green sheet 1. Department,
Reference numeral 3 denotes a tension detecting device that detects a change in tension generated during the conveyance of the green sheet 1. Reference numeral 4 denotes various sheet guide rollers for guiding the green sheet 1 from the unwinding unit 2 to the polygonal column-shaped roll 5. A polygonal column-shaped roll in which a plurality of plane portions are continuously formed in the circumferential direction on the peripheral surface for winding the laminate and forming a laminated body; A position adjusting unit 7 for determining a relative position with respect to the forming unit, 7 is a green sheet nip device for bringing each layer of the wound green sheet 1 into close contact with each other, and 8 is a green sheet nip device that does not shift each layer of the wound green sheet 1. Sheet bonding part for fixing to the
Reference numeral 9 denotes an internal electrode forming portion for forming an internal electrode having a predetermined pattern on the green sheet 1, which is provided so as to face a plane portion on the peripheral surface of the polygonal roll 5.
Is a polygonal roll drive motor for rotating the polygonal roll 5 in a predetermined direction.

【0039】ロール状のグリーンシート1は、巻き出し
軸にブレーキが設けられた巻き出し部2から巻き出され
る。張力検出装置3は、グリーンシート1が掛けられる
ダンサロール11と、一端部でこのロールを支持する揺
動自在に設けられたダンサアーム12、ダンサーアーム
12の振れ角を検出する角度センサ13から構成されて
いる。そしてダンサロール11の位置変動を検出し、巻
き出し部2の巻き出し軸に設けたブレーキによりグリー
ンシート1の張力を調整し、ダンサロール11の位置が
一定になるように制御する張力制御系を設けている。
The roll-shaped green sheet 1 is unwound from an unwinding unit 2 provided with a brake on an unwinding shaft. The tension detecting device 3 includes a dancer roll 11 on which the green sheet 1 is hung, a dancer arm 12 provided at one end and supporting the roll, and an angle sensor 13 for detecting a swing angle of the dancer arm 12. ing. A tension control system that detects a change in the position of the dancer roll 11, adjusts the tension of the green sheet 1 by a brake provided on the unwinding shaft of the unwinding unit 2, and controls the position of the dancer roll 11 to be constant. Provided.

【0040】以上の構成から、多角柱状ロール5へ巻き
取るときのグリーンシート1の張力は、張力検出装置3
のダンサロール11およびダンサアーム12の重量によ
り作用する張力の総合されたものである。なお、巻き取
り時のグリーンシート1の張力設定は、張力検出装置3
のダンサロール11およびダンサアーム12の重量を変
更することで行なう。
With the above configuration, the tension of the green sheet 1 when wound on the polygonal columnar roll 5 is determined by the tension detecting device 3.
Of the dancer roll 11 and the dancer arm 12 of FIG. The tension setting of the green sheet 1 at the time of winding is performed by the tension detecting device 3.
The weight of the dancer roll 11 and the dancer arm 12 is changed.

【0041】巻き出し部2から巻き出されたグリーンシ
ート1は、各種シート案内ローラ4により、多角柱状ロ
ール5へ巻き取られるように搬送される。
The green sheet 1 unwound from the unwinding section 2 is conveyed by various sheet guide rollers 4 so as to be wound up on a polygonal columnar roll 5.

【0042】位置調整部6は、多角柱状ロール5の周面
上に対向して設置される。多角柱状ロール5が駆動モー
タ10により間欠回転し、所定角度に停止後、位置調整
部6により、多角柱状ロール5の周面上の平面部分と内
部電極形成部9との相対位置を決める。多角柱状ロール
5の周面上の平面部分には、複数の位置決め穴が設けら
れ、他方、位置調整部6は、位置決め用の突起が設けら
れている。位置調整部6は、位置決め用突起14が空気
圧シリンダ15により駆動し、多角柱状ロール5の周面
上の平面部分に設けられた位置決め穴に嵌合され、位置
決めされる。
The position adjusting section 6 is installed on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5 so as to face the roll. After the polygonal columnar roll 5 is intermittently rotated by the drive motor 10 and stopped at a predetermined angle, the position adjustment unit 6 determines the relative position between the plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5 and the internal electrode forming unit 9. A plurality of positioning holes are provided in a plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5, while the position adjustment unit 6 is provided with positioning protrusions. The positioning protrusion 6 is driven by the pneumatic cylinder 15 by the positioning projection 14 and is fitted and positioned in a positioning hole provided in a plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5.

【0043】グリーンシートニップ装置7は、グリーン
シート1が多角柱状ロール5の周面上の平面部分に巻き
取られはじめる位置に設置される。グリーンシートニッ
プ装置7は、自由に回転するニップロール16と駆動用
空気圧シリンダ17で構成されている。グリーンシート
ニップ装置7によるニップ操作は、駆動用空気圧シリン
ダ17によりニップロールを移動させ、グリーンシート
1をニップロール16と多角柱状ロール5間で挟み、グ
リーンシート1を多角柱状ロール5に密着させる。そし
て、シート接着部8によりグリーンシート1が接着され
た後、ニップロール16はグリーンシート1から離れる
方向へ移動する。
The green sheet nip device 7 is installed at a position where the green sheet 1 starts to be wound on a flat portion on the peripheral surface of the polygonal roll 5. The green sheet nip device 7 includes a freely rotating nip roll 16 and a driving pneumatic cylinder 17. In the nip operation by the green sheet nip device 7, the nip roll is moved by the driving pneumatic cylinder 17, the green sheet 1 is sandwiched between the nip roll 16 and the polygonal columnar roll 5, and the green sheet 1 is brought into close contact with the polygonal columnar roll 5. Then, after the green sheet 1 is bonded by the sheet bonding unit 8, the nip roll 16 moves in a direction away from the green sheet 1.

【0044】なお、グリーンシートニップ装置7は、シ
ート接着部8による接着が完了した直後にニップロール
16が多角柱状ロール5から離れる方向に移動しても、
内部電極形成部9により内部電極が形成された後に多角
柱状ロール5から離れる方向に移動してもよい。
It should be noted that the green sheet nip device 7 is capable of moving the nip roll 16 in the direction away from the polygonal column-shaped roll 5 immediately after the bonding by the sheet bonding section 8 is completed.
After the internal electrodes are formed by the internal electrode forming unit 9, the internal electrodes may move in a direction away from the polygonal columnar roll 5.

【0045】シート接着部8はグリーンシートニップ装
置7の直後に設置されている。本実施例のシート接着部
8は、ヒータを用いた接着装置18と、空気圧シリンダ
による接着装置駆動装置19から構成されている。ヒー
タの形状は円筒型である。そして、グリーンシートニッ
プ装置7によりグリーンシート1がニップされた後、接
着装置駆動装置19により接着装置18が多角柱状ロー
ル1へ近接し、ヒータ先端をグリーンシート1に押し当
てながら接着装置18のヒータをグリーンシート1の幅
方向および長手方向へ移動して巻き取られたグリーンシ
ート1の層間を熱融着により接着する。接着後、接着装
置18がグリーンシート1から離れる方向へ移動し、接
着は完了する。
The sheet bonding section 8 is installed immediately after the green sheet nip device 7. The sheet bonding section 8 of the present embodiment includes a bonding device 18 using a heater and a bonding device driving device 19 using a pneumatic cylinder. The shape of the heater is cylindrical. Then, after the green sheet 1 is nipped by the green sheet nip device 7, the bonding device 18 approaches the polygonal column-shaped roll 1 by the bonding device driving device 19, and the heater of the bonding device 18 is pressed while pressing the tip of the heater against the green sheet 1. Is moved in the width direction and the longitudinal direction of the green sheet 1, and the layers of the wound green sheet 1 are bonded by heat fusion. After bonding, the bonding device 18 moves in a direction away from the green sheet 1, and bonding is completed.

【0046】シート接着後、内部電極形成部9により、
グリーンシート1上に内部電極を形成する。内部電極形
成部9は、多角柱状ロール5の周面上の平面部分に対向
して設置されている。本実施例の内部電極形成部9は、
ロール状の転写フィルム20、巻き出し軸を備えた巻き
出し装置21、転写フィルムを搬送するガイドローラ2
2、転写フィルムのベースフィルムを巻き取るための巻
き取り装置23、転写ヘッド24、転写ヘッド駆動装置
25、転写フィルムの張力検出装置26、転写フィルム
の張力調整装置27、転写フィルムの位置を検出する位
置決め装置28から構成される。転写フィルム20は、
巻き出し装置21の巻き出し軸から供給され、ガイドロ
ーラ22で多角柱状ロール5の周面上の平面部分に平行
に配置するよう搬送され、転写後、巻き取り装置23に
巻き取られる。搬送時の転写フィルム20の張力は、転
写フィルム張力検出装置26、転写フィルム張力調整装
置27により張力を一定に保たれるよう制御される。多
角柱状ロール5の周面上の平面部分に平行して配置され
たガイドローラ22間には、転写ヘッド24が設置され
る。転写は、まず内部電極形成部9全体が下降し、多角
柱状ロール5の周面上の平面部分に近接する。次いで、
転写ヘッド24のみが更に下降しグリーンシート1上に
内部電極を転写する。より詳細には、転写ヘッド24
は、転写ヘッド駆動装置25の油圧シリンダによって上
下動し、多角柱状ロール5に接触した状態で、転写フィ
ルム20上の所定パターンの内部電極をグリーンシート
1上に転写する。内部電極の転写は、ヒータにより加熱
した転写ヘッド24を転写フィルム20に接触させ、圧
着する。転写後、内部電極形成部9全体が上昇して多角
柱状ロール5から内部電極形成部9が離れ、巻き出し装
置21、巻き取り装置23および位置決め装置28によ
り次の転写のために転写フィルム20が所定長だけ送ら
れる。また、位置調整部6の位置決め用突起14も多角
柱状ロール5から離れる方向に移動し、位置決めを終了
する。
After the sheet is bonded, the internal electrode forming section 9
An internal electrode is formed on the green sheet 1. The internal electrode forming section 9 is provided so as to face a plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5. The internal electrode forming section 9 of the present embodiment includes:
Roll-shaped transfer film 20, unwinding device 21 having unwinding shaft, guide roller 2 for transporting the transfer film
2. Winding device 23 for winding the base film of the transfer film, transfer head 24, transfer head driving device 25, transfer film tension detecting device 26, transfer film tension adjusting device 27, and detecting the position of the transfer film. It comprises a positioning device 28. The transfer film 20
It is supplied from the unwinding shaft of the unwinding device 21, is conveyed by the guide roller 22 so as to be arranged in parallel with a flat portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5, and is transferred to the winding device 23 after the transfer. The tension of the transfer film 20 during conveyance is controlled by a transfer film tension detecting device 26 and a transfer film tension adjusting device 27 so that the tension is kept constant. A transfer head 24 is provided between the guide rollers 22 arranged in parallel with a plane portion on the peripheral surface of the polygonal roll 5. In the transfer, first, the entire internal electrode forming section 9 descends, and comes close to a plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5. Then
Only the transfer head 24 is further lowered to transfer the internal electrodes onto the green sheet 1. More specifically, the transfer head 24
Is moved up and down by the hydraulic cylinder of the transfer head driving device 25 and transfers the internal electrodes of a predetermined pattern on the transfer film 20 onto the green sheet 1 in a state of contacting the polygonal roll 5. To transfer the internal electrodes, the transfer head 24 heated by the heater is brought into contact with the transfer film 20 and pressed. After the transfer, the entire internal electrode forming portion 9 rises, the internal electrode forming portion 9 is separated from the polygonal columnar roll 5, and the transfer film 20 is transferred by the unwinding device 21, the winding device 23 and the positioning device 28 for the next transfer. It is sent for a predetermined length. In addition, the positioning protrusion 14 of the position adjusting unit 6 also moves in a direction away from the polygonal columnar roll 5, and the positioning is completed.

【0047】内部電極形成後、多角柱状ロール5は、多
角柱状ロール5の周面上の次の平面部分まで間欠回転す
る。
After the formation of the internal electrodes, the polygonal columnar roll 5 rotates intermittently to the next plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5.

【0048】上記の操作は、所望の積層数の積層セラミ
ックコンデンサのための積層体が得られるまで繰返し実
施される。
The above operation is repeatedly performed until a laminate for a desired number of laminated ceramic capacitors is obtained.

【0049】なお、上述の内部電極を形成した積層体を
作成する前後で、図2に示す積層セラミックコンデンサ
29のカバー層32を得るために多角柱状ロール5を間
欠回転させ、内部電極の形成以外の工程を実施する。本
操作も、所望の積層数のカバー層32が得られるまで実
施される。
Before and after the above-mentioned laminated body having the internal electrodes formed thereon, the polygonal columnar roll 5 is intermittently rotated to obtain the cover layer 32 of the multilayer ceramic capacitor 29 shown in FIG. Step is performed. This operation is also performed until the desired number of laminated cover layers 32 is obtained.

【0050】このようにして、多角柱状ロール5の周面
上の平面部分の範囲内の大きさで、積層セラミックコン
デンサのための積層体34が形成される。
In this way, a laminate 34 for a multilayer ceramic capacitor having a size within the range of the plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll 5 is formed.

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明によれば、キャリヤテープを用い
ず、多角柱状ロール上で内部電極の形成をしながら、巻
回することにより積層型電子部品のための積層体を連続
して効率よく製造することができる。
According to the present invention, a laminate for a multilayer electronic component is continuously and efficiently formed by winding while forming internal electrodes on a polygonal columnar roll without using a carrier tape. Can be manufactured.

【0052】また、本発明によれば、多角柱状ロール上
で内部電極の形成および積層体の形成の各工程が一連の
操作のもとで実施することができるので、これらの各工
程が一連の操作のもとで実施されない場合に必要な工程
間における運搬作業などが不用になると共に、電極形成
を転写方式とすることにより乾燥工程を含まない方法も
採用できるため、積層体を得るまでの時間を短縮するこ
とができ、積層体を効率よく製造することができる。
Further, according to the present invention, since the steps of forming the internal electrodes and forming the laminate on the polygonal columnar roll can be performed under a series of operations, each of these steps is performed by a series of steps. When not carried out under the operation, the transportation work between the steps required, etc. becomes unnecessary, and a method that does not include a drying step by adopting a transfer method for electrode formation can be adopted, so that the time required to obtain a laminate is obtained. Can be shortened, and the laminate can be manufactured efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の実施例の装置全体の構成の説
明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a configuration of an entire apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明に係る積層型電子部品の一例と
しての積層セラミックコンデンサの断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor as an example of a multilayer electronic component according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 グリーンシート 2 巻き出し部 3 張力検出装置 4 各種シート案内ローラ 5 多角柱状ロール 6 位置調整部 7 グリーンシートニップ装置 8 シート接着部 9 内部電極形成部 10 多角柱状ロール駆動モータ 11 ダンサロール 12 ダンサアーム 13 角度センサ 14 位置決め用突起 15 空気圧シリンダ 16 ニップロール 17 空気圧シリンダ 18 接着装置 19 接着装置駆動装置 20 転写フィルム 21 巻き出し装置 22 ガイドローラ 23 巻き取り装置 24 転写ヘッド 25 転写ヘッド駆動装置 26 転写フィルム用張力検出装置 27 転写フィルム用張力調整装置 28 位置決め装置 29 積層セラミックコンデンサ 30 内部電極 31 誘電体層 32 カバー層 33 外部電極 34 積層体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Green sheet 2 Unwinding part 3 Tension detection device 4 Various sheet guide rollers 5 Polygonal columnar roll 6 Position adjustment part 7 Green sheet nip device 8 Sheet bonding part 9 Internal electrode forming part 10 Polygonal columnar roll drive motor 11 Dancer roll 12 Dancer arm 13 Angle sensor 14 Positioning protrusion 15 Pneumatic cylinder 16 Nip roll 17 Pneumatic cylinder 18 Bonding device 19 Bonding device driving device 20 Transfer film 21 Unwinding device 22 Guide roller 23 Winding device 24 Transfer head 25 Transfer head driving device 26 Tension detection for transfer film Apparatus 27 Transfer film tension adjusting device 28 Positioning device 29 Multilayer ceramic capacitor 30 Internal electrode 31 Dielectric layer 32 Cover layer 33 External electrode 34 Stack

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 隆央 山口県岩国市日の出町2番1号 帝人株式 会社岩国研究センター内 Fターム(参考) 5E082 AA01 AB03 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 FG32 FG35 HH43 LL01 LL02 MM11 MM21 MM22 MM24 MM34 PP03 PP10  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Takao Ohno 2-1 Hinodecho, Iwakuni-shi, Yamaguchi Prefecture F-term in Iwakuni Research Center, Teijin Limited 5E082 AA01 AB03 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 FG32 FG35 HH43 LL01 LL02 MM11 MM21 MM22 MM24 MM34 PP03 PP10

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックスおよび有機結合材成分を有
してなるグリーンシートと内部電極とからなる積層型電
子部品のための積層体を製造する装置であって;前記グ
リーンシートを巻き出すための巻き出し部;前記グリー
ンシートを巻き出し部から多角柱状ロールまで案内する
各種シート案内ローラ;前記グリーンシートを巻き取
り、積層体を形成するための、周面上に複数の平面部分
が周方向に連なって形成されている多角柱状ロール;前
記グリーンシートを前記多角柱状ロールに密着させるグ
リーンシートニップ装置;巻き取られた前記グリーンシ
ートの各層間がずれないために接着により固定するため
の、巻き取られたグリーンシートを接着させる接着装置
と、必要に応じ、前記巻き取られたグリーンシートの幅
方向または幅方向および長手方向を接着するために前記
接着装置を移動する接着装置駆動装置とからなるシート
接着部;前記多角柱状ロールの周面上の平面部分に対向
して設置された、前記グリーンシート上に所定のパター
ンを有する内部電極を形成するための、内部電極形成
部;前記多角柱状ロールの周面上の特定位置に対向して
設置された、前記多角柱状ロールの周面上の平面部分と
前記内部電極形成部との相対位置を決める、位置決め機
構と、必要に応じ、前記位置決め機構を前記多角柱状ロ
ール側へ移動させる駆動装置とからなる位置調整部;及
び巻き出し部と多角柱状ロール間の前記グリーンシート
の張力を検出するフィルム張力検出装置と、前記の検出
された張力に基づいて前記グリーンシートの張力を調整
する張力調整装置とからなる張力調整部;を備えたこと
を特徴とする、積層型電子部品のための積層体製造装
置。
1. An apparatus for manufacturing a laminate for a laminated electronic component comprising a green sheet having ceramics and an organic binder component and an internal electrode; winding for unwinding the green sheet Unwinding section; various sheet guide rollers for guiding the green sheet from the unwinding section to the polygonal column-shaped roll; a plurality of planar portions on the circumferential surface for winding up the green sheet and forming a laminate are circumferentially continuous. A green sheet nip device for bringing the green sheet into close contact with the polygonal column roll; wound up to fix each layer of the rolled up green sheet by bonding so as not to be displaced. A bonding device for bonding the green sheet, and, if necessary, a width direction or a width direction of the rolled green sheet. And a bonding device driving device for moving the bonding device for bonding in the longitudinal direction; a sheet bonding portion; a predetermined portion on the green sheet, which is installed to face a plane portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll. An internal electrode forming portion for forming an internal electrode having a pattern of: a flat portion on the peripheral surface of the polygonal columnar roll, which is installed to face a specific position on the peripheral surface of the polygonal columnar roll; A positioning mechanism that determines a relative position with respect to the electrode forming section, and, if necessary, a position adjusting section including a driving device that moves the positioning mechanism to the polygonal columnar roll side; and the position adjustment section between the unwinding section and the polygonal columnar roll. A tension adjustment unit including a film tension detection device that detects the tension of the green sheet, and a tension adjustment device that adjusts the tension of the green sheet based on the detected tension; Characterized by comprising the laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component.
【請求項2】 上記位置決め機構が、上記多角柱状ロー
ルの特定位置に設けられた特定形状部と、それと嵌合す
る位置決め装置に設けられた特定形状部との、相互嵌合
によるものである、請求項1記載の積層型電子部品のた
めの積層体製造装置。
2. The method according to claim 1, wherein the positioning mechanism is formed by mutually fitting a specific shape portion provided at a specific position of the polygonal columnar roll and a specific shape portion provided on a positioning device that fits the specific shape portion. An apparatus for manufacturing a multilayer body for a multilayer electronic component according to claim 1.
【請求項3】 上記接着が熱融着であり、接着装置がヒ
ータである、請求項1又は2記載の積層型電子部品のた
めの積層体製造装置。
3. The apparatus for manufacturing a laminate for a multilayer electronic component according to claim 1, wherein the bonding is heat fusion, and the bonding apparatus is a heater.
【請求項4】 上記接着が、前記多角柱状ロールの周面
上の平面部分上で、非クローズドラインで実施される、
請求項1〜3記載のいずれかの積層型電子部品のための
積層体製造装置。
4. The bonding is performed in a non-closed line on a flat portion on a peripheral surface of the polygonal columnar roll,
A laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component according to claim 1.
【請求項5】 上記内部電極形成部が、転写フィルムの
巻き出し装置と、複数のガイドローラと、巻き取り装置
と、熱転写ヘッドと、転写フィルムの張力を検出する張
力検出装置と、前記検出された張力を調整する張力調整
装置と、転写フィルムの位置決め装置からなる、請求項
1〜4記載のいずれかの積層型電子部品のための積層体
製造装置。
5. The apparatus according to claim 1, wherein the internal electrode forming section includes a transfer film unwinding device, a plurality of guide rollers, a winding device, a thermal transfer head, a tension detecting device for detecting a tension of the transfer film, The laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component according to any one of claims 1 to 4, comprising a tension adjusting device for adjusting the tension applied to the laminated electronic component, and a transfer film positioning device.
【請求項6】 グリーンシートが、焼結可能なセラミッ
クス成分50〜95重量%、および有機結合材成分5〜
50重量%からなるものである、請求項1〜5のいずれ
かに記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
6. A green sheet comprising 50 to 95% by weight of a sinterable ceramic component and an organic binder component 5
The laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component according to any one of claims 1 to 5, comprising 50% by weight.
【請求項7】 有機結合材成分が、重量平均分子量40
万以上のポリオレフィンである、請求項1〜6のいずれ
かに記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
7. An organic binder component having a weight average molecular weight of 40.
The laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component according to any one of claims 1 to 6, wherein the laminate is a polyolefin of 10,000 or more.
【請求項8】 ポリオレフィンが、ポリエチレン、ポリ
ビニルアルコールおよびそれらの共重合体からなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のポリオレフィンである請求
項7記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
8. The laminate manufacturing apparatus for a multilayer electronic component according to claim 7, wherein the polyolefin is at least one polyolefin selected from the group consisting of polyethylene, polyvinyl alcohol and a copolymer thereof.
【請求項9】 上記積層型電子部品が積層セラミックコ
ンデンサである、請求項1〜8のいずれかに記載の積層
型電子部品のための積層体製造装置。
9. The apparatus for manufacturing a multilayer body for a multilayer electronic component according to claim 1, wherein said multilayer electronic component is a multilayer ceramic capacitor.
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JP2002217038A (en) * 2001-01-23 2002-08-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ceramic electronic component
CN115331963A (en) * 2022-08-02 2022-11-11 新疆众和股份有限公司 Electrode foil processing device, electrode foil processing technology and electrode foil

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