JP2000056707A

JP2000056707A - 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製造方法

Info

Publication number: JP2000056707A
Application number: JP10220892A
Authority: JP
Inventors: Sung Tae Kim; 成泰金; Jong Geun Yoon; 鍾根尹; Masao Kin; 昌男金
Original assignee: LG Electronics Inc
Current assignee: LG Electronics Inc
Priority date: 1998-08-04
Filing date: 1998-08-04
Publication date: 2000-02-25
Anticipated expiration: 2018-08-04
Also published as: JP4361978B2

Abstract

(57)【要約】【課題】パッシブマトリックス駆動の可能な大型有機
ＥＬディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。【解決手段】有機ＥＬディスプレイパネルは、（ｍ×
ｎ）個のサブパネルに分離されたカラム(column)とロー
(row)のマトリックス(matrix)に、互いに電気的に絶縁
された複数個の導電層からなる複数個の第１、第２電極
がそれぞれ配列され、複数個の第１、第２電極の間に複
数個の発光部が積層される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は発光層への電荷注入
時に光を発する有機ＥＬ素子からなる有機ＥＬ(electro
luminescent)ディスプレイパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近では、有機発光ダイオード(Light E
mitting Diode: LED)とも呼ばれる有機ＥＬ素子の技術
が速い速度で発展しており、既にいくつかの試製品が発
表されている。

【０００３】有機ＥＬ素子は、非常に薄く、マトリック
ス状にアドレス可能であり、１５Ｖ以上の低電圧でも駆
動可能であるという長所があった。また、有機ＥＬ素子
は、視野角が広く、プラスティックのように可撓性(fle
xible)のある透明基板上にも形成可能であり、このため
次代の平板ディスプレイ(Flat Panel Display: FPD)に
適した素子である。更に、よく知られているＬＣＤ(Liq
uid Crystal Display)に比べてバックライト(backligh
t)を必要としないため、電力消耗が少ないという長所も
あった。

【０００４】上記のような長所を持つ有機ＥＬ素子は、
一般的に無機ＥＬ素子とは動作原理の面で大きな違いが
ある。

【０００５】無機ＥＬ素子は、高い電界によって加速さ
れた電子が発光体(luminescent impurity)に衝突して励
起され、励起された発光体が基底状態に落ちながら発光
するのに対して、有機ＥＬ素子は、陰極及び陽極から各
々注入された電子と正孔とが結合して生成されたエクス
ィトン(exciton)が励起状態から基底状態に落ちながら
発光する。このような有機ＥＬ素子は、今まで発光効率
を改善させ且つ多様な色を作り出すために活発に研究さ
れ、今後有機ＥＬ素子の商業化のために生産性、均一
性、信頼性等の研究に更に努力を注がなければならな
い。

【０００６】有機ＥＬ素子を大型平板ディスプレイに適
用するためには、全体的なディスプレイ画面から均一な
光が発散されなければならない。このためには、まず適
切な蒸着装備を用いて多層膜からなる有機機能層(organ
ic function layers)をパネルの全面に均一に形成する
必要がある。次に、パネル駆動による問題点を解決しな
ければならない。これについて更に詳細に説明する。有
機ＥＬディスプレイパネルを駆動する最も簡単な方法
は、シンプルパッシブマトリックス(simple passive ma
trix)方式であり、直交する二つの電極の間に有機ＥＬ
層を形成する構造を有する。この駆動方式では、各々の
有機ＥＬ素子がディスプレイ素子及びスイッチング素子
の役割を共に行う。このような駆動モードでは、各々の
有機ＥＬ素子がダイオードのような非線形電流−電圧の
特性を有するため、理論的にはマルチプレックス(multi
plexing)による駆動が可能である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パッシ
ブマトリックスアドレシング(passive matrix addressi
ng)形態の大型有機ＥＬディスプレイパネルを駆動する
には下記のような難しさがあった。

【０００８】一つ、有機ＥＬ素子はメモリ機能を有して
ないため、非常に高い瞬間最高輝度(peak luminance)を
必要とし、ディスプレイパネルのロー(row)の個数が制
限を受ける。必要な瞬間最高輝度は（ロー電極の数×平
均輝度）に比例する。例えば、パネルの平均輝度の１０
０ｃｄ／ｍ²を得ようとするとき、もしも瞬間最高輝度
が５０、０００ｃｄ／ｍ²であればロー電極の数は最大
５００個、瞬間最高輝度が１０、０００ｃｄ／ｍ²であ
れば最大１００個となる。現在の技術の水準では、１
０、０００ｃｄ／ｍ²程度の輝度で長時間駆動しても寿
命が急激に減少し、将来発光効率が改善されるとしても
５０、０００ｃｄ／ｍ²で駆動するのは無理である。従
って、パッシブマトリックス方式によって駆動可能な最
大のロー電極の数は１００〜２００個程度と見た方が妥
当である。

【０００９】二つ、瞬間的な高電流により、カラム(col
umn)及びロー(row)のバス電極に沿って極めて大きなＩ
Ｒ電圧降下が発生してパネルの明るさが均一でなくな
る。

【００１０】三つ、有機ＥＬディスプレイパネルのＲＣ
遅延時間の問題である。典型的な透明電極物質であるＩ
ＴＯ(Indium Tin Oxide)は一般金属に比べて抵抗がかな
り大きく、有機層は非常に薄く（通常、１００ｎｍ程
度）静電容量(capacitance)が比較的に大きいため、全
体的に素子のＲＣ定数が大きい。パネルのサイズが大き
くなる程もっと問題が大きくなる。

【００１１】この類の問題を解決するためには薄膜トラ
ンジスタ液晶表示装置(TFT-LCD)のようなアクティブア
ドレシング(active addressing)駆動方式を導入しなけ
ればならない。しかし、アクティブマトリックスＥＬ
（ＡＭ−ＥＬ）の制作には費用が高くかかるため、プラ
ズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の他のディスプレ
イ技術との競争から劣る。このため、パッシブマトリッ
クス駆動方式を採っても上記問題点を解決する必要があ
る。

【００１２】本発明は上記の問題らを解決するためにな
されたものであり、その目的は、パッシブマトリックス
駆動の可能な大型有機ＥＬディスプレイパネル及びその
製造方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の有機ＥＬディス
プレイパネルは、（ｍ×ｎ）個のサブパネルに分離され
たカラム(column)とロー(row)のマトリックス(matrix)
に、互いに電気的に絶縁された複数個の導電層で形成さ
れる複数個の第１、第２電極がそれぞれ配列され、複数
個の第１、第２電極の間に複数個の発光部が積層される
ことを特徴とし、そのことにより、上記の目的が達成さ
れる。

【００１４】前記有機ＥＬディスプレイパネルは、基板
と、前記基板上に形成され、第１バス電極にそれぞれ電
気的に連結される複数個の第１電極と、前記第１電極上
に形成され、少なくとも一つの有機ＥＬ層を含む有機機
能層と、そして前記有機機能層上に形成され、第２バス
電極にそれぞれ電気的に連結される複数個の第２電極と
を備えることを特徴としてもよい。前記第１、第２バス
電極の各々は各層の間に電気絶縁層を有する積層構造の
一部をなし、積層された前記各層は、１つの第１、第２
電極を備えるか、或いは絶縁物質を挟んだ多数個の前記
第１、第２バス電極を備えることを特徴としてもよい。
前記第１電極の各帯(stripe)に対応する第１バス電極は
少なくとも一位置で電気的にコンタクトされることを特
徴としてもよい。前記第１及び第２バス電極は少なくと
も一つの伝導性物質で形成され、前記基板は透明物質で
形成されることを特徴としてもよい。前記伝導性物質
は、金属、合金、伝導性ポリマーのうち少なくとも一つ
であることを特徴としてもよい。

【００１５】前記金属は、アルミニウム、銅、ニッケ
ル、クローム、銀、金のうち何れか一つであることを特
徴としてもよい。複数個の発光部を備える複数個のサブ
パネルと、前記サブパネルに対応する複数個の第１電
極と、前記各第１電極に対応してカップリング(couplin
g)される複数個の第１シグナルバスとが形成された基板
と、前記第１電極の最小領域がそれぞれ露出される前記
基板から絶縁されて突出された複数個の第２シグナルバ
スと、前記第１電極の露出された領域上に形成され、少
なくとも一つの有機ＥＬ層を含む第１、第２、第３有機
機能層のうち少なくとも一層と、そして前記第１、第
２、第３有機機能層のうち少なくとも一層上に形成さ
れ、前記第２シグナルバスに対応してカップリングされ
る複数個の第２電極と、を備えることを特徴としてもよ
い。

【００１６】前記複数個のサブパネルは（ｎ×ｍ）個
（ここで、ｎ、ｍは２よりも大きな整数）に配列される
ことを特徴としてもよい。前記第２シグナルバス上に各
々対応して形成される複数個の隔壁を更に備えることを
特徴としてもよい。

【００１７】前記各隔壁上には対応する第２電極が形成
されることを特徴としてもよい。

【００１８】前記対応する第２電極と各隔壁との間には
前記第１、第２、第３有機機能層のうち少なくとも何れ
か一つが対応して形成されることを特徴としてもよい。

【００１９】前記隣接するサブピクセル間に位置する第
１シグナルバス上に各々対応して形成される隔壁を更に
備えることを特徴としてもよい。

【００２０】前記複数個の第１、第２電極はそれぞれ互
いに電気的に絶縁された複数個の第１、第２導電層で形
成され、それぞれカラムとローに配列されることを特徴
としてもよい。

【００２１】前記複数個の第１導電層は透光性物質で形
成されることを特徴としてもよい。

【００２２】前記透光性物質はＩＴＯ(Indium Tin Oxid
e)であることを特徴としてもよい。

【００２３】前記基板は、光が透過されることを特徴と
してもよい。

【００２４】前記第１導電層は長方形状であることを特
徴としてもよい。

【００２５】前記対応するサブピクセルに対応する第１
導電層は、前記長方形状の一面上に複数個の切欠き(not
ch)が形成されることを特徴としてもよい。

【００２６】前記複数個の第２導電層は、抵抗の低い金
属、合金のうち何れか一つで形成されることを特徴とし
てもよい。

【００２７】前記抵抗の低い金属はアルミニウムであ
り、前記合金はＭｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉのうち何れか一
つであることを特徴としてもよい。

【００２８】前記複数個の第１シグナルバスは、少なく
とも何れか一つの隣接する第１導電層の間にカラム方向
に形成され、対応する第１導電層の第１面と対応する第
１導電層の第２面にそれぞれカップリングされることを
特徴としてもよい。

【００２９】前記複数個の第２シグナルバスは、少なく
とも何れか一つの隣接する第２導電層の間にロー方向に
形成され、対応する第２導電層の第１面と対応する第２
導電層の第２面にそれぞれカップリングされることを特
徴としてもよい。

【００３０】前記各々の第１シグナルバスは、前記基板
上に形成される少なくとも一本の第１連結線と、前記第
１連結線を覆っている第１絶縁層とを備え、前記各々の
第２シグナルバスは、前記第１導電層上に形成される第
２絶縁層と、前記第１導電層上に形成される少なくとも
一本の第２連結線と、前記第２連結線上に形成される第
３絶縁層とから構成されることを特徴としてもよい。

【００３１】前記第１、第２連結線はそれぞれ少なくと
も一つの伝導性物質で形成されることを特徴としてもよ
い。

【００３２】前記伝導性物質は、金属、合金、伝導性ポ
リマーのうち少なくとも一つであることを特徴としても
よい。

【００３３】前記金属はアルミニウム、銅、ニッケル、
クローム、銀、金のうち何れか一つであることを特徴と
してもよい。

【００３４】前記第１連結線のうち少なくとも何れか一
本は前記対応する第１導電層の第１面の全体にコンタク
トされ、前記第２連結線は対応する第２導電層の第１面
の全体にコンタクトされることを特徴としてもよい。

【００３５】前記第１絶縁層は、各第１シグナルバスの
第１連結線が一本以上の時に隣接する第１連結線を絶縁
させてやり、前記第３絶縁層は、各第２シグナルバスの
第２連結線が一本以上の時に隣接する第２連結線を絶縁
させてやることを特徴としてもよい。

【００３６】前記隣接する第１、第２連結線のうち少な
くとも何れか一本は垂直に積層されることを特徴として
もよい。

【００３７】本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製
造方法は、基板上に互いに電気的に絶縁された複数個の
第１電極をロー及びカラムの配列状に形成する段階と、
前記対応する第１電極にカップリングされるように、カ
ラム方向に隣接する第１電極の間に複数個の第１シグナ
ルバスを形成する段階と、前記第１電極の最小領域がそ
れぞれ露出される前記基板から絶縁されて突出されるよ
うに、前記ロー方向に複数個の第２シグナルバスを形成
する段階と、前記第１電極の露出された領域上に、少な
くとも一つの有機ＥＬ層を含む第１、第２、第３有機機
能層のうち少なくとも一層を形成する段階と、第１、第
２、第３有機機能層のうち少なくとも一層上に、前記第
２シグナルバスに対応してカップリングされるように複
数個の第２電極を形成する段階とを備えることを特徴と
し、そのことにより、上記の目的が達成される。前記少
なくとも一本の第２連結線の先端には、前記対応する第
１、第２、第３有機機能層内に形成された開口部を介し
て対応する第２電極がカップリングされることを特徴と
してもよい。

【００３８】前記連結線の先端には前記第２連結線に直
角にバス電極が形成されることを特徴としてもよい。

【００３９】前記第１導電層は長方形状からなり、対応
するサブピクセルに対応する第１導電層は前記長方形状
の一面上に複数個の切欠き(notch)を含むことを特徴と
してもよい。

【００４０】前記バス電極は前記対応する切欠きによっ
て限定された領域へ突出されることを特徴としてもよ
い。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明による有機ＥＬディ
スプレイパネル及びその製造方法を添付図面に基づいて
説明する。

【００４２】図１は本発明による有機ＥＬディスプレイ
パネルを示す平面図である。同図に示すように、有機Ｅ
Ｌディスプレイパネル１は、２ｍ個のカラム(column)と
２ｎ個のロー(row)とを有する、つまり（２ｍ×２ｎ）
個のサブパネル(sub-panel)２からなる。大型パネルを
パッシブアドレシング(passive addressing)方式で駆動
するに際して生じる問題点を除去するべく、各サブパネ
ル２は分離駆動される。

【００４３】図２は（４×４）つまり１６個のサブパネ
ルを有するディスプレイパネルを示す断面図である。こ
の一実施例の制作過程を図３〜図１４を参照して説明す
る。まず、図３に示すように、透明絶縁基板３上にＩＴ
Ｏ(Indium Tin Oxide)のような透明導電膜を形成し、フ
ォトリソグラフィ(photolithography)工程で透明導電膜
をパターニングしてそれぞれ複数個の帯(stripe)４を有
する第１電極を形成する。ここで、長さ方向から見ると
き、一電極の帯が４本の短い帯に分離されている点か
ら、一般的なマトリックスアドレシング(matrix addres
sing)駆動方式で形成される第１電極の帯とは構造的に
相違する。第１電極の各帯４は後続工程で形成される第
２電極の帯とともにサブパネル２をなして個別に駆動さ
れ、このためには各々の第１、第２電極の帯は互いに電
気的に絶縁されなければならない。次に、透明基板３上
に、第１、第２電極との電気的な連結のための複数個の
コンタクトパッド(contact pad)５、６を形成する。こ
のコンタクトパッド５、６は第１電極の帯４の形成時に
共に形成してもよい。

【００４４】次いで、図４に示すように、第１バス電極
を形成して第１電極の帯４とそれに対応するコンタクト
パッド５、６とを連結させる。この際、外側の帯４−ａ
とそれに対応するコンタクトパッド５とは短い第１バス
電極７−ａにより連結される。この短い連結線７−ａ
は、このステップで別に作らずに、図３の工程において
第１電極の帯の形成のためのＩＴＯのパターニング時
に、外側の帯４−ａとそれに対応するコンタクトパッド
５とを連結している形態に予め形成してもよい。内側の
帯４−ｂとそれに対応するコンタクトパッド５とは長い
第１バス電極７−ｂにより連結される。ここで、第１バ
ス電極としての連結線７−ａ、７−ｂは、アルミニウム
又はその合金等のように導電性に優れた金属から形成す
ればよい。

【００４５】又、第１バス電極の形成方法にはいろいろ
あるが、その中でもリフトオフ(lift-off)工程を用いて
所定の位置にのみ第１バス電極を形成する方法が好まし
い。そして、この過程での第１バス電極のための膜成長
(film growth)方法には、蒸気蒸着(vapor deposition)
法、電子線蒸着(e-beam evaporation)法、ＲＦスパッタ
リング(RF sputtering)法、化学気相蒸着(chemical vap
or deposition)法、スピンコーティング(spin coatin
g)、ディッピング(dipping)、ドクターブレード(Dr. bl
ade)法、電気鍍金(electroplating)、無電解鍍金(elect
roless plating)、スクリーンプリンティング(screen p
rinting)法等を使用可能である。

【００４６】図５Ａの（ａ）は図４の２−ｆの拡大図で
あり、図５Ａの（ｂ）は図５Ａの（ａ）のＡ−Ａ’線上
の断面図である。

【００４７】一方、図５Ａの（ａ）に例示するように、
第１バス電極７−ａ、７−ｂと第１電極の帯４とが重な
る面積が小さい場合、第１電極の帯４の長辺に沿ってＩ
Ｒ電圧降下現象が表れることがあるが、この現象は第１
バス電極とそれに対応する第１電極の帯４との電気的接
触面積を広げることで解決可能である。すなわち、図５
Ｂの（ａ）に示すように、各々の第１バス電極を、対応
する第１電極の帯４の長辺に沿って形成して２つの間の
電気的接触面積を広げることにより、長さ方向の電圧降
下を最小化する。ある意味では、第１バス電極は第１電
極の帯の抵抗を低めてやる補助電極として用いられてい
るとも見られる。これは、第１バス電極の物質に比べ
て、第１電極の帯によく用いられるＩＴＯの電気抵抗が
遥かに大きいからである。２つの間の接触は、連続的で
なく、一定の距離おきに一定の長さずつ反復配列する形
態であっても良い。構造設計時、所与の条件内で２つの
間の総接触面積をつまり並んで接触して形成される総長
さを、できるだけ長く且つ長さ方向に均等に分配された
形態に調節することが、電圧降下による明るさの偏差を
減少させるのに有利である。

【００４８】次いで、図６（ａ）に示すように、第１バ
ス電極上に電気絶縁物質層８を形成する。ここで、電気
絶縁物質層８は機械的且つ化学的な安定性が要求されて
おり、有機又は無機絶縁物質からなり、酸化ケイ素(sil
icon oxide)、窒化ケイ素(silicon nitride)等の無機化
合物が好ましい。この電気絶縁物質層８は、蒸気蒸着(v
apor deposition)法、電子線蒸着(e-beam evaporation)
法、ＲＦスパッタリング(RF sputtering)法、化学気相
蒸着(chemical vapor deposition)法、スピンコーティ
ング(spin coating)、ディッピング(dipping)、ドクタ
ーブレード(Dr. blade)法、電気鍍金(electroplatin
g)、無電解鍍金(electroless plating)、スクリーンプ
リンティング(screen printing)法等を用いて覆える。

【００４９】次に、図７Ａの（ａ）は後続工程で形成さ
れる第２バス電極のための絶縁バッファ層９を形成する
過程を示す図であり、図７Ａの（ｂ）は図７Ａの（ａ）
のＢ−Ｂ’線上の断面図である。ここで、バッファ層９
の役割は、第１電極から第２バス電極を電気的に絶縁さ
せるためのことである。このバッファ層９の物質並びに
膜成長方法は、図６の電気絶縁物質層８の場合と同一又
は類似である。さらに、バッファ層９は、図７Ｂの
（ａ）、図７Ｂの（ｂ）、図７Ｂの（ｃ）に示すよう
に、図６（ａ）の工程段階で電気絶縁物質層８と共に形
成されてもよい。

【００５０】次いで、図８（ａ）、図８（ｂ）、図８
（ｃ）に示すように、第２バス電極を第１バス電極に直
交するように形成する。ここで、第２バス電極の役割
は、後続工程で形成される第２電極とコンタクトパッド
６とを電気的に連結させるためのことである。又、第１
バス電極７−ａの場合と同じ理由によって短い第２バス
電極１０−ａは省略可能である。図８（ｂ）に示すよう
に、長い第２バス電極１０−ｂの大部分はバッファ層９
上に形成され、残りの部分は第１電極の帯４にて覆われ
てないオープン領域１１上にまで延長されて形成され
る。電気的な短絡を防ぐべく、第２バス電極１０−ｂが
第１電極の帯にて覆われた領域１２に接しないように、
注意を払う必要がある。第２バス電極は、第１バス電極
と同一又は類似の物質並びに膜成長方法で形成可能であ
る。

【００５１】図９（ａ）に示すように、第２バス電極上
に絶縁層１３を形成するが、構造設計に応じてこの絶縁
層１３は省略してもよい。この絶縁層１３の物質並びに
製造方法は前述した電気絶縁物質層８の場合と同一又は
類似である。構造設計に応じては第２バス電極が第１バ
ス電極よりも先に形成されてもよい。

【００５２】この後の遂行工程は、ピクセレレーション
方法及びディスプレイモード(mode)により様々に選択可
能である。例えば、米国特許第５、７０１、０５５号に
提示した電気絶縁隔壁を用いて隣接するピクセルを分離
しようとする場合、第１又は第２バス電極のうち後形成
されたバス電極上に形成された絶縁層上に前記隔壁を形
成する。また、単色ディスプレイ(monochrome display)
用のパネルを制作するためには一連の有機機能層を単純
積層すればよいが、マルチカラー(multi color)又はフ
ルカラー(full color)ディスプレイパネルを制作するた
めには追加的にシャドーマスク(shadow mask)が必要な
場合がある。

【００５３】シャドーマスクと隔壁を用いてフルカラー
ディスプレイパネルを造る工程を察してみると、（１）まず、隔壁表面上にシャドーマスクを配置する。
ここで、シャドーマスクは、隔壁の間にある第１電極又
は第２電極が露出されるように複数個の開口部を有して
おり、その開口部は各々の電極に整列されている；（２）隔壁の間にある各々の電極上に整列された開口部
を介して第１有機ＥＬ物質を蒸着する。例えば、赤色(r
ed)光を発する第１有機機能層を形成する；（３）シャドーマスクを再整列し、前記（２）の過程を
繰り返し行って緑色(green)及び青色(blue)光を発する
第２、第３有機機能層を順次形成する；（４）隔壁及び有機機能層上に少なくとも一つ以上の第
２電極層を形成する。

【００５４】図１０（ａ）は、上述したようにピクセレ
ーションのための電気絶縁隔壁を形成する過程を示す図
である。同図に示すように、隔壁１４は前記絶縁層１３
上に形成される。ここで、前記絶縁層１３は一種のバッ
ファ層の役割を果たす。次いで、図１１に示すように、
Ａ領域とＢ領域の第２電極を電気的に絶縁させるべく追
加的に隔壁１５を形成する。

【００５５】次いで、図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図
１２（ｃ）に示すように、有機機能層１６を積層する。
例えば、緑色発光素子の有機機能層をよく見れば以下の
通りである。

【００５６】（１）約１０ｎｍ〜２０ｎｍの厚さのｃｏ
ｐｐｅｒｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ（ＣｕＰｃ）
からなる正孔注入バッファ層；（２）約３０ｎｍ〜５０ｎｍの厚さのＮ，Ｎ’−ｄｉｐ
ｈｅｎｙｌ−Ｎ，Ｎ’−ｂｉｓ（３−ｍｅｔｈｙｌｐｈ
ｅｎｙｌ）−（１，１’−ｂｉｐｈｅｎｙｌ）−４，
４’−ｄｉａｍｉｎｅ（ＴＰＤ）からなる正孔輸送層；
そして（３）約４０ｎｍ〜６０ｎｍの厚さのｔｒｉｓ（８−ｈ
ｙｄｒｏｘｙ−ｑｕｉｎｏｌａｔｅ）ａｌｕｍｉｎｉｕ
ｍ（Ａｌｑ３）からなる発光層；からなる。

【００５７】発光層に、ｃｏｕｍａｒｉｎ６又はｑｕｉ
ｎａｃｒｉｄｏｎｅ等の発光染料をドープ剤(dopant)と
して約１％程度添加することもある。もしも、フルカラ
ーディスプレイパネルを制作する場合、前述したように
複数個の隔壁及びシャドーマスクを用いて対応するピク
セル上にそれぞれ赤色、緑色、青色の発光物質を順次積
層する方法を用いることもできる。

【００５８】図１３（ａ）、図１３（ｂ）は第２バス電
極１０−ｂ’上の有機機能層１６をエッチングして第２
バス電極１０−ｂ’を露出させる過程を示す図であり、
これは後工程で形成される第２電極と既に形成された第
２バス電極１０−ｂ’とを電気的に連結させるためであ
る。ここで、エッチングは、反応性イオンエッチングや
レーザビームエッチング等のドライエッチングを用いる
ことが好ましい。

【００５９】ここで、図面には第２バス電極当たり電気
的なコンタクトのための窓(contactwindow)又は連結パ
ッド(connection pad)１０−ｂ’が一つずつ形成された
かに図示されているが、実際には窓の個数は必要に応じ
て例えば各ピクセル当たり一つずつと増えることもでき
る。しかし、大方の場合、窓が各第２バス電極当たり一
つずつあれば足りる。この理由は、一般的にＡｌ、Ｍ
ｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉ等の第２電極用物質が第１電極
（ＩＴＯ）に比べて抵抗が遥かに低いからである。

【００６０】次いで、図１４（ａ）、図１４（ｂ）、図
１４（ｃ）に示すように、第２電極１７を形成してか
ら、保護膜を覆って一般的なｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏ
ｎ工程を行うことにより、パネル制作を完成する。

【００６１】今まで（４×４）個のサブパネルを有する
ディスプレイパネルの制作工程について説明したが、同
じ工程概念を図１５に示すような（６×６）個のサブパ
ネルを有する大型ディスプレイパネルの制作にも同じく
適用可能である。このパネルの対称性により、図１６に
示すような（３×３）個のサブパネルの制作工程だけで
もその制作工程を充分に説明できる。

【００６２】図１７から図２４は（３×３）個のサブパ
ネル用の制作工程に関する図であり、基本的に（４×
４）個のサブパネルの制作工程と類似する。しかし、次
のようないくつかの相違点がある。

【００６３】図１７（ａ）に示すように、（４×４）の
サブパネルに比べて各々の第１電極当たりバス電極がも
う１つ形成される必要がある（７−ａ、７−ｂ、７−
ｃ）。

【００６４】図１７（ａ）には２つのバス電極が並んで
形成されているが、図２５（ｂ）の例に示すように各層
当たりの一バス電極が２層に形成されてもよい。

【００６５】図２０（ａ）の場合にも、（４×４）のサ
ブパネルに比べて各々の第２電極当たりバス電極がもう
１つ形成される必要がある（１０−ａ、１０−ｂ、１０
−ｃ）。

【００６６】上述したパネル制作技術は、（２ｍ×２
ｎ）個のサブパネルを有する大型ディスプレイパネルの
制作にもそのまま適用できるが、単にこの場合には図２
５（ａ）、図２５（ｂ）のようにバス電極が多層構造に
形成される必要があるだけである。この多層バス電極を
形成するためには薄膜又は厚膜工程技術を用いることが
できる。参考として、図２６（ａ）、図２６（ｂ）は第
１、第２バス電極を立体的に示す図である。

【００６７】上記のようにして制作された各サブパネル
は、個別の駆動回路を用いて駆動させるが、さりとて他
の駆動回路から完全に独立的になるものではない。すな
わち、各サブパネルが個別のスキャン及びデータライン
を有しているとしても、他の回路と同期しなければなら
ない。

【００６８】

【発明の効果】本発明による有機ＥＬディスプレイパネ
ル及びその製造方法においては以下のような効果があ
る。

【００６９】各々電気的に絶縁された複数個のサブパネ
ルに分割されており、各々のサブパネルは個別に駆動可
能であり、大画面ディスプレイの全面にわたって均一の
画面を具現できるという利点がある。

【００７０】また、大画面有機ＥＬディスプレイパネル
を低コストに大量生産するに適する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の有機ＥＬディスプレイパネルを示す平
面図である。

【図２】（４×４）のサブパネルを有するディスプレイ
パネルを示す平面図である。

【図３】複数個の第１電極の帯、及び第１、第２電極の
コンタクトパッドを形成する過程を示す図である。

【図４】第１電極の帯と、それに対応するコンタクトパ
ッドとを電気的に連結する過程を示す図である。

【図５Ａ】図５Ａの（ａ）は図４の２−ｆの拡大図、図
５Ａの（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線上の断面図である。

【図５Ｂ】図５Ｂの（ａ）は第１電極の帯とそれに対応
するコンタクトパッドとを電気的に連結する第２方法を
示す図、図５Ｂの（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線上の断面
図である。

【図６】図６（ａ）は第１バス電極を絶縁層で覆う過程
を示す図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ’線上の断
面図である。

【図７Ａ】図７Ａの（ａ）は第２バス電極の絶縁バッフ
ァ層を形成する過程を示す図、図７Ａの（ｂ）は図７Ａ
の（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図７Ｂ】図７Ｂ（ａ）は図６（ａ）の第１バス電極用
の絶縁層と図７Ａの（ａ）の第２バス電極用の絶縁バッ
ファ層を一度に形成する過程を示す図、図７Ｂ（ｂ）、
図７Ｂ（ｃ）はそれぞれ図７Ｂ（ａ）のＡ−Ａ’、Ｂ−
Ｂ’線上の断面図である。

【図８】図８（ａ）は第２バス電極を形成する過程を示
す図、図８（ｂ）は拡大図、図８（ｃ）は図８（ａ）の
Ｂ−Ｂ’線上の断面図である。

【図９】図９（ａ）は第２バス電極の絶縁層を形成する
過程を示す図、図９（ｂ）は拡大図、図９（ｃ）は図９
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図１０】図１０（ａ）は隣接する第２電極を電気的に
絶縁させて各サブパネルをピクセレーションするべく電
気絶縁隔壁を形成する過程を示す図、図１０（ｂ）は拡
大図、図１０（ｃ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断
面図である。

【図１１】Ａ領域とＢ領域の第２電極を電気的に絶縁
させるための電気絶縁隔壁を形成する過程を示す図であ
る。

【図１２】図１２（ａ）は有機機能層を形成する過程を
示す図、図１２（ｂ）拡大図、図１２（ｃ）は図１２
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図１３】図１３（ａ）は第２電極バス１０−ｂ’上の
有機機能層をエッチングして第２バス電極１０−ｂ’を
露出させる過程を示す図、図１３（ｂ）は拡大図であ
る。

【図１４】図１４（ａ）は第２電極を形成する過程を示
す図、図１４（ｂ）は拡大図、図１４（ｃ）は図１４
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図１５】（６×６）サブパネルを有するディスプレイ
パネルを示す図である。

【図１６】複数個の第１電極の帯、及び第１、第２電極
のコンタクトパッドを形成する過程を拡大して示す図で
ある。

【図１７】図１７（ａ）は第１電極の帯とそれに対応す
るコンタクトパッドとを電気的に連結する過程を示す
図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）のＡ−Ａ’線上の断面
図である。

【図１８】図１８（ａ）は第１バス電極を絶縁層で覆う
過程を示す図、図１８（ｂ）は図１８（ａ）のＡ−Ａ’
線上の断面図である。

【図１９】図１９（ａ）は第２バス電極の絶縁バッファ
層を形成する過程を示す図、図１９（ｂ）は図１９
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２０】図２０（ａ）は第２バス電極を形成する過程
を示す図、図２０（ｂ）は拡大図、図２０（ｃ）は図
２０（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２１】図２１（ａ）は第２バス電極の絶縁層を形成
する過程を示す図、図２１（ｂ）は拡大図、図２１
（ｃ）は図２１（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２２】図２２（ａ）は隣接する第２電極を電気的に
絶縁させて各サブパネルをピクセレーションするための
電気絶縁隔壁、及びＣ、Ｄ、Ｅ領域の第２電極をそれぞ
れ電気的に絶縁させるための電気絶縁隔壁を形成する過
程を示す図、図２２（ｂ）は拡大図、図２２（ｃ）は
図２２（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２３】図２３（ａ）は有機機能層を形成する過程、
及び第２バス電極１０−ｂ’上の有機機能層をエッチン
グして第２バス電極１０−ｂ’を露出させる過程を示す
図、図２３（ｂ）は拡大図、図２３（ｃ）は図２３
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２４】図２４（ａ）は第２電極を形成する過程を示
す図、図２４（ｂ）は拡大図、図２４（ｃ）は図２４
（ａ）のＢ−Ｂ’線上の断面図である。

【図２５】図２５（ａ）は絶縁層を挟んで一層当たり２
つの第２バス電極を有する積層構造を示す図、図２５
（ｂ）は一層当たり１つの第２バス電極を有する積層構
造を示す図である。

【図２６】図２６（ａ）、図２６（ｂ）はそれぞれ図２
５（ａ）及び図２５（ｂ）の第１、第２バス電極を立体
的に示す図である。

【符号の説明】

１パネル２サブパネル３基板４第１電極の帯５、６コンタクトパッド７第１バス電極８電気絶縁層９電気絶縁バッファ層１０第２バス電極１１オープン領域１２第１電極で覆われた領域１３電気絶縁層１４、１５隔壁１６有機機能層１７第２電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者金昌男大韓民國ソウル中浪區中和洞 299 −24 Ｆターム(参考） 3K007 AB00 AB18 BA00 BA06 CB01 DA00 FA01 GA00 5C094 AA14 AA44 AA46 BA29 CA19 DA01 DA13 DA15 DB01 EA05 EC04 FB01 FB12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ｍ×ｎ）個のサブパネルに分離された
カラム(column)とロー(row)のマトリックス(matrix)
に、互いに電気的に絶縁された複数個の導電層で形成さ
れる複数個の第１、第２電極がそれぞれ配列され、複数個の第１、第２電極の間に複数個の発光部が積層さ
れることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】前記有機ＥＬディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成され、第１バス電極にそれぞれ電気的
に連結される複数個の第１電極と、前記第１電極上に形成され、少なくとも一つの有機ＥＬ
層を含む有機機能層と、そして前記有機機能層上に形成
され、第２バス電極にそれぞれ電気的に連結される複数
個の第２電極とを備えることを特徴とする請求項１記載
の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】前記第１、第２バス電極の各々は各層の
間に電気絶縁層を有する積層構造の一部をなし、積層された前記各層は、１つの第１、第２電極を備える
か、或いは絶縁物質を挟んだ多数個の前記第１、第２バ
ス電極を備えることを特徴とする請求項２記載の有機Ｅ
Ｌディスプレイパネル。
【請求項４】前記第１電極の各帯(stripe)に対応する
第１バス電極は少なくとも一位置で電気的にコンタクト
されることを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬディス
プレイパネル。
【請求項５】前記第１及び第２バス電極は少なくとも
一つの伝導性物質で形成され、前記基板は透明物質で形
成されることを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬディ
スプレイパネル。
【請求項６】前記伝導性物質は、金属、合金、伝導性
ポリマーのうち少なくとも一つであることを特徴とする
請求項５記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項７】前記金属は、アルミニウム、銅、ニッケ
ル、クローム、銀、金のうち何れか一つであることを特
徴とする請求項６記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項８】複数個の発光部を備える複数個のサブパ
ネルと、前記サブパネルに対応する複数個の第１電極と、前記各
第１電極に対応してカップリング(coupling)される複数
個の第１シグナルバスとが形成された基板と、前記第１
電極の最小領域がそれぞれ露出される前記基板から絶縁
されて突出された複数個の第２シグナルバスと、前記第１電極の露出された領域上に形成され、少なくと
も一つの有機ＥＬ層を含む第１、第２、第３有機機能層
のうち少なくとも一層と、そして前記第１、第２、第３
有機機能層のうち少なくとも一層上に形成され、前記第
２シグナルバスに対応してカップリングされる複数個の
第２電極と、を備えることを特徴とする有機ＥＬディス
プレイパネル。
【請求項９】前記複数個のサブパネルは（ｎ×ｍ）個
（ここで、ｎ、ｍは２よりも大きな整数）に配列される
ことを特徴とする請求項８記載の有機ＥＬディスプレイ
パネル。
【請求項１０】前記第２シグナルバス上に各々対応し
て形成される複数個の隔壁を更に備えることを特徴とす
る請求項８記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１１】前記各隔壁上には対応する第２電極が
形成されることを特徴とする請求項１０記載の有機ＥＬ
ディスプレイパネル。
【請求項１２】前記対応する第２電極と各隔壁との間
には前記第１、第２、第３有機機能層のうち少なくとも
何れか一つが対応して形成されることを特徴とする請求
項１１記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１３】前記隣接するサブピクセル間に位置す
る第１シグナルバス上に各々対応して形成される隔壁を
更に備えることを特徴とする請求項８記載の有機ＥＬデ
ィスプレイパネル。
【請求項１４】前記複数個の第１、第２電極はそれぞ
れ互いに電気的に絶縁された複数個の第１、第２導電層
で形成され、それぞれカラムとローに配列されることを
特徴とする請求項８記載の有機ＥＬディスプレイパネ
ル。
【請求項１５】前記複数個の第１導電層は透光性物質
で形成されることを特徴とする請求項１４記載の有機Ｅ
Ｌディスプレイパネル。
【請求項１６】前記透光性物質はＩＴＯ(Indium Tin
Oxide)であることを特徴とする請求項１５記載の有機Ｅ
Ｌディスプレイパネル。
【請求項１７】前記基板は、光が透過されることを特
徴とする請求項８記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１８】前記第１導電層は長方形状であること
を特徴とする請求項１４記載の有機ＥＬディスプレイパ
ネル。
【請求項１９】前記対応するサブピクセルに対応する
第１導電層は、前記長方形状の一面上に複数個の切欠き
(notch)が形成されることを特徴とする請求項１８記載
の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２０】前記複数個の第２導電層は、抵抗の低
い金属、合金のうち何れか一つで形成されることを特徴
とする請求項１４記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２１】前記抵抗の低い金属はアルミニウムで
あり、前記合金はＭｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉのうち何れか
一つであることを特徴とする請求項２０記載の有機ＥＬ
ディスプレイパネル。
【請求項２２】前記複数個の第１シグナルバスは、少
なくとも何れか一つの隣接する第１導電層の間にカラム
方向に形成され、対応する第１導電層の第１面と対応す
る第１導電層の第２面にそれぞれカップリングされるこ
とを特徴とする請求項１４記載の有機ＥＬディスプレイ
パネル。
【請求項２３】前記複数個の第２シグナルバスは、少
なくとも何れか一つの隣接する第２導電層の間にロー方
向に形成され、対応する第２導電層の第１面と対応する
第２導電層の第２面にそれぞれカップリングされること
を特徴とする請求項２２記載の有機ＥＬディスプレイパ
ネル。
【請求項２４】前記各々の第１シグナルバスは、前記
基板上に形成される少なくとも一本の第１連結線と、前
記第１連結線を覆っている第１絶縁層とを備え、前記各々の第２シグナルバスは、前記第１導電層上に形
成される第２絶縁層と、前記第１導電層上に形成される
少なくとも一本の第２連結線と、前記第２連結線上に形
成される第３絶縁層とから構成されることを特徴とする
請求項２３記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２５】前記第１、第２連結線はそれぞれ少な
くとも一つの伝導性物質で形成されることを特徴とする
請求項２４記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２６】前記伝導性物質は、金属、合金、伝導
性ポリマーのうち少なくとも一つであることを特徴とす
る請求項２５記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２７】前記金属はアルミニウム、銅、ニッケ
ル、クローム、銀、金のうち何れか一つであることを特
徴とする請求項２６記載の有機ＥＬディスプレイパネ
ル。
【請求項２８】前記第１連結線のうち少なくとも何れ
か一本は前記対応する第１導電層の第１面の全体にコン
タクトされ、前記第２連結線は対応する第２導電層の第
１面の全体にコンタクトされることを特徴とする請求項
２４記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２９】前記第１絶縁層は、各第１シグナルバ
スの第１連結線が一本以上の時に隣接する第１連結線を
絶縁させてやり、前記第３絶縁層は、各第２シグナルバスの第２連結線が
一本以上の時に隣接する第２連結線を絶縁させてやるこ
とを特徴とする請求項２４記載の有機ＥＬディスプレイ
パネル。
【請求項３０】前記隣接する第１、第２連結線のうち
少なくとも何れか一本は垂直に積層されることを特徴と
する請求項２９記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３１】基板上に互いに電気的に絶縁された複
数個の第１電極をロー及びカラムの配列状に形成する段
階と、前記対応する第１電極にカップリングされるように、カ
ラム方向に隣接する第１電極の間に複数個の第１シグナ
ルバスを形成する段階と、前記第１電極の最小領域がそれぞれ露出される前記基板
から絶縁されて突出されるように、前記ロー方向に複数
個の第２シグナルバスを形成する段階と、前記第１電極の露出された領域上に、少なくとも一つの
有機ＥＬ層を含む第１、第２、第３有機機能層のうち少
なくとも一層を形成する段階と、第１、第２、第３有機機能層のうち少なくとも一層上
に、前記第２シグナルバスに対応してカップリングされ
るように複数個の第２電極を形成する段階とを備えるこ
とを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの製造方
法。
【請求項３２】前記少なくとも一本の第２連結線の先
端には、前記対応する第１、第２、第３有機機能層内に
形成された開口部を介して対応する第２電極がカップリ
ングされることを特徴とする請求項３１記載の有機ＥＬ
ディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３３】前記連結線の先端には前記第２連結線
に直角にバス電極が形成されることを特徴とする請求項
３２記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３４】前記第１導電層は長方形状からなり、
対応するサブピクセルに対応する第１導電層は前記長方
形状の一面上に複数個の切欠き(notch)を含むことを特
徴とする請求項３３記載の有機ＥＬディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項３５】前記バス電極は前記対応する切欠きに
よって限定された領域へ突出されることを特徴とする請
求項３４記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方
法。