JP2000047163A - Method and device of correcting pixel defect of liquid crystal panel - Google Patents
Method and device of correcting pixel defect of liquid crystal panelInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型平面表示装置
等として用いられる液晶パネルに発生した画素欠陥の修
正方法及び修正装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and a device for correcting a pixel defect occurring in a liquid crystal panel used as a thin flat panel display device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶パネルの製造工程において、画素欠
陥の発生を皆無にすることは極めて困難であり、歩留ま
りを向上させるためには、わずかな個数の欠陥画素が存
在するからといって液晶パネルを不良品として廃棄して
しまうのではなく、その欠陥画素を修正加工（修理）し
て良品とする技術が重要である。2. Description of the Related Art It is extremely difficult to eliminate the occurrence of pixel defects in the process of manufacturing a liquid crystal panel. In order to improve the yield, a small number of defective pixels is required even if a small number of defective pixels exist. Instead of discarding the defective pixel as a defective product, a technique for correcting (repairing) the defective pixel to obtain a non-defective product is important.
【０００３】従来のそのような画素欠陥修正方法及び修
正装置として、例えば特開平９−９０３０４号によるも
のが知られている。この装置では特に白画素欠陥につい
て、ＣＣＤビデオカメラで撮像された画像によって液晶
パネルの欠陥画素を検出し、その欠陥画素に第１のレー
ザ光を照射することによって欠陥画素を含む液晶層中に
気泡を発生させ、さらに第２のレーザ光を照射すること
によって欠陥画素の構成材を気泡内に飛散させ対向電極
に付着させて、白画素欠陥を修正する。As a conventional method and apparatus for correcting such a pixel defect, for example, a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-90304 is known. In this device, particularly for a white pixel defect, a defective pixel of the liquid crystal panel is detected from an image taken by a CCD video camera, and the defective pixel is irradiated with a first laser beam to cause bubbles in the liquid crystal layer including the defective pixel. Is generated, and the component of the defective pixel is scattered in the bubbles by irradiating the second laser beam to adhere to the counter electrode, thereby correcting the white pixel defect.
【０００４】また、欠陥画素を検出する方法として、温
風によって液晶パネルを加熱した状態で検出を行う検査
方法（特開平８−２２０１７４号）及び検査装置（特開
平９−１９６８１６号）が知られている。As a method of detecting a defective pixel, an inspection method (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-220174) and an inspection apparatus (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-196816) are known in which a liquid crystal panel is detected while being heated by hot air. ing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記したように検査時
に液晶パネルを加熱することによって、欠陥画素の検出
が容易になり、欠陥画素の検出効率及び精度を向上させ
ることができる。しかしながら、特開平９−９０３０４
号に示された方法及び装置では、画素欠陥の検査及び修
正を単一の装置によって行うことが可能であるが、検査
時に液晶パネルの加熱を行うことができず、そのため欠
陥画素の検出の効率に問題があった。また、特開平８−
２２０１７４号及び特開平９−１９６８１６号に示され
た方法及び装置は液晶パネルを加熱可能なものである
が、これらは検査装置であって、画素欠陥の修正を行う
ことができなかった。As described above, by heating the liquid crystal panel at the time of inspection, the detection of defective pixels is facilitated, and the efficiency and accuracy of detecting defective pixels can be improved. However, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-90304
In the method and apparatus described in the above item, inspection and correction of pixel defects can be performed by a single apparatus, but the heating of the liquid crystal panel cannot be performed at the time of inspection, so that the efficiency of detecting defective pixels can be improved. Had a problem. Further, Japanese Unexamined Patent Publication No.
The methods and apparatuses disclosed in JP-A-220174 and JP-A-9-196816 can heat a liquid crystal panel, but these are inspection apparatuses and cannot correct a pixel defect.
【０００６】したがって、従来の方法及び装置によっ
て、液晶パネルを加熱して効率良く欠陥画素の検査を行
い、検出された欠陥画素を修正して、さらに加熱を行い
つつ再検査を行って修正を確認するには、（ａ）液晶パ
ネルを、加熱手段を有した検査装置において、加熱され
た状態で検査して欠陥画素の位置を検出し、（ｂ）液晶
パネルを修正装置に移動・設置して、検査装置において
検出された欠陥画素の位置に基づいて修正を行い、
（ｃ）液晶パネルを再度加熱手段を有した検査装置に移
動・設置して、加熱された状態で再検査して欠陥画素が
修正されているかどうかを確認する、という手順によら
なければならない。このような方法では、各工程ごとに
液晶パネルの移動・設置を行わなければならないので、
作業の効率上問題があった。Therefore, by the conventional method and apparatus, the defective pixel is efficiently inspected by heating the liquid crystal panel, the detected defective pixel is corrected, and re-inspection is performed by further heating to confirm the correction. To do this, (a) the liquid crystal panel is inspected in a heated state with an inspection device having heating means to detect the position of the defective pixel, and (b) the liquid crystal panel is moved and installed in the correction device. Performing a correction based on the position of the defective pixel detected by the inspection device,
(C) The procedure must be such that the liquid crystal panel is moved / installed again to the inspection device having the heating means, and is inspected again in the heated state to confirm whether the defective pixel has been corrected. In such a method, the liquid crystal panel must be moved and installed for each process,
There was a problem in work efficiency.
【０００７】また、例えばレーザ光によって修正を行う
場合、検査工程から修正工程への移行において、別に設
けられた検査装置によって検出された欠陥画素の位置情
報のみによって、修正装置におけるレーザ光照射の位置
決めを行うので、欠陥画素以外の画素にレーザ光を照射
してしまう可能性がある。特に液晶パネルを加熱して欠
陥画素を検査した場合、熱によって液晶パネルに微少な
歪みが生じ、それによって欠陥画素の位置にずれが生じ
てしまう可能性が高い。このようなずれの問題は、修正
工程から再検査工程への移行においても同様であり、修
正対象である欠陥画素を正しく再検査できない可能性が
ある。For example, when the correction is performed by a laser beam, in the transition from the inspection step to the correction step, the positioning of the laser beam irradiation in the correction apparatus is performed based only on the position information of the defective pixel detected by a separately provided inspection apparatus. Is performed, pixels other than the defective pixels may be irradiated with laser light. In particular, when a defective pixel is inspected by heating the liquid crystal panel, there is a high possibility that the heat causes slight distortion in the liquid crystal panel, thereby causing a shift in the position of the defective pixel. The problem of such a shift is the same in the transition from the repairing process to the re-inspection process, and there is a possibility that the defective pixel to be repaired cannot be correctly re-inspected.
【０００８】本発明は、液晶パネルの検査時に加熱を行
う修正方法において、効率的かつ確実に欠陥画素の検
査、修正及び再検査の工程を行うことができる液晶パネ
ルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置を提供する
ことを目的とする。The present invention relates to a method of repairing a pixel defect of a liquid crystal panel and a method of repairing the defective pixel in a liquid crystal panel in which a process of inspecting, repairing, and reinspection of defective pixels can be performed efficiently and reliably. It is an object to provide a correction device.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法
は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射する
ことにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥
修正方法において、液晶パネルが液晶パネル設置手段に
保持され、かつ加熱された状態で、欠陥画素の検出を行
う検査工程と、検出された欠陥画素の位置とレーザ光の
照射位置とが対応するように、液晶パネルの位置合わせ
を行った後、レーザ光を照射して液晶パネルの欠陥画素
の修正を行う修正工程と、修正が行われた液晶パネルが
液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態
で、修正が行われた欠陥画素の再検査を行う再検査工程
と、を備え、検査工程、修正工程及び再検査工程の全工
程は、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持された状
態で行われることを特徴とする。In order to achieve the above object, a method for correcting a pixel defect of a liquid crystal panel according to the present invention comprises irradiating a defective pixel portion of a liquid crystal panel with a laser beam to thereby remove the defective pixel. In the pixel defect correcting method for a liquid crystal panel to be corrected, an inspection step of detecting a defective pixel in a state where the liquid crystal panel is held by a liquid crystal panel installation unit and heated, and a step of detecting a position of the detected defective pixel and a laser beam. After the alignment of the liquid crystal panel is performed so that the irradiation position corresponds, a correcting step of correcting a defective pixel of the liquid crystal panel by irradiating a laser beam, and the corrected liquid crystal panel is a liquid crystal panel installation means. A re-inspection step of re-inspection of the defective pixel that has been repaired in a state where the liquid crystal panel is maintained and heated. Characterized in that it is performed in a state held by the LCD panel mounting means.
【００１０】また、検査工程において、検出された欠陥
画素の位置の登録をさらに行うことを特徴としても良
い。In the inspection step, the position of the detected defective pixel may be further registered.
【００１１】さらに、検出された欠陥画素の位置をそれ
ぞれ登録して、液晶パネル全体について継続して検査を
行って、液晶パネルのすべての欠陥画素の位置を検出・
登録するように検査工程を行い、次に、検査工程におい
て検出された１個または複数個の欠陥画素のそれぞれに
ついて、登録されたそれぞれの位置に基づいて修正工程
と再検査工程とを行っても良い。Further, the positions of the detected defective pixels are registered, and the whole liquid crystal panel is continuously inspected to detect and detect the positions of all the defective pixels on the liquid crystal panel.
The inspection process is performed so as to register, and then, for each of the one or more defective pixels detected in the inspection process, the correction process and the re-inspection process are performed based on the registered positions. good.
【００１２】上記のように、画素欠陥修正方法を検査、
修正及び再検査の３つの工程を備える構成とし、そのう
ち検査及び再検査の工程において液晶パネルを加熱して
欠陥画素の検出効率及び精度を高めて検査を行う修正方
法を、液晶パネルの移動・再設置を行うことなく単一の
液晶パネル設置手段に保持された状態で行うことによっ
て、液晶パネルの欠陥画素の検出、修正と修正後の再検
査を効率的に、また位置のずれなどを生じることなく行
うことができる。また特に、最初に検査工程において液
晶パネル全体について検査を行って、検出した欠陥画素
の位置をそれぞれ登録しておき、次に登録されたそれぞ
れの欠陥画素について、修正工程及び再検査工程を行う
ことによって、さらに各工程の効率を高めることができ
る。As described above, the pixel defect repair method is inspected,
In the inspection and re-inspection process, the liquid crystal panel is heated in the inspection and re-inspection process to improve the detection efficiency and accuracy of defective pixels. By performing the operation while the unit is held by a single liquid crystal panel installation means without installation, the defective pixels on the liquid crystal panel can be efficiently detected, corrected and re-examined after the correction, and the position can be shifted. Can be done without. In particular, first, in the inspection process, the entire liquid crystal panel is inspected, the positions of the detected defective pixels are registered, and the correction process and the re-inspection process are performed on each of the registered defective pixels. Thereby, the efficiency of each step can be further increased.
【００１３】また、検査工程の欠陥画素の検出と、修正
工程の液晶パネルの位置合わせと、再検査工程の修正さ
れた欠陥画素の再検査とは、液晶パネルを撮像する撮像
手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表示手段
とを用いて行うことも可能である。Further, the detection of defective pixels in the inspection step, the alignment of the liquid crystal panel in the repair step, and the re-inspection of the corrected defective pixels in the re-inspection step are performed by imaging means for imaging the liquid crystal panel, It is also possible to use a display means for displaying the image of the liquid crystal panel.
【００１４】さらに、修正工程の液晶パネルの位置合わ
せは、検査工程において検出された欠陥画素の位置の近
傍を拡大して表示手段に表示して行っても良い。Further, the alignment of the liquid crystal panel in the repairing step may be performed by enlarging the vicinity of the position of the defective pixel detected in the inspection step and displaying it on display means.
【００１５】検査工程において、液晶パネルの像を撮像
して表示し、表示された液晶パネル像によって液晶パネ
ルの検査を行うことによって、効率良く欠陥画素の検出
を行うことができる。また、そのように液晶パネル全体
について検査を行って全欠陥画素を検出した後、修正工
程においてそれぞれの欠陥画素の位置合わせを行うとき
に、検査工程において検出された位置のみに基づいて位
置合わせを行うのではなく、検査時と同様の手段によっ
て位置の確認を行いつつ位置合わせを行うことによっ
て、位置のずれが生じることを防ぐことができる。また
さらに、検査工程において検出された欠陥画素の位置の
近傍を拡大して表示して行うことによって、さらに正確
な位置決め及び位置合わせを行うことができる。In the inspection step, the image of the liquid crystal panel is captured and displayed, and the liquid crystal panel is inspected with the displayed liquid crystal panel image, so that defective pixels can be detected efficiently. In addition, after inspecting the entire liquid crystal panel and detecting all defective pixels, when performing alignment of each defective pixel in the repairing process, alignment is performed based only on the position detected in the inspection process. Rather than performing the alignment, the alignment is performed while confirming the position by the same means as in the inspection, thereby preventing the occurrence of a positional shift. Further, by displaying the vicinity of the position of the defective pixel detected in the inspection process in an enlarged manner and performing the display, more accurate positioning and positioning can be performed.
【００１６】また、本発明による液晶パネルの画素欠陥
修正装置は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を
照射することにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの
画素欠陥修正装置において、液晶パネルを固定し、所定
の位置に位置決めさせる液晶パネル設置手段と、液晶パ
ネルの欠陥画素の検査時及び修正が行われた欠陥画素の
再検査時等に、液晶パネルを照明する照明手段と、照明
された液晶パネルを撮像して検査を行って欠陥画素を検
出する欠陥画素検査手段と、液晶パネルの欠陥画素にレ
ーザ光を照射して欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手
段と、液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有すること
を特徴とする。Further, the pixel defect repairing apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention irradiates a laser beam to a defective pixel portion of the liquid crystal panel to repair the defective pixel. A liquid crystal panel setting means for fixing and positioning the liquid crystal panel at a predetermined position; an illuminating means for illuminating the liquid crystal panel at the time of inspecting a defective pixel of the liquid crystal panel and at the time of reinspection of a defective pixel which has been corrected; Defective pixel inspection means for imaging and inspecting a liquid crystal panel to detect defective pixels; laser light irradiation means for irradiating defective pixels of the liquid crystal panel with laser light to correct the defective pixels; and heating the liquid crystal panel And a heating means.
【００１７】また、検出された欠陥画素の位置を登録す
る位置登録手段をさらに有することを特徴としても良
い。Further, the apparatus may further comprise a position registering means for registering the position of the detected defective pixel.
【００１８】このように、検査及び再検査を行うための
欠陥画素検査手段と、修正を行うためのレーザ光照射手
段とを備え、かつ検査及び再検査工程や、修正工程で欠
陥画素検査手段を用いて位置合わせを行う場合など必要
なときに液晶パネルを加熱する加熱手段を有する構成と
することによって、単一の修正装置において効率的かつ
確実に検査、修正及び再検査の３つの工程を行う上記の
画素欠陥修正方法を実現することができる。さらに、位
置登録手段を備えることによって、位置合わせの効率及
び精度を上げることができる。Thus, the defective pixel inspection means for performing the inspection and the re-inspection and the laser beam irradiation means for performing the correction are provided, and the defective pixel inspection means is used in the inspection and the re-inspection process and the repairing process. By using a configuration having a heating means for heating the liquid crystal panel when necessary, for example, when performing alignment using the device, the three steps of inspection, correction, and re-inspection can be performed efficiently and reliably with a single correction device. The above-described pixel defect correcting method can be realized. Further, by providing the position registering means, the efficiency and accuracy of positioning can be improved.
【００１９】欠陥画素検査手段は、液晶パネルを撮像す
る撮像手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表
示手段とを有する構成としても良い。The defective pixel inspection means may be configured to include an image pickup means for picking up an image of the liquid crystal panel and a display means for displaying the picked up image of the liquid crystal panel.
【００２０】液晶パネルを加熱するための加熱手段につ
いては、気体を加熱して温風として液晶パネル及びその
周辺に供給することによって、液晶パネルを加熱する温
風供給手段であっても良い。The heating means for heating the liquid crystal panel may be a hot air supply means for heating the liquid crystal panel and supplying it as hot air to the liquid crystal panel and its periphery, thereby heating the liquid crystal panel.
【００２１】また、加熱手段は、赤外線を液晶パネルに
照射することによって液晶パネルを加熱する赤外線照射
手段であっても良い。この場合、この赤外線照射手段
は、照明手段を兼ねることも可能である。The heating means may be infrared irradiation means for heating the liquid crystal panel by irradiating the liquid crystal panel with infrared rays. In this case, the infrared irradiating means can also serve as the illuminating means.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による液
晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置の好
適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説
明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説
明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと
必ずしも一致していない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a pixel defect repair method and a pixel defect repair apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements will be denoted by the same reference symbols, without redundant description. Also, the dimensional ratios in the drawings do not always match those described.
【００２３】図１は、本発明に係る画素欠陥修正装置の
一実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形態
では、検査及び修正の対象である液晶パネル１を載置す
るためのＸＹステージ２が、液晶パネル設置手段として
備えられている。このＸＹステージ２は、制御部４から
の駆動制御信号にしたがって作動するステッピングモー
タを備える駆動機構６によってＸＹ座標のいずれの方向
へも移動され、これによって液晶パネル１を任意の位置
へ移動・位置決め調整することができる。なお、液晶パ
ネル１の動作は、液晶パネル駆動回路１ａによって駆動
制御される。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a pixel defect correcting apparatus according to the present invention. In the present embodiment, an XY stage 2 for mounting the liquid crystal panel 1 to be inspected and corrected is provided as a liquid crystal panel installation unit. The XY stage 2 is moved in any direction of the XY coordinates by a drive mechanism 6 including a stepping motor that operates according to a drive control signal from a control unit 4, thereby moving and positioning the liquid crystal panel 1 to an arbitrary position. Can be adjusted. The operation of the liquid crystal panel 1 is driven and controlled by a liquid crystal panel drive circuit 1a.
【００２４】ＸＹステージ２の中央部には、Ｚ方向（Ｘ
Ｙ座標に直交する方向）に向けて貫通した開口部２ａが
形成され、開口部２ａの下側には、偏光フィルタ８を介
して照明手段である透過照明装置１０が設けられてい
る。制御部４からの照明制御信号によって透過照明装置
１０が点灯されると、偏光フィルタ８を通過した照明光
が開口部２ａを通過して液晶パネル１の裏面側を照明
し、液晶パネル１のいわゆるバックライトと同様の機能
が発揮される。In the center of the XY stage 2, the Z direction (X
An opening 2a penetrating in a direction perpendicular to the Y coordinate) is formed, and a transmission illumination device 10 as illumination means is provided below the opening 2a via a polarizing filter 8. When the transmission illumination device 10 is turned on by an illumination control signal from the control unit 4, the illumination light passing through the polarizing filter 8 passes through the opening 2a to illuminate the back side of the liquid crystal panel 1, and the so-called liquid crystal panel 1 The same function as the backlight is exhibited.
【００２５】また、液晶パネル１と、透過照明装置１０
及び偏光フィルタ８と、の間に位置するように、ＸＹス
テージ２内に光拡散板９が設置されている。この光拡散
板９は、液晶パネル１の全体を観察する場合と一部を拡
大して観察する場合に、どちらかの場合で透過照明光の
光量不足によって液晶パネル１の光像が暗くならないよ
うにする光量調整機能を有している。光拡散板９として
は、スリガラスやオパールガラスなどの光を拡散・散乱
させるものを用いる。Further, the liquid crystal panel 1 and the transmission illumination device 10
A light diffusion plate 9 is provided in the XY stage 2 so as to be located between the XY stage 2 and the polarization filter 8. The light diffusing plate 9 prevents the light image of the liquid crystal panel 1 from becoming dark due to a shortage of transmitted illumination light in either case of observing the entire liquid crystal panel 1 or observing a part of the liquid crystal panel 1 in an enlarged manner. To adjust the light amount. As the light diffusion plate 9, one that diffuses and scatters light, such as ground glass or opal glass, is used.
【００２６】ＸＹステージ２の上方には、Ｚ座標方向に
沿って、結像レンズ１２、ダイクロイックミラー１４、
偏光フィルタ１６、カメラレンズ１８及びＣＣＤビデオ
カメラ２０が、同一の光軸に合致する光学系を構成する
ように設けられている。なお、偏光フィルタ８及び１６
は、相互に直交状態に配置されている。Above the XY stage 2, along the Z coordinate direction, an imaging lens 12, a dichroic mirror 14,
A polarizing filter 16, a camera lens 18, and a CCD video camera 20 are provided so as to constitute an optical system that matches the same optical axis. The polarization filters 8 and 16
Are arranged orthogonal to each other.
【００２７】ダイクロイックミラー１４に対向する位置
には、上記光学系と光軸合わせされたレーザ発振器２２
が設けられ、さらに、ダイクロイックミラー１４とレー
ザ発振器２２との間には、所定部分にのみ光透過パター
ンを有する遮光マスク２４と、所定の光透過率を有する
減光フィルタ２６とが設けられている。遮光マスク２４
及び減光フィルタ２６に対しては、駆動のための駆動モ
ータ２８及び３０がそれぞれ設置されており、レーザ発
振器２２、駆動モータ２８及び３０は、それぞれ制御部
４からの制御信号によって駆動・制御される。At a position facing the dichroic mirror 14, a laser oscillator 22 whose optical axis is aligned with the optical system is set.
Further, between the dichroic mirror 14 and the laser oscillator 22, a light-shielding mask 24 having a light transmission pattern only in a predetermined portion and a light-reducing filter 26 having a predetermined light transmittance are provided. . Light shielding mask 24
Driving motors 28 and 30 are provided for the light-attenuating filter 26, respectively. The laser oscillator 22 and the driving motors 28 and 30 are driven and controlled by control signals from the control unit 4, respectively. You.
【００２８】ＣＣＤビデオカメラ２０によって撮像され
た液晶パネル１の映像信号は、画像処理部３２へ出力さ
れる。画像処理部３２は、液晶パネル１の光像をＣＲＴ
モニタ等の表示部３４に再生表示させるとともに、適時
にレーザ発振器２２のレーザ発光を停止させるための発
光停止信号を制御部４へ出力する。A video signal of the liquid crystal panel 1 captured by the CCD video camera 20 is output to the image processing unit 32. The image processing unit 32 converts the light image of the liquid crystal panel 1 into a CRT
The display unit 34 such as a monitor reproduces and displays, and outputs a light emission stop signal for stopping the laser light emission of the laser oscillator 22 to the control unit 4 in a timely manner.
【００２９】このような構成からなる画素欠陥修正装置
によって、液晶パネルの他の装置への移動及び再設置等
を行うことなく、単一の装置によって液晶パネルの欠陥
画素の検査、修正及び再検査の全工程を行うことができ
る。すなわち、ＸＹステージ２及び駆動機構６からなる
液晶パネル設置手段上に配置された液晶パネル１に対し
て、欠陥画素の検査及び再検査を行うための、撮像手段
であるＣＣＤビデオカメラ２０、画像処理部３２及び表
示手段である表示部３４を有する欠陥画素検査手段と、
欠陥画素の修正を行うための、レーザ発振器２２、遮光
マスク２４及び減光フィルタ２６を有するレーザ光照射
手段と、欠陥画素検査手段及びレーザ光照射手段による
検査・再検査工程及び修正工程を効率良く行わせるため
の適当な光学系とを設けることによって、全工程を単一
の装置によって行うことができる画素欠陥修正装置を実
現することができる。With the pixel defect repairing apparatus having such a configuration, inspection, correction and reinspection of defective pixels of the liquid crystal panel can be performed by a single apparatus without moving or re-installing the liquid crystal panel to another apparatus. Can be performed. That is, a CCD video camera 20 as an imaging unit for performing inspection and re-inspection of defective pixels on the liquid crystal panel 1 disposed on the liquid crystal panel installation unit including the XY stage 2 and the driving mechanism 6, Defective pixel inspection means having a unit 32 and a display unit 34 as a display means;
A laser beam irradiating unit having a laser oscillator 22, a light-shielding mask 24, and a neutral density filter 26 for repairing a defective pixel, and an inspection / re-inspection process and a repairing process by the defective pixel inspecting unit and the laser beam irradiating unit are efficiently performed. By providing an appropriate optical system for performing the operation, it is possible to realize a pixel defect correction apparatus in which all steps can be performed by a single apparatus.
【００３０】なお、各工程を制御する制御部４及び画像
処理部３２は、マイクロコンピュータシステム等によっ
て実現される。また、制御部４には位置登録手段とし
て、メモリを含む位置登録部４ａが接続されており、こ
れによって検出された欠陥画素のそれぞれの位置が登録
される。また例えば、これらのマイクロコンピュータシ
ステム等は、操作者が操作することによって、修正装置
全体を制御することができる構成としても良い。The control section 4 for controlling each step and the image processing section 32 are realized by a microcomputer system or the like. Further, a position registration unit 4a including a memory is connected to the control unit 4 as a position registration unit, and the respective positions of the detected defective pixels are registered by this. Further, for example, these microcomputer systems and the like may be configured to be able to control the entire correction device by an operator's operation.
【００３１】本実施形態における特徴として、液晶パネ
ル１を加熱するための温風供給手段として、温風供給器
４０が設置されている。温風供給器４０の温風生成部４
０ａには内部に電熱ヒータなどの気体加熱の手段が設置
されており、気体入力部４０ｂから入力された空気など
の気体は、温風生成部４０ａを通過することによって所
定の温度まで加熱され、温風出力部４０ｃから出力され
て液晶パネル１に供給される。As a feature of the present embodiment, a hot air supply device 40 is provided as a hot air supply means for heating the liquid crystal panel 1. Hot air generator 4 of hot air supplier 40
Gas heating means such as an electric heater is installed inside 0a, and gas such as air input from the gas input unit 40b is heated to a predetermined temperature by passing through the hot air generation unit 40a, The output from the hot air output section 40c is supplied to the liquid crystal panel 1.
【００３２】液晶パネル１及びＸＹステージ２の周囲に
は、液晶パネル１への加熱を効率良く行うため、保温ケ
ース４６及び４８が設置されている。本実施形態におい
ては、温風供給器４０から出力された温風は、ＸＹステ
ージ２の下側に設置された保温ケース４６の通気路４６
ｂ及びＸＹステージ２に設けられた通気路２ｂを通過し
て、ＸＹステージ２の上側に設置された保温ケース４８
の内部に導入される。保温ケース４８は内部に液晶パネ
ル１が配置されるように設置されており、これによって
液晶パネル１が表面から加熱される。保温ケース４８の
上部中央には、例えばガラス製などの光を透過する透過
板４８ａが設置されており、液晶パネル１の光像の出射
及びレーザ光の入射はこの透過板４８ａを介して行われ
る。Heat insulating cases 46 and 48 are provided around the liquid crystal panel 1 and the XY stage 2 in order to efficiently heat the liquid crystal panel 1. In the present embodiment, the warm air output from the warm air supply device 40 is supplied to the ventilation passage 46 of the heat retaining case 46 installed below the XY stage 2.
b, and a heat insulating case 48 installed on the upper side of the XY stage 2 through the ventilation path 2b provided in the XY stage 2.
Introduced inside. The heat retaining case 48 is installed so that the liquid crystal panel 1 is disposed inside, and thereby the liquid crystal panel 1 is heated from the surface. At the center of the upper part of the heat retaining case 48, a transmission plate 48a that transmits light, for example, made of glass or the like is installed. Emission of a light image of the liquid crystal panel 1 and incidence of laser light are performed through the transmission plate 48a. .
【００３３】保温ケース４８内には、温度センサ５０が
設置されている。温度センサ５０によって測定された温
度データは、温度制御部４４に入力されている。温度制
御部４４は、この温度データに基づいて、加熱制御部４
２を介して温風供給器４０が生成する温風の温度を制御
する。例えば温風の生成が電熱ヒータによって行われて
いる場合、加熱制御部４２はヒータ電源を含んで構成し
ても良い。A temperature sensor 50 is provided in the heat retaining case 48. The temperature data measured by the temperature sensor 50 is input to the temperature control unit 44. The temperature controller 44 controls the heating controller 4 based on the temperature data.
2 controls the temperature of the hot air generated by the hot air supplier 40. For example, when the generation of warm air is performed by an electric heater, the heating control unit 42 may include a heater power supply.
【００３４】保温ケース４８に供給された温風は、さら
に通気路２ｃ及び４６ｃを通過して保温ケース４６の内
部に供給される。これによって液晶パネル１が裏面から
加熱される。保温ケース４６の下部中央には、例えばガ
ラス製などの光を透過する透過板４６ａが設置されてお
り、液晶パネル１への透過照明の照射はこの透過板４６
ａを介して行われる。なお、保温ケース４６の所定の位
置には、温風を排気するための排気口（図示していな
い）が設けられている。また、保温ケース４６、４８及
び温風供給器４０は、ＸＹステージ２に対して固定され
ており、したがってＸＹステージ２と連動して移動す
る。The warm air supplied to the heat retaining case 48 is further supplied to the inside of the heat retaining case 46 through the ventilation paths 2c and 46c. Thus, the liquid crystal panel 1 is heated from the back. In the center of the lower part of the heat retaining case 46, a transmission plate 46a that transmits light, for example, made of glass, is installed, and irradiation of the liquid crystal panel 1 with the transmission illumination is performed by the transmission plate 46a.
a. At a predetermined position of the heat retaining case 46, an exhaust port (not shown) for exhausting warm air is provided. Further, the heat retaining cases 46 and 48 and the hot air supply device 40 are fixed to the XY stage 2 and therefore move in conjunction with the XY stage 2.
【００３５】温風供給による液晶パネルの加熱方法を用
いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図２
に示すフローチャートとともに図１に示した装置につい
て説明する。なお、本発明による画素欠陥修正方法が有
する検査、修正及び再検査の３つの工程について、本フ
ローチャートにおいてはステップ１０２〜１０６が検査
工程、ステップ１０８〜１１４が修正工程、ステップ１
１６が再検査工程に相当する。FIG. 2 shows a pixel defect repairing method by a pixel defect repairing apparatus using a method of heating a liquid crystal panel by supplying hot air.
The apparatus shown in FIG. 1 will be described together with the flowchart shown in FIG. In addition, regarding the three steps of inspection, correction, and re-inspection of the pixel defect correction method according to the present invention, in this flowchart, steps 102 to 106 are an inspection step, steps 108 to 114 are a correction step, and step 1 is
Reference numeral 16 corresponds to a reinspection step.
【００３６】まず、ステップ１００において、操作者が
被修正対象である液晶パネル１をＸＹステージ２上に装
着する。続いて、ステップ１０２において、温風供給器
４０をＯＮにして温風の供給を開始し、温度センサ５０
からの温度データによって、液晶パネル１が所定の温度
となるように温度調節を行う。なお、温風供給器４０の
温風生成部４０ａ内部に設置された電熱ヒータなどの気
体加熱の手段については、ステップ１０２での温風供給
開始の以前に、あらかじめ所定の温度に昇温しておいて
も良い。First, in step 100, the operator mounts the liquid crystal panel 1 to be corrected on the XY stage 2. Subsequently, in step 102, the hot air supply device 40 is turned on to start supplying hot air, and the temperature sensor 50 is turned on.
The temperature is adjusted so that the temperature of the liquid crystal panel 1 becomes a predetermined temperature based on the temperature data received from the CPU. As for the means of gas heating such as an electric heater installed inside the hot air generator 40a of the hot air supplier 40, the temperature is raised to a predetermined temperature in advance before the start of the hot air supply in step 102. You can leave it.
【００３７】次に、ステップ１０４において、液晶パネ
ル駆動回路１ａによって液晶パネル１の動作をＯＮにし
て、液晶パネル１を均一輝度の表示状態に設定するとと
もに、透過照明装置１０を点灯させることにより、液晶
パネル１の裏面を照明させる。これにより、ＣＣＤビデ
オカメラ２０が、液晶パネル１を通過した光像を結像レ
ンズ１２、ダイクロイックミラー１４、偏光フィルタ１
６及びカメラレンズ１８を介して撮影を開始する。Next, in step 104, the operation of the liquid crystal panel 1 is turned on by the liquid crystal panel drive circuit 1a, the liquid crystal panel 1 is set to a display state of uniform luminance, and the transmission illumination device 10 is turned on. The back surface of the liquid crystal panel 1 is illuminated. Accordingly, the CCD video camera 20 converts the light image passing through the liquid crystal panel 1 into the imaging lens 12, the dichroic mirror 14, the polarization filter 1
The photographing is started via the camera lens 6 and the camera lens 18.
【００３８】次に、ステップ１０６において、液晶パネ
ル１の欠陥画素の位置検索を行う。例えば、操作者が表
示部３４に表示される液晶パネル１の再生映像を見なが
ら、ＸＹステージ２の位置を適宜に移動させることによ
り、液晶パネル１中の欠陥画素を検索し、検出した欠陥
画素の位置を位置登録部４ａに登録する。この欠陥画素
の位置の検索・登録は、液晶パネル１の全領域について
連続して行われ、これによって、液晶パネル１に存在す
るすべての欠陥画素の位置が、位置登録部４ａに登録さ
れる。Next, in step 106, the position of the defective pixel of the liquid crystal panel 1 is searched. For example, the operator searches the defective pixel in the liquid crystal panel 1 by appropriately moving the position of the XY stage 2 while watching the reproduced image of the liquid crystal panel 1 displayed on the display unit 34, and detects the detected defective pixel. Is registered in the position registration unit 4a. The search / registration of the position of the defective pixel is continuously performed for the entire region of the liquid crystal panel 1, whereby the positions of all the defective pixels existing in the liquid crystal panel 1 are registered in the position registration unit 4a.
【００３９】続くステップ１０８〜１１６については、
ステップ１０６において検出・登録された１個または複
数個の欠陥画素に関してそれぞれ行われる。まず、ステ
ップ１０８において、登録された欠陥画素の所定の１個
について、登録された位置とその周辺をさらに拡大して
表示部３４に表示して検索・確認し、欠陥画素の正確な
位置決めを行う。さらに、その欠陥画素を結像レンズ１
２の光軸に合致させるようにＸＹステージ２の位置合わ
せ操作を行う。液晶パネルの位置合わせが終了したら、
ステップ１１０において、液晶パネル１の動作をＯＦＦ
にする。For the following steps 108 to 116,
This is performed for one or a plurality of defective pixels detected and registered in step 106. First, in step 108, for a predetermined one of the registered defective pixels, the registered position and the periphery thereof are further enlarged and displayed on the display unit 34 for search / confirmation, and accurate positioning of the defective pixel is performed. . Further, the defective pixel is connected to the imaging lens 1.
The XY stage 2 is positioned so as to match the optical axis 2 of the XY stage. When the alignment of the LCD panel is completed,
In step 110, the operation of the liquid crystal panel 1 is turned off.
To
【００４０】次に、ステップ１１２において、ステップ
１０８で位置合わせされた欠陥画素に対してレーザ光の
照射を行って、その欠陥画素の修正を行う。なお、具体
的なレーザ光による欠陥画素の修正方法については、例
えば特開平９−９０３０４号に示されている方法を用
い、ここでは詳細な説明を省略する。欠陥画素の修正を
終了したら、ステップ１１４において、再び液晶パネル
１の動作をＯＮにする。Next, in step 112, the defective pixel aligned in step 108 is irradiated with laser light to correct the defective pixel. Note that a specific method of correcting a defective pixel using a laser beam uses, for example, a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-90304, and a detailed description thereof is omitted here. When the correction of the defective pixel is completed, in step 114, the operation of the liquid crystal panel 1 is turned on again.
【００４１】なお、透過照明装置１０については、欠陥
画素の修正を行うステップ１１２においてはＯＦＦとし
ても良い。その場合、ステップ１１０において、液晶パ
ネル１をＯＦＦにするとともに透過照明装置１０をもＯ
ＦＦとし、ステップ１１２において修正が終了した後、
ステップ１１４において、液晶パネル１をＯＮにすると
ともに透過照明装置１０をもＯＮとする。また、温風供
給による液晶パネル１の加熱についても、同様にステッ
プ１１２においてはＯＦＦとして加熱を停止しても良
い。その場合同様に、ステップ１１０において、温風供
給器４０をＯＦＦにして温風の供給を停止し、ステップ
１１４において、温風供給器４０をＯＮにして温風の供
給を開始する。The transmission illumination device 10 may be turned off in the step 112 of correcting a defective pixel. In that case, in step 110, the liquid crystal panel 1 is turned off, and the transmission illumination device 10 is also turned off.
After the correction is completed in step 112,
In step 114, the liquid crystal panel 1 is turned on and the transmission lighting device 10 is also turned on. Also, the heating of the liquid crystal panel 1 by the supply of the warm air may be turned off in step 112 to stop the heating. In that case, similarly, in step 110, the hot air supply device 40 is turned off to stop the supply of the hot air, and in step 114, the hot air supply device 40 is turned on to start the supply of the hot air.
【００４２】次にステップ１１６において、表示部３４
に表示される液晶パネル１の再生画像によって、欠陥画
素の再検査を行い、所定の欠陥画素がレーザ光の照射に
よる修正工程によって修正されていることを確認する。Next, at step 116, the display unit 34
The defective pixel is re-examined based on the reproduced image of the liquid crystal panel 1 displayed on the LCD panel, and it is confirmed that a predetermined defective pixel has been corrected by the correction process using laser light irradiation.
【００４３】修正されていることが確認されたら、ステ
ップ１１８において、さらに登録された未修整の欠陥画
素があるかどうかを調べ、修正されていない欠陥画素が
ある場合には、ステップ１０８にもどって、次の欠陥画
素についての工程を開始する。ステップ１０６において
登録されたすべての欠陥画素について修正を終了した場
合には、ステップ１２０において、温風供給をＯＦＦに
して、液晶パネル１の画素欠陥修正の全工程を終了す
る。When it is confirmed that the pixel has been corrected, it is checked in step 118 whether or not there is a registered uncorrected defective pixel. If there is a defective pixel which has not been corrected, the process returns to step 108. Then, the process for the next defective pixel is started. When the correction has been completed for all the defective pixels registered in step 106, the supply of warm air is turned off in step 120, and the entire process of correcting pixel defects of the liquid crystal panel 1 ends.
【００４４】図３は、本発明に係る画素欠陥修正装置の
他の実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形
態における特徴として、透過照明装置１０に代わって、
液晶パネル１を加熱するための赤外線照明装置１０ａが
設置されている。すなわち、赤外線照明装置１０ａは、
液晶パネル１の光像を得るための照明手段と、加熱手段
としての赤外線照射手段との両方の機能を有して設置さ
れている。このような赤外線照明装置１０ａとしては、
例えば金蒸着反射板付ハロゲンランプが用いられる。こ
の場合、ハロゲンランプは通常の透過照明としても機能
するが、さらに金蒸着反射板を有することによって、そ
の出射光に通常のハロゲンランプよりも多くの赤外線成
分を有しており、これによって、透過照明と赤外線照明
とを同時に行うことができる。赤外線照明装置１０ａ
は、透過照明装置１０とは別にさらに設置する構成とし
ても良い。なお、本実施形態においても必要があれば、
図１に示した実施形態のものと同様に、光拡散板を設置
した構成としても良い。FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of another embodiment of the pixel defect correcting apparatus according to the present invention. As a feature of the present embodiment, instead of the transmission illumination device 10,
An infrared lighting device 10a for heating the liquid crystal panel 1 is provided. That is, the infrared lighting device 10a
It is provided with both functions of an illumination unit for obtaining a light image of the liquid crystal panel 1 and an infrared irradiation unit as a heating unit. As such an infrared lighting device 10a,
For example, a halogen lamp with a gold vapor deposition reflecting plate is used. In this case, the halogen lamp also functions as a normal transmission illumination, but further includes a gold vapor-deposited reflection plate, so that the emitted light has more infrared components than the normal halogen lamp. Illumination and infrared illumination can be performed simultaneously. Infrared lighting device 10a
May be further installed separately from the transmission lighting device 10. In this embodiment, if necessary,
Similar to the embodiment shown in FIG. 1, a configuration in which a light diffusion plate is provided may be adopted.
【００４５】また、液晶パネル１の温度データについて
は、液晶パネル１からの透過光の一部をハーフミラー５
２を介して放射温度計５４に入射させて温度を測定し、
その温度データは、制御部４に入力されている。制御部
４は、この温度データに基づいて、赤外線照明装置１０
ａを制御する。この場合、赤外線光量によって温度制御
が行われるので、高速応答で高精度な温度制御を行うこ
とが可能である。As for the temperature data of the liquid crystal panel 1, a part of the transmitted light from the liquid crystal panel
2 to the radiation thermometer 54 to measure the temperature,
The temperature data is input to the control unit 4. The control unit 4 controls the infrared lighting device 10 based on the temperature data.
control a. In this case, since the temperature control is performed based on the amount of infrared light, it is possible to perform high-speed response and high-accuracy temperature control.
【００４６】赤外線照射による液晶パネルの加熱方法を
用いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図
４にフローチャートとして示す。本修正方法は、温風供
給と赤外線照射との相違を除いて、図２に示した温風供
給による加熱方法を用いた修正方法と同様のものであ
り、本発明による画素欠陥修正方法が有する検査、修正
及び再検査の３つの工程について、本フローチャートに
おいてはステップ２０２〜２０６が検査工程、ステップ
２０８〜２１４が修正工程、ステップ２１６が再検査工
程に相当する。FIG. 4 is a flowchart showing a pixel defect repairing method by a pixel defect repairing apparatus using a method of heating a liquid crystal panel by infrared irradiation. This repair method is the same as the repair method using the heating method by hot air supply shown in FIG. 2 except for the difference between hot air supply and infrared irradiation, and the pixel defect repair method according to the present invention has In this flowchart, steps 202 to 206 correspond to an inspection step, steps 208 to 214 correspond to a correction step, and step 216 corresponds to a re-inspection step.
【００４７】ただし、図３に示した実施形態のように、
赤外線照明装置１０ａが透過照明をも兼ねる場合には、
ステップ２０２における赤外線照射の開始によって透過
照明も開始されているので、ステップ２０４において透
過照明をＯＮにする必要はない。また、欠陥画素の修正
を行うステップ２１２においては、赤外線照明装置１０
ａはＯＦＦとしても良い。その場合、ステップ２１０に
おいて、液晶パネル１をＯＦＦにするとともに赤外線照
明装置１０ａをもＯＦＦとし、ステップ２１２において
修正が終了した後、ステップ２１４において、液晶パネ
ル１をＯＮにするとともに赤外線照明装置１０ａをもＯ
Ｎとする。However, as in the embodiment shown in FIG.
When the infrared illuminating device 10a also serves as transmitted illumination,
Since the transmitted illumination has also been started by the start of the infrared irradiation in step 202, it is not necessary to turn on the transmitted illumination in step 204. In step 212 for correcting the defective pixel, the infrared illuminating device 10
a may be set to OFF. In this case, in step 210, the liquid crystal panel 1 is turned off and the infrared illuminating device 10a is also turned off. After the correction is completed in step 212, in step 214, the liquid crystal panel 1 is turned on and the infrared illuminating device 10a is turned off. Also O
N.
【００４８】[0048]
【発明の効果】本発明による液晶パネルの画素欠陥修正
方法及び画素欠陥修正装置は、以上詳細に説明したよう
に、次のような効果を得る。すなわち、液晶パネルの検
査及び再検査時に液晶パネルを加熱手段によって加熱す
ることによって、より効率的に欠陥画素の検出を行うこ
とが可能となる。As described above in detail, the pixel defect repair method and the pixel defect repair apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention have the following effects. That is, by heating the liquid crystal panel by the heating means at the time of inspection and re-inspection of the liquid crystal panel, it becomes possible to detect defective pixels more efficiently.
【００４９】特に、液晶パネルの光像を撮影するＣＣＤ
ビデオカメラ等からなる欠陥画素検査手段と、欠陥画素
を修正するためのレーザ光照射手段とを備え、かつ検査
及び再検査時に液晶パネルを加熱することができる加熱
手段を有して画素欠陥修正装置を構成することによっ
て、検査、修正及び再検査の３つの工程からなる修正方
法の全行程を、液晶パネルの移動・再設置等することな
く、単一の装置によって効率良くかつ確実に行うことが
できる。In particular, a CCD for taking a light image of a liquid crystal panel
A pixel defect repairing apparatus including a defective pixel inspection unit including a video camera and the like, and a laser beam irradiation unit for correcting a defective pixel, and including a heating unit capable of heating a liquid crystal panel during inspection and reinspection. With this configuration, the entire process of the correction method including the three steps of inspection, correction, and re-inspection can be efficiently and reliably performed by a single device without moving or re-installing the liquid crystal panel. it can.
【図１】本発明に係る画素欠陥修正装置の一実施形態の
構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a pixel defect repairing apparatus according to the present invention.
【図２】図１に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修
正方法を説明するフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating a pixel defect correction method by the pixel defect correction device shown in FIG.
【図３】本発明に係る画素欠陥修正装置の他の実施形態
の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of another embodiment of a pixel defect repairing apparatus according to the present invention.
【図４】図３に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修
正方法を説明するフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart illustrating a pixel defect correction method by the pixel defect correction device shown in FIG. 3;
１…液晶パネル、１ａ…液晶パネル駆動回路、２…ＸＹ
ステージ、２ａ…開口部、２ｂ、２ｃ…通気路、４…制
御部、４ａ…位置登録部、６…駆動機構、８…偏光フィ
ルタ、９…光拡散板、１０…透過照明装置、１０ａ…赤
外線照明装置、１２…結像レンズ、１４…ダイクロイッ
クミラー、１６…偏光フィルタ、１８…カメラレンズ、
２０…ＣＣＤビデオカメラ、２２…レーザ発振器、２４
…遮光マスク、２６…減光フィルタ、２８、３０…駆動
モータ、３２…画像処理部、３４…表示部、４０…温風
供給器、４０ａ…温風生成部、４０ｂ…気体入力部、４
０ｃ…温風出力部、４２…加熱制御部、４４…温度制御
部、４６、４８…保温ケース、４６ａ、４８ａ…透過
板、４６ｂ、４６ｃ…通気路、５０…温度センサ、５２
…ハーフミラー、５４…放射温度計。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal panel, 1a ... Liquid crystal panel drive circuit, 2 ... XY
Stage, 2a opening, 2b, 2c air passage, 4 control unit, 4a position registration unit, 6 driving mechanism, 8 polarization filter, 9 light diffusion plate, 10 transmission illumination device, 10a infrared light Illumination device, 12: imaging lens, 14: dichroic mirror, 16: polarizing filter, 18: camera lens,
20 ... CCD video camera, 22 ... Laser oscillator, 24
... light shielding mask, 26 ... neutral density filter, 28, 30 ... drive motor, 32 ... image processing unit, 34 ... display unit, 40 ... hot air supply unit, 40a ... hot air generation unit, 40b ... gas input unit, 4
0c: hot air output unit, 42: heating control unit, 44: temperature control unit, 46, 48: heat insulation case, 46a, 48a: transmission plate, 46b, 46c: ventilation path, 50: temperature sensor, 52
... half mirror, 54 ... radiation thermometer.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米澤 道治 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内 Ｆターム(参考） 2G086 EE01 EE09 EE10 EE11 2H088 FA14 FA30 HA06 HA13 HA14 HA18 HA21 HA24 MA20 2H092 MA46 NA30 PA06 PA08 PA09 PA11 5G435 AA17 BB12 KK05 KK10 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Michiharu Yonezawa, 1126 Nomachi, Hamamatsu-shi, Shizuoka Prefecture F-term in Hamamatsu Photonics Co., Ltd. MA20 2H092 MA46 NA30 PA06 PA08 PA09 PA11 5G435 AA17 BB12 KK05 KK10
Claims (11)
を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パ
ネルの画素欠陥修正方法において、 前記液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ
加熱された状態で、前記欠陥画素の検出を行う検査工程
と、 検出された前記欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置と
が対応するように、前記液晶パネルの位置合わせを行っ
た後、レーザ光を照射して前記液晶パネルの前記欠陥画
素の修正を行う修正工程と、 修正が行われた前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手
段に保持され、かつ加熱された状態で、修正が行われた
前記欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、 前記検査工程、前記修正工程及び前記再検査工程の全工
程は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持
された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画
素欠陥修正方法。1. A method of repairing a defective pixel of a liquid crystal panel by irradiating a laser beam to a defective pixel portion of the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel is held by liquid crystal panel installation means and heated. An inspection step of detecting the defective pixel in the state thus performed, and after performing the alignment of the liquid crystal panel so that the detected position of the defective pixel corresponds to the irradiation position of the laser light, the laser light A correction step of irradiating the defective pixel of the liquid crystal panel by irradiating the liquid crystal panel, the liquid crystal panel having been corrected is held by the liquid crystal panel installation means, and the correction is performed in a heated state. And a re-inspection step of re-inspection of the defective pixel. In all of the inspection step, the repairing step, and the re-inspection step, the liquid crystal panel is held by the liquid crystal panel installation means. Pixel defect correction method of the liquid crystal panel, characterized in that it is performed in the state.
欠陥画素の位置の登録をさらに行うことを特徴とする請
求項１記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。2. The method according to claim 1, further comprising registering the position of the detected defective pixel in the inspection step.
れ登録して、前記液晶パネル全体について継続して検査
を行って、前記液晶パネルのすべての前記欠陥画素の位
置を検出・登録するように前記検査工程を行い、 次に、前記検査工程において検出された１個または複数
個の前記欠陥画素のそれぞれについて、登録されたそれ
ぞれの位置に基づいて前記修正工程と前記再検査工程と
を行うことを特徴とする請求項２記載の液晶パネルの画
素欠陥修正方法。3. Registering the positions of the detected defective pixels, and continuously inspecting the entire liquid crystal panel to detect and register the positions of all the defective pixels on the liquid crystal panel. Performing the inspection step, and then, for each of the one or more defective pixels detected in the inspection step, performing the correction step and the re-inspection step based on the registered positions. 3. The method according to claim 2, wherein the pixel defect is corrected.
前記修正工程の前記液晶パネルの位置合わせと、前記再
検査工程の修正された前記欠陥画素の再検査とは、前記
液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶
パネルの像を表示する表示手段とを用いて行うことを特
徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の液晶パネル
の画素欠陥修正方法。4. The detection of the defective pixel in the inspection step,
The alignment of the liquid crystal panel in the repairing step and the re-inspection of the corrected defective pixel in the re-inspection step include displaying an image of the liquid crystal panel and an image of the liquid crystal panel. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the method is performed using display means.
わせは、前記検査工程において検出された前記欠陥画素
の位置の近傍を拡大して前記表示手段に表示して行うこ
とを特徴とする請求項４記載の液晶パネルの画素欠陥修
正方法。5. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the positioning of the liquid crystal panel in the repairing step is performed by enlarging the vicinity of the position of the defective pixel detected in the inspection step and displaying the enlarged area on the display unit. 5. The method for correcting a pixel defect of a liquid crystal panel according to 4.
を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パ
ネルの画素欠陥修正装置において、 前記液晶パネルを固定し、所定の位置に位置決めさせる
液晶パネル設置手段と、 前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査時及び修正が行わ
れた前記欠陥画素の再検査時等に、前記液晶パネルを照
明する照明手段と、 照明された前記液晶パネルを撮像して検査を行って前記
欠陥画素を検出する欠陥画素検査手段と、 前記液晶パネルの前記欠陥画素にレーザ光を照射して前
記欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手段と、 前記液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有することを
特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正装置。6. A pixel defect correcting apparatus for a liquid crystal panel, which corrects the defective pixel by irradiating a defective pixel portion of the liquid crystal panel with a laser beam, wherein the liquid crystal is fixed and positioned at a predetermined position. Panel installation means, illuminating means for illuminating the liquid crystal panel at the time of inspection of the defective pixel of the liquid crystal panel, and at the time of re-inspection of the defective pixel which has been corrected, and imaging the illuminated liquid crystal panel. Defective pixel inspection means for performing an inspection to detect the defective pixel, irradiating the defective pixel of the liquid crystal panel with laser light to correct the defective pixel, and heating the liquid crystal panel A pixel defect correcting apparatus for a liquid crystal panel, comprising: a heating unit.
る位置登録手段をさらに有することを特徴とする請求項
６記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。7. The pixel defect correcting device for a liquid crystal panel according to claim 6, further comprising a position registering unit for registering a position of the detected defective pixel.
ルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶パネルの
像を表示する表示手段とを有することを特徴とする請求
項６または７記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。8. The liquid crystal panel according to claim 6, wherein said defective pixel inspection means has an image pickup means for picking up an image of said liquid crystal panel, and a display means for displaying the picked up image of said liquid crystal panel. A pixel defect repair device for liquid crystal panels.
して前記液晶パネル及びその周辺に供給することによっ
て、前記液晶パネルを加熱する温風供給手段であること
を特徴とする請求項６〜８のいずれか一項記載の液晶パ
ネルの画素欠陥修正装置。9. The heating means is a hot air supply means for heating the liquid crystal panel by heating the gas and supplying it as hot air to the liquid crystal panel and its surroundings. The pixel defect correcting device for a liquid crystal panel according to any one of claims 1 to 8.
ネルに照射することによって前記液晶パネルを加熱する
赤外線照射手段であることを特徴とする請求項６〜８の
いずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。10. The liquid crystal panel according to claim 6, wherein said heating means is an infrared irradiation means for heating said liquid crystal panel by irradiating said liquid crystal panel with infrared light. Pixel defect correction device.
を兼ねることを特徴とする請求項１０記載の液晶パネル
の画素欠陥修正装置。11. The apparatus according to claim 10, wherein said infrared irradiating means also serves as said illuminating means.
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