JP2000046009A - クリーン搬送機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガイド部材とスライドテーブルとの間に気体
軸受を配置し、スライドテーブルをアクチュエータによ
り駆動するクリーン搬送機器において、気体軸受を高精
度で安価なものにすることを第１の課題とする。 【解決手段】 ガイド部材(10,11) に対してスライドテ
ーブル(12)が非接触で移動可能な状態に支持された案内
移動部(1) と、シリンダチューブ(40)内にメタルピスト
ン(41)が非接触で移動可能な状態に配設された駆動部
(2) とからクリーン搬送機器が構成される。案内移動部
(1) に断面の外周が円形の複数のガイド部材(10,11) が
配置され、スライドテーブル(12)の内面に円筒状の複数
の気体軸受(30,31) が配設されている。気体軸受(30,3
1) の内部にガイド部材(10,11) が挿通され、気体軸受
(30,31) に供給される気体によりスライドテーブル(12)
がガイド部材(10,11) から浮上し、メタルピストン(41)
とスライドテーブル(12)とが連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
において、ガイド部材と非接触な状態で移動するスライ
ドテーブルを、発塵の少ないエアシリンダにより駆動す
るクリーン搬送機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造ライン、ハードディスク組立
ライン等のクリーンルームでは、半導体ウエハ上への微
小な塵埃の付着防止等のために、半導体ウエハ、ハード
ディスク基盤等の物体は、外界から遮断されたクリーン
ルーム内でガイド部材と非接触な状態で搬送する必要が
ある。そして、ガイド部材に対して案内移動部材を非接
触状態にする手段の一つとして、気体軸受を利用する第
１従来技術がある（例えば特開平５−２３８５４８号公
報を参照のこと）。なお、精密加工機械に組み込まれる
空気案内装置として、四角柱状のガイド部材の外側に四
角筒状の滑動体（移動部材）を嵌め、ガイド部材と滑動
体との間に空気を吹き出して気体軸受を構成し、滑動体
をガイド部材から浮上させ非接触で案内する第２従来技
術が知られている（特開平４−１４５２２０号公報参
照）。

【０００３】前記第１従来技術のエアスライド装置（ア
クチュエータ）では、上面の断面形状を山形とした中空
のガイド部材と、ガイド部材の上面に配置したスライダ
（移動部材）と、ガイド部材の内部で進退駆動される内
部移動体とで構成されている。スライダの下面はガイド
部材の上面に沿う溝形にされており、その溝形下面の両
側部分にエア吹出し口が形成されるとともに磁石が配設
され、内部移動体の上面に磁石が配設されて、両磁石間
に吸引力が発生するように配置されている。エア吹出し
口から噴出される圧縮空気の静圧により、スライダがガ
イド部材から浮上し非接触状態に維持され、浮上量は静
圧と両磁石間の吸引力とによって定まる。そして、内部
移動体を駆動装置により移動させると、内部移動体とス
ライダ間に作用する磁気吸引力により、スライダは内部
移動体に連動して移動する。

【０００４】前記第２従来技術の案内装置は、四角柱状
のガイド部材の外側に四角筒状の滑動体を用いており、
四角形の部品を高精度で安価に製造することは困難であ
り、実用性に乏しい。また、前記第１従来技術のエアス
ライド装置は、ガイド部材の上面が山形で、スライダの
下面が山形のガイド部材の上面に沿う形状であって、高
精度で安価に製造することは困難である。そして、精度
の向上が困難なため、スライダの浮上量を一定に制御す
ることが困難である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ガイド部材
とスライドテーブルとの間に気体軸受を配置し、スライ
ドテーブルをアクチュエータにより駆動するクリーン搬
送機器において、気体軸受を高精度で安価なものにする
ことを第１の課題とし、アクチュエータを高精度で発塵
の少ないエアアクチュエータにすることを第２の課題と
し、アクチュエータとスライドテーブルとの接続部の芯
ずれを緩和することを第３の課題とし、気体軸受に空気
圧を供給する手段を簡素化することを第４の課題とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、ガイド部材に
対してスライドテーブルが非接触で移動可能な状態に支
持された案内移動部と、シリンダチューブ内にメタルピ
ストンが非接触で移動可能な状態に配設された駆動部と
からなり、案内移動部に断面の外周が円形の複数のガイ
ド部材が配置され、スライドテーブルの内面に円筒状の
複数の気体軸受が配設され、気体軸受の内部にガイド部
材が挿通され、気体軸受に供給される気体によりスライ
ドテーブルがガイド部材から浮上し、メタルピストンと
スライドテーブルとが連結されたクリーン搬送機器を第
１構成とする。本発明は、第１構成において、メタルピ
ストンの前後の圧力差によってメタルピストンが駆動さ
れ、メタルピストンの外周面とシリンダチューブの内周
面との間にラビリンスシールが形成され、シリンダチュ
ーブの案内移動部側の端部に円筒状の気体軸受が配設さ
れ、気体軸受の内部にピストンロッドが挿通され、ピス
トンロッドによってメタルピストンとスライドテーブル
とが連結されたことを第２構成とする。本発明は、第１
及び第２構成において、スライドテーブルの挿入室にロ
ッドジョイントが挿入され、ロッドジョイントの前後両
面に環状溝が形成されるとともにロッドジョイントの軸
線まわりの外周面に環状溝が形成され、各環状溝に弾性
体シールが装着されて、ロッドジョイントが挿入室に弾
性体シールを介して弾性的に支持され、ロッドジョイン
トの後端部がピストンロッドの先端部に連結されたこと
を第３構成とする。本発明は、第３構成において、スラ
イドテーブルの挿入室が円柱状で軸線に垂直な断面を円
形となし、ロッドジョイントを本体、中径挿通部及び中
空ねじ部からなる段付の円柱状となし、ロッドジョイン
トの本体がスライドテーブルの挿入室に挿入され、ロッ
ドジョイントの中径挿通部が端部材の挿通孔に挿通さ
れ、ロッドジョイントの中空ねじ部がピストンロッドの
先端部に連結されたことを第４構成とする。本発明は、
第１〜第４構成において、ピストンロッドの内部に気体
通路が形成され、メタルピストン内に連通孔が形成され
てメタルピストンのヘッド側とピストンロッドの気体通
路とが連通され、ロッドジョイント内に連通孔が形成さ
れてロッドジョイントの先端面とピストンロッドの気体
通路とが連通され、ロッドジョイントの先端面がスライ
ドテーブル内の流路を介して気体軸受が嵌合された嵌合
孔に連通されたことを第５構成とする。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１〜４は、本発明のクリーン搬
送機器の実施の形態を示す。クリーン搬送機器におい
て、案内移動部１と駆動部２とが長手方向に連結され、
案内移動部１の中心軸と駆動部２の中心軸とが同一軸線
上に位置している。案内移動部１のガイドロッド10、11
（ガイド部材）上にスライドテーブル12が非接触状態で
移動( 往復動) できるように案内支持されている。駆動
部２のシリンダチューブ40内にメタルピストン41が非接
触状態で移動可能に嵌合され、メタルピストン41に連結
されたピストンロッド42の先端がロッドジョイント43を
介してスライドテーブル12に連結されている。

【０００８】図１、図３及び図４に示すように、２個の
ガイドプレート13、14の両端近傍に各２個のガイドロッ
ド連結部がそれぞれ形成され、ガイドロッド連結部には
内側から大径嵌合孔16、小径挿通孔17及び中径孔18がそ
れぞれ形成されている。断面の外周が円形（例えば中実
の丸棒、中空の丸棒）の２個のガイドロッド10、11の両
端部に軸線方向のボルト孔19がそれぞれ形成され、各ガ
イドロッド10、11の両端がガイドプレート13、14の大径
嵌合孔16のそれぞれに嵌合されている。六角穴付の４本
のボルト21がガイドプレート13、14の中径孔18・小径挿
通孔17に挿通され、ボルト21の六角穴に工具を挿入して
ボルト21をボルト孔19に螺合させ、ガイドロッド10、11
がガイドプレート13、14にそれぞれ固定されている。

【０００９】スライドテーブル12の本体は端部材22、中
間部材23及び端部材24から構成され、中間部材23の両側
に端部材22及び24がボルト60（図４参照）により連結さ
れている。中間部材23の端部近傍には２個の嵌合孔25、
26が形成され、嵌合孔25と嵌合孔26とは流路27により連
通されている。端部材22、24には嵌合孔25、26に隣接し
た位置に、２個の挿通孔28、29がそれぞれ形成されてお
り、挿通孔28、29と嵌合孔25、26とはそれぞれ同一軸線
上に位置している。焼結金属等の多孔質材料製で円筒状
の気体軸受30、31が中間部材23の嵌合孔25、26にそれぞ
れ嵌合され、嵌合孔25、26よりも小径の挿通孔28、29を
有する端部材22、24が気体軸受30、31の抜け止めとなっ
ている。気体軸受30、31の内面にガイドロッド10、11が
それぞれ相対移動可能状態に挿通され、気体軸受30、31
の内面から気体（例えば空気）を噴出したとき、気体軸
受30、31の内面とガイドロッド10、11の表面との間に所
定の微小間隔（クリアランス、例えば10数μmm）が維持
されるように構成されている。気体軸受30、31の外周面
の両端部近傍に環状溝が形成され、各環状溝にシール部
材が装着され、シール部材は流路27から流入した気体
が、嵌合孔25、26と気体軸受30、31の外周面との間を通
過することを防止する。

【００１０】図１、図２及び図４に示すように、ガイド
プレート13の後側（左側）に円筒形、四角筒形、その他
の形状のロッドカバー45、シリンダチューブ40及びエン
ドプレート46が順次に連設されている。図２(c) では円
筒形のものが示され、四では四角筒形のものが示されて
いる。シリンダチューブ40の後端部には各３個のボルト
孔63（図２(c) 参照）が１２０度間隔で長手方向に形成
され、エンドプレート46にはボルト孔63と同一軸線上に
挿通孔が形成されている。エンドプレート46の後側から
挿通孔に３本のボルトが挿通され、シリンダチューブ40
のボルト孔63にボルトが螺合され、ロッドカバー45とシ
リンダチューブ40とが連結されている。同様にして、シ
リンダチューブ40の先端部にボルト孔が、ロッドカバー
45及びガイドプレート13に挿通孔がそれぞれ形成され、
ガイドプレート13の前側から挿通孔に３本のボルトが挿
通され、シリンダチューブ40先端部のボルト孔にボルト
が螺合されシリンダチューブ40の先端部とロッドカバー
45及びガイドプレート13が連結されている。

【００１１】ロッドカバー45とシリンダチューブ40の外
形は同一であり、ロッドカバー45の小径突出部48がシリ
ンダチューブ40の先端部の内面に嵌合され、シリンダチ
ューブ40の先端がロッドカバー45の後端に当接してい
る。小径突出部48の外周には環状溝が形成され、この環
状溝に装着されたＯリングにより、小径突出部48の外周
面とシリンダチューブ40の先端部の内周面との間が密封
されている。ロッドカバー45の内面には、小径突出部48
の内面の挿通孔51と、小径突出部48より直径の大きい嵌
合孔49が形成されている。焼結金属等の多孔質材料製で
円筒状の気体軸受50がロッドカバー45の嵌合孔49に嵌合
され、嵌合孔49よりも小径の挿通孔51を有する小径突出
部48、及びガイドプレート13の外側面（後端面）が気体
軸受50の抜け止めとなっている。気体軸受50の外周には
気体軸受30、31と同様にシール部材が装着されている。

【００１２】気体軸受50の内面に中空のピストンロッド
42が相対移動可能状態に挿通され、気体軸受50の内面か
ら気体を噴出したとき、気体軸受50の内面とピストンロ
ッド42の表面との間に所定の微小間隔（例えば10数μm
m）が維持されるように構成されている。なお、ロッド
カバー45とガイドプレート13との軸心を一致させるため
に、ロッドカバー45の先端面に突出部を形成するととも
にガイドプレート13の後端面に溝を形成して、この突出
部と溝とを嵌合させるようにしてもよい。また、ロッド
カバー45を省略して、シリンダチューブ40の先端部内面
に気体軸受50を装着してもよい。

【００１３】シリンダチューブ40内にメタルピストン41
が相対移動可能状態に挿入され、メタルピストン41の外
表面には環状で所定高さの段差（直径の大きい部分と小
さい部分）が形成されている。こうしてメタルピストン
41の外表面とシリンダチューブ40の内面との間にラビリ
ンスシールが形成され、メタルピストン41の前後（図１
では左右）に圧力差が存在することによりラビリンスシ
ール部分を気体が流れるとき、メタルピストン41の表面
の大径部とシリンダチューブ40との間に所定の微小間隔
（例えば10数μmm）が維持される（図２(b) 参照）。メ
タルピストン41の内面部には、後側（図では左側）から
大径の挿入孔56、小径の挿通孔57及び大径の嵌合孔58が
形成されている。メタルピストン41の嵌合孔58に中空の
ピストンロッド42の基端（後端）が嵌合され、挿入孔56
・挿通孔57に中空ボルト53が挿入、挿通され、中空ボル
ト53がピストンロッド42基端の内面の雌ねじ部に螺合さ
れ、こうしてメタルピストン41にピストンロッド42が結
合されている。挿入孔56及び中空ボルト53の内部通路が
メタルピストン41のヘッド側とピストンロッド42の気体
通路61とを連通する気体通路となる。

【００１４】エンドプレート46にはフランジ状の大径部
とその前側に小径部があり、小径部がシリンダチューブ
40の後端部の内面に嵌合され、大径部の前面がシリンダ
チューブ40の後端面に当接している。エンドプレート46
の小径部の外周には環状溝が形成され、この環状溝に装
着されたシールリングにより、エンドプレート46の小径
部の外面とシリンダチューブ40の後端部の内面との間が
密封されている。エンドプレート46には内外を連通する
連通孔54が形成され、連通孔54の一端はエンドプレート
46の側面に形成されたヘッド側ポート４に連通され、連
通孔54の他端はエンドプレート46の前端中央部の開口部
に連通されている。シリンダチューブ40の前端部の側面
にロッド側ポート５が形成され、ロッド側ポート５はシ
リンダチューブ40の前端部内面に連通されている。ロッ
ドカバー45の側面にもポート６が形成され、ポート６は
ロッドカバー45の嵌合孔49に連通されている。

【００１５】ピストンロッド42は、ロッドカバー45の小
径突出部48の挿通孔51、気体軸受50の内面、ガイドプレ
ート13の挿通孔32に挿通され、ピストンロッド42の先端
はスライドテーブル12に連結されている。スライドテー
ブル12の中間部材23の後端部にロッドジョイント43の挿
入室34が形成され、挿入室34の形状は円柱状で軸心に垂
直な断面が円形で先端壁が平坦な円形をなしている。ロ
ッドジョイント43は本体37、中径挿通部36及び中空ねじ
部35からなる段付の円柱状で、ロッドジョイント43の本
体37は挿入室34と相似で挿入室34よりやや小さい。ロッ
ドジョイント43の本体37がスライドテーブル12の挿入室
34に挿入され、ロッドジョイント43の中径挿通部36が端
部材22の挿通孔33に挿通され、ロッドジョイント43の中
空ねじ部35がピストンロッド42の先端部のボルトねじに
螺合されている。端部材22の挿通孔33は挿入室34より小
径であり、端部材22の挿入室34に面する面により、ロッ
ドジョイント43の抜け出しが防止されている。

【００１６】ロッドジョイント43の本体37の軸線まわり
の外周面に環状溝68が形成されるとともに、本体37の前
後の面に環状溝69、70が形成され、環状溝68〜70に弾性
体シール71〜73がそれぞれ装着されている。弾性体シー
ル71がロッドジョイント43の環状溝68とスライドテーブ
ル12の挿入室34の内周面との間に位置し、弾性体シール
72が環状溝69と挿入室34の前端面との間に位置し、弾性
体シール73が環状溝70と端部材22の前面との間に位置し
ている。このように、ロッドジョイント43は弾性体シー
ル71〜73を介してスライドテーブル12の挿入室34に支持
されている。従って、ピストンロッド42の芯ずれや芯ぶ
れが生じても、弾性体シール71〜73が変形することによ
り吸収され、気体軸受30、31及び50とガイドロッド10、
11及びピストンロッド42との正常なクリアランスが維持
される。弾性体シール71〜73は気体軸受50と30、31の芯
ずれを緩和する機能を有し、またロッドジョイント43は
気体を流す機能をも有する。

【００１７】ロッドジョイント43の本体37、中径挿通部
36及び中空ねじ部35には軸線方向に貫通する気体通路62
が形成され、気体通路62の後端はピストンロッド42の気
体通路61と連通され、気体通路62の前端は挿入室34に開
口されている。挿入室34の前端面には流路27の分岐流路
27Ａが開口され、気体通路62は流路27Ａ，27を介してス
ライドテーブル12の嵌合孔25、26に連通されている。図
１に示すように、空気圧源75は配管76〜78を介してヘッ
ド側ポート４、ロッド側ポート５及びロッドカバー45の
ポート６にそれぞれ連通され、配管76、77にはそれぞれ
圧力制御弁80、81が挿入されている。なお、圧力制御弁
80、81は、電気信号に従って圧力を制御し、設定圧と二
次側（シリンダチューブ側）の圧力との関係により、二
次側の気体が圧力制御弁80、81を通って大気に放出でき
るタイプのものである。なお、スライドテーブル12の上
面には連結用のボルト孔67が形成され（図４参照）、ま
たスライドテーブル12のみでなく、クリーン搬送機器の
表面を平滑化し導電性の良好な表面処理を施してパーテ
ィクルの堆積を防止することができる。

【００１８】次に本発明の実施の形態の作用について説
明する。空気圧源75からの圧縮空気は、配管78、ポート
６を通って嵌合孔49に流入し、気体軸受50の多孔質材の
中を通過し、気体軸受50の内面から噴出する。圧縮空気
は気体軸受50の内面とピストンロッド42の外周面との間
の微小間隔に充満し、ピストンロッド42が気体軸受50よ
り浮上して支持される。気体軸受50から漏洩した少量の
空気は、先端ではガイドプレート13の挿通孔32とピスト
ンロッド42との間隙を通って大気に放出され、後端では
ロッドカバー45の挿通孔51とピストンロッド42との間隙
を通ってシリンダチューブ40のロッド側シリンダ室84に
流入する。

【００１９】圧縮空気は圧力制御弁80、81によりそれぞ
れ制御され、配管76、77及びヘッド側ポート４、ロッド
側ポート５を通って、ヘッド側シリンダ室83及びロッド
側シリンダ室84にそれぞれ流入する。ここで、メタルピ
ストン41の後端側（ヘッド側）の受圧面積をＡ〔（メタ
ルピストン41の断面積）−（中空ボルト53の内部通路の
断面積）〕とし、メタルピストン41の先端側（ロッド
側）の受圧面積をＢ〔（メタルピストン41の断面積）−
（ピストンロッド42の外形の断面積）〕とし、ヘッド側
シリンダ室83の空気圧をＰa とし、ロッド側シリンダ室
84の空気圧をＰbとする。メタルピストン41にはＰa ・
Ａの力（Kg）が前向きに作用し、Ｐb ・Ｂの力が後向き
に作用する。受圧面積Ａ，Ｂの大きさは一定であるの
で、圧力制御弁80、81によって空気圧Ｐa ，Ｐb を制御
することにより、Ｐa ・ＡとＰb ・Ｂの大きさが変化
し、この力の差に従って移動する。

【００２０】シリンダチューブ40のヘッド側シリンダ室
83に流入した圧縮空気は、メタルピストン41の気体通路
（挿入孔56、中空ボルト53の内部通路）、ピストンロッ
ド42の気体通路61、ロッドジョイント43の気体通路62、
挿入室34、中間部材23の流路27Ａ，27を通って嵌合孔2
5、26に流入する。圧縮空気は、気体軸受30、31の多孔
質材の中を通過し、気体軸受30、31の内面から噴出す
る。圧縮空気は気体軸受30、31の内面とガイドロッド1
0、11の外周面との間の微小間隔に充満し、ガイドロッ
ド10、11が気体軸受30、31より浮上して支持される。気
体軸受30、31の前端及び後端から漏洩した少量の空気
は、ともに端部材22、24の挿通孔28、29とガイドロッド
10、11との間隙を通って大気に放出される。

【００２１】メタルピストン41がシリンダチューブ40の
内面に非接触状態で支持され、ピストンロッド42が気体
軸受50に非接触状態で支持され、さらにスライドテーブ
ル12がガイドロッド10、11に非接触状態で支持されてい
る。そのため、案内移動部１及び駆動部２の移動部分の
フリクションが微小であり、メタルピストン41の駆動力
〔例えばＰa ・Ａ−Ｐb ・Ｂ〕が小さくても、また相当
の低速でも、ピストンロッド42によってスライドテーブ
ル12に伝えられ、スライドテーブル12を移動させること
ができる。そして、メタルピストン41は非接触状態で支
持され、グリース（潤滑油）の供給を必要としないの
で、グリースの飛散がなく、固体接触による摩耗粉の発
生（発塵）が少ない。

【００２２】

【発明の効果】請求項１及び２のものは、スライドテー
ブルを複数個の円筒状の気体軸受を用いて非接触状態に
支持し、シリンダチューブ内にメタルピストンを非接触
で配設し、メタルピストンとスライドテーブルとが連結
されている。従って、気体軸受を高精度で安価なものに
することができ、駆動部を高精度で発塵の少ないエアア
クチュエータとすることができる。また、駆動部及び案
内移動部の相対移動部分が非接触状態であるので、グリ
ース（潤滑油）の供給を必要とせず、グリースの飛散が
なく、固体接触による摩耗粉の発生（発塵）が少ない。
駆動部及び案内移動部の相対移動部分が摩擦が低いの
で、小さな力で、また極めて低速で移動させることがで
きる。請求項３及び４のものは、ロッドジョイントがス
ライドテーブルの挿入室に弾性体シールを介して弾性的
に支持され、ロッドジョイントの後端部がピストンロッ
ドの先端部に連結されている。従って、弾性体シールに
よって駆動部（アクチュエータ）とスライドテーブルと
の接続部の芯ずれを緩和することができ、気体軸受の芯
ずれをも緩和して芯ずれによる弊害を除くことができ
る。請求項５のものは、メタルピストンのヘッド側とス
ライドテーブルの気体軸受が嵌合された嵌合孔とが気体
通路等によって連通され、ヘッド側シリンダ室内の気体
がスライドテーブルの気体軸受が嵌合された嵌合孔に流
れる。従って、スライドテーブルの気体軸受に気体を供
給するための可撓性パイプを使用する必要がなく、スラ
イドテーブルの気体軸受に空気圧を供給する手段が簡素
化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーン搬送機器の実施の形態の全体
を一部断面平面図で示す説明図である。

【図２】図２(a) は図１の駆動部の拡大図であり、図２
(b) は図２(a) のＡ部の拡大図であり、図２(c) は図２
(a) のＣ−Ｃ断面図である。

【図３】図３(a) は図１の案内移動部の拡大図であり、
図３(b) は図３(a) の円部分の拡大図であり、図３(c)
は１個の部品としてのガイドプレート13の側面図（前方
からみたものに相当）である。

【図４】本発明のクリーン搬送機器の実施の形態の主要
部の外観を示す斜視図である。

【符号の説明】 １ 案内移動部 ２ 駆動部 10 ガイドロッド（ガイド部材） 11 ガイドロッド（ガイド部材） 12 スライドテーブル 30 気体軸受 31 気体軸受 34 挿入室 37 本体 40 シリンダチューブ 41 メタルピストン 42 ピストンロッド 43 ロッドジョイント 50 気体軸受 71 弾性体シール 72 弾性体シール 73 弾性体シール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯島 勝己 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H081 AA03 BB03 CC07 DD18 EE29 HH04

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイド部材に対してスライドテーブルが
   非接触で移動可能な状態に支持された案内移動部と、シ
   リンダチューブ内にメタルピストンが非接触で移動可能
   な状態に配設された駆動部とからなり、案内移動部に断
   面の外周が円形の複数のガイド部材が配置され、スライ
   ドテーブルの内面に円筒状の複数の気体軸受が配設さ
   れ、気体軸受の内部にガイド部材が挿通され、気体軸受
   に供給される気体によりスライドテーブルがガイド部材
   から浮上し、メタルピストンとスライドテーブルとが連
   結されたクリーン搬送機器。
2. 【請求項２】 メタルピストンの前後の圧力差によって
   メタルピストンが駆動され、メタルピストンの外周面と
   シリンダチューブの内周面との間にラビリンスシールが
   形成され、シリンダチューブの案内移動部側の端部に円
   筒状の気体軸受が配設され、気体軸受の内部にピストン
   ロッドが挿通され、ピストンロッドによってメタルピス
   トンとスライドテーブルとが連結された請求項１記載の
   クリーン搬送機器。
3. 【請求項３】 スライドテーブルの挿入室にロッドジョ
   イントが挿入され、ロッドジョイントの前後両面に環状
   溝が形成されるとともにロッドジョイントの軸線まわり
   の外周面に環状溝が形成され、各環状溝に弾性体シール
   が装着されて、ロッドジョイントが挿入室に弾性体シー
   ルを介して弾性的に支持され、ロッドジョイントの後端
   部がピストンロッドの先端部に連結された請求項１又は
   ２記載のクリーン搬送機器。
4. 【請求項４】 スライドテーブルの挿入室が円柱状で軸
   線に垂直な断面を円形となし、ロッドジョイントを本
   体、中径挿通部及び中空ねじ部からなる段付の円柱状と
   なし、ロッドジョイントの本体がスライドテーブルの挿
   入室に挿入され、ロッドジョイントの中径挿通部が端部
   材の挿通孔に挿通され、ロッドジョイントの中空ねじ部
   がピストンロッドの先端部に連結された請求項３記載の
   クリーン搬送機器。
5. 【請求項５】 ピストンロッドの内部に気体通路が形成
   され、メタルピストン内に連通孔が形成されてメタルピ
   ストンのヘッド側とピストンロッドの気体通路とが連通
   され、ロッドジョイント内に連通孔が形成されてロッド
   ジョイントの先端面とピストンロッドの気体通路とが連
   通され、ロッドジョイントの先端面がスライドテーブル
   内の流路を介して気体軸受が嵌合された嵌合孔に連通さ
   れた請求項１ないし４のいずれか１つに記載のクリーン
   搬送機器。