JP2000043266A

JP2000043266A - インクジェットプリンタヘッド

Info

Publication number: JP2000043266A
Application number: JP36431098A
Authority: JP
Inventors: Il Kim; 日金
Original assignee: Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date: 1998-07-24
Filing date: 1998-12-22
Publication date: 2000-02-15

Abstract

(57)【要約】【課題】振動板の作動周波数を高めるとともに、液室
間の機械的干渉を最大限防止して、安定した作動性と信
頼性を大幅向上させるためのインクジェットプリンタヘ
ッドを提供することである。【解決手段】液室の側壁をなす液室板と液室の上部面
をなす振動板を金属薄板のプレス工程により一つの板構
造に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンタヘッドに関するもので、より詳しくは金属薄板をプ
レス加工して、所望大きさ及び形状の液室を同時に有す
る振動板により、より簡便で低廉に製作できるインクジ
ェットプリンタヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インクジェットプリンタヘッド
は、酸化物圧電体のようなアクチュエータを用いて、イ
ンクを液滴状態で噴射させる構成である。

【０００３】図２４は、現在、主として使用されている
インクジェットプリンタにおける一般的なヘッドを構造
を示すものである。同図に示すように、ヘッドには、相
違した大きさ及び形状のノズル１１０、リザーバ２１
０、流路３１０、リストリクタ４１０及び液室のような
インクの移動路が形成される。

【０００４】しかし、相違した大きさ及び形状の移動路
を一枚の板構造に同時に形成させるのには、現在の加工
技術が未だ後押しされていなくて、現実的には適用が不
可能な実情である。

【０００５】したがって、多数の板構造、つまりノズル
１１０が形成されているノズル板１００と、リザーバ２
１０が形成されるリザーバ板２００と、流路３１０が形
成される流路板３００と、リストリクタ４１０が形成さ
れるリストリクタ板４００と、液室５１０が形成される
液室板５００と、アクチュエータとを順次積層して、ヘ
ッドを形成している。

【０００６】言い換えれば、ノズル板１００の一側にノ
ズル１１０が形成され、ノズル板１００の上部には、一
側にリザーバ２１０が形成されたリザーバ板２００が接
着剤などで付着されて積層されるようにし、リザーバ板
２００の上部には、一側にリザーバ２１０と連通される
小径の流路３１０が形成された流路板３００が積層さ
れ、流路板３００の上部には、一側に流路３１０と連通
されるリストリクタ４１０が形成されたリストリクタ４
１０が形成されたリストリクタ４００が付着されて積層
されるようにする。

【０００７】そして、リストリクタ板４００の上部に
は、リストリクタ４１０と連通される、比較的広い空間
の液室５１０を備えた液室板５００が積層されるように
した後、液室板５００の上部に、さらに、振動板６０
０、下部電極７００、圧電体８００及び上部電極９００
が順次積層されてなるアクチュエータが積層されるよう
にする。

【０００８】また、多層板の積層構造において、特にリ
ザーバ板２００、流路板３００及びリストリクタ板４０
０には、リザーバ２１０、流路３１０及びリストリクタ
４１０が形成された位置の反対側に、液室板５００の液
室５１０とノズル板１００のノズル１１０とを連通させ
る流路２２０、３２０、４２０がそれぞれ形成されるよ
うにする。

【０００９】一方、振動板６００は、液室板５００に形
成された液室５１０の上部をカバーし、下部電極７０
０、圧電体８００及び上部電極９００は、液室板５００
の液室５１０をカバーする振動板６００に、液室５１０
の大きさとほぼ同じか、小さい大きさでパターニングし
て積層する。

【００１０】ところで、最近には、流路板３００と液室
板５００間に介在されるリストリクタ４００を除去し、
流路板３００に液室板５００が直接積層されるように
し、液室板５００の液室５１０の側壁を、図２５に示す
ように、内側に突出して、液室５１０内に直接リストリ
クタ５２０が形成される構造で液室板５００を製作する
こともある。

【００１１】したがって、図２５の例においては、リス
トリクタ板４００が省略され、液室板５００の液室５１
０の一側にリストリクタ５２０が一体に備えられるの
で、比較的面積が大きく形成される液室５１０の上部を
カバーする振動板６００に下部電極７００、圧電体８０
０及び上部電極９００がパターニングにより積層される
ようにして、ヘッドを形成させることもある。

【００１２】しかし、前記ヘッドの構造は、各々の板構
造を別に製作し、これらを互いに接着剤で接合して積層
するか、一枚の板構造をまず製作した後、その上にスク
リーンプリンティング又は金属拡散法で積層させるの
で、製作工程が非常に複雑であり、特に、各板構造を正
確に整列させることが非常に難しいだけでなく、整列の
ための別のジグを高価で購入すべきであるのに比べて生
産性は非常に低い欠点がある。

【００１３】特に、接着剤を用いて液室板５００と振動
板６００を接合させる場合には、接着剤の性質又は接着
方法によってヘッドの特性が変わって、ヘッドの作動信
頼性を低下させることになる。

【００１４】そして、液室板５００の液室５１０の側壁
を両方で供給するので、液室５１０間の機械的干渉を誘
発させる問題がある。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明
は、金属薄板をプレス加工して、振動板と液室板を一体
に形成することにより、ヘッドの製作工程を短縮して、
生産性を増大させることに主目的がある。

【００１６】本発明は、振動板の固有振動数を増大させ
て、インクの噴射効率を向上させることにほかの目的が
ある。

【００１７】本発明は、機械的剛性を増大させて、耐久
力と信頼性を向上させることにさらにほかの目的があ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、金属薄板をプレス加工して、板面に長溝
の液室を有する多数の突起を形成して液室と振動板を一
体にした液室板をノズル板、リザーバ板及びリストリク
タ板に続いて順次積層して、構造を簡素化させる構成に
特徴がある。

【００１９】また、インクを噴射させる振動力を発生す
る液室の側壁とその上部の振動板を一体に形成させるこ
とにより、振動板の固有振動数をより高めて噴射力を向
上させるとともに、接合部の省略により機械的剛性を増
大させるものである。特に、液室と振動面をともに有す
る液室板の底部に接合されるノズル板とリザーバ板を、
液室板と同一金属薄板を加工してノズルとリザーバを同
時に形成した薄板構造に形成させることにより、ヘッド
の製作工程を短縮させて生産性と製造原価を大幅節減さ
せ得るものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面を参照し
て詳細に説明する。

【００２１】図１は本発明による第１実施例を示すもの
で、最下部には一側にノズル１１が形成されたノズル板
１０が備えられる。

【００２２】ノズル板１０の上部には、一側に多量のイ
ンクが貯蔵するリザーバ２１が形成され、他側にノズル
板１０のノズル１１に連通される流路２２が形成された
リザーバ２０を積層する。

【００２３】リザーバ板２０の上部には、一側にリザー
バ２１に連通され、リザーバ２１から流入されるインク
の流れを大きく制限する小径のリストリクタ３１が形成
され、他側にリザーバ板２０の流路２２と同一形状及び
大きさを有し、それに連通される流路３２が形成された
リストリクタ板３０を積層する。

【００２４】リストリクタ板３０の上部には、平板の一
部が上部に突出された液室板４０を積層する。

【００２５】すなわち、図２に示すように、液室板４０
は、平板面の一部を上向突出させて液室部４１を形成す
ることにより構成され、液室部４１は液室板４０に一定
間隔に多数形成されている。

【００２６】液室板４０から上部に突出して形成される
液室部４１は、リストリクタ板３０のリストリクタ３１
及び流路３２をカバーする液室板４０の一部を上部に突
出させたものである。

【００２７】液室部４１は、大別して、リストリクタ板
３０に平行した水平面をなす上部の振動板４１ａと、振
動板４１ａの外側端部が下向に折曲され、リストリクタ
板３０と面接触する平板端部に一体に連結される液室壁
４１ｂとからなる。

【００２８】そして、振動板４１ａと液室壁４１ｂとリ
ストリクタ板３０により、リザーバ板２０のリザーバ２
１よりは小さい断面積を有する液室４１ｃが形成され、
液室４１ｃはリストリクタ板３０に形成されたリストリ
クタ３１と流路３２の両方に同時に連通される。

【００２９】このように、液室板４０をリストリクタ板
３０の上部に積層させ、液室板４０の上部に突出された
振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上部面より実
質的に小さいか同じ面積を有する圧電体５０を積層し、
圧電体５０の上部にはさらに圧電体５０の上部面より実
質的に小さいか同じ面積を有する上部電極６０を積層す
ることにより、所望のインクジェットプリンタヘッドを
形成する。

【００３０】図３は本発明による第２実施例を示すもの
で、最下部には、第１実施例と同様に、インクを外部に
吐き出すノズル１１が形成されたノズル板１０を備え
る。ノズル板１０の上部には、平板の両側にそれぞれ液
室部４１とリザーバ部４２が形成された液室板４０を積
層する。

【００３１】すなわち、液室板４０は、図４に示すよう
に、板面の両側をそれぞれ上向に突出させて液室部４１
とリザーバ部４２を形成し、液室部４１とリザーバ部４
２は液室部４１より断面積を小さくしたリストリクタ部
４３により一体に連結したことが本実施例の最も著しい
特徴である。

【００３２】液室板４０の一側で上向に突出される液室
部４１は、大別して、ノズル板１０に平行した水平面を
なす上部の振動板４１ａと、振動板４１ａの外側端部を
下向に折曲し、ノズル板１０と面接触する平板端部と一
体に連結した液室壁４１ｂとからなる。

【００３３】そして、振動板４１ａと液室壁４１ｂとノ
ズル板１０により、一側でノズル板１０に形成されたノ
ズル１１に連通され、ノズル１１よりは大きい断面積を
有する液室４１ｃが形成される。

【００３４】液室板４０の他側で上向に突出されるリザ
ーバ部４２は多量のインクを貯蔵する部分で、上部に突
出された突出面とノズル板１０により形成されるリザー
バ４２ａは江基質４１ｃより断面積を大きくした構造で
ある。

【００３５】このように液室板４０から上向に突出され
るリザーバ部４２は液室部４１の高さより低く形成する
ことがより好ましい。

【００３６】一方、液室部４１とリザーバ部４２は、液
室部４１より断面積の小さいリストリクタ部４３により
連結されるようにする。

【００３７】このようなリストリクタ部４３には、ノズ
ル板１０との間に、液室４１ｃより断面積が小さく形成
されたリストリクタ４３ａが形成され、リストリクタ４
３ａはその両側で液室部４１の液室４１ｃとリザーバ部
４２のリザーバ部４２ａに同時に連通される。

【００３８】したがって、リストリクタ部４３は、液室
部４１の液リストリクタ４３ａを有するので、室４１ｂ
に比べて断面積が小さいリストリクタ有するので、リザ
ーバ４２から流入されるインクの流れを大幅制限するこ
とになる。

【００３９】このような構成の液室板４０をノズル板１
０の上部に積層させ、次いで、液室板４０の上部に突出
された振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上面よ
り小さいか同じ面積の圧電体５０を積層させ、圧電体５
０の上部にはさらに圧電体５０の上部面より小さいか同
じ面積の上部電極６０を積層することにより、インクジ
ェットプリンタヘッドを形成する。

【００４０】図５は本発明による第３実施例を示すもの
で、最下部には、第１、２実施例と同様に、一側にイン
クを吐出すノズル１１が形成されたノズル板１０が備え
られるようにする。

【００４１】ノズル板１０の上部にはリザーバ板２０を
積層し、リザーバ板２０には、一側にインクを貯蔵する
リザーバ２１を形成し、他側には流路２２を形成する。
したがって、リザーバ板２０がノズル板１０に積層され
ると、他側の流路２２はノズル板１０のノズル１１に連
通する状態となる。

【００４２】ノズル板１０に積層させたリザーバ板２０
の上部には液室板４０を積層する。

【００４３】液室板４０は、図６に示すように、リザー
バ板２０に積層される平板の一部を所定高さで上向に突
出させて、断面積の相違した液室部４１とリストリクタ
部４３が互いに一体に連結されるように形成した構造で
ある。

【００４４】液室板４０において、リストリクタ部４３
に比べて相対的に大きい断面積を有する液室部４１は、
大別して、リザーバ板２０に平行した水平面をなす上部
の振動板４１ａと、振動板４１ａの外側端部が下向に折
曲され、リザーバ板２０と面接触する平板の端部と一体
に連結される液室壁４１ｂとからなる。

【００４５】振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及びリザーバ
板２０により、リザーバ板２０のリザーバ２１よりは小
さい面積を有する液室４１ｃが形成されるようにする。

【００４６】この際に、液室４１ｃは一側でリザーバ板
２０の流路２２に連通される。

【００４７】そして、液室部４１に比べて小さい断面積
を有するリストリクタ部４３は、液室部４１と一体に連
結される突出面とリザーバ板２０との間に、液室部４１
の液室４１ｃよりは小さい断面積を有するリストリクタ
４３ａが形成される。

【００４８】リストリクタ４３ａはリザーバ板２０のリ
ザーバ２１から流入されるインクの流れを制限するため
に備えられるもので、一側は液室４１ｃに連通され、他
側の底部はリザーバ２１に連通される構造である。

【００４９】このように、液室板４０をリザーバ板２０
の上部に積層させ、次いで、液室板４０の上部に突出さ
れた振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上部面よ
り実質的に小さいか同じ面積の圧電体５０を積層し、圧
電体５０の上部には、さらに圧電体５０の上部面より実
質的に小さいか同じ面積の上部電極６０を積層すること
により、所望のインクジェットプリンタヘッドを形成す
る。

【００５０】図７ないし図１２は本発明によるさらにほ
かの実施例を示すもので、本実施例において、大きい特
徴は、ノズル板の代わりに平板のカバー板８０を最下部
に備え、液室板４０にノズル４４ａを直接形成したもの
である。

【００５１】すなわち、図７の第４実施例においては、
平板であるカバー板８０の上部に、第１実施例と同様
に、リザーバ板２０とリストリクタ板３０を順次積層
し、リストリクタ板３０にはさらに液室板４０を積層す
る。

【００５２】この際に、リザーバ板２０とリストリクタ
板３０には、一側にそれぞれインクを貯蔵するリザーバ
２１とインクの流れを制限するリストリクタ３１のみを
形成する。

【００５３】図８に示すように、液室板４０には、平板
の板面が一部上向に突出されてなる液室部４１を形成
し、液室部４１は液室板４０に一定間隔に多数が同時に
形成されるようにする。

【００５４】このような多数の液室部４１には液室部４
１より小さい断面積を有するノズル部４４がそれぞれ形
成されるようにする。

【００５５】すなわち、液室板４０から上部に突出され
てなった液室部４１は、リストリクタ板３０のリストリ
クタ３１をカバーする液室板４０の一部が上部に突出さ
れるようにしたものである。

【００５６】液室部４１は、大別して、リストリクタ板
３０に平行した水平面をなす上部の振動板４１ａと、振
動板４１ａの外側端部が下向に折曲され、リストリクタ
板３０と面接触する平板の端部に一体に連結される液室
壁４１ｂとからなる。

【００５７】そして、振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及び
リストリクタ板３０により、リザーバ板２０のリザーバ
２１より小さい断面積を有する液室４１ｃが形成され、
液室４１ｃはリストリクタ板３０に形成された一側のリ
ストリクタ３１に連通される。

【００５８】以上の液室板４０の構造は第１実施例の液
室板４０と同一構造であるが、本実施例においては、液
室部４１の一側、つまり一側の液室壁４１ｂから、液室
部４１の断面積より実質的に小さい大きさのノズル部４
４が延長形成される構成が特徴である。

【００５９】ノズル部４４は液室部４１の液室壁４１ｂ
から延長される部分が、底部のリストリクタ板３０との
間に、液室部４１の液室４１ｃより実質的に小さい断面
積を有するノズル４４ａを形成するようにする。

【００６０】したがって、リザーバ板２０のリザーバ２
１を底部でカバー板８０によりカバーし、液室板４０に
直接ノズル４４ａを形成することにより、リザーバ板２
０とリストリクタ板３０の製作及び加工がより容易にな
る。

【００６１】そして、液室４１ｃに流入されるインクは
一側の液室壁４１ｂに一体に形成されるノズル部４４の
ノズル４４ａを通じて外部に吐き出されることになる。

【００６２】このように、液室板４０をリストリクタ板
３０の上部に積層させ、次いで、液室板４０の上部に突
出された振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上部
面より実質的に小さいか同じ面積の圧電体５０を積層
し、圧電体５０の上部には、さらに圧電体５０の上部面
より実質的に小さいか同じ面積の上部電極６０を積層す
ることにより、所望のインクジェットプリンタヘッドを
形成する。

【００６３】図９は本発明による第５実施例を示すもの
で、本実施例においては、第４実施例と同様に、最下部
に平板のカバー板８０を備え、カバー板８０の上部には
液室板４０を積層する。

【００６４】この際に、液室板４０は、図１０に示すよ
うに、板面の両側をそれぞれ上向に突出させて、多数の
液室部４１と大型のリザーバ部４２を形成し、液室部４
１とリザーバ部４２は、液室部４１より小さい断面積の
リストリクタ部４３により連結されるようにし、リスト
リクタ部４３が連結される面の反対側の各々の液室部４
１には、液室部４１より小さい断面積を有するノズル部
４４がそれぞれ形成されるようにしたことが本実施例の
最も著しい特徴である。

【００６５】液室板４０の一側で上向に突出される液室
部４１は、大別して、カバー板８０に平行した水平面を
なす上部の振動板４１ａと、振動板４１ａの外側端部が
下向に折曲され、カバー板８０と面接触する平板の端部
に一体に連結される液室壁４１ｂとからなる。

【００６６】そして、振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及び
カバー板８０により、液室４１ｃが形成される。

【００６７】液室板４０の他側で上向に突出されるリザ
ーバ部４２は多量のインクを貯蔵する部分で、上部に突
出された突出面とカバー板８０により形成されるリザー
バ４２ａは液室４１ｃより断面積を大きくした構造であ
る。

【００６８】このように液室板４０から上向に突出され
るリザーバ部４２は液室部４１の高さよりは低く形成す
ることがより好ましい。

【００６９】一方、液室部４１とリザーバ部４２は液室
部４１よりは断面積が小さいリストリクタ部３０により
連結されるようにする。

【００７０】このようなリストリクタ部４３は、カバー
板８０との間に、液室４１ｃより断面積を小さく形成し
たリストリクタ４３ａを形成し、リストリクタ４３ａは
その両側で液室部４１の液室４１ｃとリザーバ部４２の
リザーバ４２ａに同時に連通される。

【００７１】したがって、リストリクタ部４３は液室部
４１の液室４１ｃに比べて断面積の小さいリストリクタ
４３ａを有するので、リザーバ４３ａから流入されるイ
ンクの流れを大幅制限することができる。

【００７２】また、リストリクタ部４３が連結される面
の反対側の液室壁４１ｂからは、液室部４１の断面積よ
り実質的に小さい断面積を有するノズル部４４を一体に
延長形成し、ノズル部４４には、カバー板８０との間
に、液室部４１の液室４１ｃより断面積の小さいノズル
４４ａを形成する。

【００７３】このような構成の液室板４０をカバー板８
０の上部に積層させ、次いで液室板４０の上部に突出さ
れた振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上面部よ
り実質的に小さいか同じ面積の圧電体５０が積層され、
圧電体５０の上部には、さらに圧電体５０の上部面より
実質的に小さいか同じ面積の上部電極６０を積層するこ
とにより、所望のインクジェットプリンタヘッドを形成
する。

【００７４】図１１は本発明による第６実施例を示すも
ので、本実施例において、最下部には、第４実施例及び
第５実施例と同様、平板のカバー板８０を備える。

【００７５】カバー板８０の一側には、インクを貯蔵す
るリザーバ２１のみが形成されたリザーバ板２０を積層
し、リザーバ板２０の上部には液室板４０を積層する。

【００７６】図１２に示すように、液室板４０は、リザ
ーバ板２０に積層される平板の一部を所定高さで上向に
突出させ、断面積の相違した液室部４１、リストリクタ
部４３及びノズル部４４が互いに一体に連結されるよう
にした構造である。

【００７７】液室板４０において、リストリクタ部４３
に比べて相対的に大きい断面積を有する液室部４１は、
大別して、リザーバ板２０に平行した水平面をなす上部
の振動板４１ａ、振動板４１ａの外側端部が下向に折曲
され、リザーバ板２０と面接触する平板の端部に一体に
連結される液室壁４１ｂとからなる。

【００７８】振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及びリザーバ
板２０により、リザーバ板２０のリザーバ２１より小さ
い断面積を有する液室４１ｃが形成されるようにする。

【００７９】そして、液室部４１に比べて小さい断面積
を有するリストリクタ部４３は、液室部４１に一体に連
結される突出面とリザーバ板２０との間に、液室部４１
の液室４１ｃよりは小さい断面積のリストリクタ４３ａ
を形成する。

【００８０】リストリクタ４３ａはリザーバ板２０のリ
ザーバ２１から流入されるインクの流れを制限するため
のもので、一側は液室４１ｃに連通され、他側の底部は
リザーバ２１に連通される構造である。

【００８１】このような構造において、特に液室部４１
の一側、つまりリストリクタ部４３が連結される面の反
対側の液室壁４１ｂから延長され、液室部４１の断面積
より実質的に小さい断面積のノズル部４４が一体に形成
され、ノズル部４４は、リザーバ板２０との間に、液室
部４１の液室４１ｃより断面積を小さくしたノズル４４
ａが形成される。

【００８２】このような構成の液室板４０をリザーバ板
２０の上部に積層させ、次いで液室板４０の上部に突出
された振動板４１ａの上部には振動板４１ａの上面部よ
り実質的に小さいか同じ面積の圧電体５０を積層し、圧
電体５０の上部には、さらに圧電体５０の上部面より実
質的に小さいか同じ面積の上部電極６０を積層すること
により、所望のインクジェットプリンタヘッドを形成す
る。

【００８３】図１３は本発明による第７実施例を示すも
ので、本実施例の最も著しい特徴は、第５実施例のよう
な液室板４０、つまり平板の両側をそれぞれ上向に突出
させて多数の液室部４１と大型のリザーバ部４２を形成
し、液室部４１とリザーバ部４２は、液室部４１よりは
断面積が小さいリストリクタ部４３により一体に連結さ
れるようにし、リストリクタ部４３が連結される面の反
対側の各々の液室部４１には、液室部４１より小さい断
面積を有するノズル部４４がそれぞれ形成された液室板
４０を互いに対応して接合した構造である。

【００８４】この際に、液室部４１の液室壁４１ｂから
延長されるノズル部４４は、第５実施例のノズル部４４
の断面積の約１／２の大きさに形成する。

【００８５】このような一対の液室板４０を上下に相互
対応するように接合すると、簡単にインクジェットプリ
ンタヘッドを形成することができる。

【００８６】一対の液室板４０を接合させると、板面か
ら突出された液室部４１の上下に突出された振動板４１
ａの間には自然に液室４１ｃが形成され、このように上
下に突出されたリザーバ板４２の内部には液室４１ｃの
断面積より大きいリザーバ４２ａが形成され、液室部４
１とリザーバ４２を連結するリストリクタ部４３によっ
ても、その内部に液室４１ｃの断面積より小さく形成さ
れるリストリクタ４３ａが形成される。

【００８７】特に、一対の液室板４０を接合した状態
で、各液室板４０の一側で突出された液室部４１の突出
面である振動板４１ａの外側面に、振動板４１ａより実
質的に小さいか同じ面積の圧電体５０を積層し、圧電体
５０には、さらに圧電体５０より実質的に小さいか同じ
面積の上部電極６０を積層する。

【００８８】このように、上下部振動板４１ａにそれぞ
れ圧電体５０と上部電極６０を積層すると、実際に、一
つのプリンタヘッドに一対の駆動アクチュエータが備え
られるので、インクの吐出力が倍加されるとともに、必
要によっては上下部アクチュエータを交互に作動するこ
とにより、インクの吐出量及び速度をより広範囲に制御
し得るインクジェットプリンタヘッドを提供することに
なる。

【００８９】一方、図１５乃至図１７は本発明のさらに
他の実施例を示すもので、前記実施例らにおいては、す
べて上部の液室板４０を従来の振動板と一体に合わせた
ものであるが、本実施例においては、液室板にリザーバ
板、リストリクタ板及びノズル板の機能を付加して、積
層構造をより簡素化したものである。

【００９０】次の実施例の特徴は、液室板４０のみなら
ず、従来の液室板４０の底部に積層されるノズル板、リ
ザーバ板及びリストリクタ板を選択的に一つの板構造と
して備えることにより、ヘッドの構造を簡素化したもの
である。

【００９１】すなわち、図１５は本発明の第８実施例を
示すもので、リストリクタ板３０の上部に液室板４０を
積層した構造は第１実施例と同様であるが、本実施例に
おいては、最下部に、平板の板面の一部を突出させて、
一側にはインクを貯蔵するリザーバ９１を形成し、他側
にはインクを吐き出す流路９２とノズル９３を同時に形
成したノズル板９０を備えるものである。

【００９２】ノズル板９０の上部には、リザーバ９１か
ら流入されるインクの流れを制限するため、ノズル板９
０のリザーバ９１より小さい断面積を有するリストリク
タ３１とノズル板９０の流路９２に連通される流路３２
が形成されたリストリクタ板３０を積層する。

【００９３】リストリクタ板３０の上部には、さらに平
板の一部が上部に突出された液室板４０を積層する。

【００９４】液室板４０の一部が突出されてなる液室部
４１は、リストリクタ板３０のリストリクタ３１及び流
路３２を同時にカバーする平板の一部が上向に突出さ
れ、リストリクタ板３０に平行した水平面をなす上部の
振動板４１ａと、振動板４１ａの外側端部が下向に折曲
され、リストリクタ板３０と面接触する平板の端部に一
体に連結される液室壁４１ｂとからなる構造である。

【００９５】振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及びリストリ
クタ板３０により、リザーバ板２０のリザーバ２１より
小さい断面積を有し、リストリクタ板３０に形成された
リストリクタ３１及び流路３２に同時に連通される液室
４１ｃが形成される。

【００９６】このように、液室板４０に液室部４１を同
一板上に一体に形成させた構造である。

【００９７】一方、液室板４０の振動板４１ａには、前
記振動板４１ａと実質的に小さいか同じ面積を有する圧
電体５０を積層し、圧電体５０の上部には、さらに圧電
体５０と実質的に小さいか同じ面積を有する上部電極６
０を積層して、より簡素化された構造のインクジェット
プリンタヘッドを形成する。

【００９８】図１６は本発明による第９実施例を示すも
ので、最下部には、平板の板面の一部を下向に突出させ
て、一側にインクを貯蔵するリザーバ９１が形成され、
他側にはインクを吐き出す流路９２及びのずる９３が同
時に形成されるノズル板９０を備える。

【００９９】ノズル板９０の上部には、平板の一部を所
定高さに上向に突出させて、断面積の相違した液室部４
１とリストリクタ部４３が互いに一体に連結される液室
板４０を積層する。

【０１００】液室板４０において、リストリクタ部４３
に比べて相対的に大きい断面積を有する液室部４１は、
大別して、ノズル板９０に平行した水平面をなす上部の
振動板４１ａ、振動板４１ａの外側端部が下向に折曲さ
れ、ノズル板９０と面接触する平板の端部に一体に連結
される液室壁４１ｂとからなる。

【０１０１】振動板４１ａ、液室壁４１ｂ及びノズル板
９０により、ノズル板９０のリザーバ９１より小さい断
面積を有する液室４１ｃが形成される。

【０１０２】ここで、液室４１ｃは一側でノズル板９０
の流路９２に連通される。

【０１０３】そして、液室部４１に比べて小さい断面積
を有するリストリクタ部４３は、液室部４１に一体に連
結される突出面とノズル板９０との間に、液室部４１の
液室４１ｃより小さい断面積のリストリクタ４３ａが形
成される。

【０１０４】リストリクタ４３ａはノズル板９０のリザ
ーバ９１から流入されるインクの流れを制限するための
もので、一側は液室４１ｃに連通され、他側の底部はリ
ザーバ９１に連通される構造である。

【０１０５】このように、液室板４０をノズル板９０の
上部に積層させ、次いで液室板４０の上部に突出された
振動板４１ａの上部には、振動板４１ａの上部面より実
質的に小さいか同じ面積の圧電体５０を積層し、圧電体
５０の上部には、さらに圧電体５０の上部面より実質的
に小さいか同じ面積の上部電極６０を積層することによ
り、所望のインクジェットプリンタヘッドを形成する。

【０１０６】図１７は本発明による第１０実施例を示す
もので、最下部に、第９実施例と同様に、平板の板面の
一部を下向に突出させて、一側にインクを貯蔵するリザ
ーバ９１が形成され、他側にはインクを吐き出す流路及
びノズル９３が同時に形成されたノズル板９０を備え
る。

【０１０７】ノズル板９０の上部には、一側にノズル板
９０の流路９２に連通される流路９２が形成され、他側
にはノズル板９０のリザーバ９１に連通され、リザーバ
９１から流入されるインクの流れを制限するため、リザ
ーバ９１より小さい断面積を有するリストリクタ３１が
形成されたリストリクタ板３０を積層する。

【０１０８】リストリクタ板３０の上部には、リストリ
クタ板３０のリストリクタ３１及び流路３２に同時に連
通され、液室壁により液室４１ｃが形成された液室板４
０を積層する。

【０１０９】また、液室板４０の上部には、液室壁とと
もに液室４１ｃの上部をカバーする振動板４１を積層す
る。

【０１１０】この振動板４１ａの上部には、振動板４１
ａの上部面より実質的に小さいか同じ面積の圧電体５０
を積層し、圧電体５０の上部には、さらに圧電体５０の
上部面より実質的に小さいか同じ面積の上部電極６０を
積層することにより、所望のインクジェットプリンタヘ
ッドを形成する。

【０１１１】以上の実施例において、特に第１実施例、
第４実施例及び第８実施例の場合においては、リザーバ
板２０とリストリクタ３０との間に、そして第３実施
例、第６実施例及び第９実施例の場合においては、リザ
ーバ板２０と液室板４０との間に、一側にリザーバ板２
０のリザーバ２１とリストリクタ板３０のリストリクタ
３１に同時に連通される流路が形成され、他側にはリザ
ーバ板２０とリストリクタ板３０の各流路に連通される
流路が形成された流路板を挿入することもできる。

【０１１２】そして、図１８に示すように、液室板４０
の振動板４１ａには、まず下部電極７０を積層した後、
圧電体５０を積層することも好ましい。

【０１１３】各実施例に適用される液室板４０は、通常
厚さ６〜５００μｍの薄板を使用し、材質は析出硬化系
ステンレス（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵＳ３
０２、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０１Ｓ、ＳＵＳ３２１、
ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３４７）又はフ
ェライト系ステンレス（ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４３４）
又はマルテンサイト系ステンレス（ＳＵＳ４１０Ｓ、Ｓ
ＵＳ４２０Ｊ２）を使用し、特に金属板の化学成分のう
ち、チタン（Ｔｉ）、ニオビウム（Ｎｂ）又はモリブデ
ン（Ｍｏ）が９０％以上含有されたものを使用するか、
ニッケル（Ｎｉ）と鉄（Ｆｅ）が３０以上含有されたも
のを使用することもできる。

【０１１４】これとは異なり、液室板４０の化学成分の
うち、ニッケル（Ｎｉ）が５０％以上含有され、ニッケ
ル（Ｎｉ）とコバルト（Ｃｏ）を合わせたものが全体の
９５％以上含まれるか、クロム（Ｃｒ）が５％以上含ま
れるか、モリブデン（Ｍｏ）が２％以上含有されたもの
を使用することもできる。

【０１１５】また、液室板４０の化学成分のうち、アル
ミニウム（Ａｌ）が８０％以上含有されたものである場
合には、マグネシウム（Ｍｇ）が１％以上含まれている
ものを使用することもでき、銅（Ｃｕ）が２％以上含ま
れているものを使用することもできる。

【０１１６】また、液室板４０は化学成分のうち、銅
（Ｃｕ）が６０％以上含有されたものを使用する場合に
は、亜鉛（Ｚｎ）が５％以上であるか又は珪素（Ｓｉ）
が５％以上又はジルコニウム（Ｚｒ）が５％以上含まれ
たものを使用する。

【０１１７】また、液室板４０は、化学成分のうち、銅
（Ｃｕ）が７０％以上である薄板である場合、ベリリウ
ム（Ｂｅ）が１％以上含まれたものを使用することが最
も好ましい。

【０１１８】一方、液室４０と同様に、第８実施例、第
９実施例及び第１０実施例において、最下部に備えるノ
ズル板９０も金属薄板をプレス工程で加工して成形する
ことが最も好ましい。

【０１１９】そして、液室板４０に形成される突出部、
つまり液室部４１、リザーバ部４２又はリストリクタ部
４３は、各実施例の図に示すように、単純に一列に形成
し得るが、図１９に示すように、板上に２列又は３列の
複数列としても形成し得る。

【０１２０】このように、板面に多数の突出部を形成さ
せると、板全体の剛性がより強くなり、取扱いも非常に
便利になる。

【０１２１】特に、図２０に示すように、液室板４０に
形成される各液室部４１の液室壁４１ｂ間の凹部空間に
エポキシ系列の樹脂、酸化物などのペースト又はスラリ
形態の衝撃吸収用充填物１００を満たすと、各液室壁４
１ｂの剛性をより増強させることができる。このような
衝撃吸収用充填物１００による液室壁４１ｂ間の補強は
液室４１間の機械的干渉を多少誘発し得るが、液室壁４
１ｂをより堅固に支持するので、振動面４１ａの作動周
波数をより高めることができる。

【０１２２】一方、第２実施例、第３実施例、第５実施
例及び第６実施例においては、リストリクタ部４３を、
図２１に示すように、液室部４１又はリザーバ部４２と
同じ高さに形成し、幅方向に流路を狭くなる形状にも実
施することができる。

【０１２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるイン
クジェットプリンタヘッドは、まず既存の液室板と振動
板を一つの板構造である液室板４０に形成させるので、
従来のような多数の接合工程を簡素化して、ヘッドの製
作工程を大幅短縮させることができる。

【０１２４】このような工程縮小は、第８実施例、第９
実施例及び第１０実施例のように、液室板４０とノズル
板９０をプレス加工で同時に形成させるので、ヘッドの
効果をより極大化し得る。

【０１２５】このように、液室板４０を製作すると同時
に振動板４１ａと液室４１ｃを形成させると、液室４１
ｃを通じて振動板４１ａにより噴射する秒当たり液滴
数、つまり作動周波数を従来よりさらに高めることがで
きる。

【０１２６】一方、プレス加工により液室板４０と同時
に製作されるノズル板９０は、リザーバ９１、流路９２
及びノズル９３の形成時、液室板４０の液室部４１が一
列に形成される場合には同一構造に形成すべきである
が、一列以上に形成される場合には、図２２又は図２３
に示すように、リザーバ９１を中央に形成し、その両側
にそれぞれ流路９２とノズル９３を同一線上に又はジグ
ザグ形状に形成することができる。

【０１２７】液室４１ｃの側壁である液室壁４１ｂの高
さを液室４１ｃの形成面積に比べてあまり高くないよう
に制限すると（通常、１０００μｍ以下）、液室壁４１
ｂの弾性をより高めることができるので、液室４１ｃの
変形を防止するとともに振動板４１ａの作動周波数をさ
らに増幅させることができる。

【０１２８】液室４１ｃを振動させるアクチュエータで
ある圧電体５０と上部電極６０は、振動板４１ａに順次
接着剤で接合するか、金属拡散法で積層する。そして、
圧電体５０と上部電極６０は従来のようにスクリーンプ
リンティング又は真空蒸着によっても形成可能であり、
この時には、従来のようなマスクを用いるパターニング
作業を省略し得るので、ヘッドを製作することがさらに
便利である。

【０１２９】すなわち、振動板４１ａは液室壁４１ｂの
くらい上部に突出形成されるので、圧電体５０と上部電
極６０をスクリーンプリンティングするか真空蒸着して
も、振動板４１ａの上部面にだけ電極物質及び圧電体物
質が蒸着されるので、整列工程又はマスクを用いるパタ
ーニング工程を全く省略することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第１実施例の側断面図である。

【図２】第１実施例の液室板の斜視図である。

【図３】本発明による第２実施例の側断面図である。

【図４】第２実施例の液室板の斜視図である。

【図５】本発明による第３実施例の側断面図である。

【図６】第３実施例の液室板の斜視図である。

【図７】本発明による第４実施例の側断面図である。

【図８】第４実施例の液室板の斜視図である。

【図９】本発明による第５実施例の側断面図である。

【図１０】第５実施例の液室板の斜視図である。

【図１１】本発明による第６実施例の側断面図であ
る。

【図１２】第６実施例の液室板の斜視図である。

【図１３】本発明による第７実施例の側断面図であ
る。

【図１４】第７実施例の液室板の斜視図である。

【図１５】本発明による第８実施例の側断面図であ
る。

【図１６】本発明による第９実施例の側断面図であ
る。

【図１７】本発明による第１０実施例の側断面図であ
る。

【図１８】本発明の下部電極が適用される一例を示す
ヘッドの側断面図である。

【図１９】本発明による液室板の液室部の形成を示す
斜視図である。

【図２０】本発明の液室板の液室部間に衝撃吸収用充
填物を満たした状態を示す要部断面図である。

【図２１】本発明による液室板のリストリクタのほか
の実施例を示す斜視図である。

【図２２】本発明によるノズル板の一実施例の構造を
示す平面図である。

【図２３】本発明によるノズル板のほかの実施例の構
造を示す平面図である。

【図２４】一般のインクジェットプリンタヘッドの一
例を示す断面図である。

【図２５】一般のインクジェットプリンタヘッドのほ
かの例を示す断面図である。

【符号の説明】

１０ノズル板１１ノズル２０リザーバ板２１リザーバ２２流路３０リストリクタ板３１リストリクタ３２流路４０液室板４１液室部４１ａ振動板４１ｂ液室壁４１ｃ液室４２リザーバ部４３リストリクタ部４３ａリストリクタ４４ノズル部４４ａノズル５０圧電体６０上部電極７０下部電極８０カバー板９０ノズル板９１リザーバ９２流路９３ノズル１００充填物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐き出すノズルが形成されたノ
ズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、一側に、前
記ノズル板のノズルに連通される流路が形成され、他側
には、インクを貯蔵するリザーバが形成されたリザーバ
板と；前記リザーバ板の上部に積層され、一側に、前記
リザーバ板の流路に連通される流路が形成され、他側に
は、前記リザーバ板のリザーバに連通され、前記リザー
バから流入されるインクの流れを制限するため、前記リ
ザーバより小さい断面積のリストリクタが形成されたリ
ストリクタ板と；前記リストリクタ板の上部に積層さ
れ、前記リストリクタ板の前記リストリクタ及び前記流
路を同時にカバーする平板の一部が上向に突出された形
状であり、前記リストリクタ板に平行した水平面をなす
上部の振動板と、前記振動板の外側端部が下向に折曲さ
れ、前記リストリクタ板と面接触する平板の端部に一体
に連結される液室壁とからなり、前記振動板、前記液室
壁及び前記リストリクタ板により、前記リザーバ板の前
記リザーバより小さい断面積を有し、前記リストリクタ
板に形成された前記リストリクタ及び前記流路に同時に
連通される液室を有する液室部が一体に形成された液室
板と；前記液室板の上部に突出された前記振動板に積層
され、前記振動板より実質的に小さいか同じ面積を有す
る圧電体と；前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積
を有し、前記圧電体の上部に積層される上部電極と；か
らなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記流路と前記ノズルを通じてインクが
吐き出されることを特徴とするインクジェットプリンタ
ヘッド。
【請求項２】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄板
であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項３】前記液室板は金属薄板であることを特徴
とする請求項１記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】前記振動板の上部には前記振動板の上部
面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項１記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５】前記液室板はプレス加工により成形され
ることを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリ
ンタヘッド。
【請求項６】前記液室板には、上部に突出される振動
板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項１記
載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項７】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用充
填物が満たされることを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットプリンタヘッド。
【請求項８】前記リザーバ板と前記リストリクタ板と
の間には、一側に、前記リザーバ板に形成された前記リ
ザーバより小さい断面積を有し、前記リザーバ及び前記
リストリクタに同時に連通される流路が形成され、他側
には、前記リザーバ板に形成される流路と同じ面積を有
し、前記リザーバ板の流路及び前記リストリクタ板の流
路に同時に連通される流路が形成された流路板が介在さ
れることを特徴とする請求項１記載のインクジェットプ
リンタヘッド。
【請求項９】インクを吐き出すノズルが形成されたノ
ズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、平板の一側
が上向に突出された形状であり、前記ノズル板に平行し
た水平面をなす上部の振動板と、前記振動板の外側端部
が下向に折曲され、前記ノズル板と面接触する平板の端
部に一体に連結される液室壁とからなり、前記振動板、
前記液室壁及び前記ノズル板により、一側に前記ノズル
板の前記ノズルに連通される液室が形成された液室部
と、前記平板の他側が上向に突出された形状であり、突
出面とノズル板との間に、前記液室より大きい断面積を
有し、インクを貯蔵するリザーバが形成されたリザーバ
部と、前記液室部と前記リザーバ部を一体に連結して、
前記液室部の液室と前記リザーバ部のリザーバを連通さ
せ、前記液室より小さい断面積を有するリストリクタを
有するリストリクタ部とが形成された液室板と；前記液
室板の上部に突出された前記振動板に積層され、前記振
動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体と；
前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積を有し、前記
圧電体の上部に積層される上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記ノズルを通じてインクが吐き出され
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１０】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項９記載のインクジェッ
トプリンタヘッド。
【請求項１１】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項９記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項１２】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項９記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１３】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項９記載のインクジェットプ
リンタヘッド。
【請求項１４】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項９
記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１５】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項９記載のイ
ンクジェットプリンタヘッド。
【請求項１６】インクを吐き出すノズルが形成された
ノズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、一側に、
前記ノズル板のノズルに連通される流路が形成され、他
側にはインクを貯蔵するリザーバが形成されたリザーバ
板と；前記リザーバ板の上部に積層され、平板の一部が
上向に突出された形状であり、前記リザーバ板に平行し
た水平面をなす上部の振動板と、前記振動板の外側端部
が下向に折曲され、前記ノズル板と面接触する平板の端
部に一体に連結される液室壁とからなり、前記振動板、
前記液室壁及び前記ノズル板により、一側に前記リザー
バ板の流路に連通され、前記リザーバ板のリザーバより
小さい断面積を有する液室が形成された液室部と、前記
液室部に一体に連結された突出面と前記リザーバ板との
間に、前記リザーバ板のリザーバから流入されるインク
の流れを制限するため、前記液室部の前記液室より小さ
い断面積で形成され、前記液室部の前記液室と前記リザ
ーバ板の前記リザーバに前記液室より小さい断面積で連
通されるリストリクタ部とが形成された液室板と；前記
液室板の上部に突出された前記振動板に積層され、前記
振動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体
と；前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積を有し、
前記圧電体の上部に積層される上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記流路と前記ノズルを通じてインクが
吐き出されることを特徴とするインクジェットプリンタ
ヘッド。
【請求項１７】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項１６記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項１８】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項１６記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項１９】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項１６記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２０】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項１６記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項２１】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項１
６記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２２】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項１６記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項２３】前記リザーバ板と前記液室板との間に
は、一側に、前記リザーバ板に形成された前記リザーバ
より小さい断面積を有し、前記リザーバ及び前記リスト
リクタに同時に連通される流路が形成され、他側には、
前記リザーバ板に形成される流路と同じ面積を有し、前
記リザーバ板の流路及び前記液室部の液室に同時に連通
される流路が形成された流路板が介在されることを特徴
とする請求項１６記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項２４】平板のカバー板と；前記カバー板の上
部に積層され、一側にインクを貯蔵するリザーバが形成
されたリザーバ板と；前記リザーバ板の上部に積層さ
れ、一側に前記リザーバ板のリザーバに連通され、前記
リザーバから流入されるインクの流れを制限するため、
前記リザーバ板のリザーバより小さい断面積のリストリ
クタが形成されたリストリクタ板と；前記リストリクタ
板の上部に積層され、前記リストリクタ板の前記リスト
リクタをカバーする平板の一部が上向に突出された形状
であり、前記リストリクタ板に平行した水平面をなす上
部の振動板と、前記振動板の外側端部が下向に折曲さ
れ、前記リストリクタ板と面接触する平板の端部に一体
に連結される液室壁とからなり、前記振動板、前記液室
壁及び前記リストリクタ板により、前記リザーバ板の前
記リザーバより小さい断面積を有し、前記リストリクタ
板に形成された前記リストリクタに連通される液室を有
する液室部と、前記液室壁の一側から一体に延長される
突出面と前記リストリクタ板との間に形成され、インク
を外部に吐き出すため、前記液室部の前記液室より小さ
い断面積を有するノズルが形成されたノズル部とが形成
された液室板と；前記液室板の上部に突出された前記振
動板に積層され、前記振動板より実質的に小さいか同じ
面積を有する圧電体と；前記圧電体より実質的に小さい
か同じ面積を有し、前記圧電体の上部に積層される上部
電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記ノズルを通じてインクが吐き出され
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２５】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項２４記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項２６】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項２４記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項２７】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項２４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２８】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項２４記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項２９】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項２
４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３０】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項２４記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項３１】前記リザーバ板と前記リストリクタ板
との間には、一側に、前記リザーバ板に形成された前記
リザーバより小さい断面積を有し、前記リザーバ及び前
記リストリクタ板の前記リストリクタに同時に連通され
る流路が形成された流路板が介在されることを特徴とす
る請求項２４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３２】平板のカバー板と；前記カバー板の上
部に積層され、平板の一側が上向に突出された形状であ
り、前記カバー板に平行した水平面をなす上部の振動板
と、前記振動板の外側端部が下向に折曲され、前記カバ
ー板と面接触する平板の端部に一体に連結される液室壁
とからなり、前記振動板、前記液室壁及び前記カバー板
により、液室が形成された液室部と、前記平板の他側が
上向に突出された形状であり、突出面とカバー板との間
に、前記液室より大きい断面積を有し、インクを貯蔵す
るリザーバが形成されたリザーバ部と、前記液室部と前
記リザーバ部を一体に連結して、前記液室部の液室と前
記リザーバ部のリザーバを連通させ、前記液室より小さ
い断面積のリストリクタを有するリストリクタ部と、前
記液室壁の一側から一体に延長される突出面と前記カバ
ー板との間に形成され、インクを外部に吐き出すため、
前記液室部の前記液室より小さい断面積を有するノズル
が形成されたノズル部とが形成された液室板と；前記液
室板の上部に突出された前記振動板に積層され、前記振
動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体と；
前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積を有し、前記
圧電体の上部に積層される上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記ノズルを通じてインクが吐き出され
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３３】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項３２記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項３４】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項３２記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項３５】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項３２記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３６】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項３２記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項３７】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項３
２記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３８】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項３２記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項３９】平板のカバー板と；前記カバー板の上
部に積層され、一側にインクを貯蔵するリザーバが形成
されたリザーバ板と；前記リザーバ板の上部に積層さ
れ、平板の一部が上向に突出された形状であり、前記リ
ザーバ板に平行した水平面をなす上部の振動板と、前記
振動板の外側端部が下向に折曲され、前記リザーバ板と
面接触する平板の端部に一体に連結される液室壁とから
なり、前記振動板、前記液室壁及び前記リザーバ板によ
り、前記リザーバ板のリザーバより小さい断面積を有す
る液室が形成された液室部と、前記液室部に一体に連結
された突出面と前記リザーバ板との間に、前記リザーバ
板のリザーバから流入されるインクの流れを制限するた
め、前記液室部の前記液室より小さい断面積で形成さ
れ、前記液室部の前記液室と前記リザーバ板の前記リザ
ーバに前記液室より小さい断面積で連通されるリストリ
クタ部と、前記液室壁の一側から一体に延長される突出
面と前リザーバとの間に、インクを外部に吐き出すた
め、前記液室部の前記液室より小さい断面積を有するノ
ズルが形成されるノズル部とが形成された液室板と；前
記液室板の上部に突出された前記振動板に積層され、前
記振動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体
と；前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積を有し、
前記圧電体の上部に積層される上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記ノズルを通じてインクが吐き出され
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４０】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項３９記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項４１】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項３９記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項４２】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項３９記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４３】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項３９記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項４４】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項３
９記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４５】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項３９記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項４６】前記リザーバ板と前記リストリクタ板
との間には、一側に、前記リザーバ板に形成された前記
リザーバより小さい断面積を有し、前記リザーバ及び前
記液室板の前記リストリクタ部のリストリクタに同時に
連通される流路が形成された流路板が介在されることを
特徴とする請求項３９記載のインクジェットプリンタヘ
ッド。
【請求項４７】平板の一側が上向に突出された形状で
あり、上部の突出面である振動板と、前記振動板の外側
端部が下向に折曲され、平板の端部に一体に連結された
液室壁とからなり、前記振動板と前記液室壁により液室
を形成する液室部と、前記平板の他側が上向に突出され
た形状であり、突出面の内部に、前記液室より大きい断
面積を有し、インクを貯蔵するリザーバが形成されたリ
ザーバ部と、前記液室部と前記リザーバ部を一体に連結
して、前記液室部の液室と前記リザーバ部のリザーバを
連通し、前記液室より小さい断面積を有するリストリク
タが形成されたリストリクタ部と、前記液室壁の一側か
ら一体に延長される突出面の内部に、インクを外部に吐
き出すため、前記液室部の前記液室より小さい断面積を
有するノズルが形成されたノズル部とが形成され、上下
から相互対応して接合される一対の液室板と；前記一対
の液室板からそれぞれ外側に突出された前記各振動板に
積層され、前記振動板より実質的に小さいか同じ面積を
有する圧電体と；前記圧電体より実質的に小さいか同じ
面積を有し、前記圧電体の上部に積層される上部電極
と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記ノズルを通じてインクが吐き出され
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４８】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項４７記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項４９】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項４７記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項５０】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項４７記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５１】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項４７記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項５２】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項４
７記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５３】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項４７記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項５４】平板の板面の一部が下向に突出され、
一側にはインクを貯蔵するリザーバが形成され、他側に
はインクを吐き出す流路及びノズルが同時に形成される
ノズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、一側に、
前記ノズル板の前記リザーバから流入されるインクの流
れを制限するため、前記ノズル板の前記リザーバより小
さい断面積を有するリストリクタが形成され、他側に
は、前記ノズル板の流路に連通される流路が形成された
リストリクタ板と；前記リストリクタ板の前記リストリ
クタ及び前記流路を同時にカバーする平板の一部が上向
に突出された形状であり、前記リストリクタ板に平行し
た水平面をなす上部の振動板と、前記振動板の外側端部
が下向に折曲され、前記リストリクタ板と面接触する平
板の端部に一体に連結される液室壁とからなり、前記振
動板、前記液室壁及び前記リストリクタ板により、前記
リザーバ板の前記リザーバより小さい断面積を有し、前
記リストリクタ板に形成された前記リストリクタ及び前
記流路に同時に連通される液室を有する液室部が一体に
形成された液室板と；前記液室板の上部に突出された前
記振動板に積層され、前記振動板より実質的に小さいか
同じ面積を有する圧電体と；前記圧電体より実質的に小
さいか同じ面積を有し、前記圧電体の上部に積層される
上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記流路と前記ノズルを通じてインクが
吐き出されることを特徴とするインクジェットプリンタ
ヘッド。
【請求項５５】前記ノズル板は金属薄板であることを
特徴とする請求項５４記載のインクジェットプリンタヘ
ッド。
【請求項５６】前記ノズル板はプレス加工により成形
されることを特徴とする請求項５４記載のインクジェッ
トプリンタヘッド。
【請求項５７】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項５４記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項５８】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項５４記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項５９】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項５４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項６０】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項５４記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項６１】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項５
４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項６２】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項５４記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項６３】前記ノズル板と前記リストリクタ板と
の間には、一側に、前記ノズル板に形成された前記リザ
ーバより小さい断面積を有し、前記リザーバ及び前記リ
ストリクタ板の前記リストリクタに同時に連通される流
路が形成され、他側には、前記ノズル板に形成される流
路と同じ面積を有し、前記ノズル板の流路及び前記リス
トリクタ板の流路に同時に連通される流路が形成された
流路板が介在されることを特徴とする請求項５４記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項６４】平板の板面の一部が下向に突出され、
一側にはインクを貯蔵するリザーバが形成され、他側に
はインクを吐き出す流路及びノズルが同時に形成される
ノズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、平板の一
部が上向に突出された形状であり、前記ノズル板に平行
した水平面をなす上部の振動板と、前記振動板の外側端
部が下向に折曲され、前記ノズル板と面接触する平板の
端部に一体に連結される液室壁とからなり、前記振動
板、前記液室壁及び前記ノズル板により、一側に、前記
ノズル板の流路に連通され、前記ノズル板のリザーバよ
り小さい断面積を有する液室が形成された液室部と、前
記液室部に一体に連結された突出面と前記ノズル板間に
形成され、前記ノズル板のリザーバから流入されるイン
クの流れを制限するため、前記液室部の前記液室より小
さい断面積で形成され、前記液室部の前記液室と前記ノ
ズル板の前記リザーバに前記液室より小さい断面積で連
通されるリストリクタ部とが形成される液室板と；前記
液室板の上部に突出された前記振動板に積層され、前記
振動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体
と；前記圧電体より実質的に小さいか同じ面積を有し、
前記圧電体の上部に積層される上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記流路と前記ノズルを通じてインクが
吐き出されることを特徴とするインクジェットプリンタ
ヘッド。
【請求項６５】前記ノズル板は金属薄板であることを
特徴とする請求項６４記載のインクジェットプリンタヘ
ッド。
【請求項６６】前記ノズル板はプレス加工により成形
されることを特徴とする請求項６４記載のインクジェッ
トプリンタヘッド。
【請求項６７】前記液室板は厚さ６〜５００μｍの薄
板であることを特徴とする請求項６４記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。
【請求項６８】前記液室板は金属薄板であることを特
徴とする請求項６４記載のインクジェットプリンタヘッ
ド。
【請求項６９】前記振動板の上部には前記振動板の上
部面より実質的に小さいか同じ面積の下部電極が積層さ
れ、その上部に圧電体が積層されることを特徴とする請
求項６４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項７０】前記液室板はプレス加工により成形さ
れることを特徴とする請求項６４記載のインクジェット
プリンタヘッド。
【請求項７１】前記液室板には、上部に突出される振
動板が複数の列で形成されることを特徴とする請求項６
４記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項７２】前記液室板の液室壁間には衝撃吸収用
充填物が満たされることを特徴とする請求項６４記載の
インクジェットプリンタヘッド。
【請求項７３】平板の板面の一部が下向に突出され、
一側にはインクを貯蔵するリザーバが形成され、他側に
はインクを吐き出す流路及びノズルが同時に形成される
ノズル板と；前記ノズル板の上部に積層され、一側に、
前記ノズル板のノズルに連通される流路が形成され、他
側には、前記ノズル板のリザーバに連通され、前記リザ
ーバから流入されるインクの流れを制限するため、前記
リザーバより小さい断面積を有するリストリクタが形成
されたリストリクタ板と；前記リストリクタ板の上部に
積層され、前記リストリクタ板のリストリクタ及び流路
に同時に連通され、液室壁により前記リザーバより小さ
い断面積を有する液室が形成された液室板と；前記液室
板の上部に積層され、前記液室壁及び液室の上部をカバ
ーする振動板と；前記振動板の上部に積層され、前記振
動板より実質的に小さいか同じ面積を有する圧電体と；
前記圧電体の上部に積層され、前記圧電体より実質的に
小さいか同じ面積を有する上部電極と；からなり、これにより、前記振動板と前記上部電極に電源を印加し
て前記圧電体を振動させると、インクの貯蔵された前記
リザーバから前記リストリクタを介して前記液室にイン
クが充填され、前記流路と前記ノズルを通じてインクが
吐き出されることを特徴とするインクジェットプリンタ
ヘッド。