JP2000040320A - Floating magnetic head slider - Google Patents

Floating magnetic head slider

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JP2000040320A
JP2000040320A JP20003899A JP20003899A JP2000040320A JP 2000040320 A JP2000040320 A JP 2000040320A JP 20003899 A JP20003899 A JP 20003899A JP 20003899 A JP20003899 A JP 20003899A JP 2000040320 A JP2000040320 A JP 2000040320A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a floating magnetic head slider having wear resistance and capable of preventing the occurrence of a stiction phenomenon in CSS (contact start stop). SOLUTION: In each of the sliding surfaces 2a and 2b of a magnetic head slider, a very hard protective film 3 made of ZrO2-Y2O3 is formed to have a thickness of 100 to 500 Å (preferably, 175 to 225 Å). Since the protective film 3 is thick having a thickness of 100 Å or higher, wear resistance is improved by a corresponding amount. Since the very hard protective film 3 made of ZrO2-Y2O3 is formed to have a thickness of 100 to 500 Å, the surface roughness (rugged surface) of the sliding surface is maintained and thus advantageous for preventing a stiction phenomenon (the occurrence of a stiction phenomenon is suppressed).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドの特性に
影響を及ぼすことなく耐摩耗性の向上をするとともにス
ティクション現象の発生を防止した浮動型磁気ヘッドス
ライダに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a floating type magnetic head slider which has improved abrasion resistance without affecting the characteristics of a magnetic head and prevents the occurrence of a stiction phenomenon.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハ−ドディスクドライブの浮動型磁気ヘ
ッドとして現在では構造が簡単で、かつ、安価であると
いう理由からコンタクト/スタ−ト、ストップ方式が多
く採用されている。このコンタクト/スタ−ト、ストッ
プ方式はディスクが高速回転しているときに磁気ヘッド
がディスク表面から0.1 から0.3 μm 程度の間隙をあけ
て浮上させ、ディスクの回転が停止されたときに磁気ヘ
ッドの摺動面をディスク表面に押し付けるようにして停
止状態を維持する(以下これをCSSという)ようにし
ている。したがって、ディスクの起動および停止時には
ディスクと磁気ヘッドとの間に大きな摩擦力が発生する
ことになる。このときの摩擦係数は通常1以下にするこ
とが望まれている。
2. Description of the Related Art As a floating magnetic head for a hard disk drive, a contact / start / stop method is often used at present because of its simple structure and low cost. In the contact / start / stop method, when the disk is rotating at a high speed, the magnetic head is lifted from the disk surface with a gap of about 0.1 to 0.3 μm, and when the rotation of the disk is stopped, the magnetic head is lifted. The stopped state is maintained by pressing the sliding surface against the disk surface (hereinafter referred to as CSS). Therefore, when starting and stopping the disk, a large frictional force is generated between the disk and the magnetic head. It is generally desired that the coefficient of friction at this time be 1 or less.

【0003】従来の磁気ヘッドとディスク界面の耐摩耗
対策は、磁気ディスク表面にSiO 2 あるいはグラファ
イトの高硬度膜を形成したものや、潤滑膜を塗布したも
のがほとんどであり、磁気ヘッドに対してはほとんど耐
摩耗対策が講じられていないのが実情である。スライダ
に耐摩耗対策が施されているものとして特開昭61-61163
号公報に開示されているものとして、スライダの表面に
炭素系保護膜を付けたもの、あるいは特公平2-276074号
公報にはスライダの表面を凹凸にして摩擦係数を低減し
たものが開示されている。
[0003] Wear resistance of the interface between the conventional magnetic head and the disk
The countermeasure is to use SiO Two Or grapher
When a hard film is formed on a light-
In most cases, and hardly
Actually, no measures have been taken against wear. Slider
Japanese Patent Application Laid-open No. 61-61163
On the surface of the slider as disclosed in
With carbon-based protective film, or Japanese Patent Publication No. 2-276074
In the official gazette, the surface of the slider is made uneven to reduce the coefficient of friction.
Are disclosed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来例において、
先ず耐摩耗対策がなされているディスクの硬度に対して
耐摩耗対策がなされていない磁気ヘッドの硬度は低くい
ものとなる。このように両者の硬度差が著しい場合には
硬度が低い磁気ヘッドがディスク面によって削られて研
磨粒が発生するので摩擦係数が大きくなり、ひいてはヘ
ッドクラッシュに至る可能性が大きいという問題があ
る。また凹凸面を設けて摩擦面積を少なくするようにし
ても、ディスク面の硬度と凹凸面の硬度との間に著しい
差がある場合には上記グラファイトの場合と同様の問題
がある。
In the above conventional example,
First, the hardness of a magnetic head that has not been subjected to wear resistance is lower than the hardness of a disk that has been subjected to wear resistance. As described above, when the hardness difference between the two is remarkable, there is a problem that a magnetic head having a low hardness is shaved by the disk surface to generate abrasive grains, so that a friction coefficient is increased, and a head crash is more likely to occur. Even if the friction area is reduced by providing an uneven surface, if there is a remarkable difference between the hardness of the disk surface and the hardness of the uneven surface, there is a problem similar to the case of graphite.

【0005】次にフェライトあるいはカルシウムを用い
たスライダの摺動面については以下のような問題があ
る。すなわち、磁気ヘッドの傾向としては記録密度の向
上とともにヘッドの低浮上化、および金属系のスパッタ
ディスクを採用するようになってきている。これによ
り、スライダの摺動面の耐摩耗性の向上がますます必要
になってきているのが実情である。そこでフェライトあ
るいはカルシウム製のスライダについて実験したとこ
ろ、CSSの回数が数千から数万回で摩擦係数が1以上
になり、ディスク表面に傷を付け、またヘッドクラッシ
ュを起こしてドライブとしての信頼性の点で問題がある
ことが確認された。
[0005] Next, the sliding surface of a slider using ferrite or calcium has the following problems. That is, the tendency of magnetic heads is to increase the recording density, lower the flying height of the head, and adopt a metal-based sputter disk. As a result, the wear resistance of the sliding surface of the slider has been increasingly required. Therefore, when we experimented on sliders made of ferrite or calcium, when the number of CSSs was several thousand to tens of thousands, the friction coefficient became 1 or more, which scratched the disk surface and caused a head crash, resulting in the reliability as a drive. It was confirmed that there was a problem in this respect.

【0006】次にスライダの摺動面とディスクとの間の
摩擦係数を小さくする対策として、両者を鏡面にするこ
とが考えられるが、コンタクト/スタ−ト、ストップ方
式では、ディスク表面上に磁気ヘッドを押し付けるよう
にして停止するので、この停止時間が長期にわたるとき
には互いに吸着しあう、いわゆるスティクション現象が
生じ、ドライブ起動時に磁気ヘッドを支持しているフレ
クシャ−が変形したり、ディスク表面に傷を付けるとい
う問題がある。
In order to reduce the coefficient of friction between the sliding surface of the slider and the disk, it is conceivable that both surfaces are mirror-finished. In the contact / start and stop systems, a magnetic surface is formed on the disk surface. Since the head is stopped by pressing the head, when the stop time is prolonged, a so-called stiction phenomenon occurs, in which the flexure supporting the magnetic head is deformed when the drive is started, or the disk surface is damaged. There is a problem of attaching.

【0007】上記スティクション現象を防止するように
したものとして、現在ではドライブ停止時に磁気ヘッド
をディスクから持ち上げる、いわゆるヘッドロ−ディン
グ機構があるが、このヘッドロ−ディング機構は構造が
複雑であり、かつ、高価であるという問題がある。ま
た、最近では小径のハ−ドディスクドライブがラップト
ップコンピュ−タにも搭載されるようになってきてき
る。この場合にはこれまでのディスクトップ機とは異な
り、機械的により過酷な条件のもとで磁気ヘッドが使用
される可能性があり、また節電の面からデ−タをアクセ
スしていない時にはディスクの回転を停止しておく、い
わゆるスリ−プモ−ドの採用により、CSSの回数が増
える傾向にあるのが実情である。
In order to prevent the above stiction phenomenon, there is currently a so-called head loading mechanism that lifts the magnetic head from the disk when the drive is stopped. However, this head loading mechanism has a complicated structure and However, there is a problem that it is expensive. Recently, small-diameter hard disk drives have been mounted on laptop computers. In this case, unlike conventional desktop machines, the magnetic head may be used under more severe mechanical conditions, and when data is not being accessed from the viewpoint of power saving, the disk may be used. The fact is that the number of CSSs tends to increase due to the adoption of the so-called sleep mode in which the rotation of the CSS is stopped.

【0008】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、ラップトップコンピュ−タのように過酷な条件で
の使用にも耐える耐摩耗性を有するとともに、CSSに
対してもスティクション現象が発生しない浮動型磁気ヘ
ッドスライダを提供するものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has abrasion resistance enough to be used under severe conditions such as a laptop computer, and has a stiction phenomenon with respect to CSS. The object of the present invention is to provide a floating magnetic head slider that does not generate any magnetic field.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、コンタクト/
スタ−ト、ストップ方式の浮動型磁気ヘッドにおいて、
該浮動型磁気ヘッドのスライダの摺動面にZrO2 −Y
23 の系からなる高硬度の保護膜を 100〜500 オング
ストロームの厚みで、好ましくは 175〜225 オングスト
ロームの厚みで形成したことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a contact /
In a start / stop type floating magnetic head,
ZrO 2 -Y is applied to the sliding surface of the slider of the floating magnetic head.
A high-hardness protective film made of a 2 O 3 system is formed to have a thickness of 100 to 500 Å, preferably 175 to 225 Å.

【0010】[0010]

【作用】本発明は浮動型磁気ヘッドのスライダの摺動面
にZrO2 −Y23 の系からなる高硬度の保護膜を 1
00〜500 オングストロームの厚みで形成し、CSSの実
験をした結果耐摩耗性に優れ、膜厚による磁気ヘッドの
浮上量および磁気ヘッドの電磁変換特性への影響が少な
く、かつ、スティクション現象が発生しない浮動型磁気
ヘッドスライダを得ることができることを確認した。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention a protective layer of high hardness made of a system of ZrO 2 -Y 2 O 3 on the sliding surface of the slider of the floating magnetic head 1
Formed with a thickness of 00 to 500 Angstroms, and conducted CSS experiments. As a result, it has excellent wear resistance. The film thickness has little effect on the flying height of the magnetic head and the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head, and the stiction phenomenon occurs. It has been confirmed that a floating magnetic head slider can be obtained.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に基づいて説明する。図1ないし図3に各種磁気ヘッ
ドを示す。この磁気ヘッド1において2a、2b、2cは摺動
面であり、この摺動面2a、2b、2cに保護膜3(斜線の部
分)を施して実験を行なった。実験の諸元は次の通りで
ある。先ず、摺動面2a、2b、2cの表面粗さは 100ないし
500オングストロ−ムのものを使用した。膜の原料とし
てSiO2 、ZrO2 −Y2 3 およびMgO−SiO
2 の純度の高いものを使用し、それぞれの原料について
膜を形成した。この膜の形成は公知のスパッタ(真空成
膜技術)により行なった。そして膜の厚さは摺動面2a、
2b、2cの面粗さである 100ないし 500オングストロ−ム
の範囲で行なった。この場合に摺動面の面粗さは成膜前
後で変わらないことから、摺動面がスティクションに対
して有利な面粗さを成膜後も維持されていることが確認
された。CSSの条件としては図4に示すように磁気ヘ
ッド加重6.5 グラム、磁気ヘッドとディスクとの間の相
対速度を毎秒9メ−トル、ディスクの回転立ち上がり時
間8秒、定速回転時間2秒、回転立ち下がり時間8秒、
停止時間2秒である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
Explanation will be given based on the plane. FIGS. 1 to 3 show various magnetic heads.
Indicates In this magnetic head 1, 2a, 2b, and 2c slide.
The sliding surface 2a, 2b, 2c is covered with a protective film 3 (shaded area).
Min) to perform the experiment. The specifications of the experiment are as follows
is there. First, the surface roughness of the sliding surfaces 2a, 2b, 2c is 100 to
 Those having a thickness of 500 angstroms were used. As a raw material for membranes
T SiOTwo , ZrOTwo -YTwo O Three And MgO-SiO
Two Using high purity of each raw material
A film was formed. This film is formed by known sputtering (vacuum formation).
Membrane technology). And the thickness of the film is the sliding surface 2a,
2b, 2c surface roughness of 100 to 500 angstroms
Performed within the range of In this case, the surface roughness of the sliding surface is
Since the sliding surface does not change later,
It is confirmed that advantageous surface roughness is maintained after film formation
Was done. As a condition of CSS, as shown in FIG.
Head weight 6.5 g, phase between magnetic head and disk
9 meters per second for speed, when the disk starts to rotate
8 seconds, constant speed rotation time 2 seconds, rotation fall time 8 seconds,
The stop time is 2 seconds.

【0012】図5に実験結果を示す。この図5に示す実
験結果は膜の原料としてSiO2 を使用し膜の厚さをゼ
ロのものから 230オングストロ−ム、 450オングストロ
−ムに変化させたときのCSSの回数に対する静摩擦係
数の影響を示す。この図5から明らかな通りCSSの回
数に対して膜の厚さが厚い程静摩擦係数の上昇割合が少
ないことが解る。このことからSiO2 はCSSに対し
て耐摩耗性に優れていることが確認され、かつ、膜の厚
さが厚い程耐摩耗性がよいことが確認される。
FIG. 5 shows the experimental results. The experimental results shown in FIG. 5 show the effect of the coefficient of static friction on the number of CSSs when the thickness of the film was changed from zero to 230 angstroms and 450 angstroms using SiO 2 as the raw material of the film. Show. As is clear from FIG. 5, it can be seen that the rate of increase in the coefficient of static friction decreases as the thickness of the film increases with respect to the number of CSSs. This confirms that SiO 2 has excellent wear resistance with respect to CSS, and that the thicker the film, the better the wear resistance.

【0013】次に図6に示すように磁気ヘッドの特性に
ついて実験を行なった。ここに示す実験結果はSiO2
の膜厚さがゼロのものと 225オングストロ−ムのものを
比較して示す。先ず、磁気ヘッドの浮上量についてみる
と、成膜をしたものは膜厚の分だけ実効浮上量が大きく
なっている。ここで実効浮上量とはディスクの表面から
スライダの下地表面までの距離であり、実際に電磁変換
特性に影響する値である。次に磁気ヘッドの電磁変換特
性についてみると、膜を施したもは出力、オ−バライト
(前に書き込まれているデ−タを消しながら新たなデ−
タを書き込む特性)特性ともにわずかに減少しているこ
とが観察されるが、この程度の減少では実用上問題はな
い。
Next, an experiment was conducted on the characteristics of the magnetic head as shown in FIG. The experimental results shown here are for SiO 2
Are compared with those having a film thickness of zero and 225 angstroms. First, with regard to the flying height of the magnetic head, the effective flying height of the formed film is increased by the thickness. Here, the effective flying height is a distance from the surface of the disk to the base surface of the slider, and is a value that actually affects the electromagnetic conversion characteristics. Next, regarding the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head, the output and overwrite (new data while erasing previously written data are erased) are obtained with the film.
It is observed that both the characteristics and the characteristics of writing data slightly decrease, but such a decrease does not cause any practical problem.

【0014】次にスティクションについて実験を行なっ
た。この実験は図5においてSiO 2 の膜厚さが 230オ
ングストロ−ムのものと 450オングストロ−ムのものに
ついて、磁気ヘッドを24時間ディスクの表面に放置し、
放置する前と放置した後の図4に示す回転立ち上がり時
における摩擦係数を測定した。その結果、放置前と放置
後における上記摩擦係数にはほとんど変化が見られなか
った。この実験によりSiO2 の膜を上記の厚さに施し
てもスライダ摺動面の凹凸面が維持されていることを意
味し、かつ、SiO2 がスティクションに対して有効で
あることを意味する。
Next, an experiment was performed on stiction.
Was. This experiment was carried out in FIG. Two Has a thickness of 230 mm
And 450 Angstrom
Then, leave the magnetic head on the surface of the disk for 24 hours,
At the start of rotation shown in Fig. 4 before and after standing
Was measured. As a result, before and after leaving
The above-mentioned coefficient of friction hardly changes afterwards
Was. This experiment showed that SiOTwo Of the above thickness
This means that the uneven surface of the slider sliding surface is maintained
Taste and SiOTwo Is valid for stiction
It means there is.

【0015】次に図5に示した実験において、実際に観
察したところ次の通りであった。先ず、SiO2 の膜を
施さない磁気ヘッドについてはCSSが二万回で摩擦係
数が1以上になり、ディスクおよびスライダの表面に傷
が発生しているのが観察できた。また、膜厚 230オング
ストロ−ムのものはCSSが二万回で摩擦係数が0.25、
450オングストロ−ムのものは0.2 以下であり、いずれ
もディスクおよびスライダ表面の傷は観察されなかっ
た。ZrO2 −Y23 およびMgO−SiO2の膜に
ついてもほぼ同様の結果が得られた。
Next, the actual observation in the experiment shown in FIG. 5 was as follows. First, with respect to the magnetic head without the SiO 2 film, it was observed that the coefficient of friction became 1 or more when CSS was 20,000 times and scratches were generated on the surfaces of the disk and the slider. In addition, the one with a thickness of 230 Å has a CSS of 20,000 times and a coefficient of friction of 0.25,
In the case of 450 angstroms, the value was 0.2 or less, and no scratch was observed on the disk or slider surface. Almost the same results were obtained for the films of ZrO 2 —Y 2 O 3 and MgO—SiO 2 .

【0016】以上の実験結果を総合的にまとめると、S
iO2 は膜の形成が安定し、かつ、耐摩耗性に優れてい
るということができる。また、このように耐摩耗性に優
れ、かつ、スティクション現象が発生しないことから過
酷な条件で使用されるラップトップコンピュ−タの浮動
型磁気ヘッドスライダの耐摩耗保護膜として適している
ということができる。次に膜厚さは磁気ヘッドの浮上
量、したがって電磁変換特性に影響するので、適切な膜
の厚さが存在する。
The above experimental results can be summarized as follows.
It can be said that iO 2 has stable film formation and excellent abrasion resistance. In addition, since it is excellent in abrasion resistance and does not cause a stiction phenomenon, it is suitable as a wear-resistant protective film for a floating magnetic head slider of a laptop computer used under severe conditions. Can be. Next, since the film thickness affects the flying height of the magnetic head and thus the electromagnetic conversion characteristics, an appropriate film thickness exists.

【0017】すなわち、図6から解るように磁気ヘッド
の低浮上化、記録および再生信号特性の観点から膜の厚
さは薄い方がよく、一方図5でも解るように耐摩耗性の
観点からは膜の厚さが厚い程よい。実験の結果この両者
を勘案して膜厚さは 200オングストロ−ムを中心として
その前後25オングストロ−ム(すなわち、 175〜225オ
ングストローム)が適している。
That is, as shown in FIG. 6, the thinner the film, the better from the viewpoint of lower flying height of the magnetic head and the characteristics of recording and reproduction signals. On the other hand, as shown in FIG. The thicker the film, the better. As a result of the experiment, in consideration of these two factors, it is appropriate that the film thickness is around 200 angstroms and around 25 angstroms (that is, 175 to 225 angstroms).

【0018】以上は膜形成材としてSiO2 について示
したが、ZrO2 −Y23 およびMgO−SiO2
ついても同様の実験をした結果ほぼ同一の結果を得た。
また、本実施の形態としては図1ないし図3に摺動面の
全面に高硬度保護膜3を施したものについて示したが、
摺動面に部分的に高硬度保護膜を施しても同様の結果が
得られることも実験により確認されている。また、磁気
ヘッドのギャップを同一材料で制作することにより磁気
ヘッドのコストを低減することが可能になる。
Although the above description has been made with respect to SiO 2 as a film-forming material, similar experiments were performed on ZrO 2 —Y 2 O 3 and MgO—SiO 2 , and almost the same results were obtained.
As the present embodiment, FIGS. 1 to 3 show the case where the high hardness protective film 3 is applied to the entire sliding surface.
Experiments have also confirmed that the same result can be obtained even when a high hardness protective film is partially applied to the sliding surface. Further, by manufacturing the gap of the magnetic head with the same material, the cost of the magnetic head can be reduced.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上詳述した通り本発明によれば、浮動
型磁気ヘッドのスライダの摺動面にZrO2 −Y23
の系からなる高硬度の保護膜を 100〜500 オングストロ
ームの厚みで形成し、この保護膜を500 オングストロー
ム以下として薄いものにしているので、その分、出力及
びオーバライト特性等の電磁変換特性の向上を図ること
ができる。また、スライダの摺動面にZrO2 −Y2
3 の系からなる高硬度の保護膜を100〜500 オングスト
ロームの厚みで形成し、 100オングストローム以上とし
て厚くしており、その分、耐摩耗性の向上を図ることが
できる。また、このように耐摩耗性の向上が図れること
により過酷な条件で使用することが可能になり、これに
より本発明の浮動型磁気ヘッドをラップトップコンピュ
ータに容易に適用できる。さらに、スライダの摺動面に
ZrO2 −Y23 の系からなる高硬度の保護膜を 100
〜500 オングストロームの厚みで形成したので、摺動面
の面粗さ(凹凸面)が維持されてスティクション現象に
対して有利になる(スティクション現象の発生を抑制で
きる)。この場合、保護膜を 175〜225 オングストロー
ムとすることにより、スティクション現象の発生をより
抑制できると共に、保護膜が225 オングストローム以下
となって、保護膜が更に薄くなり、その分、前記電磁変
換特性の向上を図ることができ、さらに、保護膜が175
オングストローム以上となって、耐摩耗性をより向上で
きる。
As described above in detail, according to the present invention, ZrO 2 -Y 2 O 3 is provided on the sliding surface of the slider of the floating magnetic head.
A high-hardness protective film consisting of the above-mentioned system is formed with a thickness of 100 to 500 Å, and this protective film is thinner than 500 Å, which improves the electromagnetic conversion characteristics such as output and overwrite characteristics. Can be achieved. In addition, ZrO 2 —Y 2 O
A high hardness protective film made of the system 3 is formed with a thickness of 100 to 500 angstroms, and the thickness is increased to 100 angstroms or more, so that the wear resistance can be improved accordingly. Further, by improving the wear resistance in this way, it is possible to use the magnetic head under severe conditions, so that the floating magnetic head of the present invention can be easily applied to a laptop computer. Further, a high hardness protective film made of a ZrO 2 —Y 2 O 3 system is coated on the sliding surface of the slider.
Since it is formed to have a thickness of about 500 Å, the surface roughness (uneven surface) of the sliding surface is maintained, which is advantageous for the stiction phenomenon (the generation of the stiction phenomenon can be suppressed). In this case, by setting the protective film to 175 to 225 angstroms, the stiction phenomenon can be further suppressed, and the protective film is reduced to 225 angstroms or less, and the protective film is further thinned. And the protective film is 175
Angstrom or more, the wear resistance can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】コンポジットタイプの磁気ヘッドを斜視図で示
した説明用図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a perspective view of a composite type magnetic head.

【図2】MTCタイプの磁気ヘッドを斜視図で示した説
明用図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an MTC type magnetic head in a perspective view.

【図3】モノリシックタイプの磁気ヘッドを斜視図で示
した説明用図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a monolithic type magnetic head in a perspective view.

【図4】本発明の実験で使用したCSS条件を示す線図
である。
FIG. 4 is a diagram showing CSS conditions used in experiments of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態を示す線図である。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施の形態を示す図表である。FIG. 6 is a table showing an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ヘッド 2a、2b、2c 摺動面 3 高硬度保護膜 1 Magnetic head 2a, 2b, 2c Sliding surface 3 High hardness protective film

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コンタクト/スタ−ト、ストップ方式の
浮動型磁気ヘッドにおいて、該浮動型磁気ヘッドのスラ
イダの摺動面にZrO2 −Y23 の系からなる高硬度
の保護膜を 100〜500 オングストロームの厚みで、好ま
しくは 175〜225 オングストロームの厚みで形成したこ
とを特徴とする浮動型磁気ヘッドスライダ。
In a floating magnetic head of a contact / start / stop type, a high-hardness protective film made of a ZrO 2 —Y 2 O 3 system is formed on a sliding surface of a slider of the floating magnetic head. A floating magnetic head slider formed to have a thickness of about 500 Å, preferably 175 to 225 Å.
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