JP2000031385A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はデイジタル・アナロ
グ変換器における半導体装置に関するもので、特に安定
した高精度の電流出力特性を実現する方法に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device in a digital / analog converter, and more particularly to a method for realizing a stable and accurate current output characteristic.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の一般的なMOSトランジスタを複
数並べて出力電流を生成する電流加算型デイジタル・ア
ナログ変換器のレイアウトパターン構成図を図4に示
す。 従来、後に図2の基本型MOSトランジスタのレ
イアウトパターン構成図で説明する基本型MOSトラン
ジスタを並列にMOSトランジスタ404、405、4
06のようにして配置し、それぞれのMOSトランジス
タの各ソースにはソース電位が導体配線層B402から
ホールを通じて導体配線層A[1]409を通りソース
コンタクトによって接続される。MOSトランジスタ4
04、405、406の各ドレインは、導体配線層A
[2]403にドレインコンタクトを通じて接続され
る。MOSトランジスタ404、405、406の各ゲ
ートは導体配線層A[3]401にゲートコンタクトを
通じて接続され、任意の一定バイアスが印可される。M
OSトランジスタ404上部とMOSトランジスタ40
6下部には電流密度[1]407が、MOSトランジス
タ405上下部には電流密度[2]408がそれぞれの
トランジスタの配置によって発生するが、異なる電流密
度となる。図4のように例えば縦に3段積み重ねたとす
る。1つのMOSトランジスタの片側1つのソースに電
流が「1」流れるとすると、1番目のMOSトランジス
タ404上部のソースに「1」、下部のソースに「1」
及び2番目のMOSトランジスタ405上部のソースに
「1」、下部のソースに「1」及び3番目のMOSトラ
ンジスタ406上部のソースに「1」、下部のソースに
「1」となるので、1番目のMOSトランジスタ404
上部ソース付近と3番目のMOSトランジスタ406下
部ソース付近の「1」に対して、2番目のMOSトラン
ジスタ405上部のソース付近は、1番目のMOSトラ
ンジスタ404下部ソース付近の電流「1」と2番目の
MOSトランジスタ405上部のソース付近の電流
「1」が加算されて電流が「2」となる。また、同様に
して2番目のMOSトランジスタ405下部のソース付
近は、3番目のMOSトランジスタ406上部ソース付
近の電流「1」と2番目のMOSトランジスタ405下
部のソース付近の電流「1」が加算されて電流が「2」
流れる為にMOSトランジスタの配置場所による電流密
度の違いが表れる。電流密度が濃い部分(電流「2」が
流れる部分)では電圧降下が発生し、電流密度が薄い部
分(電流「1」が流れる部分)では電流密度が濃い部分
と比べて電圧降下が発生しない。このようにトランジス
タの配置場所による電圧降下の発生の有無が起こると各
トランジスタのソース電位がそれぞれ異なってしまう、
すなわちソース電位が異なるトランジスタにおいて実効
ゲート電圧が異なる為単位トランジスタ毎に流れるソー
ス・ドレイン間電流が異なる。2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a layout pattern configuration diagram of a current addition type digital / analog converter which generates an output current by arranging a plurality of conventional general MOS transistors. Conventionally, basic MOS transistors, which will be described later with reference to the layout pattern configuration diagram of the basic MOS transistors in FIG.
06, the source potential of each MOS transistor is connected from the conductive wiring layer B402 to the source via the conductive wiring layer A [1] 409 via a hole and a source contact. MOS transistor 4
04, 405 and 406 are connected to the conductor wiring layer A
[2] Connected to drain 403 through drain contact. Each gate of the MOS transistors 404, 405, and 406 is connected to the conductor wiring layer A [3] 401 through a gate contact, and an arbitrary constant bias is applied. M
OS transistor 404 upper part and MOS transistor 40
6, a current density [1] 407 is generated below the MOS transistor 405, and a current density [2] 408 is generated above and below the MOS transistor 405 depending on the arrangement of the transistors. For example, as shown in FIG. 4, it is assumed that three stages are vertically stacked. Assuming that a current “1” flows to one source on one side of one MOS transistor, “1” is applied to the upper source of the first MOS transistor 404 and “1” is applied to the lower source.
Since the upper source of the second MOS transistor 405 is “1”, the lower source is “1”, the upper source of the third MOS transistor 406 is “1”, and the lower source is “1”. MOS transistor 404
In contrast to “1” near the upper source and near the lower source of the third MOS transistor 406, near the source above the second MOS transistor 405, the current “1” near the lower source of the first MOS transistor 404 and the second The current “1” near the source above the MOS transistor 405 is added to make the current “2”. Similarly, near the source below the second MOS transistor 405, the current “1” near the source above the third MOS transistor 406 and the current “1” near the source below the second MOS transistor 405 are added. The current is "2"
Since the current flows, a difference in current density depending on the location of the MOS transistor appears. A voltage drop occurs at a portion where the current density is high (a portion where the current “2” flows), and no voltage drop occurs at a portion where the current density is low (a portion where the current “1” flows) as compared with the portion where the current density is high. As described above, when the presence or absence of a voltage drop due to the location of the transistor occurs, the source potential of each transistor differs,
That is, since the transistors having different source potentials have different effective gate voltages, the source-drain currents flowing in the unit transistors are different.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】トランジスタを複数並
列に配置した時には、トランジスタの配置場所によって
単位トランジスタの出力電流能力がそれぞれ異なる為に
所望のデイジタル・アナログ変換器電流出力を得られな
い事例が発生している。本発明は前記のような複数のト
ランジスタを並列に並べた時に全トランジスタのソース
付近の電流密度を揃えて、ソース電位を均一に保ち、単
位トランジスタの飽和電流を全て同じにしようとするも
ので、電流加算型のデイジタル・アナログ変換器の電流
出力を高精度に実現することを目的とする。When a plurality of transistors are arranged in parallel, a desired digital-analog converter current output cannot be obtained because the output current capabilities of the unit transistors differ depending on the location of the transistors. are doing. The present invention is to arrange the current density near the source of all the transistors when arranging a plurality of transistors in parallel as described above, keep the source potential uniform, and make the saturation currents of the unit transistors all the same, It is an object of the present invention to realize a current output of a current addition type digital / analog converter with high accuracy.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明による半導体装置
によれば、薄い酸化膜上に該薄い酸化膜より長い2本の
平行した導電性のゲート電極を有し、2本の該導電性の
ゲート電極を電気的に厚い酸化膜上で接続し、該ゲート
電極の両外側をソースとし、該ゲート電極の内側に2つ
の該ソースに対応するドレインを共通で1つ具備し、ソ
ース(S)−ドレイン(D)−ソース(S)となるMO
S構造のトランジスタ(以下MOSトランジスタとす
る)1を複数個ゲート電極が平行になるように並列に配
置し、各ゲート、各ソース、各ドレインと導体層配線と
の接続を目的としたゲートコンタクトと、ソースコンタ
クトと、ドレインコンタクトと、各ソースを覆うように
してソース電位を与える導体配線層1と、複数の該MO
Sトランジスタ1のゲート電極に一定バイアスを与える
導体配線層2と、複数の該MOSトランジスタ1のドレ
インから出力電流を取り出す導体配線層3と、複数の該
MOSトランジスタ1と同一同構造のMOSトランジス
タ2を該MOSトランジスタ1を複数個並列配置した両
端に配置した半導体装置において、該MOSトランジス
タ2の各ゲート、各ソースには複数並列配置した該MO
Sトランジスタ1の各ゲート、各ソースと同じ電位を与
え、該MOSトランジスタ2の各ドレインを接地電位に
接続する導体配線層4を具備したことを特徴とする。According to the semiconductor device of the present invention, two parallel conductive gate electrodes longer than the thin oxide film are provided on the thin oxide film, and the two conductive The gate electrode is electrically connected on a thick oxide film, the outside of the gate electrode is used as a source, and two drains corresponding to the two sources are commonly provided inside the gate electrode. -MO as drain (D)-source (S)
A plurality of S-structure transistors (hereinafter referred to as MOS transistors) 1 are arranged in parallel so that gate electrodes are parallel to each other, and each gate, each source, each drain and a gate contact for the purpose of connection with the conductor layer wiring. , A source contact, a drain contact, a conductor wiring layer 1 for applying a source potential so as to cover each source,
A conductor wiring layer for applying a constant bias to the gate electrode of the S transistor, a conductor wiring layer for extracting output current from the drains of the plurality of MOS transistors, and a MOS transistor having the same structure as the plurality of MOS transistors; In a semiconductor device in which a plurality of MOS transistors 1 are arranged in parallel, both gates and sources of the MOS transistor 2 are connected to the plurality of MOS transistors 1 arranged in parallel.
The present invention is characterized in that a conductor wiring layer 4 for applying the same potential as each gate and each source of the S transistor 1 and connecting each drain of the MOS transistor 2 to the ground potential is provided.
【0005】[0005]
【作用】このように高い精度を要求されるデイジタル・
アナログ変換器では、デイジタル・アナログ変換器出力
電流の基本となる単位トランジスタの飽和電流が極めて
重要である。デイジタル・アナログ変換器出力電流を得
る為に電流生成する複数の並列に並んだトランジスタ1
の両端に、該トランジスタ1と同一同構造のトランジス
タ2を配置し、更にその該トランジスタ2に対してデイ
ジタル・アナログ変換器出力電流として使用しなくとも
電流を該トランジスタ1と同じだけ流すことにより、複
数ある各トランジスタのソース付近の電流密度がどのト
ランジスタも等しくなるので所望の電流を該トランジス
タ1から取り出すことが可能になり精度の高いデイジタ
ル・アナログ変換器出力を得ることができる。[Function] In this way, digital
In the analog converter, the saturation current of the unit transistor, which is the basis of the output current of the digital-analog converter, is extremely important. A plurality of parallel-arranged transistors 1 for generating current to obtain the output current of the digital-to-analog converter
A transistor 2 having the same structure as that of the transistor 1 is arranged at both ends of the transistor 1, and the same current as that of the transistor 1 is applied to the transistor 2 without using the transistor 2 as an output current of a digital / analog converter. Since the current density near the source of each of the plurality of transistors becomes equal for all the transistors, a desired current can be extracted from the transistor 1 and a digital-to-analog converter output with high accuracy can be obtained.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】以下、実施例に基づいて本発明の
動作を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the operation of the present invention will be described in detail based on embodiments.
【0007】図1は本発明の実施例でのレイアウトパタ
ーン図である。MOSトランジスタ104、105、1
06、107、108は図2で説明する基本型MOSト
ランジスタを並列にして配置し、それぞれのMOSトラ
ンジスタの各ソースにはソース電位が導体配線層B10
2からホールを通じて導体配線層A[1]112を通り
ソースコンタクトによって接続される。MOSトランジ
スタ105、106、107の各ドレインは、導体配線
層A[2]103にドレインコンタクトを通じて接続さ
れる。MOSトランジスタ104、108の各ドレイン
は導体配線層A[4]111にドレインコンタクトを通
じて接地電位に接続される。MOSトランジスタ10
4、105、106、107、108の各ゲートは導体
配線層A[3]101にゲートコンタクトを通じて接続
され、任意の一定バイアスが印可される。上下に配置し
たMOSトランジスタ104の上部、MOSトランジス
タ108下部の電流密度[1]109が発生し、デイジ
タル・アナログ変換器の出力電流を生成するMOSトラ
ンジスタ105、106、107上下部には電流密度
[1]110が発生する。電流密度[1]109と電流
密度[2]110とは異なる電流密度ではあるがMOS
トランジスタ104、108はMOSトランジスタ10
5、106、107を保護する為に配置してあるもので
あり、またソース・ドレイン間の飽和電流が流れている
ことでMOSトランジスタ105、106、107のソ
ース付近の電流密度[2]110が全て揃い、ソース電
位が均一になる為所望のデイジタル・アナログ変換器出
力電流を得ることが可能になる。FIG. 1 is a layout pattern diagram in an embodiment of the present invention. MOS transistors 104, 105, 1
Reference numerals 06, 107 and 108 arrange the basic type MOS transistors described in FIG. 2 in parallel, and the source potential of each MOS transistor is set to the conductor wiring layer B10.
2 through a hole through the conductor wiring layer A [1] 112 and connected by a source contact. The drains of the MOS transistors 105, 106, and 107 are connected to the conductor wiring layer A [2] 103 through drain contacts. The drains of the MOS transistors 104 and 108 are connected to the conductor wiring layer A [4] 111 through a drain contact to the ground potential. MOS transistor 10
The gates 4, 105, 106, 107 and 108 are connected to the conductor wiring layer A [3] 101 through gate contacts, and an arbitrary constant bias is applied. A current density [1] 109 is generated above and below the MOS transistor 104 arranged above and below the MOS transistor 108, and the current density [1] 109 is formed above and below the MOS transistors 105, 106, and 107 that generate the output current of the digital-to-analog converter. 1] 110 occurs. Although the current density [1] 109 and the current density [2] 110 are different from each other,
The transistors 104 and 108 are MOS transistors 10
5, 106, and 107, and the current density [2] 110 near the sources of the MOS transistors 105, 106, and 107 due to the flow of the saturation current between the source and the drain. Since all are uniform and the source potential becomes uniform, it is possible to obtain a desired digital-to-analog converter output current.
【0008】図2は本発明の従来例及び実施例で用いる
基本型MOSトランジスタのレイアウトパターン構成図
である。両外側にソース201を具備し、該ソースと導
体配線層A[1]208との接続を目的とした複数のソ
ースコンタクト204、中央に該ソース用の共通ドレイ
ン203を具備し、該ドレインと導体配線層A[2]2
09との接続を目的とした複数のドレインコンタクト2
05、長辺が該ソース、該ドレインより長く平行し両端
を電気的に接続した2本の導電性のゲート202を具備
し、該ゲートと導体配線層A[3]210との接続を目
的とした複数のゲートコンタクト206を具備し、導体
配線層A[1]208と導体配線層Bとの接続を目的と
した複数のホール207を具備し、該ソースにソース電
位を与える為の導体配線層A[1]208と、該ドレイ
ンから電流を取り出す為の導体配線層A[2]209
と、該ゲートに一定バイアスを与える為の導体配線層A
[3]210を具備した基本型MOSトランジスタであ
る。FIG. 2 is a layout pattern diagram of a basic type MOS transistor used in the conventional example and the embodiment of the present invention. A source 201 is provided on both outer sides, a plurality of source contacts 204 for connection between the source and the conductor wiring layer A [1] 208, and a common drain 203 for the source is provided at the center, and the drain and the conductor are provided. Wiring layer A [2] 2
Drain contacts 2 for the purpose of connection to
05, comprising two conductive gates 202 whose long sides are longer than the source and the drain and are parallel and electrically connected at both ends, for the purpose of connecting the gates to the conductor wiring layer A [3] 210 A plurality of gate contacts 206, a plurality of holes 207 for connection between the conductor wiring layer A [1] 208 and the conductor wiring layer B, and a conductor wiring layer for applying a source potential to the source. A [1] 208 and a conductor wiring layer A [2] 209 for extracting current from the drain
And a conductor wiring layer A for applying a constant bias to the gate.
[3] A basic type MOS transistor provided with 210.
【0009】図3は図1の本発明の実施例に基づいた、
レイアウトパターン構成詳細図である。図1で説明した
部分を出力電流ブロック301とする。出力電流ブロッ
ク301は横方向に複数並列に並べられ、図3中の左側
からソース電位が与えられる。電流密度は図1の本発明
と同様に流れるので、電流密度[1]303は電流密度
が濃く(電流「2」が流れる部分)、電流密度[2]3
02は電流密度が薄く(電流「1」が流れる部分)な
る。FIG. 3 is based on the embodiment of the invention of FIG.
FIG. 3 is a detailed diagram of a layout pattern configuration. The portion described with reference to FIG. A plurality of output current blocks 301 are arranged in parallel in the horizontal direction, and a source potential is applied from the left side in FIG. Since the current density flows in the same manner as in the present invention shown in FIG. 1, the current density [1] 303 has a high current density (the portion where the current “2” flows) and the current density [2] 3
02 has a low current density (portion where the current “1” flows).
【0010】[0010]
【発明の効果】以上、本発明の半導体装置によればデイ
ジタル・アナログ変換器電流出力を得る複数のMOSト
ランジスタの両端に同一同構造のMOSトランジスタを
配置し、尚且つ電流を流すことでMOSトランジスタの
ソース電位が均一化され、MOSトランジスタのソース
・ドレイン間の飽和電流が等しくなり、所望のデイジタ
ル・アナログ変換器電流出力を高精度に得ることができ
る。As described above, according to the semiconductor device of the present invention, a MOS transistor having the same structure is arranged at both ends of a plurality of MOS transistors for obtaining a current output of a digital-to-analog converter, and a current is supplied to the MOS transistor. Are equalized, the saturation current between the source and drain of the MOS transistor becomes equal, and a desired digital-to-analog converter current output can be obtained with high accuracy.
【図1】本発明の実施例の半導体装置のレイアウトパタ
ーン構成図。FIG. 1 is a layout pattern configuration diagram of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の従来例及び実施例での基本型MOSト
ランジスタのレイアウトパターン構成図。FIG. 2 is a layout pattern configuration diagram of a basic type MOS transistor in a conventional example and an example of the present invention.
【図3】本発明の実施例の半導体装置のレイアウトパタ
ーン構成詳細図。FIG. 3 is a detailed diagram of a layout pattern configuration of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention.
【図4】従来例の半導体装置のレイアウトパターン構成
図。FIG. 4 is a layout pattern configuration diagram of a conventional semiconductor device.
101・・・導体配線層A[3] 102・・・導体配線層B 103・・・導体配線層A[2] 104・・・MOSトランジスタ 105・・・MOSトランジスタ 106・・・MOSトランジスタ 107・・・MOSトランジスタ 108・・・MOSトランジスタ 109・・・電流密度[1] 110・・・電流密度[2] 111・・・導体配線層A[4] 112・・・導体配線層A[1] 201・・・MOSトランジスタのソース 202・・・MOSトランジスタのゲート 203・・・MOSトランジスタのドレイン 204・・・MOSトランジスタのソースコンタクト 205・・・MOSトランジスタのドレインコンタクト 206・・・MOSトランジスタのゲートコンタクト 207・・・ホール 208・・・導体配線層A[1] 209・・・導体配線層A[2] 210・・・導体配線層A[3] 301・・・出力電流ブロック 302・・・電流密度[1] 303・・・電流密度[2] 401・・・導体配線層A[3] 402・・・導体配線層B 403・・・導体配線層A[2] 404・・・MOSトランジスタ 405・・・MOSトランジスタ 406・・・MOSトランジスタ 407・・・電流密度[1] 408・・・電流密度[2] 409・・・導体配線層A[1] 101 conductor wiring layer A [3] 102 conductor wiring layer B 103 conductor wiring layer A [2] 104 MOS transistor 105 MOS transistor 106 MOS transistor 107 ..MOS transistor 108 ... MOS transistor 109 ... current density [1] 110 ... current density [2] 111 ... conductor wiring layer A [4] 112 ... conductor wiring layer A [1] 201: Source of MOS transistor 202: Gate of MOS transistor 203: Drain of MOS transistor 204: Source contact of MOS transistor 205: Drain contact of MOS transistor 206: Gate of MOS transistor Contact 207: Hole 208: Conductor wiring layer A [1 209 ... conductor wiring layer A [2] 210 ... conductor wiring layer A [3] 301 ... output current block 302 ... current density [1] 303 ... current density [2] 401 ..Conductor wiring layer A [3] 402 ... conductor wiring layer B 403 ... conductor wiring layer A [2] 404 ... MOS transistor 405 ... MOS transistor 406 ... MOS transistor 407 ... Current density [1] 408 ... Current density [2] 409 ... Conductor wiring layer A [1]
Claims (1)
の平行した導電性のゲート電極を有し、2本の該導電性
のゲート電極を電気的に厚い酸化膜上で接続し、該ゲー
ト電極の両外側をソースとし、該ゲート電極の内側に2
つの該ソースに対応するドレインを共通で1つ具備し、
ソース(S)−ドレイン(D)−ソース(S)となるM
OS構造のトランジスタ(以下MOSトランジスタとす
る)1を複数個ゲート電極が平行になるように並列に配
置し、各ゲート、各ソース、各ドレインと導体層配線と
の接続を目的としたゲートコンタクトと、ソースコンタ
クトと、ドレインコンタクトと、各ソースを覆うように
してソース電位を与える導体配線層1と、複数の該MO
Sトランジスタ1のゲート電極に一定バイアスを与える
導体配線層2と、複数の該MOSトランジスタ1のドレ
インから出力電流を取り出す導体配線層3と、複数の該
MOSトランジスタ1と同一同構造のMOSトランジス
タ2を該MOSトランジスタ1を複数個並列配置した両
端に配置した半導体装置において、該MOSトランジス
タ2の各ゲート、各ソースには複数並列配置した該MO
Sトランジスタ1の各ゲート、各ソースと同じ電位を与
え、該MOSトランジスタ2の各ドレインを接地電位に
接続する導体配線層4を具備する半導体装置。1. A thin oxide film having two parallel conductive gate electrodes longer than the thin oxide film, and connecting the two conductive gate electrodes on an electrically thick oxide film. , Both sides of the gate electrode as sources, and 2 inside the gate electrode.
One common drain corresponding to the two sources,
M to be source (S) -drain (D) -source (S)
A plurality of transistors 1 (hereinafter referred to as MOS transistors) having an OS structure are arranged in parallel so that gate electrodes are parallel to each other, and each gate, each source, each drain and a gate contact for the purpose of connection with a conductor layer wiring are provided. , A source contact, a drain contact, a conductor wiring layer 1 for applying a source potential so as to cover each source,
A conductor wiring layer for applying a constant bias to the gate electrode of the S transistor, a conductor wiring layer for extracting output current from the drains of the plurality of MOS transistors, and a MOS transistor having the same structure as the plurality of MOS transistors; In a semiconductor device in which a plurality of MOS transistors 1 are arranged in parallel, both gates and sources of the MOS transistor 2 are connected to the plurality of MOS transistors 1 arranged in parallel.
A semiconductor device comprising: a conductor wiring layer that applies the same potential as each gate and each source of an S transistor and connects each drain of the MOS transistor to a ground potential.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10192136A JP2000031385A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor device |
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JP10192136A JP2000031385A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor device |
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JP (1) | JP2000031385A (en) |
Cited By (1)
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JP2005130469A (en) * | 2003-09-30 | 2005-05-19 | Rohm Co Ltd | D/a converter circuit, organic el drive circuit and organic el display device |
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1998
- 1998-07-07 JP JP10192136A patent/JP2000031385A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051004 |