JP2000019563A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JP2000019563A
JP2000019563A JP10362329A JP36232998A JP2000019563A JP 2000019563 A JP2000019563 A JP 2000019563A JP 10362329 A JP10362329 A JP 10362329A JP 36232998 A JP36232998 A JP 36232998A JP 2000019563 A JP2000019563 A JP 2000019563A
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liquid crystal
layer
crystal display
display device
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Masumi Kubo
真澄 久保
Yozo Narutaki
陽三 鳴瀧
Shiyougo Fujioka
正悟 藤岡
Atsushi Ban
厚志 伴
Naoyuki Shimada
尚幸 島田
Yoji Yoshimura
洋二 吉村
Mikio Katayama
幹雄 片山
Yutaka Ishii
裕 石井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device which is good in utilization efficiency of circumferential light and backlight light and is capable of making excellent display under any light environment. SOLUTION: A plurality of gate wiring 2 and a plurality of source wiring 3 are disposed in a transparent insulative substrate so as to intersect orthogonally with each other. TFT 4 is installed near the intersect part of the wiring. A pixel electrode 6 connected to each TFT 4 consists of two regions; a region A where transmission efficiency is high and a region B where reflection efficiency is high. For example, the front surface of the former is provided with ITO 7 which is a transparent electrode and the latter with Al or Al alloy 8, respectively. Since the pixel electrodes 6 are superposed on the gate wiring 2a of the ensuring stage via a gate insulating film and, therefore, the auxiliary capacitors for use at the time of liquid crystal driving are formed in these parts at the time of driving.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、透過表示領域と反
射表示領域を備えた液晶表示装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display having a transmissive display area and a reflective display area.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、薄型で低消費電力であ
るという特長を生かして、ワードプロセッサやパーソナ
ルコンピューターなどのOA機器や、電子手帳等の携帯
情報機器、あるいは、液晶モニターを備えたカメラ一体
型VTR等に広く用いられている。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device has the advantages of being thin and of low power consumption, and is intended for office automation equipment such as a word processor and a personal computer, portable information equipment such as an electronic organizer, or a camera having a liquid crystal monitor. Widely used for body VTRs and the like.

【0003】また、上記液晶表示装置に搭載する液晶表
示パネルはCRT(ブラウン管)やEL(エレクトロル
ミネッセンス)表示とは異なり自らは発光しないため、
バックライトと呼ばれる蛍光管からなる照明装置をその
背面または側方に設置して、バックライト光の透過量を
液晶表示パネルで制御して画像表示を行なう所謂透過型
液晶表示装置がよく用いられている。
Further, unlike a CRT (CRT) or an EL (electroluminescence) display, the liquid crystal display panel mounted on the liquid crystal display device does not emit light by itself.
A so-called transmissive liquid crystal display device in which an illuminating device formed of a fluorescent tube called a backlight is installed on the back or side of the device and an image is displayed by controlling the amount of backlight light transmitted by a liquid crystal display panel is often used. I have.

【0004】しかしながら、透過型液晶表示装置では、
通常バックライトが液晶表示装置の全消費電力のうち5
0%以上を占めるため、バックライトを設けることで消
費電力が増大してしまう。
However, in a transmission type liquid crystal display device,
Normally, the backlight is 5% of the total power consumption of the liquid crystal display.
Since it occupies 0% or more, providing a backlight increases power consumption.

【0005】よって、上記透過型液晶表示装置とは別
途、戸外や常時携帯して使用する機械の多い携帯情報機
器ではバックライトの代わりに一方基板に反射板を設置
し、周囲光を反射板表面で反射させることにより表示を
行なう反射型液晶表示装置が用いられている。
Therefore, in addition to the above-mentioned transmissive liquid crystal display device, in a portable information device having many machines that are used outdoors or at all times, a reflector is provided on one substrate instead of a backlight, and ambient light is reflected on the surface of the reflector. 2. Related Art A reflection type liquid crystal display device which performs display by reflecting light from the LCD has been used.

【0006】反射型液晶表示装置で用いられる表示モー
ドには、現在透過型液晶表示装置で広く用いられている
TN(ツイステッドネマティック)モード、STN(ス
ーパーツイステッドネマティク)モードといった偏光板
を利用するものや、偏光板を用いないため明るい表示が
実現できる相転移型ゲストホストモードも近年盛んに開
発が行なわれている。
A display mode used in a reflection type liquid crystal display device uses a polarizing plate such as a TN (twisted nematic) mode and an STN (super twisted nematic) mode which are widely used in a transmission type liquid crystal display device at present. In recent years, a phase change type guest-host mode that can realize a bright display because a polarizing plate is not used has been actively developed.

【0007】しかしながら、周囲光の反射光を利用する
反射型液晶表示装置は、周囲光が暗い場合には視認性が
極端に低下するという欠点を有する。一方、透過型液晶
表示装置は、反射型液晶表示装置とは逆に周囲光が非常
に明るい場合には、周囲光に比べて表示光が暗いため表
示を観察できないという問題が発生し、表示を観察でき
るようにするにはバックライト光の強度を上げる必要が
あるため、バックライトによる液晶表示装置の消費電力
の増大等の問題があった。
However, the reflection type liquid crystal display device utilizing the reflected light of the ambient light has a drawback that the visibility is extremely reduced when the ambient light is dark. On the other hand, in the case of a transmissive liquid crystal display device, when the ambient light is very bright, contrary to the reflective liquid crystal display device, there is a problem that the display light cannot be observed because the display light is darker than the ambient light. In order to be able to observe, it is necessary to increase the intensity of the backlight light, so that there is a problem such as an increase in power consumption of the liquid crystal display device due to the backlight.

【0008】したがって、上記問題点を解消するために
従来では特開平7−333598号公報に示されるよう
に、光の一部を透過し、また光の一部を反射する半透過
反射膜を用いることにより、透過型表示と反射型表示の
両方を一つの液晶液晶表示装置にて実現する構成が開示
されている。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problem, a semi-transmissive reflection film which transmits a part of light and reflects a part of light is conventionally used as disclosed in JP-A-7-333598. Accordingly, a configuration is disclosed in which both a transmissive display and a reflective display are realized by one liquid crystal liquid crystal display device.

【0009】図28に上記半透過反射膜を用いた液晶表
示装置を示す。液晶表示装置は、偏光板30、位相差板
31、透明基板32、ブラックマスク33、対向電極3
4、配向膜35、液晶層36、MIM37、画素電極3
8、光源39、反射膜40から構成されている。
FIG. 28 shows a liquid crystal display device using the transflective film. The liquid crystal display device includes a polarizing plate 30, a retardation plate 31, a transparent substrate 32, a black mask 33, a counter electrode 3
4, alignment film 35, liquid crystal layer 36, MIM 37, pixel electrode 3
8, a light source 39, and a reflection film 40.

【0010】半透過反射膜である画素電極38は、金属
粒子を画素内一面にごく薄く堆積させるか、或いは、面
内に微小な孔欠陥や凹入欠陥等が点在するよう形成され
たものであり、光源39からの光を、画素電極38を透
過させると共に自然光や室内照明光等の外光を画素電極
38で反射させることによって透過型表示機能と反射型
表示機能とを同時に実現することができる。
The pixel electrode 38, which is a semi-transmissive reflective film, is formed by depositing metal particles very thinly over the entire surface of a pixel, or by forming minute hole defects, dent defects, and the like on the surface. The light from the light source 39 is transmitted through the pixel electrode 38 and the external light such as natural light or indoor illumination light is reflected by the pixel electrode 38, thereby realizing the transmissive display function and the reflective display function at the same time. Can be.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図28
に示された表示装置では以下のような不具合が生じる。
まず、上述の半透過反射膜として金属粒子をごく薄く堆
積させたものを用いた場合、金属粒子は吸収係数が大き
な材料であるため入射光の内部吸収が大きく、また表示
に利用されない吸収光が生じてしまい光の利用効率が悪
いという問題を有していた。例えば、100%の光が入
射しても透過に30%、反射に15%の光しか利用する
ことはできなかった。
However, FIG.
The following problems occur in the display device shown in FIG.
First, when the above-mentioned semi-transmissive reflective film is formed by depositing metal particles in a very small thickness, the metal particles are materials having a large absorption coefficient, so that the internal absorption of incident light is large and absorption light not used for display is also generated. This causes a problem that light utilization efficiency is poor. For example, even if 100% of light is incident, only 30% of light can be used for transmission and 15% of light can be used for reflection.

【0012】他方、画素電極38として面内に微小な孔
欠陥や凹入欠陥等が点在する膜を用いた場合、膜の構造
があまりにも複雑で製造においては緻密な設計条件が伴
うため制御が困難であり、均一な特性の膜を製造するこ
とが困難であるという問題を有していた。言い換えれ
ば、電気特性や光学特性の再現性が悪く、液晶表示装置
として表示品位を制御することが極めて困難であった。
On the other hand, when a film in which minute hole defects, dent defects, and the like are scattered in the plane is used as the pixel electrode 38, the structure of the film is too complicated, and precise design conditions are involved in manufacturing, so that control is required. And it is difficult to produce a film having uniform characteristics. In other words, the reproducibility of the electrical characteristics and optical characteristics is poor, and it has been extremely difficult to control the display quality as a liquid crystal display device.

【0013】例えば、近年、液晶表示装置のスイッチン
グ素子として一般に用いられている薄膜トランジスタ
(TFT)を上記従来技術において採用しようとすれ
ば、画素内に補助容量形成のための電極を、他の電極・
配線材料によって形成することがあるが、上記従来技術
のように画素電極として半透過反射膜を用いた場合には
さらに補助容量形成には不向きであるという不具合があ
った。さらに、絶縁層を介してこれらの配線や素子の一
部を覆って画素電極を形成した場合でも、透過成分が共
存しているため、開口率の向上には寄与しにくいという
問題があった。また、MIMやTFT等、スイッチング
素子の半導体層に光が入射すれば光励起電流が生じてし
まうため、半透過反射膜を遮光層として使用したとして
もさらに対向基板側に遮光膜を設ける必要があった。
For example, if a thin film transistor (TFT) generally used as a switching element of a liquid crystal display device in recent years is to be employed in the above-mentioned conventional technology, an electrode for forming an auxiliary capacitance in a pixel is replaced with another electrode.
In some cases, it is formed by a wiring material. However, when a transflective film is used as a pixel electrode as in the above-described related art, there is a problem that it is not suitable for forming an auxiliary capacitance. Furthermore, even when a pixel electrode is formed so as to cover a part of these wirings or elements via an insulating layer, there is a problem that it is difficult to contribute to an improvement in aperture ratio because a transmission component coexists. Further, if light enters a semiconductor layer of a switching element such as an MIM or a TFT, a photoexcitation current is generated. Therefore, even if a semi-transmissive reflective film is used as a light-shielding layer, it is necessary to further provide a light-shielding film on the counter substrate side. Was.

【0014】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、透過型表示と反射型表示を一枚の基
板で同時に実現する液晶表示装置において、従来の液晶
表示装置よりも周囲光及びバックライト光の利用効率を
向上させ、品質を安定化させると共に製造を簡単化した
液晶表示装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a liquid crystal display device which simultaneously realizes a transmission type display and a reflection type display on a single substrate has a greater peripheral area than a conventional liquid crystal display device. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device in which the utilization efficiency of light and backlight light is improved, the quality is stabilized, and the production is simplified.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、少なくとも2枚の基板間に液晶層が挾持され、該液
晶層に電圧を印加する一対の電極によって規定される複
数の画素を備える液晶表示装置において、前記複数の画
素内には、透過効率の高い領域と反射効率の高い領域と
が設けられており、それぞれにおいて透過効率の高い層
または反射効率の高い層が画素電極として機能すること
により光の利用効率を向上させることを特徴とし、それ
により上記課題が解決される。
A liquid crystal display device according to the present invention has a liquid crystal layer sandwiched between at least two substrates, and includes a plurality of pixels defined by a pair of electrodes for applying a voltage to the liquid crystal layer. In the liquid crystal display device, a region having a high transmission efficiency and a region having a high reflection efficiency are provided in the plurality of pixels, and a layer having a high transmission efficiency or a layer having a high reflection efficiency functions as a pixel electrode in each of the plurality of pixels. This improves light use efficiency, thereby solving the above-mentioned problem.

【0016】前記複数の画素は、基板上に形成された複
数のゲート配線と、該ゲート配線と直交するように配置
された複数のソース配線と、によって包囲されることが
好ましい。
It is preferable that the plurality of pixels are surrounded by a plurality of gate wirings formed on a substrate and a plurality of source wirings arranged orthogonal to the gate wirings.

【0017】前記反射効率の高い領域が、前記ゲート配
線またはソース配線、またはスイッチング素子の何れか
の一部分を被覆するものであることが好ましい。
It is preferable that the region having a high reflection efficiency covers a part of the gate wiring or the source wiring or any one of the switching elements.

【0018】前記透過効率または反射効率の高い層が、
前記ゲート配線またはソース配線の何れかを構成する材
料にて形成されていることが望ましい。
The layer having high transmission efficiency or high reflection efficiency is
It is desirable that the gate wiring or the source wiring be formed of a material constituting either of the gate wiring and the source wiring.

【0019】前記透過効率の高い層のみが画素電極とし
て機能し、且つ、前記反射効率の高い層が前記透過効率
の高い層とは電気的に絶縁されていてもよい。
Only the layer having a high transmission efficiency may function as a pixel electrode, and the layer having a high reflection efficiency may be electrically insulated from the layer having a high transmission efficiency.

【0020】さらに望ましくは、前記画素領域(液晶に
電圧を印加する画素領域)に占める前記反射効率の高い
領域の面積比率が10〜90%である。
More preferably, the area ratio of the high reflection efficiency area to the pixel area (pixel area for applying a voltage to the liquid crystal) is 10 to 90%.

【0021】以下に上記構成による作用について説明を
行う。
The operation of the above configuration will be described below.

【0022】請求項1の発明によれば、半透過反射膜よ
りも透過効率の高い領域及び反射効率の高い領域を各画
素内に設け、それぞれの領域において透過効率の高い層
または反射効率の高い層を画素として機能させるので、
従来の半透過反射膜を用いた液晶表示装置のように、例
えば迷光現象によって周囲光や照明光の利用効率が低下
することがない。さらに、液晶層を1回通過する透過モ
ードと、2回通過する反射モードでは、電気光学特性が
異なる、そこで、本発明では、透過効率の高い領域と反
射効率の高い領域とを明確に分離して存在させているこ
とにより、例えば、透過効率の高い領域と反射効率の高
い領域とで液晶層のセル厚を変えたり、印加電圧を変え
たり、位相差板の種類を変えたりするなどして、両モー
ドの調整を行い整合性をとることができる。したがっ
て、周囲光の輝度がどの程度であっても反射型表示とし
て、透過型表示として、或いはそれらの両用型として、
常に良好な画像を表示することができる。また、バック
ライト光と周囲光の両者を同時に、効率よく表示に寄与
させることができるので、常に強いバックライト光のみ
を利用する所謂、透過型液晶表示装置と比較して消費電
力量を格段に減少させることが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, a region having a higher transmission efficiency and a region having a higher reflection efficiency than the transflective film are provided in each pixel, and a layer having a higher transmission efficiency or a higher reflection efficiency is provided in each region. Since the layer functions as a pixel,
Unlike a liquid crystal display device using a conventional transflective film, for example, the use efficiency of ambient light and illumination light does not decrease due to the stray light phenomenon. Further, the electro-optical characteristics are different between the transmission mode that passes through the liquid crystal layer once and the reflection mode that passes through the liquid crystal layer twice. Therefore, in the present invention, a region having high transmission efficiency and a region having high reflection efficiency are clearly separated. For example, by changing the cell thickness of the liquid crystal layer between the region having high transmission efficiency and the region having high reflection efficiency, changing the applied voltage, or changing the type of the phase difference plate, etc. , Both modes can be adjusted for consistency. Therefore, no matter how much the brightness of the ambient light, as a reflective display, as a transmissive display, or as a dual-purpose display,
A good image can always be displayed. Also, since both the backlight light and the ambient light can be simultaneously and efficiently contributed to the display, the power consumption is remarkably reduced as compared with a so-called transmissive liquid crystal display device that always uses only strong backlight light. It is possible to reduce it.

【0023】すなわち、従来の反射型液晶表示装置にあ
った、周囲光が暗い場合に視認性が極端に低下するとい
う欠点と、従来の透過型液晶表示装置にあった、周囲光
が非常に明るい場合に表示が見えにくくなる欠点を、本
発明によって光の利用効率を高めながら同時に解決する
ことができる。
That is, there is a disadvantage that the visibility is extremely reduced when the ambient light is dark, which is a problem in the conventional reflection type liquid crystal display device, and the ambient light is very bright, which is a conventional transmission type liquid crystal display device. The disadvantage that the display becomes difficult to see in such a case can be solved at the same time by improving the light use efficiency by the present invention.

【0024】請求項2の発明によれば、半透過反射膜よ
りも透過効率の高い領域及び反射効率の高い領域を各画
素内に設け、それぞれの領域において透過効率の高い層
または反射効率の高い層を画素電極として機能させるの
で、周囲光の輝度がどの程度であっても反射型表示とし
て、透過型表示として、或いはそれらの両用型として、
常に良好な画像を表示することができる。また、バック
ライト光と周囲光の両者を同時に、効率よく表示に寄与
させることができるので、常に強いバックライト光のみ
を利用する所謂、透過型液晶表示装置と比較して消費電
力量を格段に減少させることが可能となる。
According to the second aspect of the present invention, a region having a higher transmission efficiency and a region having a higher reflection efficiency than the transflective film are provided in each pixel, and a layer having a higher transmission efficiency or a higher reflection efficiency is provided in each region. Since the layer functions as a pixel electrode, it can be used as a reflective display, a transmissive display, or a dual-purpose display regardless of the brightness of ambient light.
A good image can always be displayed. Also, since both the backlight light and the ambient light can be simultaneously and efficiently contributed to the display, the power consumption is remarkably reduced as compared with a so-called transmissive liquid crystal display device that always uses only strong backlight light. It is possible to reduce it.

【0025】請求項3の発明によれば、前記反射効率の
高い領域が、ゲート配線またはソース配線、またはスイ
ッチング素子の何れかの一部分を被覆するものであるの
で、この部分に入射した光をも表示に寄与させることが
可能となり、その結果、画素の有効エリアを格段に向上
することが可能となる。半透過反射膜を用いた上記従来
技術の課題を解決するばかりか、一般の透過型液晶表示
装置と比較しても画素開口率を向上させることができ
る。
According to the third aspect of the present invention, the region having high reflection efficiency covers any part of the gate wiring or the source wiring or the switching element. It is possible to contribute to display, and as a result, the effective area of the pixel can be significantly improved. In addition to solving the above-mentioned problems of the related art using the transflective film, the pixel aperture ratio can be improved even in comparison with a general transmissive liquid crystal display device.

【0026】請求項4の発明によれば、透過効率の高い
領域または反射効率の高い領域を構成する材料と、ソー
ス配線またはゲート配線を構成する材料と同一であるの
で、液晶表示装置の製造プロセスが簡単になる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the material forming the region having high transmission efficiency or the region having high reflection efficiency is the same as the material forming the source wiring or the gate wiring, the manufacturing process of the liquid crystal display device is performed. Becomes easier.

【0027】請求項5の発明によれば、透過効率の高い
層のみで画素電極を構成するので、例えば、透過効率の
高い層と反射効率の高い層とが電気的に互いに接続され
ることにより一画素分の画素電極をなしている場合や、
透過効率の高い層と反射効率の高い層のそれぞれ一部分
が互いに重なり合うことにより一つの画素電極をなす場
合等と比較して、画素電極に起因する不良発生を低減で
き、良品率が向上する。
According to the fifth aspect of the present invention, since the pixel electrode is composed of only the layer having high transmission efficiency, for example, the layer having high transmission efficiency and the layer having high reflection efficiency are electrically connected to each other. When a pixel electrode for one pixel is used,
Compared to a case where one layer of a layer having high transmission efficiency and a layer having high reflection efficiency overlap each other to form one pixel electrode, the occurrence of defects due to the pixel electrode can be reduced, and the yield rate can be improved.

【0028】請求項6の発明によれば、反射効率の高い
領域の面積比率を10〜90%にすることにより周囲光
が明るすぎて表示が霞んで見えにくくなるという従来の
透過型液晶表示装置で生じていた問題と、また、周囲光
強度が極めて弱い場合には全く観察ができなかったとい
う従来の反射型液晶表示装置で生じていた問題の両方が
解決され、周囲光がどのような状況であっても反射型表
示として、透過型表示として、或いはその両用型とし
て、最適な表示を行なうことが可能となる。
According to the invention of claim 6, by setting the area ratio of the region having high reflection efficiency to 10 to 90%, the ambient light is too bright and the display is obscured to make it difficult to see. And the problem that occurred with the conventional reflective LCD device that no observation could be made when the ambient light intensity was extremely weak. Even in this case, an optimal display can be performed as a reflective display, a transmissive display, or a dual use display.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】(実施形態1)本発明の実施形態
1について図面に基づき以下に説明を行なう。図1は本
実施形態の液晶表示装置におけるアクテイブマトリクス
基板の部分平面図であり、図2は図1のA−A断面図で
ある。
(Embodiment 1) Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial plan view of an active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

【0030】図1において、ガラスまたはプラスチック
等からなる透明絶縁性基板上1に、複数のゲート配線2
と複数のソース配線3が直交するように配設され、これ
らの包囲する領域が画素であり、前記配線の交差部近傍
にはTFT4が設けられている。TFT4のドレイン電
極5には画素電極6が接続されている。この画素電極6
が形成された部分は基板上方から観察したときに透過効
率の高い領域Aと反射効率の高い領域Bの2つの領域か
らなるもので、本実施形態では前者の上面には透過効率
の高い層としてITO7(Indium Tin Ox
ide)、後者には反射効率の高い層としてAlまたは
Al系合金8がそれぞれ設けられ、それらが一体となっ
て画素電極6をなしている。また、画素電極6は次段の
ゲート配線2a上にゲート絶縁膜9を介して重畳してい
るので、駆動時にはこの部分で液晶駆動時のための補助
容量が生成される。
In FIG. 1, a plurality of gate wirings 2 are provided on a transparent insulating substrate 1 made of glass or plastic.
And a plurality of source wirings 3 are arranged so as to be orthogonal to each other, a region surrounding these is a pixel, and a TFT 4 is provided near an intersection of the wirings. The pixel electrode 6 is connected to the drain electrode 5 of the TFT 4. This pixel electrode 6
Is formed from two regions, a region A having a high transmission efficiency and a region B having a high reflection efficiency when observed from above the substrate. In the present embodiment, a layer having a high transmission efficiency is formed on the upper surface of the former. ITO7 (Indium Tin Ox
Ide), and in the latter, Al or an Al-based alloy 8 is provided as a layer having a high reflection efficiency, and they constitute a pixel electrode 6 integrally. In addition, since the pixel electrode 6 is superimposed on the next-stage gate wiring 2a via the gate insulating film 9, an auxiliary capacitance for driving the liquid crystal is generated in this portion during driving.

【0031】上記TFT4は、ゲート配線2から分岐す
るゲート電極10の上部に、ゲート絶縁膜9、半導体層
12(図2に示す)、チャネル保護層13、ソース・ド
レイン電極となるn+−Si層11が順に積層されてな
る。
The TFT 4 has a gate insulating film 9, a semiconductor layer 12 (shown in FIG. 2), a channel protective layer 13, and n + -Si serving as source / drain electrodes on a gate electrode 10 branched from the gate wiring 2. The layers 11 are sequentially laminated.

【0032】図示しないが、以上のようなアクティブマ
トリクス基板に配向膜を塗布し、これを透明電極及び配
向膜を形成した対向基板と貼り合わせ、基板間に液晶を
封入し、後方にバックライトを設置することにより本実
施形態の液晶表示装置が完成する。
Although not shown, an orientation film is applied to the active matrix substrate as described above, and this is bonded to a counter substrate on which a transparent electrode and an orientation film are formed, a liquid crystal is sealed between the substrates, and a backlight is provided behind. The installation completes the liquid crystal display device of the present embodiment.

【0033】尚、液晶としては、黒色色素を混入したゲ
ストホスト液晶ZLI2327(メルク社製)に、光学
活性物質S−811(メルク社製)を0.5%混入した
ものを用いた。これ以外にも、液晶モードとしては、偏
光板を液晶層の上下に配置させECBモードを用いるこ
とも可能である。さらに、カラー表示を所望とする場合
には、赤・緑・青等の着色層からなるカラーフィルタを
液晶層の前方に配置させることでこれを実現できる。
The liquid crystal used was a guest-host liquid crystal ZLI2327 (manufactured by Merck) mixed with a black dye and mixed with 0.5% of an optically active substance S-811 (manufactured by Merck). In addition, as a liquid crystal mode, an ECB mode in which a polarizing plate is arranged above and below a liquid crystal layer can be used. Further, when a color display is desired, this can be realized by disposing a color filter composed of a colored layer of red, green, blue or the like in front of the liquid crystal layer.

【0034】以下に、本実施形態のアクティブマトリク
ス基板の製造方法について説明を行なう。まず、絶縁性
基板1上にTaにてゲート配線2およびゲート電極10
を形成した後、基板全面にゲート絶縁膜9を成膜した。
続いて、ゲート電極10上に半導体層12、チャネル保
護層13を形成した後、ソース・ドレイン電極としてn
+−Si層11を形成した。
Hereinafter, a method for manufacturing the active matrix substrate of the present embodiment will be described. First, the gate wiring 2 and the gate electrode 10 are formed on the insulating substrate 1 with Ta.
Was formed, a gate insulating film 9 was formed on the entire surface of the substrate.
Subsequently, after a semiconductor layer 12 and a channel protection layer 13 are formed on the gate electrode 10, n is formed as a source / drain electrode.
A + -Si layer 11 was formed.

【0035】さらに、ソース配線3としてITO層3a
(下層)と金属層3b(上層)とをそれぞれ、順にスパ
ッタ法によって成膜した後、パターニングする。本実施
形態では金属層3bとしてTiを用いた。
Further, an ITO layer 3a is used as the source line 3.
The (lower layer) and the metal layer 3b (upper layer) are sequentially formed by sputtering, and then patterned. In the present embodiment, Ti is used as the metal layer 3b.

【0036】このように、ソース配線3を二層構造とす
ることにより、仮にソース配線3を構成する金属層3b
の一部に膜の欠損があったとしてもITO層3aによっ
て電気的に接続されるため、ソース配線3の断線不良を
低減することが出来るという利点がある。
As described above, by forming the source wiring 3 in a two-layer structure, the metal layer 3b constituting the source wiring 3 is temporarily provided.
Are electrically connected by the ITO layer 3a even if there is a film defect in a part of the source wiring 3, there is an advantage that the disconnection failure of the source wiring 3 can be reduced.

【0037】さらに、本実施形態の画素電極6のうち、
ITO7で形成された透過効率の高い領域Aは、ソース
配線3のITO層3aと同一材料、同一プロセスにて形
成されている。反射効率の高い領域Bは、順にMo14
とAl8をスパッタ法により成膜した後、パターニング
を行なった。Alの厚みとしては、150nm以上であ
れば十分安定な反射効率(90%程度)を得ることがで
きるが、本実施形態ではAlの厚みを150nmとし、
反射効率が90%となり、周囲光を効果的に反射させる
ことができる。尚、反射効率の高い材料としては、Al
またはAl系合金の他、Ag、TaやW等の金属を用い
てもよい。
Further, among the pixel electrodes 6 of the present embodiment,
The region A with high transmission efficiency formed of ITO 7 is formed by the same material and the same process as the ITO layer 3 a of the source wiring 3. The region B having a high reflection efficiency is Mo14
After Al and Al8 were formed by sputtering, patterning was performed. When the thickness of Al is 150 nm or more, a sufficiently stable reflection efficiency (about 90%) can be obtained. In the present embodiment, the thickness of Al is set to 150 nm.
The reflection efficiency becomes 90%, and ambient light can be effectively reflected. In addition, as a material having high reflection efficiency, Al
Alternatively, a metal such as Ag, Ta or W may be used in addition to the Al-based alloy.

【0038】また、本実施形態では画素電極6としてI
TO7とAl8を用いたがこの限りではなく、例えばA
lまたはAl系合金の厚みをそれぞれ異ならせることで
透過効率の高い領域と反射効率の高い領域を形成して、
領域A、Bにて用いてもよい。このような構成とするこ
とで、異なる材料を用いる場合よりも製造プロセスを簡
略化することができる。あるいは、上記ソース配線3の
金属層3bと、領域Bを構成する高い反射効率を有する
材料(本実施形態ではAl8)とを同一材料とすること
により、従来の透過型液晶表示装置と同様の製造プロセ
スにて形成することが可能となる。
In this embodiment, the pixel electrode 6 is formed of I
Although TO7 and Al8 were used, the present invention is not limited thereto.
By making the thickness of the l or Al-based alloy different, a region with high transmission efficiency and a region with high reflection efficiency are formed,
It may be used in the areas A and B. With such a configuration, the manufacturing process can be simplified as compared with the case where different materials are used. Alternatively, by using the same material as the metal layer 3b of the source wiring 3 and the material having high reflection efficiency (Al8 in this embodiment) constituting the region B, the same manufacturing as the conventional transmission type liquid crystal display device can be achieved. It can be formed by a process.

【0039】以上のように本実施形態では画素電極6と
して、反射効率の高い領域Bと透過効率の高い領域Aと
を設けているので、従来の半透過反射膜を用いた液晶表
示装置と比較して周囲光や照明光をロスなく利用しなが
ら透過型表示、反射型表示、或いはその両用型の表示が
可能な液晶表示装置が実現される。
As described above, in the present embodiment, the region B having high reflection efficiency and the region A having high transmission efficiency are provided as the pixel electrodes 6, so that the pixel electrode 6 is compared with the liquid crystal display device using the conventional transflective film. As a result, a liquid crystal display device capable of performing transmissive display, reflective display, or both types of display while using ambient light or illumination light without loss is realized.

【0040】また、画素電極6として、画素内部の全域
及び次段ゲート配線2a上部にITOがゲート絶縁膜9
を介して重畳するよう形成されており、領域Bにおい
て、ITO7の上にMo14を介してAl8が画素中央
部に島状に形成されている。このように、ITO7とA
l8とが電気的に接続されているので、二つの領域A,
Bは同一のTFT7によって同電圧を液晶に印加するこ
とになる。すなわち、電圧印加時に、同一画素内で液晶
の配向状態が部分的に異なるために起こる、ディスクリ
ネーションラインが発生するような不具合が生じない。
As the pixel electrode 6, ITO is formed over the entire area inside the pixel and over the next-stage gate wiring 2 a by a gate insulating film 9.
In the region B, Al8 is formed in an island shape at the pixel central portion on the ITO7 via Mo14 in the region B. Thus, ITO7 and A
18 are electrically connected to each other, so that two regions A,
B applies the same voltage to the liquid crystal by the same TFT 7. That is, when voltage is applied, a defect such as generation of a disclination line, which occurs because the alignment state of the liquid crystal partially differs in the same pixel, does not occur.

【0041】また、ITO7とAl8との間にMo14
を介在させることにより、製造工程においてITO7と
Al8とが電解液を介して接触することによる電食が生
じるのを防ぐことができる。
Further, Mo14 is present between ITO7 and Al8.
By intervening, it is possible to prevent the occurrence of electrolytic corrosion due to the contact between ITO 7 and Al 8 via the electrolytic solution in the manufacturing process.

【0042】また、本実施形態では領域Aと領域Bの面
積比率を60:40とすることにより、良好な表示特性
を得ることができた。尚、面積比率はこの値に限定され
ることはなく、領域A,Bの透過効率または反射効率、
及び使用目的に応じて適宜変更してもよい。
In this embodiment, good display characteristics can be obtained by setting the area ratio between the area A and the area B to 60:40. Incidentally, the area ratio is not limited to this value, and the transmission efficiency or the reflection efficiency of the regions A and B,
And it may be changed appropriately according to the purpose of use.

【0043】本発明では、領域Bの面積比率は有効画素
面積(領域Aの面積と領域Bの面積とを合せた面積)に
対して10〜90%であることが好ましい。この比率が
10%未満であるとき、すなわち透過効率の高い領域が
画素に占める割合が高すぎると、外部光が明るすぎて表
示が霞んでしまうという従来の透過型液晶表示装置で生
じていたのと同じ問題が生じてしまう。反対に、領域B
の面積比率が90%を超えてしまうと、周囲光だけでは
表示を観察することができない程に周囲光が暗くなって
しまった時にバックライトを点灯させて表示したとして
も領域Aの割合が低すぎて表示が見づらくなってしま
う。
In the present invention, the area ratio of the area B is preferably 10 to 90% with respect to the effective pixel area (the area obtained by adding the area A and the area B). When this ratio is less than 10%, that is, when the ratio of the area with high transmission efficiency to the pixels is too high, the external light is too bright and the display is fuzzy. The same problem occurs. Conversely, area B
When the area ratio exceeds 90%, the ratio of the area A is low even when the backlight is turned on and displayed when the ambient light becomes dark enough that the display cannot be observed only with the ambient light. The display is too hard to see.

【0044】特に、主な使用環境が戸外である商品形態
に搭載する場合にはバッテリ寿命を重視する必要があ
り、低消費電力化を優先させた、外部光を効率良く利用
できるような設計としなければならない。したがって、
反射効率の高い領域Bの割合は40〜90%であること
が望ましい。ここで、領域Bの面積比率が40%である
と、反射型だけで表示できる環境が非常に限定され、バ
ックライトを点灯しなければない時間が長くなるのでバ
ッテリ寿命が短くなる。
In particular, when the battery is mounted in a product type in which the main use environment is outdoors, it is necessary to attach importance to the battery life, and the design is made such that the power consumption is prioritized and the external light can be used efficiently. There must be. Therefore,
It is desirable that the ratio of the region B having high reflection efficiency is 40 to 90%. Here, if the area ratio of the region B is 40%, the environment in which the display can be performed only by the reflection type is very limited, and the time when the backlight must be turned on becomes long, so that the battery life is shortened.

【0045】また逆に、主な使用環境を屋内とする商品
形態に搭載する場合にはバックライト光を効率良く利用
するような設計とする。したがって、領域Bの割合は1
0〜60%が望ましい。領域Bの面積比率が60%を超
えてしまうと、バックライト光が透過する領域Aの面積
が小さく、バックライトの輝度を、例えば透過型液晶表
示装置よりも著しく高くする必要があるため、消費電力
が高くなりバックライトの利用効率が低下してしまう。
On the other hand, when mounted in a product form in which the main use environment is indoors, the design is such that the backlight light is used efficiently. Therefore, the ratio of the area B is 1
0 to 60% is desirable. If the area ratio of the area B exceeds 60%, the area of the area A through which the backlight transmits is small, and the brightness of the backlight needs to be significantly higher than that of, for example, a transmissive liquid crystal display device. The power is increased, and the efficiency of use of the backlight is reduced.

【0046】本発明の液晶表示装置をバッテリ駆動方式
のビデオカメラに搭載したところ、周囲光がどのような
明るさであっても、バックライトの輝度を調節すること
によって常に観察しやすい明るさに保つことができた。
特に、晴天下、屋外にて使用した際にはバックライトを
点灯しなくてよいので電力消費量は小さく、透過型液晶
表示装置を搭載したものと比較してバッテリ使用時間を
格段に延長することができた。
When the liquid crystal display device of the present invention is mounted on a battery-operated video camera, the brightness of the backlight can be adjusted to a brightness that is always easy to observe, regardless of the brightness of the ambient light. I was able to keep.
In particular, when used outdoors in fine weather, the backlight does not need to be turned on, so the power consumption is small, and the battery usage time is significantly extended compared to those equipped with a transmissive liquid crystal display device Was completed.

【0047】(実施形態2)以下、実施形態2について
図面に基づき以下に説明を行う。図3は本実施形態の液
晶表示装置におけるアクテイブマトリクス基板の部分平
面図であり、図4は図3のB−B断面図である。
(Embodiment 2) Hereinafter, Embodiment 2 will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a partial plan view of an active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG.

【0048】本実施形態は、画素電極が形成された部分
を上方から観察したときに、透過効率の高い領域Aと反
射効率の高い領域Bとが、画素中央付近を境に分割され
ている形状となっている。
In this embodiment, when the portion where the pixel electrode is formed is observed from above, the region A having high transmission efficiency and the region B having high reflection efficiency are divided at the vicinity of the pixel center. It has become.

【0049】尚、図中の参照符号については上記実施形
態1と同様の符号を用いた。また、画素やTFTの構成
及び製造プロセスに関しては上記実施形態1と同様であ
る。
Note that the same reference numerals as those in the first embodiment are used for reference numerals in the drawing. The configuration and manufacturing process of the pixel and the TFT are the same as those in the first embodiment.

【0050】図3,4において、透過効率の高いITO
7が画素内の中央部付近より自段ゲートライン近傍にわ
たり設けられ、一部TFT4のドレイン電極5に接続さ
れている。また、反射効率の高いAl8が画素中央部に
てMo14を介して前記ITO7に重畳し、ITO7と
は逆側の次段ゲート配線2方向へ延在すると共にゲート
配線2上にゲート絶縁膜9を介して重畳している。
In FIGS. 3 and 4, ITO having high transmission efficiency is used.
7 is provided from the vicinity of the central stage in the pixel to the vicinity of the gate line of the own stage, and is partially connected to the drain electrode 5 of the TFT 4. In addition, Al8 having high reflection efficiency is superimposed on the ITO 7 at the pixel central portion via the Mo14, extends in the direction of the next-stage gate wiring 2 on the opposite side to the ITO 7, and a gate insulating film 9 is formed on the gate wiring 2. Overlaid.

【0051】ここで、ITO7とAl8とはMo14を
介して電気的に接続されるので、ITO7とAl8によ
る電食が抑制される。また、Al8すなわち領域Bがゲ
ート絶縁膜9を介して次段ゲート配線2に重畳されるこ
とにより、液晶駆動時の補助容量が形成されると共に、
この部分の領域Bも表示に寄与することになるので従来
の構成よりも画素の有効エリアが格段に向上する。
Here, since ITO 7 and Al 8 are electrically connected via Mo 14, electrolytic corrosion due to ITO 7 and Al 8 is suppressed. Further, since the Al 8, that is, the region B is overlapped with the next-stage gate wiring 2 via the gate insulating film 9, an auxiliary capacitance is formed when driving the liquid crystal, and
Since the area B in this portion also contributes to display, the effective area of the pixel is significantly improved as compared with the conventional configuration.

【0052】尚、開口率をさらに向上させるには、TF
T4またはソース配線3上に絶縁膜を介して上記Al8
等の反射効率の高い膜を画素電極6として形成(ドレイ
ン電極5に電気的に接続させる)すればよい。但しこの
場合は、TFT4またはソース配線3との間で寄生容量
による画質劣化を最低限に抑えられるよう、絶縁膜の材
料や絶縁膜として用いる材料やパターン設計を適宜考慮
する必要がある。
In order to further improve the aperture ratio, TF
The above-mentioned Al8 is formed on T4 or source wiring 3 via an insulating film.
For example, a film having high reflection efficiency may be formed as the pixel electrode 6 (electrically connected to the drain electrode 5). In this case, however, it is necessary to appropriately consider the material of the insulating film, the material used for the insulating film, and the pattern design so that the image quality deterioration due to the parasitic capacitance between the TFT 4 and the source wiring 3 can be minimized.

【0053】(実施形態3)以下、実施形態3について
図面に基づき以下に説明を行う。図5は本実施形態の液
晶表示装置におけるアクテイブマトリクス基板の部分平
面図であり、図6は図5のC−C断面図である。
Embodiment 3 Hereinafter, Embodiment 3 will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a partial plan view of the active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.

【0054】本実施形態は、反射効率の高い領域Bの下
層にゲート絶縁膜9を介してコモン配線15が配設され
ている点で上記実施形態2と相違する。
This embodiment is different from the second embodiment in that a common wiring 15 is provided below a region B having high reflection efficiency via a gate insulating film 9.

【0055】尚、図中の参照符号については上記実施形
態1,2と同様のものとする。また、画素やTFTの構
成及び製造プロセスに関しては特に説明がない限り上記
実施形態1,2と同様である。
The reference numerals in the drawings are the same as those in the first and second embodiments. The configuration and manufacturing process of the pixel and the TFT are the same as those in the first and second embodiments unless otherwise specified.

【0056】図5,6において、透過効率の高いITO
7が画素内の中央部付近より自段ゲート配線2近傍にわ
たり設けられ、TFT4のドレイン電極5に接続されて
いる。また、反射効率の高いAl8が画素中央部にてM
o14を介して前記ITO7に重畳し、ITO7とは逆
側の次段ゲート配線2a近傍まで延在すると共に、下層
のコモン配線15とゲート絶縁膜9を介して重畳してい
る。
In FIGS. 5 and 6, ITO having high transmission efficiency is used.
Reference numeral 7 is provided from the vicinity of the central part of the pixel to the vicinity of the gate line 2 of the own stage, and is connected to the drain electrode 5 of the TFT 4. In addition, Al8 having high reflection efficiency has M
It overlaps with the ITO 7 via o14, extends to the vicinity of the next-stage gate wiring 2a on the opposite side to ITO7, and overlaps with the lower common wiring 15 via the gate insulating film 9.

【0057】ここで、ITO7とAl8とはMo14を
介して電気的に接続されるのでITO7とAl8による
電食が抑制される。また、Al8すなわち領域Bがゲー
ト絶縁膜9を介してコモン配線15に重畳されることに
より、液晶駆動時の補助容量が形成されて良好な表示を
行うことが可能となり、また、補助容量の形成にあたっ
て開口率が低下する不具合も生じない。
Here, since ITO7 and Al8 are electrically connected via Mo14, electrolytic corrosion due to ITO7 and Al8 is suppressed. Further, since Al 8, that is, the region B is superimposed on the common wiring 15 via the gate insulating film 9, an auxiliary capacitance is formed at the time of driving the liquid crystal, so that good display can be performed. In this case, there is no problem that the aperture ratio is reduced.

【0058】尚、開口率をさらに向上させるには、TF
T4またはソース配線3上に絶縁膜を介して上記Al8
等の反射効率の高い膜を画素電極6として形成(ドレイ
ン電極に電気的に接続させる)すればよい。但しこの場
合は、画素電極6とTFT4またはソース配線3との間
で寄生容量が生じないよう、絶縁膜の膜厚や絶縁膜とし
て用いる材料を適宜考慮する必要がある。例えば、IT
O7を形成した後に、基板全面に誘電率3.6程度の有
機絶縁膜を厚み3μm程度に厚く堆積させ、続いてAl
8を画素内及びTFT4またはソース配線3上に重畳さ
せるようにして形成し、Al8をドレイン電極5に電気
的に接続させればよい。接続方法としてはドレイン電極
5またはITO7上にコンタクトホールを形成し、これ
を介して接続させる等の方法がある。
In order to further improve the aperture ratio, TF
The above-mentioned Al8 is formed on T4 or source wiring 3 via an insulating film.
A film having a high reflection efficiency such as that described above may be formed as the pixel electrode 6 (electrically connected to the drain electrode). However, in this case, it is necessary to appropriately consider the thickness of the insulating film and the material used for the insulating film so that no parasitic capacitance occurs between the pixel electrode 6 and the TFT 4 or the source wiring 3. For example, IT
After forming O7, an organic insulating film having a dielectric constant of about 3.6 is deposited on the entire surface of the substrate so as to have a thickness of about 3 μm.
8 may be formed so as to overlap in the pixel and on the TFT 4 or the source wiring 3, and Al 8 may be electrically connected to the drain electrode 5. As a connection method, there is a method of forming a contact hole on the drain electrode 5 or the ITO 7 and making a connection via this.

【0059】また、本実施形態では画素電極6の形成さ
れた部分を透過効率の高い領域と反射効率の高い領域の
2つの領域にて分割したがこの限りではなく、3つ以上
に分割するものであってもよい。すなわち、図7に示す
ように、画素電極6を透過効率及び反射効率の高い領域
A,Bと、さらにそれらとは透過効率または反射効率の
異なる領域Cの3つの領域により分割されていたとして
もよい。
In the present embodiment, the portion where the pixel electrode 6 is formed is divided into two regions, a region having high transmission efficiency and a region having high reflection efficiency. However, the invention is not limited to this. It may be. That is, as shown in FIG. 7, even if the pixel electrode 6 is divided into three regions A and B having high transmission efficiency and reflection efficiency and a region C having different transmission efficiency or reflection efficiency. Good.

【0060】(実施形態4)以下、実施形態4について
図面に基づき以下に説明を行う。図8は本実施形態の液
晶表示装置におけるアクテイブマトリクス基板の部分平
面図であり、図9(a)〜(d)は本実施形態の液晶表
示装置の製造方法であり、図8のD−D断面に相当す
る。
Embodiment 4 Hereinafter, Embodiment 4 will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a partial plan view of an active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS. 9A to 9D show a method of manufacturing the liquid crystal display device of the present embodiment. It corresponds to a cross section.

【0061】本実施形態は、反射効率の高い領域Bにお
いて、ソース配線と同じ材料で反射効率の高い層を形成
するものである。尚、図中の参照符号については上記実
施形態1〜3と同様の符号を用いた。また、画素やTF
Tの構成及び製造プロセスに関しては特に説明がない限
り上記実施形態1〜3と同様である。
In this embodiment, a layer having high reflection efficiency is formed of the same material as the source wiring in the region B having high reflection efficiency. Note that the same reference numerals as those in the first to third embodiments are used for reference numerals in the drawings. In addition, pixels and TF
The configuration and manufacturing process of T are the same as those in the first to third embodiments unless otherwise specified.

【0062】本実施形態の液晶表示装置のアクティブマ
トリクス基板を上方から観察すると、図8に示すよう
に、画素内中央部に透過効率の高い領域Aが設けられ、
それを囲うような帯状の領域Bが設けられている。領域
Bの外郭は、ゲート配線とソース配線の縁に沿った四角
形となっている。領域Bにはソース配線材料と同一材料
によって形成された反射効率の高い層が設けられること
により、反射効率が高くなっている。
When observing the active matrix substrate of the liquid crystal display device of the present embodiment from above, as shown in FIG. 8, a region A having high transmission efficiency is provided in the center of the pixel.
A band-shaped area B surrounding the area is provided. The outline of the region B is a square along the edges of the gate wiring and the source wiring. The region B is provided with a layer having a high reflection efficiency formed of the same material as the source wiring material, thereby increasing the reflection efficiency.

【0063】この製造方法を以下に説明する。図9
(a)に示すように、絶縁性基板1上にゲート配線(図
示せず)及びゲート電極10、ゲート絶縁膜9、半導体
層12、チャネル保護層13、ソース・ドレイン電極と
なるn+−Si層11を順に形成する。さらに、ソース
配線(図8に示す)を構成する導電膜41をスパッタ法
によって堆積させる。
This manufacturing method will be described below. FIG.
As shown in FIG. 1A, a gate wiring (not shown), a gate electrode 10, a gate insulating film 9, a semiconductor layer 12, a channel protective layer 13, and n + -Si serving as source / drain electrodes are formed on an insulating substrate 1. The layer 11 is formed in order. Further, a conductive film 41 constituting a source wiring (shown in FIG. 8) is deposited by a sputtering method.

【0064】続いて図9(b)に示すように、上記導電
膜41をパターニングすることにより反射効率の高い層
42、ドレイン−画素電極接続層43、及びソース配線
3を形成する。この反射効率の高い層42が形成された
部分が上記領域Bに相当する。さらに、図9(c)に示
すように、層間絶縁膜44を形成し、続いて層間絶縁膜
44を貫通するコンタクトホール45を形成する。
Subsequently, as shown in FIG. 9B, the conductive film 41 is patterned to form a layer 42 having high reflection efficiency, a drain-pixel electrode connection layer 43, and a source line 3. The portion where the layer 42 having high reflection efficiency is formed corresponds to the region B. Further, as shown in FIG. 9C, an interlayer insulating film 44 is formed, and subsequently, a contact hole 45 penetrating through the interlayer insulating film 44 is formed.

【0065】次に、図9(d)に示すように、透過効率
の高い層46としてITOを各画素内全域に形成した。
尚、透過効率の高い層46としてはITOでなくとも透
過効率の高い材料であれば構わない。また透過効率の高
い層46は層間絶縁膜44を貫くコンタクトホール45
を介して上記接続層43に接続されることにより、ドレ
イン電極5と電気的に接続されている。さらに、透過効
率の高い層46は液晶層に対して電圧を印加するための
画素電極として機能し、領域A,Bの何れの液晶層にも
上記透過効率の高い層46により電圧が印加されてい
る。よって、画素電極を領域Aの透過効率の高い層と領
域Bの反射効率の高い層とで形成する場合に比べて、本
実施形態では、画素電極を透過効率の高い層46のみで
形成しているので、透過型液晶表示装置と比べて、プロ
セス数の増加が無く、反射効率の高い領域を形成するこ
とができ、しかも画素電極の形成不良が起りにくいとい
う利点がある。
Next, as shown in FIG. 9D, ITO was formed as a layer 46 having high transmission efficiency over the entire area of each pixel.
It should be noted that the layer 46 having a high transmission efficiency may be made of a material having a high transmission efficiency, instead of ITO. A layer 46 having high transmission efficiency is formed in a contact hole 45 penetrating the interlayer insulating film 44.
Is electrically connected to the drain electrode 5 by being connected to the connection layer 43 through the gate. Further, the layer 46 with high transmission efficiency functions as a pixel electrode for applying a voltage to the liquid crystal layer, and a voltage is applied to the liquid crystal layer in any of the regions A and B by the layer 46 with high transmission efficiency. I have. Therefore, in the present embodiment, as compared with the case where the pixel electrode is formed by the layer having the high transmission efficiency in the region A and the layer having the high reflection efficiency in the region B, the pixel electrode is formed only by the layer 46 having the high transmission efficiency. Therefore, as compared with a transmissive liquid crystal display device, there is an advantage that a region having high reflection efficiency can be formed without an increase in the number of processes, and a defective pixel electrode is hardly formed.

【0066】(実施形態5)以下、実施形態5について
図面に基づき以下に説明を行う。図10は本実施形態の
液晶表示装置におけるアクテイブマトリクス基板の部分
平面図であり、図11(a)〜(d)は本実施形態の液
晶表示装置の製造方法であり、図10のE−E断面に相
当する。
Embodiment 5 Hereinafter, Embodiment 5 will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a partial plan view of an active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS. 11A to 11D show a method of manufacturing the liquid crystal display device of the present embodiment. It corresponds to a cross section.

【0067】本実施形態は、反射効率の高い領域B(図
10の斜線部)において、ゲート配線と同じ材料で反射
効率の高い層を形成するものである。尚、図中の参照符
号については上記実施形態1〜4と同様の符号を用い
た。また、画素やTFTの構成及び製造プロセスに関し
ては特に説明がない限り上記実施形態1〜4と同様であ
る。
In the present embodiment, a layer having a high reflection efficiency is formed of the same material as that of the gate wiring in a region B having a high reflection efficiency (shaded portion in FIG. 10). Note that the same reference numerals as those in the first to fourth embodiments are used for reference numerals in the drawings. The configurations and manufacturing processes of the pixels and TFTs are the same as in the first to fourth embodiments unless otherwise specified.

【0068】図10において、本実施形態の液晶表示装
置のアクティブマトリクス基板を上方から観察すると、
画素内中央部に透過効率の高い領域Aが四角形に設けら
れ、それを囲うような帯状の領域Bが設けられている。
領域Bの外郭は、ゲート配線とソース配線の縁に沿った
四角形となっている。領域Bにはゲート配線材料と同一
材料によって形成された反射効率の高い層が設けられる
ことにより、反射効率が高くなっている。
In FIG. 10, when the active matrix substrate of the liquid crystal display device of this embodiment is observed from above,
An area A having high transmission efficiency is provided in the center of the pixel in a rectangular shape, and a band-shaped area B surrounding the area A is provided.
The outline of the region B is a square along the edges of the gate wiring and the source wiring. The region B is provided with a layer having a high reflection efficiency formed of the same material as the gate wiring material, thereby increasing the reflection efficiency.

【0069】この液晶表示装置の製造方法を以下に説明
する。まず、図11(a)に示すように、絶縁性基板1
上に導電膜を堆積させる。続いて、この導電膜をパター
ニングすることによりゲート電極10、ゲート配線(図
10に示す)及び反射効率の高い層42を形成する。こ
の反射効率の高い層42が形成された部分が上記領域B
に相当する。
A method for manufacturing this liquid crystal display device will be described below. First, as shown in FIG.
A conductive film is deposited thereon. Subsequently, the gate electrode 10, the gate wiring (shown in FIG. 10), and the layer 42 having high reflection efficiency are formed by patterning the conductive film. The area where the layer 42 having high reflection efficiency is formed is the area B
Is equivalent to

【0070】次に、図11(b)に示すように、ゲート
絶縁膜9、半導体層12、チャネル保護層13、ソース
・ドレイン電極となるn+−Si層11を順に形成す
る。さらに、ソース配線3の一部となる金属層3bと、
ドレイン−画素電極接続層43を同一プロセスにて形成
する。接続層43はTFT4のドレイン電極5に一部重
畳している。
Next, as shown in FIG. 11B, a gate insulating film 9, a semiconductor layer 12, a channel protective layer 13, and an n + -Si layer 11 serving as source / drain electrodes are formed in this order. Further, a metal layer 3b which becomes a part of the source wiring 3,
The drain-pixel electrode connection layer 43 is formed by the same process. The connection layer 43 partially overlaps the drain electrode 5 of the TFT 4.

【0071】さらに図11(c)に示すように、ITO
をスパッタ法によって成膜し、透過効率の高い層46及
びソース配線3の一部となるITO層3aとしてパター
ニングする。透過効率の高い層46としては各画素内全
域に形成し、ITO層3aとしては前記金属層3b上に
金属層3bと同一形状となるようパターニングする。ま
た、透過効率の高い層46は上記接続層43に一部重畳
することによりTFT4に電気的に接続されている。
Further, as shown in FIG.
Is formed by a sputtering method, and is patterned as a layer 46 having a high transmission efficiency and an ITO layer 3 a to be a part of the source wiring 3. The layer 46 having a high transmission efficiency is formed in the whole area in each pixel, and the ITO layer 3a is patterned on the metal layer 3b so as to have the same shape as the metal layer 3b. The layer 46 having high transmission efficiency is electrically connected to the TFT 4 by partially overlapping the connection layer 43.

【0072】次に図11(d)に示すように、パシベー
ション膜47を形成しパターニングする。
Next, as shown in FIG. 11D, a passivation film 47 is formed and patterned.

【0073】このように、画素内中央部に透過効率の高
い領域Aが設けられ、ソース配線の縁に沿って帯状の反
射効率の高い領域Bが設けられている。この場合、ソー
ス配線のITO層3aと画素領域の一部である反射効率
の高い層42とが別層に存在するので、それとは領域
A,Bが逆のパターンとなっている場合(中央部が反射
効率の高い領域になっている場合)と比較して、ITO
層3aと反射効率の高い層42とのリークを防止するた
めの間隔をより狭くすることが可能となるため、画素電
極の開口率を向上させることができる。
As described above, the region A having high transmission efficiency is provided in the central portion in the pixel, and the band-shaped region B having high reflection efficiency is provided along the edge of the source wiring. In this case, since the ITO layer 3a of the source wiring and the layer 42 having high reflection efficiency, which is a part of the pixel region, exist in different layers, the regions A and B have opposite patterns (the central portion). Is in the region with high reflection efficiency).
Since the distance between the layer 3a and the layer 42 having high reflection efficiency for preventing leakage can be further reduced, the aperture ratio of the pixel electrode can be improved.

【0074】また、本実施形態では上記実施形態4と同
様に、一種類の電極(透過効率の高い層46)のみで画
素電極を形成しているので、画素電極を二種類の電極で
形成するよりも不良発生が少なく、効率良く製造するこ
とができる。
Also, in the present embodiment, as in Embodiment 4, the pixel electrode is formed by only one type of electrode (the layer 46 having high transmission efficiency), so that the pixel electrode is formed by two types of electrodes. It is possible to produce efficiently with less occurrence of defects.

【0075】尚、本実施形態ではソース配線3として金
属層3bとITO層3aとの二層構造としているため、
仮に金属層3bの一部に膜の欠損があったとしてもIT
O層3aによって電気的に接続されるためソース配線3
の断線を少なくすることが出来るという利点がある。
In this embodiment, since the source wiring 3 has a two-layer structure of the metal layer 3b and the ITO layer 3a,
Even if there is a film defect in a part of the metal layer 3b, the IT
The source wiring 3 is electrically connected by the O layer 3a.
There is an advantage that disconnection can be reduced.

【0076】(実施形態6)以下、実施形態6について
図面に基づき以下に説明を行う。図12は本実施形態の
液晶表示装置におけるアクテイブマトリクス基板の部分
平面図であり、図13(a)〜(c)は本実施形態の液
晶表示装置の製造方法であり、図12のF−F断面に相
当する。
(Embodiment 6) Hereinafter, Embodiment 6 will be described with reference to the drawings. FIG. 12 is a partial plan view of an active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS. 13A to 13C show a method of manufacturing the liquid crystal display device of the present embodiment. It corresponds to a cross section.

【0077】本実施形態は、ゲート配線またはソース配
線上に絶縁膜を介して画素電極を形成することにより、
有効画素面積(実質的に画素として機能する面積)を向
上させることを可能とするものである。尚、図中の参照
符号については上記実施形態1〜5と同様の符号を用い
た。また、画素やTFTの構成及び製造プロセスに関し
ては特に説明がない限り上記実施形態1〜5と同様であ
る。
In the present embodiment, a pixel electrode is formed on a gate wiring or a source wiring via an insulating film.
It is possible to improve the effective pixel area (the area that substantially functions as a pixel). Note that the same reference numerals as those in Embodiments 1 to 5 are used for reference numerals in the drawings. The configurations and manufacturing processes of the pixels and TFTs are the same as in the first to fifth embodiments unless otherwise specified.

【0078】まず、図12において、本実施形態の液晶
表示装置のアクティブマトリクス基板を上方から観察す
ると、画素内中央部に透過効率の高い領域Aが設けら
れ、それを囲うよう帯状に反射効率の高い領域B(図1
2の斜線部)が設けられている。透過効率の高い層から
なる画素電極はゲート配線及びソース配線上に層間絶縁
膜を介して重畳しており、ゲート配線2及びソース配線
3上の液晶層にも電圧が印加されるので、上記実施形態
と比較して有効画素面積を拡大することが可能となる。
この構成では、領域Bにおける反射効率の高い層として
はゲート配線2、ソース配線3が機能する。
First, in FIG. 12, when observing the active matrix substrate of the liquid crystal display device of the present embodiment from above, a region A having a high transmission efficiency is provided in the center of the pixel, and a band having a reflection efficiency having a band shape surrounds the region A. High region B (FIG. 1)
2 (hatched portion). The pixel electrode made of a layer having high transmission efficiency is superimposed on the gate wiring and the source wiring via an interlayer insulating film, and a voltage is also applied to the liquid crystal layer on the gate wiring 2 and the source wiring 3. It is possible to increase the effective pixel area as compared with the mode.
In this configuration, the gate wiring 2 and the source wiring 3 function as layers having high reflection efficiency in the region B.

【0079】この製造方法を以下に説明する。図13
(a)に示すように、絶縁性基板1上にゲート電極10
及びゲート配線2(図12に示す)、ゲート絶縁膜9、
半導体層12、チャネル保護層13、ソース・ドレイン
電極となるn+−Si層11、ソース配線3を順に形成
する。尚、ここで形成するゲート配線2またはソース配
線3のうち、少なくとも後の工程において画素電極とな
る光透過層と重畳させる方については、反射効率の高い
材料を用いることが好ましい。
This manufacturing method will be described below. FIG.
As shown in (a), a gate electrode 10 is formed on an insulating substrate 1.
And gate wiring 2 (shown in FIG. 12), gate insulating film 9,
A semiconductor layer 12, a channel protection layer 13, an n + -Si layer 11 serving as a source / drain electrode, and a source wiring 3 are sequentially formed. Note that, of the gate wiring 2 or the source wiring 3 formed here, it is preferable to use a material having high reflection efficiency at least in a portion to be overlapped with a light transmitting layer serving as a pixel electrode in a later step.

【0080】次に、図13(b)に示すように、層間絶
縁膜44を形成し、続いて層間絶縁膜44を貫通するコ
ンタクトホール45を形成する。続いて、図13(c)
に示すように、ITO等の透過効率の高い材料からなる
透過効率の高い層46をスパッタ法によって形成しパタ
ーニングする。この透過効率の高い層46は層間絶縁膜
44を貫くコンタクトホール45を介してTFT4のド
レイン電極5と接続されている接続層43と接続され
る。ここで、透過効率の高い層46はゲート配線2、ソ
ース配線3の少なくとも一方に重なるようにパターニン
グすることで、透過効率の高い層46と層間絶縁膜44
を介して重なり合うゲート配線2またはソース配線3
を、反射効率の高い層として利用できる。
Next, as shown in FIG. 13B, an interlayer insulating film 44 is formed, and subsequently, a contact hole 45 penetrating the interlayer insulating film 44 is formed. Subsequently, FIG.
As shown in (1), a layer 46 having a high transmission efficiency made of a material having a high transmission efficiency such as ITO is formed by sputtering and patterned. The layer 46 having high transmission efficiency is connected to the connection layer 43 connected to the drain electrode 5 of the TFT 4 via a contact hole 45 penetrating the interlayer insulating film 44. Here, the layer 46 with high transmission efficiency is patterned so as to overlap at least one of the gate wiring 2 and the source wiring 3, so that the layer 46 with high transmission efficiency and the interlayer insulating film 44 are formed.
Gate wiring 2 or source wiring 3 overlapping via
Can be used as a layer having high reflection efficiency.

【0081】尚、この構成では透過効率の高い層46と
ゲート配線2、ソース配線3の間で発生する容量により
クロストーク等の画質劣化が発生しないよう、パネル設
計を行なうことが必要となる。
In this configuration, it is necessary to design a panel so that image quality deterioration such as crosstalk does not occur due to the capacitance generated between the layer 46 having high transmission efficiency, the gate wiring 2 and the source wiring 3.

【0082】このように本実施形態では、画素内中央部
に透過効率の高い領域Aが設けられ、ゲート配線または
ソース配線の縁に沿って反射効率の高い領域Bが形成さ
れている場合に、新たに反射効率の高い領域を設置する
必要がなくプロセスの短縮を図ることができる。
As described above, in the present embodiment, when the region A with high transmission efficiency is provided in the center of the pixel and the region B with high reflection efficiency is formed along the edge of the gate wiring or the source wiring, It is not necessary to newly provide a region having high reflection efficiency, and the process can be shortened.

【0083】(実施形態7)以下、実施形態7について
図面に基づき以下に説明を行う。図14は本実施形態の
液晶表示装置におけるアクティブマトリクス基板の部分
平面図であり、図15(a)〜(c)及び図16(a)
〜(c)は本実施形態の液晶表示装置の製造方法を示す
断面図であり、図14のG−G断面に相当する。
(Embodiment 7) Hereinafter, Embodiment 7 will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a partial plan view of the active matrix substrate in the liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS. 15 (a) to (c) and FIG. 16 (a).
14C are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing the liquid crystal display device of the present embodiment, and correspond to a GG cross section in FIG.

【0084】図14に示すように、画素中央部に透過効
率の高い領域Aが設けられ、それをソース配線3の縁に
沿って帯状の反射効率の高い領域B(図中斜線部)が設
けられている。
As shown in FIG. 14, a region A having a high transmission efficiency is provided in the center of the pixel, and a band-like region B (a hatched portion in the drawing) having a high reflection efficiency is provided along the edge of the source line 3. Have been.

【0085】この領域Bにおいては、絶縁性基板1の上
にランダムに形成した高さの高い凸部(図16の53a
に示す)及び高さの低い凸部(図16の53bに示す)
と、これらの凸部の上に形成された高分子樹脂(図16
の54に示す)とが存在し、さらにこれを覆うように反
射効率の高い層(図16の42に示す)が形成されてい
る。これにより、領域Bの表面層である反射効率の高い
層はその表面が連続する波状となっており、コンタクト
ホール45及び下地電極(図示せず)を介してドレイン
電極5と電気的に接続されている。
In this region B, high protrusions (53a in FIG. 16) randomly formed on the insulating substrate 1.
) And a low-height projection (shown at 53b in FIG. 16).
And the polymer resin formed on these projections (FIG. 16)
And a layer having a high reflection efficiency (shown at 42 in FIG. 16) is formed so as to cover this. As a result, the surface layer of the region B having a high reflection efficiency, which is a surface layer, has a continuous wavy surface, and is electrically connected to the drain electrode 5 via the contact hole 45 and the base electrode (not shown). ing.

【0086】次に、この液晶表示装置の製造方法を図1
5(a)〜(c)及び図16(a)〜(c)を用いて説
明する。まず、図15(a)に示すように、絶縁性基板
1の上にはCr,Ta等からなる複数のゲート配線2
(図14に示す)と、このゲート配線2から分岐したゲ
ート電極10とを形成する。
Next, a method of manufacturing this liquid crystal display device will be described with reference to FIG.
5 (a) to 5 (c) and FIGS. 16 (a) to 16 (c). First, as shown in FIG. 15A, a plurality of gate wirings 2 made of Cr, Ta, etc. are formed on an insulating substrate 1.
(Shown in FIG. 14), and a gate electrode 10 branched from the gate wiring 2 is formed.

【0087】そして、これらのゲート配線2及びゲート
電極10とを覆って、絶縁性基板1上の全面に、SiN
x,SiOx等からなるゲート絶縁膜9を形成し、ゲー
ト電極10の上方のゲート絶縁膜9上には、非晶質シリ
コン(a−Si)や多結晶シリコン、CdSe等からな
る半導体層12を形成する。そして、この半導体層12
の両端部には、非晶質シリコン(a−Si)等からなる
コンタクト層48をチャネル保護層13上で離間して形
成する。
Then, covering the gate wiring 2 and the gate electrode 10, the entire surface of the insulating substrate 1 is covered with SiN.
A gate insulating film 9 made of x, SiOx or the like is formed, and a semiconductor layer 12 made of amorphous silicon (a-Si), polycrystalline silicon, CdSe, or the like is formed on the gate insulating film 9 above the gate electrode 10. Form. Then, the semiconductor layer 12
Are formed on the channel protection layer 13 at both ends of the contact layer 48 made of amorphous silicon (a-Si) or the like.

【0088】このコンタクト層48のうち、一方側上に
はTi,Mo,Al等からなるソース電極49を重畳形
成し、他方側上にはソース電極49と同様にTi,M
o,Al等からなるドレイン電極5を重畳形成する。
尚、本実施形態7では、絶縁性基板1としては、例えば
コーニング社製、商品名7059である厚さ1.1mm
のガラス板を用いることができる。
A contact electrode 49 made of Ti, Mo, Al, or the like is formed on one side of the contact layer 48 so as to overlap therewith.
A drain electrode 5 made of o, Al, or the like is formed so as to overlap.
In the seventh embodiment, as the insulating substrate 1, for example, a product of Corning Co., Ltd., trade name 7059, having a thickness of 1.1 mm
Glass plate can be used.

【0089】次に、図15(b)に示すように、スパッ
タ法を用いて導電膜を成膜しパターニングすることによ
ってソース配線の一部となる金属層3bと同時に下地電
極50を形成する。このとき下地電極50を、図示して
いないがその一部を次段のゲート配線2とゲート絶縁膜
9を介して重なるような構成とすることにより、補助容
量を形成することができる。
Next, as shown in FIG. 15B, a conductive film is formed by sputtering and patterned to form a base electrode 50 at the same time as the metal layer 3b to be a part of the source wiring. At this time, the auxiliary capacitance can be formed by forming a part of the base electrode 50, which is not shown, so as to overlap with the next-stage gate wiring 2 with the gate insulating film 9 interposed therebetween.

【0090】尚、このとき、補助容量を形成するゲート
配線上の領域に反射効率の高い層を重ねるか、或いは、
ゲート配線自体の反射効率を高くする等して、画素領域
(領域B)とすることにより、開口率をさらに向上させ
ることができる。
At this time, a layer having high reflection efficiency may be overlaid on a region on the gate wiring forming the storage capacitor, or
The aperture ratio can be further improved by forming a pixel region (region B) by increasing the reflection efficiency of the gate wiring itself or the like.

【0091】続いて、図15(c)に示すように、上記
金属層3bと併せてソース配線3を構成するITO層3
aをスパッタ法によって成膜、パターニングした。本実
施形態7においては、ソース配線3を構成する層を金属
層3bとITO層3aとの二層構造とした。この構造に
は、仮にソース配線3を構成する金属層3bの一部に膜
の欠陥があったとしても、ITO層3aによって電気的
に接続されるためソース配線3の断線を少なくすること
ができるという利点がある。
Subsequently, as shown in FIG. 15C, the ITO layer 3 forming the source wiring 3 together with the metal layer 3b is formed.
a was formed by sputtering and patterned. In the seventh embodiment, the layer constituting the source wiring 3 has a two-layer structure of the metal layer 3b and the ITO layer 3a. In this structure, even if a part of the metal layer 3b constituting the source wiring 3 has a defect in the film, it is electrically connected by the ITO layer 3a, so that disconnection of the source wiring 3 can be reduced. There is an advantage.

【0092】さらに、この工程においてはこのITO層
3aの形成と同時に画素電極を構成する透過効率の高い
層46をパターニングした。このようにすることで、画
素電極として透過効率の高い層46をソース配線3の形
成と同時に作り込むことができる。
Further, in this step, simultaneously with the formation of the ITO layer 3a, the layer 46 having high transmission efficiency constituting the pixel electrode was patterned. In this manner, a layer 46 having high transmission efficiency as a pixel electrode can be formed simultaneously with the formation of the source wiring 3.

【0093】次に、図16(a)に示すように、感光性
樹脂からなるレジスト膜52を成膜及びパターニング
し、熱処理等を施して角落としすることにより、その一
部を断面が略円形状の高さの高い凸部53aおよび高さ
の低い凸部53bとして領域Bに相当する部分に形成す
る。このとき、透過効率の高い層46の上には、液晶層
に効率良く電圧を印加するために凸部53aおよび53
bを形成しない方が好ましいが、たとえ形成したとして
もそれが透明であれば、光学的には大きな影響を与える
ことはない。
Next, as shown in FIG. 16A, a resist film 52 made of a photosensitive resin is formed and patterned, and is subjected to a heat treatment or the like to be squared off, so that a part thereof has a substantially circular cross section. The convex portions 53a having a high height and the convex portions 53b having a low height are formed in portions corresponding to the region B. At this time, the projections 53a and 53a are placed on the layer 46 having high transmission efficiency in order to efficiently apply a voltage to the liquid crystal layer.
It is preferable not to form b, but even if it is formed, if it is transparent, it will not have a significant optical effect.

【0094】次に、図16(b)に示すように、凸部5
3aおよび53bに沿って、高分子膜54を形成する。
この工程により領域Bにおける凹凸表面を平坦部の少な
いさらに滑らかな形状とすることができる。但し、製造
条件を変更することで、この工程を省略することも可能
である。
Next, as shown in FIG.
A polymer film 54 is formed along 3a and 53b.
By this step, the uneven surface in the region B can be made a smoother shape with few flat portions. However, this step can be omitted by changing the manufacturing conditions.

【0095】続いて、図16(c)に示すように、上述
した高分子膜54の上の所定箇所に、画素電極としての
Alからなる反射効率の高い層42を、例えばスパッタ
リング法により形成した。反射効率の高い層42として
使用するのに適した材料としては、AlやAl合金の他
に、例えば反射効率の高いTa、Ni、Cr、Agなど
を挙げることができ、反射効率の高い層42の厚さとし
ては、0.01〜1.0μm程度が適している。
Subsequently, as shown in FIG. 16C, a layer 42 having high reflection efficiency made of Al as a pixel electrode was formed at a predetermined position on the polymer film 54 by, for example, a sputtering method. . As a material suitable for use as the layer 42 having a high reflection efficiency, in addition to Al and an Al alloy, for example, Ta, Ni, Cr, Ag, or the like having a high reflection efficiency can be given. Is suitably about 0.01 to 1.0 μm.

【0096】以上のように本実施形態によれば、画素内
中央部に透過効率の高い領域Aが形成され反射効率の高
い領域Bがソース配線に沿うように形成されている。こ
のような形状は、ソース配線のITO層3aと画素領域
の一部である反射効率の高い層42とが別層に存在する
ので、逆パターン(中央部が反射効率の高い領域になっ
ている場合)と比較して、これらがリークするのを防止
するために設ける間隔を狭くでき、画素電極の開口率を
向上させることができる。
As described above, according to the present embodiment, the region A having high transmission efficiency is formed in the center of the pixel, and the region B having high reflection efficiency is formed along the source wiring. In such a shape, since the ITO layer 3a of the source wiring and the layer 42 with high reflection efficiency which is a part of the pixel region exist in different layers, the reverse pattern (the center is a region with high reflection efficiency). Compared with the case, the intervals provided for preventing the leakage can be narrowed, and the aperture ratio of the pixel electrode can be improved.

【0097】尚、本実施形態では反射光を広範囲に散乱
させるために反射効率の高い層42の表面を滑らかな凹
凸構造としたが、別に散乱シートを併用する場合は、レ
ジスト膜52により凹凸を形成せず、反射効率の高い層
42の表面を平坦としてもよい。いずれの場合でも、画
素電極を構成する反射効率の高い層42と透過効率の高
い層46とが、第三の物質(例えば、樹脂、Moなどの
金属等)を間に介した別層として存在することで、透過
効率の高い層の材料として特にITO、領域Bのパター
ンに相当する反射効率の高い層の材料としてAlやその
合金をそれぞれ使用した場合に、Alのエッチング工程
で発生しやすい電食反応によって生じるAlのパターニ
ング不良を低減させることが可能である。
In the present embodiment, the surface of the layer 42 having a high reflection efficiency has a smooth uneven structure in order to scatter the reflected light in a wide range. The surface of the layer 42 having high reflection efficiency may be flat without being formed. In any case, the layer 42 having a high reflection efficiency and the layer 46 having a high transmission efficiency constituting the pixel electrode exist as separate layers with a third substance (eg, resin, metal such as Mo) interposed therebetween. In this way, when using ITO as a material for a layer having high transmission efficiency, and using Al or an alloy thereof as a material for a layer having high reflection efficiency corresponding to the pattern of the region B, an electrode which is likely to be generated in the Al etching step. It is possible to reduce poor patterning of Al caused by an erosion reaction.

【0098】(実施形態8)以下、実施形態8について
図面に基づき説明を行なう。図17は実施形態8の液晶
表示装置のアクティブマトリクス基板の一画素部分の平
面図である。また図18は本実施形態の液晶表示装置の
断面構造を示す図であって、図17のH−H断面に相当
する。
(Eighth Embodiment) Hereinafter, an eighth embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 17 is a plan view of one pixel portion of the active matrix substrate of the liquid crystal display device according to the eighth embodiment. FIG. 18 is a diagram showing a cross-sectional structure of the liquid crystal display device of the present embodiment, and corresponds to a cross section taken along line HH of FIG.

【0099】図17及び図18において、アクティブマ
トリクス基板には、画素電極6がマトリクス状に設けら
れており、画素電極6の周囲を通り互いに直交差するよ
うに、走査信号を供給するためのゲート配線2と、表示
信号を供給するためのソース配線3が設けられている。
ゲート配線2とソース配線3は、その一部が画素電極6
の外周部分と層間絶縁膜44を介して重なっている。ま
た、ゲート配線2及びソース配線3は金属膜で形成され
ている。
In FIGS. 17 and 18, pixel electrodes 6 are provided in a matrix on the active matrix substrate, and gates for supplying scanning signals are provided so as to pass around the pixel electrodes 6 and to be orthogonal to each other. A wiring 2 and a source wiring 3 for supplying a display signal are provided.
Part of the gate line 2 and the source line 3 is a pixel electrode 6.
And an outer peripheral portion thereof overlapped with an interlayer insulating film 44 interposed therebetween. Further, the gate wiring 2 and the source wiring 3 are formed of a metal film.

【0100】また、ゲート配線2とソース配線3の交差
部付近に、画素電極6に表示信号を供給するためのスイ
ッチング素子としてのTFT4が設けられている。この
TFT4のゲート電極10にはゲート配線2が接続さ
れ、ゲート電極10に入力される信号によってTFT4
が駆動制御される。また、TFT4のソース電極49に
はソース配線3が接続され、ソース電極49にデータ信
号が入力される。更に、TFT4のドレイン電極5には
接続電極55が接続され、更にコンタクトホール45を
介して画素電極6と電気的に接続される。
Further, a TFT 4 as a switching element for supplying a display signal to the pixel electrode 6 is provided near the intersection of the gate line 2 and the source line 3. The gate wiring 2 is connected to the gate electrode 10 of the TFT 4.
Is drive-controlled. The source wiring 3 is connected to the source electrode 49 of the TFT 4, and a data signal is input to the source electrode 49. Further, a connection electrode 55 is connected to the drain electrode 5 of the TFT 4, and is further electrically connected to the pixel electrode 6 via the contact hole 45.

【0101】接続電極55は、ゲート絶縁膜9を介し
て、コモン配線15との間に補助容量を形成している。
コモン配線15は、金属膜で形成され、図示しない配線
によって対向基板56に形成された対向電極に接続され
ている。コモン配線15はゲート配線2と同一工程で形
成されるとプロセスを短縮することができる。
The connection electrode 55 forms an auxiliary capacitance with the common wiring 15 via the gate insulating film 9.
The common wiring 15 is formed of a metal film, and is connected to a counter electrode formed on the counter substrate 56 by a wiring (not shown). If the common wiring 15 is formed in the same step as the gate wiring 2, the process can be shortened.

【0102】画素電極6は、AlまたはAl系合金から
なる反射効率の高い層42とITOからなる透過効率の
高い層46とによって形成されている。この画素電極6
を上面から観察すると透過効率の高い領域Aと反射効率
の高い領域B(図17の斜線部に相当)とからなってい
る。但し、反射効率の高い層42としては、他の実施形
態と同様、Ta等の反射効率の高い導電性を有する金属
層等であっても構わない。
The pixel electrode 6 is composed of a layer 42 of high reflection efficiency made of Al or an Al-based alloy and a layer 46 of high transmission efficiency made of ITO. This pixel electrode 6
Observed from the top, there is a region A with high transmission efficiency and a region B with high reflection efficiency (corresponding to the hatched portion in FIG. 17). However, the layer 42 with high reflection efficiency may be a conductive metal layer with high reflection efficiency, such as Ta, as in the other embodiments.

【0103】ここで、領域Bは、ゲート配線2、ソース
配線3、TFT4及びコモン配線15等、バックライト
光が透過しないような遮光性の電極や配線部の一部分を
覆うように設計している。この構造により、領域Aとし
て利用できない領域を、反射効率の高い領域Bとして利
用することができるので、開口率を向上させることがで
きる。また、領域Aは領域Bに包囲されるように形成さ
れている。
Here, the region B is designed so as to cover a part of a light-shielding electrode such as the gate wiring 2, the source wiring 3, the TFT 4, the common wiring 15 and the like which does not transmit backlight light and a part of the wiring part. . With this structure, a region that cannot be used as the region A can be used as the region B having high reflection efficiency, so that the aperture ratio can be improved. The region A is formed so as to be surrounded by the region B.

【0104】以上のように本実施形態8のアクティブマ
トリクス基板が構成され、以下のようにして製造するこ
とができる。
As described above, the active matrix substrate of the eighth embodiment is configured, and can be manufactured as follows.

【0105】まず、ガラス等の透明な絶縁性基板1上に
ゲート電極10、ゲート配線2、コモン配線15、ゲー
ト絶縁膜9、半導体層12、チャネル保護層13、ソー
ス電極49及びドレイン電極5を順次成膜して形成す
る。次にソース配線3及び接続電極55を構成する透明
導電膜と金属膜をスパッタ法により積層形成して所定形
状にパターニングする。
First, a gate electrode 10, a gate wiring 2, a common wiring 15, a gate insulating film 9, a semiconductor layer 12, a channel protection layer 13, a source electrode 49 and a drain electrode 5 are formed on a transparent insulating substrate 1 such as glass. It is formed by sequentially forming a film. Next, a transparent conductive film and a metal film forming the source wiring 3 and the connection electrode 55 are formed by lamination by sputtering and patterned into a predetermined shape.

【0106】ソース配線3はITO層3aと金属層3b
の二層構造であって、金属層3bの一部に断線等の欠損
があったとしてもITO層3aによって電気的に接続さ
れるためソース配線3の断線を少なくすることができ
る。
The source wiring 3 is composed of an ITO layer 3a and a metal layer 3b.
Even if there is a defect such as a disconnection in a part of the metal layer 3b, the metal layer 3b is electrically connected by the ITO layer 3a, so that the disconnection of the source wiring 3 can be reduced.

【0107】更にその上に層間絶縁膜44として感光性
アクリル樹脂をスピン塗布法により3μmの膜厚で形成
する。アクリル樹脂を所望のパターンにしたがって露光
し、アルカリ性の溶液によって現像処理する。これによ
り露光された部分のみがアルカリ性の溶液によってエッ
チングされ、層間絶縁膜44を貫通するコンタクトホー
ル45を形成する。このアルカリ現像によるコンタクト
ホール45の形成においては、コンタクトホール45の
テーパ形状も良好なものであった。
Further, a photosensitive acrylic resin is formed thereon as an interlayer insulating film 44 to a thickness of 3 μm by a spin coating method. The acrylic resin is exposed according to a desired pattern and is developed with an alkaline solution. As a result, only the exposed portion is etched by the alkaline solution to form a contact hole 45 penetrating through the interlayer insulating film 44. In the formation of the contact hole 45 by the alkali development, the tapered shape of the contact hole 45 was also good.

【0108】この様に層間絶縁膜44として感光性アク
リル樹脂を用いることより、薄膜の形成をスピン塗布法
によって形成することができるので数μmという膜厚の
薄膜を容易に形成することができ、層間絶縁膜44のパ
ターニングにはフォトレジストの塗布工程が不要となる
等、生産性の点で有利である。
As described above, by using a photosensitive acrylic resin as the interlayer insulating film 44, the thin film can be formed by the spin coating method, so that a thin film having a thickness of several μm can be easily formed. The patterning of the interlayer insulating film 44 is advantageous in terms of productivity such that a photoresist coating step is not required.

【0109】また、本実施形態において用いたアクリル
樹脂は着色されており、パターニング後に全面に露光処
理を施すことによって透明化することができる。尚、上
記透明化処理は化学的にも行うことが可能であり、それ
を用いても良いことは言うまでもない。
The acrylic resin used in the present embodiment is colored and can be made transparent by subjecting the entire surface thereof to an exposure treatment after patterning. The above-mentioned transparency treatment can also be performed chemically, and it goes without saying that it may be used.

【0110】その後、画素電極6の透過効率の高い層4
6となるITOをスパッタ法により成膜しパターニング
する。これにより画素電極6である透過効率の高い層4
6は、層間絶縁膜44を貫くコンタクトホール45を介
して接続電極55と電気的に接続される。
Thereafter, the layer 4 having high transmission efficiency of the pixel electrode 6 is formed.
6 is formed by sputtering and patterned. Thereby, the layer 4 having high transmission efficiency, which is the pixel electrode 6
6 is electrically connected to a connection electrode 55 via a contact hole 45 penetrating through the interlayer insulating film 44.

【0111】次にゲート配線2、ソース配線3、TFT
4及びコモン配線15と重なるよう、透過効率の高い層
46の上に領域Bに対応するAlまたはAl系合金から
なる反射効率の高い層42を形成し、両層を電気的に接
続する。隣接する画素電極6の間は電気的に接続されな
いようにゲート配線2及びソース配線3上で離間する。
Next, the gate wiring 2, the source wiring 3, the TFT
A layer 42 having high reflection efficiency made of Al or an Al-based alloy corresponding to the region B is formed on the layer 46 having high transmission efficiency so as to overlap with the common wiring 4 and the common wiring 15, and both layers are electrically connected. The adjacent pixel electrodes 6 are separated from each other on the gate wiring 2 and the source wiring 3 so as not to be electrically connected.

【0112】このようにして本実施形態のアクティブマ
トリクス基板を製造することができる。また、図18の
ように、このアクティブマトリクス基板と対向基板56
とを貼り合せ、これらの間隙に液晶を封入することによ
り液晶表示装置が完成する。
Thus, the active matrix substrate of this embodiment can be manufactured. In addition, as shown in FIG.
And a liquid crystal is sealed in these gaps to complete a liquid crystal display device.

【0113】以上のように、本実施形態8の液晶表示装
置では、TFT4、ゲート配線2及びソース電極3上に
画素電極6の領域Bに対応する部分に反射効率の高い層
42を設けており、TFT4への光の入射を防止し、ド
メインやディスクリネーションライン等の表示領域内の
光漏れが発生しやすいゲート配線、ソース配線及びコモ
ン配線上の画素電極を遮光するための遮光膜を設ける必
要がなく、従来では遮光膜を設けて遮光していたために
表示領域として用いることができなかった領域を、画素
電極の表示領域として用いることができるため、液晶パ
ネルの表示領域を有効に使用することができる。
As described above, in the liquid crystal display device according to the eighth embodiment, the layer 42 having high reflection efficiency is provided on the portion corresponding to the region B of the pixel electrode 6 on the TFT 4, the gate wiring 2, and the source electrode 3. A light-shielding film is provided to prevent light from entering the TFT 4 and to shield pixel electrodes on a gate line, a source line, and a common line, which are likely to cause light leakage in a display area such as a domain or a disclination line. There is no necessity, and a region which could not be used as a display region because a light-shielding film was conventionally provided and shielded light can be used as a display region of a pixel electrode, so that a display region of a liquid crystal panel is effectively used. be able to.

【0114】また、ゲート配線やソース配線が金属膜で
形成されている場合、これらの配線は、従来、透過型表
示装置ではバックライト光を遮断してしまい表示領域と
して利用することはできなかったが、本実施形態では、
画素中心部に透過効率の高い領域Aが設けられ(本実施
形態では二か所)、それを囲うように帯状の反射効率の
高い領域Bが設けられている。したがって、ゲート配線
やソース配線やコモン配線やスイッチング素子の上方に
反射効率の高い領域Bを形成し、これを画素電極の反射
領域として用いることができるため、その逆のパターン
の場合(領域Aが領域Bを囲むパターンになっている場
合)よりも画素電極の開口率を向上させることができ
る。
Further, when the gate wiring and the source wiring are formed of a metal film, these wirings have conventionally been unable to be used as a display area in a transmissive display device because they block backlight light. However, in the present embodiment,
A region A with high transmission efficiency is provided at the center of the pixel (two places in this embodiment), and a band-like region B with high reflection efficiency is provided so as to surround the region A. Therefore, a region B having high reflection efficiency can be formed above the gate wiring, the source wiring, the common wiring, and the switching element, and this can be used as a reflection region of the pixel electrode. The aperture ratio of the pixel electrode can be improved as compared with the case where the pattern surrounds the region B).

【0115】尚、図19に示すように接続電極55を斜
線で示す領域B内に設けることにより、領域Aでの透過
光の輝度の低下を抑えることができる。
By providing the connection electrode 55 in the area B indicated by oblique lines as shown in FIG. 19, it is possible to suppress a decrease in the luminance of the transmitted light in the area A.

【0116】(実施形態9)以下、実施形態9について
図面に基づき説明を行なう。図20は本実施形態の単純
マトリクス型の液晶表示装置における基板の部分平面図
であり、図20(b)および図20(c)は図20
(a)のC−C断面図である。
(Embodiment 9) Hereinafter, Embodiment 9 will be described with reference to the drawings. FIG. 20 is a partial plan view of a substrate in the simple matrix type liquid crystal display device of the present embodiment, and FIGS. 20 (b) and 20 (c) show FIG.
It is CC sectional drawing of (a).

【0117】図20において、ガラスまたはプラスチッ
ク等からなる一対の透明絶縁性基板上に、複数のストラ
イプ状の電極20がそれぞれ直交するように配設され、
これらの交差する領域が画素6となっている。この画素
6が形成された部分は、基板上方から観察したときに、
透過効率の高い領域Aと反射効率の高い領域Bの2つの
領域からなるもので、本実施形態では、画素中央部に透
過効率の高い層としてのITO7(Indium Ti
n Oxide)が設けられ、その周囲を覆って反射効
率の高い層としてのAlとMoとの2層構造からなる層
8が設けられ、それらが一体となって画素6をなしてい
る。
In FIG. 20, a plurality of stripe-shaped electrodes 20 are arranged on a pair of transparent insulating substrates made of glass or plastic so as to be orthogonal to each other.
These intersecting regions are pixels 6. The portion where the pixel 6 is formed is, when observed from above the substrate,
It consists of two regions, a region A with high transmission efficiency and a region B with high reflection efficiency. In the present embodiment, ITO7 (Indium Ti
n Oxide) is provided, and a layer 8 having a two-layer structure of Al and Mo as a layer having high reflection efficiency is provided so as to cover the periphery thereof.

【0118】そして、図示しないが、以上のような基板
上に配向膜を塗布し、これら一対の基板をストライプ状
の電極20が直交差するように貼り合わせ、これらの基
板間に液晶を封入し、後方にバックライトを設置するこ
とにより本実施形態の液晶表示装置が完成する。なお、
カラー表示を所望とする場合には、赤・緑・青等の着色
層からなるカラーフィルタを液晶層の前方に配置させる
ことでこれを実現できる。
Then, although not shown, an alignment film is coated on the above-mentioned substrates, these paired substrates are bonded together so that the stripe-shaped electrodes 20 are orthogonally crossed, and liquid crystal is sealed between these substrates. By installing a backlight behind, the liquid crystal display device of the present embodiment is completed. In addition,
When a color display is desired, this can be realized by disposing a color filter composed of a colored layer of red, green, blue or the like in front of the liquid crystal layer.

【0119】以下に、図20(a)〜(c)を用いて、
本実施形態の単純マトリクス型の液晶表示装置の製造方
法について簡単に説明を行なう。図20に示すように、
絶縁性基板1上にストライプ状の電極20としてITO
層3a(下層)と金属層3b(上層)とをそれぞれ、順
にスパッタ法によって成膜した後、パターニングする。
本実施形態では電極20としてITO7とAl8を用い
て透過効率の高い領域Aと反射効率の高い領域Bとを形
成した。
Hereinafter, referring to FIGS. 20 (a) to 20 (c),
A method for manufacturing the simple matrix type liquid crystal display device of the present embodiment will be briefly described. As shown in FIG.
ITO as a striped electrode 20 on the insulating substrate 1
The layer 3a (lower layer) and the metal layer 3b (upper layer) are respectively formed by sputtering in order, and then patterned.
In this embodiment, a region A having a high transmission efficiency and a region B having a high reflection efficiency are formed by using ITO 7 and Al 8 as the electrode 20.

【0120】また、Alの厚みとしては、100nm以
上であれば十分安定な反射効率(90%程度)を得るこ
とができるが、本実施形態ではAlの厚みを100n
m、Moの厚みを50nmとし、反射効率が90%とな
り、周囲光を効果的に反射させることができる。尚、反
射効率の高い材料としては、AlまたはAl系合金の
他、Ag、TaやW等の金属を用いてもよい。
If the thickness of Al is 100 nm or more, a sufficiently stable reflection efficiency (about 90%) can be obtained, but in the present embodiment, the thickness of Al is 100 nm.
The thickness of m and Mo is 50 nm, the reflection efficiency is 90%, and ambient light can be effectively reflected. As a material having a high reflection efficiency, a metal such as Ag, Ta or W may be used in addition to Al or an Al-based alloy.

【0121】以上のように本実施形態ではストライプ状
の電極20として、反射効率の高い領域Bと透過効率の
高い領域Aとを設けているので、従来の半透過反射膜を
用いた液晶表示装置と比較して周囲光や照明光をロスな
く利用しながら透過型表示、反射型表示、或いはその両
用型の表示が可能な液晶表示装置が実現される。
As described above, in the present embodiment, the region B having high reflection efficiency and the region A having high transmission efficiency are provided as the stripe-shaped electrodes 20, so that the liquid crystal display device using the conventional transflective film is used. Thus, a liquid crystal display device capable of performing transmissive display, reflective display, or both types of display while using ambient light or illumination light without loss is realized.

【0122】なお、図20(b)では、電極20とし
て、画素6内部にAlがITOに重畳するよう形成され
ており、ITOが画素中央部に形成されている。このよ
うに、ITOとAlとが電気的に接続されているので、
電圧印加時に同一画素内で液晶の配向状態が部分的に異
なるために起こるディスクリネーションラインが発生す
るような不具合が生じない。
In FIG. 20B, as the electrode 20, Al is formed inside the pixel 6 so as to overlap with ITO, and ITO is formed in the center of the pixel. As described above, since ITO and Al are electrically connected,
There is no such a problem that a disclination line occurs due to a partially different alignment state of liquid crystal in the same pixel when a voltage is applied.

【0123】また、図20(c)に示す基板を使用し
て、対向電極22の形成された対向基板23により液晶
表示装置を作製した場合、図21に示すように、透過効
率の高い領域Aに対応する液晶層24のセル厚dt、反
射効率の高い領域Bに対応する液晶層24のセル厚dr
が絶縁層の分だけ異なる。これを利用して、両モードの
光学特性の整合性をとることができる。例えば、dt>
drとなるように、液晶表示装置を作成した場合、両モ
ードの光路長を近づけることができるので、良好な表示
が得られる。さらに、dt=2drとなるように、絶縁
層の膜厚や両基板を指示するスペーサで調整しながら液
晶表示装置を作成した場合には、電圧の供給状態が同じ
であると、両者の電気光学特性の整合性が一層良くな
り、明るさ、コントラストが両モードで揃うため、より
良好な表示が得られる。
When a liquid crystal display device is manufactured using the substrate shown in FIG. 20C and the counter substrate 23 on which the counter electrode 22 is formed, as shown in FIG. Cell thickness dt of the liquid crystal layer 24 corresponding to the region B, and the cell thickness dr of the liquid crystal layer 24 corresponding to the region B having a high reflection efficiency.
Differs by the amount of the insulating layer. Utilizing this, it is possible to obtain consistency between the optical characteristics of both modes. For example, dt>
When a liquid crystal display device is manufactured so as to achieve dr, the optical path lengths of both modes can be made closer, so that good display can be obtained. Furthermore, when the liquid crystal display device is manufactured while adjusting the thickness of the insulating layer and the spacers indicating the two substrates so that dt = 2dr, if the voltage supply state is the same, the electro-optical characteristics of the two are adjusted. Since the matching of the characteristics is further improved, and the brightness and the contrast are uniform in both modes, a better display can be obtained.

【0124】ここで、透過効率の高い領域Aと反射効率
の高い領域Bとを設けた対角8.4インチの液晶表示装
置を作製し、バックライトからの光による透過光と外光
による反射光との64階調表示の特性評価を行った結果
を図22に示す。なお、外光による透過光の測定はトプ
コン製のBM−5で、外光による反射光の測定は大塚電
子製のLCD−5000を用いて行った。また、このと
き、トプコン製のBM−5ではバックライトを光源と
し、大塚電子製のLCD−5000では外光光源として
積分球を用い、光の取り込み角は液晶表示装置の基板面
に対して垂直になるように測定を行った。
Here, a 8.4-inch diagonal liquid crystal display device provided with a region A having a high transmission efficiency and a region B having a high reflection efficiency was manufactured, and the transmitted light by the backlight and the reflection by the external light were manufactured. FIG. 22 shows the results of evaluating the characteristics of 64-gradation display with light. The measurement of transmitted light by external light was performed by using BM-5 manufactured by Topcon, and the measurement of reflected light by external light was performed by using LCD-5000 manufactured by Otsuka Electronics. At this time, the backlight is used as a light source in the BM-5 made by Topcon, an integrating sphere is used as an external light source in the LCD-5000 made by Otsuka Electronics, and the light taking-in angle is perpendicular to the substrate surface of the liquid crystal display device. The measurement was performed so that

【0125】この液晶表示装置は、画素に対して透過効
率の高い領域Aと反射効率の高い領域Bとの比率を約4
対6にして構成し、透過効率の高い領域AをITO、反
射効率の高い領域BをAlにより形成した。また、透過
効率の高い領域Aのセル厚が約5.5μmであるのに対
して、反射効率の高い領域Bのセル厚は約3μmに設定
した。これは、バックライトからの光による透過光の光
路長と外光による反射光の光路長をできるだけ合わせる
ためである。透過効率の高い領域Aは、図22に示すよ
うに、バックライトからの光による透過光と外光による
反射光の64階調表示の透過率・反射率はほぼ一致して
おり、バックライトからの光による透過光と外光による
反射光との両方を同時に利用して表示するときにも十分
な表示品位が得られる。このときのコントラスト比は、
バックライトからの光による透過光において約200、
外光による反射光において約25が得られた。
In this liquid crystal display device, the ratio of the area A having high transmission efficiency and the area B having high reflection efficiency to the pixel is about 4%.
The area A having a high transmission efficiency was formed of ITO, and the area B having a high reflection efficiency was formed of Al. The cell thickness of the region A having a high transmission efficiency was set to about 3 μm, while the cell thickness of the region A having a high transmission efficiency was set to about 5.5 μm. This is to make the optical path length of the transmitted light by the light from the backlight and the optical path length of the reflected light by the external light as close as possible. As shown in FIG. 22, in the region A where the transmission efficiency is high, the transmittance / reflectance of 64-gradation display of the transmitted light due to the light from the backlight and the reflected light due to the external light are almost the same. Sufficient display quality can be obtained when displaying by simultaneously using both the transmitted light due to the light and the reflected light due to the external light. The contrast ratio at this time is
About 200 in transmitted light by light from the backlight,
About 25 was obtained in the reflected light by external light.

【0126】図23に、従来の対角8.4インチの透過
型の液晶表示装置の色再現性を示し、図24に、本実施
形態における対角8.4インチの透過効率の高い領域A
と反射効率の高い領域Bとを設けた液晶表示装置の色再
現性を示す。図23に示すように、従来の液晶表示装置
は、外光のパネル照度が800(lx)、1700(l
x)と増加するにつれて色再現範囲は著しく低下する。
しかしながら、図24に示すように、本実施形態におけ
る液晶表示装置は、外光のパネル照度が800(l
x)、1700(lx)と増加しても色再現範囲の低下
はほとんど発生していない。これは、従来の液晶表示装
置は、外光の液晶表示装置表面での表面反射や遮光用の
ブラックマスク・バスラインなどからの反射光によりコ
ントラストが低下するためである。これに対して、本実
施形態における液晶表示装置は、外光を用いて反射領域
で表示を行うため、従来の液晶表示装置で発生していた
コントラストの低下は、どれだけ外光が強くなっても反
射領域でのコントラスト低下にはならない。そのため、
本実施形態における透過効率の高い領域Aと反射効率の
高い領域Bとを設けた液晶表示装置は、外光のパネル照
度がどれだけ増加しても色再現範囲の低下はほとんど発
生せず、どのような環境下においても視認性の高い表示
を行うことが可能となっている。
FIG. 23 shows the color reproducibility of a conventional 8.4-inch diagonal transmissive liquid crystal display device. FIG. 24 shows a region 8.4-inch diagonally high transmission efficiency A in this embodiment.
4 shows the color reproducibility of a liquid crystal display device provided with a region B having high reflection efficiency. As shown in FIG. 23, in the conventional liquid crystal display device, the panel illuminance of external light is 800 (lx), 1700 (l
The color gamut is significantly reduced as x) increases.
However, as shown in FIG. 24, in the liquid crystal display device according to the present embodiment, the panel illuminance of the external light is 800 (l).
x) Even if it is increased to 1700 (lx), the color gamut is hardly reduced. This is because, in the conventional liquid crystal display device, the contrast is lowered due to surface reflection of external light on the surface of the liquid crystal display device or light reflected from a light blocking black mask bus line or the like. On the other hand, the liquid crystal display device according to the present embodiment performs display in the reflection region using external light. Does not cause a decrease in contrast in the reflection area. for that reason,
In the liquid crystal display device provided with the region A having a high transmission efficiency and the region B having a high reflection efficiency in the present embodiment, no matter how much the panel illuminance of the external light increases, the color reproduction range hardly decreases. It is possible to perform a display with high visibility even in such an environment.

【0127】本実施形態のように、透過効率の高い領域
と反射効率の高い領域とを設けた液晶表示装置は、使用
者の都合で画面の向きを変えたり見やすい環境のところ
へ移動して作業をするということができないような商品
に搭載すれば特に効果的である。
As in the present embodiment, a liquid crystal display device provided with a region having a high transmission efficiency and a region having a high reflection efficiency changes the direction of the screen or moves to an environment where it is easy to see for the convenience of the user. It is particularly effective to mount it on products that cannot be used.

【0128】なお、このような本実施形態における液晶
表示装置の特徴点に関し、上述した実施形態7で説明し
た図16(c)に示した基板を使用して液晶表示装置を
作製した場合でも同様の効果が得られる。
Note that the features of the liquid crystal display device according to the present embodiment are the same even when the liquid crystal display device is manufactured using the substrate shown in FIG. 16C described in the seventh embodiment. The effect of is obtained.

【0129】さらに、本実施形態では領域Aと領域Bと
の面積比率を60:40とすることによっても、良好な
表示特性を得ることができた。尚、面積比率はこの値に
限定されることはなく、領域A、Bの透過効率または反
射効率、及び使用目的に応じて適宜変更してもよい。
Further, in this embodiment, good display characteristics could be obtained by setting the area ratio between the region A and the region B to 60:40. The area ratio is not limited to this value, and may be appropriately changed according to the transmission efficiency or the reflection efficiency of the regions A and B and the purpose of use.

【0130】本発明では、領域Bの面積比率は有効画素
面積(領域Aの面積と領域Bの面積とを合せた面積)に
対して10〜90%であることが好ましい。この比率が
10%未満であるとき、すなわち透過効率の高い領域が
画素に占める割合が高すぎると、外部光が明るすぎて表
示が霞んでしまうという従来の透過型液晶表示装置で生
じていたのと同じ問題が生じてしまう。反対に、領域B
の面積比率が90%を超えてしまうと、周囲光だけでは
表示を観察することができない程に周囲光が暗くなって
しまった時にバックライトを点灯させて表示したとして
も領域Aの割合が低すぎて表示が見づらくなってしま
う。
In the present invention, the area ratio of the area B is preferably 10 to 90% with respect to the effective pixel area (the area obtained by adding the area A and the area B). When this ratio is less than 10%, that is, when the ratio of the area with high transmission efficiency to the pixels is too high, the external light is too bright and the display is fuzzy. The same problem occurs. Conversely, area B
When the area ratio exceeds 90%, the ratio of the area A is low even when the backlight is turned on and displayed when the ambient light becomes dark enough that the display cannot be observed only with the ambient light. The display is too hard to see.

【0131】特に、主な使用環境が戸外である商品形態
に搭載する場合にはバッテリ寿命を重視する必要があ
り、低消費電力化を優先させた、外部光を効率良く利用
できるような設計としなければならない。したがって、
反射効率の高い領域Bの割合は40〜90%であること
が望ましい。ここで、領域Bの面積比率が40%である
と、反射型だけで表示できる環境が非常に限定され、バ
ックライトを点灯しなければない時間が長くなるのでバ
ッテリ寿命が短くなる。
In particular, when the product is mounted in a product type in which the main use environment is outdoors, it is necessary to attach importance to the battery life, and the design is made such that the power consumption is prioritized and the external light can be used efficiently. There must be. Therefore,
It is desirable that the ratio of the region B having high reflection efficiency is 40 to 90%. Here, if the area ratio of the region B is 40%, the environment in which the display can be performed only by the reflection type is very limited, and the time when the backlight must be turned on becomes long, so that the battery life is shortened.

【0132】また逆に、主な使用環境を屋内とする商品
形態に搭載する場合にはバックライト光を効率良く利用
するような設計とする。したがって、領域Bの割合は1
0〜60%が望ましい。領域Bの面積比率が60%を超
えてしまうと、バックライト光が透過する領域Aの面積
が小さく、バックライトの輝度を、例えば透過型液晶表
示装置よりも著しく高くする必要があるため、消費電力
が高くなりバックライトの利用効率が低下してしまう。
On the other hand, when mounted in a product form in which the main use environment is indoors, the design is such that the backlight light is efficiently used. Therefore, the ratio of the area B is 1
0 to 60% is desirable. If the area ratio of the area B exceeds 60%, the area of the area A through which the backlight transmits is small, and the brightness of the backlight needs to be significantly higher than that of, for example, a transmissive liquid crystal display device. The power is increased, and the efficiency of use of the backlight is reduced.

【0133】なお、上述した実施形態では、基板を上方
から観察した場合に、画素内中央部に透過効率の高い領
域Aが設けられ、それを囲うように反射効率の高い領域
Bが設けられているような構成について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図25
(a)〜(c)に示すように、画素内中央部に反射効率
の高い領域Bが設けられ、それを囲うような透過効率の
高い領域Aが設けられているような構成であっても構わ
ない。このような単純マトリクス型の液晶表示装置につ
いても、上述した実施形態と同様の手法により製造する
ことが可能である。
In the above-described embodiment, when the substrate is observed from above, a region A having a high transmission efficiency is provided in the center of the pixel, and a region B having a high reflection efficiency is provided so as to surround the region A. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, FIG.
As shown in (a) to (c), even in a configuration in which a region B with high reflection efficiency is provided in the central portion in the pixel and a region A with high transmission efficiency surrounding the region B is provided. I do not care. Such a simple matrix type liquid crystal display device can also be manufactured by the same method as in the above-described embodiment.

【0134】(実施形態10)以下、実施形態10につ
いて図面に基づき以下に説明を行う。図26(a)は本
実施形態の単純マトリクス型の液晶表示装置における基
板の部分平面図であり、図26(b)および図26
(c)は図26(a)のC−C断面図である。
Embodiment 10 Hereinafter, embodiment 10 will be described with reference to the drawings. FIG. 26A is a partial plan view of a substrate in the simple matrix type liquid crystal display device of the present embodiment, and FIG. 26B and FIG.
FIG. 27C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.

【0135】本実施形態は、ストライプ状の電極20が
形成された部分を上方から観察したときに、透過効率の
高い領域Aと反射効率の高い領域Bとが、画素中央付近
を境に分割されている形状となっている。尚、図中の参
照符号については上記実施形態9と同様のものとする。
また、画素の構成及び製造プロセスに関しても特に説明
がない限り上記実施形態9と同様である。
In this embodiment, when the portion where the stripe-shaped electrodes 20 are formed is observed from above, the region A having high transmission efficiency and the region B having high reflection efficiency are divided at the vicinity of the pixel center. Shape. The reference numerals in the drawing are the same as in the ninth embodiment.
The configuration and manufacturing process of the pixel are the same as those in the ninth embodiment unless otherwise specified.

【0136】図26に示すように、本実施形態では、透
過効率の高いITO7が画素内の中央部付近より分割さ
れて設けられ、また、AlとMoとの2層構造からなる
層8が画素中央部にて前記ITO7に重畳し、ITO7
とは逆側に分割されて設けられている。
As shown in FIG. 26, in this embodiment, an ITO 7 having a high transmission efficiency is provided so as to be divided from the vicinity of a central portion in a pixel, and a layer 8 having a two-layer structure of Al and Mo is provided in the pixel. Superimposed on the ITO7 at the center,
Is provided on the opposite side.

【0137】このように本実施形態ではストライプ状の
電極20として、透過効率の高い領域Bと透過効率の高
い領域Aとを設けているので、従来の半透過反射膜を用
いた液晶表示装置と比較して周囲光や照明光をロスなく
利用しながら透過型表示、反射型表示、或いはその両用
型の表示が可能な液晶表示装置が実現される。
As described above, in the present embodiment, the region B having a high transmission efficiency and the region A having a high transmission efficiency are provided as the stripe-shaped electrodes 20, so that the conventional liquid crystal display device using a semi-transmissive reflection film can be used. In comparison, a liquid crystal display device capable of performing transmissive display, reflective display, or both types of display while using ambient light or illumination light without loss is realized.

【0138】なお、図26(b)では、電極20とし
て、画素6内の中央部付近より分割されてAlがITO
に重畳するよう形成されており、ITOが画素6全面に
形成されている。また、図26(c)では、ITOとA
lとが画素6内の中央部付近において一部重畳して分割
形成されている。
In FIG. 26B, the electrode 20 is divided from the vicinity of the center in the pixel 6 and Al is formed of ITO.
, And ITO is formed on the entire surface of the pixel 6. In FIG. 26 (c), ITO and A
1 is partially formed so as to partially overlap near the center of the pixel 6.

【0139】なお、上述した実施形態では、ストライプ
状の電極20が形成された部分を上方から観察したとき
に、透過効率の高い領域Aと反射効率の高い領域Bと
が、画素中央付近を境に分割されているような構成につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば、図27(a)(b)に示すように、ストラ
イプ状の電極20内中央部に反射効率の高い領域Bが設
けられ、それを覆うように両側に透過効率の高い領域A
が設けられているような構成であっても構わない。この
ような単純マトリクス型の液晶表示装置についても、上
述した実施形態と同様の手法により製造することが可能
である。
In the above-described embodiment, when the portion where the stripe-shaped electrode 20 is formed is observed from above, the region A having high transmission efficiency and the region B having high reflection efficiency are bounded by the vicinity of the pixel center. Although the present invention has been described with respect to a configuration in which the electrode is divided into two, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIGS. An area B having high efficiency is provided, and areas A having high transmission efficiency are provided on both sides to cover the area B.
May be provided. Such a simple matrix type liquid crystal display device can also be manufactured by the same method as in the above-described embodiment.

【0140】以上、本発明の液晶表示装置の実施形態1
〜8について説明を行なったが、以下ではさらに本発明
と従来の反射型液晶表示装置または透過型液晶表示装置
との相違点について説明を行なう。
As described above, Embodiment 1 of the liquid crystal display device of the present invention
8 have been described, and the differences between the present invention and the conventional reflective liquid crystal display device or conventional transmissive liquid crystal display device will be further described below.

【0141】従来の反射型液晶表示装置では、低消費電
力を目的として周囲光を利用して表示を行なうため、十
分な電源を供給できる環境下でも周囲光がある限界値よ
りも暗い場合には表示を認識することができなくなる。
このことは、反射型液晶表示装置の最大の欠点であっ
た。
In the conventional reflection type liquid crystal display device, display is performed using ambient light for the purpose of low power consumption. Therefore, even if the ambient light is darker than a certain limit value even in an environment where sufficient power can be supplied. The display cannot be recognized.
This was the biggest drawback of the reflection type liquid crystal display.

【0142】また、その製造において反射電極の反射特
性がばらつくと周囲光の利用効率にもばらつきが生じる
ため、表示を認識することができなくなる臨界値として
の周囲光強度もパネル間でばらつくことになる。そのた
め、製造の際には従来の透過型液晶表示装置における開
口率のばらつき以上に反射特性のばらつきを制御しなけ
れば安定した表示特性を有する液晶表示装置を得ること
ができなかった。
In addition, if the reflection characteristics of the reflective electrode vary in the manufacturing process, the utilization efficiency of ambient light also varies, so that the ambient light intensity as a critical value at which display cannot be recognized varies between panels. Become. Therefore, at the time of manufacturing, a liquid crystal display device having stable display characteristics could not be obtained unless variation in the reflection characteristics was controlled more than variation in the aperture ratio in the conventional transmission type liquid crystal display device.

【0143】これに対し、本発明の液晶表示装置は十分
な電源を供給できる環境下では従来の透過型液晶表示装
置と同様にバックライト光を利用するため、周囲光の強
度にかかわらず表示認識が可能となる。よって、本発明
は反射特性のばらつきによる周囲光の利用効率のばらつ
きも反射型液晶表示装置ほど緻密に制御する必要はない
という利点を有するものである。
On the other hand, the liquid crystal display device of the present invention uses backlight light in an environment where sufficient power can be supplied, similarly to a conventional transmissive liquid crystal display device. Becomes possible. Therefore, the present invention has an advantage in that it is not necessary to control the variation in the utilization efficiency of the ambient light due to the variation in the reflection characteristic as precisely as in the reflection type liquid crystal display device.

【0144】他方、従来の透過型液晶表示装置では周囲
光が明るくなると表面反射成分が増加するため表示認識
が困難となりやすかった。これに対し、本発明の液晶表
示装置では周囲光が明るくなると反射領域を併用するこ
とによりパネル輝度も増加するため、より視認性が向上
するという利点を有している。
On the other hand, in the conventional transmission type liquid crystal display device, when the ambient light becomes bright, the surface reflection component increases, so that it is easy to make display recognition difficult. On the other hand, the liquid crystal display device of the present invention has an advantage that the visibility is further improved because the panel luminance is increased by using the reflection area together with the brighter ambient light.

【0145】以上のように、本発明の液晶表示装置は従
来の透過型液晶表示装置において周囲光が明るい環境下
で表面反射により視認性が低下するという課題と、従来
の反射型液晶表示装置において周囲光が暗い環境下でパ
ネル輝度低下により表示観察が困難となるという課題
の、両方を同時に解消することができると共に、何れの
特長をも有する優れたものである。
As described above, the liquid crystal display device of the present invention has the problem that the visibility is reduced due to surface reflection in an environment where ambient light is bright in the conventional transmission type liquid crystal display device, and the conventional reflection type liquid crystal display device does not. The present invention can simultaneously solve both of the problems that display observation becomes difficult due to a decrease in panel brightness in an environment where ambient light is dark, and also has both advantages.

【0146】[0146]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の液晶表示
装置によれば、半透過反射膜よりも透過効率の高い領域
及び反射効率の高い領域を各画素内に設け、それぞれの
領域において透過効率の高い層または反射効率の高い層
を画素として機能させるので、従来の半透過反射膜を用
いた液晶表示装置のように、例えば迷光現象によって周
囲光や照明光の利用効率が低下することがなく、周囲光
の輝度がどの程度であっても反射型表示として、透過型
表示として、或いはそれらの両用型として、常に良好な
画像を表示することができる。また、バックライト光と
周囲光の両者を同時に、効率よく表示に寄与させること
ができるので、常にバックライト光のみを利用する所
謂、透過型液晶表示装置と比較して消費電力量を格段に
減少させることが可能となる。
As described above in detail, according to the liquid crystal display device of the present invention, a region having a higher transmission efficiency and a region having a higher reflection efficiency than the transflective film are provided in each pixel. Since a layer having high transmission efficiency or a layer having high reflection efficiency functions as a pixel, the use efficiency of ambient light or illumination light is reduced due to, for example, a stray light phenomenon as in a conventional liquid crystal display device using a transflective film. Therefore, no matter what the brightness of the ambient light is, a good image can always be displayed as a reflective display, a transmissive display, or a dual-purpose display. In addition, since both the backlight and the ambient light can be simultaneously and efficiently contributed to the display, the amount of power consumption is significantly reduced as compared with a so-called transmissive liquid crystal display device that always uses only the backlight. It is possible to do.

【0147】すなわち、従来の反射型液晶表示装置にあ
った、周囲光が暗い場合に視認性が極端に低下するとい
う欠点と、従来の透過型液晶表示装置にあった、周囲光
が非常に明るい場合に表示が見えにくくなる欠点を、本
発明によって光の利用効率を高めながら同時に解決する
ことができる。
That is, there is a drawback that the visibility is extremely reduced when the ambient light is dark, which is a problem with the conventional reflective liquid crystal display device, and the ambient light is very bright, which is a conventional transmissive liquid crystal display device. The disadvantage that the display becomes difficult to see in such a case can be solved at the same time by improving the light use efficiency by the present invention.

【0148】また、前記反射効率の高い領域が、ゲート
配線またはソース配線、またはスイッチング素子の何れ
かの一部分を被覆することにより、この部分に入射した
光をも表示に寄与させることが可能となり、その結果、
画素の有効エリアを格段に向上することが可能となる。
半透過反射膜を用いた上記従来技術の課題を解決するば
かりか、一般の透過型液晶表示装置と比較しても画素開
口率を向上させることができる。
In addition, the region having high reflection efficiency covers any part of the gate wiring or the source wiring or the switching element, so that light incident on this part can also contribute to display. as a result,
The effective area of the pixel can be significantly improved.
In addition to solving the above-mentioned problems of the related art using the transflective film, the pixel aperture ratio can be improved even in comparison with a general transmissive liquid crystal display device.

【0149】また、透過効率の高い層のみで画素電極を
構成することにより、例えば、透過効率の高い層と反射
効率の高い層とが電気的に互いに接続されることにより
一画素分の画素電極をなしている場合や、透過効率の高
い層と反射効率の高い層のそれぞれ一部分が互いに重な
り合うことにより一つの画素電極をなす場合等と比較し
て、画素電極に起因する不良発生を低減でき、良品率が
向上する。
Further, by forming a pixel electrode only with a layer having a high transmission efficiency, for example, a layer having a high transmission efficiency and a layer having a high reflection efficiency are electrically connected to each other so that a pixel electrode for one pixel is formed. In comparison with the case where a single pixel electrode is formed by overlapping a part of a layer having a high transmission efficiency and a layer having a high reflection efficiency with each other, it is possible to reduce the occurrence of defects due to the pixel electrode, The yield rate is improved.

【0150】また、透過効率の高い領域または反射効率
の高い領域を構成する材料と、ソース配線またはゲート
配線を構成する材料と同一とすることにより、液晶表示
装置の製造プロセスが簡単になる。
Further, by using the same material for forming the region having high transmission efficiency or the region having high reflection efficiency and the material for forming the source wiring or the gate wiring, the manufacturing process of the liquid crystal display device is simplified.

【0151】さらに、反射効率の高い領域の面積比率を
10〜90%にすることにより周囲光が明るすぎて表示
が霞んで見えにくくなるという従来の透過型液晶表示装
置で生じていた問題と、また、周囲光強度が極めて弱い
場合には全く観察ができなかったという従来の反射型液
晶表示装置で生じていた問題の両方が解決され、周囲光
がどのような状況であっても反射型表示として、透過型
表示として、或いはその両用型として、最適な表示を行
なうことが可能となる。
Further, by setting the area ratio of the region having a high reflection efficiency to 10 to 90%, the ambient light is too bright and the display is obscured and becomes difficult to see. In addition, both problems of the conventional reflection type liquid crystal display device, which was impossible to observe at all when the ambient light intensity is extremely weak, are solved, and the reflection type display is performed regardless of the ambient light condition. As a result, an optimal display can be performed as a transmissive display or a dual-purpose display.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1の液晶表示装置を示す平面
図である。
FIG. 1 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】本発明の実施形態2の液晶表示装置を示す平面
図である。
FIG. 3 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

【図4】図3のB−B断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 3;

【図5】本発明の実施形態3の液晶表示装置を示す平面
図である。
FIG. 5 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】図3のC−C断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 3;

【図7】本発明の他の実施形態の液晶表示装置を示す平
面図である。
FIG. 7 is a plan view showing a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態4の液晶表示装置を示す平面
図である。
FIG. 8 is a plan view showing a liquid crystal display device according to Embodiment 4 of the present invention.

【図9】図8のD−D断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line DD of FIG. 8;

【図10】本発明の実施形態5の液晶表示装置を示す平
面図である。
FIG. 10 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図11】図10のE−E断面図である。FIG. 11 is a sectional view taken along line EE of FIG. 10;

【図12】本発明の実施形態6の液晶表示装置を示す平
面図である。
FIG. 12 is a plan view showing a liquid crystal display device according to Embodiment 6 of the present invention.

【図13】図12のF−F断面図である。13 is a sectional view taken along line FF of FIG.

【図14】本発明の実施形態7の液晶表示装置を示す平
面図である。
FIG. 14 is a plan view showing a liquid crystal display device according to Embodiment 7 of the present invention.

【図15】図14のG―G断面に相当する液晶表示装置
の製造右方法を示す図である。
15 is a diagram illustrating a method for manufacturing a liquid crystal display device corresponding to a section taken along line GG of FIG. 14;

【図16】図14のG―G断面に相当する液晶表示装置
の製造右方法を示す図である。
16 is a diagram illustrating a method for manufacturing a liquid crystal display device corresponding to a section taken along line GG of FIG. 14;

【図17】本発明の実施形態8の液晶表示装置を示す平
面図である。
FIG. 17 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図18】図17のH−H断面図である。18 is a sectional view taken along line HH of FIG.

【図19】実施形態8における他の液晶表示装置を示す
平面図である。
FIG. 19 is a plan view showing another liquid crystal display device according to the eighth embodiment.

【図20】実施形態9における単純マトリクス型液晶表
示装置を示す図面である。
FIG. 20 is a view showing a simple matrix type liquid crystal display device according to a ninth embodiment.

【図21】実施形態9における単純マトリクス型液晶表
示装置を示す断面面である。
FIG. 21 is a sectional view showing a simple matrix liquid crystal display device according to a ninth embodiment.

【図22】実施形態9における液晶表示装置の特性評価
を示す面である。
FIG. 22 is a view illustrating the characteristic evaluation of the liquid crystal display device according to the ninth embodiment.

【図23】実施形態9において用いた従来の透過型液晶
表示装置の色再現性を示す面である。
FIG. 23 is a view showing the color reproducibility of the conventional transmissive liquid crystal display device used in the ninth embodiment.

【図24】実施形態9における液晶表示装置の色再現性
を示す面である。
FIG. 24 is a diagram illustrating the color reproducibility of the liquid crystal display device according to the ninth embodiment.

【図25】実施形態9における他の単純マトリクス型液
晶表示装置を示す図面である。
FIG. 25 is a view showing another simple matrix type liquid crystal display device according to the ninth embodiment.

【図26】実施形態10における単純マトリクス型液晶
表示装置を示す図面である。
FIG. 26 is a view showing a simple matrix type liquid crystal display device according to a tenth embodiment.

【図27】実施形態10における他の単純マトリクス型
液晶表示装置を示す図面である。
FIG. 27 is a view showing another simple matrix type liquid crystal display device according to the tenth embodiment.

【図28】従来の液晶表示装置を示す平面図である。FIG. 28 is a plan view showing a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁性基板 2 ゲート配線 2a 次段ゲート配線 3 ソース配線 3a ITO層 3b 金属層 4 TFT 5 ドレイン電極 6、38 画素電極 7 ITO 8 AlまたはAl系合金 9 ゲート絶縁膜 10 ゲート電極 11 n+−Si層 12 半導体層 13 チャネル保護層 14 Mo 15 コモン配線 20 ストライプ状電極 21 絶縁層 22 ストライプ対向電極 23 対向基板 24 液晶層 30 偏光板 31 位相差板 32 透明基板 33 ブラックマスク 34 対向電極 35 配向膜 36 液晶層 37 MIM 39 光源 41 導電膜 42 反射効率の高い層 43 (ドレイン−画素電極)接続層 44 層間絶縁膜 45 コンタクトホール 46 透過効率の高い層 47 パッシベーション膜 48 コンタクト層 49 ソース電極 50 下地電極 52 レジスト膜 53a 高さの高い凸部 53b 高さの低い凸部 54 パッシベーション膜 55 接続電極 56 対向基板DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating substrate 2 Gate wiring 2a Next-stage gate wiring 3 Source wiring 3a ITO layer 3b Metal layer 4 TFT 5 Drain electrode 6, 38 Pixel electrode 7 ITO 8 Al or Al-based alloy 9 Gate insulating film 10 Gate electrode 11 n + - Si layer 12 Semiconductor layer 13 Channel protection layer 14 Mo 15 Common wiring 20 Stripe electrode 21 Insulation layer 22 Stripe counter electrode 23 Counter substrate 24 Liquid crystal layer 30 Polarizer 31 Phase difference plate 32 Transparent substrate 33 Black mask 34 Counter electrode 35 Alignment film 36 liquid crystal layer 37 MIM 39 light source 41 conductive film 42 layer with high reflection efficiency 43 (drain-pixel electrode) connection layer 44 interlayer insulation film 45 contact hole 46 layer with high transmission efficiency 47 passivation film 48 contact layer 49 source electrode 50 base electrode 52 resist film 53a High convex part 53b Low convex part 54 Passivation film 55 Connection electrode 56 Counter substrate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤岡 正悟 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 伴 厚志 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 島田 尚幸 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 吉村 洋二 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 片山 幹雄 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 石井 裕 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 2H091 FA14Y FB08 FC02 FD04 FD06 GA03 GA07 GA13 HA08 KA04 KA10 LA03 LA18 2H092 JA26 JA27 JA40 JA44 JA45 JA46 JB04 JB05 JB07 JB56 JB57 KB13 KB25 MA05 MA12 NA25 PA12 QA08  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Shogo Fujioka, Inventor 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Atsushi Ban 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside (72) Inventor Naoyuki Shimada 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka City, Osaka Sharp Corporation (72) Inventor Yoji Yoshimura 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka City, Osaka Sharp Corporation ( 72) Inventor Mikio Katayama 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka (72) Inventor Hiroshi Ishii 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka F-term (reference) 2H091 FA14Y FB08 FC02 FD04 FD06 GA03 GA07 GA13 HA08 KA04 KA10 LA03 LA18 2H092 JA26 JA27 JA40 JA44 JA45 JA46 JB04 JB05 JB07 JB56 JB57 KB13 KB25 MA05 M A12 NA25 PA12 QA08

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも2枚の基板間に液晶層が挾持
され、該液晶層に電圧を印加する一対の電極によって規
定される複数の画素を備える液晶表示装置において、 前記複数の画素内には、透過効率の高い領域と反射効率
の高い領域とが設けられており、それぞれにおいて透過
効率の高い層または反射効率の高い層が画素電極として
機能することにより光の利用効率を向上させることを特
徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device comprising a plurality of pixels defined by a pair of electrodes for applying a voltage to said liquid crystal layer, wherein said liquid crystal layer is sandwiched between at least two substrates. , A region with high transmission efficiency and a region with high reflection efficiency are provided, and in each of them, a layer with high transmission efficiency or a layer with high reflection efficiency functions as a pixel electrode to improve light use efficiency. Liquid crystal display device.
【請求項2】 前記複数の画素は、基板上に形成された
複数のゲート配線と、該ゲート配線と直交するように配
置された複数のソース配線と、によって包囲されること
を特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
2. The method according to claim 1, wherein the plurality of pixels are surrounded by a plurality of gate wirings formed on a substrate and a plurality of source wirings arranged orthogonal to the gate wirings. Item 2. The liquid crystal display device according to item 1.
【請求項3】 前記反射効率の高い領域が、前記ゲート
配線またはソース配線、またはスイッチング素子の何れ
かの一部分を被覆するものであることを特徴とする請求
項2に記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the region having a high reflection efficiency covers a part of the gate wiring or the source wiring or a part of the switching element.
【請求項4】 前記透過効率または反射効率の高い層
が、前記ゲート配線またはソース配線の何れかを構成す
る材料にて形成されていることを特徴とする請求項2ま
たは3に記載の液晶表示装置。
4. The liquid crystal display according to claim 2, wherein the layer having high transmission efficiency or high reflection efficiency is formed of a material constituting either the gate wiring or the source wiring. apparatus.
【請求項5】 前記透過効率の高い層のみが画素電極と
して機能し、且つ、前記反射効率の高い層が前記透過効
率の高い層とは電気的に絶縁されていることを特徴とす
る請求項1乃至4に記載の液晶表示装置。
5. The method according to claim 1, wherein only the layer having high transmission efficiency functions as a pixel electrode, and the layer having high reflection efficiency is electrically insulated from the layer having high transmission efficiency. 5. The liquid crystal display device according to any one of 1 to 4.
【請求項6】 前記画素領域に占める前記反射効率の高
い領域の面積比率が10〜90%であることを特徴とす
る請求項1乃至5に記載の液晶表示装置。
6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein an area ratio of the high reflection efficiency area to the pixel area is 10 to 90%.
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