JP2000019414A - Ｘｙステージ - Google Patents
ＸｙステージInfo
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- JP2000019414A JP2000019414A JP10182613A JP18261398A JP2000019414A JP 2000019414 A JP2000019414 A JP 2000019414A JP 10182613 A JP10182613 A JP 10182613A JP 18261398 A JP18261398 A JP 18261398A JP 2000019414 A JP2000019414 A JP 2000019414A
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- Japan
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- crystal glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、小型化を図ることができるととも
に、機能的にも使い易いＸＹステージを提供する。 【解決手段】上下方向に重ねて配置されるとともに、互
いに直交する方向に移動可能にしたＸステージ３２とＹ
ステージ３１を有し、このうちのＸステージ３２上に、
該Ｙステージ３１の移動方向に沿って直線移動可能なス
ライドステージ４を設け、このスライドステージ４上に
検査対象である液晶ガラス基板５を載置している。
に、機能的にも使い易いＸＹステージを提供する。 【解決手段】上下方向に重ねて配置されるとともに、互
いに直交する方向に移動可能にしたＸステージ３２とＹ
ステージ３１を有し、このうちのＸステージ３２上に、
該Ｙステージ３１の移動方向に沿って直線移動可能なス
ライドステージ４を設け、このスライドステージ４上に
検査対象である液晶ガラス基板５を載置している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ガラス基板の
外観検査に用いられる顕微鏡などのＸＹステージに関す
るものである。
外観検査に用いられる顕微鏡などのＸＹステージに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイのガラス基板の
品質を安定して保つため、基板表面に付着したごみや傷
などの外観検査が極めて重要になっている。このような
外観検査では、検査対象の液晶ガラス基板をＸＹステー
ジに載置するとともに、ステージをＸＹ方向に移動しな
がら、液晶ガラス基板を所定の観察位置まで移動させる
ようにしている。
品質を安定して保つため、基板表面に付着したごみや傷
などの外観検査が極めて重要になっている。このような
外観検査では、検査対象の液晶ガラス基板をＸＹステー
ジに載置するとともに、ステージをＸＹ方向に移動しな
がら、液晶ガラス基板を所定の観察位置まで移動させる
ようにしている。
【０００３】ところで、最近、液晶ガラス基板は、ます
ます大型化の傾向があり、これに伴い、これら基板を載
置するＸＹステージも大型化の傾向にある。このこと
は、観察光学系が固定されたＸＹステージを有する顕微
鏡では、ステージスの移動範囲が基板の面積に対して４
倍必要になるため、装置外形が著しく大きくなってしま
う。つまり、このような顕微鏡では、ステージの移動範
囲の大きさにより装置外形が決定されることになる。
ます大型化の傾向があり、これに伴い、これら基板を載
置するＸＹステージも大型化の傾向にある。このこと
は、観察光学系が固定されたＸＹステージを有する顕微
鏡では、ステージスの移動範囲が基板の面積に対して４
倍必要になるため、装置外形が著しく大きくなってしま
う。つまり、このような顕微鏡では、ステージの移動範
囲の大きさにより装置外形が決定されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、ステージの移
動範囲を最小限に抑えることが装置外形を縮小する上で
重要なことであるが、このステージの移動範囲は、検査
対象である液晶ガラス基板の大きさにより決定される。
例えば、６７０×５５０のガラス基板全面を検査しよう
とすると、ステージの移動範囲は、Ｘ軸方向に６７０×
２、Ｙ方向に５５０×２以上必要にもなることである。
動範囲を最小限に抑えることが装置外形を縮小する上で
重要なことであるが、このステージの移動範囲は、検査
対象である液晶ガラス基板の大きさにより決定される。
例えば、６７０×５５０のガラス基板全面を検査しよう
とすると、ステージの移動範囲は、Ｘ軸方向に６７０×
２、Ｙ方向に５５０×２以上必要にもなることである。
【０００５】このようにＸ，Ｙ方向に大きなストローク
を有するステージを使用した場合、装置全体が非常に大
型となるとともに、ステージに追随して移動する操作ハ
ンドルの移動量も大きくなる。特に、ステージを左右
（Ｘ方向）に移動する場合は、操作ハンドルの操作性に
それほど問題を生じないが、Ｙステージを観察者から離
れる前方に最大ストロークまで移動させると、操作ハン
ドルに手が届かないという機能上の問題や観察者がガラ
ス基板上に身を乗り出して操作することになるため、観
察者から落ちる塵などによりガラス基板が汚染される問
題もあった。このように、単に検査対象のガラス基板の
大きさに合せてステージストロークを設定する従来の方
法では、装置の大型化を防止できないばかりか、機能的
にも使用しずらいという問題があった。本発明は、上記
事情に鑑みてなされたもので、小型化を図ることができ
るとともに、機能的にも使い易いＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
を有するステージを使用した場合、装置全体が非常に大
型となるとともに、ステージに追随して移動する操作ハ
ンドルの移動量も大きくなる。特に、ステージを左右
（Ｘ方向）に移動する場合は、操作ハンドルの操作性に
それほど問題を生じないが、Ｙステージを観察者から離
れる前方に最大ストロークまで移動させると、操作ハン
ドルに手が届かないという機能上の問題や観察者がガラ
ス基板上に身を乗り出して操作することになるため、観
察者から落ちる塵などによりガラス基板が汚染される問
題もあった。このように、単に検査対象のガラス基板の
大きさに合せてステージストロークを設定する従来の方
法では、装置の大型化を防止できないばかりか、機能的
にも使用しずらいという問題があった。本発明は、上記
事情に鑑みてなされたもので、小型化を図ることができ
るとともに、機能的にも使い易いＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上下方向に重ねて配置されるとともに、互いに直交する
方向に移動可能にした上ステージと下ステージを有する
ＸＹステージにおいて、検査対象が載置されるととも
に、前記上ステージ上にＹ方向に沿って直線移動可能に
設けられた補助ステージを具備している。
上下方向に重ねて配置されるとともに、互いに直交する
方向に移動可能にした上ステージと下ステージを有する
ＸＹステージにおいて、検査対象が載置されるととも
に、前記上ステージ上にＹ方向に沿って直線移動可能に
設けられた補助ステージを具備している。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する上
ステージまたは下ステージの最大前進移動位置から、さ
らに所定距離だけ前進方向に移動可能にしている。
明において、前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する上
ステージまたは下ステージの最大前進移動位置から、さ
らに所定距離だけ前進方向に移動可能にしている。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する上
ステージまたは下ステージの最大後退移動位置から、さ
らに所定距離だけ後退方向に移動可能にしている。
明において、前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する上
ステージまたは下ステージの最大後退移動位置から、さ
らに所定距離だけ後退方向に移動可能にしている。
【０００９】この結果、請求項１記載の発明によれば、
検査対象である例えば液晶ガラス基板の縦（Ｙ方向）の
長さに比してＹステージの最大ストロークを小さく設定
でき、ガラス基板の大きさより小さいステージストロー
クによりガラス基板全面の検査を行なうことができ、か
つＹ操作ハンドルの移動量を小さくできる。
検査対象である例えば液晶ガラス基板の縦（Ｙ方向）の
長さに比してＹステージの最大ストロークを小さく設定
でき、ガラス基板の大きさより小さいステージストロー
クによりガラス基板全面の検査を行なうことができ、か
つＹ操作ハンドルの移動量を小さくできる。
【００１０】請求項２記載の発明によれば、補助ステー
ジは、Ｙステージの最大前進位置から手前側で操作でき
るので、補助ステージの操作ハンドルまでの距離を小さ
くできる。
ジは、Ｙステージの最大前進位置から手前側で操作でき
るので、補助ステージの操作ハンドルまでの距離を小さ
くできる。
【００１１】請求項３記載の発明によれば、補助ステー
ジは、Ｙステージの最大後退位置から操作できるので、
補助ステージの操作ハンドルまでの距離をさらに小さく
できる。
ジは、Ｙステージの最大後退位置から操作できるので、
補助ステージの操作ハンドルまでの距離をさらに小さく
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１（ａ）（ｂ）は、本発明のＸＹ
ステージが適用される基板検査装置の概略構成を示して
いる。
面に従い説明する。図１（ａ）（ｂ）は、本発明のＸＹ
ステージが適用される基板検査装置の概略構成を示して
いる。
【００１３】図において、１は装置本体で、この装置本
体１には、水平方向に固定ステージ（ベース）２が設け
られ、この固定ステージ２上にＸＹステージ３が設けら
れている。
体１には、水平方向に固定ステージ（ベース）２が設け
られ、この固定ステージ２上にＸＹステージ３が設けら
れている。
【００１４】このＸＹステージ３は、図２に示すように
固定ステージ２上に、図示しないガイドを介して前後方
向（Ｙ方向）に直線移動可能に下ステージ（以後、Ｙス
テージと呼ぶ）３１が設けられ、また、Ｙステージ３１
上に、図示しないガイドを介してＹステージ３１の移動
方向と直交する左右方向（Ｘ方向）に直線移動可能に上
ステージ（以後、Ｘステージと呼ぶ。）３２が設けられ
ている。
固定ステージ２上に、図示しないガイドを介して前後方
向（Ｙ方向）に直線移動可能に下ステージ（以後、Ｙス
テージと呼ぶ）３１が設けられ、また、Ｙステージ３１
上に、図示しないガイドを介してＹステージ３１の移動
方向と直交する左右方向（Ｘ方向）に直線移動可能に上
ステージ（以後、Ｘステージと呼ぶ。）３２が設けられ
ている。
【００１５】さらに、Ｘステージ３２上には、補助ステ
ージであるスライドステージ４が設けられている。この
スライドステージ４は、基板観察座標基準Ｏに位置合わ
せされた検査対象の液晶ガラス基板５を載置するもの
で、Ｘステージ３２上の相対向する２つの側縁部に沿っ
て設けられたガイド６１、６１に沿って、さらにＹ方向
に直線移動可能になっている。また、スライドステージ
４には、操作ハンドル４１が設けられ、この操作ハンド
ル４１によりＸステージ３２上でのＹ方向への移動を可
能にしている。
ージであるスライドステージ４が設けられている。この
スライドステージ４は、基板観察座標基準Ｏに位置合わ
せされた検査対象の液晶ガラス基板５を載置するもの
で、Ｘステージ３２上の相対向する２つの側縁部に沿っ
て設けられたガイド６１、６１に沿って、さらにＹ方向
に直線移動可能になっている。また、スライドステージ
４には、操作ハンドル４１が設けられ、この操作ハンド
ル４１によりＸステージ３２上でのＹ方向への移動を可
能にしている。
【００１６】この場合、図３に示すように、スライドス
テージ４上に載置される検査対象の液晶ガラス基板５
（図中斜線で示す）として、例えば、６７０ｍｍ×５５
０ｍｍの大きさのものを想定すると、Ｘステージ３２
は、液晶ガラス基板５の長辺側の２倍、つまり６７０ｍ
ｍ×２の範囲でＸ方向に直線移動可能に設定され、Ｙス
テージ３１は、液晶ガラス基板５の短辺側の２倍、つま
り５５０ｍｍ×２より狭い、例えば、４５０ｍｍ×２の
範囲でＹ方向に直線移動可能に設定され、スライドステ
ージ４は、Ｙステージ３１上を、さらに１００ｍｍの範
囲で直線移動可能に設定されている。
テージ４上に載置される検査対象の液晶ガラス基板５
（図中斜線で示す）として、例えば、６７０ｍｍ×５５
０ｍｍの大きさのものを想定すると、Ｘステージ３２
は、液晶ガラス基板５の長辺側の２倍、つまり６７０ｍ
ｍ×２の範囲でＸ方向に直線移動可能に設定され、Ｙス
テージ３１は、液晶ガラス基板５の短辺側の２倍、つま
り５５０ｍｍ×２より狭い、例えば、４５０ｍｍ×２の
範囲でＹ方向に直線移動可能に設定され、スライドステ
ージ４は、Ｙステージ３１上を、さらに１００ｍｍの範
囲で直線移動可能に設定されている。
【００１７】一方、図１に戻って、ＸＹステージ３の上
方には、顕微鏡７が設けられている。この顕微鏡７は、
顕微鏡本体７１、延長光学系７２および接眼部７３から
なるもので、顕微鏡本体７１は、装置本体１に設けた門
型支柱１１によりＸＹステージ３に対向する位置に固定
して設けられ、この顕微鏡本体７１の接眼部７３を延長
光学系７２を介して装置前方に導出している。この場
合、ＸＹステージ３に対向する顕微鏡本体７１は、Ｘス
テージ３２のＸ方向の移動範囲の中央で、且つＹステー
ジ３１のＹ方向の移動範囲の中央に位置している。
方には、顕微鏡７が設けられている。この顕微鏡７は、
顕微鏡本体７１、延長光学系７２および接眼部７３から
なるもので、顕微鏡本体７１は、装置本体１に設けた門
型支柱１１によりＸＹステージ３に対向する位置に固定
して設けられ、この顕微鏡本体７１の接眼部７３を延長
光学系７２を介して装置前方に導出している。この場
合、ＸＹステージ３に対向する顕微鏡本体７１は、Ｘス
テージ３２のＸ方向の移動範囲の中央で、且つＹステー
ジ３１のＹ方向の移動範囲の中央に位置している。
【００１８】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。まず、スライドステージ４上に検査対象
の６７０ｍｍ×５５０ｍｍの液晶ガラス基板５を載置す
る。
作を説明する。まず、スライドステージ４上に検査対象
の６７０ｍｍ×５５０ｍｍの液晶ガラス基板５を載置す
る。
【００１９】この場合、図４（ａ）に示すようにスライ
ドステージ４上の基板観察座標基準Ｏに液晶ガラス基板
５の下角部を一致させて位置合わせする。また、この状
態で、スライドステージ４を、図２（ａ）に示すように
Ｘステージ３２上の手前端まで移動させた状態で、図４
（ａ）に示すように液晶ガラス基板５の観察監視位置と
なる上左角部を顕微鏡本体７１の観察光軸（対物レン
ズ）に一致させる。
ドステージ４上の基板観察座標基準Ｏに液晶ガラス基板
５の下角部を一致させて位置合わせする。また、この状
態で、スライドステージ４を、図２（ａ）に示すように
Ｘステージ３２上の手前端まで移動させた状態で、図４
（ａ）に示すように液晶ガラス基板５の観察監視位置と
なる上左角部を顕微鏡本体７１の観察光軸（対物レン
ズ）に一致させる。
【００２０】この状態から、Ｘステージ３２をＸ方向、
つまり左右方向に移動させつつ、Ｙステージ３１をＹ方
向に前進（観察者から離れる方向）させる。これによ
り、図４（ｂ）に示すように斜線部で示す下側１００ｍ
ｍを除いた液晶ガラス基板５面の上方部から下方部に向
けて順に、顕微鏡本体７１より観察像が取り込まれ、延
長光学系７２を介して接眼部７３により欠陥検査が行な
われる。
つまり左右方向に移動させつつ、Ｙステージ３１をＹ方
向に前進（観察者から離れる方向）させる。これによ
り、図４（ｂ）に示すように斜線部で示す下側１００ｍ
ｍを除いた液晶ガラス基板５面の上方部から下方部に向
けて順に、顕微鏡本体７１より観察像が取り込まれ、延
長光学系７２を介して接眼部７３により欠陥検査が行な
われる。
【００２１】図４（ｂ）に示すようにＹステージ３１を
Ｙ方向に最大の４５０ｍｍまで前進移動させると、Ｙス
テージ３１は、これ以上移動しないので、液晶ガラス基
板５面の斜線部で示す下側１００ｍｍについては、Ｙス
テージ３１のＹ方向の移動では観察できないことにな
る。
Ｙ方向に最大の４５０ｍｍまで前進移動させると、Ｙス
テージ３１は、これ以上移動しないので、液晶ガラス基
板５面の斜線部で示す下側１００ｍｍについては、Ｙス
テージ３１のＹ方向の移動では観察できないことにな
る。
【００２２】この場合、Ｙステージ３１上のスライドス
テージ４を、図２（ｂ）に示すように前進させ方向に操
作する。これにより、図４（ｃ）に示すように液晶ガラ
ス基板５面の斜線部で示す下側１００ｍｍについても、
顕微鏡本体７１より延長光学系７２を介して接眼部７３
により欠陥検査を行なうことができる。
テージ４を、図２（ｂ）に示すように前進させ方向に操
作する。これにより、図４（ｃ）に示すように液晶ガラ
ス基板５面の斜線部で示す下側１００ｍｍについても、
顕微鏡本体７１より延長光学系７２を介して接眼部７３
により欠陥検査を行なうことができる。
【００２３】上述では、液晶ガラス基板５面の上方部か
ら下方部に向けて欠陥検査を行なう場合をのべたが、液
晶ガラス基板５面の下方部から上方部に向けて欠陥検査
を行なうこともできる。この場合、スライドステージ４
を、図２（ｂ）に示すようにＸステージ３２の前方端ま
で移動させた状態で、液晶ガラス基板５の観察開始位置
となる下左角部を顕微鏡本体７１の観察光軸（対物レン
ズ）に一致させる。
ら下方部に向けて欠陥検査を行なう場合をのべたが、液
晶ガラス基板５面の下方部から上方部に向けて欠陥検査
を行なうこともできる。この場合、スライドステージ４
を、図２（ｂ）に示すようにＸステージ３２の前方端ま
で移動させた状態で、液晶ガラス基板５の観察開始位置
となる下左角部を顕微鏡本体７１の観察光軸（対物レン
ズ）に一致させる。
【００２４】この状態から、Ｘステージ３２をＸ方向、
つまり左右方向に移動させ、Ｙステージ３１をＹ方向に
後退（観察者に近付く方向）させる。これにより、図５
（ｂ）に示すように傾斜部で示す上側１００ｍｍを除い
た液晶ガラス基板５面の下方部から上方部に向けて、顕
微鏡本体７１より観察像が取り込まれ、延長光学系７２
を介して接眼部７３により欠陥検査が行なわれる。
つまり左右方向に移動させ、Ｙステージ３１をＹ方向に
後退（観察者に近付く方向）させる。これにより、図５
（ｂ）に示すように傾斜部で示す上側１００ｍｍを除い
た液晶ガラス基板５面の下方部から上方部に向けて、顕
微鏡本体７１より観察像が取り込まれ、延長光学系７２
を介して接眼部７３により欠陥検査が行なわれる。
【００２５】図５（ｂ）に示すようにＹステージ３１を
Ｙ方向に最大の４５０ｍｍまで後退移動させると、Ｙス
テージ３１は、これ以上移動しないので、液晶ガラス基
板５面の斜線部で示す上側１００ｍｍについては、Ｙス
テージ３１のＹ方向の移動では観察できないことにな
る。
Ｙ方向に最大の４５０ｍｍまで後退移動させると、Ｙス
テージ３１は、これ以上移動しないので、液晶ガラス基
板５面の斜線部で示す上側１００ｍｍについては、Ｙス
テージ３１のＹ方向の移動では観察できないことにな
る。
【００２６】そこで、今度は、Ｘステージ３２上のスラ
イドステージ４を、図２（ａ）に示すように後退移動さ
せるように操作する。これにより、図５（ｃ）に示すよ
うに液晶ガラス基板５面の斜線部で示す上側１００ｍｍ
についても、顕微鏡本体７１より延長光学系７２を介し
て接眼部７３により欠陥検査を行なうことができる。
イドステージ４を、図２（ａ）に示すように後退移動さ
せるように操作する。これにより、図５（ｃ）に示すよ
うに液晶ガラス基板５面の斜線部で示す上側１００ｍｍ
についても、顕微鏡本体７１より延長光学系７２を介し
て接眼部７３により欠陥検査を行なうことができる。
【００２７】従って、このようにすれば、上下方向に重
ねて配置されるとともに、互いに直交する方向に移動可
能にしたＸステージ３２とＹステージ３１を有し、この
うちのＸステージ３２上に、Ｙステージ３１の移動方向
に沿って直線移動可能なスライドステージ４を設け、こ
のスライドステージ４に検査対象である液晶ガラス基板
５を載置するようにしたので、液晶ガラス基板５の大き
さより小さいステージストロークにより基板全面の検査
を行なうことができるようになり、このようなステージ
を適用した装置全体の小型化を図ることができる。
ねて配置されるとともに、互いに直交する方向に移動可
能にしたＸステージ３２とＹステージ３１を有し、この
うちのＸステージ３２上に、Ｙステージ３１の移動方向
に沿って直線移動可能なスライドステージ４を設け、こ
のスライドステージ４に検査対象である液晶ガラス基板
５を載置するようにしたので、液晶ガラス基板５の大き
さより小さいステージストロークにより基板全面の検査
を行なうことができるようになり、このようなステージ
を適用した装置全体の小型化を図ることができる。
【００２８】また、スライドステージ４は、Ｙステージ
３１の最大前進移動位置から、さらに所定距離だけ前進
方向に移動できるようにし、スライドステージ４をＹス
テージ３１の最大前進位置よりも手前側で操作でき、ス
ライドステージ４の操作ハンドル４１までの距離を液晶
ガラス基板５の大きさより小さくできるので、操作ハン
ドル４１に手が届かないという問題を解消でき、機能的
な使い易さを向上させることができる。
３１の最大前進移動位置から、さらに所定距離だけ前進
方向に移動できるようにし、スライドステージ４をＹス
テージ３１の最大前進位置よりも手前側で操作でき、ス
ライドステージ４の操作ハンドル４１までの距離を液晶
ガラス基板５の大きさより小さくできるので、操作ハン
ドル４１に手が届かないという問題を解消でき、機能的
な使い易さを向上させることができる。
【００２９】さらに、スライドステージ４は、Ｙステー
ジ３１の最大後退位置から、さらに所定距離だけ後退方
向に移動できるので、スライドステージ４の操作ハンド
ル４１までの距離をさらに小さくでき、機能的な使い易
さをさらに向上させることができる。
ジ３１の最大後退位置から、さらに所定距離だけ後退方
向に移動できるので、スライドステージ４の操作ハンド
ル４１までの距離をさらに小さくでき、機能的な使い易
さをさらに向上させることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、検
査対象である例えば液晶ガラス基板の大きさより小さい
ステージストロークによりガラス基板全面の検査を行な
うことができるので、このようなステージを適用した装
置全体の小型化を図ることができる。
査対象である例えば液晶ガラス基板の大きさより小さい
ステージストロークによりガラス基板全面の検査を行な
うことができるので、このようなステージを適用した装
置全体の小型化を図ることができる。
【００３１】また、補助ステージは、Ｙステージの最大
前進位置の手前から操作でき、補助ステージの操作ハン
ドルまでの距離を検査対象である液晶ガラス基板の大き
さより小さくできるので、操作ハンドルに手が届かない
という問題を解消でき、機能的な使い易さを向上させる
ことができる。
前進位置の手前から操作でき、補助ステージの操作ハン
ドルまでの距離を検査対象である液晶ガラス基板の大き
さより小さくできるので、操作ハンドルに手が届かない
という問題を解消でき、機能的な使い易さを向上させる
ことができる。
【００３２】さらに、補助ステージは、Ｙステージの最
大後退位置から操作できるので、補助ステージの操作ハ
ンドルまでの距離をさらに小さくでき、機能的な使い易
さをさらに向上させることができる。
大後退位置から操作できるので、補助ステージの操作ハ
ンドルまでの距離をさらに小さくでき、機能的な使い易
さをさらに向上させることができる。
【図１】本発明の一実施の形態のＸＹステージが適用さ
れる基板検査装置の概略構成を示す図。
れる基板検査装置の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態のＸＹステージの概略構成を示す
図。
図。
【図３】一実施の形態のＸＹステージに設けられるスラ
イドステージを説明する図。
イドステージを説明する図。
【図４】一実施の形態の動作例を説明する図。
【図５】一実施の形態の他の動作例を説明する図。
１…装置本体、 １１…主柱、 ２…固定ステージ、 ３…ＸＹステージ、 ３１…Ｙステージ、 ３２…Ｘステージ、 ４…スライドステージ、 ４１…操作ハンドル、 ５…液晶ガラス基板、 ６１…ガイド、 ７…顕微鏡、 ７１…顕微鏡本体、 ７２…延長光学系、 ７３…接眼部。
Claims (3)
- 【請求項１】 上下方向に重ねて配置されるとともに、
互いに直交する方向に移動可能にした上ステージと下ス
テージを有するＸＹステージにおいて、 検査対象が載置されるとともに、前記上ステージ上にＹ
方向に沿って直線移動可能に設けられた補助ステージを
具備したことを特徴とするＸＹステージ。 - 【請求項２】 前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する
上ステージまたは下ステージの最大前進移動位置から、
さらに所定距離だけ前進方向に移動可能にしたことを特
徴とする請求項１記載のＸＹステージ。 - 【請求項３】 前記補助ステージは、Ｙ方向に移動する
上ステージまたは下ステージの最大後退移動位置から、
さらに所定距離だけ後退方向に移動可能にしたことを特
徴とする請求項１記載のＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18261398A JP4217300B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | Ｘｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18261398A JP4217300B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | Ｘｙステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000019414A true JP2000019414A (ja) | 2000-01-21 |
| JP4217300B2 JP4217300B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=16121360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18261398A Expired - Fee Related JP4217300B2 (ja) | 1998-06-29 | 1998-06-29 | Ｘｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4217300B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105765440A (zh) * | 2013-06-26 | 2016-07-13 | 阿兰蒂克微科学股份有限公司 | 用于显微的样品处理改进 |
-
1998
- 1998-06-29 JP JP18261398A patent/JP4217300B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105765440A (zh) * | 2013-06-26 | 2016-07-13 | 阿兰蒂克微科学股份有限公司 | 用于显微的样品处理改进 |
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| JP4217300B2 (ja) | 2009-01-28 |
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