JP2000012958A - ビート信号発生装置 - Google Patents
ビート信号発生装置Info
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Abstract
変化に対してビート信号の周波数が安定であり、かつ、
このビート信号の周波数を変化することのできる、新規
なビート信号発生装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 基板上に、光を入力するための少なく
とも2つ以上の入力ポートと、光を出力するための少な
くとも1つ以上の出力ポートと、入力ポートと出力ポー
トを結び入力された光を光学的に結合する光結合部を備
えた光導波路と、を有する導波路型の光結合素子、およ
び、各入力ポートへ光を入力するための光源で、入力ポ
ートに応じた数のレーザダイオードを備えた半導体レー
ザ発振器、よりなるビート信号発生装置であって、(ア)
グレーティングを入力ポートと光結合部との間に形成
し、(イ) 半導体レーザ発振器は、グレーティングを外部
共振器としてグレーテイングの反射周波数で発振するこ
と、を解決手段とする。
Description
源からのレーザ光を合波して各々の発振周波数の差に応
じたビート信号を発生させるビート信号発生装置に関す
るものである。殊に、安定した周波数のレーザ光を発生
させるために、光源を光導波路に設けたグレーティング
を外部共振器とするレーザダイオードよりなる半導体レ
ーザ発振器とし、また、温調手段を装荷してグレーティ
ングの温度を変えることによりレーザ光の発振周波数を
微調するビート信号発生装置に関する。
信号発生装置Cが使用されている。すなわち、光源たる
レーザダイオード51・51は、それぞれ光ファイバ5
2・52および入力ポート54・54を介して、光結合
素子53(光カプラ)に結ばれる構成をとっている。こ
の場合、各レーザダイオード51よりのレーザ光Lは、
それぞれ光ファイバ52を通過して、入力ポート54よ
り光結合素子53に入力される。そして、光結合素子5
3の内部でそれぞれの経路を通過してきた2つのレーザ
光L・Lが合波され、両レーザダイオード51・51に
より発振されるレーザ光L・Lの周波数の差(波長の
差)で変調されたビート信号Sが、光結合素子53の出
力ポート55・55より外部に出力される。
示すビート信号発生装置Cでは、発振されるレーザ光L
の周波数(波長)がレーザダイオード51の温度と注入
電流で変化するため、2つのレーザ光L・Lを合波する
ことにより発生するビート信号Sの周波数も変化するこ
とになる。したがって、一定した周波数のビート信号S
を得るためには、レーザダイオード51の温度や注入電
流を正確に制御する手段が必要であるという問題があ
る。また、レーザダイオード51への注入電流や温度を
変化させることによりビート信号Sの周波数を任意に制
御することも可能であるが、上記のように一定した周波
数のビート信号Sを得るのも困難である状況では、ビー
ト信号Sの周波数を任意に制御するのはさらに困難であ
る。
注入電流の変化に対してビート信号の周波数が安定であ
り、かつこのビート信号の周波数を変化することのでき
る、新規なビート信号発生装置を提供することを目的と
する。
解決するために、基板上に、光を入力するための少なく
とも2つ以上の入力ポートと、前記光を出力するための
少なくとも1つ以上の出力ポートと、前記入力ポートと
前記出力ポートを結び前記入力された光を光学的に結合
する光結合部を備えた光導波路と、を有する導波路型の
光結合素子、および、各前記入力ポートへ前記光を入力
するための光源で、前記入力ポートに応じた数のレーザ
ダイオードを備えた半導体レーザ発振器、よりなるビー
ト信号発生装置であって、(ア) 前記光導波路には、前記
入力ポートと前記光結合部との間にグレーティングが形
成されていること、(イ) 前記半導体レーザ発振器は、前
記グレーティングを外部共振器として該グレーティング
の反射周波数で発振するものであることを特徴とする。
即ち、グレーティングを設けることにより各レーザダイ
オードの発振波長は、外部共振器であるグレーティング
の反射周波数(反射波長)に支配されるため、レーザダ
イオードが置かれる環境温度や注入電流の変化に対して
も安定となる。また、各グレーティングを同一基板内に
設けることにより発振周波数の差は光結合素子が置かれ
る環境温度に対しても安定となる。これにより、安定し
たビート信号を発生することが可能となる。さらに、グ
レーティングを光結合素子と同一の基板内に形成するこ
とで、半導体レーザ発振器と光結合素子との光学的な結
合を容易にするとともに、装置の専有面積を削減する効
果もある。
のうち少なくとも1つに装荷され該グレーティングの温
度を調節するための温調手段を備えたビート信号発生装
置を提案する。これによれば、グレーティングの温度を
任意に調節することでビート信号の周波数を微調整する
ことも可能となる。
入力ポート2つと前記出力ポート1つを有しかつ前記光
結合部が略Y字型をした、Y字型光合波器であることを
特徴とする(請求項3)。これによれば、確実に複数の
レーザ光を合波し、ビート信号を発生することができ
る。
ビート信号発生装置では、前記光結合素子が、前記入力
ポート2つと前記出力ポート2つを有しかつ前記光結合
部が略X字型をした、方向性結合器であることを特徴と
する。これによれば、2つのレーザ光を2の出力ポート
を有する方向性結合器を用いて合波するので、確実にビ
ート信号を2つの出力ポートから得ることができる。
を有する場合は、該出力ポートの少なくとも1つに受光
素子を設けたことを特徴とする(請求項5)。これによ
れば、方向性結合器を含む光結合素子からの出力光であ
るビート信号を電気信号に変換して出力することができ
る。
合素子と同一の基板上に設けられていることを特徴とし
た請求項5に記載のビート信号発生装置を提案する。こ
れによれば、光結合素子と受光素子との光学的結合を確
実にするとともに、装置を小型化することが可能とな
る。
発生装置では、前記半導体レーザ発振器が光結合素子と
同一の基板上に設けられていることを特徴とした請求項
1乃至請求項6のいずれか1項に記載したビート信号発
生装置を提案する。これによれば、半導体レーザ発振器
を導波型の光結合素子(Y字型光合波器および方向性結
合器を含む)と同一の基板に固定するので、ビート信号
発生装置を小型化するとともに、光結合素子と半導体レ
ーザ発振器との光学的な結合を確実にすることができ
る。
詳細に説明する。 《第1の実施形態(出力ポートが一つの場合)》図1
は、本発明の第1の実施形態に係るビート信号発生装置
を示す斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態
に係るビート信号発生装置(基板一体型)を示す斜視図
である。
信号発生装置Bは、複数の光源より発せられるレーザ光
L・L・・を光学的に結合してビート信号Sを発生する光
結合素子1と、これにレーザ光L・L・・を供給する光源
たる半導体レーザ発振器2より構成される。本実施形態
では、光結合素子1が出力ポート15を1つだけ有する
光合波器1aからなる。
を入力するための複数の入力ポート14・14・・と、外
部レーザ共振器の役割を果たすグレーティング16・1
6・・と、入力された全てのレーザ光L・L・・を合波しビ
ート信号Sを発生する光結合部12と、発生したビート
信号Sを外部へ出力する出力ポート15を1つと、各入
力ポート14・14・・、各グレーティング16・16・
・、光結合部12および出力ポート15を結ぶ光導波路
11よりなる(図1、図2)。なお、光導波路11は、
特に断りがない限り、レーザ光Lやビート信号Sの光路
となるコアの部分のみを指すものとする。また、光導波
路11のクラッドとなる部分は符号11´で表すことに
する。本実施形態では、入力ポート14の数は2つ以上
であれば、その数は特に限定されるものではない。な
お、入力ポート14が2つの場合は、光結合部12の形
は略Y字型をしたY字型光結合部12aとなる(図1、
図2)。
入力ポート14と光結合部12の間にそれぞれ設けら
れ、後に詳細に説明する半導体レーザ発振器2の外部共
振器としての役割を果たす(詳細は後述)。
ーティング16・16・・などは、光合波器1a(光結合
素子1)の基板10上に一体として設けられている。即
ち、光導波路11、光結合部12やグレーティング16
・16・・などは、光導波路11(光合波器1a)のクラ
ッド11´内に埋め込まれる形となっている。このよう
にグレーティング16などを一体にすることにより光合
波器1a、即ちビート信号発生装置Bの信頼性を高める
とともに小型化することができるなどの利点がある。特
に、半導体レーザ発振器2の外部共振器となるグレーテ
ィング16をも一体とすることで、グレーティング16
を外部に備えたものに比べて半導体レーザ発振器2と光
合波器1aとの光結合を確実にすることができる。
ち少なくとも1つに、当該グレーティング16の温度を
調節できるように温調手段を備えれば、当該グレーティ
ング16を加温もしくは冷却することによりこのグレー
ティング16の反射特性を変えて、ビート信号Sの周波
数を任意に制御することができるようになる。
により発熱するヒータ17を光合波器1aの加温しよう
とするグレーティング16部分の直上に貼着したり、あ
るいは、光合波器1aの当該グレーティング16近傍に
埋め込んだりして装荷し、これに外部より電気を供給す
ることにより実現できる。一方、グレーティング16の
冷却は、例えば熱伝導率のよいアルミニウムや銅よりな
る金属片を冷却しようとするグレーティング16部分の
直上に貼着したり、金属片の一部が突出するように埋め
込んで、この金属片を外部から供給される冷媒液などで
冷却することにより実現できる。なお、温調手段は、加
温だけあるいは冷却だけできるようにしたものでも、加
温・冷却ともにできるようにしたものでもよい。加温・
冷却ともにできるようにした方が、きめ細かい温度調整
ができることになる。ちなみに、図1〜図6は、温調手
段としてヒータ17のみを装荷したものを示す。
コンなどが用いられ、光結合部12およびグレーティン
グ16・16・・を含む光導波路11(コア、クラッド1
1´とも)には石英ガラスなどが用いられる。この光導
波路11(コア、クラッド11´とも)は、フッ素化ポ
リイミドなどの有機高分子よりなるポリマー光導波路1
1であっても差し支えない。
ト14に応じた数のレーザダイオード20を備える。ビ
ート信号Sを発生するためには、それぞれ独立した光源
よりのレーザ光Lを必要とするからである。これに使用
されるレーザダイオード20としては、ファブリペロー
型半導体レーザダイオードが信頼性などの面から適して
いる。
端面は高反射コーティングされ、他方の活性端面は逆に
無反射コーティングされている(図示せず)。レーザ光
は無反射コーティングされた活性端面から外部へ出射さ
れる。なお、レーザダイオード20へは、電極22、金
線23などを介して外部より電力が供給される。符号2
5は、電極22を電気的に絶縁する絶縁材である。
イオード20の無反射コーティングされた活性端面は光
学的に結合されており、レーザダイオード20よりの出
射光はそれぞれ対応する入力ポート14を介して光合波
器1a内に導かれるようになっている。
イオード搭載用ヘッダ21上にレーザダイオード20な
どを積載したものでも(図1)、光合波器1aと同一基
板10上にレーザダイオード20などを積載したもので
も(図2)構わない。後者の場合は、素子搭載部24表
面を光導波路11(特に光路であるコア部分)に対する
高さ基準面とすることで、レーザダイオード20と入力
ポート14の光結合が容易になるという利点がある。ま
た、ビート信号発生装置B自体を小型化することも容易
となる。
信号Sが発生する機構を説明する。なお、便宜上、入力
ポート14が2つ(レーザダイオード20も2つ)の場
合について説明する。
オード20・20より出射された出射光は、光合波器1
aのそれぞれの入力ポート14を通じてそれぞれ光合波
器1a内に導かれる。この出射光は、グレーティング1
6とレーザダイオード20の高反射コーティングとで形
成される共振器内に閉じ込められることとなるが、グレ
ーティング16の反射帯域に対応した狭帯域の波長成分
のみがレーザ光Lとして外部に出射することになる。入
力されたレーザ光Lは各々グレーティング16を通過
し、光結合部12が略Y字型をしたY字型光結合部12
aに達する。
・Lが光学的に結合(合波)されビート信号Sが発生す
る。ビート信号Sは出力ポート15により外部に出力さ
れるが、このビート信号Sはそれぞれのレーザ光L・L
の周波数の差で決まる周波数を持つ。なお、第1の実施
形態では、上記のように出力ポート15は1つのみであ
る。
レーザ発振器2の外部共振器としての役割を果たす。即
ち、Y字型光結合部12aに導かれるレーザ光Lの周波
数は、グレーティング16が反射する反射周波数で決定
さることになる。即ち、半導体レーザ発振器2は、グレ
ーティング16を外部共振器として当該グレーティング
16の反射周波数でレーザ光Lを発振することになる。
ザ光Lの周波数は、グレーティング16を外部共振器と
して使用することで、レーザダイオード20への注入電
流などが変化してもグレーティング16を通過したレー
ザ光Lの周波数は安定したものとなる。したがって、こ
れら2つのレーザ光L・Lを合波して得られるビート信
号Sも安定したものとなる。
は、環境温度(グレーティング16の温度)により変化
するが、上記のように各グレーティング16・16は、
同一の基板10上に一体として設けられているため(図
1、図2)、環境温度の変化に対しても両グレーティン
グ16・16は同じ変化をするので、結果としてそれぞ
れのグレーティング16を通過するレーザ光L・Lの周
波数の差は一定となる。即ち、温度変化によりグレーテ
ィング16を通過して得られるレーザ光Lの周波数自体
が変化しても、2つのグレーティング16・16は同一
基板10上に設けられている関係上、両レーザ光L・L
の周波数の変化の仕方は同じなので、結局両レーザ光L
・Lの周波数の差は一定となり、Y字型光結合部12a
に達する2つのレーザ光L・Lの周波数の差は環境の温
度に依存しないことになる。
ティング16を設けることで、レーザ光Lの周波数は、
レーザダイオード20への注入電流およびレーザダイオ
ード20の温度に対して独立となり、また、(b) 2つの
グレーティング16・16を同一基板10上に一体とし
て設けることで、2つのレーザ光L・Lの周波数の差
は、ビート信号発生装置Bが置かれる環境温度の変化に
対しても独立となる。したがって、このように各グレー
ティング16を通過してきた2つのレーザ光L・Lを合
波して得られるビート信号Sの周波数は各レーザダイオ
ード20への注入電流の変化や環境温度の変化に対して
も安定となる。
の少なくとも1つのグレーティング16を温調手段によ
り温度調節できるようにしていれば、当該グレーティン
グ16を加温(冷却)することにより(グレーティング
16の反射周波数を変化させ)、一方のレーザ光Lの周
波数を任意に変化させることができ、これによりビート
信号Sの周波数を任意に調整することが可能となる。図
1、図2は、温調手段としてのヒータ17を、一方のグ
レーティング16にのみ設けたものを示す。なお、双方
のグレーティング16・16を独立に加温・冷却できる
ようにしておけば、ビート信号Sの制御がより確実にな
る。
合)》次に、本発明の第2の実施形態に係るビート信号
発生装置Bを詳細に説明する。なお、第1の実施形態と
共通する部分については、説明を省略もしくは簡略化す
る。また、本実施形態は、出力ポート15に受光素子3
を備えたものと備えないものの2つのバリエーションに
大きく分けられる。
えないもの)]図3は、本発明の第2の実施形態に係る
第1のバリエーションによるビート信号発生装置を示す
斜視図である。図4は、本発明の第2の実施形態に係る
第1のバリエーションによるビート信号発生装置(基板
一体型)を示す斜視図である。
バリエーションによるビート信号発生装置Bは、第1の
実施形態と同様、光結合素子1と半導体レーザ発振器2
より構成される。ここで、第1の実施形態と異なるの
は、光結合素子1が出力ポート15を複数有する方向性
結合器1bからなることである。なお、方向性結合器1
bは一般に光カプラとよばれることもある。
ト14・14・・から入力されたレーザ光L・L・・を光学
的に結合して複数の出力ポート15・15・・から出力す
る構成である。したがって、光導波路11は、各入力ポ
ート14・14・・からのレーザ光L・L・・を合波するよ
うに一旦光結合部12で一本に合流し、その後再び分岐
して各出力ポート15・15・・に達するようになってい
る。この点が第1の実施形態の場合と異なる。なお、入
力ポート14および出力ポート15がともに2個ずつで
ある場合は、光結合部12の形は略X字型をしたX字型
光結合部12bとなる。この方向性結合器1bは、2本
の導波路11・11を波長オーダまで近接させた狭ギャ
ップのものでも、2本の導波路11・11が接触するま
で近接させた0ギャップ(ゼロギャップ)のものでもよ
い。
部12の間には、第1の実施形態と同様に、それぞれグ
レーティング16が設けられ、半導体レーザ発振器2の
外部共振器として機能するようになっている。
は、第1の実施形態の場合と同様に方向性結合器1bの
基板10上に一体として設けられている。また、同様に
グレーティング16・16・・の少なくとも1つには必要
に応じて温調手段が装荷される。なお、図3および図4
に示すビート信号発生装置Bは、温調手段としてヒータ
17を装荷したものである。
する材料は第1の実施形態と同様のものでよい。入力さ
れた複数のレーザ光Lを合波してビート信号Sを発生
し、これを外部に出力する点では同じだからである。
と同様、方向性結合器1bに設けられた入力ポート14
と同数のレーザダイオード20を有する。ビート信号S
を発生するには、独立の光源からのレーザ光L・L・・を
必要とするからである。
は第1の実施形態と同様に光学的に結合されており、レ
ーザ光Lはそれぞれ対応する入力ポート14を介して方
向性結合器1bの内に導かれるようになっている。
bの基板10と別に設けても(図3)、当該基板10上
に設けても(図4)差し支えない。この点も、第1の実
施形態と同じである。
信号Sが発生する機構を説明するが、この発生機構も第
1の実施形態とほぼ同じである。なお、便宜上、入力ポ
ート14、出力ポート15とも2つ(レーザダイオード
20も2つ)の場合について説明する。
オード20・20より出射された出射光は、それぞれの
入力ポート14を通じて方向性結合器1bの内に導かれ
る。これらの出射光は、第1の実施形態と同様、半導体
レーザ発振器2の外部共振器として作用するグレーティ
ング16の反射周波数(反射波長)に応じた周波数(波
長)で発振しその出力であるレーザ光LがY字型光結合
部12bに向かうことになる。これにより、第1の実施
形態の場合と同様に、レーザ光Lの周波数はレーザダイ
オード20への注入電流やレーザダイオード20の温度
に対して独立となる。
してきた2つのレーザ光L・Lは、X字型光結合部12
bに入り、ここで合波され、それぞれのレーザ光L・L
の周波数の差で決まる周波数を持つビート信号Sが発生
し、2つの出力ポート15・15から外部に出力され
る。この点、1つの出力ポート15のみにより外部に出
力される第1の実施形態と異なる。なお、出力ポート1
5の数は2つ以上であればよく、2つに限定されるもの
ではない。
は、同一の基板10上に一体として設けられているの
で、第1の実施形態と同様、それぞれのグレーティング
16を通過した2つのレーザ光L・Lの周波数の差は方
向性結合器1b(ビート信号発生装置B)が置かれる環
境の温度から独立したものとなる。また、同様にグレー
ティング16・16の少なくとも1つに、温調手段を装
荷すれば、グレーティング16の温度を変化させること
により、いずれか一方のレーザ光Lもしくは双方のレー
ザ光L・Lの周波数を変化させ、ビート信号Sの周波数
を任意に制御することができる。
2つの出力ポート15・15から出力されるので、いず
れかの出力ポート15よりの出力光を用いてビート信号
Sの周波数を監視することが可能になるという利点があ
る。
たもの) 図5は、本発明の第2の実施形態に係る第2のバリエー
ションによるビート信号発生装置を示す斜視図である。
図6は、本発明の第2の実施形態に係る第2のバリエー
ションによるビート信号発生装置(基板一体型)を示す
斜視図である。
における第2のバリエーションによるビート信号発生装
置Bは、第1のバリエーションのビート信号発生装置B
の出力ポート15・15の少なくとも1つ、通常はいず
れか1つに受光素子3を備えたものであり、その他の構
成およびビート信号Sを発生する機構は第1のバリエー
ションと同じである。
2、素子搭載部34などからなるが、受光素子本体30
には、例えば、フォトダイオードなどが使われる。
と同様、方向性結合器1bと同一基板10上に設けても
よいし、基板10とは別に設けてもよい。同一基板10
上に設けた場合は、出力ポート15と受光素子本体30
との光結合が確実になるとともにビート信号発生装置B
を小型化することができるという利点がある。なお、図
5は半導体レーザ発振器2を方向性結合器1bの基板1
0とは別に設けたものであり、図6は同一基板10上に
設けたものである。
ト信号Sの周波数を電気的な信号に変換して外部に取り
出すことができるという利点がある。
ト信号発生装置Bは、 1) 光導波路11や外部共振器となるグレーティング1
6などを光結合素子1(光合波器1a・方向性結合器1
b)と同一基板10上に一体として形成しているので、
グレーティング16を別に設けたものと比較して、半導
体レーザ発振器2との光学的結合が容易であり、加えて
光結合素子1およびビート信号発生装置Bの占有面積を
削減することが可能となる。なお、光結合素子1の基板
10と同一基板10上に半導体レーザ発振器2を搭載し
た場合は、両者の光学的接続が確実になるとともに、ビ
ート信号発生装置Bを小型化することが可能となる。
とにより、これがレーザダイオード20の外部共振器と
しての役割を果たし、レーザ光Lの周波数がグレーティ
ング16の反射周波数により決定されるようになるの
で、レーザダイオード20の温度や注入電流が変化して
もレーザ光Lの周波数は一定であり、結果として安定し
た周波数のビート信号Sを発生することが可能となる。
16・・を光結合素子1と同一基板10上に光結合素子1
と一体として設けているので、光結合素子1が置かれる
環境の温度が変化しても、各グレーティング16・16
・・は同様の温度変化をするので、各レーザ光L・L・・の
周波数の絶対値が変化しても各レーザ光L・L・・の周波
数の差を一定に保つことができ、結果として温度が変化
しても安定した周波数のビート信号Sを発信することが
できる。
ーテイング16の温度を温調手段によって意図的に変化
させることにより、各グレーテイング16・16・・の相
対的な温度差を変化させて、各レーザ光L・L・・の周波
数の差を制御し、発生するビート信号Sの周波数を環境
温度や注入電流の変化によらず安定的に変化させことが
できる。
部である光合波器1aを使用した場合は、確実に2つの
レーザ光L・Lを合波してビート信号Sを発生すること
ができる。
る方向性結合器1bを使用した場合は、確実に2つのレ
ーザ光L・Lを合波してビート信号Sを発生し2つの出
力ポート15・15から外部に出力することができる。
この出力ポート15の1つに受光素子3を設ければ、ビ
ート信号Sを電気信号に変換することが可能である。
生装置を示す斜視図である。
生装置(基板一体型)を示す斜視図である。
ーションによるビート信号発生装置を示す斜視図であ
る。
ーションによるビート信号発生装置(基板一体型)を示
す斜視図である。
ーションによるビート信号発生装置を示す斜視図であ
る。
ーションによるビート信号発生装置(基板一体型)を示
す斜視図である。
である。
ダイオード) 21 ・・・レーザダイオード搭載用ヘッダ 22・・・電極 23・・・金線 24・・・素子搭載部(レーザダイオード搭載部) 25・・・絶縁材 3;受光素子 30・・・受光素子本体 32・・・電極 33・・・金線 34・・・素子搭載部(受光素子搭載部) C;従来のビート信号発生装置 51・・・レーザダイオード 52・・・光ファイバ 53・・・光結合素子(光カプラ) 54・・・入力ポート 55・・・出力ポート L;レーザ光 S;ビート信号
Claims (7)
- 【請求項1】 基板上に、光を入力するための少なく
とも2つ以上の入力ポートと、前記光を出力するための
少なくとも1つ以上の出力ポートと、前記入力ポートと
前記出力ポートを結び前記入力された光を光学的に結合
する光結合部を備えた光導波路と、を有する導波路型の
光結合素子、 および、各前記入力ポートへ前記光を入力するための光
源で、前記入力ポートに応じた数のレーザダイオードを
備えた半導体レーザ発振器、よりなるビート信号発生装
置であって、(ア) 前記光導波路には、前記入力ポー
トと前記光結合部との間にグレーティングが形成されて
いること、(イ) 前記半導体レーザ発振器は、前記グ
レーティングを外部共振器として該グレーテイングの反
射周波数で発振するものであること、を特徴としたビー
ト信号発生装置。 - 【請求項2】 前記グレーティングのうち少なくとも
1つに装荷され該グレーティングの温度を調節するため
の温調手段を備えたことを特徴とした請求項1に記載の
ビート信号発生装置。 - 【請求項3】 前記光結合素子が、前記入力ポート2
つと前記出力ポート1つを有しかつ前記光結合部が略Y
字型をした、Y字型光合波器であることを特徴とした請
求項1または請求項2に記載のビート信号発生装置。 - 【請求項4】 前記光結合素子が、前記入力ポート2
つと前記出力ポート2つを有しかつ前記光結合部が略X
字型をした、方向性結合器であることを特徴とした請求
項1または請求項2に記載のビート信号発生装置。 - 【請求項5】 前記光結合素子が複数の出力ポートを
有する場合は、該出力ポートの少なくとも1つに受光素
子を設けたことを特徴とした請求項1、請求項2または
請求項4のいずれか1項に記載のビート信号発生装置。 - 【請求項6】 前記受光素子が、前記光結合素子と同
一の基板上に設けられていることを特徴とした請求項5
に記載のビート信号発生装置。 - 【請求項7】 前記半導体レーザ発振器が、前記光結
合素子と同一の基板上に設けられていることを特徴とし
た請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載したビー
ト信号発生装置。
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