JP2000003827A - Manufacture of laminated electronic component - Google Patents

Manufacture of laminated electronic component

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JP2000003827A
JP2000003827A JP11600699A JP11600699A JP2000003827A JP 2000003827 A JP2000003827 A JP 2000003827A JP 11600699 A JP11600699 A JP 11600699A JP 11600699 A JP11600699 A JP 11600699A JP 2000003827 A JP2000003827 A JP 2000003827A
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JP
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conductor
hole
conductors
sheet
coil
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JP11600699A
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Japanese (ja)
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Hidemi Iwao
秀美 岩尾
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a laminated electronic component which can obtain stable characteristics, when component mounting direction is changed by the shape and the position of a terminal electrode. SOLUTION: Sheets B1-B4 for coil layers, where four kinds of U-shaped conductors Pb1-Pb4 for coils are so formed that these end portions overlap with through-holes (h) are laminated, so that the respective conductors Pb1-Pb4 for coils of the sheets are connected spirally in the laminating direction via the through-holes (h) filled with the conductors. On both sides of the laminating direction, a plurality of green sheets A and C having the through-holes (h) filled with conductors are so laminated that the respective through-hole filling conductors of the sheets are made continuous in a pillar type in the laminating direction, and the through-hole filling conductors of one ends are connected with the conductors Pb1 and Pb4 for coils at the ends of the laminating direction. The overall body of a laminated member is compression-bonded, the laminated member after compression-bonding is baked, and terminal electrodes are formed facing opposite at the end portions in the laminating direction of the laminating member after baking, so as to be connect with the exposed ends of the through-hole filling conductors at the laminating direction ends.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層構造のチップ
内に1乃至複数のコイルを埋設した積層型電子部品の製
造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component in which one or more coils are embedded in a chip having a laminated structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種従来の積層型電子部品として図6
には積層インダクタの概略断面図を示してある。
2. Description of the Related Art FIG.
2 shows a schematic cross-sectional view of the multilayer inductor.

【0003】同図において、11は磁性体材料から成る
直方体形状のチップ、12はチップ11内に埋設された
螺旋状のコイル、13はチップ11の長手方向端部に設
けられた一対の端子電極である。コイル12の周回中心
線Yは端子電極13を結ぶ方向(チップ長手方向)と直
交しており、該コイル12の端部はチップ端面まで導出
され各端子電極13に接続している。
In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a rectangular chip made of a magnetic material, 12 denotes a spiral coil embedded in the chip 11, and 13 denotes a pair of terminal electrodes provided at the longitudinal end of the chip 11. It is. The circling center line Y of the coil 12 is orthogonal to the direction connecting the terminal electrodes 13 (chip longitudinal direction), and the end of the coil 12 is led out to the chip end face and connected to each terminal electrode 13.

【0004】この積層インダクタは、スクリーン印刷等
の手法によりコ字状,L字状等のコイル用導体を形成し
た複数の磁性体グリーンシートを導体非形成のシートと
共に所定の順序で積み重ねて圧着し、これを焼成した後
に端子電極用の導体ペーストをチップ端部に塗布して焼
き付けることで製造されている。シートを介して隣接す
るコイル用導体は、導体形成前に予め該シートに形成し
たスルーホール部分を通じて相互に接続され螺旋状のコ
イル12となる。最上層及び最下層のコイル用導体はシ
ート端に延びる導出部分を有しており、チップ両端に露
出する該導出端が端子電極13と接続している。
[0004] In this laminated inductor, a plurality of magnetic green sheets formed with U-shaped or L-shaped coil conductors by a method such as screen printing are stacked and crimped together with a non-conductor-formed sheet in a predetermined order. After baking this, a conductor paste for terminal electrodes is applied to the end of the chip and baked. The coil conductors adjacent to each other via the sheet are connected to each other through a through-hole portion formed in the sheet before the conductor is formed to form a spiral coil 12. The coil conductors in the uppermost layer and the lowermost layer have lead-out portions extending to sheet ends, and the lead-out ends exposed at both ends of the chip are connected to the terminal electrodes 13.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
積層インダクタでは、端子電極13の4面をそれぞれ搭
載面として利用できることから、これを基板Zの導体パ
ターンZa上に搭載する際に図7と図8に示す2通りの
向き、即ちコイル12の周回中心線Yが基板面と直角と
なる向き(図7参照)とコイル12の周回中心線Yが基
板面と平行となる向き(図8参照)とが発生する。
By the way, in the above-mentioned conventional laminated inductor, the four surfaces of the terminal electrode 13 can be used as mounting surfaces, respectively. Therefore, when these are mounted on the conductor pattern Za of the substrate Z, FIG. The two directions shown in FIG. 8, that is, the direction in which the circling center line Y of the coil 12 is perpendicular to the substrate surface (see FIG. 7) and the direction in which the circulating center line Y of the coil 12 is parallel to the substrate surface (see FIG. 8) ) Occurs.

【0006】図7の搭載向きと図8の搭載向きでは、コ
イル12と基板Zとの位置関係が異なることに起因して
チップ外部の磁束に対する磁気抵抗に差が生じ、これが
インダクタンスの差となって現れることになる。特に、
チップ材料として比透磁率の低いものを使用した積層イ
ンダクタでは、搭載向きによる磁気抵抗に大きな差が生
じてインダクタンスにかなりの差が現れる。
In the mounting direction shown in FIG. 7 and the mounting direction shown in FIG. 8, there is a difference in magnetic resistance with respect to the magnetic flux outside the chip due to the difference in the positional relationship between the coil 12 and the substrate Z. This results in a difference in inductance. Will appear. In particular,
In a multilayer inductor using a material having a low relative magnetic permeability as a chip material, a large difference occurs in the magnetic resistance depending on the mounting direction, and a considerable difference appears in the inductance.

【0007】上記の問題は図6乃至図8に例示した積層
インダクタに限って生じるものではなく、端子電極によ
って搭載向きを制限した積層インダクタやLC等の複合
部品や2以上のコイルを埋設した積層トランス等でも、
端子電極の形態及び位置が変更され搭載向きが変わるよ
うな場合に同様に生じ得る。
The above problem is not limited to the laminated inductors illustrated in FIGS. 6 to 8, but is limited to a laminated inductor or a composite component such as an LC having a mounting direction restricted by a terminal electrode, or a laminated structure in which two or more coils are embedded. Even with a transformer,
This can also occur when the form and position of the terminal electrode are changed to change the mounting direction.

【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、端子電極の形態及び位置
によって部品搭載向きが変わるような場合でも安定した
特性を得ることができる積層型電子部品の製造方法を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a laminated type which can obtain stable characteristics even when the component mounting direction changes depending on the form and position of the terminal electrode. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electronic component.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る積層型電子部品の製造方法は、コイル
用の非環状導体とこの非環状導体の端部と接続する導体
充填のスルーホールとを有する複数のグリーンシート
を、シートそれぞれの非環状導体が導体充填のスルーホ
ールを介して積層方向で螺旋状に接続するように積み重
ねると共に、その積層方向両側に、導体充填のスルーホ
ールを有する複数のグリーンシートを、シートそれぞれ
のスルーホール充填導体が積層方向で接続し、且つ、そ
の一端側のスルーホール充填導体が積層方向端の非環状
導体と接続するように積み重ねて、積み重ねたもの全体
を圧着し、圧着後の積層体を焼成し、焼成後の積層体の
積層方向端部に、積層方向端のスルーホール充填導体の
露出端それぞれと接続するように端子電極を対向して形
成したことをその特徴とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a laminated electronic component according to the present invention is directed to a non-circular conductor for a coil and a through-filling of a conductor connected to an end of the non-cyclic conductor. A plurality of green sheets each having a hole are stacked so that the non-annular conductors of the sheets are spirally connected in the stacking direction via the through holes filled with conductors, and through holes filled with conductors are provided on both sides in the stacking direction. A plurality of green sheets having the through-hole-filled conductors of the sheets connected in the stacking direction, and the through-hole-filled conductor at one end thereof connected to the non-annular conductor at the end in the stacking direction. The whole is crimped, the laminated body after crimping is fired, and the end of the fired laminated body in the laminating direction is connected to each exposed end of the through-hole-filled conductor at the laminating end. That it has formed opposite the terminal electrode so that the its features.

【0010】本発明に係る積層型電子部品の製造方法に
よれば、端子電極を結ぶ方向に積層された構造を有する
チップ内に、その周回中心線が端子電極を結ぶ方向と平
行なコイルを備える積層型電子部品を的確に製造するこ
とができる。
According to the method of manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, a chip having a structure laminated in a direction connecting terminal electrodes is provided with a coil whose circumferential center line is parallel to the direction connecting terminal electrodes. A laminated electronic component can be manufactured accurately.

【0011】本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構
成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって
明らかとなる。
The above and other objects, constitutional features, and operational effects of the present invention will become apparent from the following description and the accompanying drawings.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1には本発明に係る積層インダ
クタの概略断面図を示してある。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a laminated inductor according to the present invention.

【0013】同図において、1は磁性体材料或いは非磁
性材料(絶縁材料)から成る直方体形状のチップ、2は
チップ1内に埋設された螺旋状のコイル、3はチップ1
の長手方向端部に設けられた一対の端子電極である。コ
イル2の周回中心線Yは端子電極3を結ぶ方向(チップ
長手方向)と平行であり、該コイル2の端部はチップ端
面まで導出され各端子電極3に接続している。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a rectangular chip made of a magnetic material or a non-magnetic material (insulating material), 2 denotes a spiral coil embedded in the chip 1, and 3 denotes a chip 1.
Are a pair of terminal electrodes provided at the ends in the longitudinal direction. The circling center line Y of the coil 2 is parallel to the direction connecting the terminal electrodes 3 (chip longitudinal direction), and the end of the coil 2 is led out to the chip end face and connected to each terminal electrode 3.

【0014】上記の積層インダクタでも端子電極3の4
面をそれぞれ搭載面として利用できることから、基板Z
の導体パターンZa上に搭載する際に図2に示す向きと
これと90度異なる向きとが発生することになる。しか
し、コイル2の周回中心線Yが端子電極3を結ぶ方向
(チップ長手方向)と平行であるため、搭載向きが変わ
っても基板面に対するコイル2の周回中心線Yの向きは
変わることがない。
In the above-described multilayer inductor, the terminal electrodes 3
Since each surface can be used as a mounting surface,
When mounted on the conductor pattern Za, the direction shown in FIG. 2 and the direction different from the direction by 90 degrees are generated. However, since the circling center line Y of the coil 2 is parallel to the direction connecting the terminal electrodes 3 (chip longitudinal direction), the direction of the circulating center line Y of the coil 2 with respect to the substrate surface does not change even if the mounting direction changes. .

【0015】従って、搭載向きに拘らずコイル2と基板
Zとの位置関係を一定に維持することができ、チップ外
部の磁束に対する磁気抵抗に差が生じることを防止して
安定したインダクタンスを得ることができる。
Therefore, the positional relationship between the coil 2 and the substrate Z can be maintained constant regardless of the mounting direction, and a stable inductance can be obtained by preventing a difference in magnetic resistance with respect to magnetic flux outside the chip. Can be.

【0016】ここで、図3乃至図5を参照して図1に示
した積層インダクタの製造方法について説明する。
Here, a method of manufacturing the multilayer inductor shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.

【0017】製造に際しては、まず上層用シートAとコ
イル層用シートB1〜B4と下層用シートCをそれぞれ
用意する(図3参照)。尚、図面には一部品に対応する
ものを示してあるが、実際の各シートは多数個取りが可
能な大きさを有しており、積層,圧着後に部品寸法に切
断される。
In production, first, an upper layer sheet A, coil layer sheets B1 to B4, and a lower layer sheet C are prepared (see FIG. 3). It should be noted that although the drawing shows one corresponding to one part, each actual sheet has a size capable of taking a large number of pieces, and is cut into parts dimensions after lamination and pressure bonding.

【0018】上層用シートAは、Fe2 3 ,NiO,
ZnO又はCuO等を主成分とするフェライトグリーン
シートの所定位置に所定径のスルーホールhを形成した
後、該スルーホールhと重なるように矩形状の引出用導
体Paを形成することにより作成されている。
The upper layer sheet A is made of Fe 2 O 3 , NiO,
After forming a through hole h having a predetermined diameter at a predetermined position of a ferrite green sheet containing ZnO or CuO as a main component, a rectangular lead conductor Pa is formed so as to overlap the through hole h. I have.

【0019】コイル層用シートB1〜B4は、上記同様
のフェライトグリーンシートの所定位置にスルーホール
hを形成した後、該スルーホールhにその端部が重なる
ように4種類のコ字状のコイル用導体Pb1〜Pb4を
それぞれ形成することにより作成されている。このコイ
ル用導体Pb1〜Pb4の形状はコ字状以外にもL字状
等の非環状のものが種々採用できる。
The coil layer sheets B1 to B4 are formed by forming four through-holes h at predetermined positions of the same ferrite green sheet as described above, and then forming four types of U-shaped coils so that the ends thereof overlap the through-holes h. It is created by forming the conductors Pb1 to Pb4 for use. As the shape of the coil conductors Pb1 to Pb4, various non-annular shapes such as an L-shape other than a U-shape can be adopted.

【0020】下層用シートCは、上層用シートAと同
様、フェライトグリーンシートの所定位置に所定径のス
ルーホールhを形成した後、該スルーホールhと重なる
ように矩形状の引出用導体Pcを形成することにより作
成されている。
As in the case of the upper layer sheet A, the lower layer sheet C is formed with a through hole h having a predetermined diameter at a predetermined position of the ferrite green sheet, and then a rectangular lead conductor Pc is overlapped with the through hole h. It is created by forming.

【0021】上記のスルーホールhはフェライトグリー
ンシートがフィルムで支持されている場合にはレーザ光
照射によって、またフィルムで支持されていない場合に
は金型打ち抜きによってそれぞれ形成される。また、導
体Pa,Pb1〜Pb4,PcはAg等の金属粉末を含
有した導体ペーストをスクリーン印刷等の手法によって
厚膜印刷することで形成され、スルーホールhには印刷
時に印刷ペーストの一部が充填される。
The above-mentioned through hole h is formed by irradiating a laser beam when the ferrite green sheet is supported by a film, and by punching out a die when the ferrite green sheet is not supported by a film. The conductors Pa, Pb1 to Pb4, and Pc are formed by thick-film printing of a conductor paste containing a metal powder such as Ag by screen printing or the like. Will be filled.

【0022】次いで、用意した各シートA,B1〜B
4,Cをフィルム付きの場合にはこれを剥しながら図3
に示す順序で積層し、これを500kg/cm2 前後の
圧力で圧着する。ちなみに上・下層用シートA,Cは層
厚みに相当する枚数が、またコイル層用シートB1〜B
4はコイル周回数に相当する枚数がそれぞれ用いられ
る。
Next, the prepared sheets A, B1 to B
4 and C are peeled off when a film is attached.
And then pressure-bonded at a pressure of about 500 kg / cm 2 . By the way, the number of sheets A and C for the upper and lower layers corresponds to the layer thickness, and the sheets B1 to B for the coil layers.
4 is the number corresponding to the number of coil turns.

【0023】次いで、各シートA,B1〜B4,Cの積
層体(図4参照)を導体に含まれる金属成分に応じた温
度、例えばAgの場合には900℃前後の温度で焼成す
る。これにより、各シートA,B1〜B4,Cを介して
隣接する導体Pa,Pb1〜Pb4,Pcがスルーホー
ル充填部分を通じて相互に接続され積層方向の螺旋状コ
イル2となる。
Next, the laminate of the sheets A, B1 to B4, and C (see FIG. 4) is fired at a temperature corresponding to the metal component contained in the conductor, for example, about 900 ° C. in the case of Ag. As a result, the conductors Pa, Pb1 to Pb4, and Pc adjacent to each other via the sheets A, B1 to B4, and C are connected to each other through the portion filled with the through hole to form the spiral coil 2 in the stacking direction.

【0024】次いで、焼成後のチップ1の積層方向端部
に上記同様の導体ペーストPをディップ法等の手法によ
って塗布し(図5参照)、これを焼成温度温度よりも低
い温度で焼き付けて端子電極3を形成し、必要に応じて
これにSn−Pb等のメッキ処理を施す。コイル2の端
部(引出用導体Pa,Pc)はチップ端面に導出され露
出しているので、該露出部分が端子電極3と接続する。
Next, the same conductive paste P as described above is applied to the end of the fired chip 1 in the stacking direction by a technique such as dipping (see FIG. 5), and this is baked at a temperature lower than the firing temperature. The electrode 3 is formed, and a plating process such as Sn-Pb is performed on the electrode 3 if necessary. Since the ends (leading conductors Pa and Pc) of the coil 2 are led out to the chip end surfaces and are exposed, the exposed portions are connected to the terminal electrodes 3.

【0025】次に図9を参照して図1に示した積層イン
ダクタの他の製造方法について説明する。
Next, another method of manufacturing the laminated inductor shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.

【0026】製造に際しては、まず上層用シートDとコ
イル層用シートE1〜E3と下層用シートFをそれぞれ
用意する。尚、図面には一部品に対応するものを示して
あるが、実際の各シートは多数個取りが可能な大きさを
有しており、積層,圧着後に部品寸法に切断される。
In production, first, an upper layer sheet D, coil layer sheets E1 to E3, and a lower layer sheet F are prepared. It should be noted that although the drawing shows one corresponding to one part, each actual sheet has a size capable of taking a large number of pieces, and is cut into parts dimensions after lamination and pressure bonding.

【0027】上層用シートDと下層用シートFは同一の
もので、各々Fe2 3 ,NiO,ZnO又はCuO等
を主成分とするフェライトグリーンシートから成る。
The upper layer sheet D and the lower layer sheet F are the same, and each is made of a ferrite green sheet mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO, ZnO or CuO.

【0028】コイル層用シートE1は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートにコイル周回数に対応した複数
(図中は5個)のスルーホールhを長手方向に間隔をお
き概ね線対称形に形成した後、短手方向に対向するスル
ーホールhにその両端部が重なるように帯状導体Pe1
aを形成し、端部位置のスルーホールhにその端部が重
なるようにコ字状の引出用導体Pe1bを形成すること
により作成されている。この導体Pe1bは端子電極接
続用のものでシート端まで延出されている。
The coil layer sheet E1 is obtained by forming a plurality of (five in the figure) through-holes h corresponding to the number of coil turns in the same ferrite green sheet as described above in a substantially line-symmetric manner at intervals in the longitudinal direction. A strip-shaped conductor Pe1 such that both ends thereof overlap with the through hole h facing in the lateral direction.
a is formed, and a U-shaped lead-out conductor Pe1b is formed so that the end thereof overlaps the through hole h at the end position. The conductor Pe1b is for connecting a terminal electrode, and extends to the end of the sheet.

【0029】コイル層用シートE2は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートにシートE1と同数のスルーホー
ルhを同一位置に形成した後、各スルーホールhと重な
るように円形状の点状導体Pe2を形成することにより
作成されている。
In the sheet E2 for the coil layer, the same number of through holes h as the sheet E1 are formed in the same ferrite green sheet at the same position, and then a circular point conductor Pe2 is formed so as to overlap each through hole h. It is created by doing.

【0030】コイル層用シートE3は、上記同様のフェ
ライトシートに、上側シート(シートE2)の短手方向
で斜めに対向するスルーホールhにその両端部が合致す
るように帯状導体Pe3aを形成し、上側シート(シー
トE2)の端部位置のスルーホールhにその端部が合致
するようにL字状の引出用導体Pe3bを形成すること
により作成されている。この導体Pe3bは端子電極接
続用のものでシート端まで延出されている。
The sheet E3 for a coil layer is formed by forming a strip-shaped conductor Pe3a on a ferrite sheet similar to the above, so that both ends of the through-hole h are obliquely opposed in the short direction of the upper sheet (sheet E2). The L-shaped lead-out conductor Pe3b is formed so that the end of the upper sheet (sheet E2) coincides with the through hole h at the end of the upper sheet (sheet E2). The conductor Pe3b is for connecting a terminal electrode, and extends to the end of the sheet.

【0031】上記のスルーホールhはフェライトグリー
ンシートがフィルムで支持されている場合にはレーザ光
照射によって、またフィルムで支持されていない場合に
は金型打ち抜きによってそれぞれ形成される。また、導
体Pe1a,Pe1b,Pe2,Pe3a,Pe3bは
Ag等の金属粉末を含有した導体ペーストをスクリーン
印刷等の手法によって厚膜印刷することで形成され、ス
ルーホールhには印刷時に印刷ペーストの一部が充填さ
れる。
The above-mentioned through hole h is formed by laser beam irradiation when the ferrite green sheet is supported by a film, and is formed by punching a die when the ferrite green sheet is not supported by a film. The conductors Pe1a, Pe1b, Pe2, Pe3a, and Pe3b are formed by thick-film printing of a conductor paste containing a metal powder such as Ag by screen printing or the like. Part is filled.

【0032】次いで、用意した各シートD,E1〜E
3,Fをフィルム付きの場合にはこれを剥しながら図9
に示す順序で積層し、これを500kg/cm2 前後の
圧力で圧着する。ちなみに、上・下層用シートD,Fは
層厚みに相当する枚数が、またコイル層用シートE2は
層厚みに相当する枚数がそれぞれ用いられる。
Next, the prepared sheets D, E1 to E
When the film 3 and F are attached, peel them off as shown in FIG.
And then pressure-bonded at a pressure of about 500 kg / cm 2 . Incidentally, the number of sheets corresponding to the layer thickness is used for the upper and lower layer sheets D and F, and the number of sheets corresponding to the layer thickness is used for the coil layer sheet E2.

【0033】次いで、各シートD,E1〜E3,Fの積
層体を導体に含まれる金属成分に応じた温度で焼成す
る。これにより、各シートD,E1〜E3,Fを介して
隣接する導体Pe1a,Pe1b,Pe2,Pe3a,
Pe3bがスルーホール充填部分を通じて相互に接続さ
れ積層方向と直交する螺旋状コイル2となる。
Next, the laminate of the sheets D, E1 to E3, and F is fired at a temperature corresponding to the metal component contained in the conductor. As a result, the conductors Pe1a, Pe1b, Pe2, Pe3a,
Pe3b is connected to each other through the through hole filling portion to form the spiral coil 2 orthogonal to the laminating direction.

【0034】次いで、焼成後のチップの積層方向と直交
する側の端部に上記同様の導体ペーストをディップ法等
の手法によって塗布し、これを焼成温度温度よりも低い
温度で焼き付けて端子電極3を形成し、必要に応じてこ
れにSn−Pb等のメッキ処理を施す。コイル2の端部
(引出用導体Pe1b,Pe3b)はチップ端面に導出
され露出しているので、該露出部分が端子電極3と接続
する。以上で図1に示した積層インダクタの製造が完了
する。
Next, the same conductive paste as described above is applied to the end of the fired chip at a side perpendicular to the laminating direction by a technique such as dipping, and this is baked at a temperature lower than the firing temperature to form the terminal electrode 3. Is formed, and a plating process such as Sn-Pb is applied to this, if necessary. Since the ends (leading conductors Pe1b and Pe3b) of the coil 2 are led out to the chip end surfaces and are exposed, the exposed portions are connected to the terminal electrodes 3. Thus, the manufacture of the multilayer inductor shown in FIG. 1 is completed.

【0035】尚、上述の製造方法ではコイル層用シート
E1とE3のそれぞれに引出用導体Pe1bとPe3b
を形成したが、一方のシートに一対の引出用導体を設け
ることも可能である。
In the manufacturing method described above, the lead conductors Pe1b and Pe3b are provided on the coil layer sheets E1 and E3, respectively.
However, it is also possible to provide a pair of lead conductors on one sheet.

【0036】次に図10乃至図12を参照して図1に示
した積層インダクタのさらに他の製造方法について説明
する。
Next, still another method of manufacturing the laminated inductor shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.

【0037】製造に際しては、まず上層用シートGとコ
イル層用シートH1〜H3と下層用シートIをそれぞれ
用意する。尚、図面には一部品に対応するものを示して
あるが、実際の各シートは多数個取りが可能な大きさを
有しており、積層,圧着後に部品寸法に切断される。
In manufacturing, first, an upper layer sheet G, coil layer sheets H1 to H3, and a lower layer sheet I are prepared. It should be noted that although the drawing shows one corresponding to one part, each actual sheet has a size capable of taking a large number of pieces, and is cut into parts dimensions after lamination and pressure bonding.

【0038】上層用シートGと下層用シートIは同一の
もので、各々Fe2 3 ,NiO,ZnO又はCuO等
を主成分とするフェライトグリーンシートとから成る。
The upper-layer sheet G and the lower-layer sheet I are the same, each being a ferrite green sheet mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO, ZnO or CuO.

【0039】コイル層用シートH1は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートにコイル周回数に対応した複数
(図中は5個)のスルーホールhを一括で形成し長手方
向に間隔をおき概ね線対称形に形成した後、短手方向に
対向するスルーホールhにその両端部が重なるように帯
状導体Ph1aを形成し、端部位置のスルーホールhに
その端部が重なるようにコ字状の引出用導体Ph1bを
形成することにより作成されている。この導体Ph1b
は端子電極接続用のものでシート端まで延出されてい
る。
A plurality of (five in the figure) through holes h corresponding to the number of coil turns are collectively formed in the same ferrite green sheet as described above, and the coil layer sheet H1 is spaced substantially in the longitudinal direction and is substantially line-symmetric. Then, a strip-shaped conductor Ph1a is formed so that both ends thereof overlap with the through hole h facing in the lateral direction, and a U-shaped drawing conductor is formed so that the end overlaps the through hole h at the end position. It is created by forming the conductor Ph1b. This conductor Ph1b
Is for connecting terminal electrodes and extends to the end of the sheet.

【0040】コイル層用シートH2は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートにシートH1と同数のスルーホー
ルhを同一位置に形成した後、図11に示すように上下
のスルーホールhが合致するようにこれを所定枚数積み
重ね、図12に示すように積み重ねられたシートのスル
ーホールhにスクリーン印刷等の手法によって導体ペー
ストPhを充填することで作成され、該ペースト充填部
分が図9で説明した点状導体の代わりとなる。
The coil layer sheet H2 is formed by forming the same number of through holes h in the same ferrite green sheet as the sheet H1 at the same position, and then aligning the upper and lower through holes h as shown in FIG. 12 is formed by filling the through holes h of the stacked sheets with a conductor paste Ph by a method such as screen printing as shown in FIG. 12, and the paste-filled portion is a point-shaped conductor described in FIG. Instead of

【0041】コイル層用シートH3は、上記同様のフェ
ライトシートに、上側シート(シートH2)の短手方向
で斜めに対向するスルーホールhにその両端部が合致す
るように帯状導体Ph3aを形成し、上側シート(シー
トH2)の端部位置のスルーホールhにその端部が合致
するようにL字状の引出用導体Ph3bを形成すること
により作成されている。この導体Ph3bは端子電極接
続用のものでシート端まで延出されている。
The coil layer sheet H3 is formed by forming a strip-shaped conductor Ph3a on a ferrite sheet similar to the above, so that both ends of the through-hole h are obliquely opposed in the short direction of the upper sheet (sheet H2). The L-shaped lead-out conductor Ph3b is formed so that the end thereof matches the through hole h at the end of the upper sheet (sheet H2). The conductor Ph3b is for connecting a terminal electrode and extends to the end of the sheet.

【0042】上記のスルーホールhはフェライトグリー
ンシートがフィルムで支持されている場合にはレーザ光
照射によって、またフィルムで支持されていない場合に
は金型打ち抜きによってそれぞれ形成される。また、導
体Ph1a,Ph1b,Ph3a,Ph3bはAg等の
金属粉末を含有した導体ペーストをスクリーン印刷等の
手法によって厚膜印刷することで形成され、スルーホー
ルhには印刷時に印刷ペーストの一部が充填される。
The above-mentioned through hole h is formed by laser light irradiation when the ferrite green sheet is supported by a film, and is formed by punching a die when the ferrite green sheet is not supported by a film. The conductors Ph1a, Ph1b, Ph3a, and Ph3b are formed by thick-film printing of a conductor paste containing a metal powder such as Ag by screen printing or the like. Will be filled.

【0043】次いで、用意した各シートG,H1〜H
3,Iをフィルム付きの場合にはこれを剥しながら図1
0に示す順序で積層し、これを30kg/m2 前後の圧
力で圧着する。ちなみに、上・下層用シートG,Iは層
厚みに相当する枚数が用いられる。
Next, the prepared sheets G, H1 to H
When the film 3, 3 is attached,
The layers are laminated in the order shown in FIG. 0, and are pressure-bonded at a pressure of about 30 kg / m 2 . Incidentally, the number of sheets G and I for upper and lower layers corresponding to the layer thickness is used.

【0044】次いで、各シートG,H1〜H3,Iの積
層体を導体に含まれる金属成分に応じた温度で焼成す
る。これにより、各シートG,H1〜H3,Iを介して
隣接する導体Ph1a,Ph1b,Ph3a,Ph3b
と充填ペーストPhがスルーホールhを通じて相互に接
続され積層方向と直交する螺旋状コイル2となる。
Next, the laminate of the sheets G, H1 to H3, and I is fired at a temperature corresponding to the metal component contained in the conductor. As a result, the conductors Ph1a, Ph1b, Ph3a, Ph3b adjacent via the sheets G, H1 to H3, I
And the filling paste Ph are connected to each other through the through holes h to form the spiral coil 2 orthogonal to the laminating direction.

【0045】次いで、焼成後のチップの積層方向と直交
する側の端部に上記同様の導体ペーストをディップ法等
の手法によって塗布し、これを焼成温度温度よりも低い
温度で焼き付けて端子電極3を形成し、必要に応じてこ
れにSn−Pb等のメッキ処理を施す。コイル2の端部
(引出用導体Ph1b,Ph3b)はチップ端面に導出
され露出しているので、該露出部分が端子電極3と接続
する。以上で図1に示した積層インダクタの製造が完了
する。
Next, the same conductor paste as described above is applied to the end of the fired chip on the side orthogonal to the laminating direction by a technique such as dipping, and is baked at a temperature lower than the sintering temperature. Is formed, and a plating process such as Sn-Pb is applied to this, if necessary. Since the ends (leading conductors Ph1b and Ph3b) of the coil 2 are led out to the chip end surfaces and are exposed, the exposed portions are connected to the terminal electrodes 3. Thus, the manufacture of the multilayer inductor shown in FIG. 1 is completed.

【0046】尚、上述の製造方法ではコイル層用シート
H1とH3のそれぞれに引出用導体Ph1bとPh3b
を形成したが、一方のシートに一対の引出用導体を設け
ることも可能である。
In the manufacturing method described above, the lead-out conductors Ph1b and Ph3b are provided on the coil layer sheets H1 and H3, respectively.
However, it is also possible to provide a pair of lead conductors on one sheet.

【0047】図13には本発明に係る積層トランスの概
略斜視図を示してある。
FIG. 13 is a schematic perspective view of a laminated transformer according to the present invention.

【0048】同図において、21は磁性体材料から成る
直方体形状のチップ、22はチップ21内に埋設された
螺旋状の1次コイル、23はチップ21内に1次コイル
22と隣接して埋設された螺旋状の2次コイル、24は
各コイル22,23に対応してチップ21の端部に設け
られた2対の端子電極である。両コイル22,23の周
回中心線Yは各々の端子電極24を結ぶ方向と平行であ
り、各コイル22,23の端部はチップ端面まで導出さ
れ各端子電極24に接続している。
In the figure, 21 is a rectangular chip made of a magnetic material, 22 is a spiral primary coil embedded in the chip 21, and 23 is embedded in the chip 21 adjacent to the primary coil 22. The spiral secondary coil 24 is a pair of terminal electrodes provided at the end of the chip 21 corresponding to the coils 22 and 23. The circling center line Y of both coils 22 and 23 is parallel to the direction connecting each terminal electrode 24, and the ends of each coil 22 and 23 are led out to the chip end face and connected to each terminal electrode 24.

【0049】上記の積層トランスでは、各コイル22,
23の周回中心線Yが各々の端子電極24を結ぶ方向と
平行であるため、端子電極24の形態及び位置の変更さ
れ搭載向きが変わるような場合でも基板面に対する各コ
イル22,23の周回中心線Yの向きは変わることがな
く、各コイル22,23と基板Zとの位置関係を一定に
維持して安定した電気特性を得ることができる。
In the above-described laminated transformer, each coil 22,
Since the circling center line Y of 23 is parallel to the direction connecting the respective terminal electrodes 24, even when the form and position of the terminal electrode 24 are changed and the mounting direction changes, the circulating center of each coil 22, 23 with respect to the substrate surface. The direction of the line Y does not change, and the positional relationship between each of the coils 22 and 23 and the substrate Z is maintained constant, so that stable electric characteristics can be obtained.

【0050】ここで、図14を参照して図13に示した
積層トランスの製造方法について説明する。
Here, a method of manufacturing the laminated transformer shown in FIG. 13 will be described with reference to FIG.

【0051】製造に際しては、まず上層用シートJとコ
イル層用シートK1〜K4と下層用シートLをそれぞれ
用意する。尚、図面には一部品に対応するものを示して
あるが、実際の各シートは多数個取りが可能な大きさを
有しており、積層,圧着後に部品寸法に切断される。
In manufacturing, first, an upper layer sheet J, coil layer sheets K1 to K4, and a lower layer sheet L are prepared. It should be noted that although the drawing shows one corresponding to one part, each actual sheet has a size capable of taking a large number of pieces, and is cut into parts dimensions after lamination and pressure bonding.

【0052】上層用シートJは、Fe2 3 ,NiO,
ZnO又はCuO等を主成分とするフェライトグリーン
シートの所定位置に所定径のスルーホールhを2個形成
した後、各スルーホールhと重なるように矩形状の引出
用導体Pjを形成することにより作成されている。
The upper sheet J is made of Fe 2 O 3 , NiO,
After forming two through holes h of a predetermined diameter at predetermined positions of a ferrite green sheet mainly composed of ZnO or CuO or the like, a rectangular lead conductor Pj is formed so as to overlap each through hole h. Have been.

【0053】コイル層用シートK1〜K4は、上記同様
のフェライトグリーンシートの所定位置にスルーホール
hを2個形成した後、各スルーホールhにその端部が重
なるように4種類のコ字状のコイル用導体Pk1〜Pk
4を2個宛それぞれ形成することにより作成されてい
る。このコイル用導体Pk1〜Pk4の形状はコ字状以
外にもL字状等の非環状形のものが種々採用できる。
The coil layer sheets K1 to K4 are formed by forming two through holes h at predetermined positions of the same ferrite green sheet as described above, and then forming four types of U-shape so that the ends thereof overlap the respective through holes h. Coil conductors Pk1 to Pk
4 are formed by forming two pieces each. The shape of the coil conductors Pk1 to Pk4 may be variously non-annular, such as L-shaped, in addition to U-shaped.

【0054】下層用シートLは、上層用シートJと同
様、フェライトグリーンシートの所定位置に所定径のス
ルーホールhを2個形成した後、各スルーホールhと重
なるように矩形状の引出用導体Plを形成することによ
り作成されている。
As in the case of the upper layer sheet J, the lower layer sheet L is formed by forming two through holes h of a predetermined diameter at predetermined positions of the ferrite green sheet, and then forming a rectangular lead conductor so as to overlap each through hole h. It is created by forming Pl.

【0055】上記のスルーホールhはフェライトグリー
ンシートがフィルムで支持されている場合にはレーザ光
照射によって、またフィルムで支持されていない場合に
は金型打ち抜きによってそれぞれ形成される。また、導
体Pj,Pk1〜Pk4,PlはAg等の金属粉末を含
有した導体ペーストをスクリーン印刷等の手法によって
厚膜印刷することで形成され、スルーホールhには印刷
時に印刷ペーストの一部が充填される。
The above-mentioned through hole h is formed by laser beam irradiation when the ferrite green sheet is supported by a film, or by punching out a die when the ferrite green sheet is not supported by a film. The conductors Pj, Pk1 to Pk4, and Pl are formed by thick-film printing of a conductor paste containing a metal powder such as Ag by screen printing or the like, and a part of the print paste is printed in the through hole h at the time of printing. Will be filled.

【0056】次いで、用意した各シートJ,K1〜K
4,Lをフィルム付きの場合にはこれを剥しながら図1
4に示す順序で積層し、これを30kg/m2 前後の圧
力で圧着する。ちなみに、上・下層用シートJ,Lは層
厚みに相当する枚数が、またコイル層用シートK1〜K
4はコイル周回数に相当する枚数がそれぞれ用いられ
る。
Next, the prepared sheets J, K1 to K
4, when L is attached to the film,
The layers are laminated in the order shown in FIG. 4 and pressed under a pressure of about 30 kg / m 2 . Incidentally, the number of sheets for the upper and lower layers J and L corresponds to the layer thickness, and the sheets for coil layers K1 to K
4 is the number corresponding to the number of coil turns.

【0057】次いで、各シートJ,K1〜K4,Lの積
層体を導体に含まれる金属成分に応じた温度、例えばA
gの場合には900℃前後の温度で焼成する。これによ
り、各シートJ,K1〜K4,Lを介して隣接する導体
Pj,Pk1〜Pk4,Plがスルーホール充填部分を
通じて相互に接続され積層方向の螺旋状コイル22,2
3となる。
Next, the laminate of each of the sheets J, K1 to K4, L is subjected to a temperature corresponding to the metal component contained in the conductor, for example, A
In the case of g, firing is performed at a temperature of about 900 ° C. As a result, the adjacent conductors Pj, Pk1 to Pk4, and Pl are connected to each other through the through-hole filling portions via the sheets J, K1 to K4, and L, and the spiral coils 22, 2 in the stacking direction are connected.
It becomes 3.

【0058】次いで、焼成後のチップ21の積層方向端
部に上記同様の導体ペーストをディップ法等の手法によ
って部分的に帯状に塗布し、これを焼成温度温度よりも
低い温度で焼き付けて端子電極24を形成し、必要に応
じてこれにSn−Pb等のメッキ処理を施す。各コイル
22,23の端部(引出用導体Pj,Pl)はチップ端
面に導出され露出しているので、該露出部分が各端子電
極24と接続する。以上で図13に示した積層トランス
の製造が完了する。
Next, the same conductive paste as described above is partially applied in a band shape to the end of the fired chip 21 in the laminating direction by a technique such as dipping, and is baked at a temperature lower than the sintering temperature. 24 is formed and, if necessary, is plated with Sn-Pb or the like. Since the ends (leading conductors Pj and Pl) of the coils 22 and 23 are led out to the chip end surfaces and are exposed, the exposed portions are connected to the terminal electrodes 24. Thus, the manufacture of the multilayer transformer shown in FIG. 13 is completed.

【0059】次に図15を参照して図13に示した積層
トランスの他の製造方法について説明する。
Next, another method of manufacturing the laminated transformer shown in FIG. 13 will be described with reference to FIG.

【0060】製造に際しては、まず上層用シートMとコ
イル層用シートN1〜N3と下層用シートOをそれぞれ
用意する。尚、図面には一部品に対応するものを示して
あるが、実際の各シートは多数個取りが可能な大きさを
有しており、積層,圧着後に部品寸法に切断される。
In manufacturing, first, an upper layer sheet M, coil layer sheets N1 to N3, and a lower layer sheet O are prepared. It should be noted that although the drawing shows one corresponding to one part, each actual sheet has a size capable of taking a large number of pieces, and is cut into parts dimensions after lamination and pressure bonding.

【0061】上層用シートMと下層用シートOは同一の
もので、各々Fe2 3 ,NiO,ZnO又はCuO等
を主成分とするフェライトグリーンシートから成る。
The upper layer sheet M and the lower layer sheet O are the same, and each is made of a ferrite green sheet mainly composed of Fe 2 O 3 , NiO, ZnO or CuO.

【0062】コイル層用シートN1は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートに各コイル周回数に対応した複数
(図中は5個)のスルーホールhを短手方向に間隔をお
き概ね線対称形に左右2組形成した後、長手方向に対向
するスルーホールhにその両端部が重なるように帯状導
体Pn1aを形成し、端部位置のスルーホールhにその
端部が重なるようにコ字状の引出用導体Pn1bを形成
することにより作成されている。この導体Pn1bは端
子電極接続用のものでシート端まで延出されている。
The sheet N1 for the coil layer is formed by forming a plurality (five in the figure) of through-holes h corresponding to the number of turns of the coil on the same ferrite green sheet as described above, leaving a gap in the lateral direction and forming a substantially line-symmetric left and right shape. After the two sets are formed, a strip-shaped conductor Pn1a is formed so that both ends thereof overlap with the through hole h facing in the longitudinal direction, and a U-shaped drawing hole is formed so that the end overlaps the through hole h at the end position. It is created by forming the conductor Pn1b. The conductor Pn1b is for connecting a terminal electrode, and extends to the end of the sheet.

【0063】コイル層用シートN2は、上記同様のフェ
ライトグリーンシートにシートN1と同数のスルーホー
ルhを同一位置に形成した後、各スルーホールhと重な
るように円形状の点状導体Pn2を形成することにより
作成されている。
In the coil layer sheet N2, the same number of through holes h as the sheet N1 are formed in the same ferrite green sheet at the same position, and then a circular point conductor Pn2 is formed so as to overlap each through hole h. It is created by doing.

【0064】コイル層用シートN3は、上記同様のフェ
ライトシートに、上側シート(シートN2)の短手方向
で斜めに対向するスルーホールhにその両端部が合致す
るように帯状導体Pn3aを形成し、上側シート(シー
トN2)の端部位置のスルーホールhにその端部が合致
するようにL字状の引出用導体Pn3bを形成すること
により作成されている。この導体Pn3bは端子電極接
続用のものでシート端まで延出されている。
The coil layer sheet N3 is formed by forming a strip-shaped conductor Pn3a on a ferrite sheet similar to the above so that both ends of the through-hole h are obliquely opposed in the short direction of the upper sheet (sheet N2). The L-shaped lead-out conductor Pn3b is formed so that the end of the upper sheet (sheet N2) matches the through hole h at the end of the upper sheet (sheet N2). The conductor Pn3b is for connecting a terminal electrode and extends to the end of the sheet.

【0065】上記のスルーホールhはフェライトグリー
ンシートがフィルムで支持されている場合にはレーザ光
照射によって、またフィルムで支持されていない場合に
は金型打ち抜きによってそれぞれ形成される。また、導
体Pn1a,Pn1b,Pn2,Pn3a,Pn3bは
Ag等の金属粉末を含有した導体ペーストをスクリーン
印刷等の手法によって厚膜印刷することで形成され、ス
ルーホールhには印刷時に印刷ペーストの一部が充填さ
れる。
The above-mentioned through hole h is formed by laser beam irradiation when the ferrite green sheet is supported by a film, and by punching out a die when the ferrite green sheet is not supported by a film. The conductors Pn1a, Pn1b, Pn2, Pn3a, and Pn3b are formed by thick-film printing of a conductor paste containing a metal powder such as Ag by screen printing or the like. Part is filled.

【0066】次いで、用意した各シートM,N1〜N
3,Oをフィルム付きの場合にはこれを剥しながら図1
5に示す順序で積層し、これを30kg/m2 前後の圧
力で圧着する。ちなみに、上・下層用シートM,Oは層
厚みに相当する枚数が、またコイル層用シートN2は層
厚みに相当する枚数がそれぞれ用いられる。
Next, the prepared sheets M, N1 to N
In the case where 3, O is attached to the film,
The layers are laminated in the order shown in FIG. 5, and are pressure-bonded at a pressure of about 30 kg / m 2 . Incidentally, the number of sheets corresponding to the layer thickness is used for the upper and lower sheets M and O, and the number of sheets corresponding to the layer thickness is used for the coil layer sheet N2.

【0067】次いで、各シートM,N1〜N3,Oの積
層体を導体に含まれる金属成分に応じた温度で焼成す
る。これにより、各シートM,N1〜N3,Oを介して
隣接する導体Pn1a,Pn1b,Pn2,Pn3a,
Pn3bがスルーホールhを通じて相互に接続され積層
方向と直交する螺旋状コイル22,23となる。
Next, the laminate of the sheets M, N1 to N3, O is fired at a temperature corresponding to the metal component contained in the conductor. As a result, the conductors Pn1a, Pn1b, Pn2, Pn3a,
Pn3b is connected to each other through a through hole h to form spiral coils 22 and 23 orthogonal to the stacking direction.

【0068】次いで、焼成後のチップ21の積層方向と
直交する側の端部に上記同様の導体ペーストをディップ
法等の手法によって部分的に帯状に塗布し、これを焼成
温度温度よりも低い温度で焼き付けて端子電極24を形
成し、必要に応じてこれにSn−Pb等のメッキ処理を
施す。各コイル22,23の端部(引出用導体Pn1
b,Pn3b)はチップ端面に導出され露出しているの
で、該露出部分が端子電極24と接続する。以上で図1
3に示した積層トランスの製造が完了する。
Next, the same conductive paste as described above is partially applied in a strip shape to the end of the fired chip 21 on the side orthogonal to the laminating direction by a technique such as dipping, and the temperature is lower than the firing temperature. To form a terminal electrode 24, which is plated with Sn-Pb or the like as necessary. Ends of the coils 22 and 23 (leading conductors Pn1
b, Pn3b) is led out to the end face of the chip and is exposed, so that the exposed portion is connected to the terminal electrode 24. Fig. 1
The manufacture of the multilayer transformer shown in FIG. 3 is completed.

【0069】尚、上記のコイル層用シートN2は、図1
0乃至図12で説明した製造方法と同様に、スルーホー
ル形成後のフェライトグリーンシートを所定枚数積み重
ね、積み重ねられたシートのスルーホールにスクリーン
印刷等の手法によって導体ペーストを充填することでも
作成できる。また、上述の製造方法ではコイル層用シー
トN1とN3のそれぞれに引出用導体Pn1bとPn3
bを形成したが、一方のシートに一対の引出用導体を設
けることも可能である。
The above-mentioned coil layer sheet N2 is the same as that shown in FIG.
Similarly to the manufacturing method described with reference to FIG. 0 to FIG. 12, a predetermined number of ferrite green sheets after the formation of the through holes are stacked, and the conductive paste is filled into the through holes of the stacked sheets by a method such as screen printing. In the above-described manufacturing method, the lead conductors Pn1b and Pn3 are provided on the coil layer sheets N1 and N3, respectively.
Although b is formed, it is also possible to provide a pair of lead conductors on one sheet.

【0070】ちなみに、図13に示した積層トランスの
各コイル中心部分に高透磁率部を形成するような場合
は、図14で説明した製造方法で図16に示すコイル層
用シート、即ちシートのコイル中心部分に孔K1aに高
透磁率の未焼成フェライト材μHを充填したものをコイ
ル層用シートK1(シートK2〜K4も同様)として用
いるとよい。また、図15で説明した製造方法で図17
に示すコイル層用シート、即ちシートのコイル中心部分
に形成した長孔N2aに高透磁率の未焼成フェライト材
μHを充填したものをコイル層用シートN2として用い
るとよい。何れの場合も孔形成にはレーザ光照射や金型
打ち抜き等の手法が利用でき、未焼成フェライト材の充
填にはスクリーン印刷等の手法が利用できる。
In the case where a high magnetic permeability portion is formed at the center of each coil of the laminated transformer shown in FIG. 13, the coil layer sheet shown in FIG. A coil K1a in which a hole K1a is filled with an unfired ferrite material μH having high magnetic permeability in the center portion of the coil may be used as the coil layer sheet K1 (the same applies to the sheets K2 to K4). In addition, the manufacturing method described with reference to FIG.
, A sheet in which a long hole N2a formed in the center of the coil of the sheet is filled with an unfired ferrite material μH having a high magnetic permeability may be used as the coil layer sheet N2. In any case, a method such as laser beam irradiation or die punching can be used to form the holes, and a method such as screen printing can be used to fill the unfired ferrite material.

【0071】以上、本発明を積層インダクタと積層トラ
ンスに適用した例を示したが、本発明は1乃至複数のコ
イルを内蔵した実施例以外の電子部品に幅広く適用でき
同様の効果を得ることができる。
Although the example in which the present invention is applied to the multilayer inductor and the multilayer transformer has been described above, the present invention can be widely applied to electronic components other than the embodiment in which one or a plurality of coils are incorporated, and the same effect can be obtained. it can.

【0072】[0072]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
端子電極を結ぶ方向に積層された構造を有するチップ内
に、その周回中心線が端子電極を結ぶ方向と平行なコイ
ルを備える積層型電子部品を的確に製造することができ
る。この積層型電子部品は、コイルの周回中心線が端子
電極を結ぶ方向と平行であるため、複数の搭載向きが可
能な場合又は端子電極の形態及び位置の変更され搭載向
きが変わるような場合でも、基板面に対するコイルの周
回中心線の向きが変わることがなく、コイルと基板との
位置関係を一定に維持して安定した電気特性を得ること
ができる。
As described in detail above, according to the present invention,
It is possible to accurately manufacture a laminated electronic component including a coil having a structure in which a circumferential center line is parallel to a direction connecting terminal electrodes in a chip having a structure stacked in a direction connecting terminal electrodes. In this laminated electronic component, since the winding center line of the coil is parallel to the direction connecting the terminal electrodes, even when a plurality of mounting directions are possible or when the mounting direction is changed by changing the form and position of the terminal electrodes. In addition, the orientation of the winding center line of the coil with respect to the substrate surface does not change, and the positional relationship between the coil and the substrate can be maintained constant to obtain stable electric characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る積層インダクタの概略断面図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer inductor according to the present invention.

【図2】本発明に係る積層インダクタの概略斜視図FIG. 2 is a schematic perspective view of a multilayer inductor according to the present invention.

【図3】図1に示した積層インダクタの製造方法を示す
FIG. 3 is a diagram showing a method of manufacturing the multilayer inductor shown in FIG.

【図4】積層,圧着工程を示す斜視図FIG. 4 is a perspective view showing a lamination and pressure bonding process.

【図5】端子電極形成工程を示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing a terminal electrode forming step.

【図6】従来の積層インダクタの概略断面図FIG. 6 is a schematic sectional view of a conventional multilayer inductor.

【図7】従来の積層インダクタの搭載例を示す図FIG. 7 is a diagram showing a mounting example of a conventional multilayer inductor.

【図8】従来の積層インダクタの搭載例を示す図FIG. 8 is a diagram showing a mounting example of a conventional multilayer inductor.

【図9】図1に示した積層インダクタの他の製造方法を
示す図
FIG. 9 is a view showing another method of manufacturing the multilayer inductor shown in FIG. 1;

【図10】図1に示した積層インダクタの他の製造方法
を示す図
FIG. 10 is a view showing another method of manufacturing the multilayer inductor shown in FIG. 1;

【図11】コイル層用シートの作成手順説明図FIG. 11 is an explanatory diagram of a procedure for preparing a coil layer sheet.

【図12】コイル層用シートの作成手順説明図FIG. 12 is an explanatory diagram of a procedure for preparing a coil layer sheet.

【図13】本発明に係る積層トランスの概略断面図FIG. 13 is a schematic sectional view of a multilayer transformer according to the present invention.

【図14】図13に示した積層トランスの製造方法を示
す図
14 is a diagram showing a method of manufacturing the laminated transformer shown in FIG.

【図15】図13に示した積層トランスの他の製造方法
を示す図
FIG. 15 is a view showing another method of manufacturing the laminated transformer shown in FIG. 13;

【図16】コイル中心部分に高透磁率部を形成する方法
を示す図
FIG. 16 is a diagram showing a method of forming a high magnetic permeability portion at the center of the coil.

【図17】コイル中心部分に高透磁率部を形成する方法
を示す図
FIG. 17 is a diagram showing a method of forming a high magnetic permeability portion at the center of the coil.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…チップ、2…コイル、3…端子電極、Y…コイルの
周回中心線、A…上層用シート、Pa…引出用導体、B
1〜B4…コイル層用シート、Pb1〜Pb4…コイル
用導体、C…下層用シート、Pc…引出用導体、D…上
層用シート、E1〜E3…コイル層用シート、Pe1
a,Pe3a…帯状導体、Pe1b,Pe3b…引出用
導体、Pe2…点状導体、F…下層用シート、G…上層
用シート、H1〜H3…コイル層用シート、Ph1a,
Ph3a…帯状導体、Ph1b,Ph3b…引出用導
体、Ph…充填ペースト、I…下層用シート、21…チ
ップ、22…1次コイル、23…2次コイル、24…端
子電極、Y…コイルの周回中心線、J…上層用シート、
Pj…引出用導体、K1〜K4…コイル層用シート、P
k1〜Pk4…コイル用導体、L…下層用シート、Pl
…引出用導体、M…上層用シート、N1〜N3…コイル
層用シート、Pn1a,Pn3a…帯状導体、Pn1
b,Pn3b…引出用導体、Pn2…点状導体、O…下
層用シート。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chip, 2 ... Coil, 3 ... Terminal electrode, Y ... Circumferential center line, A ... Upper layer sheet, Pa ... Lead-out conductor, B
1 to B4: sheet for coil layer, Pb1 to Pb4: conductor for coil, C: sheet for lower layer, Pc: conductor for extraction, D: sheet for upper layer, E1 to E3: sheet for coil layer, Pe1
a, Pe3a: strip conductor, Pe1b, Pe3b: lead conductor, Pe2: point conductor, F: lower layer sheet, G: upper layer sheet, H1 to H3: coil layer sheet, Ph1a,
Ph3a: strip conductor, Ph1b, Ph3b: lead conductor, Ph: filling paste, I: lower layer sheet, 21: chip, 22: primary coil, 23: secondary coil, 24: terminal electrode, Y: coil winding Center line, J ... upper layer sheet,
Pj: Leading conductor, K1 to K4: Coil sheet, P
k1 to Pk4: conductor for coil, L: sheet for lower layer, Pl
... Lead-out conductors, M ... upper layer sheets, N1 to N3 ... coil layer sheets, Pn1a, Pn3a ... strip conductors, Pn1
b, Pn3b: Leading conductor, Pn2: Point conductor, O: Sheet for lower layer.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コイル用の非環状導体とこの非環状導体
の端部と接続する導体充填のスルーホールとを有する複
数のグリーンシートを、シートそれぞれの非環状導体が
導体充填のスルーホールを介して積層方向で螺旋状に接
続するように積み重ねると共に、 その積層方向両側に、導体充填のスルーホールを有する
複数のグリーンシートを、シートそれぞれのスルーホー
ル充填導体が積層方向で接続し、且つ、その一端側のス
ルーホール充填導体が積層方向端の非環状導体と接続す
るように積み重ねて、積み重ねたもの全体を圧着し、 圧着後の積層体を焼成し、 焼成後の積層体の積層方向端部に、積層方向端のスルー
ホール充填導体の露出端それぞれと接続するように端子
電極を対向して形成した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
1. A plurality of green sheets each having a non-circular conductor for a coil and a conductor-filled through-hole connected to an end of the non-circular conductor, wherein each non-circular conductor of the sheet passes through a conductor-filled through-hole. A plurality of green sheets having conductor-filled through holes on both sides in the stacking direction are connected in the stacking direction, and a plurality of green sheets having through holes filled with conductors are connected in the stacking direction. The through-hole-filled conductor at one end is stacked so as to connect to the non-annular conductor at the end in the stacking direction, the entire stack is crimped, the crimped laminate is fired, and the end of the fired laminate is stacked. A terminal electrode formed so as to be connected to each of the exposed ends of the through-hole-filled conductor at the end in the stacking direction. .
【請求項2】 積層方向で接続する複数のスルーホール
充填導体のうち非環状導体側のスルーホール充填導体を
非環状導体に面接触状態で接続させ、端子電極側のスル
ーホール充填導体を端子電極に面接触状態で接続させ
た、 ことを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品の製
造方法。
2. A plurality of through-hole-filling conductors connected in the stacking direction, the through-hole-filling conductor on the non-annular conductor side is connected to the non-circular conductor in surface contact, and the through-hole-filling conductor on the terminal electrode side is connected to the terminal electrode. The method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 1, wherein the components are connected to each other in a surface contact state.
【請求項3】 非環状導体と端子電極を接続する複数の
スルーホール充填導体の総長さを、端子電極のチップ側
面に回り込む部分の長さよりも大きくした、 ことを特徴とする請求項1または2に記載の積層型電子
部品の製造方法。
3. A total length of a plurality of through-hole filling conductors connecting the non-circular conductor and the terminal electrode is made larger than a length of a part of the terminal electrode which goes around the chip side surface. 3. The method for manufacturing a multilayer electronic component according to item 1.
【請求項4】 端子電極に接続するスルーホール充填導
体の接続面の大きさをスルーホールよりも大きくした、 ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の
積層型電子部品の製造方法。
4. The multilayer electronic component according to claim 1, wherein a size of a connection surface of the through hole filling conductor connected to the terminal electrode is larger than that of the through hole. Manufacturing method.
【請求項5】 非環状導体に接続するスルーホール充填
導体の接続面の大きさを非環状導体の幅とほぼ一致させ
た、 ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の
積層型電子部品の製造方法。
5. The non-circular conductor according to claim 1, wherein the size of the connecting surface of the through-hole filling conductor connected to the non-circular conductor is substantially equal to the width of the non-circular conductor. Of manufacturing a multilayer electronic component.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110178243A (en) * 2016-12-14 2019-08-27 罗伯特·博世有限公司 Rechargeable battery subunit and rechargeable battery

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