JP1722253S - 半導体ウエハ収納カセット用把持機 - Google Patents
半導体ウエハ収納カセット用把持機Info
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Abstract
本物品は、半導体ウエハ収納カセットを把持するために、ロボットアームの先端に取付けられて使用される半導体ウエハ収納カセット用把持機である。本物品は、対向配置された一対のアーム状の保持板の先端部の内側に設けられた保持ブロックによって半導体ウエハ収納カセットを保持することにより、半導体ウエハ収納カセットを把持することができるように構成されたものである。半導体ウエハ収納カセットを把持する際には、保持ブロックに設けられた溝部により、半導体ウエハ収納カセットの周縁に設けられた突条部が保持される。
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