ITTO980330A1 - EQUIPMENT FOR ELECTROMAGNETIC CABLE SHIELDING AND RELATIVE PROCEDURE. - Google Patents
EQUIPMENT FOR ELECTROMAGNETIC CABLE SHIELDING AND RELATIVE PROCEDURE.Info
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Description
Descrizione dell'invenzione industriale dal titolo; Description of the industrial invention entitled;
"Apparecchio per la scnermatura elettromagnetica di cavi e relativo procedimento“. "Apparatus for electromagnetic shielding of cables and related procedure".
Campo dell ' invenzione Field of invention
L' invenz ione si riferisce ad una contromisura contro il rumore el ettromagnetica per cavi disposti tra apparec -chiature el ettroniche , e p iù in part icol are , ad un ' apparecchiatura di schermatura ettromagnetica per un fascio di cavi che connettono un sistema di test di semiconduttori e i suoi dispositivi periferici. The invention refers to a countermeasure against electromagnetic noise for cables arranged between electronic equipment, and more particularly, to an electromagnetic shielding equipment for a bundle of cables connecting a test system of semiconductors and its peripheral devices.
Sfondo dell'invenzione Background of the invention
In molte situazioni, si connettono apparecchiature elettriche per mezzo di una moltitudine di cavi che possono essere suscettibili a rumore di onde eiettromagnetiche. Per esempio, un sistema di· test di semiconduttori presenta un corpo principale e dispositivi periferici quali una testa, (stazione) di test connessi l'uno all'altro da un fascio 'Composto da molti cavi, che richiede misure di protezione dal rumore elettromagnetico. In many situations, electrical equipment is connected by means of a multitude of cables which can be susceptible to noise from electromagnetic waves. For example, a semiconductor test system has a main body and peripheral devices such as a test head (station) connected to each other by a bundle consisting of many cables, which requires protective measures against electromagnetic noise. .
Un esempio di configurazione di sistema di test di semiconduttori viene mostrato nelle -figure 7 e 3. Nel1'esempio delie -figure 7 e 8, il sistema per semiconduttori include un corpo principale del dispositiva dì test dei semiconduttori per generare segnali di test da applicare a dispositivi di semiconduttore 14 e 15 in test e valutare segnali risultanti dai dispositivi in test, una stazione di lavoro 10 per l'interfacciamento del sistema di test ed un utente per reaiizzare le operazioni di test, e stazioni di test 12 e 13 dotate di circuiti elettrici e dispositivi di contatto per il montaggio dei dispositivi di semiconduttore in test 14 e 15 su di esse. An example of a semiconductor test system configuration is shown in Figures 7 and 3. In the example of Figures 7 and 8, the semiconductor system includes a main body of the semiconductor test device for generating test signals to be applied. to semiconductor devices 14 and 15 under test and to evaluate signals resulting from the devices under test, a work station 10 for interfacing the test system and a user for carrying out the test operations, and test stations 12 and 13 equipped with electrical circuits and contact devices for mounting the test semiconductor devices 14 and 15 thereon.
Si utilizzano diversi fasci di cavi 40 tra la struttura principale li e la stazione di lavoro 10 e tra la struttura principale il e le stazioni di lavoro 12 e 13. Un grande numero di cavi in ciascuno dei fasci di cavi 40 tramette vari generi di alimentazioni elettriche, segnali di controllo, segnali di test e simili tra la struttura principale 11 e la stazione di lavoro 10 o le stazioni di test 12 e 13. Several cable bundles 40 are used between the main structure 11 and the work station 10 and between the main structure 11 and the work stations 12 and 13. A large number of cables in each of the cable bundles 40 passes various kinds of power supplies. electrical, control signals, test signals and the like between the main structure 11 and the work station 10 or the test stations 12 and 13.
I fasci di cavi 40 hanno lunghezza sufficiente a permettere alla stazione di lavoro 11 e le stazioni di test 12 e 13 di spostarsi nel campo limitato del Posiionamento flessibile. Tipicamente, in un sistema di test di semiconduttori mostrato nelle figure 7 e 8, vi sono 4-10 fasci di cavi tra la struttura principale 11 e le periferiche 10, 12 e 13, ciascuno dei fasci di cavi presenta una lungnezza di 3 m, per esempio The cable bundles 40 have sufficient length to allow the work station 11 and the test stations 12 and 13 to move into the limited range of the flexible positioning. Typically, in a semiconductor test system shown in Figures 7 and 8, there are 4-10 bundles of cables between the main structure 11 and peripherals 10, 12 and 13, each of the bundles of cables has a length of 3 m, for instance
Un esempio di fasci di cavi 40 viene mostrato in figura 6 in cui si raggruppano insieme una moltitudine di cavi coassiali 43 per la trasmissione di segnali di test, segnali di controllo, e segnali di temporizzazione e una moltitudine di cavi di alimentazione 44. I cavi coassiali 43 ed i cavi di alimentazione 44 vengono ricoperti da un tubo a chiusura lampo 41 per la protezione dagli sforzi esterni. Il tubo a chiusura lampo 41 è un tuba protettivo realizzato in vinile e presenta una chiusura lampo per una facile copertura dei cavi 43 e 44 al suo interno. An example of cable bundles 40 is shown in Figure 6 where a multitude of coaxial cables 43 are grouped together for the transmission of test signals, control signals, and timing signals and a multitude of power cables 44. The cables coaxial cables 43 and the power cables 44 are covered by a zip-lock tube 41 for protection from external stresses. Zip lock tube 41 is a protective tuba made of vinyl and features a zip lock for easy covering of cables 43 and 44 inside.
A causa dell'aumento delle velocità di operazione del sistema di test dei semiconduttori e i dispositivi di semiconduttore da testare, i livelli di ampiezza dei segnali di test, segnali di controllo e segnali -di temporizzazione trasmessi attraverso i cavi coassiali 43 sono in diminuzione. Perciò, questi segnali tendono ad essere influenzati dal rumore elettromagnetico da un'area circostante attraverso i cavi caassiali 43 e i cavi di aiimentazione 44, Due to the increase in the operating speeds of the semiconductor test system and the semiconductor devices to be tested, the amplitude levels of the test signals, control signals and timing signals transmitted through the coaxial cables 43 are decreasing. Therefore, these signals tend to be affected by electromagnetic noise from a surrounding area through the caaxial cables 43 and the power cables 44,
Inoltre, molti sistemi di test di semiconduttore vengono utilizzati in ambiente industriale, pieno di vari tipi di rumore, piuttosto che in ambiente di laboratorio. In addition, many semiconductor test systems are used in an industrial environment, filled with various types of noise, rather than in a laboratory environment.
Cosi, ci aspetta che un sistema di test di semiconduttori presenti mezzi di protezione superiori contro il rumore elettromagnetico che quello degli strumenti per uso in laboratorio. Per esempio, in un tipico processa di test per la valutazione dell'immunità al rumore elettromagnetico di un sistema di test di semiconduttori, si dispone un cavo di test sul fascio di cavi 40 in modo parallelo per staòilire accoppiaménto capacitiva tra i cavi. Si applica un impulso di test avente un tempo di salita pari a 2 ns e una tensione di 1 kV al cavo di test se si trova qualche errore nel funzionamento del sistema di test di semiconduttori, Thus, a semiconductor test system is expected to have superior means of protection against electromagnetic noise than that of laboratory instruments. For example, in a typical test process for evaluating the electromagnetic noise immunity of a semiconductor test system, a test lead is arranged on the harness 40 in a parallel fashion to establish capacitive coupling between the cables. A test pulse having a rise time of 2 ns and a voltage of 1 kV is applied to the test lead if any error is found in the operation of the semiconductor test system,
Perciò, e necessario disporre di una contromisura al rumore elettromagnetico per i fasci di cavi nel sistema di test ai semiconduttori. Un esempio di tali contromisure contro il rumore elettromagnetico viene mostrata nella figura 9. Nell'esempio di figura 9, i mezzi di protezione dal rumore includono nuclei di ferrite 60 per ciascun terminale dei cavo coassiale 43 nel fascio di cavi 40 e nuclei di ferrite 61 per ciascun terminale dei cavi di aiimentazione 44. Tuttavia, in questo procedimento, si riconosce che non è possibile ottenere una riduzione del rumore soddisfacente nel processo di test indicato in precedenza. Therefore, it is necessary to have an electromagnetic noise countermeasure for the cable bundles in the semiconductor test system. An example of such countermeasures against electromagnetic noise is shown in Figure 9. In the example of Figure 9, the noise protection means include ferrite cores 60 for each terminal of the coaxial cable 43 in the cable bundle 40 and ferrite cores 61 for each terminal of the power cables 44. However, in this method, it is recognized that satisfactory noise reduction cannot be achieved in the test process outlined above.
Se il fascio di cavi 40 può essere disposto in scatole schermate nella sua interezza, saranno disponibile i più elevati effetti di immunità al rumore. Tuttavia, tale struttura di schermatura non è pratica poiché ci si attende che la stazione di lavoro 10 e le stazioni di test 12 e 13 sia liberamente mobili allo scopo di p05izionamento. Perciò, in sistemi elettronici quali un ^sistema di test per semiconduttori, esiste la necessità di stabilire una misura più efficace per la protezione del fascio di cavi dal rumore elettromagnetico. If the cable bundle 40 can be arranged in shielded boxes in its entirety, the highest noise immunity effects will be available. However, such a shielding structure is not practical since the work station 10 and test stations 12 and 13 are expected to be freely movable for the purpose of positioning. Therefore, in electronic systems such as a semiconductor test system, a need exists to establish a more effective measure for protecting the cable bundle from electromagnetic noise.
Sommario dell'invenzione Summary of the invention
E' uno scopo della presente invenzione quello di fornire un'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica per fasci di cavi avente un elevato effetto di prevenzione del rumore da conseguire un'immunità sufficiente da rumore esterno. It is an object of the present invention to provide an electromagnetic shielding apparatus for cable bundles having a high noise prevention effect to achieve sufficient immunity from external noise.
E' un altro scopo della presente invenzione quello di fornire unapparecchiatura di schermatura elettromagnetica per fasci di cavi che presenti una struttura semplice per permettere un basso costo ed una facile installazione. It is another object of the present invention to provide an electromagnetic shielding apparatus for cable bundles which has a simple structure to allow low cost and easy installation.
E' un ulteriore scopo della presente invenzione quello di fornire un'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica per fasci di cavi di un sistema di test di semiconduttori che permetta un libero posizionamento dei dispositivi periferici conseguendo un effetto perfezionato di prevenzione del rumore. It is a further object of the present invention to provide an electromagnetic shielding apparatus for cable bundles of a semiconductor test system which allows free positioning of the peripheral devices achieving an improved noise prevention effect.
E' un ulteriore scopo della presente invenzione quello di fornire un'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica per fasci di cavi che riduca in modo effettivo le emissioni di rumore elettromagnetico dai cavi dei sistema di test dei semiconduttori verso l'ambiente. It is a further object of the present invention to provide an electromagnetic shielding apparatus for cable bundles which effectively reduces electromagnetic noise emissions from the semiconductor test system cables to the environment.
L'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione viene utilizzata per un fascio di cavi che corrono tra un'apparecchiatura elettronica ed un dispositivo periferico per evitare che l'apparecchiatura elettronica venga influenzata dal'rumore elettromagnetico. L'apparecchiatura di schermatura include una piastra di connessione a terra fornita in prossimità di una struttura principale dell'apparecchiatura elettronica o attaccata alla struttura principale e connessa elettricamente alla struttura principale per mantenere il potenziale di terra, un materiale elastico conduttivo per coprire sostanzialmente tutto il fascio di cavi ai difuori dell'apparecchiatura elettronica ed il dispositivo periferico, ed un meccanismo dì bloccaggio per attaccare il fascio di cavi alla piastra di terra per stabilire una connessione elettrica tra il materiale elastico conduttivo e la terra. The electromagnetic shielding apparatus of the present invention is used for a bundle of cables running between an electronic apparatus and a peripheral device to prevent the electronic apparatus from being affected by electromagnetic noise. The shielding equipment includes a ground connection plate provided in proximity to a main structure of the electronic equipment or attached to the main structure and electrically connected to the main structure to maintain the ground potential, a conductive elastic material to cover substantially all of the a bundle of cables outside the electronic equipment and the peripheral device, and a locking mechanism for attaching the bundle of cables to the ground plate to establish an electrical connection between the conductive elastic material and the ground.
Secondo la presente invenzione, sostanzialmente tutto il fascio di cavi è coperto da una copertura elettricamente conduttiva e la connessione elettrica viene stabilita tra la copertura conduttiva e la piastra di terra. Cosi, il rumore elettrico verrà facilmente trasmesso in parallelo attraverso la copertura conduttiva alla piastra di terra senza influenzare il funzionamento del sistema di test di semiconduttori. Di conseguenza, ì'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione ha un grande effetto di prevenzione del rumare da conseguire immunità sufficiente dei cavi dal rumore esterno. According to the present invention, substantially the whole cable bundle is covered by an electrically conductive cover and the electrical connection is established between the conductive cover and the ground plate. Thus, the electrical noise will easily be transmitted in parallel across the conductive cover to the ground plate without affecting the operation of the semiconductor test system. Accordingly, the electromagnetic shielding apparatus of the present invention has a great noise-preventing effect to achieve sufficient immunity of the cables from external noise.
Inoltre, l'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione presenta una struttura relativamente semplice da permettere un basso costo e facile installazione della copertura conduttiva e del meccanismo di bloccaggio. Inoltre, l'apparecchiatura di schermatura della presente invenzione permette un libero posizionamento dei dispositivi periferici poiché la piastra di terra ed il fascio di cavi vengono liberamente disposti e fissati insieme in corrispondenza dell'ultimo stadio di posizionamento dei dispositivi periferici. L'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione riduce l'emissione di rumare elettromagnetico dai cavi del sistema di test di semiconduttori verso l'ambiente ·così come evita che il rumore elettromagnetico penetri nei cavi. Furthermore, the electromagnetic shielding apparatus of the present invention has a relatively simple structure to allow a low cost and easy installation of the conductive cover and the locking mechanism. Furthermore, the shielding apparatus of the present invention allows a free positioning of the peripheral devices since the ground plate and the bundle of cables are freely arranged and fixed together at the last positioning stage of the peripheral devices. The electromagnetic shielding apparatus of the present invention reduces the emission of electromagnetic noise from the semiconductor test system cables to the environment as well as prevents electromagnetic noise from entering the cables.
Breve descrizione delle illustrazioni Brief description of the illustrations
La figura 1 è una vista in prospettiva che mostra una struttura complessiva avente componenti principali dell'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione. Figure 1 is a perspective view showing an overall structure having major components of the electromagnetic shielding apparatus of the present invention.
La figura 2 è una vista in pianta schematica che mostra un'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione utilizzata per un sistema di test di semiconduttori. Figure 2 is a schematic plan view showing an electromagnetic shielding apparatus of the present invention used for a semiconductor test system.
La figura 3 è una vista in prospettiva di una struttura meccanica dell'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione in cui la struttura di bloccaggio viene montata sulla piastra di terra attraverso la barra di supporto. Figure 3 is a perspective view of a mechanical structure of the electromagnetic shielding apparatus of the present invention in which the locking structure is mounted on the ground plate through the support bar.
La figura 4 è una vista in prospettiva che mostra un esempio di struttura di meccanismo di bloccaggio utilizzato nell'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione. Figure 4 is a perspective view showing an example of a locking mechanism structure used in the electromagnetic shielding apparatus of the present invention.
La figura 5 è una vista in prospettiva che mostra un esempio di un fascio di cavi che viene schermato dal1a copertura di schermatura della presente invenzione. Figure 5 is a perspective view showing an example of a bundle of cables being shielded by the shield cover of the present invention.
La figura 6 è una vista in prospettiva che mostra un esempio di un fascio di cavi avente una moltitudine di cavi coassiali e cavi di alimentazione. Figure 6 is a perspective view showing an example of a cable bundle having a multitude of coaxial cables and power cables.
La figura 7 è un grafica schematica che mostra una vista in prospettiva di un sistema di test di semiconduttori. Figure 7 is a schematic graphic showing a perspective view of a semiconductor test system.
La figura 8 è una vista in pianta che mostra il sistema di test dei semiconduttori della -figura 7. Figure 8 is a plan view showing the semiconductor test system of Figure 7.
La -figura 9 è una vista in prospettiva che mostra una struttura complessiva di contromisure al rumore elettromagnetico nella tecnologia convenzionale. Figure 9 is a perspective view showing an overall structure of countermeasures to electromagnetic noise in conventional technology.
Descrizione dettagliata delle forma di attuazione preferite Detailed description of the preferred embodiments
L 'apparecchiatura di schermatura ,elettromagnetìca della presente invenzione applicata a un sistema di test di semiconduttori viene spiegata con riferimento alle figure 1-5. La figura 1 mostra una struttura complessiva dell‘apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione e la figura 2 mostra una situazione in cui l'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica di figura 1 viene utilizzata per un sistema di test di semiconduttori. The electromagnetic shielding apparatus of the present invention applied to a semiconductor test system is explained with reference to FIGS. 1-5. Figure 1 shows an overall structure of the electromagnetic shielding apparatus of the present invention and figure 2 shows a situation in which the electromagnetic shielding apparatus of figure 1 is used for a semiconductor test system.
Come mostrato nelle figure 1 e 2, componenti Principal i delì'apparecchiiatura di schermatura elettromagnetica sono una piastra di terra 20 connessa elettricamente a una struttura principale di un sistema di test di semiconduttori 11 attraversa un cavo di terra 50, una copertura conduttiva 42 che ricopre e scherma una fascio di cavi 40 come mostrato nelle figure 1 e 5, una struttura di bloccaggio 31 che supporta in modo fìsso il fascio di cavi 40. un dispositivo di fissaggio del bloccaggio 33 che biocca la copertura conduttiva 42 con la struttura di bloccaggio 31 por stabilire una connessione elettrica tra la copertura conduttiva 42 e la piastra di terra 20. La struttura di bloccaggio 31 e il dispositivo di fissaggio di blocco 33 formano un meccanismo di bloccaggio 30 mostrato nelle figure 3 e 4. As shown in FIGS. 1 and 2, principal components of the electromagnetic shielding apparatus are a ground plate 20 electrically connected to a main structure of a semiconductor test system 11 traversing a ground wire 50, a conductive cover 42 covering and shields a bundle of cables 40 as shown in FIGS. 1 and 5, a locking structure 31 which firmly supports the cable bundle 40. a locking fastener 33 which locks the conductive cover 42 with the locking structure 31 for establishing an electrical connection between the conductive cover 42 and the ground plate 20. The locking structure 31 and the locking fastener 33 form a locking mechanism 30 shown in Figures 3 and 4.
La piastra di terra 20 è, per esempio, una piastra di alluminio dalle dimensioni di 300 mm x 900 mm con uno spessore di 3 mm. E' possibile utilizzare una moltitudine di piastre di terra 20 per formare forma e dimensioni desiderate della terra per i fasci di cavi 40, La piastra di terra 20 viene disposta adiacente alla struttura principale li del sistema di test o attaccata alla struttura principale 11. Come mostrato in figura 3 che è una vista in prospettiva che mostra una struttura meccanica della presente invenzione, la struttura di bloccaggio 3l viene mostrata sulla piastra di terra 20 attraverso la barra di supporto 21, Nell'esempio delie figure 1 - 5, la barra di supporto 21 viene attaccata alla piastra di terra 20, e la struttura di bloccaggio 31 viene montata sulla barra di supporto 21 per mezzo di viti 35 da connettere elettricamente alla piastra di terra 20. The ground plate 20 is, for example, an aluminum plate with the dimensions of 300 mm x 900 mm with a thickness of 3 mm. A multitude of ground plates 20 can be used to form the desired shape and size of the ground for the cable bundles 40. Ground plate 20 is arranged adjacent to the main structure li of the test system or attached to the main structure 11. As shown in Figure 3 which is a perspective view showing a mechanical structure of the present invention, the locking structure 31 is shown on the ground plate 20 through the support bar 21, In the example of Figures 1 - 5, the locking bar support 21 is attached to the ground plate 20, and the locking structure 31 is mounted on the support bar 21 by means of screws 35 to be electrically connected to the ground plate 20.
La piastra di terra 20 presenta fori filettati in corrispondenza dei bordi cosicché la piastra di terra viene connessa all'altra piastra di terra 20 attraverso una barra di accoppiamento <' >22. I -fori -filettati vengano forniti in modo tale che le piastre di terra 20 possono allungarsi liberamente sia nella direzione longitudinale che in quella trasversale. Le piastre di terra 20 e la terra della struttura principale del sistema di test di semiconduttori 11 vengono connesse elettricamente da un cavo di connessione a terra 50. Cosi, le piastre di terra 20 e la struttura principale 11 si trovano al potenziale di terra con bassa impedenza. The ground plate 20 has threaded holes at the edges so that the ground plate is connected to the other ground plate 20 through a coupling rod 22. The threaded holes are provided in such a way that the ground plates 20 can freely extend both in the longitudinal and in the transverse direction. The ground plates 20 and the ground of the main structure of the semiconductor test system 11 are electrically connected by an earth connection cable 50. Thus, the ground plates 20 and the main structure 11 are at low ground potential. impedance.
La figura 5 è una vista in prospettiva che mostra un esempio di un fascio di cavi che viene schermato dalla copertura elettricamente conduttiva 42. La copertura conduttiva 42, che ricopre il fascio di cavi 40, è una copertura dallo spessore di 0,2 mm e viene realizzata, per esempio, in fibra acrilica ricoperta con nickel. La copertura elettricamente conduttiva -42 presenta un'area superficiaie sufficientemente grande da coprire e racchiudere il fascio di cavi nella sua interezza. La copertura conduttiva 42 presenta un effetto di schermatura sufficiente a causa della bassa per lunghezza unitaria. Come mostrato in figura 5, la copertura conduttiva 42 ricopre e scherma il fascio di cavi coassiale 43 e i cavi di alimentazione 44 così come il tubo con chiusura lampo 41 che ricopre i cavi per protezione fisica. Figure 5 is a perspective view showing an example of a bundle of cables that is shielded by the electrically conductive cover 42. The conductive cover 42, which covers the bundle of cables 40, is a 0.2 mm thick cover and it is made, for example, in acrylic fiber coated with nickel. The electrically conductive cover -42 has a surface area large enough to cover and enclose the cable bundle in its entirety. The conductive cover 42 exhibits a sufficient shielding effect due to the low per unit length. As shown in Figure 5, the conductive cover 42 covers and shields the coaxial cable bundle 43 and the power cables 44 as well as the zippered tube 41 which covers the cables for physical protection.
La figura 4 e una vista in prospettiva che mostra un esempio delia struttura del meccanismo di bloccaggio utilizzato nell'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della . presente invenzione. Il meccanismo di bloccaggio 30 viene reaiizzato con la struttura di bloccaggio 3i e il dispositivo di -fissaggio di bloccaggio 33. Il dispositivo di -fissaggio di bloccaggio 33 presenta una coppia di scanalature 34 in cui si inserisce in una coppia di punte di bloccaggio 32 sulla struttura di bloccaggio 31 per il bloccaggio della copertura conduttiva, Figure 4 is a perspective view showing an example of the structure of the locking mechanism used in the electromagnetic shielding apparatus of the. present invention. The locking mechanism 30 is formed with the locking structure 3i and the locking device 33. The locking device 33 has a pair of grooves 34 into which it fits into a pair of locking pins 32 on the locking structure 31 for locking the conductive cover,
lì meccanismo di bloccaggio 30 viene reaiizzato in metallo per ottenere una connessione elettrica su-f-ficiente della copertura conduttiva 42 alla piastra di terra 20. 11 meccanismo di bloccaggio 30 richiede inoltre una resistenza meccanica sufficiente da mantenere un sufficiente contatto tra lapiastra di terra 20 e la copertura conduttiva 42. Così, si utilizzeranno preferibiìmente materiali quali una piastra inossidabile dal1o.spessore preferibi1mente pari a 1,5 mm. The locking mechanism 30 is made of metal to achieve a sufficient electrical connection of the conductive cover 42 to the ground plate 20. The locking mechanism 30 also requires sufficient mechanical strength to maintain sufficient contact between the ground plate 20 and conductive cover 42. Thus, materials such as a stainless plate preferably 1.5 mm thick will be preferably used.
Come mostrato in figura 1, il fascio di cavi 40 viene fissato dalla struttura di bloccaggio 31 alla piastra di terra 20 attraverso la barra dì supporto 21. La copertura conduttiva 42 ricopre il fascio di cavi 40 e una parte della copertura conduttiva 42 viene bloccata tra la struttura di bloccaggio 31 e il dispositivo di fissaggio del bloccaggio 33 così da assicurare sufficiente connessione elettrica alla piastra di terra. Nell'esempio delle figure 1 - 4, il meccanismo di bloccaggio 30 blocca la copertura conduttiva 42 facendo scorrere il dispositivo di fissaggio di bloccaggio 33 in modo tale che le punte di bloccaggio 32 si inseriscano nelle scanalature di bloccaggio 34. Tuttavia, sono anche possibili altre strutture per la connessione elettrica della copertura conduttiva 42 alla piastra di terra per merco di, per esempio, uso di viti. As shown in Figure 1, the cable bundle 40 is secured by the locking structure 31 to the ground plate 20 through the support bar 21. The conductive cover 42 covers the cable bundle 40 and a part of the conductive cover 42 is clamped between the locking structure 31 and the fastening device of the locking 33 so as to ensure sufficient electrical connection to the ground plate. In the example of Figures 1 - 4, the locking mechanism 30 locks the conductive cover 42 by sliding the locking fastener 33 so that the locking tips 32 fit into the locking grooves 34. However, they are also possible other structures for the electrical connection of the conductive cover 42 to the ground plate by means of, for example, the use of screws.
Nell‘apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione, si evita che il rumore ambientale penetri nei cavi. Precisamente, il rumore' ambientale viene indotto nella copertura elettricamente conduttiva 42 per la quale cosa le correnti di rumare scorrono- attraverso la copertura conduttiva 42, il meccanismo di bloccaggio 30, la barra di supporta 2i al1a piastra di terra 20. La piastra di terra 20 è una larga piastra conduttiva dalla bassa resistenza e connessa alla terra del sistema di test dei semiconduttori il. Cosi, si mantiene lo stesso potenziale di terra anche quando le correnti di rumore scorrono verso la piastra di terra. In altre parole, il rumore viene assorbito dal potenziale di terra, comportando la prevenzione dell'ingresso del rumare ne» fasci di cavi. In the electromagnetic shielding equipment of the present invention, environmental noise is prevented from entering the cables. Specifically, the ambient noise is induced in the electrically conductive cover 42 whereby the rumar currents flow through the conductive cover 42, the locking mechanism 30, the support bar 21 to the ground plate 20. The ground plate 20 is a large, low resistance conductive plate connected to the ground of the semiconductor test system 11. Thus, the same ground potential is maintained even when the noise currents flow to the ground plate. In other words, the noise is absorbed by the ground potential, resulting in the prevention of the entry of noise into the cable bundles.
Di conseguenza, nel suddetto test per valutare ì'immunità dal rumore elettromagnetico di un sistema di test di semiconduttori, si incorre in un errore nell'operazione del sistema di test quando si aumenta fino a 2 kV .l'ampiezza di un impulso di test. Questo livello è significativamente superiore a quello della tecnologia convenzionale che utilizza nuclei di ferrite in cui un impulso di test pari a circa 1,3 kO causerà errori nell'operazione del sistema di test. Cosi, l'effetto preventivo viene significativamente perfezionato nell'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione. Consequently, in the above test for evaluating the electromagnetic noise immunity of a semiconductor test system, an error is incurred in the operation of the test system when increasing the amplitude of a test pulse to 2 kV. . This level is significantly higher than that of conventional technology using ferrite cores where a test pulse of approximately 1.3 kO will cause errors in the operation of the test system. Thus, the preventive effect is significantly improved in the electromagnetic shielding apparatus of the present invention.
Nei precedenti esempi, si utilizzano i cavi coassiali 43 e i cavi di alimentazione 44 nel fascio di cavi 40 per trasmissione di segnali e alimentazione. Tuttavia, si possono anche utilizzare altri tipi di cavi nel fascio di cavi così da ottenere simili risultati di prevenzione del rumore. Tali altri tipi di cavi includono cavi piatti, cavi intrecciati, cavi tessuti e simili. In the foregoing examples, coaxial cables 43 and power cables 44 in cable bundle 40 are used for signal transmission and power supply. However, other types of cables can also be used in the harness to achieve similar noise prevention results. Such other types of cables include flat cables, twisted cables, woven cables and the like.
Inoltre nel precedente esempio, il meccanismo di bloccaggio 30 per fissare il fascio di cavi 40 viene attaccato alla piastra di terra 20 attraverso la barra di supporto 21. Tuttavia, è anche possibile attaccare direttamente il meccanismo di bloccaggio 30 alla piastra di terra 20 con viti o altri mezzi. Also in the above example, the locking mechanism 30 for fixing the cable bundle 40 is attached to the ground plate 20 through the support bar 21. However, it is also possible to directly attach the locking mechanism 30 to the ground plate 20 with screws. or other means.
Il precedente esempio mostra il caso in cui la copertura eìettricamente conduttiva 42 viene connessa alla piastra di terra 20 attraverso la struttura di bloccaggio 31 e il dispositivo di fissaggio di bloccaggio 33. Tuttavia, è possibile anche un'altra struttura per la connessione della copertura conduttiva 42 alla piastra dì terra quale l'attacco della copertura conduttiva 42 direttamente alla piastra di terra 20. The above example shows the case where the electrically conductive cover 42 is connected to the ground plate 20 through the locking structure 31 and the locking fastener 33. However, another structure is also possible for the connection of the conductive cover. 42 to the ground plate such as the attachment of the conductive cover 42 directly to the ground plate 20.
Inoltre, la copertura conduttiva 42 può essere sostituita da altre pellicole o foglio conduttivi, quale .pellicola di metallo elastica o foglio di rete di metallo. Further, the conductive cover 42 can be replaced by other conductive films or sheet, such as elastic metal film or metal mesh sheet.
Dome descritto in precedenza, secando la presente invenzione, sostanzialmente tutto il fascio di cavi viene ricoperto dalla copertura elettricamente conduttiva e si stabilisce la connessione elettrica tra la copertura conduttiva e la piastra di terra. Così,--il rumore elettromagnetico verrà facilmente, trasmesso in parallelo attraverso la copertura conduttiva alla piastra di terra senza influenzare il funzionamento del sistema di test dei semiconduttori. Di conseguenza, l'apparecchiatura di scnermatura elettromagnetica della presente invenzione presenta un elevato effetto di prevenzione del rumare così da conseguire sufficiente immunità dei cavi dal rumore esterno. Dome described above, according to the present invention, substantially the entire cable bundle is covered by the electrically conductive cover and the electrical connection is established between the conductive cover and the ground plate. Thus, - electromagnetic noise will be easily, transmitted in parallel through the conductive cover to the ground plate without affecting the operation of the semiconductor test system. Consequently, the electromagnetic shielding apparatus of the present invention has a high noise prevention effect so as to achieve sufficient immunity of the cables from external noise.
Inoltre, l 'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione presenta una struttura relativamente semplice da permettere basso costo e facilità di installazione con la copertura conduttiva e il meccanismo di bloccaggio. Inoltre, l'apparecchiatura di schermatura della presente invenzione permette il libero posizionamento dei dispositivi periferici poiché la piastra di terra ed il fascio di cavi vengono liberamente disposti e fissati insieme in corrispondenza dell'ultimo stadio di posizionamento dei dispositivi periferici. L'apparecchiatura di schermatura elettromagnetica della presente invenzione riduce l'emissione di rumore elettromagnetico dai cavi del sistema di test di semiconduttori all'ambiente così come evita che il rumore eìettromagnetico penetri nei cavi. Furthermore, the electromagnetic shielding apparatus of the present invention has a relatively simple structure to allow low cost and ease of installation with the conductive cover and locking mechanism. Furthermore, the shielding apparatus of the present invention allows the free positioning of the peripheral devices since the ground plate and the bundle of cables are freely arranged and fixed together at the last positioning stage of the peripheral devices. The electromagnetic shielding apparatus of the present invention reduces the emission of electromagnetic noise from the semiconductor test system cables to the environment as well as prevents electromagnetic noise from entering the cables.
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