HUP0103795A2 - Elektrosztatikus pofa és eljárás villamosan töltött szemcséknek szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományba vonzására, továbbá elektrosztatikus pofa szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományban felhalmozódott... - Google Patents

Elektrosztatikus pofa és eljárás villamosan töltött szemcséknek szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományba vonzására, továbbá elektrosztatikus pofa szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományban felhalmozódott...

Info

Publication number
HUP0103795A2
HUP0103795A2 HU0103795A HUP0103795A HUP0103795A2 HU P0103795 A2 HUP0103795 A2 HU P0103795A2 HU 0103795 A HU0103795 A HU 0103795A HU P0103795 A HUP0103795 A HU P0103795A HU P0103795 A2 HUP0103795 A2 HU P0103795A2
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
grain
particle
attracting
bcz
voltage
Prior art date
Application number
HU0103795A
Other languages
English (en)
Inventor
Nitin Vithalbhai Desai
Eugene Samuel Poliniak
Dominic Steohen Rosati
Bawa Singh
Hoi Cheong Sun
Original Assignee
Delsys Pharmaceutical Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Delsys Pharmaceutical Corporation filed Critical Delsys Pharmaceutical Corporation
Publication of HUP0103795A2 publication Critical patent/HUP0103795A2/hu
Publication of HUP0103795A3 publication Critical patent/HUP0103795A3/hu

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0046Sequential or parallel reactions, e.g. for the synthesis of polypeptides or polynucleotides; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making molecular arrays
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277Apparatus
    • B01J2219/00457Dispensing or evacuation of the solid phase support
    • B01J2219/00459Beads
    • B01J2219/00468Beads by manipulation of individual beads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277Apparatus
    • B01J2219/00497Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/005Beads
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N2035/00465Separating and mixing arrangements
    • G01N2035/00564Handling or washing solid phase elements, e.g. beads
    • G01N2035/00574Means for distributing beads
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S118/00Coating apparatus
    • Y10S118/02Bead coater
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T279/00Chucks or sockets
    • Y10T279/23Chucks or sockets with magnetic or electrostatic means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

A találmány tárgya egyrészt elektrosztatikus pofa és eljárásvillamosan töltött szemcséknek szemcseérintkezési felületen elterülőszemcsegyűjtő tartományba vonzására, másrészt elektrosztatikus pofáhozcsatlakoztatott, szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtőtartományban felhalmozódott töltést monitorozó töltésérzékelőelektróddal rendelkező, felhalmozódott töltés érzékelésére szolgálóáramkör. A találmány szerinti elektrosztatikus pofa tartalmaz aszemcsegyűjtő tartományban (BCZ) szemcsevonzó teret szelektívenlétrehozó szemcseelektródot (9), amely szemcseelektród (9) váltakozóhullám alakú feszültség rákapcsolására a szemcséket szelektívmegtartás céljából befolyásolón és a szemcsegyűjtő tartományba (BCZ)terelőn van megformázva és kialakítva; valamint a szemcsegyűjtőtartományban (BCZ) ismétlődőn effektív szemcsevonzó feszültségetkiváltó váltakozó hullám alakú feszültséget leadón programozottelektronikus meghajtó egységet, ahol a váltakozó hullám alakúfeszültség szemcsevonzó impulzusból és ezt követő, legfeljebb 1011 Wcmfajlagos ellenállású hordozón megvalósított szemcsegyűjtő tartomány(BCZ) esetében a rákövetkező szemcsevonzó impulzus ráadásakor aszemcsegyűjtő tartományban (BCZ) effektív szemcsevonzó teretbiztosítón megválasztott relaxációs szakaszból áll, továbbá ahol aváltakozó hullám alakú feszültség frekvenciája legfeljebb 100 Hz. Atalálmány szerinti eljárás során legfeljebb 1011 Wcm fajlagosellenállású hordozót elektrosztatikus pofaszemcsevonzó elektródja fölérétegzett helyzetben szemcseérintkezési felületet (BCS) képezőnelektrosztatikus pofához tapasztanak; a szemcsevonzó elektródraváltakozó hullámalakú feszültséget kapcsolva szemcsevonzó teret hoznaklétre, ahol a váltakozó hullám alakú feszültséget szemcsevonzóimpulzusból és ezt követő, a rákövetkező szemcsevonzó impulzusráadásakor a szemcsegyűjtő tartományban (BCZ) effektív szemcsevonzóteret biztosítón megválasztott relaxációs szakaszból teszik össze, ésa váltakozó hullám alakú feszültség frekvenciáját legfeljebb 100 Hz-nek választják; továbbá szemcsét a szemcsegyűjtő tartományba (BCZ)vonzanak és ott megtartanak. A találmány szerinti áramkör tartalmazváltakozó feszültségű előfeszítő áramforrást; villamosan töltöttszemcséket szemcsegyűjtő tartománya (BCZ) vonzó szemcsevonzó teretlétrehozó legalább egy szemcseelektróddal (9), továbbá töltésgyűjtőelektród és a váltakozó feszültségű előfeszítő áramforrás közévillamosan bekapcsolt érzékelőkondenzátorral rendelkezőelektrosztatikus pofát valamint az érzékelőkondenzátor feszültségetmérő, a váltakozó feszültségű előfeszítő áramforrás éscsatolókondenzátor közé villamosan bekapcsolt elektrométert. Ó
HU0103795A 1998-06-10 1999-06-08 Electrostatic chuck method for attracting electrostatically charged beads onto a bead collecting territory on bead contact surface and a monitoring circuit having charge sensor electrode for sensing accumulated charge on bead collecting territory on ... HUP0103795A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/095,425 US6149774A (en) 1998-06-10 1998-06-10 AC waveforms biasing for bead manipulating chucks
PCT/US1999/012764 WO1999064148A1 (en) 1998-06-10 1999-06-08 Ac waveforms biasing for bead manipulating chucks

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUP0103795A2 true HUP0103795A2 (hu) 2002-03-28
HUP0103795A3 HUP0103795A3 (en) 2002-05-28

Family

ID=22251957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU0103795A HUP0103795A3 (en) 1998-06-10 1999-06-08 Electrostatic chuck method for attracting electrostatically charged beads onto a bead collecting territory on bead contact surface and a monitoring circuit having charge sensor electrode for sensing accumulated charge on bead collecting territory on ...

Country Status (11)

Country Link
US (3) US6149774A (hu)
EP (1) EP1093399A1 (hu)
JP (1) JP2002517308A (hu)
KR (1) KR20010078733A (hu)
CN (1) CN1121261C (hu)
AU (1) AU767221B2 (hu)
CA (1) CA2333130A1 (hu)
HU (1) HUP0103795A3 (hu)
IL (1) IL139925A0 (hu)
NZ (1) NZ508387A (hu)
WO (1) WO1999064148A1 (hu)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6063194A (en) 1998-06-10 2000-05-16 Delsys Pharmaceutical Corporation Dry powder deposition apparatus
US6149774A (en) * 1998-06-10 2000-11-21 Delsys Pharmaceutical Corporation AC waveforms biasing for bead manipulating chucks
US6923979B2 (en) * 1999-04-27 2005-08-02 Microdose Technologies, Inc. Method for depositing particles onto a substrate using an alternating electric field
US6295194B1 (en) * 1999-09-10 2001-09-25 Delsys Pharmaceutical Corporation Bead or particle manipulating chucks
JP2003060018A (ja) * 2001-08-13 2003-02-28 Nissin Electric Co Ltd 基板吸着方法およびその装置
US6686207B2 (en) 2001-10-12 2004-02-03 Massachusetts Institute Of Technology Manipulating micron scale items
GB2384199B (en) * 2002-01-17 2005-04-06 Phoqus Ltd Electrostatic application of powder material to solid dosage forms
EP1561108A1 (en) * 2002-10-18 2005-08-10 Kristinn Johnsen Nanoelectrode device for chemical analysis
AU2003903295A0 (en) * 2003-06-30 2003-07-10 Raustech Pty Ltd Substrate for combinatorial chemistry
US7072165B2 (en) * 2003-08-18 2006-07-04 Axcelis Technologies, Inc. MEMS based multi-polar electrostatic chuck
US6947274B2 (en) * 2003-09-08 2005-09-20 Axcelis Technologies, Inc. Clamping and de-clamping semiconductor wafers on an electrostatic chuck using wafer inertial confinement by applying a single-phase square wave AC clamping voltage
US7072166B2 (en) * 2003-09-12 2006-07-04 Axcelis Technologies, Inc. Clamping and de-clamping semiconductor wafers on a J-R electrostatic chuck having a micromachined surface by using force delay in applying a single-phase square wave AC clamping voltage
US6946403B2 (en) * 2003-10-28 2005-09-20 Axcelis Technologies, Inc. Method of making a MEMS electrostatic chuck
KR101394337B1 (ko) * 2006-08-30 2014-05-13 엘아이지에이디피 주식회사 정전척
US8149562B2 (en) * 2007-03-09 2012-04-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System for decharging a wafer or substrate after dechucking from an electrostatic chuck
US20090109595A1 (en) * 2007-10-31 2009-04-30 Sokudo Co., Ltd. Method and system for performing electrostatic chuck clamping in track lithography tools
US8055489B2 (en) * 2007-12-13 2011-11-08 Lam Research Corporation Method for using an RC circuit to model trapped charge in an electrostatic chuck
US8169768B1 (en) * 2008-06-09 2012-05-01 Kla-Tencor Corporation Electrostatic chuck
US20100269513A1 (en) * 2009-04-23 2010-10-28 General Electric Company Thimble Fan for a Combustion System
US8836160B1 (en) * 2010-09-28 2014-09-16 The Boeing Company Method and application for vehicle power system isolation
US9142354B2 (en) * 2010-10-20 2015-09-22 Chun-Yen Chang High energy density and low leakage electronic devices
US9470733B2 (en) * 2014-11-17 2016-10-18 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Sensor incorporating multiferroic materials for detecting both electric and magnetic fields
US9969078B2 (en) * 2015-08-03 2018-05-15 Mikro Mesa Technology Co., Ltd. Transfer head array and transferring method
US10373856B2 (en) 2015-08-03 2019-08-06 Mikro Mesa Technology Co., Ltd. Transfer head array
US10179731B2 (en) * 2015-08-17 2019-01-15 Mikro Mesa Technology Co., Ltd. Transfer head array
KR20200057855A (ko) * 2018-11-16 2020-05-27 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
US11764094B2 (en) * 2022-02-18 2023-09-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor processing tool and methods of operation

Family Cites Families (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US30401A (en) * 1860-10-16 Improvement in evaporation of cane-juice
US2408143A (en) * 1944-01-15 1946-09-24 William C Huebner Apparatus for multicolor printing with electro lines of force
US3831606A (en) * 1971-02-19 1974-08-27 Alza Corp Auto inhaler
US3971377A (en) * 1974-06-10 1976-07-27 Alza Corporation Medicament dispensing process for inhalation therapy
DE2502251A1 (de) * 1975-01-17 1976-07-22 Schering Ag Vorrichtung zur inhalation pulverfoermiger feststoffe
US4197289A (en) * 1975-12-15 1980-04-08 Hoffmann-La Roche Inc. Novel dosage forms
US4349531A (en) * 1975-12-15 1982-09-14 Hoffmann-La Roche Inc. Novel dosage form
US4332789A (en) * 1975-12-15 1982-06-01 Hoffmann-La Roche Inc. Pharmaceutical unit dosage forms
US4072129A (en) * 1976-04-27 1978-02-07 National Research Development Corporation Electrostatic powder deposition
US4160257A (en) * 1978-07-17 1979-07-03 Dennison Manufacturing Company Three electrode system in the generation of electrostatic images
USRE30401E (en) 1978-07-07 1980-09-09 Illinois Tool Works Inc. Gasless ion plating
US4628227A (en) * 1980-10-06 1986-12-09 Dennison Manufacturing Company Mica-electrode laminations for the generation of ions in air
JPS57196211A (en) * 1981-05-29 1982-12-02 Hitachi Ltd Sample holding device
GB2106325A (en) * 1981-09-14 1983-04-07 Philips Electronic Associated Electrostatic chuck
JPS5944797A (ja) * 1982-09-07 1984-03-13 増田 閃一 物体の静電的処理装置
FI79651C (fi) * 1982-10-08 1990-02-12 Glaxo Group Ltd Doseringsanordning foer medicin.
US4538163A (en) * 1983-03-02 1985-08-27 Xerox Corporation Fluid jet assisted ion projection and printing apparatus
US4570630A (en) * 1983-08-03 1986-02-18 Miles Laboratories, Inc. Medicament inhalation device
US4707382A (en) * 1983-09-28 1987-11-17 Ricoh Company, Ltd. Developer carrier and a method for manufacturing the same
GB2154365A (en) * 1984-02-10 1985-09-04 Philips Electronic Associated Loading semiconductor wafers on an electrostatic chuck
GB8328808D0 (en) * 1983-10-28 1983-11-30 Riker Laboratories Inc Inhalation responsive dispensers
DE3345722A1 (de) * 1983-12-17 1985-06-27 Boehringer Ingelheim KG, 6507 Ingelheim Inhalator
GR861995B (en) * 1985-07-30 1986-11-04 Glaxo Group Ltd Devices for administering medicaments to patients
US4685620A (en) * 1985-09-30 1987-08-11 The University Of Georgia Research Foundation Inc. Low-volume electrostatic spraying
US5031610A (en) * 1987-05-12 1991-07-16 Glaxo Inc. Inhalation device
US4795644A (en) * 1987-08-03 1989-01-03 Merck & Co., Inc. Device for pH independent release of drugs through the Donnan-like influence of charged insoluble resins
US4925701A (en) * 1988-05-27 1990-05-15 Xerox Corporation Processes for the preparation of polycrystalline diamond films
US4918468A (en) * 1988-11-14 1990-04-17 Dennison Manufacturing Company Method and apparatus for charged particle generation
US4921727A (en) * 1988-12-21 1990-05-01 Rca Licensing Corporation Surface treatment of silica-coated phosphor particles and method for a CRT screen
US4921767A (en) * 1988-12-21 1990-05-01 Rca Licensing Corp. Method of electrophotographically manufacturing a luminescent screen assembly for a cathode-ray-tube
US4917978A (en) * 1989-01-23 1990-04-17 Thomson Consumer Electronics, Inc. Method of electrophotographically manufacturing a luminescent screen assembly having increased adherence for a CRT
GB8909891D0 (en) * 1989-04-28 1989-06-14 Riker Laboratories Inc Device
US5176132A (en) * 1989-05-31 1993-01-05 Fisons Plc Medicament inhalation device and formulation
US5028501A (en) * 1989-06-14 1991-07-02 Rca Licensing Corp. Method of manufacturing a luminescent screen assembly using a dry-powdered filming material
JP2616013B2 (ja) * 1989-06-15 1997-06-04 株式会社村田製作所 マグネットチャック
US5014076A (en) * 1989-11-13 1991-05-07 Delphax Systems Printer with high frequency charge carrier generation
US4971257A (en) * 1989-11-27 1990-11-20 Marc Birge Electrostatic aerosol spray can assembly
US5027136A (en) * 1990-01-16 1991-06-25 Dennison Manufacturing Company Method and apparatus for charged particle generation
US4992807A (en) * 1990-05-04 1991-02-12 Delphax Systems Gray scale printhead system
US5115803A (en) * 1990-08-31 1992-05-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Aerosol actuator providing increased respirable fraction
US5103975A (en) * 1990-11-21 1992-04-14 Samsonite Corporation Luggage with shoulder strap assembly and shoulder strap storage pocket
US5328539A (en) * 1990-11-28 1994-07-12 H. B. Fuller Licensing & Financing Inc. Radio frequency heating of thermoplastic receptor compositions
US5186164A (en) * 1991-03-15 1993-02-16 Puthalath Raghuprasad Mist inhaler
AU650953B2 (en) * 1991-03-21 1994-07-07 Novartis Ag Inhaler
US5243970A (en) * 1991-04-15 1993-09-14 Schering Corporation Dosing device for administering metered amounts of powdered medicaments to patients
US5278588A (en) * 1991-05-17 1994-01-11 Delphax Systems Electrographic printing device
US5327883A (en) * 1991-05-20 1994-07-12 Dura Pharmaceuticals, Inc. Apparatus for aerosolizing powdered medicine and process and using
US5235911A (en) * 1991-07-02 1993-08-17 Coors Brewing Company Plate cylinder registration apparatus
US5161524A (en) * 1991-08-02 1992-11-10 Glaxo Inc. Dosage inhalator with air flow velocity regulating means
US5184398A (en) * 1991-08-30 1993-02-09 Texas Instruments Incorporated In-situ real-time sheet resistance measurement method
GB9123953D0 (en) 1991-11-12 1992-01-02 Minnesota Mining & Mfg Inhalation device
FR2683665B1 (fr) * 1991-11-12 1993-12-31 Francis Mouyen Boitier renfermant l'ensemble des dispositifs informatiques et electroniques, notamment d'imagerie, utilises dans un cabinet dentaire.
DE4211475A1 (de) * 1991-12-14 1993-06-17 Asta Medica Ag Pulverinhalator
US5362362A (en) * 1992-06-29 1994-11-08 Newspaper Association Of America Methods of deinking cellulosic materials
DE4225224A1 (de) * 1992-07-30 1994-02-03 Henkel Kgaa Verfahren zur Herstellung von lagerstabilen nichtionischen Tensiden
US5239993A (en) * 1992-08-26 1993-08-31 Glaxo Inc. Dosage inhalator providing optimized compound inhalation trajectory
HU217917B (hu) 1992-10-19 2000-05-28 Dura Pharmaceuticals Inc. Inhalálókészülék száraz porok inhalálásához
SE9203743D0 (sv) 1992-12-11 1992-12-11 Astra Ab Efficient use
DE69413528T2 (de) 1993-04-06 1999-05-06 Minnesota Mining And Mfg. Co., Saint Paul, Minn. Vorrichtung zum deagglomerieren für trockenpulverinhalatoren
TW402506B (en) 1993-06-24 2000-08-21 Astra Ab Therapeutic preparation for inhalation
EP0635870A1 (en) * 1993-07-20 1995-01-25 Applied Materials, Inc. An electrostatic chuck having a grooved surface
US5463525A (en) * 1993-12-20 1995-10-31 International Business Machines Corporation Guard ring electrostatic chuck
US5534309A (en) * 1994-06-21 1996-07-09 Msp Corporation Method and apparatus for depositing particles on surfaces
US5499487A (en) * 1994-09-14 1996-03-19 Vanguard Automation, Inc. Method and apparatus for filling a ball grid array
US5647347A (en) * 1994-10-21 1997-07-15 Glaxo Wellcome Inc. Medicament carrier for dry powder inhalator
US5714007A (en) * 1995-06-06 1998-02-03 David Sarnoff Research Center, Inc. Apparatus for electrostatically depositing a medicament powder upon predefined regions of a substrate
US5669973A (en) * 1995-06-06 1997-09-23 David Sarnoff Research Center, Inc. Apparatus for electrostatically depositing and retaining materials upon a substrate
US5642727A (en) * 1995-07-25 1997-07-01 David Sarnoff Research Center, Inc. Inhaler apparatus using a tribo-electric charging technique
US5846595A (en) * 1996-04-09 1998-12-08 Sarnoff Corporation Method of making pharmaceutical using electrostatic chuck
US5788814A (en) * 1996-04-09 1998-08-04 David Sarnoff Research Center Chucks and methods for positioning multiple objects on a substrate
US6149774A (en) * 1998-06-10 2000-11-21 Delsys Pharmaceutical Corporation AC waveforms biasing for bead manipulating chucks

Also Published As

Publication number Publication date
CN1121261C (zh) 2003-09-17
WO1999064148A1 (en) 1999-12-16
US6187149B1 (en) 2001-02-13
US6475351B2 (en) 2002-11-05
CN1312734A (zh) 2001-09-12
IL139925A0 (en) 2002-02-10
AU767221B2 (en) 2003-11-06
KR20010078733A (ko) 2001-08-21
EP1093399A1 (en) 2001-04-25
US20020015275A1 (en) 2002-02-07
US6149774A (en) 2000-11-21
NZ508387A (en) 2003-07-25
AU4426099A (en) 1999-12-30
JP2002517308A (ja) 2002-06-18
CA2333130A1 (en) 1999-12-16
HUP0103795A3 (en) 2002-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HUP0103795A2 (hu) Elektrosztatikus pofa és eljárás villamosan töltött szemcséknek szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományba vonzására, továbbá elektrosztatikus pofa szemcseérintkezési felületen elterülő szemcsegyűjtő tartományban felhalmozódott...
EP1147690B1 (en) Apparatus and method for monitoring of air ionization
JP2520311B2 (ja) イオン発生装置およびこれを用いた清浄空間内の帯電物品の除電設備
TW334609B (en) Electrostatic chuck, method and device for processing sanyle use the same
ATE448021T1 (de) Verfahren zur elektrostatischen trennung von teilchen, vorrichtung zur elektrostatischen trennung von teilchen und verarbeitungssystem
EP0819531A3 (en) Liquid discharging head, head cartridge and liquid discharge apparatus
EP0892275A3 (en) Method and apparatus for testing semiconductor and integrated circuit structures
CA2496381A1 (en) Grid type electrostatic separator/collector and method of using same
EP0874395A3 (en) Methods and apparatus for detecting pattern dependent charging on a workpiece in a plasma processing system
US6774332B2 (en) Composite separator
JP2011077033A (ja) 静電気除去具と静電気除去方法。
US20050061713A1 (en) Apparatus for the electrostatic separation of particulate mixtures
JP2007035310A (ja) 大気圧コロナ放電発生装置
Samuila et al. Modeling of wire corona electrode operation in electrostatic separation at small and large gaps
JPH10201697A (ja) ロ−ル式除塵クリ−ナ
JP3549415B2 (ja) プラスチック選別装置
KR0184228B1 (ko) 전기 집진 탈취장치
EP1058162A3 (en) AC scorotron
JP3192940B2 (ja) 放電型静電選別装置
JPH03270841A (ja) 静電チャック
JPH08155333A (ja) 空気洗浄機
SE9601189D0 (sv) Förfarande vid styrning av en elektrostatisk stoftavskiljare
JPH09327672A (ja) 除塵方法及び除塵器並びに集塵シ−ト
JPS57102248A (en) Method and device for electric dust precipitation
SU769769A1 (ru) Система управлени унипол рным нейтрализатором