HU221355B1 - Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system - Google Patents

Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system Download PDF

Info

Publication number
HU221355B1
HU221355B1 HU9800785A HU9800785A HU221355B1 HU 221355 B1 HU221355 B1 HU 221355B1 HU 9800785 A HU9800785 A HU 9800785A HU 9800785 A HU9800785 A HU 9800785A HU 221355 B1 HU221355 B1 HU 221355B1
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
actuators
layer
signal
gate
mirror element
Prior art date
Application number
HU9800785A
Other languages
English (en)
Other versions
HUT77723A (hu
Inventor
Jeong-Beom Ji
Dong-Seon Yoon
Original Assignee
Daewoo Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daewoo Electronics Co Ltd filed Critical Daewoo Electronics Co Ltd
Publication of HUT77723A publication Critical patent/HUT77723A/hu
Publication of HU221355B1 publication Critical patent/HU221355B1/hu

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
    • G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means

Abstract

A találmány vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (100)optikai vetítőrendszerhez M×N tükörelemmel, amelynek felső felülettel,felső felületén kialakítva pedig első, második, és harmadikvezetékmintázattal rendelkező alapréteget (110) tartalmazókapcsolómátrixa van, ahol az első és a második vezetékmintázatok külsőáramkörre vannak csatlakoztatva, és képjel és meghajtójeltovábbítására szolgálnak, a harmadik vezetékmintázat (114) pedig aképjelnek a vékonyréteggel működtetett tükörelemekhez történőtovábbítására szolgál. Az elrendezésnek (100) van M×N darab pártartóelemből álló elrendezése, amely tartóelemek a második és aharmadik vezetékmintázatok (113, 114) tetején vannak elhelyezve,valamint van M×N darab működtetőszerkezetből (106) álló elrendezése,amely működtetőszerkezetek (106) tartalmaznak egymástól közöttük lévőréssel (120) elválasztott első, második, középső, harmadik és negyedikfülrészt (115, 116, 117, 118, 119), fényvisszaverő réteget, rugalmasréteget, elmozdulást létrehozó réteget, valamint egy pár működtetőt ésegy pár jelkapuzó működtetőt. A párban lévő működtetők az első és anegyedik fülrész (115, 119) alatt vannak elhelyezve, ha a párban lévőjelkapuzó működtetők a második és a harmadik fülrész (116, 118) alattvannak elhelyezve, vagy a második és a harmadik fülrész alatt (116,118), ha a párban lévő jelkapuzó működtetők az első és a negyedikfülrész (115, 119) alatt vannak elhelyezve. ŕ

Description

Műszaki terület
A találmány vékonyréteggel működtetett tükörelemelrendezés optikai vetítőrendszerhez MxN tükörelemmel.
A korábbi technika
A technika állása szerinti különböző videomegjelenítő rendszerek között az optikai vetítőrendszerek köztudottan alkalmasak nagyméretű, jó minőségű kép megjelenítésre. Az ilyen optikai vetítőrendszerekben egy lámpából jövő fény egyenletesen világít meg egy például MxN darab működtetett tükörelemből álló elrendezést, oly módon, hogy minden egyes tükörelem egy működtetőhöz kapcsolódik. A működtetők készülhetnek elektromosság hatására alakját változtató anyagból, például piezoelektromos vagy elektrosztrikciós anyagból, amely anyag a reá ható villamos feszültség hatására deformálódik.
A tükörelemek által visszavert fénysugarak például egy optikai ernyő nyílására esnek. A működtetőkre villamos feszültséget kapcsolva a tükörelemeknek a beeső fénysugárhoz viszonyított helyzete megváltozik, és ezáltal a tükörelemekről visszavert fénysugarak optikai útja elhajlik. Ahogy a visszavert fénysugarak optikai útja változik, megváltozik a tükörelemekről visszavert ama fénymennyiség, amely áthalad a nyíláson, és ez modulálja a fénysugár intenzitását. A modulált fénysugarak a nyíláson és egy megfelelő optikai eszközön, például vetítőlencsén keresztül egy vetítőemyőre esnek és azon képet jelenítenek meg.
Az 1. és 2. ábrán egy optikai vetítőrendszerben alkalmazott, MxN darab vékonyréteggel működtetett tükörelemből álló 10 elrendezés keresztmetszeti és axonometrikus rajza látható, amelyet azonos feltalálók párhuzamos US 08/340,762 szabadalmi bejelentése ismertet, amelynek címe „Vékony réteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez és eljárás annak előállítására”. A 10 elrendezés tartalmaz aktív mátrixot, MxN darab vékonyréteges 14 működtetőszerkezetből álló 13 elrendezést, MxN darab 16 tartóelemből álló 15 elrendezést és MxN darab 18 tükörrétegből álló 17 elrendezést.
A 12 aktív mátrix tartalmaz 19 alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést (nincs ábrázolva), és MxN darab 21 csatlakozókapocsból álló 20 elrendezést. A 10 elrendezésben lévő 14 működtetőszerkezetek el vannak látva első és második 22a, 22b működtetőrészekkel, valamint közöttük lévő középső 22c résszel, amely első és második 22a, 22b működtetőrészek azonosan vannak kialakítva, és van legalább egy elmozdulást létrehozó, például piezoelektromos anyagú 23 vékonyrétegük felső és alsó 24,25 felületekkel, rugalmas 26 rétegük alsó 41 felülettel, valamint első és második 28, 29 elektródájuk. A rugalmas 26 réteg a 23 vékonyréteg felső 24 felületén van elhelyezve. Az első elektróda a 23 vékonyréteg felső 24 felületén, a második 29 elektróda a rugalmas 26 réteg alsó 25 felületén van elhelyezve, amikor is az első és második 28, elektródák közötti 23 vékonyrétegre kapcsolt villamos feszültség a 23 vékonyréteg, és ezzel a 22a, 22b működtetőrészek deformációját okozza. A 16 tartóelemek a 14 működtetőszerkezetek rögzítésére, valamint a 14 működtetőszerkezeteknek a 12 aktív mátrixszal való villamos összekötésére szolgálnak. A 18 tükörrétegek el vannak látva első 30 oldallal, második szemben fekvő 31 oldallal és közöttük lévő középső 32 résszel, amint azt a 2. ábra mutatja, ahol a 18 tükörrétegek első 30 oldala, második szemben fekvő 31 oldala és középső 32 része a 14 működtetőszerkezetek első és második 22a, 22b működtetőrészeinek, valamint középső 22c részének tetejére vannak erősítve oly módon, hogy amikor a 14 működtetőszerkezetekben lévő első és második 22a, 22b működtetőrészek deformálódnak a villamos feszültség hatására, a megfelelő 18 tükörréteg középső 32 része megbillen, mialatt sík alakú marad, ami lehetővé teszi, hogy a teljes középső 32 fulrész visszaverje a fénysugarakat, ami megnöveli az optikai hatékonyságot.
A fent leírt vékonyréteggel működtetett 11 tükörelemekből álló 10 elrendezés legfőbb hátrányainak egyike, hogy tartalmaz 12 aktív mátrixot, amelynek a vékonyréteggel működtetett 11 tükörelemekhez meghajtó és képjeleket továbbító tranzisztorokból álló elrendezése van, ami túl magassá teszi a 10 elrendezés előállítási költségét.
A találmány ismertetése
A találmány egyik célja tehát olyan MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés szolgáltatása, amely nem tartalmazza az aktív mátrixban lévő, MxN tranzisztorból álló, a vékonyréteggel működtetett tükörelemekhez meghajtó és képjeleket továbbító elrendezést.
A találmány másik célkitűzése olyan MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés létrehozása, amely új eszközt tartalmaz meghajtó és képjeleknek a vékonyréteggel működtetett tükörelemekhez történő továbbítására.
A találmány további célkitűzése MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés létrehozása, amelyben a vékonyréteggel működtetett tükörelemek egy pár jelkapuzó működtetőt tartalmaznak.
A találmány tehát vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez Μ χ N tükörelemmel, amelynek felső felülettel, felső felületén kialakítva pedig első, második, és harmadik vezetékmintázattal rendelkező alapréteget tartalmazó kapcsolómátrixa van, ahol az első és a második vezetékmintázatok külső áramkörre vannak csatlakoztatva, és képjel és meghajtójel továbbítására szolgálnak, a harmadik vezetékmintázat pedig a képjelnek a vékonyréteggel működtetett tükörelemekhez történő továbbítására szolgál, és amely elrendezésnek van MxN darab pár tartóelemből álló elrendezése, amely tartóelemek a második és a harmadik vezetékmintázatok tetején vannak elhelyezve, valamint van MxN darab működtetőszerkezetből álló elrendezése, amely működtetőszerkezetek tartalmaznak egymástól közöttük lévő réssel elválasztott első, második, középső, harmadik és negyedik fülrészt, fényvisszaverő réteget, rugalmas réteget, elmozdulást létrehozó réteget, valamint egy pár működtetőt és egy
HU 221 355 Β1 pár jelkapuzó működtetőt, amely működtetők és jelkapuzó működtetők rendelkeznek első és második végekkel, ahol a párban lévő működtetők az első és a negyedik fulrész alatt vannak elhelyezve, ha a párban lévő jelkapuzó működtetők a második és a harmadik fulrész alatt vannak elhelyezve, vagy a második és a harmadik fíilrész alatt, ha a párban lévő jelkapuzó működtetők az első és a negyedik fulrész alatt vannak elhelyezve, a párban lévő működtetők és a párban lévő jelkapuzó működtetők első végeiktől konzolosan kinyúlnak a tartóelemekről, és amely jelkapuzó működtetők továbbá alsó felületükre a második végükön csatlakoztatott szigetelőréteggel, és a szigetelőréteg aljára csatlakoztatott kontaktusréteggel vannak ellátva, ahol a második vezetékmintázaton lévő meghajtójel a jelkapuzó működtetőkre kerülve a jelkapuzó működtetőkből álló pár lefelé történő hajlását okozza, és ezzel a jelkapuzó működtetőkön lévő kontaktus réteget érintkezésbe hozza az első és a harmadik vezetékmintázattal, ezzel lehetővé téve a képjelnek az első vezetékmintázattól a harmadik vezetékmintázatra, és így a működtetőkre történő továbbítódását, ami által a működtetőszerkezetekben lévő működtetőkből álló pár megbillen, és ezzel annak középső fülrésze is megbillen, miközben sík alakú marad, ami lehetővé teszi, hogy a teljes középső fulrész visszaverje a fénysugarakat.
A rajzok rövid leírása
A találmány példaképpeni előnyös kiviteli alakjait a következőkben rajzok alapján ismertetjük, ahol az
1. ábra ismert, MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a
2. ábra az 1. ábrán látható MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés axonometrikus rajza, a
3. ábra a találmány előnyös kiviteli alakja szerinti MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a
4. ábra a 3. ábrán bemutatott MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben alkalmazandó kapcsolómátrix felső résznézeti rajza, az
5. ábra a találmány szerinti elrendezésben lévő működtetett tükörelem felülnézete, a
6. ábra a találmány szerinti működtetett tükörelemben lévő működtető keresztmetszeti rajza, és a
7. ábra a találmány szerinti működtetett tükörelemben lévő jelkapuzó működtető keresztmetszeti rajza.
A találmány megvalósítási módjai A 3-7. ábrákon a találmány előnyös kiviteli alakjai szerinti, optikai vetítőrendszerhez használható, MxN darab vékonyréteggel működtetett tükörelemből álló elrendezés különböző rajzai láthatók, ahol M és N egész számok. A 3-7. ábrákon az azonos részek azonos hivatkozási számmal vannak jelölve.
A 3. ábrán MxN darab vékonyréteggel működtetett 101 tükörelemből álló 100 elrendezés egy részének keresztmetszeti rajza látható, amely tartalmaz 102 kapcsolómátrixot, MxN darab pár (a pár nem látható) 104 tartóelemből álló 103 elrendezést és MxN darab 106 működtetőszerkezetből álló 105 elrendezést.
A 106 működtetőszerkezetek a 3. ábrán látható módon tartalmaznak fényvisszaverő anyagból, például alumíniumból (Al) lévő 107 fényvisszaverő réteget, szigetelőanyagból, például szilikon-nitridből (Si3N4) lévő 108 rugalmas réteget, és piezoelektromos, például ólom-cirkónium-titanát (PZT), vagy elektrosztrikciós, például ólom-magnézium-niobát (PMN)-anyagú, elmozdulást létrehozó 109 réteget.
A 4. ábrán látható 102 kapcsolómátrix tartalmaz szigetelőanyagból, például alumínium-oxidból (A12O3) lévő 110 alapréteget felső 111 felülettel. A 102 kapcsolómátrix a korábban ismertetett, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést tartalmazó, MxN darab vékonyréteggel működtetett tükörelemből álló elrendezéssel ellentétben el van látva első, második és harmadik 112, 113,114 vezetékmintázattal, amelyek a 4. ábrán látható módon a 102 kapcsolómátrix felső 111 felületén vannak elhelyezve, ahol az első és a második 112, 113 vezetékmintázat egy külső forráshoz (nincs ábrázolva) van csatlakoztatva, és azok egy képjel és egy meghajtójel hordozására szolgálnak, a harmadik 114 vezetékmintázat pedig a képjelnek a működtetett 101 tükörelemekhez való továbbítására szolgál.
A 104 tartóelemek, amelyek a 108 rugalmas réteggel azonos anyagból vannak, a második és harmadik 113, 114 vezetékmintázat tetején vannak elhelyezve.
Az 5. ábra a 3. ábrán látható 100 elrendezésben lévő 106 működtetőszerkezet részletes felülnézetét mutatja. A 106 működtetőszerkezetek tartalmaznak első, második, középső, harmadik és negyedik 115,116,117,118, 119 fulrészt, amelyek egymástól közöttük lévő 120 réssel vannak elválasztva.
A 106 működtetőszerkezetek tartalmaznak továbbá egy pár 121 működtetőt és egy pár 122 jelkapuzó működtetőt, amelyek keresztmetszeti rajzai a 6. és 7. ábrán láthatók, és ahol a 121 működtetők ás a 122 jelkapuzó működtetők rendelkeznek első és második 123, 124 végekkel. A 6. ábrán látható módon a 121 működtetők tartalmaznak 107 fényvisszaverő rétegből álló részt, 108 rugalmas rétegből álló részt, 125 jelelektróda-réteget, elmozdulást létrehozó 109 rétegből álló részt és 126 előfeszítő elektródaréteget, ahol a 125 jelelektróda-réteg villamosán a harmadik 114 vezetékmintázatra van csatlakoztatva. A 121 működtetők a 104 tartóelemekről első 123 végeiktől konzolosan kinyúlnak.
Ezen túlmenően a 122 jelkapuzó működtetők a 7. ábrán látható módon tartalmaznak 107 fényvisszaverő rétegből álló részt, 108 rugalmas rétegből álló részt, 127 kapujel-elektródaréteget, elmozdulást létrehozó 109 rétegből álló részt és 128 előfeszítő elektródaréteget, ahol a 127 kapujel-elektródaréteg villamosán a második 113 vezetékmintázatra van csatlakoztatva. A 121 működtetőkhöz hasonlóan a 122 jelkapuzó mű3
HU 221 355 Bl ködtetők is konzolosan kinyúlnak a 104 tartóelemekről első 123 végeiktől.
A 122 jelkapuzó működtetők rendelkeznek továbbá 129 szigetelőréteggel, amely 128 kapu-előfeszítő elektródaréteg aljára van csatlakoztatva annak második 124 végénél, valamint 130 kontaktusréteggel, amely villamosán vezető anyagból, például ezüstből (Ag) van és a 129 szigetelőréteg aljára van csatlakoztatva, ahol a 129 szigetelőréteg a 128 kapu-előfeszítő elektródaréteg és a 130 kontaktusréteg közötti rövidzár megakadályo- 10 zására szolgál.
A 122 jelkapuzó működtetőkben lévő 128 kapuelőfeszítő elektródaréteg villamosán a 121 működtetőkben lévő 126 előfeszítő elektródaréteghez van csatlakoztatva, és ezért az ezekre kapcsolt előfeszítő feszült- 15 ség megegyezik.
A 106 működtetőszerkezetekben lévő 121 működtetők az első és a negyedik 115, 119 fülrész alatt vannak elhelyezve, ha a 122 jelkapuzó működtetők a második és a harmadik 116,118 fülrészek alatt vannak elrendez- 20 ve, vagy a második és a harmadik 116, 118 fulrészek alatt, ha a 122 jelkapuzó működtetők az első és a negyedik 115, 119 fülrész alatt vannak.
Ha a meghajtójelet villamos feszültség formájában a második 113 vezetékmintázaton keresztül a 122 jelka- 25 puzó működtetőkben az elmozdulást létrehozó 109 rétegnek a 127 kapujel-elektródaréteg és a 128 kapuelőfeszítő elektródaréteg közötti részére kapcsolunk, akkor ez a meghajtójel feszültsége és az előfeszítő feszültség közötti különbségből származó villamos mező ered- 30 ményeként az elmozdulást létrehozó 109 réteg részének deformációjához vezet. Az elmozdulást létrehozó 109 réteg részének deformációja belső feszültség kialakulásához vezet az elmozdulást létrehozó 109 rétegrésze és a 108 rugalmas rétegrésze közötti határvonalon. Amennyiben az elmozdulást létrehozó 109 rétegrésze vékonyréteges polarizált piezoelektromos anyagból van, ez a megfelelő 122 jelkapuzó működtető meghajlását eredményezi, amelynek elhajlási iránya a villamos mező polaritásától függ. Ha a meghajtójel nagyobb, mint az előfeszítő feszültség, akkor ez a megfelelő 122 jelkapuzó működtetők lefelé történő hajlását eredményezi. Másrészt, ha a meghajtójel kisebb, mint az 5 előfeszítő feszültség, akkor a megfelelő 122 jelkapuzó működtető felfelé hajlik. Továbbá, ha az elmozdulást létrehozó 109 rétegrésze vékonyréteges nempolarizált piezoelektromos anyagból van, akkor ez a megfelelő 122 jelkapuzó működtető lefelé történő hajlását eredményezi. A 122 jelkapuzó működtetőkből álló pár lefelé hajlása a 122 jelkapuzó működtetőkön lévő 130 kontaktus réteget arra kényszeríti, hogy érintkezésbe lépjen az első és harmadik 112, 114 vezetékmintázattal, hogy ezáltal villamos áthidalás alakuljon ki közöttük, ami lehetővé teszi, hogy a képjel az első 112 vezetékmintázattól a harmadik 114 vezetékmintázathoz, és ezzel a 121 működtetőkben lévő 125 jelelektróda-réteghez haladjon. A 106 működtetőszerkezetekben lévő 121 működtetők a 122 jelkapuzó működtetőhöz hasonló elven működnek. Ha a 121 működtetőkben az elmozdulást létrehozó 109 rétegre a 125 jelelektróda-réteg és a 126 előfeszítő elektróda réteg között a képjelet ráadjuk, akkor ez az elmozdulást létrehozó 109 rétegrészének deformációját eredményezi a 121 működtetőkből álló párokban, ami a közöttük lévő középső 117 fülrész megbillenését okozza a megfelelő 106 működtetőszerkezetben, miközben az sík marad, ami lehetővé teszi, hogy az egész középső 117 fulrész visszaverje a fénysugarakat.
A találmány szerinti, MxN darab vékonyréteggel működtetett 101 tükörelemből álló 100 elrendezés a 106 működtetőszerkezetekben lévő 122 jelkapuzó működtetőkből álló párt, valamint az első, a második, és a harmadik 112, 113, 114 vezetékmintázatot tartalmazó kapcsolómátrixot alkalmazza a meghajtó és a képjelek35 nek a működtetett 101 tükörelemekhez való eljuttatására, ellentétben az előzőekben ismertetett, MxN darab vékonyréteggel működtetett 11 tükörelemekből álló 10 elrendezéssel, amelyben az MxN darab tranzisztort tartalmazó aktív mátrixot alkalmazzák.

Claims (10)

  1. SZABADALMI IGÉNYPONTOK
    1. Vékony réteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez MxN tükörelemmel, azzal jellemezve, hogy felső felülettel (111), felső felületén (111) kialakítva pedig első, második, és harmadik vezetékmintázattal (112,113,114) rendelkező alapréteget (110) tartalmazó kapcsolómátrixa (102) van, ahol az első és a második vezetékmintázatok (112,113) külső áramkörre vannak csatlakoztatva, és képjel és meghajtójel továbbítására szolgálnak, a harmadik vezetékmintázat (114) pedig a képjelnek a vékonyréteggel működtetett tükörelemekhez (101) történő továbbítására szolgál, és amely elrendezésnek (100) van MxN darab pár tartóelemből (104) álló elrendezése (103), amely tartóelemek (104) a második és a harmadik vezetékmintázatok (113,114) tetején vannak elhelyezve, valamint van MxN darab működtetőszerkezetből (106) álló elrendezése (105), amely működtetőszerkezetek (106) tartalmaznak egymástól közöttük lévő réssel (120) elválasztott első, második, középső, harmadik és negyedik fülrészt (115,116,117,118,119), fényvisszaverő réteget (107), rugalmas réteget (108), elmozdulást létrehozó réteget (109), valamint egy pár működtetőt (121) és egy pár jelkapuzó működtetőt (122), amely működtetők (121) és jelkapuzó működtetők (122) rendelkeznek első és második végekkel (123,124), ahol a párban lévő működtetők (121) az első és a negyedik fülrész (115, 119) alatt vannak elhelyezve, ha a párban lévő jelkapuzó működtetők (122) a második és a harmadik fülrész (116, 118) alatt vannak elhelyezve, vagy a második és a harmadik fülrész alatt (116,118), ha a párban lévő jelkapuzó működtetők (122) az első és a negyedik fülrész (115,119) alatt vannak elhelyezve, a pár4
    HU 221 355 BI bán lévő működtetők (121) és a párban lévő jelkapuzó működtetők (122) első végeiktől (123) konzolosan kinyúlnak a tartóelemekről (104), és amely jelkapuzó működtetők (122) továbbá alsó felületükre a második végükön (124) csatlakoztatott szigetelőréteggel (129), és a szigetelőréteg aljára csatlakoztatott kontaktusréteggel (130) vannak ellátva, ahol a második vezetékmintázaton (113) lévő meghajtójel a jelkapuzó működtetőkre (122) kerülve a jelkapuzó működtetőkből (122) álló pár lefelé történő hajlását okozza, és ezzel a jelkapuzó működtetőkön (122) lévő kontaktusréteget (130) érintkezésbe hozza az első és a harmadik vezetékmintázattal (112,114), ezzel lehetővé téve a képjelnek az első vezetékmintázattól (112) a harmadik vezetékmintázatra (114), és így a működtetőkre (121) történő továbbítódását, ami által a működtetőszerkezetekben (106) lévő működtetőkből (121) álló pár megbillen, és ezzel annak középsó fülrésze (117) is megbillen, miközben sík alakú marad, ami lehetővé teszi, hogy a teljes középső fülrész (117) visszaverje a fénysugarakat.
  2. 2. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetők (121) tartalmazzák a fényvisszaverő réteg (107) egy részét, a rugalmas réteg (108) egy részét, jelelektróda-réteget (125), az elmozdulást létrehozó réteg (109) egy részét, valamint előfeszítő elektródaréteget (126).
  3. 3. A 2. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőkben (121) lévő jelelektróda-réteg (125) villamosán a harmadik vezetékmintázatra (114) van csatlakoztatva.
  4. 4. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a jelkapuzó működtetők (122) tartalmazzák a fényvisszaverő réteg (107) egy részét, a rugalmas réteg (108) egy részét, kapujel-elektródaréteget (127), az elmozdulást létrehozó réteg (109) egy részét, valamint kapu-előfeszítő elektródaréteget (128).
  5. 5. A 4. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a jelkapuzó működtetőkben (122) lévő kapujel-elektródaréteg (127) villamosán a második vezetékmintázatra (113) van csatlakoztatva.
  6. 6. A 2. vagy 4. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőkben (121) lévő előfeszítő elektródaréteg (126) villamosán a jelkapuzó működtetőkben (122) lévő kapu előfeszítő elektródarétegre (128) van csatlakoztatva.
  7. 7. A 6. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőkben (121) és a jelkapuzó működtetőkben (122) lévő előfeszítő elektródarétegre (126) és kapu-előfeszítő elektródarétegre (128) kapcsolt feszültség megegyezik.
  8. 8. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az alapréteg (110) szigetelőanyagból van.
  9. 9. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemek (104) szigetelőanyagból vannak.
  10. 10. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a rugalmas réteg (108) szigetelőanyagból van.
HU9800785A 1994-10-31 1995-07-11 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system HU221355B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940028331A KR100213281B1 (ko) 1994-10-31 1994-10-31 광로조절장치
PCT/KR1995/000088 WO1996013745A1 (en) 1994-10-31 1995-07-11 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUT77723A HUT77723A (hu) 1998-07-28
HU221355B1 true HU221355B1 (en) 2002-09-28

Family

ID=19396667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU9800785A HU221355B1 (en) 1994-10-31 1995-07-11 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system

Country Status (18)

Country Link
US (1) US5610757A (hu)
EP (1) EP0712020B1 (hu)
JP (1) JP3595556B2 (hu)
KR (1) KR100213281B1 (hu)
CN (1) CN1058789C (hu)
AU (1) AU688071B2 (hu)
BR (1) BR9509460A (hu)
CA (1) CA2203990A1 (hu)
CZ (1) CZ288215B6 (hu)
DE (1) DE69523256T2 (hu)
HU (1) HU221355B1 (hu)
MY (1) MY118482A (hu)
PE (1) PE18997A1 (hu)
PL (1) PL179037B1 (hu)
RU (1) RU2153186C2 (hu)
TW (1) TW279204B (hu)
UY (1) UY24012A1 (hu)
WO (1) WO1996013745A1 (hu)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6969635B2 (en) * 2000-12-07 2005-11-29 Reflectivity, Inc. Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
US5930025A (en) * 1996-05-29 1999-07-27 Daewoo Electronics Co., Ltd. Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
EP0810458B1 (en) * 1996-05-29 2001-09-19 Daewoo Electronics Co., Ltd Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
US5945898A (en) * 1996-05-31 1999-08-31 The Regents Of The University Of California Magnetic microactuator
KR980003662A (ko) * 1996-06-28 1998-03-30 배순훈 큰 구동 각도를 가지는 박막형 광로 조절 장치
US5991064A (en) * 1996-06-29 1999-11-23 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array and a method for the manufacture thereof
WO1998008127A1 (en) * 1996-08-21 1998-02-26 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
US6097859A (en) 1998-02-12 2000-08-01 The Regents Of The University Of California Multi-wavelength cross-connect optical switch
WO1998038801A1 (en) * 1997-02-26 1998-09-03 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
KR19990004787A (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 배순훈 박막형 광로 조절 장치
US5920421A (en) * 1997-12-10 1999-07-06 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
GB2332750B (en) * 1997-12-23 2000-02-23 Daewoo Electronics Co Ltd Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6962419B2 (en) 1998-09-24 2005-11-08 Reflectivity, Inc Micromirror elements, package for the micromirror elements, and projection system therefor
US7196740B2 (en) 2000-08-30 2007-03-27 Texas Instruments Incorporated Projection TV with improved micromirror array
US6856448B2 (en) * 2001-03-26 2005-02-15 Creo Inc. Spatial light modulator
US6661561B2 (en) 2001-03-26 2003-12-09 Creo Inc. High frequency deformable mirror device
US7023606B2 (en) * 2001-08-03 2006-04-04 Reflectivity, Inc Micromirror array for projection TV
KR100398310B1 (ko) * 2001-09-13 2003-09-19 한국과학기술원 엇물린 외팔보들을 이용한 마이크로미러 디바이스 및 그응용소자
US7042622B2 (en) * 2003-10-30 2006-05-09 Reflectivity, Inc Micromirror and post arrangements on substrates
US7375874B1 (en) 2003-03-22 2008-05-20 Active Optical Mems Inc. Light modulator with integrated drive and control circuitry
US7015885B2 (en) * 2003-03-22 2006-03-21 Active Optical Networks, Inc. MEMS devices monolithically integrated with drive and control circuitry
US6914711B2 (en) * 2003-03-22 2005-07-05 Active Optical Networks, Inc. Spatial light modulator with hidden comb actuator
US7281808B2 (en) * 2003-06-21 2007-10-16 Qortek, Inc. Thin, nearly wireless adaptive optical device
US9298014B2 (en) * 2005-07-01 2016-03-29 Flir Systems, Inc. Image stabilization system
US7862188B2 (en) * 2005-07-01 2011-01-04 Flir Systems, Inc. Image detection improvement via compensatory high frequency motions of an undedicated mirror
US7769255B2 (en) * 2006-11-07 2010-08-03 Olympus Corporation High port count instantiated wavelength selective switch
US7720329B2 (en) 2006-11-07 2010-05-18 Olympus Corporation Segmented prism element and associated methods for manifold fiberoptic switches
US7702194B2 (en) * 2006-11-07 2010-04-20 Olympus Corporation Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches
US8131123B2 (en) 2006-11-07 2012-03-06 Olympus Corporation Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches and monitoring
US8000568B2 (en) * 2006-11-07 2011-08-16 Olympus Corporation Beam steering element and associated methods for mixed manifold fiberoptic switches
US7873246B2 (en) * 2006-11-07 2011-01-18 Olympus Corporation Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches and monitoring
US8190025B2 (en) * 2008-02-28 2012-05-29 Olympus Corporation Wavelength selective switch having distinct planes of operation
US20100168851A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 David Paul Vanderbilt Surface Modified Biomedical Devices
KR102581371B1 (ko) * 2017-02-07 2023-09-21 엘에스엠트론 주식회사 차량용 궤도
KR102562363B1 (ko) 2021-04-14 2023-08-01 공간찬넬주식회사 도어를 구비한 곡물 저장 및 운송용 박스형 빈

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3544201A (en) * 1968-01-02 1970-12-01 Gen Telephone & Elect Optical beam deflector
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4615595A (en) * 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US4793699A (en) * 1985-04-19 1988-12-27 Canon Kabushiki Kaisha Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element
US5172262A (en) * 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5126836A (en) * 1989-11-01 1992-06-30 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
US5185660A (en) * 1989-11-01 1993-02-09 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
GB2239101B (en) * 1989-11-17 1993-09-22 Marconi Gec Ltd Optical device
US5085497A (en) * 1990-03-16 1992-02-04 Aura Systems, Inc. Method for fabricating mirror array for optical projection system
US5170283A (en) * 1991-07-24 1992-12-08 Northrop Corporation Silicon spatial light modulator
US5175465A (en) * 1991-10-18 1992-12-29 Aura Systems, Inc. Piezoelectric and electrostrictive actuators
US5159225A (en) * 1991-10-18 1992-10-27 Aura Systems, Inc. Piezoelectric actuator
US5247222A (en) * 1991-11-04 1993-09-21 Engle Craig D Constrained shear mode modulator
US5493439A (en) * 1992-09-29 1996-02-20 Engle; Craig D. Enhanced surface deformation light modulator
US5481396A (en) * 1994-02-23 1996-01-02 Aura Systems, Inc. Thin film actuated mirror array
US5535047A (en) * 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device

Also Published As

Publication number Publication date
WO1996013745A1 (en) 1996-05-09
HUT77723A (hu) 1998-07-28
AU688071B2 (en) 1998-03-05
MX9703079A (es) 1997-07-31
MY118482A (en) 2004-11-30
DE69523256T2 (de) 2002-04-18
CN1162361A (zh) 1997-10-15
JPH10508118A (ja) 1998-08-04
AU2937495A (en) 1996-05-23
CA2203990A1 (en) 1996-05-09
PE18997A1 (es) 1997-09-22
CN1058789C (zh) 2000-11-22
TW279204B (hu) 1996-06-21
EP0712020B1 (en) 2001-10-17
US5610757A (en) 1997-03-11
KR960016588A (ko) 1996-05-22
CZ288215B6 (en) 2001-05-16
DE69523256D1 (de) 2001-11-22
KR100213281B1 (ko) 1999-08-02
PL179037B1 (pl) 2000-07-31
CZ133797A3 (en) 1997-08-13
PL319945A1 (en) 1997-09-01
RU2153186C2 (ru) 2000-07-20
JP3595556B2 (ja) 2004-12-02
BR9509460A (pt) 1998-01-06
UY24012A1 (es) 1996-01-10
EP0712020A1 (en) 1996-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU221355B1 (en) Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
US6307663B1 (en) Spatial light modulator with conformal grating device
US5175465A (en) Piezoelectric and electrostrictive actuators
US5469302A (en) Electrostrictive mirror actuator for use in optical projection system
RU2125347C1 (ru) Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления
EP0651274B1 (en) Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
US7136215B1 (en) Piezoelectrically-activated cantilevered spatial light modulator
HU220517B1 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására
HU220466B1 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez és eljárás annak előállítására
CN1050674C (zh) 具有改进光学效率的薄膜驱动反射镜阵列
KR100283452B1 (ko) 모노모프박막액츄에이티드미러어레이
US20060078247A1 (en) Package structure for optical modulator
US5708524A (en) Array of electrically independent thin film actuated mirrors
MXPA97003079A (en) Formed mirror of filmed delgadapara to be used in an opt projection system
KR970008404B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로 조절기
KR970008376B1 (ko) 광로조절장치
KR940023214A (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절수단

Legal Events

Date Code Title Description
HMM4 Cancellation of final prot. due to non-payment of fee