CZ288215B6 - Thin film actuated mirror array - Google Patents
Thin film actuated mirror array Download PDFInfo
- Publication number
- CZ288215B6 CZ288215B6 CZ19971337A CZ133797A CZ288215B6 CZ 288215 B6 CZ288215 B6 CZ 288215B6 CZ 19971337 A CZ19971337 A CZ 19971337A CZ 133797 A CZ133797 A CZ 133797A CZ 288215 B6 CZ288215 B6 CZ 288215B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- layer
- actuator
- array
- input
- actuators
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N oxolead;oxomagnesium;2,4,5-trioxa-1$l^{5},3$l^{5}-diniobabicyclo[1.1.1]pentane 1,3-dioxide Chemical compound [Mg]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.O1[Nb]2(=O)O[Nb]1(=O)O2 ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
- G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
- Lenses (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
Description
Oblast techniky
Vynález se týká optického projekčního systému, zejména seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu použitelného v tomto systému.
Dosavadní stav techniky
Mezi různými projekčními systémy existujícími v oboru, je dobře znám optický projekční systém schopný poskytnout obraz o vysoké kvalitě ave velkém měřítku. U takového optického projekčního systému světlo z lampy rovnoměrně osvětluje seskupení například Μ x N ovládaných zrcadel, kdy každé zrcadlo je spojeno s každým z akčních členů. Akční členy mohou být zhotoveny z elektrovychylujících materiálů, například z piezoelektrických nebo elektrostrikčních materiálů, které se vlivem použitého elektrického pole deformují.
Odražené světelné paprsky od každého zrcadla dopadají na otvor (štěrbinu) například optické přepážky. Přivedením elektrického signálu na každý akční člen se relativní poloha každého zrcadla k původnímu světelnému paprsku mění, čímž způsobuje odchýlení optické dráhy odraženého paprsku od každého zrcadla. Jelikož se optická dráha každého odraženého paprsku mění, mění se i množství světla odraženého od zrcadel a procházejícího štěrbinou, čímž dochází k modulování intenzity paprsku. Modulované paprsky procházející štěrbinou dopadají na projekční plochu prostřednictvím optického zařízení, jakým je například soustava projekčních čoček, a vytváří na projekční ploše obraz.
Je znám optický projekční systém, který používá seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu, a který bude popsán podrobněji dále v souvislosti s příklady provedení vynálezu, u něhož jedním z hlavních nedostatků seskupení - ovládaných zrcadel tenkého filmu je to, že zahrnuje aktivní matrici, včetně seskupení tranzistorů, a to za účelem poskytování řídicích a obrazových signálů každému ovládanému zrcadlu, což příliš zvyšuje náklady na výrobu seskupení.
Podstata vynálezu
Cílem tohoto vynálezu je poskytnout seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu, které se obejde bez seskupení Μ x N tranzistorů zahrnutých do aktivní matrice, za účelem poskytnutí řídicích a obrazových signálů každému ovládanému zrcadlu tenkého filmu.
Dalším cílem tohoto vynálezu je poskytnout seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu včetně prostředků, které jsou novostí, a které poskytují řídicí a obrazové signály každému ovládanému zrcadlu tenkého filmu.
Dalším cílem tohoto vynálezu je poskytnout seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu, kdy každé ovládané zrcadlo tenkého filmu využívá pár vstupních akčních členů.
V souladu s jedním aspektem tohoto vynálezu se poskytuje seskupení ovládaných zrcadel tenkého filmu, pro optické projekční systémy, zahrnující spínací matrici, seskupení Μ x N párů podpůrných prostředků a další seskupení Μ x N ovládacích struktur, kde spínací matrice obsahuje podkladovou vrstvu z izolačního materiálu, každý pár podpůrných prostředků je zhotoven z izolačního materiálu a kde každá ovládací struktura obsahuje odrazovou vrstvu, elastickou vrstvu z izolačního materiálu a elektrovychylující vrstvu z piezoelektrického materiálu, jehož podstata spočívá v tom, že na horním povrchu podkladové vrstvy je vytvořena
-1 CZ 288215 B6 prvm, druhá a třetí linie vodivých obrazců, přičemž první a druhá linie vodivých obrazců a jsou pro přenos obrazového signálu a řídicího signálu připojeny k vnějšímu zdroji a třetí linie vodivých obrazců tvoří vedení obrazového signálu ke každé ovládané struktuře, každý podpůrný prostředek je umístěn na horní straně druhé a třetí linie vodivých obrazců, každá ovládací struktura dále obsahuje první, druhý, střední, třetí a čtvrtý výstupek, vzájemně oddělené mezerou, dále obsahuje pár akčních členů a pár vstupních akčních členů s bližším a vzdálenějším koncem, přičemž každý z akčních členů a každý ze vstupních akčních členů je přilehlý ke každému podpůrnému prostředku svým bližším koncem, každý ze vstupních akčních členů je dále opatřený izolační vrstvou připevněnou kjeho spodní straně u vzdálenějšího konce a kontaktní vrstvou připevněnou ke spodní straně izolační vrstvy.
Každý akční člen výhodně zahrnuje část odrazové vrstvy, část pružné vrstvy, elektrodovou signálovou vrstvu a část elektrovychylující vrstvy a předpěťovou elektrodovou vrstvu.
Elektrodová signálová vrstva v každém akčním členu může být elektricky spojena s třetí linií obrazců.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu zahrnuje každý vstupní akční člen zahrnuje část odrazové vrstvy, část pružné vrstvy, elektrodovou vrstvu vstupního signálu, část elektrovychylující vrstvy a vstupní předpěťovou elektrodovou vrstvu.
Elektrodová vrstva vstupního signálu v každém vstupním akčním členu je výhodně elektricky spojená s druhou linií obrazců.
Podle ještě dalšího výhodného provedení vynálezu elektrodová vrstva v každém akčním členu je elektricky spojena se vstupní předpěťovou elektrodovou vrstvou v každém vstupním akčním členu.
Dále je výhodné, když předpěťová elektrodová vrstva a vstupní předpěťová elektrodová vrstva v každém akčním členu a každém vstupním akčním členu jsou vrstvy o stejném napětí.
Každý akční člen je dále výhodně v páru umístěný pod prvním a čtvrtým výstupkem, je-li každý vstupní akční člen v páru umístěný pod druhým a třetím výstupkem.
Konečně, každý akční člen může být v páru umístěný pod druhým a třetím výstupkem, jeli každý vstupní akční člen v páru umístěný pod prvním a čtvrtým výstupkem.
Jestliže je každý vstupní akční člen umístěný pod prvním a čtvrtým výstupkem, kde je každý akční člen v páru a každý vstupní akční člen v páru vetknutý do každého podpůrného členu svým bližším koncem, kde je každý vstupní akční člen dále opatřen izolační vrstvou připojenou ke spodní části u vzdálenějšího konce členu a kontaktní vrstvou upevněnou ke spodní části izolační vrstvy, kde je řídicí signál, poskytnutý prostřednictvím druhého vodivého obrazce, zaveden na každý vstupní akční člen, čímž způsobí, že se pár vstupních akčních členů ohne směrem dolů, což donutí kontaktní vrstvu na každém vstupním akčním členu, aby se dostala do kontaktu s prvním a třetím vodivým obrazcem, čímž se obrazovému signálu umožňuje přenos z prvního vodivého obrazce do třetího vodivého obrazce, a tím do každého akčního členu, což způsobí vychýlení páru akčních členů v každé ovládací struktuře, což má za následek vychýlení části středního výstupku struktury, která přitom zachovává rovinný tvar, což umožňuje střednímu výstupku, jako celku, odrážet světelné paprsky.
-2CZ 288215 B6
Přehled obrázků na výkresech
Dříve uvedené i další cíle a znaky spadající do rámce tohoto vynálezu budou zřejmé z následujícího popisu provedení, kterému se dává přednost, a z připojených výkresů na kterých obr. 1 znázorňuje příčný řez známým seskupením Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu, obr. 2 znázorňuje perspektivní pohled na seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu z obr. 1, obr. 3 znázorňuje příčný řez seskupením Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu v souladu s provedením, kterému se dává přednost, podle tohoto vynálezu, obr. 4 znázorňuje částečný půdorys spínací matrice, která se používá u seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu z obr. 3, obr. 5 znázorňuje půdorys ovládaných zrcadel u seskupení z obr. 3, obr. 6 znázorňuje příčný řez akčního členu v ovládaném zrcátku, podle vynálezu a obr. 7 znázorňuje příčný řez vstupního akčního členu ovládaného zrcátka podle vynálezu.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 a 2 je perspektivně znázorněno seskupení 10 Μ x N ovládaných zrcadel 11 tenkého filmu, které se používá u optického projekčního systému, přičemž toto seskupení 10 zahrnuje aktivní matrici 12. seskupení 13 Μ x N ovládacích struktur 14 filmu, seskupení 15 Μ x N podpůrných členů 16 a seskupení 7 Μ x N zrcadlových vrstev 18. Aktivní matrice 12 zahrnuje podkladovou vrstvu 19, seskupení Μ x N transistorů (není znázorněno) a seskupení 20 Μ x N spojovacích terminálů 21. Každá ovládací struktura 14 v seskupení 10 má první a a druhý ovládací díl 22(a) a 22(b) a střední díl 22(c) umístěný mezi nimi, přitom oba díly 22(a) a 22(b) mají identickou strukturu a každý zahrnuje alespoň tenkou vrstvu filmu 23 zelektrovychylujícího materiálu, například piezoelektrického materiálu, která má horní a spodní povrch 24 a 25, dále pružnou vrstvu 26 se spodním povrchem 41 a první a druhou elektrodu 28. 29. Pružná vrstva 26 je umístěna na horním povrchu 24 elektrovychylující tenké vrstvy filmu 23. První a druhá elektroda 28 a 29 je umístěná na horním a spodním povrchu 24 a 25 elektrovychylující tenké vrstvy filmu 23, kde elektrický signál přivedený na elektrovychylující tenkou vrstvu filmu 23, která je umístěna mezi první a druhou elektrodou 28 a 29, způsobuje její deformaci a deformaci ovládacích dílů 22(a). 22íb). Každý podpůrný člen 16 se používá pro držení každé z ovládacích struktur 13 na svém místě, a rovněž pro elektrické spojení každé ovládací struktury 14 s aktivní matricí 12. Každá zrcadlová vrstva 18 zahrnuje první stranu 30 a druhou protilehlou stranu 31 a střední část 32 umístěnou mezi nimi, tak jak je to znázorněno na obr. 2, kde je první strana 30. druhá protilehlá strana 31 a střední strana 32 každé zrcadlové vrstvy 18 upevněna na horní části první, druhé a střední vrstvy 22(a), 22(b), 22(c) každé ovládací struktury 14 tak, že když se první a druhý ovládací struktura 14 působením elektrického signálu deformuje, střední díl 22(c) v každé ovládací struktuře 13. a tím i střední část 32 odpovídající zrcadlové vrstvy 18, se vychýlí (ale zůstane plochým), čímž umožní všem středním částem 32 odrážet světelné paprsky, což má za následek zvýšení optické výkonnosti.
Jedním z hlavních nedostatků popsaného seskupení 10 ovládaných zrcadel 11 tenkého filmu je to, že zahrnuje aktivní matrici 12, včetně seskupení tranzistorů, a to za účelem poskytování řídicích a obrazových signálů každému ovládanému zrcadlu 11, což příliš zvyšuje náklady na výrobu seskupení 10.
-3 CZ 288215 B6
Obr. 3 až 7 poskytují různé pohledy na seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu podle tohoto vynálezu, které se používá u optického projekčního systému, kde M a N jsou u provedení tohoto vynálezu, kterému se dává přednost, celá čísla. Je nutné vzít na vědomí, že podobné díly, které se vyskytují na obr. 3 až 7, jsou označeny stejnými číslicemi.
Na obr. 3 je znázorněn příčný řez seskupením 100 Μ x N ovládaných zrcadel 101 tenkého filmu, které se používá u optických projekčních systémů, a které zahrnuje spínací (spojovací) matrici 102, seskupení 103 Μ x N párů (není znázorněno) podpůrných prostředků 104 a další seskupení 105 M x N ovládacích struktur 106.
Jak je to znázorněno na obr. 3, zahrnuje každá ovládací struktura 106 odrazovou vrstvu 107. která je zhotovena z materiálu odrážejícího světlo, například z hliníku (AI), dále elastickou vrstvu 108 zhotovenou z izolačního materiálu, například z nitridu křemíku (Si3N4) aelektrovychylující vrstvu 109 zhotovenou z piezoelektrického materiálu, například ze slitiny olova, hořčíku a niobičnanu (PMN).
Spínací matrice 102 zahrnuje podkladovou vrstvu 110 s horním povrchem 111 a zhotovenou z izolačního materiálu, například z oxidu hlinitého (AI2O3). Spínací matrice 102. narozdíl od aktivní matrice dříve uvedeného seskupení Μ x N ovládaných zrcadel tenkého filmu s Μ x N tranzistory, má na horním povrchu 111 první, druhou a třetí linii vodivých obrazců 112. 113. 114 (obr. 4), kde první a druhá linie obrazců 112 a 113 je připojena k vnějšímu zdroji (není znázorněn) a používá se pro přenos obrazového signálu a řídicího signálu, přičemž třetí linie vodivých obrazců 114 se používá pro vedení obrazového signálu ke každému ovládanému zrcadlu 101.
Každý podpůrný prostředek 104, vyrobený ze stejného materiálu jako elektrovychylující vrstva 109, je umístěný na horní straně druhé a třetí linie vodivých obrazců 113 a 114.
Na obr. 5 je znázorněn podrobnější pohled na ovládací strukturu 106, vytvářející seskupení 100 z obr. 3. Každá ovládací struktura 106 zahrnuje první, druhý, střední, třetí a čtvrtý výstupek 115, 116.117.118.119. navzájem vždy oddělené mezerou 120.
Každá ovládací struktura 106 dále zahrnuje pár akčních členů 121 a pár vstupních akčních členů 122. jejichž příčné řezy jsou znázorněny na obr. 6 a 7, kde každý akční člen 121 a každý vstupní akční člen 122 má bližší a vzdálenější konec 123 a 124. Jak je to znázorněno na obr. 6, každý akční člen 121 zahrnuje část odrazové vrstvy 107. část elastické vrstvy 108, elektrodovou signálovou vrstvu 125. část elektrovychylující vrstvy 109 a předpěťovou elektrodovou vrstvu 126, kde elektrodová signálová vrstva 125 ie elektricky připojena ke třetí linii vodivých obrazců 114. Každý akční člen 121 je přilehlý svým bližším koncem 123 k podpůrným prostředkům 104.
Kromě toho, každý vstupní akční člen 122 (obr. 7) má část odrazové vrstvy 107. část elastické vrstvy 108, elektrodovou vrstvu 127 vstupního signálu a část elektrovychylující vrstvy 109 a část předpěťové elektrodové vrstvy 128, kde elektrodová vrstva 127 vstupního signálu je elektricky připojena k druhé linii vodivých obrazců 113. Tak jako v případě akčního členu 121, každý vstupní akční člen 122 přiléhá k podpůrnému prostředku 104 svým bližším koncem 123.
Každý vstupní akční člen 122 dále zahrnuje izolační vrstvu 129, která je připojena ke spodní části předpěťové elektrodové vrstvy 128, a to u jejího vzdálenějšího konce 124. dále zahrnuje kontaktní vrstvu 130 zhotovenou z elektricky vodivého materiálu, například ze stříbra (Ag), připojenou ke spodní části izolační vrstvy 129. Izolační vrstva 129 se používá k zabránění vzniku zkratu mezi předpěťovou elektrodovou vrstvou 128 a kontaktní vrstvou 130.
-4CZ 288215 B6
Vstupní elektrodová vrstva 128 v každém vstupním akčním členu 122 je elektricky připojena k elektrodové předpěťové vrstvě 126 v každém akčním členu 121, a proto použité předpětí je u nich stejné.
Každý akční člen 121 v ovládacích strukturách 106 je umístěn buď to pod prvním a čtvrtým výstupkem 115. 119. jestliže je každý vstupní akční člen 122 umístěn pod druhým a třetím výstupkem 116, 118, nebo pod druhým a třetím výstupkem 116, 118, jestliže je každý vstupní akční člen 122 umístěn pod prvním a čtvrtým výstupkem 115, 119.
Jestliže je řídicí signál ve formě elektrického napětí přiveden druhou linií vodivých obrazců 113 na část elektrovychylující vrstvy 109, mezi elektrodovou vrstvu vstupního signálu 127 a vstupní předpěťovou elektrodovou vrstvu 128 v každém vstupním akčním členu 122, způsobí to deformaci části elektrovychylující vrstvy 109, jako výsledek vzniku elektrického pole z rozdílu napětí mezi napětím řídicího signálu a úrovní předpětí. Deformace části elektrovychylující vrstvy 109 bude střídavě vést ke vzniku vnitřního namáhání u hranice mezi částí elektrovychylující vrstvy 109 a částí elastické vrstvy 108. Jestliže je elektrovychylující vrstva 109 zhotovena z tenkého filmu pólového piezoelektrického materiálu, způsobí to ohnutí vstupního akčního členu 122, přičemž směr ohnutí závisí na polaritě elektrického pole. Jestliže je napětí řídicího signálu větší než úroveň předpětí, odpovídající vstupní akční členy 122 se ohnou směrem dolů. Naopak, jestliže je napětí řídicího signálu menší, odpovídající vstupní akční členy 122 se ohnou směrem nahoru.
Jestliže je část elektrovychylující vrstvy 109 zhotovena z tenkého filmu nepólového piezoelektrického materiálu, způsobí to ohnutí odpovídajícího vstupního akčního členu 122 směrem dolů. Ohnutí páru vstupních akčních členů 122 směrem dolů má za následek, že se kontaktní vrstva 130 na každém vstupním akčním členu 122 dostane do styku s první a třetí linií vodivých obrazců 112, 114, kde mezi nimi vytvoří elektrický můstek, čímž se obrazovému signálu umožní projít z první linie 112 do třetí linie vodivých obrazců 114 a odtud do elektrodové signálové vrstvy 125 v každém akčním členu 121. Každý akční člen 121. v každé ovládací předpěťové elektrodové vrstvě 126, funguje na základě stejného principu jako ve vstupním akčním členu 122. Jakmile je na část elektrovychylující vrstvy 109 přiveden obrazový signál, a to mezi elektrodovou signálovou vrstvou 125 a předpěťovou elektrodovou vrstvu 126, v každé akčním členu 121 má to za následek deformaci části elektrovychylující vrstvy 109 v páru akčních členů 121. což naopak způsobí, že střední část výstupku 117 umístěného mezi nimi v odpovídající ovládací struktuře 106 se vychýlí, ale zůstane v rovinné poloze, čímž umožní, aby se všechny středové části výstupků 117 použily k odrazu světelných paprsků.
Seskupení 100 Μ x N ovládaných zrcadel 101 tenkého filmu, podle tohoto vynálezu, využívá pár vstupních akčních členů 122 v každé ovládací struktuře 106 a spínací matrici, zahrnující první, druhou a třetí linii vodivých obrazců 112. 113, 114, čímž se každému ovládanému zrcadlu 101 poskytují řídicí a obrazové signály, narozdíl od dříve popsaného seskupení 10 Μ x N ovládaných zrcadel 11 tenkého filmu, u kterého se používá aktivní matrice zahrnující seskupení Μ x N tranzistorů.
Zatímco byl tento vynález popsán v souvislosti s provedeními, kterým se dává přednost, je možné využít i jiné modifikace a varianty, spadající do rozsahu patentových nároků.
Claims (9)
- PATENTOVÉ NÁROKY1. Seskupení ovládaných zrcadel tenkého filmu, pro optické projekční systémy, zahrnuje spínací matrici (102), seskupení (103) Μ x N párů podpůrných prostředků (104) a další seskupení (105) Μ x N ovládacích struktur (106), kde spínací matrice (102) obsahuje podkladovou vrstvu (110) z izolačního materiálu, každý pár podpůrných prostředků (104) je10 zhotoven z izolačního materiálu a kde každá ovládací struktura (106) obsahuje odrazovou vrstvu (107), elastickou vrstvu (108) z izolačního materiálu aelektrovychylující vrstvu (109) z piezoelektrického materiálu, vyznačující se tím, že na horním povrchu (111) podkladové vrstvy (110) je vytvořena první, druhá a třetí linie vodivých obrazců (112, 113, 114), přičemž první a druhá linie vodivých obrazců (112, 113) jsou pro přenos obrazového signálu a řídicího 15 signálu připojeny k vnějšímu zdroji a třetí linie vodivých obrazců (114) tvoří vedení obrazového signálu ke každé ovládané struktuře (106), každý podpůrný prostředek (104) je umístěn na horní straně druhé a třetí linie vodivých obrazců (113, 114), každá ovládací struktura (106) dále obsahuje první, druhý, střední, třetí a čtvrtý výstupek (115, 116, 117, 118 a 119), vzájemně oddělené mezerou (120), dále obsahuje pár akčních členů (121) a pár vstupních akčních členů 20 (122) s bližším a vzdálenějším koncem (123, 124), přičemž každý z akčních členů (121) a každý ze vstupních akčních členů (122) je přilehlý ke každému podpůrnému prostředku (104) svým bližším koncem (123), každý ze vstupních akčních členů (122) je dále opatřený izolační vrstvou (129) připevněnou kjeho spodní straně u vzdálenějšího konce (124) a kontaktní vrstvou připevněnou ke spodní straně izolační vrstvy (129).
- 2. Seskupení podle nároku 1, vyznačující se tím, že každý akční člen (121) zahrnuje část odrazové vrstvy (107), část pružné vrstvy (108), elektrodovou signálovou vrstvu (125) a část elektrovychylující vrstvy (109) a předpěťovou elektrodovou vrstvu (126).30
- 3. Seskupení podle nároku 1, vyznačující se tím , že elektrodová signálová vrstva (125) v každém akčním členu (121) je elektricky spojena s třetí linií obrazců (114).
- 4. Seskupení podle nároku 1, vyznačující se tím, že každý vstupní akční člen (122) zahrnuje část odrazové vrstvy (107), část pružné vrstvy (108), elektrodovou vrstvu (127)35 vstupního signálu, část elektrovychylující vrstvy (109) a vstupní předpěťovou elektrodovou vrstvu (128).
- 5. Seskupení podle nároku 4, vyznačující se tí m , že elektrodová vrstva (127) vstupního signálu v každém vstupním akčním členu (122) je elektricky spojená s druhou linií40 obrazců (113).
- 6. Seskupení podle nároků 2a 4, vyznačující se tím, že elektrodová vrstva (126) v každém akčním členu (121) je elektricky spojena se vstupní předpěťovou elektrodovou vrstvou (128) v každém vstupním akčním členu (122).
- 7. Seskupení podle nároku 6, vyznačující se tím, že předpěťová elektrodová vrstva (126) a vstupní předpěťová elektrodová vrstva (128) v každém akčním členu (121) a každém vstupním akčním členu (122) jsou vrstvy o stejném napětí.50
- 8. Seskupení podle nároku 1, vyznačující se tím, že každý akční člen (121) je v páru umístěný pod prvním a čtvrtým výstupkem (115,119), je-li každý vstupní akční člen (122) v páru umístěný pod druhým a třetím výstupkem (116,118).-6CZ 288215 B6 t
- 9. Seskupení podle nároku 1, vyznačující se tím, že každý akční člen (121) je v páru umístěný pod druhým a třetím výstupkem (116, 118), je-li každý vstupní akční člen (122) v páru umístěný pod prvním a čtvrtým výstupkem (116,119).
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940028331A KR100213281B1 (ko) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 광로조절장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ133797A3 CZ133797A3 (en) | 1997-08-13 |
| CZ288215B6 true CZ288215B6 (en) | 2001-05-16 |
Family
ID=19396667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ19971337A CZ288215B6 (en) | 1994-10-31 | 1995-07-11 | Thin film actuated mirror array |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5610757A (cs) |
| EP (1) | EP0712020B1 (cs) |
| JP (1) | JP3595556B2 (cs) |
| KR (1) | KR100213281B1 (cs) |
| CN (1) | CN1058789C (cs) |
| AU (1) | AU688071B2 (cs) |
| BR (1) | BR9509460A (cs) |
| CA (1) | CA2203990A1 (cs) |
| CZ (1) | CZ288215B6 (cs) |
| DE (1) | DE69523256T2 (cs) |
| HU (1) | HU221355B1 (cs) |
| MY (1) | MY118482A (cs) |
| PE (1) | PE18997A1 (cs) |
| PL (1) | PL179037B1 (cs) |
| RU (1) | RU2153186C2 (cs) |
| TW (1) | TW279204B (cs) |
| UY (1) | UY24012A1 (cs) |
| WO (1) | WO1996013745A1 (cs) |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6969635B2 (en) * | 2000-12-07 | 2005-11-29 | Reflectivity, Inc. | Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates |
| EP0810458B1 (en) * | 1996-05-29 | 2001-09-19 | Daewoo Electronics Co., Ltd | Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
| US5930025A (en) * | 1996-05-29 | 1999-07-27 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
| US5945898A (en) * | 1996-05-31 | 1999-08-31 | The Regents Of The University Of California | Magnetic microactuator |
| KR980003662A (ko) * | 1996-06-28 | 1998-03-30 | 배순훈 | 큰 구동 각도를 가지는 박막형 광로 조절 장치 |
| US5991064A (en) * | 1996-06-29 | 1999-11-23 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array and a method for the manufacture thereof |
| WO1998008127A1 (en) * | 1996-08-21 | 1998-02-26 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system |
| US6097859A (en) | 1998-02-12 | 2000-08-01 | The Regents Of The University Of California | Multi-wavelength cross-connect optical switch |
| WO1998038801A1 (en) * | 1997-02-26 | 1998-09-03 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same |
| KR19990004787A (ko) * | 1997-06-30 | 1999-01-25 | 배순훈 | 박막형 광로 조절 장치 |
| US5920421A (en) * | 1997-12-10 | 1999-07-06 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same |
| GB2332750B (en) * | 1997-12-23 | 2000-02-23 | Daewoo Electronics Co Ltd | Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same |
| US6962419B2 (en) | 1998-09-24 | 2005-11-08 | Reflectivity, Inc | Micromirror elements, package for the micromirror elements, and projection system therefor |
| US7018052B2 (en) * | 2000-08-30 | 2006-03-28 | Reflectivity, Inc | Projection TV with improved micromirror array |
| US6661561B2 (en) * | 2001-03-26 | 2003-12-09 | Creo Inc. | High frequency deformable mirror device |
| US6856448B2 (en) * | 2001-03-26 | 2005-02-15 | Creo Inc. | Spatial light modulator |
| US7023606B2 (en) * | 2001-08-03 | 2006-04-04 | Reflectivity, Inc | Micromirror array for projection TV |
| KR100398310B1 (ko) * | 2001-09-13 | 2003-09-19 | 한국과학기술원 | 엇물린 외팔보들을 이용한 마이크로미러 디바이스 및 그응용소자 |
| US7042622B2 (en) * | 2003-10-30 | 2006-05-09 | Reflectivity, Inc | Micromirror and post arrangements on substrates |
| US7375874B1 (en) | 2003-03-22 | 2008-05-20 | Active Optical Mems Inc. | Light modulator with integrated drive and control circuitry |
| US6914711B2 (en) * | 2003-03-22 | 2005-07-05 | Active Optical Networks, Inc. | Spatial light modulator with hidden comb actuator |
| US7015885B2 (en) * | 2003-03-22 | 2006-03-21 | Active Optical Networks, Inc. | MEMS devices monolithically integrated with drive and control circuitry |
| US7281808B2 (en) * | 2003-06-21 | 2007-10-16 | Qortek, Inc. | Thin, nearly wireless adaptive optical device |
| US9298014B2 (en) * | 2005-07-01 | 2016-03-29 | Flir Systems, Inc. | Image stabilization system |
| US7862188B2 (en) * | 2005-07-01 | 2011-01-04 | Flir Systems, Inc. | Image detection improvement via compensatory high frequency motions of an undedicated mirror |
| US7769255B2 (en) * | 2006-11-07 | 2010-08-03 | Olympus Corporation | High port count instantiated wavelength selective switch |
| US7702194B2 (en) * | 2006-11-07 | 2010-04-20 | Olympus Corporation | Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches |
| US8131123B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-03-06 | Olympus Corporation | Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches and monitoring |
| US7720329B2 (en) | 2006-11-07 | 2010-05-18 | Olympus Corporation | Segmented prism element and associated methods for manifold fiberoptic switches |
| US8000568B2 (en) * | 2006-11-07 | 2011-08-16 | Olympus Corporation | Beam steering element and associated methods for mixed manifold fiberoptic switches |
| US7873246B2 (en) * | 2006-11-07 | 2011-01-18 | Olympus Corporation | Beam steering element and associated methods for manifold fiberoptic switches and monitoring |
| US8190025B2 (en) * | 2008-02-28 | 2012-05-29 | Olympus Corporation | Wavelength selective switch having distinct planes of operation |
| US20100168851A1 (en) * | 2008-12-30 | 2010-07-01 | David Paul Vanderbilt | Surface Modified Biomedical Devices |
| KR102581371B1 (ko) * | 2017-02-07 | 2023-09-21 | 엘에스엠트론 주식회사 | 차량용 궤도 |
| KR102562363B1 (ko) | 2021-04-14 | 2023-08-01 | 공간찬넬주식회사 | 도어를 구비한 곡물 저장 및 운송용 박스형 빈 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3544201A (en) * | 1968-01-02 | 1970-12-01 | Gen Telephone & Elect | Optical beam deflector |
| US4441791A (en) * | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
| US4615595A (en) * | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
| US4793699A (en) * | 1985-04-19 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element |
| US5172262A (en) * | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
| SU1569783A1 (ru) * | 1987-11-09 | 1990-06-07 | Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии | Сканирующее магнитоэлектрическое устройство |
| US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
| US5126836A (en) * | 1989-11-01 | 1992-06-30 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
| GB2239101B (en) * | 1989-11-17 | 1993-09-22 | Marconi Gec Ltd | Optical device |
| US5085497A (en) * | 1990-03-16 | 1992-02-04 | Aura Systems, Inc. | Method for fabricating mirror array for optical projection system |
| US5216537A (en) * | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
| US5170283A (en) * | 1991-07-24 | 1992-12-08 | Northrop Corporation | Silicon spatial light modulator |
| US5175465A (en) * | 1991-10-18 | 1992-12-29 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric and electrostrictive actuators |
| US5159225A (en) * | 1991-10-18 | 1992-10-27 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric actuator |
| US5247222A (en) * | 1991-11-04 | 1993-09-21 | Engle Craig D | Constrained shear mode modulator |
| US5493439A (en) * | 1992-09-29 | 1996-02-20 | Engle; Craig D. | Enhanced surface deformation light modulator |
| US5481396A (en) * | 1994-02-23 | 1996-01-02 | Aura Systems, Inc. | Thin film actuated mirror array |
| US5535047A (en) * | 1995-04-18 | 1996-07-09 | Texas Instruments Incorporated | Active yoke hidden hinge digital micromirror device |
-
1994
- 1994-10-31 KR KR1019940028331A patent/KR100213281B1/ko not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-07-11 CA CA002203990A patent/CA2203990A1/en not_active Abandoned
- 1995-07-11 RU RU97108573/28A patent/RU2153186C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1995-07-11 WO PCT/KR1995/000088 patent/WO1996013745A1/en active IP Right Grant
- 1995-07-11 CZ CZ19971337A patent/CZ288215B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1995-07-11 JP JP51446096A patent/JP3595556B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-07-11 HU HU9800785A patent/HU221355B1/hu not_active IP Right Cessation
- 1995-07-11 PL PL95319945A patent/PL179037B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1995-07-11 CN CN95196003A patent/CN1058789C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1995-07-11 AU AU29374/95A patent/AU688071B2/en not_active Ceased
- 1995-07-11 BR BR9509460A patent/BR9509460A/pt not_active IP Right Cessation
- 1995-07-13 TW TW084107274A patent/TW279204B/zh active
- 1995-07-17 DE DE69523256T patent/DE69523256T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-07-17 EP EP95111198A patent/EP0712020B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-18 MY MYPI95002029A patent/MY118482A/en unknown
- 1995-07-20 US US08/504,967 patent/US5610757A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-02 PE PE1995275122A patent/PE18997A1/es not_active Application Discontinuation
- 1995-08-03 UY UY24012A patent/UY24012A1/es not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BR9509460A (pt) | 1998-01-06 |
| HU221355B1 (en) | 2002-09-28 |
| EP0712020A1 (en) | 1996-05-15 |
| KR960016588A (ko) | 1996-05-22 |
| AU688071B2 (en) | 1998-03-05 |
| JP3595556B2 (ja) | 2004-12-02 |
| CZ133797A3 (en) | 1997-08-13 |
| EP0712020B1 (en) | 2001-10-17 |
| CN1162361A (zh) | 1997-10-15 |
| UY24012A1 (es) | 1996-01-10 |
| DE69523256T2 (de) | 2002-04-18 |
| WO1996013745A1 (en) | 1996-05-09 |
| MX9703079A (es) | 1997-07-31 |
| HUT77723A (hu) | 1998-07-28 |
| CN1058789C (zh) | 2000-11-22 |
| RU2153186C2 (ru) | 2000-07-20 |
| KR100213281B1 (ko) | 1999-08-02 |
| PL319945A1 (en) | 1997-09-01 |
| DE69523256D1 (de) | 2001-11-22 |
| PL179037B1 (pl) | 2000-07-31 |
| MY118482A (en) | 2004-11-30 |
| TW279204B (cs) | 1996-06-21 |
| US5610757A (en) | 1997-03-11 |
| JPH10508118A (ja) | 1998-08-04 |
| PE18997A1 (es) | 1997-09-22 |
| AU2937495A (en) | 1996-05-23 |
| CA2203990A1 (en) | 1996-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CZ288215B6 (en) | Thin film actuated mirror array | |
| US5367584A (en) | Integrated microelectromechanical polymeric photonic switching arrays | |
| US6714700B2 (en) | Micro electromechanical system and method for transmissively switching optical signals | |
| US6297899B1 (en) | Discrete element light modulating microstructure devices | |
| JP4362251B2 (ja) | マイクロエレクトリカルメカニカルシステム（ｍｅｍｓ）光変調器、ｍｅｍｓ光モジュール、ｍｅｍｓ光ディスプレイシステム、および、ｍｅｍｓ光変調方法 | |
| JP3212554B2 (ja) | 光学的スイッチ | |
| US5175465A (en) | Piezoelectric and electrostrictive actuators | |
| US6030083A (en) | Array of thin film actuated mirrors for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof | |
| US5900998A (en) | Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof | |
| JP2001215317A (ja) | 順応型回折格子装置を具備した空間光変調器 | |
| CZ290728B6 (cs) | Pole tenkofilmových řízených zrcadel a způsob jeho přípravy | |
| PL176509B1 (pl) | Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych do optycznego urządzenia projekcyjnego i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych, zwłaszcza do optycznego urządzenia projekcyjnego | |
| US5550680A (en) | Thin film actuated mirror array having an improved optical efficiency | |
| US6486996B1 (en) | Discrete element light modulating microstructure devices | |
| US6643426B1 (en) | Mechanically assisted release for MEMS optical switch | |
| US5936757A (en) | Thin film actuated mirror array | |
| US5861979A (en) | Array of thin film actuated mirrors having an improved optical efficiency and an increased performance | |
| US5708524A (en) | Array of electrically independent thin film actuated mirrors | |
| MXPA97003079A (en) | Formed mirror of filmed delgadapara to be used in an opt projection system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD00 | Pending as of 2000-06-30 in czech republic | ||
| MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20040711 |