FR3119888B1 - Dispositif pyroelectrique comprenant un substrat a couche superficielle pyroelectrique et procede de realisation - Google Patents

Dispositif pyroelectrique comprenant un substrat a couche superficielle pyroelectrique et procede de realisation Download PDF

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Abstract

Procédé de réalisation d’un détecteur pyroélectrique (100), comportant : - réalisation d’une première électrode (116) sur une première partie (118) d’une face avant (112) d’une couche de matériau pyroélectrique (108) d’un substrat (102) comportant en outre une couche support (104) sur laquelle est disposée la couche de matériau pyroélectrique ; - réalisation d’une cavité (132) traversant la couche support telle qu’une paroi de fond de la cavité soit formée par une partie d’une face arrière (114) de la couche de matériau pyroélectrique, et telle qu’une partie de la paroi de fond de la cavité soit disposée à l’aplomb de la première électrode ; - réalisation d’une deuxième électrode (142) sur la partie de la paroi de fond de la cavité. Figure pour l’abrégé : Figure 10.
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