FR3111235A1 - Dispositif optoélectronique pour affichage lumineux à parois de confinement lumineux conductrices et procédé de fabrication - Google Patents
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Abstract
Dispositif optoélectronique (10) pour affichage lumineux, comprenant : un support (11); une pluralité d’éléments lumineux (13) électriquement connecté à au moins une première électrode (13d) et comportant une diode électroluminescente (15) dont une partie dopée est agencée en situation de contact électrique avec ladite première électrode (13d), ladite première électrode (13d) recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support (11a) ;une pluralité de parois de confinement lumineux (16) configurées de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux (13) et étant agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux (13) ; les parois de confinement lumineux (16) de la pluralité de parois de confinement lumineux (16) étant électriquement conductrices et connectées directement à la première électrode (13d). Figure 2
Description
La présente invention concerne un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux, comprenant :
un support délimitant une face de support,
une pluralité d’éléments lumineux fixés à la face de support, chaque élément lumineux étant électriquement connecté à au moins une première électrode et comportant au moins une diode électroluminescente ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode,
une pluralité de parois de confinement lumineux, chaque paroi de confinement lumineux étant configurée de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux et étant agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux.
L’invention concerne également un procédé de fabrication d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux.
ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE
Dans le domaine des écrans d’affichage lumineux, les éléments lumineux constituant l’écran doivent être agencés de façon matricielle. La précision nécessaire à la formation d’une telle matrice augmente au fur et à mesure que la résolution attendue pour les écrans croît.
Il est connu de produire les diodes électroluminescentes qui constituent les éléments lumineux sur un premier support, par exemple une galette de silicium ou de saphir, et de les reporter sur un second support destiné à faire partie intégrante de l’écran. Les connexions électriques qui permettent d’alimenter électriquement les diodes électroluminescentes ainsi transférées se font au niveau du second support.
Dans le cas où les diodes électroluminescentes sont séparées par une distance inférieure à une dizaine de microns, la connexion électrique de la partie supérieure des diodes électroluminescentes et la connexion électrique de leur partie inférieure restent difficiles à réaliser sans risque de court-circuit involontaire, du fait de la faible distance qui les sépare.
Dans le cas où les diodes électroluminescentes sont tridimensionnelles, typiquement de forme filaire qui est une forme très avantageuse, obtenir une connexion électrique de leur partie supérieure est difficile de par leurs dimensions micrométriques voire nanométriques. Une problématique supplémentaire rencontrée lors du report des éléments lumineux est que le positionnement précis des éléments lumineux au niveau du second support n’est pas garanti en raison des dimensions de plus en plus faibles des éléments lumineux et des connexions électriques pour obtenir la meilleure résolution possible pour l’affichage lumineux proposé par le dispositif optoélectronique. Les techniques usuelles pour reprendre les contacts électriques sur les éléments lumineux ne sont pas satisfaisantes car les défauts de positionnement sont aléatoires et selon une plage d’erreur trop élevée par rapport aux dimensions des éléments lumineux et des connexions électriques.
La présente invention a pour but de fournir un dispositif optoélectronique et un procédé de fabrication permettant de répondre à tout ou partie des problèmes présentés ci-avant.
Notamment, un but est de fournir une solution répondant à au moins l’un des objectifs suivants :
- permettre la fourniture d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux limitant les risques de court-circuit ;
- permettre la fourniture d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux à moindre coût ;
- permettre la fourniture d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux ayant de grandes dimensions ;
- permettre la fourniture d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux ayant des performances élevées et une résolution d’affichage la plus élevée possible ;
- permettre la fourniture d’un dispositif optoélectronique dont la majorité des éléments lumineux est connectée électriquement de manière satisfaisante.
Ce but peut être atteint grâce à un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux, comprenant :
-un support délimitant une face de support ;
-une pluralité d’éléments lumineux fixés à la face de support, chaque élément lumineux étant électriquement connecté à au moins une première électrode et comportant au moins une diode électroluminescente ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode, ladite première électrode recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support ;
-une pluralité de parois de confinement lumineux, chaque paroi de confinement lumineux étant configurée de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux et étant agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux ;
tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux de la pluralité de parois de confinement lumineux ayant la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode d’au moins l’un des éléments lumineux de ladite pluralité d’éléments lumineux.
-un support délimitant une face de support ;
-une pluralité d’éléments lumineux fixés à la face de support, chaque élément lumineux étant électriquement connecté à au moins une première électrode et comportant au moins une diode électroluminescente ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode, ladite première électrode recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support ;
-une pluralité de parois de confinement lumineux, chaque paroi de confinement lumineux étant configurée de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux et étant agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux ;
tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux de la pluralité de parois de confinement lumineux ayant la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode d’au moins l’un des éléments lumineux de ladite pluralité d’éléments lumineux.
Certains aspects préférés mais non limitatifs du dispositif sont les suivants.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l’un des éléments lumineux de la pluralité d’éléments lumineux comporte tout ou partie d’un dispositif de commande configuré pour moduler au moins un paramètre d’émission associé à ladite au moins une diode électroluminescente que comporte ledit élément lumineux.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le dispositif de commande d’au moins l’un des éléments lumineux est connecté électriquement à une deuxième électrode électriquement isolée par rapport à la première électrode, ladite deuxième électrode étant connectée électriquement à au moins une autre paroi de confinement lumineux parmi la pluralité de parois de confinement lumineux, où ladite autre paroi de confinement lumineux est isolée électriquement par rapport à la paroi de confinement lumineux en contact électrique avec la première électrode dudit élément lumineux.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l’une des diodes électroluminescentes d’au moins l’un des éléments lumineux présente une forme tridimensionnelle filaire s’étendant selon un axe principal orienté transversalement à la face de support, la première électrode entourant au moins une portion supérieure de ladite diode électroluminescente agencée du côté opposé à la face de support suivant l’axe principal.
Dans une mise en œuvre du dispositif, la première électrode est agencée au niveau d’une portion inférieure de la diode électroluminescente située d’un côté opposé à la portion supérieure selon l’axe principal.
Dans une mise en œuvre du dispositif, la première électrode est formée dans un matériau électriquement conducteur et au moins partiellement transparent à la lumière émise par la partie active de la diode électroluminescente en contact avec ladite première électrode.
Dans une mise en œuvre du dispositif, tout ou partie de la première électrode est recouverte, d’un côté opposé au support, par une portion d’espacement formée sur la première électrode, les parois de confinement lumineux étant formées à travers ladite portion d’espacement pour être en contact avec la première électrode.
Dans une mise en œuvre du dispositif, un premier conducteur électrique est formé sur une face supérieure de la portion d’espacement agencée d’un côté opposé à la face de support selon l’axe principal de sorte que le premier conducteur électrique soit en contact électrique avec au moins l’une des parois de confinement lumineux.
Dans une mise en œuvre du dispositif, ladite portion d’espacement est formée par une couche de passivation au moins en partie transparente vis-à-vis de la lumière émise par l’élément lumineux autour duquel elle est agencée et isolante électriquement et/ou par une couche de conversion lumineuse apte à convertir au moins une première longueur d’onde de la lumière émise par l’élément lumineux, autour duquel elle est agencée, en une seconde longueur d’onde différente de la première longueur d’onde.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l’une des parois de confinement lumineux comprend une couche de conduction électrique caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m.
Dans une mise en œuvre du dispositif, la couche de conduction électrique est formée par au moins un élément appartenant au groupe comprenant l’argent, l’aluminium, un alliage de cuivre et d’argent, l’or, un alliage d’argent et d’or, un alliage d’or et d’aluminium, un alliage de tungstène et d’argent, un alliage de tungstène et d’aluminium.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le support est formé dans un matériau différent d’un matériau cristallin.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins deux parois de confinement lumineux appartenant à la pluralité de parois de confinement lumineux sont connectées électriquement entre elles.
Dans une mise en œuvre du dispositif, les éléments lumineux sont obtenus sur un support externe différent du support préalablement à un transfert desdits éléments lumineux vers le support.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le dispositif comprend une couche d’isolation électrique agencée entre au moins une partie de la face de support et tout ou partie de la première électrode.
L’invention porte également sur la mise en œuvre d’un procédé de fabrication d’un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux, le procédé de fabrication comprenant les étapes suivantes :
a) fourniture d’un support délimitant une face de support ;
b) formation d’au moins une première électrode recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support ;
c) formation d’une pluralité d’éléments lumineux fixés à la face de support, durant laquelle ladite au moins une première électrode est connectée électriquement à au moins l’un des éléments lumineux formés et dans laquelle chaque élément lumineux est électriquement connecté à ladite au moins une première électrode et comportant au moins une diode électroluminescente ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée pour être en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode ;
d) formation d’une pluralité de parois de confinement lumineux dans laquelle chaque paroi de confinement lumineux formée présente une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux et est agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux, l’étape d) étant telle que tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux de la pluralité de parois de confinement lumineux a la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode d’au moins l’un des éléments lumineux de ladite pluralité d’éléments lumineux.
a) fourniture d’un support délimitant une face de support ;
b) formation d’au moins une première électrode recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support ;
c) formation d’une pluralité d’éléments lumineux fixés à la face de support, durant laquelle ladite au moins une première électrode est connectée électriquement à au moins l’un des éléments lumineux formés et dans laquelle chaque élément lumineux est électriquement connecté à ladite au moins une première électrode et comportant au moins une diode électroluminescente ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée pour être en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode ;
d) formation d’une pluralité de parois de confinement lumineux dans laquelle chaque paroi de confinement lumineux formée présente une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux et est agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux, l’étape d) étant telle que tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux de la pluralité de parois de confinement lumineux a la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode d’au moins l’un des éléments lumineux de ladite pluralité d’éléments lumineux.
Certains aspects préférés mais non limitatifs du procédé sont les suivants.
Dans une mise en œuvre du procédé de fabrication, le procédé comprend l’étape suivante, mise en œuvre entre l’étape b) et l’étape d) :
e) formation d’une portion d’espacement sur ladite au moins une première électrode formée à l’étape b) d’un côté opposé au support ; les parois de confinement lumineux étant formées durant l’étape d) à travers la portion d’espacement formée à l’étape e) et pour être en contact avec la première électrode formée à l’étape b).
e) formation d’une portion d’espacement sur ladite au moins une première électrode formée à l’étape b) d’un côté opposé au support ; les parois de confinement lumineux étant formées durant l’étape d) à travers la portion d’espacement formée à l’étape e) et pour être en contact avec la première électrode formée à l’étape b).
Dans une mise en œuvre du procédé de fabrication, l’étape d) comprend au moins une étape de gravure dans laquelle la portion d’espacement obtenue à l’étape e) subit une gravure contrôlée de sorte à arrêter ladite gravure lorsque la première électrode affleure.
Dans une mise en œuvre du procédé de fabrication, le procédé comprend l’étape suivante :
f) formation d’une couche de conduction électrique dans la gravure résultant de l’étape d) ; l’étape f) étant mise en œuvre de sorte que la couche de conduction électrique formée est en contact électrique avec la première électrode formée à l’étape b) et est caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m; tout ou partie de l’étape f) étant mise en œuvre pendant l’étape d).
f) formation d’une couche de conduction électrique dans la gravure résultant de l’étape d) ; l’étape f) étant mise en œuvre de sorte que la couche de conduction électrique formée est en contact électrique avec la première électrode formée à l’étape b) et est caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m; tout ou partie de l’étape f) étant mise en œuvre pendant l’étape d).
Dans une mise en œuvre du procédé de fabrication, l’étape d) comprend une étape de remplissage consistant à remplir tout ou partie de la gravure résultant de l’étape d) par un matériau électriquement conducteur.
Dans une mise en œuvre du procédé de fabrication, l’étape c) comprend une étape de fabrication déportée des éléments lumineux dans laquelle les éléments lumineux sont obtenus sur un support externe différent du support puis transférés de sorte à être fixés sur la face de support du support.
D’autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de modes de réalisation préférés de celle-ci, donnée à titre d’exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels :
EXPOSE DETAILLE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS
Sur les figures 1 à 10 annexées et dans la suite de la description, des éléments identiques ou similaires en terme fonctionnel sont repérés par les mêmes références. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l’échelle de manière à privilégier la clarté des figures pour en faciliter la compréhension. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent, au contraire, être combinés entre eux.
Dans la suite de la description, sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « globalement » et « de l'ordre de » signifient « à 10 % près ».
Par souci de clarté, les éléments identiques ou similaires ont été désignés par les mêmes numéros de référence dans les divers dessins et, en outre, comme d’habitude dans la représentation des circuits électroniques, les divers dessins ne sont pas à l’échelle. En outre, seuls les éléments qui sont utiles à la compréhension de la présente description ont été présentés et seront décrits. En particulier, les moyens de mise en contact de dispositif optoélectronique, de substrat, de polarisation et de commande sont bien connus et ne seront pas décrits.
L’invention porte en premier lieu sur un dispositif optoélectronique pour affichage lumineux. Par dispositif optoélectronique, il est entendu un dispositif apte à produire de la lumière à partir d’une commande électrique ou électronique. Par affichage lumineux, il est entendu l’affichage de pixels lumineux ou encore l’affichage de lumière d’éclairage ou de rétroéclairage. L’affichage lumineux peut être mis en œuvre pour des écrans comme par exemple des écrans d’affichage pour téléviseurs, des casques de réalité virtuelle ou augmentée ou encore des écrans pour équipements mobiles. L’affichage lumineux peut être monochrome ou polychrome.
Comme illustré sur les figures 1 à 6, le dispositif optoélectronique 10 pour affichage lumineux, comprend d’une part un support 11 délimitant une face de support 11a. Le support 11 est par exemple un substrat semiconducteur de type silicium, germanium, du saphir ou un matériau semiconducteur de type II, III, V ou VI. Le support 11 est par exemple isolant électriquement et formé par une ou plusieurs plaques en verre. Le support 11 peut également être conducteur d’électricité et formé par une ou plusieurs plaques métalliques. Le support 11 peut également comprendre des pistes conductrices isolées entre elles et formées à la surface de celui-ci ou à l’intérieur de celui-ci. Le support 11 peut être cristallin ou non cristallin et comprendre également des composants actifs ou passifs comme des transistors ou des mémoires. Ces derniers éléments étant classiques pour l’homme du métier, ils ne sont pas représentés. Le support 11 peut par exemple constituer un support pour un écran d’affichage lumineux.
Le dispositif optoélectronique 10 comprend également une pluralité d’éléments lumineux 13 fixés à la face de support 11a. Par fixés il est entendu « fixés directement ou indirectement de façon isolée électriquement ou de façon à être connectés électriquement à un élément du support 11 ».
Les éléments lumineux 13 peuvent être fixés à la face de support 11a par l’intermédiaire d’un élément de fixation, non illustré, comme de la colle conductrice ou non. Dans un autre exemple l’élément de fixation comprend un ensemble de particules métalliques enrobées dans un matériau isolant.
Dans un exemple, l’élément de fixation est au moins en partie transparent à la lumière émise par la partie d’émission de lumière des éléments lumineux 13.
Pour, par exemple, réaliser un écran d’affichage, il également possible de prévoir que la pluralité d’éléments lumineux 13 soient arrangés par exemple en matrice agencée plus ou moins de façon régulière.
Dans un exemple, les éléments lumineux 13 sont obtenus sur un support externe différent du support 11 préalablement à un transfert desdits éléments lumineux 13 vers le support 11. Ceci permet d’obtenir des éléments lumineux sur un support qui serait non compatible avec leur mode d’obtention et/ou sur un support de grande surface.
Chaque élément lumineux 13 est électriquement connecté à au moins une première électrode 13d.
La première électrode 13d recouvre au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face de support 11a.
La première électrode 13d est formée dans un matériau électriquement conducteur et au moins partiellement transparent à la lumière émise par la partie active de la diode électroluminescente 15 en contact avec ladite première électrode 13d.
La première électrode 13d peut être par exemple de l’oxyde d’étain dopé, de l’oxyde de zinc dopé ou encore une matrice contenant des nanotubes de carbone ou du graphène.
Une couche d’isolation électrique 17 peut également être agencée entre au moins une partie de la face de support 11 et tout ou partie de la première électrode 13d. Ceci permet d’isoler électriquement la première électrode 13d par rapport à une deuxième électrode 13c ou par rapport au substrat. Cette couche d’isolation électrique 17 peut être présente avant la formation des diodes électroluminescentes 15 et servir en même temps de masque à la croissance.
Chaque élément lumineux 13 comporte au moins une diode électroluminescente 15 ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active.
Un élément lumineux 13 peut consister simplement en une seule diode électroluminescente 15.
Les diodes électroluminescentes 15 comportent au moins une partie dopée semi-conductrice agencée en situation de contact électrique avec d’une part ladite au moins une première électrode 13d et de l’autre côté avec la partie active de la même diode électroluminescente.
Le contact électrique entre la première électrode 13d et la partie dopée de la diode électroluminescente peut être direct ou indirect via l’intermédiaire d’une ou plusieurs couches ou via l’intermédiaire d’un dispositif de commande 13b agencé dans l’élément lumineux 13.
Dans un exemple, ce dispositif de commande 13b est configuré pour moduler au moins un paramètre d’émission associé à au moins une des diodes électroluminescente 15 que comporte l’élément lumineux 13. Par paramètre d’émission il faut comprendre par exemple l’intensité. Celle-ci peut être variée de façon graduelle entre zéro -courant nul, émission lumineuse nulle- et une intensité maximale -émission lumineuse maximale-.
Le dispositif de commande peut comprendre des transistors, des mémoires ou tout composant nécessaire à l’homme du métier pour réaliser un contrôle-commande programmable.
Le dispositif de commande 13b peut être connecté à une -figure 3 ou 5- ou plusieurs -figure 6- diodes électroluminescentes 15.
Comme illustré sur la figure 5, le dispositif de commande 13b peut être connecté électriquement en plus à une deuxième électrode 13c. Celle-ci est isolée électriquement de la première électrode 13d.
Dans les exemples où les éléments lumineux 13 ne comprennent pas de dispositif de commande 13b, les éléments lumineux 13 ou la/les diodes électroluminescentes 15 les composants peuvent être connectés à la deuxième électrode 13c.
Le dopage de la partie dopée de la diode électroluminescente 15, agencée en situation de contact électrique avec la première électrode 13d, peut être choisie selon un premier type de dopage, choisi entre un type P et un type N de dopage.
Le contact entre la partie dopée et la partie active semi-conductrice peut être électrique et/ou physique.
Dans un exemple, au moins deux diodes électroluminescentes 15 sont agencées dans un élément lumineux 13. Ceci permet plus de robustesse contre l’usure des éléments lumineux 13. Un autre avantage est que la puissance lumineuse est accrue.
Dans un exemple, les diodes électroluminescentes 15 ont une forme tridimensionnelle en forme de microfils ou des nanofils. Cependant, d’autres exemples peuvent être mis en œuvre pour des diodes électroluminescentes tridimensionnelles autres que des microfils ou des nanofils, par exemple des diodes électroluminescentes tridimensionnelles coniques ou pyramidales. Les diodes électroluminescentes de forme tridimensionnelle ont une forme allongée le long de la direction préférée appelée direction longitudinale. Une deuxième dimension, appelée petite dimension de la diode électroluminescente, s’étend transversalement à la direction longitudinale et représente un diamètre de la diode électroluminescente. La dimension le long de la direction longitudinale se trouve dans la plage allant de 5 nm à 5 µm, de préférence de 50 nm à 2,5 µm, et est supérieure ou égale à 1 fois, de préférence supérieure ou égale à 5 fois, et plus préférablement supérieure ou égale à 10 fois à la petite dimension la plus importante. Dans certains modes de réalisation, les petites dimensions peuvent être inférieures ou égales à environ 1 µm, de préférence dans la plage allant de 70 nm à 1 µm, plus préférablement allant de 100 nm à 800 nm. Dans certains exemples, la hauteur de chaque diode électroluminescente tridimensionnelle le long de la dimension longitudinale D peut être supérieure ou égale à 500 nm, de préférence dans la plage allant de 1 µm à 50 µm.
Les diodes électroluminescentes 15 peuvent également comprendre une deuxième partie dopée selon un deuxième type de dopage, choisi entre un type P et un type N de dopage et opposé au premier type de dopage. La deuxième partie semi-conductrice peut être reliée au support 11 ou à une électrode différente de la première électrode 13d en contact avec la partie dopée.
On entend par « relié », en termes équivalents, « relié électriquement » ou « relié de manière isolée par un contact physique » et/ou « relié de manière directe ou indirecte ». Lesdites parties dopées sont formées par exemple partiellement d’au moins un matériau semi-conducteur tel que le silicium, le germanium, le carbure de silicium, un composé III-V tel que des composés III-N, un composé II-VI ou une combinaison de ces composés. Des exemples d’éléments du groupe III comprennent le gallium (Ga), l’indium (In) ou l’aluminium (Al). Des exemples de composés III-N sont GaN, AN, InN, InGaN, AlGaN ou AlInGaN. D’autres éléments du groupe V peuvent également être utilisés, par exemple le phosphore ou l’arsenic. Généralement, les éléments dans le composé III-V peuvent être combinés avec différentes fractions molaires. Des exemples d’éléments du groupe II comprennent un élément du groupe IIA, en particulier le béryllium (Be) et le magnésium (Mg) et des éléments du groupe IIB, en particulier le zinc (Zn) et le cadmium (Cd). Des exemples d’éléments du groupe VI comprennent des éléments du groupe VIA, en particulier l’oxygène (O) et le tellure (Te). Des exemples de composés II-VI sont ZnO, ZnMgO, CdZnO ou CdZn-MgO. Généralement, les éléments dans le composé II-VI peuvent être combinés avec différentes fractions molaires. Par exemple, pour des composés III-V, le dopant peut être choisi dans le groupe comprenant un dopant du groupe II de type P, par exemple, le magnésium (Mg), le zinc (Zn), le cadmium (Cd) ou le mercure (Hg), un dopant du groupe IV de type P, par exemple le carbone (C) et un dopant du groupe IV de type N, par exemple le silicium (Si), le germanium (Ge), le sélénium (Se), le soufre (S), le terbium (Tb) ou l’étain (Sn).
Selon un exemple, la partie active peut comprendre des moyens pour confiner les porteurs de charges électriques tels qu’un puits quantique et/ou des barrières quantiques. Dans un exemple, la partie active peut être essentiellement réalisée, à la fin de sa formation, à base d’un composé II-VI ou d’un composé III-V mais de manière préférentielle d’un alliage III-V et plus particulièrement réalisée en un alliage InwGa(1-w)N, où w est inférieur ou égal à 1.
La partie active des diodes électroluminescentes 15 émet de la lumière lorsqu’un courant la traverse. Cette lumière a une couleur qui varie en fonction de la composition de la couche active.
Afin de réaliser un affichage multicolore, il est possible de former des diodes électroluminescentes émettant directement chacune une couleur différente.
Il est également possible de former des diodes électroluminescentes 15 émettant toutes la même longueur d’onde (en général dans le bleu ou de l’ultraviolet) et de les entourer au moins en partie par des convertisseurs de lumière. Les convertisseurs de lumière sont par exemple enrobés par une matrice organique ou inorganique. Les convertisseurs de lumière sont par exemple choisis parmi des plots photoluminescents ou des plots quantiques. Les plots photoluminescents sont conçus de sorte à absorber et convertir au moins une partie des rayons lumineux incidents émanant de la diode électroluminescente 15 entourée par les convertisseurs de lumière. Les plots photoluminescents émettent alors des rayons lumineux sortants d’une couleur différente par exemple verte ou rouge. Ces plots photoluminescents peuvent former avantageusement un filtre de longueur d’onde car ils permettent que des longueurs d’onde parasites ne soient émises en dehors du dispositif optoélectronique 10.
Dans un exemple illustré sur les figures 1 à 6, les éléments lumineux 13 sont formés chacun d’une diode électroluminescente 15 et celle-ci présente une forme tridimensionnelle filaire s’étendant selon un axe principal 18 orienté transversalement à la face de support 11a. Dans cet exemple, la première électrode 13d entoure au moins une portion supérieure 15a de ladite diode électroluminescente 15 agencée du côté opposé à la face de support 11a suivant l’axe principal 18.
Dans un exemple supplémentaire non illustré, la première électrode 13d est agencée au niveau d’une portion inférieure de la diode électroluminescente 15 située d’un côté opposé à la portion supérieure 15a selon l’axe principal 18.
Le dispositif optoélectronique 10 comporte également une pluralité de parois de confinement lumineux 16. Chaque paroi de confinement lumineux 16 est configurée de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux 13. Chaque paroi de confinement lumineux 16 est également agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux 13. Ainsi, tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux 13 est réfléchie suivant une ou plusieurs directions privilégiées, ou de façon omnidirectionnelle. Dans les figures 1 à 6, chaque élément lumineux 13 est entouré par des parois de confinement lumineux 16 qui sont agencées globalement parallèlement à l’axe principal 18 des éléments lumineux. Ceci est avantageux pour améliorer la densité d’intégration et augmenter la réflexion de la lumière issue des éléments lumineux 13.
Dans un autre exemple non illustré, le nombre d’éléments lumineux 13 formés entre deux parois de confinement lumineux 16 peut être de deux ou plus. Cela permet d’augmenter la robustesse dans le temps du dispositif optoélectronique 10.
Avantageusement, tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux 16 de la pluralité de parois de confinement lumineux 16 a la faculté d’être électriquement conductrice. Elle est connectée directement à la première électrode 13d d’au moins l’un des éléments lumineux 13.
Un avantage de cette architecture est la simplification de l’architecture, une diminution du risque de faux contacts et une baisse des coûts de production.
Ceci est avantageux car la reprise de contact électrique en face avant (i.e. la face du dispositif optoélectronique décalée par rapport au support 11), pour connecter l’élément lumineux 13, est ainsi facilitée.
Les parois de confinement lumineux 16 agencées et formées de la sorte permettent donc à la fois de confiner, dévier ou réfléchir la lumière issue des diodes électroluminescentes mais permettent également de réaliser une reprise de contact en face avant.
Dans un exemple illustré sur la figure 2, au moins l’une des parois de confinement lumineux 16 comprend une couche de conduction électrique 16a caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m.
Cette couche de conduction électrique 16a forme avantageusement un contact électrique ohmique de faible résistance avec la partie dopée d’au moins un des éléments lumineux 13.
Dans un exemple, la couche de conduction électrique 16a est formée par au moins un élément appartenant au groupe comprenant l’argent, l’aluminium, un alliage de cuivre et d’argent, l’or, un alliage d’argent et d’or, un alliage d’or et d’aluminium, un alliage de tungstène et d’argent, un alliage de tungstène et d’aluminium.
Dans un exemple illustré sur la figure 4, au moins deux parois de confinement lumineux 16 appartenant à la pluralité de parois de confinement lumineux 16 sont connectées électriquement entre elles. Ceci peut être réalisé par une couche conductrice 14 en métal ou en oxyde conducteur transparent par exemple.
Dans un exemple de mise en œuvre illustré sur la figure 5, le dispositif de commande 13b d’au moins l’un des éléments lumineux 13 est connecté électriquement à la deuxième électrode 13c qui elle-même est connectée électriquement à au moins une paroi de confinement lumineux 16. La paroi de confinement lumineux 16 en question est isolée électriquement d’une autre paroi de confinement lumineux 16 qui serait connectée à la première électrode 13d en contact avec le même élément lumineux. Cette architecture est avantageuse car les reprises de contact se font alors uniquement en face avant.
Dans l’exemple illustré sur la figure 5, deux parois de confinement lumineux 16 entourant un élément lumineux 13 sont connectées électriquement entre elles et à la première électrode 13d de ce même élément lumineux 13. La deuxième électrode 13c de ce même élément lumineux 13 est connectée à une troisième paroi de confinement lumineux 16. Une couche conductrice 14a, de la même nature que la couche conductrice 14 et isolée électriquement de celle-ci, peut être envisagée pour la reprise de contact en face avant depuis la troisième paroi de confinement lumineux 16. Cette architecture est avantageuse pour reprendre tous les contacts en face avant.
Dans un exemple de mise en œuvre illustré sur les figures 1 à 6, tout ou partie de la première électrode 13d est recouverte, d’un côté opposé au support 11, par une portion d’espacement 19. Dans cet exemple, les parois de confinement lumineux 16 sont formées à travers ladite portion d’espacement 19 pour être en contact électrique ou physique avec la première électrode 13d.
La portion d’espacement 19 est par exemple constituée par un diélectrique pour assurer l’isolation électrique entre les éléments lumineux, les parois de confinement lumineux 16 et/ou face de support 11a.
La portion d’espacement 19 est par exemple formée par une couche de passivation au moins en partie transparente vis-à-vis de la lumière émise par l’élément lumineux 13 autour duquel elle est agencée.
La portion d’espacement 19 est par exemple formée entre les surfaces latérales des parois de confinement lumineux 16 et les parois latérales des éléments lumineux 13.
Dans le cas où les éléments lumineux sont uniquement formés d’une diode électroluminescente filaire, la portion d’espacement 19 est par exemple formée entre les surfaces latérales des parois de confinement lumineux 16 et les parois d’extension longitudinale de la diode électroluminescente.
La portion d’espacement 19 est également possiblement formée à partir de la face de support 11a jusqu’à recouvrir tout ou partie des parois de confinement lumineux 16.
De façon combinée ou indépendante, la portion d’espacement 19 peut être formée en tout ou partie par une couche de conversion lumineuse englobant des convertisseurs de couleurs comme des plots photoluminescents. Ceux-ci sont aptes à convertir au moins une première longueur d’onde de la lumière émise, directement ou après réflexion sur au moins une des parois de confinement lumineux 16, par l’élément lumineux 13, en une seconde longueur d’onde différente de la première longueur d’onde.
Comme illustré sur la figure 10, de façon combinée ou indépendante aux exemples précédents, une couche de protection 21 peut être formée sur la couche la portion d’espacement 19 du côté opposé au support 11. Cette couche de protection 21 peut être formée en matériau diélectrique si possible transparent et par toute technique connue de l’homme du métier de la microélectronique comme la déposition par couche atomique, ou un dépôt assisté par plasma. Cette couche de protection 21 peut en outre être traversée par des ouvertures 20 par exemple réalisées par gravure. Ces ouvertures 20 débouchent avantageusement sur les parois de confinement lumineux 16. La reprise de contact en face sur les parois de confinement lumineux 16 avant peut ainsi être possible et positionnée avantageusement au niveau des parois des confinement lumineux 16 sans risques de court-circuits. Cette architecture est avantageuse car les convertisseurs de lumières présents dans la portion d’espacement 19 sont ainsi protégés par la couche de protection 21 lors des étapes de fabrication. Cela permet également l’usage de méthodes classiques de la microélectronique.
L’invention porte également sur un procédé de fabrication d’un dispositif optoélectronique 10 pour affichage lumineux. Comme illustré sur les figures 7, 8 et 9, le procédé de fabrication comprend une étape a) de fourniture d’un support 11 délimitant une face de support 11a. Le support 11 est tel que décrit précédemment.
Une autre étape du procédé b) consiste en la formation d’au moins une première électrode 13d telle que décrite précédemment.
Une étape supplémentaire du procédé c) consiste en la formation d’une pluralité d’éléments lumineux 13. Ceux-ci sont fixés à la face de support 11a directement ou indirectement de façon isolée électriquement ou de façon à être connectés électriquement à un élément du support 11 comme décrit précédemment. A la fin de l’étape b), au moins une première électrode 13d est connectée électriquement à au moins l’un des éléments lumineux 13 formés.
Comme décrit précédemment, chaque élément lumineux 13 comporte au moins une diode électroluminescente 15. Comme décrit précédemment chaque diode électroluminescente 15 a une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active. Comme décrit précédemment, chaque diode électroluminescente 15 a au moins une partie dopée agencée pour être en situation de contact électrique direct, ou indirect via l’intermédiaire d’un dispositif de commande, avec ladite au moins une première électrode 13d.
Le procédé consiste en outre en une étape supplémentaire d) consistant en la formation d’une pluralité de parois de confinement lumineux 16. Les parois de confinement lumineux 16 peuvent être formées par exemple par gravure d’une couche et remplissage de ladite gravure ou bien au contraire par croissance ou encore par transfert depuis un support externe. Ainsi, l’étape d) comprend une étape de remplissage consistant à remplir tout ou partie de la gravure résultant de l’étape d) par un matériau électriquement conducteur.
Chaque paroi de confinement lumineux 16 formée présente une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux 13 comme décrit précédemment. Chaque paroi de confinement lumineux 16 est également agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux 13 de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux 13. Cette réflexion se fait suivant une ou plusieurs directions privilégiées, ou de façon omnidirectionnelle. L’étape d) est telle que tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux 16 a la faculté d’être électriquement conductrice et est électriquement connectée à la première électrode 13d d’au moins l’un des éléments lumineux 13 de ladite pluralité d’éléments lumineux 13. Par connectée il est entendu soit connectée de manière directe par un contact physique, soit connectée indirectement par l’intermédiaire de couches intermédiaires conductrices d’électricité.
Les étapes sont indexées selon des lettres a, b, c etc. mais cela ne signifie aucunement que ses étapes soient successives dans le temps. Par exemple, l’étape c) peut avantageusement être mise en œuvre après la formation, sur le support 11, des éléments lumineux 13.
Dans un exemple illustré sur la figure 8, le procédé de fabrication comprend l’étape supplémentaire e), mise en œuvre entre l’étape b) et l’étape d). L’étape e) consiste en la formation d’une portion d’espacement 19 comme celle décrite précédemment. La portion d’espacement 19 est formée sur ladite au moins une première électrode 13d formée à l’étape b) d’un côté opposé au support 11. Dans cet exemple, les parois de confinement lumineux 16 sont formées durant l’étape d) à travers la portion d’espacement 19 formée à l’étape e) pour être en contact physique et électrique avec la première électrode 13d formée à l’étape b). Pour se faire, une gravure sèche ou humide peut être utilisée puis un remplissage est réalisé par voie humide par exemple par électro-dépôt ou encore par un dépôt physique comme un dépôt assisté plasma. Ainsi, dans un exemple illustré sur les figures 8 et 9, l’étape d) comprend au moins une étape de gravure dans laquelle la portion d’espacement 19 obtenue à l’étape e) subit une gravure contrôlée de sorte à arrêter ladite gravure lorsque la première électrode 13d est atteinte. Des techniques, dites de fin d’attaque, permettent l’arrêt de la gravure de façon précise.
Dans un exemple supplémentaire illustré sur la figure 9, le procédé comprend une étape supplémentaire f) de formation d’une couche de conduction électrique 16a dans la gravure résultant de l’étape d). L’étape f) est mise en œuvre de sorte que la couche de conduction électrique 16a formée est en contact électrique avec la première électrode 13d formée à l’étape b). La couche de conduction électrique 16a est caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m. Tout ou partie de l’étape f) est mise en œuvre pendant l’étape d).
Dans une mise en œuvre du procédé, l’étape c) comprend une étape de fabrication déportée des éléments lumineux 13 et un transfert de ceux-ci vers le support 11. Dans cette étape, les éléments lumineux 13 sont obtenus sur un support externe différent du support 11 puis transférés de sorte à être fixés sur la face de support 11a du support 11. Ceci permet de former les éléments lumineux dans des conditions que le support ne supporterait pas sans dommage. Ceci est également avantageux dans le cas où le support est de grande dimension supérieure à vingt centimètres, les éléments lumineux 13 étant souvent formés sur des substrats de plus petite dimension.
Dans un exemple de mise en œuvre du procédé, une étape supplémentaire g) est effectuée. Durant cette étape, une couche de protection 21 est être formée sur la couche la portion d’espacement 19 du côté opposé au support 11. Cette couche de protection 21 peut être formée en matériau diélectrique si possible transparent et par toute technique connue de l’homme du métier de la microélectronique comme de la déposition par couche atomique, ou du dépôt assisté par plasma. Dans cette étape g), la couche de protection 21 peut en outre être traversée par des ouvertures 20 par exemple réalisées par gravure. Ces ouvertures 20 débouchent avantageusement sur les parois de confinement lumineux 16. La reprise de contact en face avant peut ainsi être possible et positionnée avantageusement au niveau des parois de confinement lumineux 16 sans risques de court-circuits. Cette architecture est avantageuse car les convertisseurs de lumières présents dans la portion d’espacement 19 sont ainsi protégés par la couche de protection 21 lors des étapes de fabrication.
Claims (21)
- Dispositif optoélectronique (10) pour affichage lumineux, comprenant :
-un support (11) délimitant une face de support (11a) ;
-une pluralité d’éléments lumineux (13) fixés à la face de support (11a), chaque élément lumineux (13) étant électriquement connecté à au moins une première électrode (13d) et comportant au moins une diode électroluminescente (15) ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode (13d), ladite première électrode (13d) recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support (11a) ;
-une pluralité de parois de confinement lumineux (16), chaque paroi de confinement lumineux (16) étant configurée de sorte à présenter une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux (13) et étant agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux (13) de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux (13) ;
tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux (16) de la pluralité de parois de confinement lumineux (16) ayant la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode (13d) d’au moins l’un des éléments lumineux (13) de ladite pluralité d’éléments lumineux (13). - Dispositif optoélectronique (10) selon la revendication 1, dans lequel au moins l’un des éléments lumineux (13) de la pluralité d’éléments lumineux (13) comporte tout ou partie d’un dispositif de commande (13b) configuré pour moduler au moins un paramètre d’émission associé à ladite au moins une diode électroluminescente (15) que comporte ledit élément lumineux (13).
- Dispositif optoélectronique (10) selon la revendication 2, dans lequel le dispositif de commande (13b) d’au moins l’un des éléments lumineux (13) est connecté électriquement à une deuxième électrode (13c) électriquement isolée par rapport à la première électrode (13d), ladite deuxième électrode (13c) étant connectée électriquement à au moins une autre paroi de confinement lumineux (16) parmi la pluralité de parois de confinement lumineux (16), où ladite autre paroi de confinement lumineux (16) est isolée électriquement par rapport à la paroi de confinement lumineux en contact électrique avec la première électrode (13d) dudit élément lumineux (13).
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel au moins l’une des diodes électroluminescentes (15) d’au moins l’un des éléments lumineux (13) présente une forme tridimensionnelle filaire s’étendant selon un axe principal (18) orienté transversalement à la face de support (11a), la première électrode (13d) entourant au moins une portion supérieure (15a) de ladite diode électroluminescente (15) agencée du côté opposé à la face de support (11a) suivant l’axe principal (18).
- Dispositif optoélectronique (10) selon la revendication 4, dans lequel la première électrode (13d) est agencée au niveau d’une portion inférieure de la diode électroluminescente (15) située d’un côté opposé à la portion supérieure (15a) selon l’axe principal (18).
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la première électrode (13d) est formée dans un matériau électriquement conducteur et au moins partiellement transparent à la lumière émise par la partie active de la diode électroluminescente (15) en contact avec ladite première électrode (13d).
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel tout ou partie de la première électrode (13d) est recouverte, d’un côté opposé au support (11), par une portion d’espacement (19) formée sur la première électrode (13d), les parois de confinement lumineux (16) étant formées à travers ladite portion d’espacement (19) pour être en contact avec la première électrode (13d).
- Dispositif optoélectronique (10) selon la revendication 5, dans lequel un premier conducteur électrique (14) est formé sur une face supérieure de la portion d’espacement (19) agencée d’un côté opposé à la face de support (11a) selon l’axe principal (18) de sorte que le premier conducteur électrique (14) soit en contact électrique avec au moins l’une des parois de confinement lumineux (16).
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une des revendications 7 ou 8, dans lequel ladite portion d’espacement (19) est formée par une couche de passivation au moins en partie transparente vis-à-vis de la lumière émise par l’élément lumineux (13) autour duquel elle est agencée et isolante électriquement et/ou par une couche de conversion lumineuse apte à convertir au moins une première longueur d’onde de la lumière émise par l’élément lumineux (13), autour duquel elle est agencée, en une seconde longueur d’onde différente de la première longueur d’onde.
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel au moins l’une des parois de confinement lumineux (16) comprend une couche de conduction électrique (16a) caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m.
- Dispositif optoélectronique (10) selon la revendication 10, dans lequel la couche de conduction électrique (16a) est formée par au moins un élément appartenant au groupe comprenant l’argent, l’aluminium, un alliage de cuivre et d’argent, l’or, un alliage d’argent et d’or, un alliage d’or et d’aluminium, un alliage de tungstène et d’argent, un alliage de tungstène et d’aluminium.
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel le support (11) est formé dans un matériau différent d’un matériau cristallin.
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une des revendications 1 à 12, dans lequel au moins deux parois de confinement lumineux (16) appartenant à la pluralité de parois de confinement lumineux (16) sont connectées électriquement entre elles.
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, dans lequel les éléments lumineux (13) sont obtenus sur un support externe différent du support (11) préalablement à un transfert desdits éléments lumineux (13) vers le support (11).
- Dispositif optoélectronique (10) selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, comprenant une couche d’isolation électrique (17) agencée entre au moins une partie de la face de support (11) et tout ou partie de la première électrode (13d).
- Procédé de fabrication d’un dispositif optoélectronique (10) pour affichage lumineux, le procédé de fabrication comprenant les étapes suivantes :
a) fourniture d’un support (11) délimitant une face de support (11a) ;
b) formation d’au moins une première électrode (13d) recouvrant au moins une partie supérieure de ladite partie dopée agencée du côté opposé à la face support (11a) ;
c) formation d’une pluralité d’éléments lumineux (13) fixés à la face de support (11a), durant laquelle ladite au moins une première électrode (13d) est connectée électriquement à au moins l’un des éléments lumineux (13) formés et dans laquelle chaque élément lumineux (13) est électriquement connecté à ladite au moins une première électrode (13d) et comportant au moins une diode électroluminescente (15) ayant une partie active apte à émettre de la lumière lorsqu’un courant traverse la partie active et au moins une partie dopée agencée pour être en situation de contact électrique avec ladite au moins une première électrode (13d) ;
d) formation d’une pluralité de parois de confinement lumineux (16) dans laquelle chaque paroi de confinement lumineux (16) formée présente une aptitude à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par au moins un des éléments lumineux (13) et est agencée de sorte à entourer tout ou partie dudit au moins un des éléments lumineux (13) de sorte à réfléchir tout ou partie de la lumière émise par ledit au moins un élément lumineux (13), l’étape d) étant telle que tout ou partie d’au moins l’une des parois de confinement lumineux (16) de la pluralité de parois de confinement lumineux (16) a la faculté d’être électriquement conductrice et connectée directement à la première électrode (13d) d’au moins l’un des éléments lumineux (13) de ladite pluralité d’éléments lumineux (13). - Procédé de fabrication selon la revendication 16, comprenant l’étape suivante, mise en œuvre entre l’étape b) et l’étape d) :
e)formation d’une portion d’espacement (19) sur ladite au moins une première électrode (13d) formée à l’étape b) d’un côté opposé au support (11) ;
les parois de confinement lumineux (16) étant formées durant l’étape d) à travers la portion d’espacement (19) formée à l’étape e) et pour être en contact avec la première électrode (13d) formée à l’étape b). - Procédé de fabrication selon la revendication 17, dans lequel l’étape d) comprend au moins une étape de gravure dans laquelle la portion d’espacement (19) obtenue à l’étape e) subit une gravure contrôlée de sorte à arrêter ladite gravure lorsque la première électrode (13d) affleure.
- Procédé de fabrication selon la revendication 18, comprenant l’étape suivante :
f) formation d’une couche de conduction électrique (16a) dans la gravure résultant de l’étape d) ;
l’étape f) étant mise en œuvre de sorte que la couche de conduction électrique (16a) formée est en contact électrique avec la première électrode (13d) formée à l’étape b) et est caractérisée par une conductivité électrique supérieure à 106Siemens/m;
tout ou partie de l’étape f) étant mise en œuvre pendant l’étape d). - Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 18 ou 19, dans lequel l’étape d) comprend une étape de remplissage consistant à remplir tout ou partie de la gravure résultant de l’étape d) par un matériau électriquement conducteur.
- Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 16 à 20, dans lequel l’étape c) comprend une étape de fabrication déportée des éléments lumineux (13) dans laquelle les éléments lumineux (13) sont obtenus sur un support externe différent du support (11) puis transférés de sorte à être fixés sur la face de support (11a) du support (11).
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-
2021
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- 2021-05-31 WO PCT/FR2021/050978 patent/WO2021245344A1/fr unknown
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