FR3094484B1 - Dispositif résonateur - Google Patents

Dispositif résonateur Download PDF

Info

Publication number
FR3094484B1
FR3094484B1 FR1903408A FR1903408A FR3094484B1 FR 3094484 B1 FR3094484 B1 FR 3094484B1 FR 1903408 A FR1903408 A FR 1903408A FR 1903408 A FR1903408 A FR 1903408A FR 3094484 B1 FR3094484 B1 FR 3094484B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
resonators
resonator
resonator device
cavity
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
FR1903408A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3094484A1 (fr
Inventor
Sylvain Ballandras
Emilie Courjon
Florent Bernard
Alexandre Raveski
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Soitec SA
Original Assignee
Frecnsys SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Frecnsys SAS filed Critical Frecnsys SAS
Priority to FR1903408A priority Critical patent/FR3094484B1/fr
Priority to EP20710982.8A priority patent/EP3948195A1/fr
Priority to PCT/EP2020/057616 priority patent/WO2020200810A1/fr
Priority to CN202080025895.8A priority patent/CN113646617A/zh
Priority to US17/599,896 priority patent/US12085460B2/en
Priority to JP2021557480A priority patent/JP2022525814A/ja
Publication of FR3094484A1 publication Critical patent/FR3094484A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3094484B1 publication Critical patent/FR3094484B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
    • G01L1/165—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators with acoustic surface waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

L'invention concerne un dispositif résonateur pour mesurer une contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigité arrangée entre deux structures réfléchissantes sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que les au moins deux résonateurs sont arrangés et positionnés de sorte qu'ils ont deux directions de propagation d’onde différentes et que chaque résonateur comprend au moins deux parties avec la zone située entre les deux parties des au moins deux résonateurs formant une cavité, dans lequel la cavité est partagée par les au moins deux résonateurs. L'invention concerne également un dispositif capteur différentielle comprenant au moins un dispositif résonateur tel que décrit précédemment. Figure pour l’abrégé : Fig. 2a
FR1903408A 2019-03-29 2019-03-29 Dispositif résonateur Active FR3094484B1 (fr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1903408A FR3094484B1 (fr) 2019-03-29 2019-03-29 Dispositif résonateur
EP20710982.8A EP3948195A1 (fr) 2019-03-29 2020-03-19 Dispositif résonateur
PCT/EP2020/057616 WO2020200810A1 (fr) 2019-03-29 2020-03-19 Dispositif résonateur
CN202080025895.8A CN113646617A (zh) 2019-03-29 2020-03-19 谐振器设备
US17/599,896 US12085460B2 (en) 2019-03-29 2020-03-19 Resonator device for measuring stress including at least two resonators with shared cavity
JP2021557480A JP2022525814A (ja) 2019-03-29 2020-03-19 共振器デバイス

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1903408 2019-03-29
FR1903408A FR3094484B1 (fr) 2019-03-29 2019-03-29 Dispositif résonateur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3094484A1 FR3094484A1 (fr) 2020-10-02
FR3094484B1 true FR3094484B1 (fr) 2021-07-16

Family

ID=67384046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1903408A Active FR3094484B1 (fr) 2019-03-29 2019-03-29 Dispositif résonateur

Country Status (6)

Country Link
US (1) US12085460B2 (fr)
EP (1) EP3948195A1 (fr)
JP (1) JP2022525814A (fr)
CN (1) CN113646617A (fr)
FR (1) FR3094484B1 (fr)
WO (1) WO2020200810A1 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3114875B1 (fr) * 2020-10-01 2023-01-20 Frecnsys Dispositif à résonateurs
FR3120489B1 (fr) * 2021-03-03 2023-10-20 Frecnsys Dispositif capteur à ondes acoustiques à deux ports
CN114112102B (zh) * 2021-11-24 2024-06-18 之江实验室 一种具有线性输出特性的声表面波温度传感器及制备方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001067058A1 (fr) * 2000-03-10 2001-09-13 Siemens Aktiengesellschaft Procede et dispositif permettant de mesurer un moment s'appliquant a un composant
DE10054198A1 (de) * 2000-03-10 2001-09-13 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines an einem Bauteil wirkenden Moments
GB0124831D0 (en) * 2001-10-16 2001-12-05 Transense Technologies Plc Saw sensor with improved temperature stability
WO2003034013A1 (fr) * 2001-10-16 2003-04-24 Transense Technologies Plc Detecteur d'ondes acoustiques de surface a constantes elastiques de troisieme ordre
US8015886B2 (en) * 2004-08-16 2011-09-13 Transense Technologies Plc Torque measurement within a powertrain
US7165455B2 (en) * 2004-12-18 2007-01-23 Honeywell International Inc. Surface acoustic wave sensor methods and systems
US20070028700A1 (en) * 2005-08-08 2007-02-08 Liu James Z Acoustic wave torque sensor
US7791249B2 (en) * 2006-06-26 2010-09-07 Hines Jacqueline H Frequency coded sensors incorporating tapers
US7886575B2 (en) * 2006-11-01 2011-02-15 Delaware Capital Formation, Inc. High sensitivity acoustic wave microsensors based on stress effects
FR2917918B1 (fr) * 2007-06-19 2010-03-12 Senseor Resonateur a ondes de surface a resonance parasite reduite
CN103066945B (zh) * 2012-12-21 2015-11-04 中国科学院声学研究所 用于气体传感器的saw谐振型振荡器系统
CN104764902B (zh) * 2015-03-20 2017-07-07 中国科学院声学研究所 一种高灵敏度的声表面波加速度传感器
JP6558029B2 (ja) * 2015-04-01 2019-08-14 株式会社デンソー 弾性表面波素子およびそれを用いた物理量センサ
US10261078B2 (en) * 2015-08-17 2019-04-16 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Shear horizontal surface acoustic wave (SH-SAW) resonators and arrays thereof
CN106404247A (zh) * 2016-10-25 2017-02-15 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器
WO2018140011A1 (fr) * 2017-01-25 2018-08-02 Sandia Corporation Résonateurs à onde acoustique de surface horizontale de cisaillement (sh-saw) et réseaux de ceux-ci
KR102670208B1 (ko) * 2019-07-22 2024-05-28 엔지케이 인슐레이터 엘티디 접합체 및 탄성파 소자
FR3114875B1 (fr) * 2020-10-01 2023-01-20 Frecnsys Dispositif à résonateurs
FR3120488B1 (fr) * 2021-03-03 2023-09-15 Frecnsys Dispositif capteur a ondes acoustiques de surface
FR3120489B1 (fr) * 2021-03-03 2023-10-20 Frecnsys Dispositif capteur à ondes acoustiques à deux ports
KR20230083874A (ko) * 2021-12-03 2023-06-12 삼성전기주식회사 음향파 디바이스

Also Published As

Publication number Publication date
FR3094484A1 (fr) 2020-10-02
EP3948195A1 (fr) 2022-02-09
US12085460B2 (en) 2024-09-10
JP2022525814A (ja) 2022-05-19
US20220196490A1 (en) 2022-06-23
CN113646617A (zh) 2021-11-12
WO2020200810A1 (fr) 2020-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR3094484B1 (fr) Dispositif résonateur
FR3114875B1 (fr) Dispositif à résonateurs
US6087652A (en) Contactless acoustic sensing system with detector array scanning and self-calibration
ES2793505T3 (es) Módulo de medición, dispositivo de medición y procedimiento para la determinación de una característica de fluido
FR3045813B1 (fr) Dispositif et procede de mesure de hauteur en presence de couches minces
EP2518898A3 (fr) Dispositif électromécanique à ondes acoustiques comprenant une zone de transduction et une zone de propagation libre représentant une structure résonante
FR3079668B1 (fr) Dispositif d'onde acoustique de surface sur substrat composite
FR3120488B1 (fr) Dispositif capteur a ondes acoustiques de surface
FR2392545A1 (fr) Composant a ondes superficielles acoustiques notamment pour filtres acoustiques
DE59104090D1 (de) Ultraschallwandler für die laufzeitmessung von ultraschall-impulsen in einem gas.
FR2376419A1 (fr) Dispositif de visualisation en temps reel pour appareil d'echographie ultrasonore, utilisant un milieu d'interaction acousto-optique
FR2428349A1 (fr) Appareil selecteur de frequence
FR2650895A1 (fr) Capteur accelerometrique a poutres vibrant en flexion
CA2155702A1 (fr) Transducteur force-frequence a poutres vibrantes
JPH11211705A (ja) 液体の密度と粘度の分離測定方法及び装置
FR3100405B1 (fr) Capteur à ondes acoustiques différentiel
FR3120489B1 (fr) Dispositif capteur à ondes acoustiques à deux ports
FR2917918B1 (fr) Resonateur a ondes de surface a resonance parasite reduite
FR3088721B1 (fr) Capteur capacitif pour la spectroscopie photo-acoustique, dispositif et procédé mettant en œuvre un tel capteur.
JP2002209861A (ja) 超音波診断装置
FR3096781B1 (fr) système de mesure acoustique picoseconde à double faisceaux sondes
Shan et al. A conjugate optical confocal Fabry-Perot interferometer for enhanced ultrasound detection
US2592222A (en) Lens system for ultrasonic viewing of defects in objects
FR3117385B1 (fr) Dispositif pour nettoyer une surface optique
FR2428880A1 (fr) Dispositif de commande a ultra-sons

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20201002

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

TP Transmission of property

Owner name: SOITEC, FR

Effective date: 20230823

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6