FR3094484B1 - Dispositif résonateur - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un dispositif résonateur pour mesurer une contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigité arrangée entre deux structures réfléchissantes sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que les au moins deux résonateurs sont arrangés et positionnés de sorte qu'ils ont deux directions de propagation d’onde différentes et que chaque résonateur comprend au moins deux parties avec la zone située entre les deux parties des au moins deux résonateurs formant une cavité, dans lequel la cavité est partagée par les au moins deux résonateurs. L'invention concerne également un dispositif capteur différentielle comprenant au moins un dispositif résonateur tel que décrit précédemment. Figure pour l’abrégé : Fig. 2a
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1903408A FR3094484B1 (fr) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Dispositif résonateur |
EP20710982.8A EP3948195A1 (fr) | 2019-03-29 | 2020-03-19 | Dispositif résonateur |
PCT/EP2020/057616 WO2020200810A1 (fr) | 2019-03-29 | 2020-03-19 | Dispositif résonateur |
CN202080025895.8A CN113646617A (zh) | 2019-03-29 | 2020-03-19 | 谐振器设备 |
US17/599,896 US12085460B2 (en) | 2019-03-29 | 2020-03-19 | Resonator device for measuring stress including at least two resonators with shared cavity |
JP2021557480A JP2022525814A (ja) | 2019-03-29 | 2020-03-19 | 共振器デバイス |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1903408 | 2019-03-29 | ||
FR1903408A FR3094484B1 (fr) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Dispositif résonateur |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR3094484A1 FR3094484A1 (fr) | 2020-10-02 |
FR3094484B1 true FR3094484B1 (fr) | 2021-07-16 |
Family
ID=67384046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR1903408A Active FR3094484B1 (fr) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Dispositif résonateur |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US12085460B2 (fr) |
EP (1) | EP3948195A1 (fr) |
JP (1) | JP2022525814A (fr) |
CN (1) | CN113646617A (fr) |
FR (1) | FR3094484B1 (fr) |
WO (1) | WO2020200810A1 (fr) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3114875B1 (fr) * | 2020-10-01 | 2023-01-20 | Frecnsys | Dispositif à résonateurs |
FR3120489B1 (fr) * | 2021-03-03 | 2023-10-20 | Frecnsys | Dispositif capteur à ondes acoustiques à deux ports |
CN114112102B (zh) * | 2021-11-24 | 2024-06-18 | 之江实验室 | 一种具有线性输出特性的声表面波温度传感器及制备方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001067058A1 (fr) * | 2000-03-10 | 2001-09-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Procede et dispositif permettant de mesurer un moment s'appliquant a un composant |
DE10054198A1 (de) * | 2000-03-10 | 2001-09-13 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines an einem Bauteil wirkenden Moments |
GB0124831D0 (en) * | 2001-10-16 | 2001-12-05 | Transense Technologies Plc | Saw sensor with improved temperature stability |
WO2003034013A1 (fr) * | 2001-10-16 | 2003-04-24 | Transense Technologies Plc | Detecteur d'ondes acoustiques de surface a constantes elastiques de troisieme ordre |
US8015886B2 (en) * | 2004-08-16 | 2011-09-13 | Transense Technologies Plc | Torque measurement within a powertrain |
US7165455B2 (en) * | 2004-12-18 | 2007-01-23 | Honeywell International Inc. | Surface acoustic wave sensor methods and systems |
US20070028700A1 (en) * | 2005-08-08 | 2007-02-08 | Liu James Z | Acoustic wave torque sensor |
US7791249B2 (en) * | 2006-06-26 | 2010-09-07 | Hines Jacqueline H | Frequency coded sensors incorporating tapers |
US7886575B2 (en) * | 2006-11-01 | 2011-02-15 | Delaware Capital Formation, Inc. | High sensitivity acoustic wave microsensors based on stress effects |
FR2917918B1 (fr) * | 2007-06-19 | 2010-03-12 | Senseor | Resonateur a ondes de surface a resonance parasite reduite |
CN103066945B (zh) * | 2012-12-21 | 2015-11-04 | 中国科学院声学研究所 | 用于气体传感器的saw谐振型振荡器系统 |
CN104764902B (zh) * | 2015-03-20 | 2017-07-07 | 中国科学院声学研究所 | 一种高灵敏度的声表面波加速度传感器 |
JP6558029B2 (ja) * | 2015-04-01 | 2019-08-14 | 株式会社デンソー | 弾性表面波素子およびそれを用いた物理量センサ |
US10261078B2 (en) * | 2015-08-17 | 2019-04-16 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Shear horizontal surface acoustic wave (SH-SAW) resonators and arrays thereof |
CN106404247A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-02-15 | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 | 基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器 |
WO2018140011A1 (fr) * | 2017-01-25 | 2018-08-02 | Sandia Corporation | Résonateurs à onde acoustique de surface horizontale de cisaillement (sh-saw) et réseaux de ceux-ci |
KR102670208B1 (ko) * | 2019-07-22 | 2024-05-28 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 접합체 및 탄성파 소자 |
FR3114875B1 (fr) * | 2020-10-01 | 2023-01-20 | Frecnsys | Dispositif à résonateurs |
FR3120488B1 (fr) * | 2021-03-03 | 2023-09-15 | Frecnsys | Dispositif capteur a ondes acoustiques de surface |
FR3120489B1 (fr) * | 2021-03-03 | 2023-10-20 | Frecnsys | Dispositif capteur à ondes acoustiques à deux ports |
KR20230083874A (ko) * | 2021-12-03 | 2023-06-12 | 삼성전기주식회사 | 음향파 디바이스 |
-
2019
- 2019-03-29 FR FR1903408A patent/FR3094484B1/fr active Active
-
2020
- 2020-03-19 CN CN202080025895.8A patent/CN113646617A/zh active Pending
- 2020-03-19 EP EP20710982.8A patent/EP3948195A1/fr active Pending
- 2020-03-19 JP JP2021557480A patent/JP2022525814A/ja active Pending
- 2020-03-19 WO PCT/EP2020/057616 patent/WO2020200810A1/fr unknown
- 2020-03-19 US US17/599,896 patent/US12085460B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR3094484A1 (fr) | 2020-10-02 |
EP3948195A1 (fr) | 2022-02-09 |
US12085460B2 (en) | 2024-09-10 |
JP2022525814A (ja) | 2022-05-19 |
US20220196490A1 (en) | 2022-06-23 |
CN113646617A (zh) | 2021-11-12 |
WO2020200810A1 (fr) | 2020-10-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 2 |
|
PLSC | Publication of the preliminary search report |
Effective date: 20201002 |
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PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 3 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 4 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 5 |
|
TP | Transmission of property |
Owner name: SOITEC, FR Effective date: 20230823 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 6 |