FR3094484B1 - Dispositif résonateur - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un dispositif résonateur pour mesurer une contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigité arrangée entre deux structures réfléchissantes sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que les au moins deux résonateurs sont arrangés et positionnés de sorte qu'ils ont deux directions de propagation d’onde différentes et que chaque résonateur comprend au moins deux parties avec la zone située entre les deux parties des au moins deux résonateurs formant une cavité, dans lequel la cavité est partagée par les au moins deux résonateurs. L'invention concerne également un dispositif capteur différentielle comprenant au moins un dispositif résonateur tel que décrit précédemment. Figure pour l’abrégé : Fig. 2a
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