FR3091531B1 - Procédé d’auto-assemblage d’un copolymère à blocs à l’aide d’une couche de revêtement supérieur - Google Patents

Procédé d’auto-assemblage d’un copolymère à blocs à l’aide d’une couche de revêtement supérieur Download PDF

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Abstract

PROCÉDÉ D’AUTO-ASSEMBLAGE D’UN COPOLYMÈRE À BLOCS À L’AIDE D’UNE COUCHE DE REVÊTEMENT SUPÉRIEUR L’invention concerne un procédé d’auto-assemblage d’un copolymère à blocs, comprenant les étapes suivantes : déposer le copolymère à blocs sur un substrat (100) de façon à obtenir un film de copolymère, le copolymère à blocs comprenant une première phase de polymère contenant du carbone et une deuxième phase de polymère contenant du silicium, les première et deuxième phases de polymère présentant chacune un pourcentage atomique en oxygène inférieur à 1 % ; former une couche de revêtement supérieur (130) sur le film de copolymère, la couche de revêtement supérieur étant constituée d’un matériau polymère présentant un pourcentage atomique en oxygène supérieur ou égal à 5 % et une affinité chimique neutre par rapport au copolymère à bloc ; ordonner (S3) le film de copolymère par auto-assemblage du copolymère à blocs ; et graver la couche de revêtement supérieur (130) au moyen d’un plasma formé à partir de dihydrogène (H2). Figure à publier avec l’abrégé : Fig.1C
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