FR3090205B1 - Procede de fabrication d’un resonateur supraconducteur de type lc et resonateur supraconducteur ainsi obtenu - Google Patents

Procede de fabrication d’un resonateur supraconducteur de type lc et resonateur supraconducteur ainsi obtenu Download PDF

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Abstract

PROCEDE DE FABRICATION D’UN RESONATEUR SUPRACONDUCTEUR DE TYPE LC ET RESONATEUR SUPRACONDUCTEUR AINSI OBTENU Procédé de fabrication d’un résonateur supraconducteur de type LC et du type comprenant au moins un substrat (1) de haute résistivité sur lequel sont imprimés un méandre inductif (3), une première électrode dite inférieure (41) et une seconde électrode dite supérieure (40) agencée en regard de la première de manière à former ensembles une capacité (4) connectée en parallèle avec le méandre inductif (3), ainsi que des moyens de couplage inductif (2) dédiés audit résonateur, dans lequel on dépose une couche d’aluminium sacrificielle entre la première et la seconde électrode. Résonateur supraconducteur de type LC ainsi obtenu et application d’un tel résonateur à la détection du bruit d’un photon millimétrique. Figure pour l’abrégé : Fig.3
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