FR3039899B1 - Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique - Google Patents

Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique Download PDF

Info

Publication number
FR3039899B1
FR3039899B1 FR1557482A FR1557482A FR3039899B1 FR 3039899 B1 FR3039899 B1 FR 3039899B1 FR 1557482 A FR1557482 A FR 1557482A FR 1557482 A FR1557482 A FR 1557482A FR 3039899 B1 FR3039899 B1 FR 3039899B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
ion beam
analyzing
sample
analysis chamber
aperture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
FR1557482A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3039899A1 (fr
Inventor
Isabelle Zacharie-Aubrun
Eric Brochard
Smail Chahal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to FR1557482A priority Critical patent/FR3039899B1/fr
Priority to PCT/FR2016/052021 priority patent/WO2017021655A1/fr
Publication of FR3039899A1 publication Critical patent/FR3039899A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3039899B1 publication Critical patent/FR3039899B1/fr
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/16—Vessels; Containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02—Details
    • H01J2237/026—Shields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

L'invention concerne un procédé d'analyse d'un échantillon disposé dans une chambre d'analyse et soumis à un faisceau ionique focalisé, dans lequel on fixe de façon amovible, dans la chambre d'analyse, un organe de protection présentant une ouverture pour le passage du faisceau ionique et comportant une structure de collecte de particules pulvérisées qui s'étend autour de l'ouverture et à distance du point de focalisation du faisceau ionique
FR1557482A 2015-08-03 2015-08-03 Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique Expired - Fee Related FR3039899B1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1557482A FR3039899B1 (fr) 2015-08-03 2015-08-03 Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique
PCT/FR2016/052021 WO2017021655A1 (fr) 2015-08-03 2016-08-03 Procédé et dispositif d'analyse d'un échantillon par faisceau ionique

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1557482A FR3039899B1 (fr) 2015-08-03 2015-08-03 Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3039899A1 FR3039899A1 (fr) 2017-02-10
FR3039899B1 true FR3039899B1 (fr) 2022-02-04

Family

ID=55236460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1557482A Expired - Fee Related FR3039899B1 (fr) 2015-08-03 2015-08-03 Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique

Country Status (2)

Country Link
FR (1) FR3039899B1 (fr)
WO (1) WO2017021655A1 (fr)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5297787A (en) * 1976-02-13 1977-08-16 Hitachi Ltd Cold grap provided with getter effect
JPS56125650A (en) * 1980-03-07 1981-10-02 Hitachi Ltd Sample holding device
EP0155700B1 (fr) * 1984-03-22 1990-01-31 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Appareil de spectrométrie quantitative de masse des ions secondaires
JPH08250058A (ja) * 1995-03-08 1996-09-27 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
WO2017021655A1 (fr) 2017-02-09
FR3039899A1 (fr) 2017-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR3022998B1 (fr) Systeme et ensemble de cytometrie en flux, dispositif d’analyse comprenant un tel ensemble de cytometrie et ensemble comprenant un tel systeme de cytometrie
WO2016103834A8 (fr) Dispositif et procédé d'analyse par fluorescence de rayons x à incidence oblique
WO2016036246A3 (fr) Appareil d'inspection à faisceaux d'électrons multiples
EP2463889A3 (fr) Appareil à faisceau électronique, et dispositif détecteur
MA52428A (fr) Réacteur d'échange d'ions à piège à particules pour extraction de lithium
EP1477796A3 (fr) Système pour la mesure de diffusion de rayons-x à petits-angles avec un faisceau vertical pour analyse simplifié d'échantillons liquides
SE2050142A1 (en) Analyser arrangement for particle spectrometer
EP2477206A3 (fr) Dispositif de faisceau à particules et procédé pour le traitement et/ou l'analyse d'un échantillon
EA201791888A1 (ru) Устройство и способ тестирования и проверки целостности контейнера
FR3043351B1 (fr) Procede et dispositif de controle du serrage d'un assemblage par une fixation filetee
EP2950324A8 (fr) Appareil optique à particules chargées ayant un module de pression différentielle pouvant être positionné sélectivement
FR3015728B1 (fr) Procede de validation destine a valider qu'un element est recouvert d'une vraie peau
EA201490978A1 (ru) Установка ионной имплантации и способ имплантации ионов
WO2021110799A3 (fr) Procédés et dispositif d'analyse d'échantillons de tissu
IT201800009753A1 (it) Dispositivo e metodo per l'analisi spettroscopica di luce diffusa
FR3039899B1 (fr) Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par faisceau ionique
MX2017016773A (es) Analisis de gases.
BR112018069889A2 (pt) microfluídicos para detecção de analito com base na luz para propriedades de conversão de calor de nanopartículas metálicas
WO2017078504A3 (fr) Dispositif d'analyse de gaz de transformation
WO2019096340A3 (fr) Dispositif d'analyse in situ d'excréments, procédé de commande d'un tel dispositif, agencement constitué d'une toilette et d'un tel dispositif et porte-échantillon
WO2014169072A3 (fr) Trousses et procédés pour séparer un analyte cible à partir d'une suspension
EP2355125A3 (fr) Dispositif de faisceau à particules et procédé de fonctionnement d'un dispositif de faisceau à particules
WO2017060385A9 (fr) Instrument de microscope à fluorescence comprenant un séparateur de trajet de faisceau activement commuté
US10209196B2 (en) LIBS analysis system and method for liquids
EP3803321A4 (fr) Dispositifs et procédés de collecte et de stockage d'échantillons de fluide pour analyse

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20170210

ST Notification of lapse

Effective date: 20180430

RN Application for restoration

Effective date: 20181016

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 7

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 8

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 9