FR2986977B1 - Procede de production de sulfate de cuivre - Google Patents

Procede de production de sulfate de cuivre

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Abstract

L'invention concerne un procédé d'obtention d'une solution de sulfate de cuivre, notamment de sulfate de cuivre ultra pur, du type utilisé pour la réalisation des connexions en cuivre au travers d'une couche de matériau diélectrique (TSV) ou pour la réalisation d'interconnexions des circuits intégrés par le biais du procédé damascène. Le procédé selon l'invention se caractérise en ce qu'il comprend une étape d'électrodialyse mise en oeuvre dans une cuve d'électrodialyse comportant deux compartiments séparés par une membrane échangeuse d'anions, l'un anodique comportant une anode de cuivre et l'autre cathodique comportant une cathode de cuivre, les compartiments étant remplis d'une solution d'acide sulfurique ultra pur en tant qu'électrolyte, ledit procédé comportant les étapes consistant à : a) disposer une plaque de cuivre en tant qu'anode de cuivre dans ledit bac d'électrodialyse, b) créer un champ électrique entre l'anode et la cathode de manière à former une solution de sulfate de cuivre par dissolution de ladite anode, et c) après dissolution de ladite anode, récupérer la solution de sulfate de cuivre, d) remplacer ladite anode dissolue par une nouvelle anode, puis e) recommencer les étapes b) à e).
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