FR2962065A1 - Mecanisme etanche de transmission de mouvements pour enceinte confinee et enceinte pourvue d'un tel mecanisme. - Google Patents

Abstract

Mécanisme étanche (13) de transmission pour transmettre au moins deux mouvements de rotation à travers une enceinte confinée (1) dotée d'une ouverture (8). Le mécanisme comprend une enveloppe étanche (32) définissant un volume intérieur (31) et comportant un raccord (14) adapté pour raccorder de façon étanche ledit volume intérieur à l'ouverture (8) de l'enceinte ; des premier et deuxième arbres (20, 24) s'étendant depuis le volume intérieur de l'enveloppe, traversant ledit raccord (14) et aptes à transmettre un couple de torsion, le premier arbre étant flexible ; des premier et deuxième mécanismes transmission (18, 19) adaptés pour entraîner respectivement les premier et deuxième arbres en rotation depuis l'extérieur de l'enveloppe.

Description

MECANISME ETANCHE DE TRANSMISSION DE MOUVEMENTS POUR ENCEINTE CONFINEE ET ENCEINTE POURVUE D'UN TEL MECANISME. DOMAINE DE L'INVENTION L'invention concerne le domaine des mécanismes étanches de transmission pour enceinte confinée, le domaine des porte-échantillons et des bras manipulateurs d'échantillons pour de telles enceintes, notamment des enceintes sous vide et plus particulièrement des enceintes à ultravide.

ETAT DE LA TECHNIQUE Le dépôt d'une couche mince de matériau sur un substrat se fait classiquement sous vide pour éviter que le matériau déposé soit souillé d'impuretés perturbant les caractéristiques de la couche déposée.

L'abaissement de la pression de l'enceinte depuis la pression atmosphérique jusqu'à un niveau de vide suffisant est un processus long qui peut mettre jusqu'à plusieurs jours. Pour réduire ce temps, les enceintes à vide sont de petite dimension. Or, de nombreux équipements sont raccordés à l'enceinte pour permettre toutes les étapes du processus de fabrication des substrats sans avoir à ouvrir l'enceinte confinée. Par exemple, des actionneurs prennent l'échantillon à traiter depuis un sas et viennent le fixer dans un porte-échantillon. Le porte-échantillon est lui-même manoeuvrable par un ou plusieurs bras manipulateurs. Ce ou ces bras manipulateurs doivent pouvoir positionner l'échantillon à l'emplacement et suivant l'inclinaison souhaités par rapport au flux d'atomes ou de particules arrivant sur l'échantillon pour y être déposés. OBJETS ET RESUME DE L'INVENTION Ainsi, un besoin existe d'un mécanisme étanche de transmission de mouvement qui soit apte à transmettre plusieurs mouvements depuis l'extérieur de l'enceinte confinée (enceinte à vide, enceinte sous pression ou autre) vers un objet situé à l'intérieur de l'enceinte, et ce sans nécessiter un encombrement important. A cet effet, l'invention propose un mécanisme étanche de transmission pour transmettre au moins deux mouvements de rotation à travers une enceinte confinée dotée d'une ouverture, ce mécanisme comprenant . - une enveloppe étanche définissant un volume intérieur et comportant un raccord adapté pour raccorder de façon étanche ledit volume intérieur à l'ouverture de l'enceinte, - des premier et deuxième arbres s'étendant depuis le volume intérieur de l'enveloppe, traversant ledit raccord et aptes à transmettre un couple de torsion, le premier arbre étant flexible, - des premier et deuxième dispositifs de transmission adaptés pour entraîner respectivement les premier et deuxième arbres en rotation depuis l'extérieur de l'enveloppe. On comprend qu'un tel mécanisme permet de déporter hors de l'enceinte, les premier et deuxième dispositifs de transmission, qui sont des dispositifs de traversée monovoie relativement volumineux. Le mécanisme transmettant les deux mouvements de rotation à travers une unique ouverture, il est plus compact que deux mécanismes traditionnels monovoie qui traverseraient chacun l'enceinte par une ouverture distincte. De plus, l'arbre flexible permet que le mouvement de rotation transmis puisse être entraîné en continu sans être limité par un secteur angulaire. On entend par arbre flexible un solide allongé le long d'une trajectoire pouvant être curviligne présentant une raideur élevée pour une torsion axiale entre les deux extrémités du solide et présentant une grande souplesse pour une flexion de ladite trajectoire. Autrement dit, l'arbre flexible assure la fonction mécanique d'une ou plusieurs paires de cardans tout en ayant l'encombrement d'un câble. Avantageusement, le deuxième arbre est rigide. Ainsi, l'objet à l'intérieur de l'enceinte, tel qu'un porte-échantillon, auquel on veut transmettre les deux mouvements de rotation, peut être fixé directement sur l'arbre rigide. Selon un mode de réalisation, le deuxième arbre présente une portion de traversée par laquelle ledit deuxième arbre traverse le raccord, le deuxième arbre présentant, au moins dans la portion de traversée, un alésage de guidage recevant le premier arbre. L'alésage de guidage permet à l'arbre flexible de rester aligné le long d'une trajectoire prédéterminée, sans se vrier sur lui-même lorsqu'il est soumis à un couple de torsion. Avantageusement, la portion de traversée du deuxième arbre et l'alésage de guidage sont cylindriques de révolution et présentent des axes parallèles, de préférence confondus. Cela améliore la compacité du mécanisme à l'endroit où il traverse l'ouverture. Cela permet de faire passer le mécanisme à travers une ouverture de taille réduite (par exemple, à titre purement illustratif, à travers une ouverture standardisée CF63). Selon un mode de réalisation, le moyen de raccordement à l'enceinte est conçu pour que le volume intérieur communique par l'ouverture avec un volume intérieur de l'enceinte, pour former un volume continu et fermé. Ainsi, l'enveloppe prolonge le volume intérieur de l'enceinte. Avantageusement, l'enveloppe épouse au plus près la forme extérieure englobant l'arbre rigide et l'arbre flexible de manière à réduire le volume intérieur de l'enveloppe pour lequel l'éventuel ultravide doit être réalisé en même temps que pour le volume intérieur de l'enceinte. Selon une variante, au moins un des premier et deuxième dispositifs de transmission est fixé sur une partie rigide 35 de l'enveloppe étanche.

Avantageusement, l'enveloppe étanche présente un soufflet déformable sensiblement cylindrique raccordant de façon étanche la partie rigide de l'enveloppe audit raccord, le mécanisme étant équipé en outre d'un moyen d'entraînement en translation de la partie rigide de l'enveloppe par rapport audit raccord. Cela permet de déplacer, selon un, deux, ou trois mouvements de translation, l'ensemble du mécanisme de transmission. Ainsi, le porte-échantillon est animé d'au moins cinq degrés de liberté à travers une ouverture de taille réduite. Le soufflet peut être de type à paroi métallique en accordéon pour supporter un vide intérieur tout en étant flexible latéralement et en longueur.

Selon un mode de réalisation, au moins l'un des premier et deuxième mécanismes de transmission est pris dans une liste comprenant un mécanisme à transmission magnétique, un mécanisme à manchon métallique déformable, et un mécanisme à paliers successifs pompés sous vide.

Selon un autre aspect, l'invention porte sur un système pour déposer sous vide du matériau sur un substrat. Le système comprend un mécanisme étanche de transmission précité, un porte échantillon manoeuvré par le mécanisme de transmission, une enceinte confinée présentant une ouverture sur laquelle est fixée le mécanisme étanche de transmission et une pompe à vide. Avantageusement, le porte-échantillon comprend un support principal monté sur le deuxième arbre et entraîné en rotation autour d'un axe de rotation principal et un support d'échantillons monté à rotation dans le support principal selon un axe de rotation azimutal séquent à l'axe de rotation principal. Avantageusement, le support d'échantillons est entraîné en rotation via un mécanisme de renvoi d'angle par un arbre 35 d'entraînement raccordé à l'arbre flexible.

Avantageusement, l'arbre d'entraînement est déporté parallèlement à l'axe de rotation principal. Selon un autre aspect, l'invention porte sur un porte-échantillon pour enceinte confinée, destiné à être entraîné par un mécanisme étanche de transmission d'au moins un premier et un deuxième mouvements de rotation, comprenant un support principal destiné à être entraîné par le premier mouvement de rotation autour d'un axe de rotation principal et un support d'échantillons monté à rotation dans le support principal selon un axe de rotation azimutal séquent à l'axe de rotation principal. Le support d'échantillons est entraîné en rotation via un mécanisme de renvoi d'angle par un arbre d'entraînement qui est déporté parallèlement à l'axe de rotation principal et destiné à être entraîné par le deuxième mouvement de rotation. On comprend qu'un tel porte-échantillon peut être introduit à l'intérieur de l'enceinte pour être raccordé de manière simple au mécanisme de transmission des deux mouvements de rotation qui viennent de l'extérieur de l'enceinte. En effet, l'arbre d'entraînement du deuxième mouvement de rotation étant parallèle à l'axe de rotation principal du porte-échantillon, un simple encliquetage axial permet le raccordement mécanique des deux mouvements. Cela permet de n'avoir pas besoin de faire passer le porte- échantillon par l'ouverture dédiée au mécanisme de transmission de mouvements. Cela permet une ouverture de taille réduite. L'enceinte nécessaire est plus petite et donc plus rapide à mettre sous ultravide. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La présente invention sera mieux comprise à l'étude de la description détaillée de quelques modes de réalisation pris à titre d'exemples nullement limitatifs et illustrés par les dessins annexés sur lesquels : - la figure 1 illustre une utilisation de l'invention 35 pour un porte-échantillon dans une enceinte confinée, - la figure 2 est une vue en perspective d'un manipulateur d'échantillons selon l'invention, comprenant un mode de réalisation d'un porte-échantillon de l'invention, et un mode de réalisation d'un mécanisme de transmission de mouvements de rotation selon l'invention, - la figure 3 est une perspective coupée longitudinalement du manipulateur d'échantillons de la figure 2, - la figure 4 est une illustration en coupe 10 longitudinale du manipulateur d'échantillons, et - la figure 5 est une coupe de détail de l'arbre rigide selon le plan V-V de la figure 4. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Comme illustré en figure 1, une enceinte confinée 1 15 comprend, dans un volume intérieur 2, un porte-échantillon 3 et un générateur de particules 4 émettant un faisceau de particules 5 dirigé sur un échantillon 6 comportant un substrat porté par le porte-échantillon 3. Le faisceau de particules en question est un flux d'atomes ou 20 autres particules qui sont émis par le générateur de particules pour se déposer sous forme de couche mince sur le substrat de l'échantillon 6. L'émission de ce flux d'atomes ou autres particules par le générateur de particules peut être obtenue par tout moyen connu, par 25 exemple par bombardement électronique et / ou chauffage d'une masse constituée par les atomes ou autres particules à déposer. Le porte-échantillon 3 est destiné à être manoeuvré par un bras 7 (illustré aux figures 2 à 4) passant à travers 30 une ouverture 8 de l'enceinte 1. L'enceinte 1 est étanche et pourvue d'une pompe à vide (non représentée) de manière que l'on puisse faire le vide dans le volume intérieur 2. Un niveau d'ultravide peut être requis par exemple pour procéder à des dépôts de couches 35 minces, par exemple pour fabriquer des méta-matériaux optiques ou autres. On entend par ultravide des pressions de l'ordre de 10-11 MPa. Les enceintes ultravides sont équipées d'ouvertures circulaires standardisées appelées par exemple CF40, CF63 selon le diamètre des brides permettant le raccordement étanche, ou hermétique aux ouvertures de l'enceinte. Le porte-échantillon 3 comprend un support principal 9 en forme de L présentant un côté 9a équipé d'un alésage de fixation 11 définissant un axe de rotation principal (Oy), et un côté 9b recevant un support d'échantillons 10. Le support d'échantillons 10 présente une platine 10a sur laquelle est immobilisé l'échantillon 6 à traiter et est monté à rotation sur le côté 9b du support principal 9 autour d'un axe de rotation azimutal (Ou), perpendiculaire à une surface de dépôt 6a de l'échantillon 6. Ainsi, au cours de la rotation du support d'échantillons 10, la surface de dépôt 6a de l'échantillon tourne sur elle-même autour d'un point O. L'alésage de fixation 11 du support principal 9 est disposé de manière que l'axe de rotation principal (Oy) soit séquent avec l'axe de rotation azimutal (Ou) et qu'en plus, le point d'intersection 0 des deux axes de rotation soit situé sur la surface de dépôt 6a de l'échantillon 6. Cette double coïncidence permet de faire varier de manière indépendante l'un de l'autre l'angle d'incidence OE du faisceau 5 et son angle d'azimut R. En effet, le bras de manipulation 7 amène le porte-échantillon 3 dans une position, à l'intérieur de l'enceinte 1, telle que le faisceau 5 impacte l'échantillon 6 audit point 0 de la surface de dépôt 6a. Ainsi, le réglage de la position du porte-échantillon 3 autour de l'axe de rotation (Oy) permet de régler l'angle d'incidence OE du faisceau 5 sur l'échantillon 6 sans modifier le point 0 d'impact sur l'échantillon 6. De plus, la rotation du support d'échantillons 10 autour de l'axe (Ou) permet de ne pas modifier le point 0 d'impact sur l'échantillon 6, ni l'angle d'incidence OE, mais de faire varier l'angle d'azimut du faisceau 5 par rapport à l'échantillon 6. Une telle indépendance de réglage entre les angles d'incidence OE et d'azimut est particulièrement utile pour maîtriser la croissance de couches germinatives et/ou pour générer des nanostructures en forme de spirales ou d'hélices à la surface du substrat, structures qui peuvent servir de résonateurs par exemple pour certaines ondes électromagnétiques (dans les longueurs d'ondes optiques ou autres). On va maintenant décrire, à l'aide de la figure 2, un mode de réalisation d'un manipulateur 12 d'échantillons pour l'enceinte confinée 1, qui comprend le porte- échantillon 3 décrit ci-dessus, et un mécanisme 13 de transmission de mouvements selon cinq degrés de liberté. Le mécanisme 13 de transmission comprend un raccord 14 destiné à être raccordé de manière étanche à une bride d'ouverture standardisée de l'ouverture 8 de l'enceinte 1.

Le raccord 14 peut être une bague circulaire. Le mécanisme de transmission 13 comprend un dispositif de réglage 15 d'une bride 16 intermédiaire par rapport au raccord 14. Le dispositif 15 de réglage présente trois dispositifs 15a, 15b, 15c d'entraînement en translation sans jeu, montés mécaniquement en série l'un sur l'autre et aptes à déplacer la bride intermédiaire 16 par rapport au raccord 14 selon les directions respectivement Ay, Ax et Az. Le mécanisme de transmission 13 comprend, en outre, une enveloppe rigide 17 montée rigidement à la bride intermédiaire 16. Un soufflet déformable 30 relie de manière étanche l'enveloppe rigide 17 au raccord 14. L'enveloppe rigide 17 présente un tube principal 17a et une dérivation latérale 17b. Un premier dispositif de transmission 18 est disposé à l'extrémité de la dérivation 17b. Un deuxième dispositif de transmission 19 est disposé à l'extrémité du tube principal 17a. Les dispositifs de transmission 18, 19 sont aptes à entraîner en rotation un arbre intérieur à l'enveloppe rigide 17, depuis l'extérieur de ladite enveloppe rigide 17. Autrement dit, ce sont des dispositifs monovoie de transmission étanche de rotation. Le bras 7 sur lequel est monté le support principal est monté à rotation dans le tube principal 17a et entraîné en rotation par le deuxième dispositif 19 monovoie de transmission étanche de rotation. Un arbre flexible 20 est entraîné par le premier mécanisme monovoie de translation 18. On comprend que l'échantillon 6 peut ainsi être entraîné en mouvement selon chacun des cinq degrés de liberté de manière indépendante l'un de l'autre par, respectivement, les trois dispositifs d'entraînement monovoie en translation 15a, 15b, 15c et les deux dispositifs monovoie d'entraînement en translation 18, 19. On va maintenant décrire plus en détails le porte-échantillon 3.

Le porte-échantillon 3 comprend un arbre d'entraînement 21 monté à rotation dans le support principal 9, et un dispositif de renvoi d'angle 22 comprenant une première roue d'engrenage montée sur l'arbre d'entraînement 21 et une deuxième roue d'engrenage montée sur le support d'échantillons 10. L'axe de rotation de l'arbre d'entraînement 21 est déporté parallèlement par rapport à l'axe de rotation principal (Oy) dans le demi-plan contenant l'axe de rotation azimutal (Ou) du côté opposé à l'impact du faisceau 5. Cela permet d'entourer le porte-échantillon 3 d'un carénage 23 (illustré en figure 4). Le carénage 23 permet de protéger l'ensemble du mécanisme de renvoi d'angle 22 et d'arbre d'entraînement 21 contre d'éventuels résidus projetés par l'action du faisceau 5 contre l'échantillon 6.

On va, à l'aide des figures 3 et 4, décrire l'intérieur du mécanisme de transmission 13. L'enveloppe rigide 17 et le soufflet déformable 30 constituent ensembles une enveloppe 32 raccordée à l'enceinte 1 par le raccord 14 et l'ouverture 8. Un volume intérieur 31 à l'enveloppe 32 communique avec le volume intérieur 2 de l'enceinte 1 pour former un volume continu et fermé de manière étanche dans lequel on peut faire le vide, voir l'ultravide. Le bras 7 sur lequel est monté le support principal 9 du porte-échantillon 3 est constitué par un arbre rigide 24 monté à rotation dans le tube principal 17a de l'enveloppe rigide 17 grâce à des paliers à roulements 52a, 52b ou à tous autres types de guidage en rotation compatibles avec un environnement ultravide. Grâce au dispositif 15 de réglage en translation trois axes et au soufflet 30, l'arbre rigide 24 peut être translaté parallèlement à lui-même soit par un déport axial ou par un déport radial par rapport au raccord 14 de raccordement du mécanisme 13 de transmission à l'ouverture 8 de l'enceinte 1.

L'arbre rigide 24 comprend un alésage 25 concentrique avec l'axe (Oy) et servant de guidage à une portion sensiblement rectiligne 40 de l'arbre flexible 20. La trajectoire 20a de l'arbre flexible 20 présente une première zone de flexion 26 à la sortie d'alésage 25 située à proximité de la dérivation 17b de l'enveloppe rigide 17. Le premier dispositif de transmission 18 comprend un arbre intermédiaire 27 monté à rotation dans la dérivation 17b de l'enveloppe rigide 17 par un palier 27a, par exemple du type roulement à aiguille. L'arbre intermédiaire 27 et le palier 27a sont situés dans le volume intérieur 31 de l'enveloppe 32 et sont donc dans un environnement ultravide en fonctionnement. Le mécanisme monovoie de transmission 18, qui comprend une portion 28 à l'extérieur de l'enveloppe 32, est conçu pour entraîner l'arbre intermédiaire 27 à travers l'enveloppe 32.

De manière avantageuse, un moteur d'entraînement 29 tel qu'un moteur pas à pas permet d'entraîner la portion extérieure 28 et l'arbre intermédiaire 27 du mécanisme de transmission 18.

L'arbre flexible 20 est fixé par son extrémité à l'arbre intermédiaire 27. L'arbre intermédiaire 27 est suffisamment proche de l'alésage 25 de l'arbre rigide 24 pour que l'arbre flexible 20 ne puisse pas se vrier sur lui-même dans la première zone de flexion 26. Ainsi, la rotation de l'arbre intermédiaire 27 est transmise à la portion sensiblement rectiligne 40 de l'arbre flexible 20. Le deuxième dispositif de transmission 19 présente également une portion 50 située à l'extérieur de l'enveloppe 32 et qui est conçue pour entraîner l'extrémité 51 de l'arbre rigide 24 à travers l'enveloppe 32. L'enveloppe 32 épouse au plus près les formes extérieures de l'arbre rigide 24, des paliers de guidage 52a, 52b de l'arbre rigide 24, de l'arbre intermédiaire 27 du mécanisme 18, et de son palier à aiguille 27a, de manière que le volume intérieur 31 de l'enveloppe 32 qui vient se rajouter au volume intérieur 2 de l'enceinte 1, soit le plus réduit possible. L'arbre flexible 20 comprend également, mais de manière non obligatoire, une deuxième zone de flexion 41 ayant la forme d'un S et permettant de raccorder l'arbre flexible 20 à l'arbre d'entraînement 21. La longueur de la trajectoire 20a de l'arbre flexible 20 le long de cette deuxième zone de flexion 41 est suffisamment réduite pour que l'arbre flexible 20 ne puisse pas se vrier sur lui-même lorsqu'il est soumis à un couple de torsion. Le fait que l'arbre d'entraînement 21 soit sensiblement parallèle à l'axe de rotation principal (Oy) facilite grandement l'assemblage du manipulateur 12. En effet, il suffit de disposer l'extrémité 42 de l'arbre flexible 20 en face d'un orifice 43 et du support principal 9 du porte- échantillon 3, puis de pousser axialement le porte-échantillon 3 pour que de manière simultanée, l'extrémité 42 de l'arbre flexible 20 s'insère sur l'arbre d'entraînement 21 pendant que l'alésage 11 de fixation s'insère sur l'extrémité correspondante de l'arbre rigide 24. On va maintenant décrire à l'aide de la figure 5 la manière dont l'arbre rigide 24 peut tourner alors que la dérivation 17b de l'enveloppe rigide 17 est fixe. L'arbre rigide 24 présente un évidemment latéral 60 éliminant plus de la moitié de l'arbre rigide 24 dans la zone axiale correspondant à la première zone de flexion 26 de l'arbre flexible 20. Avantageusement, un renflement 61 de la portion non évidée de l'arbre rigide 24 permet de renforcer la résistance mécanique de l'arbre rigide 24. Pour des raisons de facilités d'obtention de l'alésage 25, il est possible que celui-ci soit constitué par une demi-coquille 62 fixée par exemple par vis sur une partie principale 63 de l'arbre rigide 24. La partie principale 63 de l'arbre rigide 24 comprend un demi-alésage 25, le renforcement latéral 61 et l'extrémité 51 du deuxième mécanisme monovoie 19 de transmission de rotation. Comme illustré en figure 5, on comprend que la rotation de l'arbre rigide 24 est ainsi d'au moins plus ou moins 90° par rapport à une position moyenne, ce qui est amplement suffisant pour régler l'angle d'incidence du faisceau 5 par rapport à l'échantillon 6. Dans une variante, le manipulateur 12 comprend le mécanisme de transmission 13 tel que décrit, sur lequel on peut venir fixer un porte-échantillon ne comprenant pas de mécanisme de renvoi d'angle 22. Dans ce cas, la deuxième zone de flexion de l'arbre flexible 20 présente une forme globale ressemblant à une faucille de manière à raccorder directement le support d'échantillons 10 à l'arbre flexible 20.

Dans une autre variante, le porte-échantillon raccordé au mécanisme de transmission 13 peut ne pas présenter d'arbre d'entraînement 21 déporté parallèlement par rapport à l'axe de rotation principal (Oy). Dans cette variante, un système d'engrenage permet de récupérer la rotation de l'arbre flexible 20 situé dans l'axe de rotation principal (Oy) pour entraîner la rotation du support d'échantillons 10 selon un axe perpendiculaire (Ou). Dans une autre variante, l'alésage 25 de l'arbre rigide 24 peut n'être pas concentrique à l'alésage de fixation 11 du porte-échantillon 3, ou bien n'être pas concentrique à l'axe de rotation principal (Oy) défini par les paliers 52a, 52b de l'arbre rigide 24. Dans une variante, l'arbre flexible 20 présente une gaine extérieure souple dans la première zone de flexion 26 et éventuellement dans la deuxième zone de flexion 41 et présente une âme rigide dans la portion 40 sensiblement rectiligne. Cette variante présente l'avantage d'augmenter très notablement la raideur de l'arbre flexible 20 lorsqu'il est soumis à un couple de torsion.

Claims (11)

1. REVENDICATIONS1. Mécanisme étanche (13) de transmission pour transmettre au moins deux mouvements de rotation à travers une enceinte confinée (1) dotée d'une ouverture (8), caractérisé en ce qu'il comprend : - une enveloppe étanche (32) définissant un volume intérieur (31) et comportant un raccord (14) adapté pour raccorder de façon étanche ledit volume intérieur à l'ouverture (8) de l'enceinte, - des premier et deuxième arbres (20, 24) s'étendant depuis le volume intérieur de l'enveloppe, traversant ledit raccord (14) et aptes à transmettre un couple de torsion, le premier arbre étant flexible, - des premier et deuxième dispositifs de transmission (18, 19) adaptés pour entraîner respectivement les premier et deuxième arbres en rotation depuis l'extérieur de l'enveloppe.
2. 2. Mécanisme selon la revendication 1, dans lequel le 20 deuxième arbre (24) est rigide.
3. 3. Mécanisme selon la revendication 2, dans lequel le deuxième arbre (24) présente une portion de traversée par laquelle ledit deuxième arbre traverse le raccord (14), le deuxième arbre (24) présentant, au moins dans la portion de 25 traversée, un alésage de guidage (25) recevant le premier arbre (20).
4. 4. Mécanisme selon la revendication 3, dans lequel la portion de traversée du deuxième arbre et l'alésage (25) de guidage sont cylindriques de révolution et présentent des 30 axes parallèles, de préférence confondus.
5. 5. Mécanisme selon l'une des revendications précédentes, dans lequel au moins un des premier et deuxième dispositifs de transmission (18, 19) est fixé sur une partie rigide (17) de l'enveloppe étanche (32).
6. 6. Mécanisme selon la revendication 5, dans lequel l'enveloppe étanche (32) présente un soufflet déformable (30) sensiblement cylindrique raccordant de façon étanche la partie rigide (17) de l'enveloppe (32) audit raccord (14), le mécanisme étant équipé en outre d'un moyen d'entraînement en translation (15) de la partie rigide (17) de l'enveloppe (32) par rapport audit raccord (14).
7. 7. Mécanisme (13) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel au moins l'un des premier et deuxième mécanismes (18, 19) de transmission est pris dans une liste comprenant un mécanisme à transmission magnétique, un mécanisme à manchon métallique déformable, et un mécanisme à paliers successifs pompés sous vide.
8. 8. Système pour déposer sous vide du matériau sur un substrat, comprenant un mécanisme étanche de transmission (13) selon l'une des revendications précédentes, un porte échantillon (3) manoeuvré par le mécanisme de transmission, une enceinte (1) confinée présentant une ouverture (8) sur laquelle est fixée le mécanisme étanche de transmission et une pompe à vide.
9. 9. Système selon la revendication 8, dans lequel le porte-échantillon (3) comprend un support principal (9) monté sur le deuxième arbre et entraîné en rotation autour d'un axe (Oy) de rotation principal et un support d'échantillons (10) monté à rotation dans le support principal (9) selon un axe de rotation azimutal (Ou) séquent à l'axe de rotation principal (Oy).
10. 10. Système selon la revendication 9, dans lequel le support d'échantillons (10) est entraîné en rotation via un mécanisme (22) de renvoi d'angle par un arbre d'entraînement (21) raccordé à l'arbre flexible.
11. 11. Système selon la revendication 10, dans lequel arbre d'entraînement (21) est déporté parallèlement à l'axe 35 de rotation principal (Oy).