FR2890748A1 - Micro capteur apte a detecter et a compter des chocs ou des accelerations/decelerations. - Google Patents

Abstract

La présente invention concerne le domaine des micro capteurs et à plus particulièrement pour objet un micro capteur apte à détecter et à compter des chocs ou des accélérations/déccélérations, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens passifs (13) de comptage desdits chocs.

Description

La présente invention concerne le domaine des micro capteurs et a plus

particulièrement pour objet un micro capteur apte à détecter des évènements mécaniques tels des chocs ou des accélérations et à les compter.

L'apparition d'un choc inopiné sur une structure, un élément de structure, un système embarqué (électronique notamment) ou même un équipement (munition, arme etc.) peut avoir des conséquences graves sur l'intégrité et la sûreté de fonctionnement des systèmes d'arme. Dans d'autres cas, le choc est inhérent au mode de fonctionnement du système (armes), il est alors intéressant de détecter et de compter l'occurrence du phénomène car il est directement lié à la durée de vie du io système. Enfin, le choc peut être induit par la mise en oeuvre d'un sous-système comme un système pyrotechnique. Dans ce cas, il est important d'être en mesure de déterminer si un seuil critique d'intensité de choc a été ou non atteint au niveau de systèmes embarqués.

Toutefois, on souhaite généralement utiliser des capteurs de petite taille afin 15 de ne pas alourdir ou gêner le fonctionnement du système.

Il est connu d'utiliser des micro capteurs, dont la taille est inférieure ou de l'ordre du mm ou de quelques mm. On connaît notamment, dans le domaine de la détection des chocs, des micro systèmes électromécaniques (MEMs) utilisés, entre autre, pour le déclenchement des airbags des véhicules ou dans le domaine biomédical.

Ainsi, la demande de brevet US20020184949 décrit un micro capteur électromécanique comportant un support sur lequel sont montées deux électrodes disposées de part et d'autre d'un bras de levier flexible solidaire à l'une de ses extrémités du support et à l'autre d'une masse. Ce levier et cette masse sont réalisés en un matériau électriquement conducteur et un circuit électrique assure une différence de potentiel entre chacune des électrodes et la masse. Lors d'un choc, la masse est accélérée et frappe l'une ou l'autre des électrodes, fermant ainsi ledit circuit pendant le temps de contact entre la masse et l'électrode et générant alors un signal électrique exploitable par exemple par un microprocesseur ou directement par un relais pouvant commander le déploiement d'un airbag.

On connaît aussi la demande de brevet US20040253794 qui décrit un micro système électromécanique comportant au moins une alimentation électrique, un accéléromètre, un convertisseur analogique/numérique, et un processeur apte à compter le nombre de battements cardiaques, de battements de pieds ou de mains, ou de retournements d'un nageur.

Ces micro-capteurs présentent plusieurs inconvénients.

Le premier d'entre eux concerne leur durée de vie: elle est limitée, au plus, à s la durée de vie des moyens d'alimentation, à savoir des piles, soit environ un ou deux ans.

Le second d'entre eux concerne l'impossibilité de les utiliser en complète sécurité pyrotechnique. En effet, la présence d'une différence de potentiel et donc d'un courant électrique génère un risque de formation d'étincelle ou de court-circuit io pouvant engendrer un incendie voire une explosion en présence de matières détonantes.

Le troisième d'entre eux concerne leur sensibilité aux champs magnétiques à cause, notamment, de la génération de courants induits dans les circuits électriques et de la dégradation des composants électroniques qui en résulte.

Le but de l'invention est de proposer un micro capteur notamment de chocs, présentant une durée de vie quasiment illimitée, pouvant être utilisé en sécurité pyrotechnique et ne présentant aucune sensibilité aux champs électromagnétiques.

La solution apportée est, selon une première caractéristique, un microcapteur apte à détecter et à compter des évènements mécaniques tels des chocs ou des accélérations/décélérations, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens passifs de comptage desdits chocs.

Par moyens passifs de comptage, il faut comprendre des moyens fonctionnant sans source d'énergie contrairement aux moyens, dits actifs, utilisés dans les demandes de brevets susmentionnées et qui utilisent une source d'énergie, à savoir une alimentation électrique.

Selon une caractéristique particulière, les moyens passifs de comptage sont constitués par des moyens mécaniques de comptage.

Selon une caractéristique additionnelle, les moyens mécaniques de comptage comportent au moins une roue dentée.

Selon une caractéristique particulière, un micro capteur selon l'invention comporte un support, des moyens aptes, au moins en partie, à se déplacer par rapport au support en cas de choc ou d'accélération, ce déplacement étant apte à mouvoir lesdits moyens passifs de comptage.

Selon une caractéristique particulière, les moyens aptes à se déplacer par rapport au support comportent une masse inertielle.

Selon une caractéristique particulière, un micro capteur selon l'invention comporte des moyens d'engrenage associés d'une part à la masse inertielle et d'autre part à ladite roue dentée, ces moyens pouvant notamment comporter un bras solidaire de la masse inertielle et comportant, à son extrémité, au moins une dent apte à s'engrener sur la roue dentée.

Selon une autre caractéristique, un micro capteur selon l'invention comporte des moyens aptes à limiter le déplacement de la masse inertielle, par exemple io constitués par des butées.

Selon une autre caractéristique, un micro capteur selon l'invention comporte des moyens aptes à limiter l'angle de rotation de la roue dentée et/ou un dispositif anti-retour de la roue dentée, ces moyens pouvant comporter au moins l'un des éléments suivants: - un dispositif d'ancrage pouvant comporter une roue dentée et une ancre, cette dernière étant éventuellement constituée par un bras dont l'une des extrémités est solidaire du support tandis que l'autre est solidaire d'un élément en forme de U ayant des extrémités biseautées et disposées en regard et à proximité de ladite roue dentée, au moins une dent anti-retour, au moins une dent de limitation de course au moins un patin.

Selon une autre caractéristique, tous les éléments constitutifs du micro capteur sont réalisés en un même matériau, par exemple du silicium.

Selon une caractéristique particulière, la taille des dents de la roue dentée est inférieure à 100pm et la taille du micro capteur micro est inférieure à 5 mm.

D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront dans la description d'un mode particulier de réalisation de l'invention et au regard des figures annexées parmi lesquelles: - la figure 1 présente un schéma général de l'invention.

la figure 2 montre un schéma d'un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 3 présente un schéma de moyens d'engrenage associés à une masse inertielle, 4 2890748 - les figures 4a et 4b montrent un schéma d'une première partie de moyens de limitation de l'angle de rotation des moyens de comptage selon ce mode de réalisation de l'invention, les figures 5a et 5b montrent un schéma d'une seconde partie de moyens 5 de limitation de l'angle de rotation des moyens de comptage selon ce mode de réalisation de l'invention, - la figure 6 montre une variante de réalisation des moyens de solidarisation de la masse inertielle au support, la figure 7 présente un second mode de réalisation de l'invention, io - la figure 8 montre un schéma d'une partie d'un dispositif d'ancrage associé aux moyens de comptage selon l'invention.

- les figures 9 à 12 présentent deux variantes de réalisation et des détails associés d'un troisième mode de réalisation de l'invention, la figure 13 montre un schéma d'une variante de réalisation des moyens 15 de comptage.

Le micro capteur selon le premier mode de réalisation utilise le train d'onde élastique transmis par le choc pour mettre en mouvement une masse inertielle dont la géométrie permet d'actionner un système d'engrenage sur des moyens mécaniques de comptage qui permettent de comptabiliser les chocs subis.

La figure 1 présente un schéma général d'un micro capteur selon l'invention. Ce micro capteur comporte un support 1, des moyens 2 aptes à se déplacer de façon élastique par rapport au support 1 et des moyens 3 passifs de comptage desdits chocs.

Comme montré sur la figure 2, les moyens 2 aptes à se déplacer de façon élastique comportent deux bras 4, 5 comportant chacun deux extrémités dont l'une est solidaire du support 1 et l'autre d'une masse inertielle 6 en forme de couronne. Ces deux bras 4, 5 sont disposés de façon diamétralement opposée par rapport au centre O de la couronne. Cette masse inertielle 6 est aussi solidaire d'un bras 7 rectiligne disposé le long de la paroi interne 8 de la couronne 6. L'extrémité libre 9 du bras 7 comporte une dent 10 dont l'extrémité libre est de forme triangulaire, le sommet étant disposé en regard du centre O de la couronne 6. Cette masse inertielle 6 comporte, en outre, deux dents 11,12 diamétralement opposées, disposées en regard du centre de la couronne et dont l'extrémité libre est de forme triangulaire. La dent 11 est une dent anti- retour tandis que la dent 12 est une dent de limitation de course. Les dents 11 et 12 sont disposées en regard et sont perpendiculaires à la dent 10 solidaire du bras 7 Des moyens 3 passifs de comptage de chocs sont associés aux moyens 2 aptes à se déplacer de façon élastique. Ces moyens 3 de comptage comportent une roue dentée 13 libre en rotation autour d'un axe 14 situé en son centre et qui est solidaire du support 1. La masse inertielle 6 et la roue dentée 13 sont disposées de façon concentrique et de sorte que la dent 10 solidaire du bras 7 forme un engrenage avec la roue dentée 13. Le matériau constitutif du support 1, de la roue dentée 13, de la masse inertielle 6 et des bras associés est du silicium. De plus, io l'une des dents 11, 12 forme aussi un engrenage avec la roue dentée 13. Les dents 10, 11, 12 et 15 ont une taille de l'ordre de la dizaine de microns Le fonctionnement du micro capteur selon ce premier mode de réalisation de l'invention est le suivant: Lorsque ce micro capteur reçoit un choc direct ou indirect dans le sens de la flèche de la figure 2, la masse inertielle 6 subit, par rapport au support 1, une accélération qui produit une déformation des bras 4 et 5 associés à la masse 6 et provoque un déplacement dans la direction du choc de la masse inertielle 6 par rapport au support 1. Ce déplacement de la masse inertielle 6 provoque un déplacement du bras 7 qui lui est solidaire. Comme montré sur la figure 3, les dents 15 de la roue dentée 13 sont de forme trapézoïdale et destinées à venir en contact avec dent 10 du bras 7 pour former un engrenage de sorte que le déplacement du bras 7, et de la dent 10 qui lui est associée, produit une rotation de la roue dentée 13 dans le sens aller de la masse inertielle 6 et l'escamotage de la dent suivante dans le sens retour, l'extrémité biseautée 17 de la dent 10 glissant alors sur la partie biseautée 18 de la dent 15. Ainsi, le mécanisme d'entraînement retourne dans sa position de repos et est prêt pour engrener la dent suivante de la roue de comptagel3 lorsque surviendra un autre choc.

Comme montré sur les figures 4a et 4b, la dent anti-retour 11 est engrenée sur les dents 15 de la roue dentée 13 lorsque le mécanisme d'entraînement est au repos et sa forme empêche la roue de subir une rotation dans le sens de rotation non désiré. Par contre, lors d'un choc dans le sens référencé translation, la masse inertielle 6 se déplace et ce déplacement induit le dégagement progressif de la dent anti-retour 11, autorisant ainsi la rotation de la roue dentée de comptage 13.

Bien évidemment, la roue dentée comporte au moins un repère, non représenté, par exemple numérique ou graphique, pour permettre de repérer l'évolution de la roue dentée dans le temps.

Comme montré sur les figures 5a et 5b, la dent de limitation de course 12 n'est pas engrenée lorsque le mécanisme est au repos. Par contre, lorsque le micro capteur inertielle est soumis à un choc ou à une accélération, le déplacement de la masse inertielle provoque la rotation de la roue de comptage via la dent 10 associée au bras 7. Cependant, en fin de mouvement de la masse inertielle 6 dans le sens aller, c'est-à-dire dans le sens du choc, la dent 12 de limitation de course s'engrène lo sur celles de la roue dentée 13, stoppant alors sa rotation. Les dents 10 et 12 et la roue dentée 13 sont agencés de sorte que la dent 10 n'entraîne en rotation la roue dentée 13 que sur un angle sensiblement égal à la valeur du pas des dents 15.

Le dispositif proposé permet de compter les chocs dont l'amplitude se situe dans une gamme connue. Il est ainsi dimensionné pour une échelle de sensibilité à définir selon les cas d'application. La technologie permet d'envisager de mettre en parallèle sur le même support des compteurs dont les gammes de sensibilité se complètent afin de couvrir, si nécessaire, une large gamme. De plus, il est possible de disposer soit un micro capteur selon la direction prévisible des chocs, soit plusieurs micro capteurs selon des orientations différentes afin de pouvoir compter des chocs selon plusieurs directions. L'extrême compacité des compteurs, de l'ordre d'une centaine de micromètres, autorise leur démultiplication.

La figure 6 présente une variante de réalisation de l'invention dans laquelle la masse inertielle est solidarisée au support 1 par l'intermédiaire de quatre bras, dont seulement deux, 20 et 21, sont représentés. Ils sont disposés parallèlement par paire et de façon quasi symétrique par rapport au centre O de la couronne 6, l'une des paires étant disposée de part et d'autre de la dent 10 du bras 7 mais du côté externe de la couronne. L'utilisation de quatre bras parallèles deux à deux permet de limiter la rotation du bras d'entraînement 7 et donc de favoriser un mouvement de translation de la dent d'entraînement 10. Cette variante de réalisation permet aussi d'éviter toute rotation parasite de la masse inertielle.

La figure 7 montre un schéma d'un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel les moyens 23 aptes à se déplacer de façon élastique comportent deux bras 24,25 dont l'une des extrémités est solidaire du support 1 et l'autre d'une masse inertielle 26 disposée entre eux et de forme parallélépipédique. Un bras 27 en forme de L est solidaire de la masse inertielle 26 par son extrémité la plus courte 28. La partie la plus longue 29 du bras est parallèle à l'une des faces de la masse inertielle 26 et comporte, à son extrémité, une dent 30 de forme triangulaire et dont la pointe est orientée en regard des dents 15 de la roue dentée 13 de sorte à former un engrenage avec ces dernières.

De plus, le déplacement de la masse inertielle est limité par deux butées 31, 32 disposées de part et d'autre de cette dernière et solidaires du support 1. Au repos, la butée 31 est disposée à proximité immédiate de la masse inertielle tandis io que l'autre, 32, en est éloignée d'une distance e. Ces deux butées élastiques limitent la course de la masse inertielle, respectivement, dans la phase aller de la masse inertielle, c'est-à-dire dans la direction du choc, et lors du retour élastique de la masse inertielle à sa position d'équilibre. L'élasticité des butées induit un amortissement des oscillations de la masse inertielle nécessaire pour éviter l'entraînement de deux dents successives de la roue de comptage.

Des moyens 3 passifs de comptage de chocs sont associés aux moyens 23 aptes à se déplacer de façon élastique. Ces moyens 3 de comptage comportent une roue dentée 13 libre en rotation autour d'un axe 14 situé en son centre et qui est solidaire du support 1. La masse inertielle 26 est disposée quasiment tangentiellement à la roue dentée 13 de sorte que la dent 30 solidaire du bras 27 forme un engrenage avec les dents 15 de forme trapézoïdale de la roue dentée 13 quelle que soit la position angulaire de cette dernière. Le matériau constitutif de la roue dentée 13 est du silicium.

Dans ce mode de réalisation, un dispositif d'ancrage, présenté plus particulièrement sur la figure 8, est associé aux moyens de comptage passifs. Il est constitué par une roue dentée 36 comportant des dents 37 de forme trapézoïdale et qui est solidaire et coaxiale à la roue dentée 13. Une ancre 38 en forme de Y est associée à cette roue dentée 36. Cette ancre comporte un bras 39 dont une extrémité est solidaire du support 1 tandis que l'autre extrémité 40 est solidaire d'un élément 41 en forme de U disposé perpendiculairement et dont les deux extrémités sont biseautées de façon symétrique de sorte que l'un des biseaux, référencé 42, est sensiblement parallèle à celui des dents 37 permettant ainsi un certain glissement entre eux, tandis que l'autre, 43, est biseauté selon une direction sensiblement perpendiculaire à celle des dents 37. La distance séparant les deux pointes 44, 45 des extrémités de l'élément en U est supérieure au pas des dents 37 de la roue 36 et inférieure à 1,5 fois le pas.

Le dispositif d'ancrage élastique limite la rotation de la roue de comptage à s une valeur d'angle correspondant au pas de la denture. Il permet ainsi de garantir le passage d'une et d'une seule dent de la roue de comptage. Il joue également le rôle de dispositif anti-retour pour la roue de comptage.

L'ancre 38 fonctionne de la façon suivante: lorsque la roue dentée 37 du dispositif d'ancrage est entraînée en rotation en même temps que la roue dentée 13 io des moyens de comptage, la pointe 44 de l'ancre 38 vient glisser sur le sommet de la dent 37 numérotée (1). Le sommet de la dent 37 étant incliné, le glissement de la pointe 44 provoque une rotation de l'ancre autour du point O. Cette rotation induit un déplacement de l'autre pointe 45, qui vient progressivement se positionner entre les dents 37 numérotées (1) et (2). Le dispositif est dimensionné de telle façon que la pointe 44 quitte le sommet de la dent 37 numérotée (1) juste avant que la pointe 45 ne vienne en contact avec le flanc de la dent 37 numérotée (2). Le contact entre la pointe 45 de l'ancre et le flanc de la dent 37 numérotée (2) assure ensuite l'arrêt en rotation de la roue de l'ancre. Le retour de l'ancre à la position d'équilibre s'effectue élastiquement, par le bras 39 qui assure la liaison entre l'ancre et le support.

L'ancre 38, à savoir le bras 39 et l'élément 41 est dimensionnée de telle sorte qu'elle représente l'équivalent cinématique d'une liaison pivot sans frottement de centre O'.

Les figures 9 à 12 présentent des variantes de réalisation et des détails associés, 25 permettant d'améliorer le fonctionnement du micro capteur lorsqu'il existe un jeu important entre la roue 13 et l'axe 14.

Le micro capteur, montré sur la figure 9, comporte un support 1, des moyens 2 aptes à se déplacer de façon élastique par rapport au support et des moyens 3 passifs de comptage desdits chocs.

Les moyens 3 passifs de comptage de chocs sont identiques à ceux décrits dans le cadre de la figure 2.

Les moyens 2 aptes à se déplacer de façon élastique comportent quatre bras 20,21,60,61 comportant chacun deux extrémités dont l'une est solidaire du support 1 et l'autre d'une masse inertielle 62 en forme de tronçon de profilé creux de forme interne et externe, carrée et de centre O. Ces bras sont disposés par deux sur deux cotés opposés 63, 64 du tube et de façon diamétralement opposée par rapport au centre O. Cette masse inertielle 62 est aussi solidaire d'un bras 7 rectiligne disposé le long d'une première paroi interne 66 de l'un des côtés du tube. L'extrémité libre 9 du bras 7 comporte une dent 10 dont l'extrémité libre est de forme triangulaire, le sommet étant disposé en regard du centre O du tube. Cette masse inertielle 6 comporte, en outre, un patin 67, disposé sur une seconde paroi interne 68 qui est perpendiculaire à la première paroi interne. Par ailleurs un second bras 69, élastique, comportant une première extrémité solidaire du support 1 et une seconde extrémité io 70 comportant une dent 71, est disposé parallèlement au bras 7 et de sorte d'une part que chacune des dents 10 et 71 engrène sur celles 15 de la roue dentée 13 et d'autre part que l'espace entre les dents 10, 71 soit d'environ deux fois le pas des dents 15.

Ce second bras 69 constitue un dispositif anti-retour. Lorsque le micro capteur est is soumis à un choc, le déplacement de la masse inertielle 62 provoque la rotation de la roue 13. Pendant cette phase aller de la masse inertielle dans le sens du choc, la dent anti-retour 71 est escamotée du fait de l'élasticité du second bras 69, son extrémité biseautée glissant sur la partie biseautée de la dent 15 de la roue 13. Pendant la phase retour de la masse inertielle, dans le sens opposé à celui du choc, la dent suivante de la roue 13 est escamotée par le bras d'entraînement 7, la roue 13 étant bloquée en rotation par le second bras 69. Une butée 74, fixée au support 1, limite la course de la masse inertielle 62 lors de sa phase retour c'est-à-dire lors de son retour dans sa position d'équilibre.

Selon une caractéristique permettant d'accroître la fiabilité d'un microcapteur selon l'invention et montrée sur la figure 10, le diamètre de la roue 13 est tel que la mise en position de la roue 13 sur l'axe 14 nécessite une mise en flexion de l'un au moins des bras 7 et 69 assurant ainsi une précontrainte sur le bras en cause.

Les figures 11 a et 11 b présentent un dispositif de limitation de course proposé dans le cadre de cette variante de réalisation. Au lieu d'une dent 12 de limitation de course 12 comme décrit au regard de la figure 2, il s'agit là d'un patin 67 qui vient impacter la roue 13 en fin de course de la masse inertielle 62 de façon à stopper la rotation de la roue 13. Le contact entre le dispositif de limitation de course 67 et la roue 13 étant très furtif, l'utilité d'une dent venant s'engrener sur la roue 13 pour bloquer celle-ci n'est pas indispensable. io

La figure 11 a montre la position du patin en l'absence de choc. Aucune interaction ne se produit entre le patin 67 et les dents 15 de la roue dentée 13. Lors d'un choc, comme la dent 10 du bras 7 engrène sur les dents 15 de la roue 13, le déplacement de la masse inertielle 62, et donc de la dent 10 du bras 7 qui lui est solidaire, entraîne la roue 13 en rotation. Comme montré sur la figure 11 b, à la fin du déplacement aller de la masse inertielle 62 dans la direction du choc, le patin 67 entre en contact avec la surface supérieure 73 des dents 15 et assure l'arrêt de la rotation de la roue 13.

io La figure 12 montre une variante de réalisation du micro capteur selon la figure 9 dans laquelle le patin 67 a été supprimé tandis qu'une butée 75, apte à stopper la course de la masse inertielle 62, est fixée au support 1 tandis que les deux bras 7 et 69 sont précontraints en flexion par la roue dentée 13. Lors d'un choc, la masse inertielle 62 se déplace dans la direction indiquée du choc. Pendant cette phase aller de la masse inertielle, la dent anti-retour 71 est escamotée du fait de l'élasticité du second bras 69, son extrémité biseautée glissant sur la partie biseautée de la dent 15 de la roue 13. Le déplacement de la masse inertielle est limité par la butée 75 et, pendant la phase retour de la masse inertielle 62, la dent suivante de la roue 13 est escamotée par le bras d'entraînement 7, la roue 13 étant ensuite bloquée en rotation par le second bras 69. La précontrainte des deux bras 7 et 69 sur la roue 13 est suffisante pour faire office de dispositif de limitation de course.

La figure 13 présente un exemple de réalisation des moyens de comptage qui peut être mis en oeuvre lorsque le micro capteur est susceptible d'être soumis à de multiples chocs ou accélérations. Ces moyens comportent plusieurs ensembles composés d'une première roue dentée 50 de grand diamètre et d'une seconde roue dentée 51 qui lui est solidaire, les première et seconde roues étant disposées de façon coaxiale et la première roue ayant dix fois plus de dents que la seconde. Ces ensembles sont disposés successivement de façon à ce que la première roue dentée de l'ensemble n+1 engrène sur la seconde roue dentée de l'ensemble n.

Ainsi, il est possible de compter les unités sur le premier ensemble, les dizaines sur le second, les centaines sur le troisième, les milliers sur le quatrième... It

Les modes de réalisation précédemment décrits présentent, par rapport à l'état de la technique, de nombreux avantages. Ainsi, le compteur de choc est totalement passif, et c'est l'événement lui-même (choc, accélération) qui fourni l'énergie nécessaire à l'activation des fonctions de détection et de comptage.

Dans le cas présent, le micro capteur est mis en service pour une durée qui n'est pas limitée par la durée de vie de la source d'énergie. Compte tenu de la nature même des matériaux utilisés, par exemple du type céramique, l'espérance de vie du capteur est dans tous les cas très supérieure à celle de tous les systèmes d'arme y compris pour des systèmes passifs stockés pour de très longues périodes.

io Dans le cas présent, le caractère inerte du compteur permet d'envisager de l'appliquer sur un système fonctionnant en sécurité pyrotechnique, ce qui procure une avancée considérable par rapport aux capacités actuelles. De plus, un micro capteur selon l'invention est totalement insensible aux champs électromagnétiques.

En outre, la solution proposée est très simple à mettre en oeuvre et son fonctionnement très fiable. Il est, indépendant d'une source d'énergie, discret, et d'un coût unitaire faible.

Claims (18)

Revendications

1. Micro capteur apte à détecter et à compter des évènements mécaniques 5 tels des chocs ou des accélérations/décélérations, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens passifs de comptage desdits chocs.

2. Micro capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens passifs de comptage sont constitués par des moyens mécaniques de comptage desdits chocs.

io

3. Micro capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens mécaniques de comptage comportent au moins une roue dentée.

4. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte un support, des moyens aptes, au moins en partie, à se déplacer par rapport au support en cas de choc ou d'accélération, ce 15 déplacement étant apte à mouvoir lesdits moyens passifs de comptage.

5. Micro capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens aptes à se déplacer par rapport au support comportent une masse inertielle.

6. Micro capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens d'engrenage associés d'une part à la masse inertielle et d'autre part à ladite roue dentée, ces moyens pouvant notamment comporter au moins un bras solidaire de la masse inertielle et comportant, à son extrémité, une dent apte à s'engrener sur la roue dentée.

7. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens aptes à limiter le déplacement de la masse inertielle, par exemple constitués par au moins une butée.

8. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens aptes à limiter l'angle de rotation de la roue dentée.

9. Micro capteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens aptes à limiter l'angle de rotation de la roue dentée comportent un dispositif d'ancrage.

10. Micro capteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif d'ancrage comporte une roue dentée et une ancre, cette dernière étant éventuellement constituée par un bras dont l'une des extrémités est solidaire du support tandis que l'autre est solidaire d'un élément en forme de U ayant des extrémités biseautées et disposées en regard et à proximité de ladite roue dentée.

11. Micro capteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens aptes à limiter l'angle de rotation de la roue dentée comportent au moins un patin.

12. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 8 et 10, caractérisé en ce que les moyens aptes à limiter l'angle de rotation de la roue dentée comportent au moins une dent de limitation de course.

13. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 3 à 12, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif anti-retour de la roue dentée 13.

14. Micro capteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que le dispositif anti-retour de la roue dentée 13 comporte au moins une dent.

15. Micro capteur selon la revendication 14, caractérisé en ce que cette dent est solidaire soit de la masse inertielle soit du support.

16. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que tous les éléments constitutifs du micro capteur sont réalisés en un même matériau, par exemple en silicium.

17. Micro capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, caractérisé en ce que sa taille est inférieure à 1 mm.

18. Machine comportant un micro capteur selon l'une des revendications 1 à 17.