FR2858574A1

FR2858574A1 - POLISHING PLATE COMPRISING A POLISHING FABRIC THAT ADDS HORIZALLALLY TO THE SUPPORT

Info

Publication number: FR2858574A1
Application number: FR0309764A
Authority: FR
Inventors: Lucien Grisel; Jean Roulet
Original assignee: PROCEDES ET EQUIPEMENTS POUR L
Current assignee: PROCEDES ET EQUIPEMENTS POUR L
Priority date: 2003-08-08
Filing date: 2003-08-08
Publication date: 2005-02-11
Anticipated expiration: 2023-08-08
Also published as: EP1504846B1; ATE531480T1; EP1504846A1; FR2858574B1

Abstract

The polishing sheet (1) consists of a backing layer (2) with a mechanical or mechano-chemical polishing material comprising a surface coating (4), an intermediate fixing layer (5) and an under-layer (6). (2) Has an adhesive surface of synthetic cellulose fibres impregnated with a silicone elastomer and adhesive synthetic rubber allowing the polishing material to adhere only perfectly horizontally to it.

Description

Plateau de polissage comportant un tissu de polissage n'adhérantPolishing tray with non-adhering polishing cloth

qu'horizontalement au support.only horizontally to the support.

Domaine technique de l'invention L'invention concerne un plateau de polissage comportant: - un support, - un tissu de polissage mécanique ou mécano-chimique comprenant un 10 revêtement superficiel, une couche intermédiaire assurant la fixation permanente du revêtement superficiel sur une sous-couche ayant une surface libre lisse - et des moyens de fixation disposés entre le support et la surface libre de la sous-couche du tissu. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The invention relates to a polishing plate comprising: a support, a mechanical or mechano-chemical polishing cloth comprising a surface coating, an intermediate layer ensuring the permanent fixing of the surface coating on a sub-surface; layer having a smooth free surface - and fixing means disposed between the support and the free surface of the underlayer of the fabric.

État de la technique De manière connue, la fixation d'un tissu de polissage sur un support, destiné, 20 par exemple à être placé dans une machine de polissage, peut intervenir de différentes manières en fonction de l'utilisation du tissu. Le tissu comportant une face supérieure destinée à être en contact avec une pièce à polir et une face inférieure par laquelle le tissu est fixé au support, il peut être, par exemple, fixé directement par collage grâce à un revêtement adhésif réparti sur la face inférieure du tissu. STATE OF THE ART In known manner, the fixing of a polishing cloth on a support intended, for example, to be placed in a polishing machine, can be used in different ways depending on the use of the fabric. The fabric having an upper face intended to be in contact with a workpiece and a lower face through which the fabric is attached to the support, it can be, for example, fixed directly by gluing with an adhesive coating distributed on the underside fabric.

Il peut également être fixé grâce à une feuille souple en polychlorure de vinyle 5 ou en matériau similaire. Un premier revêtement adhésif est disposé entre la face inférieure du tissu et la feuille souple et un second revêtement adhésif est disposé entre la feuille souple et le support. La feuille souple permet d'obtenir un ensemble présentant une certaine rigidité. It can also be fixed by means of a flexible sheet of polyvinyl chloride 5 or similar material. A first adhesive coating is disposed between the underside of the fabric and the flexible sheet and a second adhesive coating is disposed between the flexible sheet and the backing. The flexible sheet provides an assembly having a certain rigidity.

Dans ces deux cas, après fixation, le tissu de polissage ne peut pas être décollé du support sans être endommagé. Or, la fixation permanente du tissu sur le support rend l'utilisation du plateau et son stockage peu pratique et encombrante. En effet, cela oblige à stocker, pour chaque type de tissu, un support et, lors du polissage d'une pièce qui nécessite plusieurs types de tissus, 15 il est nécessaire de changer, à chaque opération, le support du plateau sur la machine de polissage. In these two cases, after fixing, the polishing cloth can not be peeled off the support without being damaged. However, the permanent attachment of the fabric on the support makes the use of the tray and its storage inconvenient and cumbersome. Indeed, this requires storing, for each type of fabric, a support and, when polishing a part that requires several types of tissue, it is necessary to change, at each operation, the tray support on the machine polishing.

Il est également connu de fixer le tissu par attraction magnétique au moyen d'un revêtement magnétique collé sur la face inférieure du tissu. Bien que ce mode 20 de fixation permette d'utiliser un même support pour plusieurs types de tissus, il nécessite, cependant, de coller sur la face inférieure de chaque tissu un revêtement magnétique qui est relativement coûteux. It is also known to fix the fabric by magnetic attraction by means of a magnetic coating adhered to the underside of the fabric. Although this mode of attachment allows the same support to be used for several types of tissue, it requires, however, to bond a magnetic coating on the underside of each fabric which is relatively expensive.

Objet de l'invention L'invention a pour but de réaliser un plateau de polissage relativement peu cher et permettant de conserver une parfaite adhésion entre le tissu et le support, 5 notamment lorsque le plateau est soumis à un mouvement de rotation, tout en autorisant un changement de tissus. OBJECT OF THE INVENTION The object of the invention is to provide a relatively inexpensive polishing plate which makes it possible to maintain perfect adhesion between the fabric and the support, in particular when the plate is subjected to a rotational movement, while permitting a change of tissues.

Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que les moyens de fixation comportent des moyens d'adhérence comportant au moins une couche 10 d'adhérence fixée de manière permanente sur le support par l'intermédiaire d'une première couche de colle, la couche d'adhérence étant constituée par une toile de fibres cellulosiques artificielles, imprégnée d'élastomère de silicone avec une masse adhésive en caoutchouc synthétique, de sorte que le tissu n'adhère parfaitement qu'horizontalement au support. According to the invention, this object is achieved by the fact that the fixing means comprise adhesion means comprising at least one adhesion layer permanently fixed on the support by means of a first layer of adhesive the adhesion layer being constituted by a web of artificial cellulosic fibers impregnated with silicone elastomer with an adhesive mass of synthetic rubber, so that the fabric adheres perfectly only horizontally to the support.

Selon un développement de l'invention, la couche d'adhérence a une épaisseur de 400tm. According to a development of the invention, the adhesion layer has a thickness of 400tm.

Selon un mode de réalisation préférentiel, les moyens d'adhérence comportent 20 également une couche en polychlorure de vinyle, disposée entre la première couche de colle et une seconde couche de colle disposée sur le support. According to a preferred embodiment, the adhesion means also comprise a layer of polyvinyl chloride, disposed between the first layer of glue and a second layer of glue disposed on the support.

Description sommaire des dessinsBrief description of the drawings

D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention 5 donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: La figure 1 représente schématiquement, en coupe, un plateau de polissage selon l'invention. Other advantages and features will emerge more clearly from the following description of particular embodiments of the invention given by way of non-limiting example and represented in the accompanying drawings, in which: FIG. 1 is a diagrammatic sectional view , a polishing plate according to the invention.

La figure 2 est une représentation schématique, en coupe, du support du plateau selon la figure 1. FIG. 2 is a diagrammatic representation, in section, of the support of the plate according to FIG.

La figure 3 est une représentation schématique, en coupe, du tissu de polissage du plateau selon la figure 2. FIG. 3 is a diagrammatic representation, in section, of the polishing cloth of the plate according to FIG. 2.

Description de modes particuliers de réalisation Description of particular embodiments

Comme illustré aux figures 1 à 3, un plateau de polissage 1 comporte un support 2, de préférence sous forme d'un disque en métal et comprenant des 20 faces supérieure 2a et inférieure 2b (figure 2). Un tissu de polissage 3 mécanique ou mécano-chimique doit être fixé sur la face supérieure 2a du support. Le plateau est destiné à être disposé, par la face inférieure 2b du support, dans une machine de polissage et, de préférence, sur un élément de support de plateau. Le plateau est, généralement utilisé, dans des applications diverses, telles que la préparation d'échantillons métallographiques, de pièces géologiques ou de substrats semi-conducteurs. As illustrated in FIGS. 1 to 3, a polishing plate 1 comprises a support 2, preferably in the form of a metal disk and comprising upper 2a and lower 2b faces (FIG. 2). A mechanical or mechano-chemical polishing cloth 3 must be fixed on the upper face 2a of the support. The tray is intended to be arranged, by the bottom face 2b of the support, in a polishing machine and, preferably, on a tray support member. The tray is generally used in various applications, such as the preparation of metallographic samples, geological pieces or semiconductor substrates.

Comme illustré à la figure 3, le tissu de polissage 3 comprend un revêtement superficiel 4 permettant le polissage mécanique ou mécanochimique de pièces. As illustrated in Figure 3, the polishing cloth 3 comprises a surface coating 4 for the mechanical or mechanochemical polishing of parts.

Ainsi, au cours d'une opération de polissage, le plateau est animé d'un mouvement de rotation et les pièces sont posées sur le revêtement superficiel 4 du tissu, de manière à obtenir des pièces avec une surface polie. De plus, lors 10 de l'opération de polissage et selon le type de revêtement superficiel utilisé, un liquide abrasif destiné à faciliter le polissage des pièces, tel qu'une suspension diamantée, est déversé sur le revêtement superficiel du tissu. Le revêtement superficiel du tissu est du type de ceux classiquement utilisés pour réaliser le polissage de pièces. Ainsi, il peut être diamanté, composite lisse, embossé ou S15 gaufré, ou en papier abrasif. Une couche intermédiaire 5 assure la fixation permanente du revêtement superficiel 4 sur une sous-couche 6 ayant une surface libre 6a lisse. La surface libre 6a est destinée à assurer le contact et la fixation du tissu sur le support 2. La sous- couche 6 peut être en tout type de matériau présentant une surface libre 6a lisse. Elle peut, par exemple, être en 20 polychlorure de vinyle ou en polyester et la couche intermédiaire 5 est constituée par un matériau fortement adhésif tel qu'un matériau ayant une masse adhésive acrylique. Thus, during a polishing operation, the plate is driven in a rotational movement and the parts are placed on the surface coating 4 of the fabric, so as to obtain parts with a polished surface. In addition, during the polishing operation and depending on the type of surface coating used, an abrasive liquid for facilitating the polishing of the parts, such as a diamond suspension, is poured onto the surface coating of the fabric. The surface coating of the fabric is of the type conventionally used for polishing parts. Thus, it can be diamond, composite smooth, embossed or S15 embossed, or abrasive paper. An intermediate layer 5 ensures the permanent fixing of the surface coating 4 on a sub-layer 6 having a smooth free surface 6a. The free surface 6a is intended to ensure contact and fixation of the fabric on the support 2. The underlayer 6 may be of any type of material having a smooth free surface 6a. It may, for example, be of polyvinyl chloride or polyester and the intermediate layer 5 is made of a strongly adhesive material such as a material having an acrylic adhesive mass.

La fixation du tissu de polissage 3 sur le support 2 est réalisée au moyen d'au moins une couche d'adhérence 7 fixée, de manière permanente, à la face supérieure 2a du support 2. La fixation permanente de la couche d'adhérence 7 est réalisée par l'intermédiaire d'au moins une première couche de colle 8. Une 5 couche en polychlorure de vinyle 9 est, de préférence, disposée entre la première couche de colle 8 et une seconde couche de colle 10 disposée sur la surface supérieure 2a du support 2, comme illustrée aux figures 1 et 2. Les première et seconde couches de colle 8 et 10 sont, de préférence, en un matériau de masse adhésive acrylique et la couche d'adhérence 7 est 10 constituée par une toile de fibres cellulosiques artificielles, et de préférence une toile de type fibranne , imprégnée d'élastomère de silicone avec une masse adhésive en caoutchouc synthétique. La couche d'adhérence 7 a, de préférence, une épaisseur de 400,im. The fixing of the polishing cloth 3 on the support 2 is carried out by means of at least one adhesion layer 7 fixed permanently to the upper face 2a of the support 2. The permanent fixing of the adhesion layer 7 is formed by means of at least a first adhesive layer 8. A polyvinyl chloride layer 9 is preferably disposed between the first adhesive layer 8 and a second adhesive layer 10 disposed on the upper surface 2a of the support 2, as illustrated in FIGS. 1 and 2. The first and second adhesive layers 8 and 10 are preferably made of an acrylic adhesive mass material and the adhesion layer 7 is constituted by a fiber web artificial cellulosic material, and preferably a fibrous type web impregnated with silicone elastomer with an adhesive mass of synthetic rubber. The adhesion layer 7 is preferably 400 μm thick.

La couche d'adhérence 7 permet au tissu d'adhérer parfaitement au support, mais uniquement horizontalement à celui-ci, notamment grâce à la surface libre 6a lisse de la sous-couche 6 du tissu 3. Ainsi, le tissu n'adhère parfaitement qu'horizontalement au support. Par n'adhérer qu'horizontalement au support, on entend que, lorsque l'on tire sur le tissu de polissage selon un axe de traction 20 situé dans le plan de l'interface 1 1 entre la surface libre 6a de la sous-couche 6 et la couche d'adhérence 7, le tissu 3 ne se déplace pas et adhère parfaitement à la couche d'adhérence 7, le plan de l'interface 1 1 étant un plan horizontal par rapport au support 7. Ainsi, la couche d'adhérence 7 étant fixée de manière permanente au support 2, le tissu 3 adhère parfaitement au support 2 dans le plan horizontal. Ainsi, lorsque le plateau subit un mouvement de rotation selon un axe de rotation vertical sl, le tissu ne bouge pas malgré la force centrifuge créée, I'axe de rotation vertical sl étant, de préférence, un axe de symétrie du 5 plateau 1. Par contre, il suffit de soulever le tissu 3, c'est-à-dire de tirer sur le tissu 3 selon un axe de traction non contenu dans le plan horizontal du plateau et, de préférence, sensiblement verticalement à l'interface 1 1, pour que le tissu n'adhère plus au support. Il peut, ainsi, être retiré du support sans être endommagé. Un support unique peut donc être utilisé pour les différents types 10 de tissus utilisés lors du procédé de polissage d'une pièce. The adhesion layer 7 allows the fabric to adhere perfectly to the support, but only horizontally thereto, especially thanks to the smooth free surface 6a of the underlayer 6 of the fabric 3. Thus, the fabric does not adhere perfectly only horizontally to the support. By adhering only horizontally to the support, it is meant that, when the polishing cloth is pulled along a traction axis 20 situated in the plane of the interface 11 between the free surface 6a of the underlayer 6 and the adhesion layer 7, the fabric 3 does not move and adheres perfectly to the adhesion layer 7, the plane of the interface 1 1 being a horizontal plane relative to the support 7. Thus, the layer 1 7 adhesion being permanently attached to the support 2, the fabric 3 adheres perfectly to the support 2 in the horizontal plane. Thus, when the plate is rotated about a vertical axis of rotation, the fabric does not move despite the created centrifugal force, the vertical axis of rotation is preferably an axis of symmetry of the plate 1. On the other hand, it suffices to lift the fabric 3, that is to say to pull on the fabric 3 along a traction axis not contained in the horizontal plane of the plate and, preferably, substantially vertically at the interface 1 1 , so that the fabric no longer adheres to the support. It can, thus, be removed from the support without being damaged. A single support can therefore be used for the different types of fabrics used in the process of polishing a workpiece.

Un tel mode d'adhérence permet avantageusement de réaliser une fixation autocollante réversible du tissu de polissage 3 sur le support 2 sans utiliser d'élément mécanique d'accrochage. Ainsi, il est possible changer uniquement le 15 tissu de polissage du plateau, à chaque nouvelle étape d'un procédé de polissage d'une pièce, tout en conservant sur la machine de polissage, le même support recouvert par la même couche d'adhérence 7. Il permet également de stocker, uniquement les tissus de polissage et non plus les plateaux. Ceci permet, notamment, de gagner du temps lors du procédé de polissage, le 20 changement de tissus étant effectué plus rapidement. Ceci permet également de réduire l'espace de stockage des plateaux de polissage, car l'espace requis pour stocker une quantité prédéterminée de tissus de polissage, est inférieur à celui requis pour stocker la même quantité de tissus respectivement collés à un support. De plus, le coût de la couche d'adhérence 7, des couches de colle 8 et 10, et de la couche en polychlorure de vinyle 9 est relativement peu élevé par rapport au coût d'un revêtement magnétique et il est plus facile de nettoyer les tissus seuls. Such a mode of adhesion advantageously makes it possible to produce a reversible adhesive fastening of the polishing fabric 3 on the support 2 without using a mechanical fastening element. Thus, it is possible to change only the polishing cloth of the tray, at each new step of a polishing process of a workpiece, while retaining on the polishing machine, the same support covered by the same adhesion layer. 7. It also stores only polishing cloths and not trays. This makes it possible, in particular, to save time during the polishing process, the tissue change being effected more rapidly. This also reduces the storage space of the polishing trays, because the space required to store a predetermined amount of polishing cloth is less than that required to store the same amount of tissue respectively bonded to a carrier. In addition, the cost of the adhesion layer 7, the adhesive layers 8 and 10, and the polyvinyl chloride layer 9 is relatively low compared to the cost of a magnetic coating and it is easier to clean. the tissues alone.

Claims

claims

Polishing plate comprising: a support (2), a mechanical or mechano-chemical polishing cloth (3) comprising a surface coating (4), an intermediate layer (5) ensuring the permanent fixing of the surface coating (4). ) on a sub-layer (6) having a smooth free surface (6a), and fixing means arranged between the support (2) and the free surface (6a) of the underlayer (6) of the fabric (3). ), tray characterized in that the fixing means comprise adhesion means comprising at least one adhesion layer (7) permanently fixed on the support (2) by means of a first layer of glue 15 (8), the adhesion layer (7) consisting of a web of artificial cellulosic fibers impregnated with silicone elastomer with an adhesive mass of synthetic rubber, so that the fabric (3) adheres perfectly only to horizontally to the support (2).

2. Tray according to claim 1, characterized in that the adhesion layer (7) has a thickness of 400gm.

3. Tray according to one of claims 1 and 2, characterized in that the adhesion means also comprise a layer of polyvinyl chloride (9) disposed between the first layer of adhesive (8) and a second layer of adhesive (10) disposed on the support (2).

4. Tray according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the underlayer (6) of the fabric (3) is polyvinyl chloride.

5. Tray according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the underlayer (6) of the fabric (3) is polyester.

6. Tray according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the surface coating (4) of the fabric (3) is diamond.

7. Tray according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the surface coating (4) of the fabric (3) is composite.

8. Tray according to claim 7, characterized in that the surface coating (4) of the fabric (3) is embossed. 20

9. Tray according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the surface coating (4) of the fabric (3) is abrasive paper.