FR2841993A1 - Procede et appareil pour aligner un reseau de diffraction - Google Patents
Procede et appareil pour aligner un reseau de diffraction Download PDFInfo
- Publication number
- FR2841993A1 FR2841993A1 FR0308092A FR0308092A FR2841993A1 FR 2841993 A1 FR2841993 A1 FR 2841993A1 FR 0308092 A FR0308092 A FR 0308092A FR 0308092 A FR0308092 A FR 0308092A FR 2841993 A1 FR2841993 A1 FR 2841993A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- diffraction grating
- diffracted light
- light pattern
- axis
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/62—Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Un procédé et un appareil pour aligner un réseau de diffraction (11) alignent la direction longitudinale de gorges d'un réseau de diffraction suivant une direction prédéterminée. Le procédé et l'appareil détectent (30) un motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction et déplacent (23) le réseau de diffraction de telle sorte que l'orientation d'une direction d'agencement obtenue à partir du motif de lumière diffractée soit alignée (33) suivant la direction prédéterminée.
Description
La présente invention concerne un procédé et un appareil permettant
d'aligner un réseau de diffraction.
Un réseau de diffraction est utilisé pour un module de spectroscopie dans un dispositif de mesure optique ou dans un dispositif de communication optique. Lors de l'assemblage d'un module de spectroscopie, une direction d'agencement de la lumière diffractée doit être alignée suivant une direction d'agencement d'un photodétecteur de telle sorte que plusieurs lumières diffractées par un réseau de diffraction soient reçues par le photodétecteur. Dans ce cas, puisque la direction d'agencement des lumières diffractées est de façon générale perpendiculaire à la direction longitudinale de gorges du réseau de
diffraction, le photodétecteur et le réseau de diffraction doivent être alignés.
Cependant, la direction longitudinale des gorges d'un réseau de diffraction n'est pas aisément détectée. Par conséquent, afin d'assembler un module de spectroscopie qui utilise un réseau de diffraction, un alignement actif est réalisé. C'est-à-dire que des signaux optiques réels sont envoyés sur le réseau de diffraction et la relation de positionnement entre le réseau de diffraction et un photodétecteur est réglée de telle sorte que des lumières diffractées soient reçues par le photodétecteur. Ceci est très peu
commode.
Par conséquent, il a été proposé de former un bord de référence qui présente la direction longitudinale de gorges sur un substrat d'un réseau de diffraction à l'avance. Dans ce cas, le bord de référence est formé de manière à être parallèle ou perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges du réseau de diffraction. La direction d'agencement d'un photodétecteur est ensuite réglée sur la base de la direction du bord de référence. Un réseau de diffraction typique utilisé dans plusieurs dispositifs est découpé à partir d'un substrat grand qui est une plaque originale. Une plaque originale disponible commercialement d'un réseau de diffraction est une réplique fabriquée en transférant un moule, qui est formée par une machine à produire des réseaux de diffraction ou au moyen d'une exposition d'interférence et d'une gravure par voie sèche, sur une couche de résine, qui est formée sur un substrat en verre. Par conséquent, le parallélisme ou la perpendicularité de la direction des gorges du réseau de diffraction par
rapport à la direction des côtés du substrat n'est pas garantie.
Par conséquent, lors de la fabrication du réseau de diffraction, la direction des gorges du réseau de diffraction doit être détectée et réglée de manière à réaliser un alignement avec une direction de référence
prédéterminée au moyen d'un dispositif d'alignement.
Dans un dispositif d'alignement classique, la position d'un réseau de diffraction est alignée tout en observant une image des gorges qui est agrandie par un système optique. Cependant, si le pas des gorges du réseau de diffraction est très petit tel que si le pas des gorges est d'approximativement un micromètre, l'alignement du réseau de diffraction
est difficile.
Dans le cas de l'alignement d'une pièce de travail d'un dispositif d'usinage tel qu'un dispositif de tranchage, la pièce de travail est de façon générale alignée en utilisant par exemple un bord de référence ou une marque d'alignement tout en observant deux points séparés de la pièce de travail.. Cependant, puisque plusieurs gorges présentant la même forme sont agencées sur un réseau de diffraction, il est difficile d'aligner le réseau de diffraction de façon précise du fait qu'une gorge ne peut pas être
observée en deux points séparés.
Par conséquent, dans un appareil d'alignement de réseau diffraction classique, une réplique d'un réseau de diffraction est fabriquée comme représenté sur la figure 12. La réplique comporte une région 72 et une région 73. La région 72 est formée en transférant un réseau de diffraction sur une partie d'une surface d'un substrat 71. La région 73 est une partie du substrat 71 o le réseau de diffraction n'est pas transféré. Une frontière 74 entre la région 72 et la région 73 est parallèle ou perpendiculaire à la direction longitudinale du réseau de diffraction. Le réseau de diffraction est aligné sur la base de la frontière 74. Par ailleurs, une réplique est fabriquée comme représenté sur la figure 13. La réplique de la figure 13 comporte la région 72 et des marques d'alignement 75A, 75B. La région 72 est formée en transférant un réseau de diffraction sur la totalité de la surface d'un substrat. Les marques d'alignement 75A, 75B sont formées suivant la direction des gorges du réseau de diffraction. Le réseau de diffraction est
aligné sur la base des marques d'alignement 75A, 75B.
Cependant, selon le procédé d'alignement de réseau de diffraction classique, un substrat qui est plus grand que la dimension du réseau de diffraction est utilisé comme décrit ci-avant. Le réseau de diffraction est ensuite transféré sur une partie du substrat et la frontière du réseau de diffraction est utilisée pour un alignement. Par conséquent, un substrat qui est plus grand que la dimension du réseau de diffraction doit être utilisé. Par ailleurs, pendant un processus de fabrication d'une réplique d'un réseau de diffraction, il est difficile de transférer la frontière du réseau de diffraction moyennant une précision supérieure ou égale au pas du réseau de diffraction, soit quelques micromètres. Par conséquent, la direction longitudinale des gorges du réseau de diffraction n'est pas aisément alignée
selon un degré de précision élevé.
En outre, une réplique d'un réseau de diffraction comportant une marque d'alignement est fabriquée en formant des marques d'alignement à l'avance dans un moule d'un réseau de diffraction et en transférant le moule sur un substrat. Dans ce cas, le moule du réseau de diffraction est fabriqué au moyen d'une machine de fabrication de réseau de diffraction ou au moyen d'une gravure par voie sèche après réalisation d'une exposition d'interférence. Par conséquent, il s'est avéré quelquefois particulièrement difficile de former des marques d'alignement. Cette difficulté conduit à un
cot augmenté.
En outre, le transfert de marques d'alignement qui présentent une dimension différente de celle du réseau de diffraction pendant le processus de fabrication d'une réplique est susceptible de détériorer la performance du
réseau de diffraction.
Par conséquent, un objet de la présente invention consiste à proposer un procédé et un appareil permettant d'aligner un réseau de
diffraction qui permettent un alignement aisé d'un réseau de diffraction.
Afin d'atteindre l'objet mentionné ci-avant, la présente invention propose un procédé d'alignement de réseau de diffraction permettant d'aligner la direction longitudinale de gorges d'un réseau de diffraction suivant une direction prédéterminée. Le procédé inclut: la détection d'un motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction; et le déplacement du réseau de diffraction de telle sorte qu'une direction d'agencement obtenue à partir du motif de lumière diffractée soit alignée
suivant la direction prédéterminée.
La présente invention propose également un appareil d'alignement de réseau de diffraction, lequel inclut un dispositif de placement, un dispositif de déplacement, une source de lumière, un dispositif de détection et un dispositif de commande. Le dispositif de placement place un réseau de diffraction. Le dispositif de déplacement déplace le réseau de diffraction localisé sur le dispositif de placement. La source de lumière irradie une lumière sur le réseau de diffraction localisé sur le dispositif de placement. Le dispositif de détection détecte un motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction sur la base du rayonnement d'une lumière en provenance de la source de lumière. Le dispositif de commande commande le dispositif de déplacement pour déplacer le réseau de diffraction de telle sorte que l'orientation d'une direction d'agencement comme obtenu à partir du motif de lumière diffractée qui est détecté par le dispositif de détection
soit alignée suivant la direction prédéterminée.
D'autres aspects et avantages de l'invention apparaîtront au vu de la
description qui suit que l'on lira en conjonction avec les dessins annexés qui
représentent à titre d'exemple les principes de l'invention.
L'invention, en association avec ses objets et avantages, peut être
mieux comprise par report à la description qui suit des modes de réalisation
présentement préférés en association avec les dessins annexés parmi lesquels: la figure 1 est une vue en perspective qui représente une structure schématique d'un appareil d'alignement de réseau de diffraction complet selon un premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 2 est une vue en plan qui représente une structure schématique d'un réseau de diffraction; la figure 3 est une vue en coupe qui représente une structure schématique du réseau de diffraction; la figure 4 est une vue de côté qui représente une structure schématique de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction selon le premier mode de réalisation; la figure 5 est une vue en plan qui représente une structure schématique de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction selon le premier mode de réalisation; la figure 6 est un schéma explicatif qui représente un procédé d'alignement de réseau de diffraction selon le premier mode de réalisation; la figure 7(a) est une vue en plan permettant d'expliquer un angle entre un motif de lumière diffractée et une ligne de référence; la figure 7(b) est une vue en plan permettant d'expliquer que le motif de lumière diffractée est parallèle à la ligne de référence; la figure 8 est un schéma fonctionnel qui représente une configuration schématique d'un circuit électrique de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction selon le premier mode de réalisation; la figure 9 est une vue en perspective qui représente une structure schématique d'un appareil d'alignement de réseau de diffraction complet selon un second mode de réalisation; la figure 10 est un schéma de circuit qui représente une configuration schématique d'un circuit électrique de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction selon le second mode de réalisation; la figure 11 est un organigramme d'un procédé d'alignement de réseau de diffraction selon le second mode de réalisation; la figure 12 est une vue en plan qui représente une structure schématique d'un réseau de diffraction de l'art antérieur; et la figure 13 est une vue en plan qui représente une structure
schématique d'un autre réseau de diffraction de l'art antérieur.
Un appareil d'alignement de réseau de diffraction 1 selon un premier mode de réalisation de la présente invention sera maintenant décrit par
report aux figures 1 à 8.
La figure 1 est une vue schématique permettant d'expliquer la
structure complète de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction 1.
L'appareil d'alignement de réseau de diffraction 1 est formé par une partie
de décalage 20 et par une partie de mesure 30.
La structure de la partie de décalage 20 sera maintenant décrite. La partie de décalage 20 inclut une table de fixation 10. La surface de la table de fixation 10 est usinée de manière à être plane. Des rails de guidage d'axe Y 12 sont localisés au niveau de parties gauche et droite sur la table de fixation 10 et s'étendent suivant une direction prédéterminée (direction d'axe Y comme représenté sur la figure 1). Une table de décalage d'axe Y 21 est localisée sur les rails de guidage d'axe Y 12 et peut être déplacée suivant les rails de guidage d'axe Y 12. La surface de la table de décalage d'axe Y 21 est usinée de manière à être plane. Des gorges d'ajustement 12a qui s'ajustent avec les rails de guidage d'axe Y 12 sont formées sur la
surface de fond ou inférieure de la table de décalage d'axe Y 21.
La table de décalage d'axe Y 21 réalise un déplacement en va-et10 vient suivant la direction d'axe Y, du fait de la rotation d'un moteur d'entraînement d'axe Y 61 (voir la figure 8) suivant les directions vers l'avant et vers l'arrière. Le moteur d'entraînement d'axe Y 61 est localisé sur la
table de fixation 10.
Des rails de guidage d'axe X 13 sont localisés au niveau des parties avant et arrière sur la table de décalage d'axe Y 21 et s'étendent suivant une direction qui est perpendiculaire à la direction d'axe Y (la direction d'axe X telle que vue sur la figure 1). Une table de décalage d'axe X 22 est localisée sur les rails de guidage d'axe X 13, qui sont localisés sur la table de décalage d'axe Y 21. La table de décalage d'axe X 22 peut être déplacée suivant les rails de guidage d'axe X 13. La surface de la table de décalage d'axe X 22 est usinée de manière à être plane. Des gorges d'ajustement 13a qui s'ajustent avec les rails de guidage d'axe X 13 sont formées sur la
surface de fond ou inférieure de la table de décalage d'axe X 22.
La table de décalage d'axe X 22 réalise un déplacement en va-et25 vient suivant la direction d'axe X du fait de la rotation d'un moteur d'entraînement d'axe X 62 (voir la figure 8) suivant les directions vers l'avant et vers l'arrière. Le moteur d'entraînement d'axe X62 est localisé sur la table
de décalage d'axe Y 21.
Un dispositif de placement qui est un plateau tournant en forme de disque 23 est localisé au niveau du centre de la surface supérieure de la table de décalage d'axe X 22. Le plateau tournant 23 peut tourner dans une
surface horizontale sur la table de décalage d'axe X 22.
Le plateau tournant 23 est tourné suivant les directions vers l'avant et vers l'arrière par un dispositif de déplacement ou un moteur tournant qui est un moteur d'entraînement d'axe 0 63 (voir la figure 8) selon le premier mode de réalisation, localisé sur la table de décalage d'axe X 22. De façon davantage spécifique, un arbre tournant (qui n'est pas représenté) du moteur d'entraînement d'axe 0 63 fait saillie depuis la surface de la table de décalage d'axe X 22. Le plateau tournant 23 est fixé sur l'arbre tournant en projection. La surface du plateau tournant 23 est plane. Une ouverture d'aspiration (qui n'est pas représentée) est formée au niveau du centre de la surface du plateau tournant 23. L'ouverture d'aspiration est connectée à une
pompe d'évacuation via un conduit, ce qui n'est pas représenté.
De l'air extérieur est tiré depuis l'ouverture d'aspiration de telle sorte qu'un réseau de diffraction 11 placé sur le plateau tournant 23 soit maintenu fixe. Par conséquent, conformément à la partie de décalage mentionnée ci-avant 20, le réseau de diffraction 11 qui est localisé sur la surface du plateau tournant 23 peut être déplacé sur la table de fixation 10 suivant à la fois la direction d'axe X et la direction d'axe Y. En outre, le réseau de diffraction 11 peut tourner dans la surface horizontale à la position prédéterminée. La dimension de la table de fixation 10 est de 600 millimètres suivant la direction d'axe Y et de 1200 millimètres suivant la direction d'axe X. La plage de déplacement du réseau de diffraction 11 est de 450 millimètres suivant la direction d'axe Y et de 900 millimètres suivant la direction d'axe X. La structure du réseau de diffraction 11 sera également décrite par report aux figures 2 et 3. Comme représenté sur la figure 3, le réseau de diffraction 11 est une réplique fabriquée en transférant un moule (qui n'est pas représenté), qui est formé par une machine de fabrication de réseau de diffraction sur une couche de résine 11 b qui est formée sur un substrat en
verre l1 a.
La dimension du substrat en verre lia est une longueur de 30
millimètres, une largeur de 30 millimètres et une hauteur de 5 millimètres.
La couche de résine 11b est formée sur la totalité de la surface du substrat en verre lia. La hauteur de la couche de résine llb est d'approximativement 60 micromètres. Des gorges 1lx sont formées sur la couche de résine 11 b selon un pas de 1 micromètre de manière à être
parallèles les unes aux autres.
Le parallélisme ou la perpendicularité de la direction des gorges 11c du réseau de diffraction 11 par rapport aux côtés du substrat en verre 1la est supposée ne pas être garantie. La structure de la partie de mesure 30 sera maintenant brièvement décrite. Comme représentée sur la figure 1, la partie de mesure 30 est formée par une source de lumière laser 31 et par un dispositif de détection qui est un écran 32 selon le premier mode de réalisation. La source de lumière laser 31 irradie un faisceau laser sous forme de spot au niveau du réseau de diffraction 11. Une lumière diffractée SP qui est envoyée depuis le réseau de diffraction 11 est projetée sur l'écran 32. La source de lumière laser 31 et l'écran 32 sont localisés au dessus du plateau tournant 23 de telle sorte que la hauteur depuis le plateau tournant 23 et l'angle par rapport
à la surface du plateau tournant 23 puissent être modifiés.
Les figures 4 et 5 sont des schémas qui représentent la relation de positionnement de la partie de mesure 30 par rapport au plateau tournant
23 et au réseau de diffraction 11, qui est localisé sur le plateau tournant 23.
Comme représenté sur la figure 4, la source de lumière laser 31 est 20 localisée de telle sorte que le faisceau laser soit irradié au niveau d'une position centrale de l'arbre tournant du plateau tournant 23. L'angle OL entre un axe de lumière LL du faisceau laser et un axe SL de l'arbre tournant est
de 30 .
Lorsque le réseau de diffraction 11 est localisé au niveau de la position centrale du plateau tournant 23, un faisceau laser est irradié au
niveau du réseau de diffraction 11.
Selon un premier mode de réalisation, un laser He-Ne qui émet un faisceau laser présentant le diamètre de spot de 1 mm et la longueur d'onde de 633 nanomètres (longueur d'onde unique) est utilisé en tant que source
de lumière laser 31.
Comme représenté sur la figure 4, l'écran 32 est localisé à 30 centimètres au dessus du plateau tournant 23 et est parallèle à la surface du plateau tournant 23. L'écran 32 est un substrat en résine translucide présentant la dimension de longueur de 30 centimètres, de largeur de 20 centimètres et de hauteur de 1 millimètre. Puisqu'une partie de la lumière diffractée qui est projetée sur l'écran 32 est transmise au travers de l'écran 32, le motif de la lumière diffractée peut être observé depuis au dessus de
l'écran 32.
Comme représenté sur la figure 5, une ligne de référence 33 est dessinée sur l'écran 32 de telle sorte que la ligne de référence 33 s'étende parallèlement à la direction d'axe X tel qu'observé depuis une direction qui est perpendiculaire à un plan (la surface de la feuille de la figure 5) qui inclut une ligne parallèle à l'axe X, qui est la direction de décalage de la table de décalage d'axe X 22 et une ligne qui est parallèle à l'axe Y, qui est la direction de décalage de la table de décalage d'axe Y 21. Selon le premier mode de réalisation, la ligne de référence 33 est localisée au niveau du centre de l'écran 32 et peut également être observée depuis au dessus de
l'écran 32.
Selon un premier mode de réalisation, la source de lumière laser 31, le réseau de diffraction 11 et l'écran 32 sont alignés en association suivant la direction d'axe X tel que vu depuis la direction qui est perpendiculaire au plan qui inclut des lignes qui sont parallèles à la fois à l'axe X et à l'axe Y. L'axe de lumière LL du faisceau laser sous forme de spot qui est irradié depuis la source de lumière laser 31 et la ligne de référence 33 sont alignés suivant la direction d'axe X tel que vu depuis la direction perpendiculaire au plan qui inclut une ligne parallèle à l'axe X et une ligne parallèle à l'axe Y. Comme représenté les figures 1, 4 et 5, lorsqu'un faisceau laser sous forme de spot présentant une unique longueur d'onde est irradié au niveau du réseau de diffraction 11, plusieurs lumières diffractées SP telles que des première, seconde et troisième lumières diffractées SP sont générées. Ces lumières diffractées SP sont projetées sur l'écran 32. Par conséquent, un motif de lumière diffractée des lumières diffractées SP (3 selon le premier
mode de réalisation) est formé sur l'écran 32.
Comme représenté sur la figure 5, lorsque le faisceau laser présentant une unique longueur d'onde est diffracté par le réseau de diffraction 11, le motif diffracté peut être caractérisé par une ligne droite perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 11c. C'est-à-dire que le motif de lumière diffractée qui est formé en connectant les spots des lumières diffractées SP (3 selon le premier mode de réalisation) définit une ligne droite. La ligne droite (comme représenté par une ligne en pointillés sur la figure 5) est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges
11 c du réseau de diffraction 11.
Le circuit électrique de l'appareil d'alignement de réseau de
diffraction 1 sera maintenant décrit par report à la figure 8.
Comme représenté sur la figure 8, le circuit électrique de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction 1 inclut un dispositif de commande qui est une unité centrale de traitement ou CPU 50 selon le premier mode de réalisation. La CPU 50 est localisée au niveau d'un panneau de commande (qui n'est pas représenté) de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction 1 et est connectée à un commutateur d'entraînement d'axe Y 51, à un commutateur d'entraînement d'axe X 52 et à un commutateur
d'entraînement d'axe O 53.
Le commutateur d'entraînement d'axe Y 51 est manipulé pour décaler la table de décalage d'axe Y 21. Lorsque le commutateur d'entraînement d'axe Y 51 est manipulé, un signal de manipulation est envoyé sur la CPU 50. Le commutateur d'entraînement d'axe X 52 est manipulé pour décaler la table de décalage d'axe X 22. Lorsque le commutateur d'entraînement d'axe X 52 est manipulé, un signal de manipulation est envoyé sur la CPU 50. Le commutateur d'entraînement d'axe 0 53 est manipulé pour décaler le plateau tournant 23. Lorsque le commutateur d'entraînement d'axe 0 53 est manipulé, un signal de
manipulation est envoyé sur la CPU 50.
La CPU 50 est connectée au moteur d'entraînement d'axe Y 61, qui décale la table de décalage d'axe Y 21, au moteur d'entraînement d'axe X 62, qui décale la table de décalage d'axe X 22 et au moteur d'entraînement
d'axe 0 63 qui entraîne en rotation le plateau tournant 23.
La CPU 50 entraîne en rotation le moteur d'entraînement d'axe Y 61 suivant les directions vers l'avant et vers l'arrière conformément à des signaux de manipulation en provenance du commutateur d'entraînement d'axe Y 51. La CPU 50 entraîne en rotation le moteur d'entraînement d'axe X 62 suivant des directions vers l'avant et vers l'arrière conformément à des signaux de manipulation en provenance du commutateur d'entraînement d'axe X 52. La CPU 50 entraîne en outre en rotation le moteur d'entraînement d'axe 0 63 suivant des directions vers l'avant et vers l'arrière conformément à des signaux de manipulation en provenance du
commutateur d'entraînement d'axe 0 53.
Un procédé permettant de déterminer la position du réseau de
diffraction 11 sera maintenant décrit.
Le réseau de diffraction 11 est maintenu fixe sur la surface du plateau tournant 23 par la force d'aspiration. Le commutateur d'entraînement d'axe Y 51 et le commutateur d'entraînement d'axe X 52 sont alors manipulés pour décaler la table de décalage d'axe Y 21 et la table de décalage d'axe X 22 de telle sorte qu'un faisceau laser sous forme de spot qui est irradié depuis la source de lumière laser 31 soit irradié au niveau du centre du réseau de diffraction 11. Le commutateur d'entraînement d'axe 0 53 est manipulé de telle sorte que la direction longitudinale des gorges 11 c concide sensiblement avec la direction d'axe
Y, qui est la direction de décalage de la table de décalage d'axe Y 21.
Lorsqu'un faisceau laser sous forme de spot présentant une unique longueur d'onde est irradié depuis la source de lumière laser 31 au niveau de la surface du réseau de diffraction 11 dans cet état, un motif de lumière diffractée des lumières diffractées SP (3 selon le premier mode de réalisation) comme généré par le réseau de diffraction 11 est projeté sur l'écran 32. Comme représenté sur la figure 5, le motif de lumière diffractée est agencé selon une ligne droite qui est perpendiculaire à la direction
longitudinale des gorges 11 c du réseau de diffraction 11.
Par conséquent, si la direction longitudinale des gorges lic du réseau de diffraction 11 est déplacée par rapport à la direction d'axe Y, le motif de lumière diffractée qui est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges lic est déplacé par rapport à la direction d'axe X qui est perpendiculaire à la direction d'axe Y comme représenté sur les figures 6 et 7(a). Par conséquent, sur l'écran 32, le motif de lumière diffractée est déplacé par rapport à la ligne de référence 33 qui est parallèle à l'axe X et est agencé sur une ligne droite qui est déplacée de l'angle prédéterminé OP
par rapport à la ligne de référence 33.
En manipulant le commutateur d'entraînement d'axe 0 53 pour entraîner en rotation le plateau tournant 23, la position des gorges 11c du réseau de diffraction 11 est modifiée. En tant que résultat, la position du motif de lumière diffractée est modifiée sur l'écran 32 et l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 33 est modifié. En entraînant en rotation le plateau tournant 23 de telle sorte que l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 33 devienne égal à 0, le motif de lumière diffractée devient parallèle à la ligne de référence 33. Comme il a été décrit ci-avant, le motif de lumière diffractée est réglé de manière à être parallèle à la ligne de référence 33 de telle sorte que la direction longitudinale des gorges 11c du réseau de diffraction 11 devienne
parallèle à la direction d'axe Y comme représenté sur les figures 5 et 7(b).
C'est-à-dire que la direction longitudinale des gorges lic du réseau de diffraction 11 qui est perpendiculaire au motif de lumière diffractée est réglée pour devenir parallèle à la direction d'axe Y qui est perpendiculaire à
la ligne de référence 33.
Comme il a été décrit ci-avant, la position du réseau de diffraction 11 est déterminée sur le plateau tournant 23. Ensuite, par exemple, le réseau de diffraction 11 est coupé par un dispositif de coupe 45 qui est représenté au moyen d'une ligne en traits mixtes sur la figure 1. Le dispositif de coupe est décalé suivant la direction d'axe X afin de couper le réseau de diffraction 11. Par conséquent, la surface de coupe du réseau de diffraction 1 1 est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 11c du réseau de diffraction Il. Le réseau de diffraction 11 qui présente une surface de coupe qui est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 11c du réseau de diffraction 11 facilite un processus pour déterminer la direction d'agencement d'un photodétecteur lors de l'assemblage d'un module de spectroscopie. Le premier mode deréalisation de la présente invention procure les
avantages qui suivent.
(1) La direction longitudinale des gorges lc du réseau de diffraction 11 est réglée de manière à être parallèle à la direction de décalage de la table de décalage d'axe Y 21 en réglant la direction de la ligne droite qui connecte les lumières diffractées SP du motif de lumière
diffractée de telle sorte qu'elle devienne parallèle à ligne de référence 33.
Par conséquent, un réseau de diffraction n'a pas besoin de comporter une marque d'alignement ou une ligne de référence pour déterminer la position comme nécessaire selon un appareil d'alignement de réseau de diffraction classique. C'est-à-dire qu'un réseau de diffraction qui comporte des gorges sur la totalité de la surface d'un substrat peut être aligné avec l'appareil
d'alignement de réseau de diffraction du premier mode de réalisation.
(2) Le réseau de diffraction 11 est tourné par le plateau tournant 23 de telle sorte que la direction longitudinale des gorges 11 c du réseau de diffraction 11 devienne parallèle à la direction de décalage de la table de décalage d'axe Y 21. Par conséquent, la position du réseau de diffraction 11
est aisément réglée.
Un procédé et un appareil permettant d'aligner un réseau de diffraction selon un second mode de réalisation seront maintenant décrits par report aux figures 9 à 11. Les différences par rapport au premier mode
de réalisation feront essentiellement l'objet d'une discussion ci-après.
La figure 9 représente l'appareil d'alignement de réseau de diffraction 1 selon le second mode de réalisation. Comme représenté sur la figure 9, un dispositif de lecture d'image qui est une caméra CCD 41 selon le second mode de réalisation est localisé au dessus du plateau tournant 23 en lieu et place de l'écran 32 du premier mode de réalisation (voir la figure 1). La caméra CCD 41 lit le motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction 11 qui est localisé sur la surface du plateau tournant 23. La caméra CCD 41 reçoit une image d'un motif de lumière diffractée et envoie des données d'image sur un dispositif d'affichage qui est un moniteur d'image 42 selon le second mode de réalisation. Le moniteur d'image 42 affiche l'image du motif de lumière diffractée sur la base des données d'image reçues. Le moniteur d'image 42 affiche également la ligne de référence 43 qui représente la direction de décalage (la direction d'axe X)
de la table de décalage d'axe X 22.
Les données d'image en provenance de la caméra CCD 41 sont
envoyées sur un dispositif d'analyse qui est un circuit d'analyse d'image 44.
Le circuit d'analyse d'image 44 reconnaît une image sur la base des données d'image. C'est-à-dire que le circuit d'analyse d'image 44 reconnaît le motif de lumière diffractée en réalisant un traitement de signal des données d'image. Le circuit d'analyse d'image 44 détermine la position du motif de lumière diffractée par rapport à la ligne de référence 43, c'est-à-dire l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 43. Le circuit d'analyse d'image 44 envoie le résultat d'analyse, c'est-à-dire les données de l'angle OP (données d'angle) sur la CPU 50. La CPU 50 commande le moteur d'entraînement d'axe 0 63 de telle sorte que l'angle OP
devienne égal à zéro sur la base des données d'angle.
Les fonctionnements de l'appareil d'alignement de réseau de diffraction selon le second mode de réalisation seront maintenant décrits par
report à un organigramme qui est représenté sur la figure 11.
Au niveau d'une étape SI, lorsque trois lumières diffractées SP sont lues par la caméra CCD 41, les données d'image sont envoyées sur le moniteur d'image 42 et sur le circuit d'analyse d'image 44. Le moniteur d'image 42 affiche alors les trois lumières diffractées SP et la ligne de référence 43 sur la base des données d'image. Par conséquent, l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 43 peut être vérifié visuellement en observant les trois lumières diffractées SP et la ligne
de référence 43 comme affiché sur le moniteur d'image 42.
Ensuite, au niveau d'une étape S2, le circuit d'analyse d'image 44 qui a reçu les données d'image obtient le centre de gravité de chacune des trois lumières diffractées SP et calcule une ligne droite (motif de lumière diffractée) qui connecte le centre de gravité de chaque lumière diffractée SP. Par conséquent, au niveau d'une étape S3, le circuit d'analyse d'image 44 détermine l'angle OP entre la ligne droite calculée et la ligne de référence 43. Le circuit d'analyse d'image 44 envoie ensuite l'angle OP sur la CPU 50
en tant que données d'angle.
Au niveau d'une étape S4, la CPU 50 qui a reçu les données d'angle détermine si l'angle OP est égal ou non à zéro. S'il est déterminé que l'angle OP n'est pas égal à 0, c'est-à-dire si le résultat de décision au niveau de l'étape S4 est négatif, la CPU 50 passe à une étape S5. Au niveau de l'étape S5, la CPU 50 commande le moteur d'entraînement d'axe 0 63 pour entraîner en rotation le plateau tournant 23 de telle sorte que l'angle OP
devienne égal à 0.
La CPU 50 répète les étapes SI à S5 jusqu'à ce que l'angle OP devienne égal à zéro. S'il est déterminé que l'angle OP est égal à 0, c'est-àdire si le résultat de décision de l'étape S4 est positif, la CPU 50 passe à une étape S6. Au niveau de l'étape S6, la CPU 50 suppose que le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 43 sont parallèles l'un à l'autre, c'est-à-dire que la direction longitudinale des gorges 11c du réseau de diffraction 11 est alignée de manière à être parallèle à la direction d'axe Y et arrête le moteur d'entraînement d'axe 0 63. Lorsque le moteur d'entraînement d'axe 0 63 est arrêté, l'alignement du réseau de diffraction
11 est terminé.
Dans ce cas également, le réseau de diffraction 11 qui a été aligné sur le plateau tournant 23 est coupé au moyen par exemple d'un dispositif
de coupe 45 qui est représenté par une ligne en traits mixtes sur la figure 9.
Le dispositif de coupe 45 est décalé suivant la direction d'axe X afin de couper le réseau de diffraction 11. La surface coupée du réseau de diffraction 11 est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 11 c du réseau de diffraction 11. Par conséquent, le réseau de diffraction 11 qui comporte la surface coupée qui est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges Ils du réseau de diffraction 11 facilite un processus pour déterminer la direction d'agencement d'un photodétecteur
lors de l'assemblage d'un module de spectroscopie.
Le second mode de réalisation procure les avantages qui suivent en
plus des avantages (1) et (2) du premier mode de réalisation.
(3) L'angle entre la ligne droite du motif de lumière diffractée et la ligne de référence 43, qui est parallèle à la direction d'axe X, est analysé de manière automatique. Puisque l'angle du plateau tournant 23 est réglé sur la
base du résultat d'analyse, la position est déterminée en un temps court.
(4) Puisque l'information de position du motif de lumière diffractée est obtenue selon une précision élevée par la caméra CCD 41, la position
peut être déterminée selon une précision élevée.
Il doit apparaître à l'homme de l'art que la présente invention peut être mise en oeuvre selon bon nombre d'autres formes spécifiques sans que l'on s'écarte ni de l'esprit, ni du cadre de l'invention. De façon davantage particulière, il doit être bien compris que l'invention peut être mise en oeuvre
selon les formes qui suivent.
Selon les premier et second modes de réalisation, le plateau tournant sous forme de disque 23 est utilisé en tant que dispositif de placement pour placer le réseau de diffraction 11. Cependant, des plateaux tournants
présentant d'autres formes peuvent être utilisés.
Selon le premier mode de réalisation, l'écran 32 n'a pas besoin d'être localisé à 30 centimètres au dessus du plateau tournant 23 pour être parallèle à la surface du plateau tournant 23. C'est-à-dire qu'aussi longtemps que l'écran 32 est localisé à la hauteur qui permet la projection du motif de lumière diffractée envoyé depuis le réseau de diffraction 11, l'écran 32 peut être localisé au dessus du plateau tournant 23 à n'importe quelle distance autre que 30 centimètres de telle sorte que l'écran 32 fasse
face à la surface du plateau tournant 23.
Selon le premier mode de réalisation, l'écran 32 n'a pas besoin d'être formé par un substrat en résine translucide. C'est-à-dire que l'écran 32 peut être opaque ou réalisé en un matériau autre qu'une résine. En outre, l'écran
32 n'a pas besoin d'être formé par un substrat.
Selon le premier mode de réalisation, l'axe de lumière LL du faisceau laser sous forme de spot qui est irradié depuis la source de lumière laser 31 et la ligne de référence 33 n'ont pas besoin d'être alignés suivant la direction d'axe X tel que vu depuis la direction qui est perpendiculaire au plan qui inclut une ligne parallèle à l'axe X et une ligne parallèle à l'axe Y. C'est-àdire que la ligne droite qui connecte les spots des lumières diffractées SP peut être perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 11c du réseau de diffraction 11 indépendamment de la direction de l'axe de lumière LL du faisceau laser sous forme de spot. Le second mode de réalisation
peut également être modifié de la même manière.
Selon les premier et second modes de réalisation, la source de lumière laser 31 qui présente une unique longueur d'onde n'a pas besoin d'être utilisée en tant que source de lumière pour irradier un faisceau laser sous forme de spot au niveau du réseau de diffraction 11. C'est-à-dire qu'une source de lumière qui irradie une lumière qui présente de multiples longueurs d'onde peut être utilisée. Dans ce cas également, un motif de lumière diffractée qui connecte des spots de plusieurs lumières diffractées SP comme envoyé depuis le réseau de diffraction 11 décrit une ligne droite qui est perpendiculaire à la direction longitudinale des gorges 1lc du réseau de diffraction 11. Une source de lumière qui irradie une lumière présentant une longueur d'onde continue peut également être utilisée. Selon les premier et second modes de réalisation, un motif de lumière diffractée qui est formé par trois lumières diffractées sous forme de sports est détecté. Cependant, le nombre de spots des lumières diffractées sous forme de sports à détecter peut être n'importe quel nombre autre que
trois.
Selon les premier et second modes de réalisation, la partie de décalage 20 est formée par la table de fixation 10, par la table de décalage d'axe Y 21, par la table de décalage d'axe X 22 et par le plateau tournant 23. En lieu et place, la table de décalage d'axe Y 21 et la table de décalage d'axe X 22 peuvent être omises. Dans ce cas, la partie de décalage 20 est formée par le plateau tournant 23 et par la table de fixation 10 qui comporte un dispositif de déplacement pour déplacer le réseau de diffraction 11 en
faisant tourner le plateau tournant 23.
Selon le second mode de réalisation, la relation de positionnement du motif de lumière diffractée qui est reçu par la caméra CCD 41 par rapport à la ligne de référence 43 est analysée par le circuit d'analyse d'image 44 afin de calculer l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et la ligne de référence 43. La CPU 50 est conçue pour commander le moteur d'entraînement d'axe 0 63 pour entraîner en rotation le plateau tournant 23 de telle sorte que l'angle calculé OP devienne égal à zéro. En lieu et place, le plateau tournant 23 peut être tourné en manipulant le commutateur d'entraînement d'axe 0 53 de telle sorte que l'ange OP devienne égal à zéro tout en vérifiant visuellement l'angle OP entre le motif de lumière diffractée et
la ligne de référence 43 sur le moniteur d'image 42.
Selon les premier et second modes de réalisation, le dispositif de coupe 45 est décalé suivant la direction d'axe X pour couper le réseau de diffraction 11. Cependant, n'importe quel dispositif autre que des dispositifs
de coupe tel qu'un marqueur peut être utilisé.
Par conséquent, les présents exemples et les présents modes de réalisation doivent être considérés comme étant illustratifs et non pas limitatifs et l'invention n'est pas limitée aux détails présentés ici mais elle
peut être modifiée dans le cadre et les équivalents des revendications
annexées.
Claims (14)
1. Procédé d'alignement de réseau de diffraction permettant d'aligner la direction longitudinale de gorges (1 1c) d'un réseau de diffraction (11) suivant une direction prédéterminée, le procédé étant caractérisé par: la détection d'un motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction (11); et le déplacement du réseau de diffraction (11) de telle sorte qu'une direction d'agencement obtenue à partir du motif de lumière diffractée soit
alignée suivant la direction prédéterminée.
2. Procédé d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 1, caractérisé en ce que la détection du motif de lumière diffractée utilise un écran (32) qui fait face au réseau de diffraction (11), dans lequel le motif de lumière diffractée est projeté sur l'écran, dans lequel une ligne de référence (33) s'étend suivant la direction prédéterminée sur l'écran et dans lequel un angle entre la direction d'agencement comme obtenu à partir d'un motif de lumière diffractée et la ligne de référence (33)
est détecté.
3. Procédé d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 1, caractérisé en ce que la détection du motif de lumière diffractée inclut: la lecture du motif de lumière diffractée; l'affichage d'une image du motif de lumière diffractée lu; le calcul d'un angle entre une ligne de référence (33) et une direction d'agencement comme obtenu à partir du motif de lumière diffractée, dans
lequel la ligne de référence (33) s'étend suivant la direction prédéterminée.
4. Procédé d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 1, caractérisé en ce que la détection du motif de lumière diffractée inclut: la lecture du motif de lumière diffractée; la reconnaissance du motif de lumière diffractée sur la base de données du motif de lumière diffractée lu et l'analyse de la relation relative entre le motif de lumière diffractée et la direction prédéterminée; et le déplacement du réseau de diffraction (11) sur la base d'un résultat
qui est obtenu en analysant la relation relative.
5. Appareil d'alignement de réseau de diffraction caractérisé par: un dispositif de placement (23) pour placer un réseau de diffraction
(11);
un dispositif de déplacement (63) pour déplacer le réseau de diffraction (11) localisé sur le dispositif de placement (23); une source de lumière (31) pour irradier de la lumière sur le réseau de diffraction (11) situé sur le dispositif de placement (23); un dispositif de détection (30) pour détecter un motif de lumière diffractée qui est envoyé depuis le réseau de diffraction (11) sur la base d'un rayonnement de lumière en provenance de la source de lumière (31); et un dispositif de commande (50) pour commander le dispositif de déplacement pour déplacer le réseau de diffraction (11) de telle sorte que l'orientation d'une direction d'agencement comme obtenu à partir du motif de lumière diffractée détecté par le dispositif de détection (30) soit alignée
suivant la direction prédéterminée.
6. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 5, caractérisé en ce que le dispositif de détection (30) est un écran (32) qui fait face au réseau de diffraction (11), dans lequel le motif de lumière diffractée est projeté sur l'écran (32) et dans lequel une ligne de référence (33) est localisée sur l'écran (32) de manière à s'étendre suivant
la direction prédéterminée.
7. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 5, caractérisé en ce que le dispositif de détection (30) inclut un dispositif de lecture d'image (41) pour lire le motif de lumière diffractée et un dispositif d'affichage (42) pour afficher une image du motif de lumière diffractée lu par le dispositif de lecture d'image (41) et dans lequel le dispositif d'affichage (42) affiche une ligne de référence (43) avec le motif de lumière diffractée et dans lequel la ligne de référence s'étend suivant la
direction prédéterminée.
8. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que le dispositif de placement (23) est un plateau tournant et dans lequel le dispositif de déplacement (63) est un moteur tournant pour faire tourner le plateau tournant (23) et dans lequel le dispositif de commande (50) commande le moteur tournant sur la base d'un commutateur et dans lequel le commutateur est manipulé pour faire tourner le moteur tournant suivant des directions vers l'avant et vers l'arrière.
9. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 5, caractérisé en ce que le dispositif de détection inclut un dispositif de lecture d'image (41) et un dispositif d'analyse (44), dans lequel le dispositif de lecture d'image (41) lit le motif de lumière diffractée, dans lequel le dispositif d'analyse (44) reconnaît le motif de lumière diffractée sur la base de données de motif de lumière diffractée lu par le dispositif de lecture d'image (41) et dans lequel le dispositif d'analyse (44) analyse la relation relative entre le motif de lumière diffractée et la direction prédéterminée et dans lequel le dispositif de commande (50) commande le dispositif de déplacement (63) sur la base d'un résultat d'analyse du
dispositif d'analyse (44) afin de déplacer le réseau de diffraction (11).
10. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif de placement (23) est un plateau tournant et dans lequel le dispositif de déplacement (63) est un moteur tournant pour faire tourner le plateau tournant (23) et dans lequel le dispositif de commande (50) commande le moteur tournant sur la base du
résultat d'analyse du dispositif d'analyse (44).
11. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon l'une
quelconque des revendications 5 à 10, caractérisé par un dispositif
d'usinage pour usiner le réseau de diffraction (11) qui est aligné sur le
dispositif de placement (23).
12. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 11, caractérisé en ce que le dispositif d'usinage est un
dispositif de coupe (45).
13. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 5, caractérisé en ce que la source de lumière (31) est une source de lumière laser et dans lequel le motif de lumière diffractée inclut
une pluralité de lumières diffractées (SP).
14. Appareil d'alignement de réseau de diffraction selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif de lecture d'image (41)
est une caméra CCD.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002195078A JP2004037863A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 回折格子の位置合わせ方法及び回折格子の位置合わせ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2841993A3 FR2841993A3 (fr) | 2004-01-09 |
| FR2841993A1 true FR2841993A1 (fr) | 2004-01-09 |
Family
ID=27678611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR0308092A Pending FR2841993A1 (fr) | 2002-07-03 | 2003-07-03 | Procede et appareil pour aligner un reseau de diffraction |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7030983B2 (fr) |
| JP (1) | JP2004037863A (fr) |
| CA (1) | CA2434011A1 (fr) |
| FR (1) | FR2841993A1 (fr) |
| GB (1) | GB2391637A (fr) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100371740C (zh) * | 2004-11-30 | 2008-02-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种带有导向封闭力机构的大面积光栅刻划机刀桥 |
| CN100360962C (zh) * | 2004-11-30 | 2008-01-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种弹性顶针式多功能光栅刻划刀刀架 |
| JP2007309710A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Enshu Ltd | 微細周期性溝の観測方法とその観測装置、微細周期性溝の加工観測方法とその加工観測装置 |
| JP5169897B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2013-03-27 | 株式会社島津製作所 | 回折効率測定器及び回折効率測定方法 |
| KR100971708B1 (ko) * | 2010-03-11 | 2010-07-22 | 주식회사 엘엠에스 | 광 픽업용 회절소자 및 상기 회절소자가 구비된 광학 모듈 |
| CN104634280B (zh) * | 2015-02-03 | 2017-09-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 通用水平转台绝对角度和旋转角度的测量方法 |
| NL2020619B1 (en) | 2018-01-16 | 2019-07-25 | Illumina Inc | Dual optical grating slide structured illumination imaging |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2436967A1 (fr) * | 1978-09-19 | 1980-04-18 | Thomson Csf | Procede d'alignement optique de motifs dans deux plans rapproches et dispositif d'alignement mettant en oeuvre un tel procede |
| US4776696A (en) * | 1987-03-20 | 1988-10-11 | Michael C. Hettrick | Optical system for high resolution spectrometer/monochromator |
| US5231461A (en) * | 1991-12-09 | 1993-07-27 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Solar monochromator for filter calibration |
| IL116583A (en) * | 1995-12-27 | 2001-06-14 | Ruschin Shlomo | Spectral analyzer and directional indicator |
| US6023330A (en) * | 1998-12-21 | 2000-02-08 | Leco Corporation | Centered sphere spectrometer |
| JP2001183233A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Advantest Corp | 分光器および分光方法 |
-
2002
- 2002-07-03 JP JP2002195078A patent/JP2004037863A/ja active Pending
-
2003
- 2003-06-27 US US10/607,816 patent/US7030983B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-30 GB GB0315233A patent/GB2391637A/en not_active Withdrawn
- 2003-06-30 CA CA002434011A patent/CA2434011A1/fr not_active Abandoned
- 2003-07-03 FR FR0308092A patent/FR2841993A1/fr active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004037863A (ja) | 2004-02-05 |
| FR2841993A3 (fr) | 2004-01-09 |
| US20040233438A1 (en) | 2004-11-25 |
| CA2434011A1 (fr) | 2004-01-03 |
| US7030983B2 (en) | 2006-04-18 |
| GB2391637A (en) | 2004-02-11 |
| GB0315233D0 (en) | 2003-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BE1017316A7 (fr) | Appareil pour determiner le forme d'une gemme. | |
| CN101339913B (zh) | 半导体晶圆的缺陷位置检测方法 | |
| EP0010998B1 (fr) | Procédé d'alignement optique de motifs dans deux plans rapprochés et dispositif d'alignement mettant en oeuvre un tel procédé | |
| EP0159210B1 (fr) | Dispositif optique de mesure de proximité de surface et son application au relevé du profil d'une surface | |
| EP0063980B1 (fr) | Appareil de projection à dispositif de mise au point | |
| FR2898970A1 (fr) | Dispositif et procede pour mesurer des elements de construction. | |
| EP2516100B1 (fr) | Procede d'ablation d'une surface en trois dimensions grace a un dispositif d'ablation laser et grace a l'emploi d'une etape d'etalonnage ; dispositif de mise en oeuvre d'un tel procede | |
| EP3077873B1 (fr) | Dispositif et procede de positionnement de masque de photolithographie par methode optique sans contact | |
| FR2956502A1 (fr) | Procede et dispositif de detection de l'orientation d'une zone du corps d'un individu posee sur une zone d'apposition d'un support d'un capteur biometrique | |
| CH716246A1 (fr) | Module d'usinage et machine-outil comprenant une unité de suivi de l'usure de l'outil, et procédés de détection de la position, du profil et de l'usure de l'outil. | |
| EP0626623A2 (fr) | Masques pour une machine d'insolation double face | |
| FR2536873A1 (fr) | Appareil et procede d'exposition | |
| FR2841993A1 (fr) | Procede et appareil pour aligner un reseau de diffraction | |
| EP1098556A1 (fr) | Dispositif de mesure d'erreur de position relative | |
| JP2004205214A (ja) | 表面検査方法及びその装置 | |
| EP0362029A1 (fr) | Procédé de détermination et de contrôle de la forme du bord d'un objet galbé | |
| EP1193468A1 (fr) | Procédé de lecture optique de la forme d'un profilé et application au relevé du bord intérieur d'un cercle de monture de lunettes | |
| FR2647543A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure de largeur de traits a balayage optique | |
| FR2835337A1 (fr) | Procede et dispositif d'identification de caracteres inscrits sur une plaque de semi-conducteur comportant au moins une marque d'orientation | |
| EP0578562B1 (fr) | Procédé de détermination de la mise au point d'une machine d'exposition photolithographique | |
| WO2010034955A1 (fr) | Mise au point d'un microscope a reflexion | |
| FR2641607A1 (fr) | Systeme de releve de la surface d'une piece a distance par un capteur optique, notamment d'un auget de turbine pelton | |
| FR3081593A1 (fr) | Procede d'etalonnage d'une camera d'un systeme de determination d'images tridimensionnelles et mire d'etalonnage | |
| JP4802431B2 (ja) | 膜厚測定方法及び光ディスクにおける膜厚測定方法 | |
| EP1616168B1 (fr) | Biopuce a zones de reconnaissance et format optique independants et sa lecture flottante |