FR2840550A1 - Metallization of article made of high temperature polymer plastic material used in connectors involves cleaning, plasma etching, grafting and metallizing by immersing article into bath at preset temperature - Google Patents

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Abstract

An article made from high temperature polymer plastic material is cleaned, plasma etched, grafted, and metallized by immersing the article into bath at 50-70 degrees C.

Description

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Procédé de métallisation de supports en matière plastique
La présente invention a pour objet un procédé de métallisation de supports en matière plastique, en particulier en matière plastique haute température. Le but de l'invention est de conduire, notamment pour le domaine de l'industrie électronique, à la réalisation de connecteurs et plus généralement de supports résistant aux hautes températures et servant pour des montages hybrides, qui soient légers, faciles à fabriquer, et qui aient de grandes propriétés d'isolation électrique, tout en autorisant par des métallisations des conductions électriques nécessaires.
Method of metallizing plastic supports
The present invention relates to a method of metallization of plastic supports, in particular high-temperature plastic. The object of the invention is to lead, in particular for the field of the electronics industry, to the production of connectors and more generally high temperature resistant supports and used for hybrid assemblies, which are light, easy to manufacture, and which have great electrical insulation properties, while allowing by metallization the necessary electrical conductions.

Il est connu, notamment par le document US-A-5 407 622, la réalisation de circuits métallisés en deux ou trois dimensions par un procédé de double moulage utilisant notamment un premier moulage d'une matière plastique subissant une étape d'activation la rendant métallisable, un second moulage d'une matière plastique non métallisable laissant apparentes des zones activées de la première pièce puis une étape de métallisation. La description de ce procédé indique que l'étape de promotion d'adhésion (activation) utilise une oxydation chimique par une solution rendant hydrophile la surface du plastique. Le document US-A-4 812 275 concerne aussi un procédé à double moulage. Pour ce procédé, la promotion d'adhésion est réalisée par une attaque chimique rendant la surface à métalliser rugueuse.  It is known, particularly from document US-A-5 407 622, the production of metallized circuits in two or three dimensions by a double molding process using in particular a first molding of a plastic material undergoing an activation step making it metallizable, a second molding of a non-metallisable plastic material leaving exposed zones of the first part and then a metallization step. The description of this process indicates that the adhesion promotion (activation) step utilizes chemical oxidation by a solution rendering the plastic surface hydrophilic. US-A-4,812,275 also relates to a double molding process. For this process, the adhesion promotion is achieved by a chemical etching making the surface to be metallized rough.

Une autre technique pour laquelle un précurseur de catalyseur est déposé est décrite dans le document US-A-5 153 023. Selon ce document, une métallisation sélective est réalisée en chauffant localement les zones où on souhaite l'accrochage du catalyseur puis en rinçant la pièce pour dissoudre le précurseur aux endroits qu'on ne souhaite pas métalliser.  Another technique for which a catalyst precursor is deposited is described in document US Pat. No. 5,153,023. According to this document, a selective metallization is carried out by locally heating the zones where it is desired to attach the catalyst and then rinsing the piece to dissolve the precursor in places that you do not want to metallize.

Une technologie ancienne de double moulage est décrite dans le document GB-A-1 254 308. Selon ce document deux matériaux sont utilisés, l'un métallisable, l'autre non. L'article composite est ensuite traité par un procédé de métallisation comportant une étape d'attaque chimique de la surface de l'article, une étape de traitement, puis une étape de dépôt catalytique électrochimique.  An old double molding technology is described in GB-A-1 254 308. According to this document two materials are used, one metallizable, the other not. The composite article is then treated by a metallization process comprising a step of etching the surface of the article, a treatment step, and an electrochemical catalytic deposition step.

Typiquement, les techniques chimiques de nettoyage, de sensibilisation et d'activation d'une surface à revêtir existent. On y met en  Typically, the chemical techniques of cleaning, sensitizing and activating a surface to be coated exist. We put in

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#uvre des procédés d'immersion dans des bains spécifiques afin de fixer en surface des germes de palladium. Ces techniques conventionnelles peuvent être résumées de la façon suivante : une étape de préparation de la surface, comportant un nettoyage et un décapage, est suivie d'une adsorption d'un catalyseur puis d'une métallisation.  This involves immersion processes in specific baths in order to fix palladium seeds on the surface. These conventional techniques can be summarized as follows: a surface preparation step, comprising cleaning and stripping, is followed by adsorption of a catalyst and then of a metallization.

Les traitements précédents utilisent des solutions chimiques. Ainsi chaque type de plastique a une gamme de préparation de surface qui lui est spécifique. Ces gammes de traitement possèdent le grand inconvénient de comprendre de nombreuses étapes allant de 16 à 22 étapes en fonction de la nature du polymère. D'autre part ces étapes multiples nécessitent un temps de traitement assez long pouvant aller jusqu'à 65 minutes avant le début de toute métallisation. Ceci rend difficile, complexe et coûteux le traitement des substrats plastiques à métalliser notamment quand on a plusieurs types de matériaux polymères à métalliser. Ces procédés sont coûteux également en retraitement des solutions. De plus les solutions d'activation ou de catalyse utilisées dans ces procédés utilisent principalement des solutions de palladium-étain (PdSn) colloïdales qui sont onéreuses, polluantes et très sensibles à la variation de température. Ainsi une température inférieure à 10 C peut désactiver partiellement ou totalement ces solutions d'activation et les rendre inutilisables. D'autre part l'utilisation des solutions d'attaque et de gravure chimique rend la surface du plastique assez rugueuse ce qui le rend inutilisable pour plusieurs applications en connectique, en soudure de précision, en électronique et en packaging qui nécessitent des surfaces très planes et très lisses. A noter que cette rugosité est nécessaire dans le cas des méthodes conventionnelles pour assurer une bonne adhésion mécanique. A cela il faut ajouter qu'un très grand nombre de plastiques technique haute température notamment ceux utilisés dans la connectique, comme les LCP, le PPS et le PBT, sont considérés comme non métallisables par les méthodes chimiques humides conventionnelles déjà décrites. Ceci limite sévèrement les possibilités industrielles d'exploitation des caractéristiques de ces polymères. Certains grades de ces plastiques contiennent des additifs très spécifiques (compoundage) pour les rendre métallisables par voie chimique mais ceci au détriment de leurs performances mécaniques et propriétés diélectriques. Ce qui les rend inadéquats pour l'utilisation en connectique.  Previous treatments use chemical solutions. Thus each type of plastic has a range of surface preparation which is specific to it. These treatment ranges have the great disadvantage of including many steps ranging from 16 to 22 steps depending on the nature of the polymer. On the other hand, these multiple steps require a fairly long processing time of up to 65 minutes before the start of any metallization. This makes it difficult, complex and expensive to treat the plastic substrates to be metallized, especially when there are several types of polymeric materials to be metallized. These methods are also expensive reprocessing solutions. In addition, the activation or catalysis solutions used in these processes mainly use colloidal palladium-tin solutions (PdSn) which are expensive, polluting and very sensitive to temperature variation. Thus a temperature below 10 C can partially or totally disable these activation solutions and make them unusable. On the other hand the use of etching and chemical etching solutions makes the plastic surface rough enough which makes it unusable for many applications in connection, precision welding, electronics and packaging that require very flat surfaces. and very smooth. Note that this roughness is necessary in the case of conventional methods to ensure good mechanical adhesion. To this must be added that a large number of high temperature plastics including those used in the connectors, such as LCP, PPS and PBT, are considered non-metallizable by the conventional wet chemical methods already described. This severely limits the industrial possibilities of exploiting the characteristics of these polymers. Some grades of these plastics contain very specific additives (compounding) to render them metallizable chemically but this to the detriment of their mechanical performance and dielectric properties. Which makes them unsuitable for use in connectivity.

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Les défauts de ces procédés sont donc la lenteur des processus chimiques, le nombre d'étapes requises, l'utilisation de solutions colloïdales de palladium onéreuses et polluantes, l'impossibilité de métalliser les plastiques techniques haute température, l'obtention de pièces rugueuses à l'endroit de la partie métallisée et les risques de décollement dans le cas d'une surface lisse. En effet, la métallisation résulte dans ces cas d'une adhésion mécanique, elle n'est pas suffisamment intime.  The defects of these processes are therefore the slowness of the chemical processes, the number of steps required, the use of expensive and polluting palloid colloidal solutions, the impossibility of metallizing the high temperature engineering plastics, the obtaining of rough pieces to the location of the metallized part and the risks of separation in the case of a smooth surface. Indeed, the metallization results in these cases of a mechanical adhesion, it is not sufficiently intimate.

Dans l'invention, pour résoudre ces problèmes, on a eu l'idée d'utiliser un plasma azote ou ammoniac dans le but d'obtenir une adhésion chimique du dépôt métallique sur un matériau lisse. Le plasma azote ou ammoniac est réalisé dans une cloche recevant l'article à métalliser. Dans la cloche, on réalise un vide primaire, un gaz injecté étant soit un des gaz NH3, N2, ou (N2+H2), soit un mélange de ces gaz. Le plasma est obtenu par énergie électromagnétique (basses fréquences, radiofréquences), par micro ondes ou par décharges micro-ondes.  In the invention, to solve these problems, it has been the idea to use a nitrogen or ammonia plasma in order to obtain a chemical adhesion of the metal deposit on a smooth material. The nitrogen or ammonia plasma is produced in a bell receiving the article to be metallized. In the bell, a primary vacuum is produced, an injected gas being either one of the gases NH3, N2, or (N2 + H2), or a mixture of these gases. Plasma is obtained by electromagnetic energy (low frequencies, radiofrequency), by microwave or by microwave discharges.

Des essais d'activation de certains matériaux plastiques par un plasma ont été réalisés et sont connus des documents: "Interest of NH3 and N2 Plasmas for Polymers Surface Treatment Before Electroless Metallization", paru dans Plasmas and Polymers, Vol 1, N 2, 1996, page 113-126, dû à M. ALAMI, M. CHARBONNIER, et M. ROMAND, D1, "Plasma Chemical Modification of Polycarbonate Surfaces for Electroless Plating" paru dans J. Adhesion, Vol 57, Pages 77-90, des mêmes auteurs, D2, "Surface plasma functionalization of polycarbonate: Application to electroless nickel and copper plating" M. Charbonnier, M. Romand, E. Harry, M. Alami ; Journal of applied electrochemistry, january 2001, Volume 31, N 1, page 57- 63, D3, "Electroless Plating of polymers: XPS study of the initiation mechanisms"; M. CHARBONNIER; M. ALAMI et M. ROMAND; Journal of applied electrochemistry, April 1998, Volume 28, N 4, page 449-453, D4, Plasma Treatment Process for Palladium Chemisorption onto Polymers before Electroless Deposition. Charbonnier, M.; Alami, M.; Romand, M,.Journal of the electrochemical society, 1996, vol. 143, no. 2, pp. 472- 480, D5.  Activation tests of certain plastic materials by a plasma have been carried out and are known from the documents: "Interest of NH3 and N2 Plasmas for Polymers Surface Treatment Before Electroless Metallization", published in Plasmas and Polymers, Vol 1, N 2, 1996 , page 113-126, due to M. ALAMI, M. CHARBONNIER, and M. ROMAND, D1, "Plasma Chemical Modification of Polycarbonate Surfaces for Electroless Plating" published in J. Adhesion, Vol 57, Pages 77-90, of the same authors, D2, "Plasma surface functionalization of polycarbonate: Application to electroless nickel and copper plating" M. Charbonnier, M. Romand, E. Harry, M. Alami; Journal of Applied Electrochemistry, January 2001, Volume 31, No. 1, pp. 57-63, D3, "Electroless Plating of Polymers: XPS Study of Initiation Mechanisms"; M. CHARBONNIER; Mr. ALAMI and Mr. ROMAND; Journal of Applied Electrochemistry, April 1998, Volume 28, No. 4, pp. 449-453, D4, Plasma Treatment Process for Palladium Chemisorption onto Polymers before Electroless Deposition. Charbonnier, M .; Alami, M .; Romand, M., Journal of the Electrochemical Society, 1996, vol. 143, no. 2, pp. 472-480, D5.

Cependant, autant le premier document D1 envisage un tel traitement pour les polymères en général, autant il ne décrit comme exemple pratique que le polystyrène amorphe, le polycarbonate et le polyamide, dont les  However, as far as the first document D1 envisages such a treatment for polymers in general, it describes as a practical example only amorphous polystyrene, polycarbonate and polyamide, whose

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qualités de support dans le domaine de l'électronique sont peu intéressantes du fait de leur limite en température et le taux d'absorption d'eau élevé du polyamide.  Supporting qualities in the field of electronics are unattractive because of their temperature limit and the high water absorption rate of the polyamide.

Le deuxième le troisième et le quatrième documents, D2, D3 et D4, ne font état que des détails du traitement des polycarbonates et de ses mécanismes, Ces matériaux n'étant pas retenus dans le domaine de l'électronique et des composants, du fait de leur qualité moindre en terme de tenue en température, d'isolation électrique, d'ouvrabilité industrielle, et d'aptitudes mécaniques.  The second, the third and the fourth documents, D2, D3 and D4, only mention details of the treatment of polycarbonates and its mechanisms. These materials are not retained in the field of electronics and components, because their lower quality in terms of temperature resistance, electrical insulation, industrial workability, and mechanical capabilities.

Par opposition, dans le domaine des circuits électroniques et des connecteurs, on préfère des matières plastiques à haute tenue en température, de type semi-cristallin et/ou cristal liquide, typiquement en polyester, en polybutylène-théréphthalate PBT ou en LCP, de type sulfure de polyphénylène PPS, ou de type polystyrène syndiotactique SPS.  In contrast, in the field of electronic circuits and connectors, high-temperature plastics of the semi-crystalline and / or liquid crystal type, typically of polyester, polybutylene-terephthalate PBT or LCP, of the type, are preferred. polyphenylene sulphide PPS, or syndiotactic polystyrene SPS type.

On peut qualifier ces matières plastiques polymères de polymères haute température car leurs températures de fusion sont de 220 C pour le PBT, et sont supérieures à 350 C pour les trois autres cités ci-dessus.  These polymeric plastics can be described as high temperature polymers because their melting temperatures are 220 ° C. for PBT and are greater than 350 ° C. for the other three cited above.

Par comparaison, les températures de fusion des autres polymères connus comme métallisables par plasma ou autre procédé sont très inférieures, de l'ordre de 90 C pour l'ABS ou le PVC et 120 C pour le polycarbonate.  By comparison, the melting temperatures of the other polymers known to be metallizable by plasma or other process are much lower, of the order of 90 C for ABS or PVC and 120 C for polycarbonate.

Toutefois, les matériaux plastiques techniques hautes température sont connus pour leur inertie vis-à-vis des traitements chimiques pour la métallisation. Cette inertie est renforcée significativement dans cas où ces plastiques sont partiellement cristallins. Ceci a conduit à limiter les tentatives de métallisation de ces matériaux hautes température.  However, the high temperature engineering plastic materials are known for their inertia vis-à-vis chemical treatments for metallization. This inertia is significantly enhanced in cases where these plastics are partially crystalline. This has led to limiting attempts to metallize these high temperature materials.

Quant au document D5, il reprend exactement les mêmes travaux que D1 sur le polycarbonate et le polystyrène amorphe. De plus les auteurs décrivent clairement que les épaisseurs maximales atteintes par leur processus sont inférieures à 2 m. Ceci n'est évidemment pas utilisable industriellement dans la connectique où des films métalliques d'une épaisseur supérieure à 20 m sont souvent requis.  As for document D5, it uses exactly the same work as D1 on polycarbonate and amorphous polystyrene. In addition, the authors clearly describe that the maximum thicknesses reached by their process are less than 2 m. This is obviously not usable industrially in the connection where metal films with a thickness greater than 20 m are often required.

Un autre enseignement tendant à écarter l'homme du métier du procédé plasma est l'utilisation par les auteurs des documents D1 à D5 d'un bain de nickelage spécifique type laboratoire qui n'opère qu'à des  Another teaching tending to exclude the skilled person from the plasma process is the use by the authors of documents D1 to D5 of a laboratory-type specific nickel bath which only

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températures supérieures à 85 C, qui a un pH acide et qui se dégrade systématiquement par décomposition, comme ils le mentionnent notamment dans le document D4. Ceci limite significativement le choix des bains de métallisation et ne permet pas d'opérer à une échelle industrielle.  temperatures above 85 C, which has an acidic pH and which is systematically degraded by decomposition, as mentioned in particular in document D4. This significantly limits the choice of plating baths and does not allow to operate on an industrial scale.

De plus, les essais de métallisation en laboratoire sur les matériaux polymères haute température cités précédemment, avec des méthodes par activation par plasmas, notamment la méthode décrite dans le documents D1 à D5, montrent des résultats de métallisation mauvais ou pour le moins aléatoires. Une utilisation des bains industriels de métallisation avec l'activation plasma décrite dans le mêmes documents ne permet aucune métallisation sur les plastiques haute température ainsi que sur les plastiques basse température décrits dans ces mêmes documents. De ce fait, il est admis que ces matériaux plastiques techniques ne sont pas métallisables par ces plasmas.  In addition, the metallization tests in the laboratory on high temperature polymer materials mentioned above, with methods by activation by plasmas, in particular the method described in documents D1 to D5, show bad or at least random metallization results. A use of industrial plating baths with plasma activation described in the same documents does not allow metallization on high temperature plastics as well as low temperature plastics described in these same documents. Therefore, it is accepted that these technical plastic materials are not metallizable by these plasmas.

Un effet encore plus dissuasif pour la métallisation des matériaux plastiques haute température est le fait que ces matériaux sont généralement chargés par des additifs (fillers et compounds) comme les fibres de verre par exemple qui sont largement utilisés dans l'industrie. Or, les fibres de verre augmentent l'inertie des plastiques vis-à-vis les diverses méthodes d'activation. Ceci permet d'expliquer le caractère aléatoire du procédé décrit dans ces documents.  An even more dissuasive effect for the metallization of high temperature plastic materials is the fact that these materials are generally loaded by additives (fillers and compounds) such as glass fibers for example which are widely used in industry. However, glass fibers increase the inertia of plastics vis-à-vis the various activation methods. This makes it possible to explain the random nature of the process described in these documents.

Malgré cet à priori et pour résoudre ces problèmes, on s'est lancé dans le cadre de la présente invention dans une recherche des conditions dans lesquelles une métallisation dite Electroless avec attaque par plasmas préalable pourrait être envisageable.  In spite of this a priori and to solve these problems, the present invention was launched in a search for conditions in which a so-called Electroless metallization with prior plasma etching could be conceivable.

Une telle métallisation Electroless, c'est à dire sans utilisation de source de courant, comporte notamment 1) un dégraissage du substrat, 2) une attaque par plasma, 3) une activation de la surface du support notamment par une immersion dans une solution diluée de chlorure de palladium, un rinçage à l'eau, 4) une réduction chimique par un bain d'hypophosphite ou de formaldehyde et 5) une métallisation proprement dite.  Such Electroless metallization, that is to say without use of a current source, comprises in particular 1) a degreasing of the substrate, 2) a plasma etching, 3) an activation of the surface of the support, in particular by immersion in a dilute solution palladium chloride, rinsing with water, 4) a chemical reduction by a bath of hypophosphite or formaldehyde and 5) a metallization itself.

Cette métallisation comporte une immersion dans un bain de métallisation. This metallization comprises an immersion in a metallization bath.

Alors que les premiers essais étaient infructueux comme rappelé cidessus, on a découvert que la métallisation qui était attendue ne se produisait pas dans de bonnes conditions si les différents bains utilisés  While the first tests were unsuccessful as mentioned above, it was discovered that the metallization that was expected did not occur under good conditions if the different baths used

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n'étaient pas amorcés. On a donc procédé à leur amorçage systématique et on alors pu mesurer que la métallisation se produisait ensuite de façon satisfaisante. L'amorçage des bains comporte notamment l'immersion dans ces bains d'une pièce, d'une lame, de nickel fraîchement décapée dans une solution de HCI.  were not initiated. Their systematic initiation was then carried out and it was then possible to measure that the metallization then took place satisfactorily. The priming baths include the immersion in these baths of a room, a blade, nickel freshly pickled in a solution of HCl.

Puis on s'est attaché à se passer de la nécessité d'amorçage, et on a alors trouvé que la température des bains devait être mieux contrôlée. On a ainsi découvert que les bains de métallisation, qui dans l'état de la technique était portés à 85 C, devaient avoir une température comprise entre 50 C et 70 C, de préférence comprise entre 55 C et 65 C.  Then we tried to do without the necessity of priming, and we then found that the temperature of the baths had to be better controlled. It has thus been discovered that the metallization baths, which in the state of the art were heated to 85 ° C., should have a temperature of between 50 ° C. and 70 ° C., preferably between 55 ° C. and 65 ° C.

Pour mieux contrôler cette température au cours de la métallisation, on a en particulier choisi des bains très volumineux par rapport au volume des articles à traiter, de façon à ce que l'immersion de ces articles dans le bain n'en modifie pas trop la température. Une autre solution pourrait de ce point de vue consister à préchauffer les articles à traiter.  In order to better control this temperature during the metallization, in particular very large baths have been chosen in relation to the volume of the articles to be treated, so that the immersion of these articles in the bath does not greatly modify the temperature. Another solution could from this point of view consist in preheating the articles to be treated.

Selon l'invention, et pour améliorer davantage la métallisation en se passant de la nécessité d'amorçage et pour mieux activer les matériaux techniques haute température, nous avons mélangé au gaz utilisé pour le plasma (N2 ou NH3) un gaz rare inerte tel que le néon, l'hélium ou l'argon. Le gaz inerte est ajouté dans une proportion de 0. 1 à 6% en volume ce qui augmente la dissociation de l'azote et/ou de l'ammoniac ou de leurs mélanges en composés réactifs de 7 à 8% en radicaux libres et en espèces ioniques ou atomiques excitées.  According to the invention, and to further improve the metallization bypassing the need for priming and to better activate the high temperature technical materials, we have mixed with the gas used for the plasma (N2 or NH3) an inert rare gas such as neon, helium or argon. The inert gas is added in a proportion of 0.1 to 6% by volume, which increases the dissociation of nitrogen and / or ammonia or their mixtures into reactive compounds of 7 to 8% in free radicals and in ionic or atomic species excited.

Le temps d'activation est de l'ordre de 5 secondes à 5 minutes et la densité de puissance varie entre 0. 1 et 1. 1 W /cm2, de préférence entre 0.3 et 0.7 W/cm2. La fréquence de l'activation électromagnétique peut être de l'ordre de 75 Hz jusqu'aux micro-ondes. Le résultat de l'activation est la rupture de liaisons carbone et carbone-hydrogène sur l'article et le greffage de composés azotés NH, NH2, N2+, ,et plus généralement amides, amines, imines ou imides.  The activation time is of the order of 5 seconds to 5 minutes and the power density varies between 0. 1 and 1. 1 W / cm 2, preferably between 0.3 and 0.7 W / cm 2. The frequency of the electromagnetic activation can be of the order of 75 Hz until the microwaves. The result of the activation is the breaking of carbon and carbon-hydrogen bonds on the article and the grafting of nitrogen compounds NH, NH 2, N 2 +, and more generally amides, amines, imines or imides.

La pièce peut alors être plongée dans une solution ionique comportant des sels de palladium (par exemple de PdCl2 ou PdS04+ HCI), ce qui permet le greffage d'ions palladium. Ce palladium sera ensuite réduit chimiquement dans un bain contenant un agent réducteur comme l'hypophosphite, le formaldéhyde, ou l'hydrosulfite. Ce greffage suivi par une réduction autorise  The part can then be immersed in an ionic solution comprising palladium salts (for example PdCl 2 or PdSO 4 + HCl), which allows the grafting of palladium ions. This palladium will then be chemically reduced in a bath containing a reducing agent such as hypophosphite, formaldehyde, or hydrosulfite. This grafting followed by a reduction allows

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ensuite, en plongeant la pièce greffée dans un bain de métallisation chimique, de réaliser une première couche de métallisation fine qui sera ensuite complétée pour donner une métallisation épaisse par un dépôt électrochimique ou galvanique. Une caractéristique du produit résultant est que l'on retrouve par analyse des composés azotés et du palladium à l'interface métal/polymère, la couche de métallisation épaisse ayant préférablement une épaisseur comprise entre 0.2 m et 20 m.  then, by dipping the grafted part in a chemical metallization bath, to produce a first thin metallization layer which will then be completed to give a thick metallization by electrochemical or galvanic deposition. A characteristic of the resulting product is that analysis of nitrogen compounds and palladium is found at the metal / polymer interface, the thick metallization layer preferably having a thickness of between 0.2 m and 20 m.

Selon l'invention, le procédé a été étendu à des matériaux considérés originellement dans la technique comme non métallisables tels que les PBT, PPS, SPS et LCP. Ces matériaux ont finalement pu être métallisés selon le procédé et selon le perfectionnement de l'invention.  According to the invention, the process has been extended to materials originally considered in the art as non-metallizable such as PBT, PPS, SPS and LCP. These materials could finally be metallized according to the process and according to the improvement of the invention.

En outre, le procédé d'attaque par plasma peut être contrôlé de façon à permettre une métallisation sélective sur un article formé de deux supports plastiques différents, ceci sans étape d'activation entre les deux étapes de moulage. On peut en effet, pour des raisons de métallisation sélective, prévoir d'activer une partie d'un article, de coller ou surmouler sur cette partie activée une autre partie non activée de l'article, et de procéder ensuite à la métallisation de l'ensemble, la métallisation ne se réalisant que sur la partie préparée (comme indiqué dans le brevet US-A-5 407 622). On éviterait ainsi une opération de gravure. Cependant, cette technique qui comporte la manipulation d'une partie activée peut conduire à la désactivation locale de cette partie activée au cours du collage, ou d'un surmoulage sur la partie non activée notamment en présence de polluants et de contaminants comme les graisses et les huiles.  In addition, the plasma etching method can be controlled so as to allow selective metallization on an article formed of two different plastic supports, this without activation step between the two molding steps. It is indeed possible, for reasons of selective metallization, to activate a part of an article, to glue or overmold on this activated part another non-activated part of the article, and then to metallize the article. together, the metallization is only realized on the prepared part (as indicated in US-A-5 407 622). This would avoid an engraving operation. However, this technique which involves the manipulation of an activated part may lead to the local deactivation of this activated part during bonding, or overmoulding on the non-activated part, especially in the presence of pollutants and contaminants such as fats and grease. the oils.

Dans l'invention, on a résolu ce problème en effectuant le collage ou le surmoulage des deux parties préalablement à l'activation, mais en retenant pour ces différentes parties des matériaux plastiques différents.  In the invention, this problem has been solved by gluing or overmolding the two parts prior to activation, but retaining for these different parts different plastic materials.

Ensuite, au moment de l'activation par plasma, on modifie les conditions de l'activation pour que seule une des deux parties soit activée. Typiquement, on modifie la durée de l'activation. Par exemple, on la limite à 10 secondes (soit une durée inférieure à 15 secondes), une partie en LCP ou en SPS étant activée en 5 secondes alors que l'autre partie, respectivement en PBT ou en PPS, activable seulement après 60 secondes, n'étant pas activée. En effet des essais ont été effectués sur une pièce mixte en PBT - SPS et sur une pièce mixte en PPS - LCP. Ils ont permis de déterminer qu'en optimisant Then, at the time of plasma activation, the conditions of the activation are modified so that only one of the two parts is activated. Typically, the duration of the activation is modified. For example, it is limited to 10 seconds (ie less than 15 seconds), a part in LCP or SPS is activated in 5 seconds while the other part, respectively in PBT or PPS, can be activated only after 60 seconds , not being activated. Indeed tests were carried out on a mixed part in PBT - SPS and on a mixed part in PPS - LCP. They determined that by optimizing

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les paramètres du plasma (temps et énergie) une réaction différenciée suffisante au greffage est obtenue pour permettre, après l'étape de greffage d'ions palladium, une métallisation sélective par une première couche dans un bain de cuivre chimique auto catalytique avec agents stabilisants. Il apparaît ainsi que le perfectionnement du procédé de l'invention consiste à réaliser une activation différentielle d'un produit bi-matière permettant une métallisation sélective, notamment par une étape de métallisation rapide.  the plasma parameters (time and energy) a sufficient differentiated reaction to the grafting is obtained to allow, after the palladium ion grafting step, a selective metallization by a first layer in an auto-catalytic chemical copper bath with stabilizing agents. It thus appears that the improvement of the process of the invention consists in carrying out a differential activation of a bi-material product allowing a selective metallization, in particular by a fast metallization step.

L'invention a donc pour objet un procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant des étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, pour lequel le bain de métallisation est porté à une température comprise entre 50 C et 70 C.  The subject of the invention is therefore a process for metallizing a high-temperature polymer plastic article comprising cleaning steps, plasma etching steps, grafting steps, and metallization steps by immersion in a metallization bath, for which the bath metallization is brought to a temperature between 50 C and 70 C.

L'invention a donc aussi pour objet un procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant des étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, tel que le bain de métallisation est préalablement amorcé.  The invention therefore also relates to a metallization process of a high-temperature polymer plastic article comprising cleaning steps, plasma etching, grafting and then metallization by immersion in a metallization bath, such as the metallisation bath is preliminarily initiated.

L'invention a également pour objet un procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant des étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, pour lequel l'article comporte des parties en des matières plastiques différentes, et tel que les conditions opératoires de ces étapes sont réglées de telles façon que le greffage et ensuite la métallisation soient effectifs sur une de ces parties et pas sur l'autre.  The invention also relates to a method of metallizing a high-temperature polymer plastic article comprising cleaning steps, etching by plasma, grafting and metallization by immersion in a metallization bath, for which the The article comprises parts made of different plastics, and such that the operating conditions of these steps are adjusted in such a way that the grafting and then the metallization are effective on one of these parts and not on the other.

L'invention a pour objet principal une pièce plastique revêtue au moins partiellement d'un dépôt métallique comportant un premier matériau plastique non métallisé, - un second matériau plastique revêtu au moins en partie par le dépôt métallique, le dépôt métallique comporte à l'interface avec le second matériau des sites d'accrochage comportant des espèces azotées et des espèces palladium, comporte une première couche dite couche initiale ayant une première épaisseur, comporte au moins une deuxième couche dite couche externe ayant une seconde épaisseur, les premier et second matériaux plastiques étant dépourvus de charges métalliques ou  The main subject of the invention is a plastic part at least partially coated with a metal deposit comprising a first non-metallized plastics material, - a second plastics material coated at least in part by the metallic deposit, the metal deposit comprising at the interface with the second material of the attachment sites comprising nitrogen species and palladium species, comprises a first layer called initial layer having a first thickness, comprises at least a second layer called outer layer having a second thickness, the first and second plastic materials being free of metal charges or

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catalytiques.  catalyst.

Toujours selon l'invention la pièce est telle que l'interface est constituée sur le second matériau à partir d'une activation plasma d'au moins ce second matériau puis immersion de la pièce dans un bain palladium ionique.  Still according to the invention the piece is such that the interface is formed on the second material from a plasma activation of at least this second material and then immersing the piece in an ionic palladium bath.

Pour réaliser la pièce selon l'invention, l'activation plasma est faite sur les deux matériaux plastiques pendant une durée n'activant que l'un des matériaux plastique.  To achieve the part according to the invention, the plasma activation is made on the two plastic materials for a duration activating only one of the plastic materials.

Selon un mode particulier de l'invention, l'activation plasma active les deux matériaux, une étape de désactivation de l'un des matériaux étant placée entre l'activation et l'immersion, l'étape de désactivation pouvant être une étape d'attente ou de vieillissement.  According to one particular embodiment of the invention, the plasma activation activates the two materials, a step of deactivating one of the materials being placed between the activation and the immersion, the deactivation step possibly being a step of waiting or aging.

En mode alternatif l'activation plasma est faite sur les deux matériaux, un apport d'oxygène étant effectué par exemple par agitation du bain, barbotage, insufflation d'air ou bullage pendant une étape de dépôt chimique postérieure à l'immersion de la pièce dans le bain palladium ionique pour former la couche initiale sur un seul des matériaux plastiques.  In alternative mode, the plasma activation is done on the two materials, an oxygen supply being carried out for example by stirring the bath, bubbling, air blowing or bubbling during a chemical deposition step subsequent to the immersion of the piece. in the ionic palladium bath to form the initial layer on only one of the plastic materials.

Selon l'invention les premier et second matériaux peuvent être choisis parmi les matériaux SPS, LCP, PBT, PPS et leurs différents grades non chargés catalytiquement. Les premier et second matériaux plastiques peuvent former après traitement un couple non-métallisable/métallisable choisi parmi LCP/SPS ; PBT/LCP ; PBT/SPS ; PPS/LCP ; PPS/SPS ; PBT/SPS.  According to the invention, the first and second materials may be chosen from SPS, LCP, PBT and PPS materials and their various non-catalytically charged grades. The first and second plastic materials can form after treatment a non-metallizable / metallizable pair selected from LCP / SPS; PBT / LCP; PBT / SPS; PPS / LCP; PPS / SPS; PBT / SPS.

La couche externe peut notamment être réalisée par dépôt électrochimique d'un métal tel que du cuivre ou du nickel.  The outer layer may in particular be made by electrochemical deposition of a metal such as copper or nickel.

L'épaisseur de la couche initiale peut démarrer à 0.3 m et aller jusqu'à 20 m mais est avantageusement comprise entre 0.3 m et 1.5 m, la couche externe ayant préférablement une épaisseur comprise entre 4 m et 30 m.  The thickness of the initial layer can start at 0.3 m and go up to 20 m but is advantageously between 0.3 m and 1.5 m, the outer layer preferably having a thickness of between 4 m and 30 m.

La pièce selon l'invention est telle que la force d'adhésion du dépôt sur le second matériau plastique est supérieure à 1 N/mm2 et en particulier la force d'adhésion du dépôt sur le second matériau plastique peut être supérieure à 2 N/mm2.  The part according to the invention is such that the adhesive force of the deposit on the second plastic material is greater than 1 N / mm 2 and in particular the adhesion force of the deposit on the second plastic material may be greater than 2 N / mm2.

Toujours selon l'invention la surface du second matériau après arrachage du dépôt présente un spectre d'analyse pourvu au moins de pics  Still according to the invention the surface of the second material after tearing off the deposit has an analysis spectrum provided with at least peaks

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correspondants aux espèces azote, de pics correspondants aux espèces palladium et présente un décalage des pics, correspondants aux espèces palladium, spécifique à des liaisons PdNx.  corresponding to the nitrogen species, peaks corresponding to the palladium species and has a shift of the peaks, corresponding to the palladium species, specific to PdNx bonds.

L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit et à l'examen des figures qui l'accompagnent. Celles-ci ne sont présentées qu'à titre indicatif et nullement limitatif de l'invention. Les figures montrent : - Figure 1 : l'évolution de la position en énergie du doublet de spin 3d du palladium ; - Figures 2a, 2b et 2c : un exemple de pièce selon l'invention pour les étapes de moulage et activation ; - Figure 3 : vue d'un détail de la pièce selon les figures 2A, 2B, 2C après métallisation ; - Figure 4 : représentation du spectre XPS de la surface de l'interface plastique métal d'une pièce selon l'invention ; - Figure 5: Un premier détail de la représentation de la figure 4 ; - Figure 6: Un second détail de la représentation de la figure 4 ; - Figure 7 : représentation statistique d'un détail du spectre XPS de la surface de l'interface d'un autre type de pièce selon l'invention ; - Figure 8 : vue schématique en coupe d'une pièce comportant un matériau plastique unique métallisé selon le procédé de l'invention.  The invention will be better understood on reading the description which follows and on examining the figures which accompany it. These are presented only as an indication and in no way limitative of the invention. The figures show: FIG. 1: the evolution of the energy position of the spin 3d doublet of palladium; - Figures 2a, 2b and 2c: an exemplary part according to the invention for the molding steps and activation; - Figure 3: view of a detail of the part according to Figures 2A, 2B, 2C after metallization; FIG. 4: representation of the XPS spectrum of the surface of the metal plastic interface of a part according to the invention; - Figure 5: A first detail of the representation of Figure 4; - Figure 6: A second detail of the representation of Figure 4; FIG. 7: statistical representation of a detail of the XPS spectrum of the surface of the interface of another type of part according to the invention; - Figure 8 is a schematic sectional view of a part comprising a single plastic material metallized according to the method of the invention.

La technique plasma utilisée dans le cadre de l'invention a consisté à créer une différence de potentiel à fréquence élevée dans un gaz sous pression réduite. Différentes espèces sont alors créées, incluant : électrons, ions, atomes et molécules excités ou non, radicaux libres, photons UV et visible.  The plasma technique used in the context of the invention consisted in creating a high frequency potential difference in a gas under reduced pressure. Different species are then created, including: electrons, ions, atoms and molecules excited or not, free radicals, UV and visible photons.

Dans la pratique les trois fréquences d'excitation utilisées pour créer ce plasma sont dans la gamme des basses fréquences (< 100 Hz) radiofréquences (13.56MHz) et des micro-ondes (430MHz ou 2.45GHz).  In practice, the three excitation frequencies used to create this plasma are in the range of low frequencies (<100 Hz) radio frequencies (13.56 MHz) and microwaves (430 MHz or 2.45 GHz).

Le plasma utilisé est un plasma azoté par exemple de type N2 ou NH3 ou N2+H2, qui forme à la surface du polymère des groupements de type C-N.  The plasma used is a nitrogenous plasma, for example of the N 2 or NH 3 or N 2 + H 2 type, which forms on the surface of the polymer C-N type groups.

Le plasma est par ailleurs un ensemble très réactif qui provoque à la surface du substrat de nombreux effets parmi lesquels: - le nettoyage de la surface, par l'élimination des contaminants organiques, - le décapage, qui enlève les couches superficielles en créant une Plasma is also a very reactive set which causes on the surface of the substrate many effects among which: - the cleaning of the surface, by the elimination of the organic contaminants, - the stripping, which removes the superficial layers by creating a

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certaine rugosité à l'échelle nanométrique de la surface du substrat.  some roughness at the nanoscale of the substrate surface.

De plus les UV du plasma cassent les liaisons C-C et C-H du polymère en laissant donc des radicaux libres réagissant avec d'autres radicaux du gaz ou avec d'autres chaînes macromoléculaires de la surface.  In addition, the UV of the plasma breaks the C-C and C-H bonds of the polymer, thus leaving free radicals reacting with other radicals of the gas or with other macromolecular chains of the surface.

Un effet obtenu dans le cadre de l'invention par l'utilisation d'un plasma azoté est la fonctionnalisation qui est un greffage de fonctions chimiques réalisé avec un plasma de gaz réactif : greffage de fonctions azotées (plasma N2, NH3) à la surface du polymère. Les plasmas azotés N2 permettent d'obtenir les groupements suivants : amines H2N-C, imines N=C, nitriles N#C. Les plasmas NH3 conduisent eux à la formation de groupements : amines H2N-C, amides N-C=O.  An effect obtained in the context of the invention by the use of a nitrogenous plasma is the functionalization which is a grafting of chemical functions carried out with a reactive gas plasma: grafting of nitrogen functions (plasma N2, NH3) to the surface of the polymer. The nitrogenous plasmas N2 make it possible to obtain the following groups: amines H2N-C, imines N = C, nitriles N # C. The NH 3 plasmas lead to the formation of groups: amines H2N-C, amides N-C = O.

Une deuxième étape pour obtenir un plastique haute température métallisé dans le cadre de l'invention est la métallisation Electroless. La métallisation Electroless est un procédé de dépôt chimique de couches métalliques sur des substrats à partir d'une solution aqueuse, sans utilisation de source de courant extérieure. Il s'agit d'une méthode fonctionnant sans source électrique externe. Les bains ou solutions utilisées afin d'obtenir les dépôts métalliques, sont des solutions industrielles conçues par des sociétés spécialisées. Les bains sont constitués de plusieurs agents, incluant en particulier : - un sel du métal à déposer : Ni, Cu, Ag, Co; - un réducteur : hypophosphite de sodium, formaldéhyde; - un stabilisant; - un régulateur de pH, et; - un complexant.  A second step to obtain a metallized high temperature plastic in the context of the invention is Electroless metallization. Electroless metallization is a process of chemical deposition of metal layers on substrates from an aqueous solution, without the use of an external current source. This is a method that operates without an external power source. The baths or solutions used to obtain the metal deposits, are industrial solutions designed by specialized companies. The baths consist of several agents, including in particular: a salt of the metal to be deposited: Ni, Cu, Ag, Co; - a reducing agent: sodium hypophosphite, formaldehyde; a stabilizer; a pH regulator, and; a complexing agent

La réaction de dépôt métallique provient d'une réaction d'oxydoréduction entre un ion métallique de l'agent à déposer et le réducteur du système. Afin d'obtenir un dépôt sur la surface de n'importe quel substrat il faut rendre cette surface active donc catalytique pour la réaction rédox afin de permettre une initiation de la réduction des ions métalliques. Si le substrat est non conducteur, cas des polymères, il est nécessaire de produire des sites de nucléation à la surface de celui-ci. Cela est réalisé en fixant un sel d'un métal du groupe VIII (en général du palladium), pour pouvoir initier la réaction de dépôt. En conséquence une telle approche a été mise en #uvre dans l'invention afin de modifier la surface du substrat par un traitement  The metal deposition reaction results from a redox reaction between a metal ion of the agent to be deposited and the reductant of the system. In order to obtain a deposit on the surface of any substrate, this active surface must be made catalytic for the redox reaction in order to allow an initiation of the reduction of the metal ions. If the substrate is non-conductive, in the case of polymers, it is necessary to produce nucleation sites on the surface of the latter. This is done by fixing a salt of a Group VIII metal (usually palladium), in order to initiate the deposition reaction. Consequently, such an approach has been implemented in the invention in order to modify the surface of the substrate by a treatment

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plasma.  plasma.

Ainsi selon l'invention, en soumettant un substrat notamment un élément de connecteur constitué d'un polymère à un plasma de type N2 ou NH3 ou (N2+H2), on forme à sa surface des groupements de type C-N. En immergeant ensuite cet échantillon dans un bain de sel de palladium : PdCI2 ou PdS04, on crée des liaisons fortes covalentes entre les atomes d'azote et de palladium : C-N-Pd ; la surface est ainsi activée, ce qui permet d'initier la réaction d'oxydo-réduction précédemment décrite. Un premier avantage du procédé de l'invention est que ce traitement simplifié élimine les traitements chimiques de conditionnement des surfaces et le traitement de sensibilisation au chlorure d'étain connu dans l'art antérieur dont la gestion des solutions est difficile et coûteuse.  Thus, according to the invention, by subjecting a substrate, in particular a connector element consisting of a polymer, to an N 2 or NH 3 or (N 2 + H 2) type plasma, C-N groups are formed on its surface. By then immersing this sample in a palladium salt bath: PdCl 2 or PdSO 4, covalent strong bonds are created between the nitrogen and palladium atoms: C-N-Pd; the surface is thus activated, which makes it possible to initiate the oxidation-reduction reaction described above. A first advantage of the process of the invention is that this simplified treatment eliminates the chemical surface conditioning treatments and the tin chloride sensitization treatment known in the prior art whose solution management is difficult and expensive.

Ce procédé simplifié qui sera décrit ci-après peut être résumé par l'organigramme suivant : dégraissage par solvant, attaque par plasma, activation, rinçage et métallisation.  This simplified process which will be described below can be summarized by the following flowchart: solvent degreasing, plasma etching, activation, rinsing and metallization.

Comme vu précédemment, afin de modifier la surface des polymères, nous avons utilisé des gaz dits non polymérisables : N2, NH3, permettant un greffage de fonctions chimiques azotées. Les traitements plasma ont été effectués, à titre non limitatif, en utilisant un réacteur radiofréquence RF de 13,56 MHz à électrodes parallèles en aluminium, opérant en mode capacitif.  As seen previously, in order to modify the surface of the polymers, we used so-called non-polymerizable gases: N2, NH3, allowing grafting of nitrogenous chemical functions. The plasma treatments were carried out, without limitation, using a 13.56 MHz radiofrequency RF reactor with parallel electrodes in aluminum, operating in capacitive mode.

Le substrat connecteur à traiter est disposé sur une électrode inférieure, la cathode, qui est reliée au générateur RF. L'électrode supérieure, l'anode, reliée à la masse est percée de trous, ce qui permet un écoulement homogène des gaz à l'entrée dans le réacteur. Un système de circulation d'eau refroidit en permanence les deux électrodes, limitant ainsi leur température à 60 C maximum. L'efficacité des traitements plasma dépendant de différents paramètres opératoires, nous nous sommes attachés à faire varier ces paramètres afin d'optimiser les conditions de métallisation: - Pression du gaz dans le réacteur : 0. 12 Pa à 35 Pa; - Débit du gaz : 10 à 1000 sccm; - Gaz utilisés : NH3, N2, (H2+N2) comme gaz principal et dans certains cas on a jouté des gaz rares comme l'Hélium, l'Argon et le Néon ; - Durée de traitement : 0. 5 s à 10 minutes ; - Puissance : une densité de puissance fournie par le générateur : 0. 1 à 1.1 W/cm2. The connector substrate to be treated is disposed on a lower electrode, the cathode, which is connected to the RF generator. The upper electrode, the anode, connected to the ground is pierced with holes, which allows a homogeneous flow of gases at the entrance to the reactor. A water circulation system continuously cools the two electrodes, thus limiting their temperature to 60 C maximum. Since the efficiency of the plasma treatments depends on different operating parameters, we have endeavored to vary these parameters in order to optimize the metallization conditions: - Pressure of the gas in the reactor: 0. 12 Pa at 35 Pa; - Gas flow: 10 to 1000 sccm; - Gases used: NH3, N2, (H2 + N2) as the main gas and in some cases we added rare gases such as Helium, Argon and Neon; - Treatment duration: 0.5 s to 10 minutes; - Power: a power density provided by the generator: 0. 1 to 1.1 W / cm2.

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Les bains Electroless les plus communément utilisés industriellement contiennent le sel du métal à déposer, un agent réducteur puissant, un agent complexant de l'ion métallique et un composé stabilisant pour éviter la décomposition de la solution. Dans le carde de l'invention, nous avons employé deux bains de la société Enthone-OMI. Un premier bain pour effectuer les dépôts de nickel : Enplate Ni426, contient peu de phosphore.  Electroless baths most commonly used industrially contain the salt of the metal to be deposited, a strong reducing agent, a complexing agent of the metal ion and a stabilizing compound to prevent the decomposition of the solution. In the card of the invention, we used two baths of Enthone-IMO. A first bath to make nickel deposits: Enplate Ni426, contains little phosphorus.

Un deuxième bain pour réaliser les dépôts de cuivre : Enplate Cu872. A second bath to make copper deposits: Enplate Cu872.

Pour tous les matériaux qui sont non-conducteurs tels que les polymères, il est nécessaire de rendre la surface catalytiquement active en créant sur celle-ci des sites de nucléation par greffage d'un métal noble, tel que le palladium capable de catalyser la réaction. Nous utilisons ici le palladium car il possède une très forte affinité avec l'azote, préalablement fixé par le traitement plasma.  For all materials that are non-conductive such as polymers, it is necessary to render the surface catalytically active by creating on it nucleation sites by grafting a noble metal, such as palladium capable of catalyzing the reaction. . We use palladium here because it has a very strong affinity with nitrogen, previously fixed by plasma treatment.

Nous avons utilisé, pour métalliser les échantillons, trois solutions à savoir : - un bain de chlorure de palladium contenant entre 0,05g/1 et 0,5g/l de PdCl2 de 1 à 30cm3/l de HCI pur, afin de réaliser l'adsorption du catalyseur (immersion pendant 0. 5 à 5 minutes puis rinçage à l'eau pendant environ 30s); - comme bain réducteur nous avons utilisé un bain d'hypophosphite de sodium fonctionnant entre 50 et 85 C, ou bien un bain de formaldéhyde en milieu sodique, ou bien un bain d'hydrosulfite en milieu alcalin afin de réduire chimiquement le catalyseur greffé à la surface des substrats (immersion pendant 1 min à 10 min). Cette étape est optionnelle et son utilisation est fonction de la stabilité des bains industriels. En effet, la réduction des espèces Pd2+ par le réducteur chimique avant l'étape de métallisation permet à cette dernière de démarrer rapidement et d'obtenir des dépôts de qualité ; - un bain de métallisation contenant le sel de nickel ou le sel de cuivre (immersion pendant une durée variable en fonction de l'épaisseur de métal souhaitée).  We used, to metallize the samples, three solutions, namely: a bath of palladium chloride containing between 0.05 g / l and 0.5 g / l of PdCl 2 of 1 to 30 cm 3 / l of pure HCl, in order to achieve adsorption of the catalyst (immersion for 0.5 to 5 minutes and then rinsing with water for about 30 seconds); as a reducing bath, we used a bath of sodium hypophosphite operating between 50 and 85 ° C., or a bath of formaldehyde in sodium medium, or a bath of hydrosulphite in an alkaline medium in order to chemically reduce the grafted catalyst to the surface of the substrates (immersion for 1 min to 10 min). This step is optional and its use depends on the stability of industrial baths. Indeed, the reduction of Pd2 + species by the chemical reducer before the metallization step allows the latter to start quickly and obtain quality deposits; a metallization bath containing the nickel salt or the copper salt (immersion for a variable duration depending on the desired thickness of metal).

Le processus de métallisation Electroless utilisé peut-être résumé comme suit pour un substrat de PBT+30%Fibre de Verre à titre d'exemple: - Dégraissage : isopropanol aux ultrasons ou dégraissant alcalin - Plasma RF (0. 5s à 10min)  The electroless metallization process used can be summarized as follows for a PBT + 30% glass fiber substrate by way of example: - Degreasing: isopropanol with ultrasonic or alkaline degreaser - RF plasma (0.5 to 10 min)

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- Immersion dans le bain de PdCl2 - Rinçage : eau distillée - Immersion dans le bain d'hypophosphite ou formaldéhyde - Immersion dans le bain de métallisation - Rinçage.  - Immersion in the PdCl2 bath - Rinsing: distilled water - Immersion in the hypophosphite bath or formaldehyde - Immersion in the plating bath - Rinsing.

Pour le dégraissage des pièces, on place les pièces, par exemple des boîtiers de connecteurs plastiques, dans un bain d'isopropanol aux ultrasons ou bien dans un bain de dégraissant alcalin contenant un tensioactif et de la soude.  For the degreasing of parts, the parts, for example plastic connector housings, are placed in an ultrasonic isopropanol bath or in an alkaline degreasing bath containing a surfactant and sodium hydroxide.

Les bains contenant l'hypophosphite et le nickel sont chacun portés à une température entre 50 et 65 C. Après le greffage de fonctions azotées sur le polymère : liaisons C-N, on l'active au PdCl2 en lui attachant des germes de Palladium. Le palladium possédant une grande affinité pour l'azote, on crée des liaisons de type C-N-Pd, le palladium ainsi fixé étant à l'état Pd(II).  The baths containing hypophosphite and nickel are each brought to a temperature between 50 and 65 ° C. After the grafting of nitrogen functions on the polymer: C-N bonds, it is activated at PdCl 2 by attaching palladium seeds to it. Since palladium has a high affinity for nitrogen, C-N-Pd bonds are created, the palladium thus fixed being in the Pd (II) state.

Pour être actif, le palladium doit être à l'état Pd(0). Ceci est réalisé en soumettant les substrats greffés à l'action directe d'un réducteur (immersion dans un bain d'hypophosphite) ou à l'action du bain de métallisation luimême (bain qui contient de l'hypophosphite). To be active, the palladium must be in the Pd (0) state. This is accomplished by subjecting the grafted substrates to the direct action of a reducing agent (immersion in a hypophosphite bath) or to the action of the metallization bath itself (bath which contains hypophosphite).

On a analysé ensuite les surfaces ainsi préparées. Pour caractériser la surface des isolants, notamment la surface des polymères, une technique possible est la spectrométrie photoélectrique induite par les rayons X : XPS.L'intérêt de cette méthode réside dans sa capacité à mettre en évidence la présence de certaines liaisons chimiques de surface. Une autre méthode de test telle que l'analyse spectrométrie de masse inorganique (abréviation Anglophone SIMS) permet de caractériser les pics correspondants aux espèces chimiques existant en surface du matériau.  The surfaces thus prepared were then analyzed. To characterize the surface of the insulators, in particular the surface of the polymers, a possible technique is X-ray induced photoelectron spectroscopy: XPS. The interest of this method resides in its ability to demonstrate the presence of certain surface chemical bonds. . Another test method such as inorganic mass spectrometry analysis (English abbreviation SIMS) makes it possible to characterize the peaks corresponding to the chemical species existing on the surface of the material.

On a également mesuré la mouillabilité des articles à l'aide d'un appareil Digidrop de GBX Scientific Instruments comportant une caméra, un système d'analyse et de traitement d'images associé à un logiciel permettant d'effectuer des mesures automatiques d'angle de contact.  The wettability of the items was also measured using a GBX Scientific Instruments Digidrop camera with a camera, image analysis and processing system, and software to perform automatic angle measurements. of contact.

On a encore effectué des test d'adhérence par arrachage d'une bande adhésive, dit communément Scotch test (Scotch est une marque déposée par 3M) le ruban adhésif utilisé est le 3M Type 250. Ce test consiste à faire des incisions croisées séparées (quadrillage) sur le dépôt de métallisation.  Adhesion testing has also been carried out by tearing off an adhesive tape, commonly referred to as Scotch test (Scotch is a registered trademark by 3M). The adhesive tape used is 3M Type 250. This test consists in making separate cross incisions ( grid) on the metallization deposit.

Ces incisions doivent être assez profondes pour atteindre le substrat. On fait These incisions must be deep enough to reach the substrate. We do

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ensuite fortement adhérer un ruban adhésif sur la surface incisée. Après 3 minutes d'attente, on effectue un arrachement du ruban adhésif de façon très rapide, sans temps d'arrêt. En général, on effectue l'essai sous un angle de 180 . On examine ensuite la partie entaillée du revêtement soumis au test.  then strongly adhere an adhesive tape to the incised surface. After waiting for 3 minutes, the adhesive tape is pulled off very quickly, without any downtime. In general, the test is carried out at an angle of 180. The notched portion of the coating under test is then examined.

Une classification normalisée en six catégories est utilisée pour estimer l'adhésion du dépôt sur le substrat. A standard six-class classification is used to estimate the adhesion of the deposit on the substrate.

On peut aussi procéder à un test d'arrachement par traction. Lors de ce test, l'adhésion est mesurée par la force de traction qu'il est nécessaire d'exercer sur le dépôt, perpendiculairement au plan de l'interface, pour l'arracher de son substrat. Un plot cylindrique en aluminium est collé au revêtement grâce à un adhésif de type cyanoacrylate. Le substrat étant immobilisé, le plot est arraché en utilisant une machine de traction qui enregistre la force maximale nécessaire pour détacher un disque de revêtement. Le rapport entre cette force maximale et la surface du plot est souvent utilisé pour caractériser l'adhésion :
Il est nécessaire d'attendre 24 heures de séchage à température ambiante avant de procéder à l'essai de traction.
It is also possible to carry out a pull-out test. During this test, the adhesion is measured by the tensile force that it is necessary to exert on the deposit, perpendicularly to the plane of the interface, to tear it off its substrate. A cylindrical aluminum pad is adhered to the coating by means of a cyanoacrylate adhesive. The substrate being immobilized, the stud is torn off using a traction machine which records the maximum force necessary to detach a coating disc. The ratio between this maximum force and the surface of the stud is often used to characterize the adhesion:
It is necessary to wait 24 hours of drying at room temperature before carrying out the tensile test.

Les substrats étudiés sont des pièces pour usage en connectique ou circuits de type MID (molded interconnect devices ou dispositifs d'interconnexion moulés). Ce sont par exemple des boîtiers de connecteur revêtus d'une couche de métal par exemple formant des pistes conductrices disjointes permettant le transport de l'électricité ou bien constituant un blindage électromagnétique. Cette couche de métal ne doit pas s'altérer, ni se décoller à la suite de contraintes industrielles ou environnementales telles que rencontrées dans l'automobile par exemple. Les pièces métallisées doivent notamment supporter des contraintes électriques importantes sans endommagement de la surface du substrat. La résistance aux contraintes électriques est mesurée par des essais de chocs thermiques. Ces essais sont de deux types : chocs thermiques classiques ou chocs thermiques cycliques. Ces chocs thermiques permettent de vérifier la capacité du dépôt à supporter des variations thermiques importantes et par conséquent des chocs électriques qui engendrent une élévation de la température au niveau du métal conducteur. En vérifiant la tenue du dépôt métallique sur le substrat à la suite d'un choc thermique, on peut valider la résistance de l'échantillon aux chocs électriques.  The substrates studied are parts for use in connection or molded interconnect devices (molded interconnect devices). These are for example connector housings coated with a metal layer for example forming disjoint conductive tracks for the transport of electricity or constituting an electromagnetic shielding. This layer of metal must not deteriorate or peel off as a result of industrial or environmental constraints as encountered in the automobile for example. The metallized parts must in particular withstand significant electrical stresses without damaging the surface of the substrate. Resistance to electrical stresses is measured by thermal shock tests. These tests are of two types: conventional thermal shocks or cyclic thermal shocks. These thermal shocks make it possible to check the capacity of the deposit to withstand significant thermal variations and consequently electric shocks which cause a rise in the temperature at the level of the conductive metal. By checking the resistance of the metal deposit to the substrate following a thermal shock, it is possible to validate the resistance of the sample to electric shocks.

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Dans le cadre de la fabrication des composants électroniques, les matériaux pour connecteurs sur lesquels du nickel et du cuivre doivent être déposés pour réaliser des pistes conductrices, sont par exemple les suivants : - PBT + 30% fibres de verre (polybutylène téréphthalate), appelé industriellement Pocan; - LCP (polymère à cristaux liquides), appelé industriellement Vectra ; - SPS + 30% fibres de verre, appelé industriellement Questra ; - PPS sulfure de polyphénylène +40% fibre de verre (par exemple le produit RYTON de la société Chevron Phillips).  In the context of the manufacture of electronic components, the materials for connectors on which nickel and copper must be deposited to make conductive tracks, are for example the following: - PBT + 30% glass fibers (polybutylene terephthalate), called industrially Pocan; LCP (liquid crystal polymer), referred to industrially as Vectra; - SPS + 30% glass fibers, industrially called Questra; Polyphenylene sulphide + 40% glass fiber (for example the RYTON product from Chevron Phillips).

Nous avons donc étudié chacun des paramètres du traitement plasma : le temps de traitement, la puissance du générateur, le débit et la pression du gaz. Afin d'optimiser les paramètres du plasma, nous avons caractérisé la surface de chacun des échantillons traités par mesure de l'angle de mouillage et par analyse XPS.  We therefore studied each of the parameters of the plasma treatment: the treatment time, the power of the generator, the flow rate and the pressure of the gas. In order to optimize the plasma parameters, we characterized the surface of each of the treated samples by measuring the wetting angle and by XPS analysis.

Substrats de PBT chargés 30% fibres de verre
Nous avons étudié l'influence du temps de traitement, de la puissance, du débit et de la pression du gaz. Nous nous sommes également intéressés à l'influence de la nature du gaz : NH3 ou N2 et leurs mélanges avec un gaz rare qui est le néon .
PBT substrates loaded with 30% glass fibers
We studied the influence of the treatment time, the power, the flow and the pressure of the gas. We were also interested in the influence of the nature of the gas: NH3 or N2 and their mixtures with a rare gas which is neon.

On a effectué une mesure de l'angle de mouillage pour chaque connecteur traité. Les résultats de ces mesures nous permettent de cerner l'évolution de l'angle de mouillage en fonction du paramètre étudié.  The wetting angle was measured for each processed connector. The results of these measurements allow us to define the evolution of the wetting angle according to the studied parameter.

La valeur de l'angle de mouillage pour un échantillon de PBT chargé de 30% de fibres de verre non traité est de 83,6 . Un traitement de 180 s à 240s s'est avéré idéal, et baisse la valeur de l'angle d'environ de 10 .  The value of the wetting angle for a PBT sample loaded with 30% untreated glass fiber is 83.6. A 180s to 240s processing has been ideal, and drops the angle value by about 10.

A titre d'exemple les paramètres d'un traitement (T1) permettant d'initier un dépôt métallique sur l'échantillon sont pour ce type de polymères : - Temps de traitement : 240 secondes - Type de gaz : N2 (95%) + Ne (5%) - Puissance 0. 2 à 0.3 W/cm2 - Débit : 350 sccm (ml/min) - Pression : 25 Pa
Un deuxième traitement (T2) avec un autre gaz permet aussi
By way of example, the parameters of a treatment (T1) making it possible to initiate a metal deposit on the sample are for this type of polymer: Treatment time: 240 seconds Type of gas: N2 (95%) + Ne (5%) - Power 0. 2 to 0.3 W / cm2 - Flow rate: 350 sccm (ml / min) - Pressure: 25 Pa
A second treatment (T2) with another gas also allows

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l'initiation d'un dépôt métallique : - Temps de traitement : 300 secondes - Type de gaz : N2 (90%) + H2 (10%) - Puissance 0. 8 à 0.9 W/cm2 - Débit : 350 sccm (ml/min) - Pression : 25 Pa
En conclusion, les paramètres du traitement plasma, pression et débit, le temps de traitement et la puissance délivrée par le générateur sont optimisés en fonction du gaz employé (NH3 ou N2) pour le traitement, mais aussi en fonction du gaz rare utilisé. Un gaz rare favorise la dissociation donc nécessite moins de puissance délivrée. Par contre l'utilisation d'un mélange azote et hydrogène nécessitent plus de puissance et plus de temps de traitement pour assurer le greffage.
the initiation of a metallic deposit: - Treatment time: 300 seconds - Type of gas: N2 (90%) + H2 (10%) - Power 0. 8 to 0.9 W / cm2 - Flow rate: 350 sccm (ml / min) - Pressure: 25 Pa
In conclusion, the parameters of the plasma treatment, pressure and flow rate, the treatment time and the power delivered by the generator are optimized according to the gas used (NH3 or N2) for the treatment, but also according to the rare gas used. A rare gas favors dissociation and therefore requires less power delivered. By cons use of a mixture of nitrogen and hydrogen require more power and more processing time to ensure grafting.

L'analyse XPS des échantillons de pièces, permet de savoir comment la surface du polymère à été modifiée. Pour chaque traitement plasma nous avons analysé deux échantillons représentatifs de connecteurs en PBT.  The XPS analysis of the part samples shows how the surface of the polymer has been modified. For each plasma treatment we analyzed two representative samples of PBT connectors.

Chaque connecteur est immergé pendant 4 minutes dans le bain de PdCl2 puis rincé à l'eau. Sachant l'affinité du palladium vis à vis des fonctions azotées préalablement fixées sur la surface du polymère nous devrions trouver en analysant la surface de l'échantillon par XPS des traces de palladium. Le calcul des proportions de chacun des atomes présents à la surface des échantillons est réalisé. Nous avons regroupé les résultats des analyses dans le tableau ci-dessous. Les valeurs données correspondent à des pourcentages atomiques.

Figure img00170001
Each connector is immersed for 4 minutes in the bath of PdCl2 and rinsed with water. Knowing the affinity of palladium with respect to the nitrogen functions previously fixed on the surface of the polymer we should find by analyzing the surface of the sample by XPS traces of palladium. The proportions of each of the atoms present on the surface of the samples are calculated. We have grouped the results of the analyzes in the table below. The given values correspond to atomic percentages.
Figure img00170001

<tb>
<tb>
<Tb>
<Tb>

Echantillons <SEP> %C <SEP> %O <SEP> %N <SEP> %Pd <SEP> %CI
<tb> PBT <SEP> avec <SEP> traitement <SEP> 67 <SEP> 23 <SEP> 5. <SEP> 8 <SEP> 3 <SEP> 1.2
<tb> T1
<tb> PBT <SEP> avec <SEP> traitement <SEP> 67. <SEP> 9 <SEP> 23. <SEP> 0 <SEP> 3. <SEP> 6 <SEP> 3. <SEP> 2 <SEP> 0. <SEP> 5
<tb> T2
<tb>
Samples <SEP>% C <SEP>% O <SEP>% N <SEP>% Pd <SEP>% CI
<tb> PBT <SEP> with <SEP> treatment <SEP> 67 <SEP> 23 <SEP> 5. <SEP> 8 <SEP> 3 <SEP> 1.2
<tb> T1
<tb> PBT <SEP> with <SEP> treatment <SEP> 67. <SEP> 9 <SEP> 23. <SEP> 0 <SEP> 3. <SEP> 6 <SEP> 3. <SEP> 2 <SEP > 0. <SEP> 5
<tb> T2
<Tb>

Nous remarquons que le traitement T1 greffe plus d'azote que le traitement T2 mais que le taux de palladium greffé reste équivalent. We note that the T1 treatment grafts more nitrogen than the T2 treatment but that the level of grafted palladium remains equivalent.

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Substrats de LCP
Dans une seconde étape, nous avons réalisé des mesures identiques sur un autre polymère: le LCP, après différents traitements plasma . les connecteurs fabriqués avec ce plastique sont destinés à des applications très hautes températures (fonctionnement continu à 190 C et soudure à 245 C).
LCP Substrates
In a second step, we carried out identical measurements on another polymer: the LCP, after various plasma treatments. the connectors manufactured with this plastic are intended for very high temperature applications (continuous operation at 190 C and soldering at 245 C).

Nous avons caractérisé les surfaces des échantillons traités. We characterized the surfaces of the treated samples.

Nous avons réalisé des relevés des angles de mouillage pour les différents traitements effectués. Ceci nous a permis de d'évaluer l'influence des paramètres expérimentaux sur la mouillabilité du substrat.  We carried out surveys of the wetting angles for the different treatments carried out. This allowed us to evaluate the influence of the experimental parameters on the wettability of the substrate.

La valeur de l'angle de mouillage pour un échantillon de LCP non traité est de 78,8. Après un traitement de 15 secondes, l'angle de mouillage décroît de façon importante jusqu'à 40.2 . A partir de 30s l'angle de mouillage tend vers un plateau, avec des valeurs d'angles de mouillage moyens d'environ 12 . Pour des temps de traitement supérieurs à 240 secondes, le polymère risque de se détériorer
Le LCP étant sensible au traitement, des temps courts sont nécessaires contrairement au PBT.
The value of the wetting angle for an untreated LCP sample is 78.8. After a treatment of 15 seconds, the wetting angle decreases significantly to 40.2. From 30s the wetting angle tends to a plateau, with mean wetting angles values of about 12. For treatment times greater than 240 seconds, the polymer may deteriorate
Since the LCP is sensitive to treatment, short times are necessary, unlike PBT.

En variante les paramètres débit et pression, nature du gaz, temps de traitement et puissance, il est possible de réaliser le traitement plasma pour le LCP.  As a variant, the flow and pressure parameters, nature of the gas, treatment time and power, it is possible to perform the plasma treatment for the LCP.

A titre d'exemple les paramètres d'un traitement du LCP (T3) permettant d'initier un dépôt métallique sur l'échantillon adhérent sont pour ce type de polymère: - Temps de traitement : 20 secondes -Type de gaz : N2 (96%) + Ar (4%) - Puissance 0. 15 à 0. 20 W/cm2 - Débit : 200 sccm (ml/min) - Pression : 22 Pa
Un deuxième traitement pour le LCP (T4) avec un autre gaz permet aussi l'initiation d'un dépôt métallique : - Temps de traitement : 35 secondes - Type de gaz : NH3 - Puissance 0. 2 à 0.25 W/cm2 - Débit : 50 sccm (ml/min) - Pression : 25 Pa
By way of example, the parameters of a LCP treatment (T3) for initiating metal deposition on the adherent sample are for this type of polymer: - Treatment time: 20 seconds - Gas type: N2 (96) %) + Ar (4%) - Power 0. 15 to 0. 20 W / cm2 - Flow rate: 200 sccm (ml / min) - Pressure: 22 Pa
A second treatment for LCP (T4) with another gas also allows the initiation of a metallic deposit: - Treatment time: 35 seconds - Type of gas: NH3 - Power 0.2 to 0.25 W / cm2 - Flow rate: 50 sccm (ml / min) - Pressure: 25 Pa

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L'analyse de surface de ces échantillons par XPS montre, qu'après immersion de un bain de palladium ionique, un bain de réduction à base de formaldéhyde en milieu sodique, nous avons la composition atomique de surface suivante :

Figure img00190001
Surface analysis of these samples by XPS shows that after immersion of an ionic palladium bath, a formaldehyde-based reduction bath in sodium medium, we have the following atomic surface composition:
Figure img00190001

<tb>
<tb> Echantillons <SEP> %C <SEP> %0 <SEP> %N <SEP> %Pd <SEP> %CI
<tb> LCP <SEP> avec <SEP> traitement <SEP> T3 <SEP> 66. <SEP> 5 <SEP> 21. <SEP> 7 <SEP> 7. <SEP> 2 <SEP> 3. <SEP> 4 <SEP> 1.2
<tb> LCP <SEP> avec <SEP> traitement <SEP> T4 <SEP> 67.1 <SEP> 22.4 <SEP> 6.7 <SEP> 2.9 <SEP> 0.9
<tb>
<Tb>
<tb> Samples <SEP>% C <SEP>% 0 <SEP>% N <SEP>% Pd <SEP>% CI
<tb> LCP <SEP> with <SEP> treatment <SEP> T3 <SEP> 66. <SEP> 5 <SEP> 21. <SEP> 7 <SEP> 7. <SEP> 2 <SEP> 3. <SEP > 4 <SEP> 1.2
<tb> LCP <SEP> with <SEP> treatment <SEP> T4 <SEP> 67.1 <SEP> 22.4 <SEP> 6.7 <SEP> 2.9 <SEP> 0.9
<Tb>

Le traitement T4 greffe moins d'azote et moins de palladium que T3, mais il est suffisant pour déclencher un dépôt métallique adhérent sur les connecteurs en LCP. The T4 treatment grafts less nitrogen and less palladium than T3, but is sufficient to trigger adherent metal deposition on the LCP connectors.

Après avoir optimisé les paramètres du plasma permettant d'obtenir une modification de l'état de surface, il est important valider que le substrat modifié se métallise correctement et d'une manière reproductible, notamment par une métallisation Electroless au nickel. Dans un premier temps nous avons utilisé le bain nickel de la société Enthone. Pour optimiser la métallisation du substrat avec ce bain nous avons réalisé quelques études préalables. Ces études ont été menées dans le but d'obtenir une métallisation homogène et reproductible du substrat modifié. Pour cela nous avons étudié l'influence : - de la composition du bain Enthone (proportions des différents constituants, pH de la solution au départ et en cours du dépôt) - du nettoyage des substrats.  After having optimized the plasma parameters making it possible to obtain a modification of the surface state, it is important to validate that the modified substrate metallizes correctly and in a reproducible manner, in particular by a nickel electroless metallization. At first we used the nickel bath of the company Enthone. To optimize the metallization of the substrate with this bath we have carried out some preliminary studies. These studies were conducted with the aim of obtaining a homogeneous and reproducible metallization of the modified substrate. For this we studied the influence of: - the composition of the Enthone bath (proportions of the different constituents, pH of the solution at the start and during the deposition) - the cleaning of the substrates.

- des temps de traitements des différentes étapes du procédé.  treatment times of the different steps of the process.

A la suite de ces études, nous avons procédé à des essais de qualification et de quantification de l'adhésion du métal sur le substrat en utilisant le scotch test et des tests d'arrachement puis des essais de chocs thermiques sur plusieurs échantillons, traités plasma dans les conditions opératoires préalablement définies (T1 à T4),
Nous avons ainsi employé deux bains de métallisation Enthone de composition différente c'est à dire n'ayant pas les mêmes proportions des solutions A, B à mélanger.
Following these studies, we proceeded to tests of qualification and quantification of the adhesion of the metal on the substrate by using the scotch test and tearing tests then thermal shock tests on several samples, plasma treated. under the previously defined operating conditions (T1 to T4),
We have thus used two enthone metallization baths of different composition, ie not having the same proportions of solutions A, B to be mixed.

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Figure img00200001
Figure img00200001

<tb>
<tb>
<Tb>
<Tb>

Bain <SEP> Plastique <SEP> Bain <SEP> Standard
<tb> Solution <SEP> A <SEP> 50 <SEP> cm3/l <SEP> 100 <SEP> cm3/l
<tb> Solution <SEP> B <SEP> 50 <SEP> cm3/l <SEP> 100 <SEP> cm3/l
<tb> Eau <SEP> distillée <SEP> 900 <SEP> cm311 <SEP> 800 <SEP> cm3/l
<tb>
Bath <SEP> Plastic <SEP> Bath <SEP> Standard
<tb> Solution <SEP> A <SEP> 50 <SEP> cm3 / l <SEP> 100 <SEP> cm3 / l
<tb> Solution <SEP> B <SEP> 50 <SEP> cm3 / l <SEP> 100 <SEP> cm3 / l
<tb> Water <SEP> Distilled <SEP> 900 <SEP> cm311 <SEP> 800 <SEP> cm3 / l
<Tb>

Pour chaque type de bain nous avons réalisé des solutions à différents pH :

Figure img00200002
For each type of bath we realized solutions with different pH:
Figure img00200002

<tb>
<tb> Bain <SEP> plastique <SEP> Bain <SEP> standard
<tb> 5. <SEP> 4 <SEP> 5.4
<tb> PH <SEP> 6.2 <SEP> 6.0
<tb> 6.4 <SEP> 6. <SEP> 2
<tb>
<Tb>
<tb> Bath <SEP> plastic <SEP> Bath <SEP> standard
<tb> 5. <SEP> 4 <SEP> 5.4
<tb> PH <SEP> 6.2 <SEP> 6.0
<tb> 6.4 <SEP> 6. <SEP> 2
<Tb>

Visuellement, tous les échantillons sont métallisés de façon homogène sur toute leur surface, aucune cloque n'est apparue. Visually, all samples are metallized homogeneously over their entire surface, no blisters appeared.

Le bain standard permet une vitesse de dépôt plus élevée que le bain plastique : Le pH joue un rôle important sur la vitesse du dépôt : Lorsque le pH passe de 5. 4 à 6.2 en bain standard la vitesse de dépôt augmente de 20% . Plus le pH est élevé et plus la vitesse du dépôt est importante. En augmentant davantage le pH à des valeurs supérieure à 8, Il est ainsi possible de déposer jusqu'à 20 m de dépôt métallique en moins d'une heure. L'adhésion du dépôt reste très bonne et aucune cloque n'apparaît. Plusieurs bains industriels ont été testés, par exemple celui de MacDermidFRAPPAZ Europlate Ni 810 contenant un taux de phosphore plus élevé que celui d'Enthone, donc possédant une meilleure résistance à la corrosion, des résultats similaires ont été obtenus.  The standard bath allows a higher deposition rate than the plastic bath: The pH plays an important role on the deposition rate: When the pH goes from 5.4 to 6.2 in a standard bath, the deposition rate increases by 20%. The higher the pH, the higher the rate of deposition. By further increasing the pH to values greater than 8, it is possible to deposit up to 20 m of metal deposit in less than one hour. The adhesion of the deposit remains very good and no blisters appear. Several industrial baths have been tested, for example that of MacDermidFRAPPAZ Europlate Ni 810 containing a higher phosphorus content than that of Enthone, so having a better resistance to corrosion, similar results have been obtained.

Pour améliorer davantage le procédé, plusieurs méthodes de nettoyage de la surface des échantillons ont été testées : - Décapage par traitement sous plasma 02 ; - Nettoyage alcalin dans une solution concentrée de NaOH, suivi d'une neutralisation par une solution acide (immersion dans une solution d'acide acétique) puis rinçage à l'eau ; - Nettoyage classique à l'isopropanol et immersion dans le bain aux ultrasons.  To further improve the process, several methods of cleaning the surface of the samples were tested: - Pickling by plasma treatment 02; - Alkaline cleaning in a concentrated solution of NaOH, followed by neutralization with an acidic solution (immersion in an acetic acid solution) then rinsing with water; - Classic cleaning with isopropanol and immersion in the bath with ultrasound.

Nous avons mené en parallèle les 3 types de nettoyage afin de comparer leur efficacité sur le PBT et le LCP.  We conducted the 3 types of cleaning in parallel to compare their effectiveness on PBT and LCP.

Aucune différence notable dans la qualité des dépôts obtenues avec  No significant difference in the quality of the deposits obtained with

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les différents traitements de surface n'a pu être mise en évidence.  the different surface treatments could not be highlighted.

L'amorçage de la métallisation dans le bain Electroless est une étape optionnelle pour l'invention. Il est possible d'amorcer les bains de façon à permettre à la métallisation du substrat traité de s'initier dans la solution.  Priming the metallization in the Electroless bath is an optional step for the invention. It is possible to prime the baths so that the metallization of the treated substrate is initiated in the solution.

Selon certains essais, plusieurs échantillons plongés dans un bain non amorcé n'ont pas été métallisés correctement, une zone plus ou moins importante, pouvant représenter dans certains cas 90% de la surface de l'échantillon, présentait une absence de nickel. ce problème a été envisagé pour l'ensemble de bains testés du nickel chimique ou du cuivre chimique.  According to some tests, several samples immersed in a non-primed bath have not been metallized correctly, a more or less important zone, which may in some cases represent 90% of the surface of the sample, exhibited an absence of nickel. this problem has been considered for the set of baths tested for chemical nickel or chemical copper.

Une première résolution de ce problème a consisté en une immersion dans la solution d'une lame de nickel fraîchement décapée dans une solution de HCI. Dans ces conditions, la présence d'une importante surface catalytique dans le bain permet le déclenchement de la réaction d'oxydo-réduction puisque le bain se met automatiquement au potentiel redox convenable pour la réaction. Ceci se manifeste par un dégagement gazeux d'hydrogène sur le substrat. Les métallisations effectuées à la suite d'un amorçage du bain, ont permis d'obtenir une métallisation homogène des échantillons et une reproductibilité de 100%. A first resolution of this problem consisted in immersing in the solution a nickel strip freshly stripped in a solution of HCl. Under these conditions, the presence of a large catalytic surface in the bath allows the initiation of the oxidation-reduction reaction since the bath automatically switches to the redox potential suitable for the reaction. This is manifested by a gaseous release of hydrogen on the substrate. The metallizations carried out following a priming of the bath, made it possible to obtain a homogeneous metallization of the samples and a reproducibility of 100%.

Il a été vérifié l'importance des temps d'immersion dans les différents bains du processus de métallisation Electroless pour la qualité du dépôt.  The importance of the immersion times in the different baths of the Electroless metallization process has been verified for the quality of the deposit.

En réalisant des essais pour différents temps d'immersion dans l'hypophosphite, et le formaldéhyde nous avons vérifié l'influence de ce traitement sur le temps d'amorçage du dépôt du nickel. On s'est aperçu également que la nature du polymère avait une influence très importante sur la métallisation finale du substrat.  By carrying out tests for different immersion times in hypophosphite, and formaldehyde we have verified the influence of this treatment on the initiation time of nickel deposition. It was also found that the nature of the polymer had a very important influence on the final metallization of the substrate.

- pour le LCP, le temps minimum d'immersion est de 20 secondes, pour des temps inférieurs le substrat est métallisé de façon non homogène ; - pour le PBT, le temps minimum d'immersion est de 60 secondes, en dessous de ce temps quelques échantillons se sont mal métallisés.  for the LCP, the minimum immersion time is 20 seconds, for lower times the substrate is metallized in a non-homogeneous manner; - for PBT, the minimum immersion time is 60 seconds, below this time some samples have not been well metallized.

Cette contrainte pourra également être utilisée pour la métallisation sélective d'articles bi-composant, en limitant, en plus éventuellement des autres choix, la durée de métallisation à une durée intermédiaire entre ces deux durées différentes.  This constraint may also be used for the selective metallization of two-component articles, by limiting, in addition possibly other choices, the metallization time to an intermediate duration between these two different durations.

La figure 1 montre l'évolution de la position en énergie du doublet de spin 3d du palladium en fonction du temps d'immersion dans le bain de  FIG. 1 shows the evolution of the energy position of the palladium 3d spin doublet as a function of the immersion time in the bath of

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d'hypophosphite des pièces de connecteurs de PBT sur lesquels les ions Pd2+ ont été chimisorbés. Au temps zéro, le palladium est présent sous la forme Pd2+ et la position en énergie du pic Pd 3d 5/2 est à 337.9eV. Au fur et à mesure que le temps d'immersion dans H2PO2- augmente, la position en énergie de ce pic se déplace vers les énergies de liaison plus faibles ce qui correspond à une réduction de Pd2+ en Pd (0) métallique. La position en énergie du pic Pd 3d 5/2 du palladium métallique se situe à 335.8eV, valeur atteinte après 15 minutes d'immersion du PBT dans H2P02'. Le tableau comparatif suivant fournit pour le Vectra et pour le PBT les positions en énergie du pic Pd 3d5/2 pour différents temps d'immersion dans H2P02 . Il met en évidence l'influence du substrat sur la vitesse de réduction de Pd2+ et montre que le Vectra est plus actif que le PBT puisque au bout de 3 minutes une fraction importante de Pd2+ est réduite en Pd (0), le maximum de l'enveloppe du pic étant déplacé de 0,9eV.  of hypophosphite parts of PBT connectors on which Pd2 + ions have been chemisorbed. At zero time, palladium is present in the form Pd2 + and the energy position of the peak Pd 3d 5/2 is 337.9eV. As the immersion time in H2PO2- increases, the energy position of this peak moves towards the lower binding energies which corresponds to a reduction of Pd2 + to Pd (0) metal. The energy position of the Pd 3d 5/2 peak of the metallic palladium is at 335.8eV, a value reached after 15 minutes immersion of the PBT in H2PO2 '. The following comparative table provides for Vectra and PBT the energy positions of the peak Pd 3d5 / 2 for different immersion times in H2PO2. It highlights the influence of the substrate on the reduction rate of Pd2 + and shows that Vectra is more active than PBT since after 3 minutes a large fraction of Pd2 + is reduced to Pd (0), the maximum of peak envelope being displaced by 0.9eV.

Si l'on respecte les paramètres ci-dessous de façon systématique, on obtient une métallisation correcte et ceci avec une reproductibilité de 100%.  If one respects the parameters below in a systematic way, one obtains a correct metallization and this with a reproducibility of 100%.

En conclusion, il faut utiliser un bain avec une température d'utilisation de l'ordre de 60 C, idéalement de 62 C à 63 C, l'amorçage doit de préférence être réalisé, le temps d'immersion dans le bain de PdCl2 est de 2 minutes minimum ; dans le bain de H2PO2- pour le LCP : 20 s, pour le PBT : 60 s. Ce mode de différenciation permet aussi, en choisissant par exemple 40 sec, de séparer les métallisations sur diverses parties d'un même article en des matériaux plastiques différents. In conclusion, it is necessary to use a bath with a use temperature of the order of 60 C, ideally 62 C to 63 C, the priming should preferably be carried out, the immersion time in the PdCl 2 bath is 2 minutes minimum; in the H2PO2- bath for LCP: 20 s, for PBT: 60 s. This mode of differentiation also makes it possible, for example by choosing 40 sec, to separate the metallizations on various parts of the same article into different plastic materials.

Nous avons ensuite réalisé l'adhésion des dépôts métalliques sur les différents substrats plastiques hautes température. Les dépôts ont été effectués sur des substrats de PBT et de LCP, SPS et PPS sur lesquels nous avons procédé à un traitement de surface selon les conditions optimales déterminées et déjà mentionnés :
Ce traitement a permis de réaliser une métallisation Electroless au nickel en tenant compte des indications ci-dessus. Plusieurs dépôts ont été réalisés les uns à la suite des autres sur les substrats traités de façon à reproduire la structure des composants électroniques. Nous avons réalisé des dépôts chimiques, par voie Electroless, puis des dépôts électrochimiques. Les dépôts réalisés sont en nickel ou en cuivre ; il s'agit des métaux utilisés en connectique pour la fabrication des composants
We then made the adhesion of the metal deposits on the various high temperature plastic substrates. Deposits were carried out on PBT and LCP substrates, SPS and PPS on which we proceeded to a surface treatment according to the optimal conditions determined and already mentioned:
This treatment made it possible to carry out Electroless nickel metallization, taking into account the above indications. Several deposits have been made one after the other on the treated substrates so as to reproduce the structure of the electronic components. We made chemical deposits, Electroless, then electrochemical deposits. Deposits are made of nickel or copper; these are the metals used in connection technology for the manufacture of components

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électroniques, car ils sont très conducteurs.  because they are very conductive.

Les échantillons ainsi métallisés ont été soumis aux essais d'adhésion : Scotch test, test d'arrachement et chocs thermiques.  The samples thus metallized were subjected to the adhesion tests: Scotch test, tear test and thermal shocks.

Le test d'arrachement permet de comparer les contraintes d'adhésion mesurées sur chaque échantillon avec la contrainte d'adhésion donnée par les standards industriels qui imposent que le dépôt résiste à une contrainte d'adhésion minimum de 1,2N/mm2 pour une application en connectique.  The peel test compares the adhesion stresses measured on each sample with the adhesion stress given by industry standards that require the deposit to withstand a minimum adhesion stress of 1.2 N / mm 2 for one application. in connection.

Pour étudier l'adhésion des couches métalliques sur le PBT nous avons analysé l'influence du type de gaz utilisé lors du traitement plasma, puis l'influence de l'épaisseur du nickel chimique déposé en première couche, et également l'influence du type de couche de cuivre.  To study the adhesion of metal layers to PBT we analyzed the influence of the type of gas used during plasma treatment, then the influence of the thickness of the chemical nickel deposited in the first layer, and also the influence of the type of copper layer.

Voici quelques exemples des essais réalisés sur les des matériaux de connecteurs :

Figure img00230001
Here are some examples of tests done on connector materials:
Figure img00230001

<tb>
<tb> TYPE <SEP> TYPE <SEP> 2 <SEP> TYPE <SEP> 3
<tb> Ni <SEP> électro
<tb> Ni <SEP> chimique <SEP> Ni <SEP> électro <SEP> Ni <SEP> électro
<tb> Cu <SEP> chimique <SEP> Cu <SEP> électro <SEP> Cu <SEP> électro
<tb> Ni <SEP> chimique <SEP> Ni <SEP> chimique <SEP> Ni <SEP> chimique
<tb> PBT <SEP> et <SEP> plasma <SEP> NH3 <SEP> PBT <SEP> et <SEP> plasma <SEP> N2 <SEP> PBT <SEP> et <SEP> plasma <SEP> NH3
<tb>
<Tb>
<tb> TYPE <SEP> TYPE <SEP> 2 <SEP> TYPE <SEP> 3
<tb> Ni <SEP> electro
<tb> Ni <SEP> chemical <SEP> Ni <SEP> electro <SEP> Ni <SEP> electro
<tb> Cu <SEP> chemical <SEP> Cu <SEP> electro <SEP> Cu <SEP> electro
<tb> Ni <SEP> Chemical <SEP> Ni <SEP> Chemical <SEP> Ni <SEP> Chemical
<tb> PBT <SEP> and <SEP> plasma <SEP> NH3 <SEP> PBT <SEP> and <SEP> plasma <SEP> N2 <SEP> PBT <SEP> and <SEP> plasma <SEP> NH3
<Tb>

On a préparé les échantillons du premier type de la manière suivante: - Flash de nickel chimique de 0,3m - Dépôt de cuivre chimique de 6,5 m - Couche de nickel chimique de 0,25 m (protection contre l'oxydation du cuivre) - Rechargement en nickel électrochimique de 5,2 m pour obtenir une épaisseur finale de 12,25 m. Samples of the first type were prepared in the following manner: - 0.3m chemical nickel flash - 6.5m chemical copper plating - 0.25m chemical nickel plating (protection against copper oxidation ) - 5.2 m electrochemical nickel reloading to obtain a final thickness of 12.25 m.

On a préparé les échantillons du deuxième type de la manière suivante : - Dépôt de nickel chimique de 0,87p,m à 4,58 m - Dépôt de cuivre électrochimique de 6 m à 9 m - Rechargement de nickel électrochimique de 5,2 m pour obtenir une épaisseur finale comprise entre 12 m et 16 m.  Samples of the second type were prepared in the following manner: - Chemical nickel deposition of 0.87p, m at 4.58m - Electrochemical copper deposition of 6m at 9m - 5.2m electrochemical nickel reloading to obtain a final thickness of between 12 m and 16 m.

On a préparé les échantillons du troisième type de la manière  Samples of the third type were prepared in the manner

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suivante : -Dépôt de nickel chimique de 0,3p.m à 4,6 m - Dépôt de cuivre électrochimique de 6 m à 15 m - Rechargement en nickel électrochimique de 5,2 m pour obtenir une épaisseur finale entre 11 m et 20 m.  Chemical deposition of 0.3 μm to 4.6 m electrochemical copper deposit from 6 m to 15 m Electrochemical nickel reloading of 5.2 m to obtain a final thickness between 11 m and 20 m .

Nous avons effectué le test d'arrachement sur l'ensemble des échantillons.  We performed the tear test on all samples.

Tous les échantillons ont présenté des résultats satisfaisants sur l'ensemble des tests réalisés, les contraintes d'arrachement étant supérieures à la contrainte minimum acceptée pour ce genre de pièces.  All the samples showed satisfactory results on all the tests carried out, the tearing stresses being greater than the minimum constraint accepted for this kind of parts.

Les résultats regroupés dans les tableaux suivant, tableau 1 premier type, tableau 2 deuxième type, et tableau 3 troisième type, montrent des valeurs de contraintes d'adhésion supérieures à la norme quelle que soit l'épaisseur initiale de nickel et quelle que soit l'épaisseur de cuivre électrochimique rajoutée. Les contraintes d'adhésion les plus faibles sont observées pour les épaisseurs totales les plus élevées en effet plus l'épaisseur déposée est importante plus les contraintes internes sont nombreuses et plus le dépôt est sollicité avec des risques de rupture cohésive.  The results grouped in the following tables, Table 1 first type, Table 2 second type, and Table 3 third type, show adhesion stress values higher than the standard regardless of the initial thickness of nickel and regardless of the thickness. thickness of electrochemical copper added. The lowest adhesion stresses are observed for the highest total thicknesses in effect the greater the thickness deposited, the greater the internal stresses and the greater the deposit is solicited with risks of cohesive failure.

Tableau 1

Figure img00240001
Table 1
Figure img00240001

<tb>
<tb> TYPE <SEP> 1 <SEP>
<tb> ISO <SEP> DIN
<tb> ASTM
<tb> Nickel <SEP> 2409 <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Cuivre <SEP> Nickel <SEP> Epaisseur <SEP> D <SEP> 5179
<tb> Plasma <SEP> Electro <SEP> Scotch <SEP> Test
<tb> Substrat <SEP> chimique <SEP> Chimique <SEP> Chimique <SEP> totale <SEP> Test
<tb> NH3 <SEP> Chimique <SEP> est <SEP> Choc
<tb> ( m) <SEP> ( m) <SEP> ( m) <SEP> ( m) <SEP> Adhésion
<tb> ( m) <SEP> 2 <SEP> (Tenue <SEP> Thermiqu
<tb> (N/mm2) <SEP> en <SEP> %) <SEP>
<tb> Résiste
<tb> PBT <SEP> 200sccm, <SEP> 0. <SEP> 3 <SEP> 6.5 <SEP> 0.25 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 12. <SEP> 25 <SEP> > <SEP> 3,1 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100%
<tb>
<Tb>
<tb> TYPE <SEP> 1 <SEP>
<tb> ISO <SEP> DIN
<tb> ASTM
<tb> Nickel <SEP> 2409 <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Copper <SEP> Nickel <SEP> Thickness <SEP> D <SEP> 5179
<tb> Plasma <SEP> Electro <SEP> Scotch <SEP> Test
<tb> Substrate <SEP> Chemical <SEP> Chemical <SEP> Chemical <SEP> Total <SEP> Test
<tb> NH3 <SEP> Chemical <SEP> is <SEP> Shock
<tb> (m) <SEP> (m) <SEP> (m) <SEP> (m) <SEP> Adherence
<tb> (m) <SEP> 2 <SEP> (Holding <SEP> Thermal
<tb> (N / mm2) <SEP> in <SEP>%) <SEP>
<tb> Resist
<tb> PBT <SEP> 200sccm, <SEP> 0. <SEP> 3 <SEP> 6.5 <SEP> 0.25 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 12. <SEP> 25 <SEP>><SEP> 3.1 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100%
<Tb>

Figure img00240002

25 Pa, ########################################
Figure img00240003
Figure img00240002

25 Pa, ###############################################
Figure img00240003

<tb>
<tb> Résiste
<tb> LCP <SEP> 180W, <SEP> 0. <SEP> 3 <SEP> 6. <SEP> 5 <SEP> 0. <SEP> 25 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 12.25 <SEP> > <SEP> 1.2 <SEP> 95
<tb> ~~~~~ <SEP> à <SEP> 100%
<tb> 90 <SEP> ########################################
<tb> Résiste
<tb> SPS <SEP> secondes <SEP> 0.3 <SEP> 6.5 <SEP> 0.25 <SEP> 5.2 <SEP> 12.25 <SEP> > <SEP> 1.8 <SEP> 100
<tb> à <SEP> 100%
<tb>
<Tb>
<tb> Resist
<tb> LCP <SEP> 180W, <SEP> 0. <SEP> 3 <SEP> 6. <SEP> 5 <SEP> 0. <SEP> 25 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 12.25 <SEP>><SEP> 1.2 <SEP> 95
<tb> ~~~~~ <SEP> to <SEP> 100%
<tb> 90 <SEP>###############################################
<tb> Resist
<tb> SPS <SEP> seconds <SEP> 0.3 <SEP> 6.5 <SEP> 0.25 <SEP> 5.2 <SEP> 12.25 <SEP>><SEP> 1.8 <SEP> 100
<tb> to <SEP> 100%
<Tb>

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Tableau 2

Figure img00250001
Table 2
Figure img00250001

<tb>
<tb> TYPE <SEP> 2 <SEP>
<tb> TYPE <SEP> ISO <SEP> z~~~~~
<tb> ASTM
<tb> Cuivre <SEP> Nickel <SEP> 2409 <SEP> DIN <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Epaisseur <SEP> D <SEP> 5179 <SEP>
<tb> Plasma <SEP> Electro <SEP> Electro <SEP> Scotch <SEP> Test
<tb> Substrat <SEP> chimique <SEP> Totale <SEP> test
<tb> N2+Ne <SEP> ( m) <SEP> chimique <SEP> chimique <SEP> ( m) <SEP> Adhésion <SEP> test <SEP> Choc
<tb> ( m) <SEP> ( m) <SEP> 2 <SEP> (Tenue <SEP> Thermique
<tb>
<Tb>
<tb> TYPE <SEP> 2 <SEP>
<tb> TYPE <SEP> ISO <SEP> z ~~~~~
<tb> ASTM
<tb> Copper <SEP> Nickel <SEP> 2409 <SEP> DIN <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Thickness <SEP> D <SEP> 5179 <SEP>
<tb> Plasma <SEP> Electro <SEP> Electro <SEP> Scotch <SEP> Test
<tb> Substrate <SEP> Chemical <SEP> Total <SEP> Test
<tb> N2 + Ne <SEP> (m) <SEP> Chemical <SEP> Chemical <SEP> (m) <SEP> Adhesion <SEP> Test <SEP> Shock
<tb> (m) <SEP> (m) <SEP> 2 <SEP> (Holding <SEP> Thermal
<Tb>

Figure img00250002

(N/mm ) (N/mm ) ' en%)~~~~~~
Figure img00250003
Figure img00250002

(N / mm) (N / mm) 'in%) ~~~~~~
Figure img00250003

<tb>
<tb> Résiste
<tb> PBT <SEP> 0. <SEP> 87 <SEP> 9 <SEP> 5.2 <SEP> 15.07 <SEP> > <SEP> 2.6 <SEP> 100 <SEP> 100%
<tb> 200sccm, <SEP> Résiste
<tb> PBT <SEP> 25 <SEP> Pa, <SEP> 4. <SEP> 58 <SEP> 6 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.78 <SEP> > <SEP> 2.4 <SEP> 100 <SEP> 100%
<tb> 180W, <SEP> Résiste
<tb> LCP <SEP> 90 <SEP> 0. <SEP> 87 <SEP> 9 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.07 <SEP> > <SEP> 1.2 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100% <SEP>
<tb>
<Tb>
<tb> Resist
<tb> PBT <SEP> 0. <SEP> 87 <SEP> 9 <SEP> 5.2 <SEP> 15.07 <SEP>><SEP> 2.6 <SEP> 100 <SEP> 100%
<tb> 200sccm, <SEP> Resists
<tb> PBT <SEP> 25 <SEP> Pa, <SEP> 4. <SEP> 58 <SEP> 6 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.78 <SEP>><SEP> 2.4 <SEP> 100 <SEP> 100%
<tb> 180W, <SEP> Resists
<tb> LCP <SEP> 90 <SEP> 0. <SEP> 87 <SEP> 9 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.07 <SEP>><SEP> 1.2 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100% <SEP>
<Tb>

Figure img00250004

######secondes 100% secondes
Figure img00250005
Figure img00250004

###### seconds 100% seconds
Figure img00250005

<tb>
<tb> Résiste
<tb> LCP <SEP> 4.58 <SEP> 6 <SEP> 5.2 <SEP> 15.78 <SEP> > <SEP> 1.1 <SEP> 90 <SEP> à <SEP> 95%
<tb> Tableau <SEP> 3 <SEP>
<tb> TYPE <SEP> 3 <SEP>
<tb> ASTM <SEP> ISO <SEP> 2409 <SEP>
<tb> Cuivre <SEP> Nickel <SEP> DIN <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Epaisseur <SEP> D5179 <SEP> Scotch
<tb> Electro <SEP> Electro <SEP> Test
<tb> Substrat <SEP> Plasma <SEP> NH3 <SEP> chimique <SEP> totale <SEP> test <SEP> test
<tb> chimique <SEP> chimique <SEP> Choc
<tb> ( m) <SEP> ~~> <SEP> ( m) <SEP> Adhésion <SEP> (Tenue <SEP> en
<tb>
<Tb>
<tb> Resist
<tb> LCP <SEP> 4.58 <SEP> 6 <SEP> 5.2 <SEP> 15.78 <SEP>><SEP> 1.1 <SEP> 90 <SEP> to <SEP> 95%
<tb> Table <SEP> 3 <SEP>
<tb> TYPE <SEP> 3 <SEP>
<tb> ASTM <SEP> ISO <SEP> 2409 <SEP>
<tb> Copper <SEP> Nickel <SEP> DIN <SEP> 53496
<tb> Nickel <SEP> Thickness <SEP> D5179 <SEP> Scotch
<tb> Electro <SEP> Electro <SEP> Test
<tb> Substrate <SEP> Plasma <SEP> NH3 <SEP> chemical <SEP> total <SEP> test <SEP> test
<tb> Chemical <SEP> Chemical <SEP> Shock
<tb> (m) <SEP>~~><SEP> (m) <SEP> Adhesion <SEP> (Holding <SEP> en
<Tb>

Figure img00250006

(IJm) (IJm) 2\\ Thermique ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~<'~~~~~~~~(N) %)~~~~""'
Figure img00250007
Figure img00250006

(IJm) (IJm) 2 \\ Thermal ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~ (N)%) ~~~~ ""'
Figure img00250007

<tb>
<tb> Résiste
<tb> PBT <SEP> 0. <SEP> 35 <SEP> 15 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 20.55 <SEP> > <SEP> 2.1 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100% <SEP>
<tb> Résiste
<tb>
<Tb>
<tb> Resist
<tb> PBT <SEP> 0. <SEP> 35 <SEP> 15 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 20.55 <SEP>><SEP> 2.1 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100 % <SEP>
<tb> Resist
<Tb>

Figure img00250008

PBT 20 SCCm' 1.5 10 5.2 16.7 ~ > 2.3 100 à 100%
Figure img00250009
Figure img00250008

PBT 20 SCCm '1.5 10 5.2 16.7 ~> 2.3 100 to 100%
Figure img00250009

<tb>
<tb> 200sccm, <SEP> Résiste
<tb> PBT <SEP> 25 <SEP> Pa, <SEP> 4. <SEP> 6 <SEP> 6 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.8 <SEP> > <SEP> 2.45 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100%
<tb> 180W, <SEP> ~~~ <SEP> ~ <SEP> Résiste
<tb> SPS <SEP> 90 <SEP> 0. <SEP> 35 <SEP> 15 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 20.55 <SEP> > <SEP> 2.05 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 95%
<tb> secondes
<tb> Résiste
<tb> SPS <SEP> 1. <SEP> 5 <SEP> 10 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 16.7 <SEP> > <SEP> 1.9 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100% <SEP>
<tb> Résiste
<tb> SPS <SEP> 4.57 <SEP> 6 <SEP> 5.2 <SEP> 15.77 <SEP> > <SEP> 1.7 <SEP> 100 <SEP> à <SEP> 100% <SEP>
<tb>
<Tb>
<tb> 200sccm, <SEP> Resists
<tb> PBT <SEP> 25 <SEP> Pa, <SEP> 4. <SEP> 6 <SEP> 6 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 15.8 <SEP>><SEP> 2.45 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100%
<tb> 180W, <SEP> ~~~ <SEP> ~ <SEP> Resists
<tb> SPS <SEP> 90 <SEP> 0. <SEP> 35 <SEP> 15 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 20.55 <SEP>><SEP> 2.05 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 95%
<tb> seconds
<tb> Resist
<tb> SPS <SEP> 1. <SEP> 5 <SEP> 10 <SEP> 5. <SEP> 2 <SEP> 16.7 <SEP>><SEP> 1.9 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100 % <SEP>
<tb> Resist
<tb> SPS <SEP> 4.57 <SEP> 6 <SEP> 5.2 <SEK> 15.77 <SEP>><SEP> 1.7 <SEP> 100 <SEP> to <SEP> 100% <SEP>
<Tb>

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Pour chaque échantillon, on observe que l'épaisseur initiale de nickel n'influence pas la valeur de la contrainte maximale d'adhésion dans des proportions importantes. Les essais au Scotch test et les chocs thermiques présentent des résultats similaires, positifs, qui confirment les résultats précédents et confirment que le procédé selon l'invention crée un véritable greffage de sites d'accrochage pour le métal sur le substrat plastique. For each sample, it is observed that the initial thickness of nickel does not influence the value of the maximum adhesion stress in significant proportions. The Scotch test and thermal shock tests have similar, positive results, which confirm the previous results and confirm that the method according to the invention creates a true grafting sites attachment for the metal on the plastic substrate.

De même si l'on considère une épaisseur de cuivre électrochimique de 6 m, on observe que l'épaisseur initiale de nickel n'influence pas la valeur de la contrainte maximale d'adhésion.  Similarly, if we consider an electrochemical copper thickness of 6 m, it is observed that the initial thickness of nickel does not influence the value of the maximum adhesion stress.

On a même procédé à des activations répétées, avant métallisation, selon des cycles, chaque cycle comportant une soumission de l'article pendant 60 secondes (ou autre durée) à un plasma choisi parmi ceux décrits précédemment, une immersion ionique de greffage au palladium pendant 2 minutes (ou autre durée), et une immersion de 3 minutes (ou autre durée) dans un bain d'hypophosphite. On peut obtenir alors des résultats différents, selon la nature des opérations suivantes, et selon les matériaux à métalliser.  It has even been carried out repeated activations, before metallization, in cycles, each cycle comprising a submission of the article for 60 seconds (or other duration) to a plasma selected from those described above, an ionic graft palladium immersion during 2 minutes (or other time), and immersion for 3 minutes (or other time) in a hypophosphite bath. Different results can then be obtained, depending on the nature of the following operations and on the materials to be metallized.

D'autre part, pour des pièces en deux parties réalisée avec un surmoulage d'un premier matériau plastique par un second matériau plastique, et du fait que le surmoulage est fait en deux fois, l'influence du temps d'attente après l'activation et avant le greffage du palladium a été considérée. En effet, les parties moulées sont moulées dans un premier atelier d'une usine, activées dans un autre atelier de l'usine, et retournées au premier atelier en vue du surmoulage.  On the other hand, for two-part parts made with an overmolding of a first plastic material by a second plastic material, and because the overmolding is done in two times, the influence of the waiting time after the activation and before grafting palladium was considered. Indeed, the molded parts are molded in a first workshop of a factory, activated in another workshop of the factory, and returned to the first workshop for overmolding.

On a étudié dans l'invention les effets de l'attente avant greffage qui résultait d'un tel procédé industriel. Il a été établi qu'après quinze jours, des échantillons en LCP étaient complètement désactivés, que des échantillons en PBT étaient désactivés à 50% mais que des échantillons en SPS subissaient avec succès la métallisation. Cette perte d'activation permet de faire des produits bi matériaux LCP - SPS par exemple, entièrement activés, d'attendre 15 jours (ou autre durée), et de métalliser l'ensemble. On obtient ainsi une métallisation sélective des parties en SPS. La forme de la structure mécanique suffit à séparer les zones métallisées en SPS des zones non métallisées en LCP.  The effects of waiting before grafting which resulted from such an industrial process have been studied in the invention. It was established that after 15 days, LCP samples were completely deactivated, PBT samples were 50% deactivated, and SPS samples were successfully metallized. This loss of activation makes it possible to make bi-material products LCP - SPS for example, fully activated, to wait 15 days (or other duration), and to metallize all. This gives a selective metallization of the parts in SPS. The shape of the mechanical structure is sufficient to separate the SPS metallized zones from the non-metallized zones into LCP.

De même l'influence du temps de métallisation et de l'agitation du bain de métallisation permet de différencier une métallisation, en comparant du  Similarly, the influence of the metallization time and the stirring of the metallization bath makes it possible to differentiate a metallization, by comparing

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PPS et du LCP, au moment de la métallisation dans un bain avec agitation, on remarque que le PPS demande 120 secondes de métallisation, alors que le LCP réagit au bain de métallisation au bout de 5 à 10 secondes. Ainsi selon un mode de réalisation de l'invention des échantillons mixtes PPS LCP sont activés, plongés dans le bain de métallisation pendant 15 secondes au plus, et retirés du bain pour qu'au final seul le LCP soit métallisé. Là aussi, la structure mécanique suffit à séparer les zones métallisées des zones non métallisées sans utiliser de matériau muni de charges catalytiques ni comportant de précurseur de métallisation.  PPS and LCP, at the time of metallization in a bath with stirring, it is noted that the PPS requires 120 seconds of metallization, while the LCP reacts to the plating bath after 5 to 10 seconds. Thus, according to one embodiment of the invention, mixed PPS LCP samples are activated, immersed in the plating bath for not more than 15 seconds, and removed from the bath so that in the end only the LCP is metallized. Here too, the mechanical structure is sufficient to separate the metallized zones from the non-metallized zones without using a material provided with catalytic charges or having metallization precursor.

Dans le cas où l'agitation d'un bain de métallisation est arrêtée, les métallisations du PPS et du LCP sont immédiates. En pratique, l'agitation du bain freine la métallisation du PPS si la vitesse de l'agitateur est supérieure à 500 tours par minutes. Ceci est dû au fait que l'agitation introduit de l'oxygène dans la solution de métallisation. Or l'oxygène est un poison pour les noyaux catalytiques à la surface de l'article en matière plastique. Un excès d'oxygène désactive la métallisation du plastique le palladium étant alors empoisonné ou oxydé. Ceci se produit pour le PPS, et moins pour le LCP comportant un excès de sites catalytiques.  In the case where the stirring of a metallization bath is stopped, the metallizations of the PPS and the LCP are immediate. In practice, stirring of the bath slows the metallization of the PPS if the speed of the stirrer is greater than 500 revolutions per minute. This is due to the fact that stirring introduces oxygen into the metallization solution. Or oxygen is a poison for the catalytic nuclei on the surface of the plastic article. An excess of oxygen deactivates the metallization of the plastic, the palladium being then poisoned or oxidized. This occurs for PPS, and less for LCP with an excess of catalytic sites.

L'excès d'air peut toutefois ralentir la métallisation du LCP. En remplaçant l'oxygène par de l'azote, la métallisation des deux articles se produit alors sans difficultés.  Excess air can, however, slow down the metallization of the LCP. By replacing the oxygen with nitrogen, the metallization of the two articles then occurs without difficulties.

Le bain de métallisation utilisé est par exemple un bain ENPLATE NI 426 de la société Enthone OMI.  The metallization bath used is, for example, an ENPLATE NI 426 bath from Enthone OMI.

Donc en sus de la durée, dans ce cas on dispose d'un paramètre relatif à la vitesse d'agitation et ou à la température du bain pour favoriser la métallisation sélective.  So in addition to the duration, in this case we have a parameter relating to the stirring speed and or the bath temperature to promote selective metallization.

En conséquence, en utilisant des matériaux polymères haute température différents, par exemple du PBT ou du PPS comme matériau non métallisable en commun avec du SPS ou du LCP comme matériaux métallisables l'invention permet de constituer des articles de type Molded Interconnect Devices (ou dispositifs d'interconnexion moulés). Les formes en surface des parties des articles dans ces différents matériaux représentent respectivement les zones à ne pas métalliser et à métalliser.  Consequently, by using different high temperature polymer materials, for example PBT or PPS as non-metallizable material in common with SPS or LCP as metallizable materials, the invention makes it possible to form Molded Interconnect Devices (or devices interconnect molded). The surface shapes of the parts of the articles in these different materials respectively represent the areas not to be metallized and to metallize.

Les paramètres de sélectivité de la métallisation différentielle sont, pris certains ensemble en combinaison, ou séparément, :  The selectivity parameters of the differential metallization are, taken some together in combination, or separately:

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- la nature du plasma d'activation, - la réalisation d'un ou de plusieurs cycle d'activation avant greffage, - la durée d'attente après activation et avant greffage, - la durée de métallisation, - le taux d'agitation du bain de métallisation, - la température du bain de métallisation, - la nature du métal de la métallisation (nickel, ou cuivre).  the nature of the activation plasma, the carrying out of one or more activation cycles before grafting, the waiting time after activation and before grafting, the duration of metallization, the stirring rate of the metallisation bath, - the temperature of the metallisation bath, - the nature of the metal of the metallization (nickel, or copper).

Tous ces paramètres peuvent être adaptés en fonction de la nature des matériaux polymères bi-composants haute température retenus et du type de métallisation recherché. Ces procédés sont en outre compatibles, dans les même conditions que précédemment, avec des techniques de surmoulage suivies de métallisation ultérieure.  All these parameters can be adapted according to the nature of the two-component high-temperature polymer materials selected and the type of metallization required. These methods are furthermore compatible, under the same conditions as above, with overmolding techniques followed by subsequent metallization.

Un exemple de réalisation d'un article bi-matériaux métallisé est schématiquement représenté en figures 2A, 2B, 2C, le premier matériau 1 devant être métallisé est moulé en premier lieu, le second matériau 2 qui ne devra pas réagir à la métallisation est surmoulé sur le premier laissant des zones 3 du premier matériau apparentes. L'ensemble est ensuite activé par le plasma azoté créant une surface pourvue de sites activés.  An exemplary embodiment of a metallized bi-material article is schematically represented in FIGS. 2A, 2B, 2C, the first material 1 to be metallized is molded in the first place, the second material 2 which must not react to the metallization is overmolded on the first leaving areas 3 of the first apparent material. The whole is then activated by the nitrogenous plasma creating a surface provided with activated sites.

En figure 3, est représentée une coupe partielle d'une zone de métallisation sélective avec deux couches métalliques 5,6 dont certaines zones ont étés supprimées de façon à permettre l'analyse de l'interface plastique métal 4.  FIG. 3 shows a partial section of a selective metallization zone with two metal layers 5, 6, some zones of which have been removed so as to allow analysis of the metal plastic interface 4.

La figure 4 montre la courbe du spectre général par spectrométrie des photo électrons (procédé d'analyse ESCA ou XPS) après métallisation Plasma NH3,200sccm, 20Pa, 200W, 40s d'un substrat LCP. Ce spectre général présente plusieurs pics dont le pic 8 représentatif de la présence d'espèces azotées, les pics 7 et 9 étant respectivement représentatifs d'espèces carbone et oxygène.  FIG. 4 shows the general spectrum curve by electron photometry spectrometry (ESCA or XPS analysis method) after Plasma NH3, 200 Sccm, 20Pa, 200W, 40s plating of a LCP substrate. This general spectrum has several peaks whose peak 8 representative of the presence of nitrogenous species, the peaks 7 and 9 being respectively representative of carbon species and oxygen.

Un détail de la courbe en figure 5 centré sur le pic 8 permet de caractériser trois sous pics 10,11, 12 qui découlent de l'activation plasma azoté.  A detail of the curve in FIG. 5 centered on the peak 8 makes it possible to characterize three subpeakers 10, 11, 12 which result from the nitrogenous plasma activation.

En figure 6, est visible un détail centré sur la zone d'énergie du palladium d'une courbe obtenue sur substrat PPS par le procédé de métallisation selon l'invention. Ce détail permet de déterminer deux pics 13, 14 communs au palladium qui selon une analyse statistique représentée en  FIG. 6 shows a detail centered on the palladium energy zone of a curve obtained on a PPS substrate by the metallization method according to the invention. This detail makes it possible to determine two peaks 13, 14 common to palladium which according to a statistical analysis represented in FIG.

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figure 7 montrent un décalage représentatif de liaisons Palladium/Azote obtenues grâce au procédé selon l'invention.  FIG. 7 shows a representative shift of Palladium / Nitrogen bonds obtained by the process according to the invention.

La figure 8 représente une vue schématique d'une pièce réalisée par le procédé selon l'invention pour laquelle un matériau plastique 20 a été métallisée. Cette pièce 20 est par exemple un demi-boîtier comportant un bandeau 26, un tour extérieur 27, un ou plusieurs plot de fixation 28 une paroi interne 29, une surface externe 30, une surface interne 31.  Figure 8 shows a schematic view of a part made by the method according to the invention for which a plastic material 20 has been metallized. This part 20 is for example a half-housing comprising a strip 26, an outer turn 27, one or more attachment studs 28 an inner wall 29, an outer surface 30, an inner surface 31.

Ce boîtier comporte des zones métallisées 21, 22, 23a à 23c, 24, 25, 32, la zone 21 formant une partie de blindage, les zones 24 des pistes métallisées de connexion, les zones 23a à 23c des plots de connexion internes reliés au blindage 21 par des trous de traversée métallisées 22, ces plots de connexion internes permettant de réaliser des points de masse ou des plots d'évacuation de chaleur, la zone 25 prolongeant pour sa part la zone 21 pour constituer un point de raccordement de masse externe.  This housing comprises metallized zones 21, 22, 23a to 23c, 24, 25, 32, the zone 21 forming a shielding part, the zones 24 of the metallized connecting tracks, the zones 23a to 23c of the internal connection pads connected to the shielding 21 by metallized through-holes 22, these internal connection pads making it possible to produce ground points or heat-dissipating pads, while the zone 25 extends the zone 21 to form an external mass connection point. .

Pour réaliser cette pièce, le boîtier, par exemple moulé en un matériau tel que le PBT, est préalablement revêtu, sur des zones ne devant pas être métallisées telles que le bandeau 26 et le tour extérieur 27, par un ou des éléments de masquage tels que connus dans l'art antérieur puis disposé dans l'enceinte d'activation plasma. Grâce au procédé selon l'invention même des zones cachées telles que les trous de traversée sont activées et peuvent, lors de l'immersion dans le bain palladium, subir le greffage du palladium et la constitution de liaisons palladium-azote et constituer des sites d'accrochage pour la métallisation.  To achieve this part, the housing, for example molded in a material such as PBT, is pre-coated, on areas not to be metallized such as the strip 26 and the outer tower 27, with one or more masking elements known in the prior art and then disposed in the plasma activation chamber. Thanks to the method according to the invention, even hidden zones such as through-holes are activated and can, during immersion in the palladium bath, undergo grafting of palladium and the formation of palladium-nitrogen bonds and constitute hooking for metallization.

La pièce est alors plongée dans le bain ou les bains successifs de métallisation proprement dite pour obtenir les couches métallisées telles que décrites précédemment selon des épaisseurs compatibles avec la fonction de blindage ou la fonction de conduction de courant désirée.  The part is then immersed in the bath or successive baths metallization itself to obtain the metallized layers as described above in thicknesses compatible with the shielding function or the desired current conduction function.

Afin de limiter la complexité de l'opération de masquage, il est possible de métalliser de façon uniforme la face interne 31, une étape supplémentaire de structuration laser permet alors de réaliser les pistes 24 et de séparer les plots 23a à 23c sur cette face interne 31.  In order to limit the complexity of the masking operation, it is possible to metallize the inner face 31 uniformly, an additional laser structuring step then makes it possible to make the tracks 24 and to separate the pads 23a to 23c on this internal face. 31.

Ainsi le procédé et les pièces obtenues par ce procédé peuvent être réalisées de façon souple et dans un temps inférieur aux procédés de l'art antérieur et dans des matériaux dits haute température adaptés à une utilisation industrielle à fort contenu technique. Thus, the process and the parts obtained by this process can be performed flexibly and in a time less than the processes of the prior art and in so-called high temperature materials suitable for industrial use with a high technical content.

Claims (13)

REVENDICATIONS 1 - Procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant des étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, caractérisé en ce que le bain de métallisation est porté à une température comprise entre 50 C et 70 C. 1 - Method of metallizing a high-temperature polymer plastic article comprising cleaning steps, etching by plasma, grafting and metallization by immersion in a plating bath, characterized in that the plating bath is worn at a temperature between 50 C and 70 C. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le bain est porté à une température de 55 C à 65 C.  2 - Process according to claim 1, characterized in that the bath is heated to a temperature of 55 C to 65 C. 3 - Procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant des étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, caractérisé en ce que l'étape d'attaque par plasma utilise un plasma azoté de type N2, ou NH3, ou N2+H2.  3 - metallization process of a high-temperature polymer plastic article comprising cleaning steps, etching by plasma, grafting and metallization by immersion in a metallization bath, characterized in that the attack step by plasma uses a nitrogenous plasma type N2, or NH3, or N2 + H2. 4 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le gaz utilisé pour le plasma comporte un gaz rare inerte tel que le néon, l'hélium ou l'argon, le gaz inerte étant ajouté dans une proportion de 0,1 à 6% pour augmenter la dissociation de l'azote en composés réactifs de 7 à 8% en radicaux libres.  4 - Process according to one of claims 1 to 3, characterized in that the gas used for the plasma comprises an inert rare gas such as neon, helium or argon, the inert gas being added in a proportion of 0.1 to 6% to increase the dissociation of nitrogen into reactive compounds of 7 to 8% free radicals. 5 - Procédé selon l'une de revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le temps d'activation par plasma est de l'ordre de 5 secondes à 5 minutes.  5 - Process according to one of claims 1 to 4, characterized in that the activation time by plasma is of the order of 5 seconds to 5 minutes. 6 - Procédé selon l'une de revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la densité de puissance du plasma est de l'ordre de 0,1W/cm2 à 1,1W/cm2.  6 - Process according to one of claims 1 to 5, characterized in that the power density of the plasma is of the order of 0.1W / cm2 to 1.1W / cm2. 7 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le greffage est réalisé par une plongée de l'article dans une solution ionique comportant des sels de palladium, notamment des sels chlorés de PdCI2 + HCI, et comporte un greffage d'ions palladium.  7 - Method according to one of claims 1 to 6, characterized in that the grafting is carried out by a dive of the article in an ionic solution comprising palladium salts, including chlorinated salts of PdCl2 + HCl, and comprises a grafting of palladium ions. 8 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les polymères sont des PBT, LCP, PPS ou SPS.  8 - Process according to one of claims 1 to 7, characterized in that the polymers are PBT, LCP, PPS or SPS. 9 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce la métallisation par immersion est complétée pour donner une métallisation épaisse par un dépôt électrochimique ou galvanique, une caractéristique du produit résultant étant qu'on y retrouve par analyse des composés azotés à l'interface métal polymère, la couche métallisée ayant une épaisseur comprise entre 0.2 m et 20 m.  9 - Process according to one of claims 1 to 8, characterized in that the immersion metallization is completed to give a thick metallization by electrochemical or galvanic deposition, a characteristic of the resulting product being found there by analysis of nitrogen compounds at the metal-polymer interface, the metallized layer having a thickness of between 0.2 m and 20 m. <Desc/Clms Page number 31> <Desc / Clms Page number 31> 10 - Procédé de métallisation d'un article en matière plastique polymère haute température comportant le étapes de nettoyage, d'attaque par plasma, de greffage puis de métallisation par immersion dans un bain de métallisation, caractérisé en ce que l'article comporte des parties en des matières plastiques différentes, et en ce que les conditions opératoires de ces étapes sont réglées de telles façon que la métallisation soit effective sur une de ces parties et non sur l'autre.  10 - Method of metallizing a high-temperature polymer plastic article comprising the steps of cleaning, etching by plasma, grafting and metallization by immersion in a plating bath, characterized in that the article comprises parts in different plastics, and in that the operating conditions of these steps are set such that the metallization is effective on one of these parts and not on the other. 11 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que les conditions opératoires réglées de ces étapes sont au moins l'une des suivantes prises certaines ensemble en combinaison, ou séparément, : - la nature du plasma d'activation, - la réalisation d'un ou de plusieurs cycle d'activation avant greffage, - la durée d'attente après activation et avant greffage, - la durée de métallisation, - le taux d'agitation du bain de métallisation, - la température du bain de métallisation, - la nature du métal de la métallisation (nickel, ou cuivre).: 11 - Method according to one of claims 1 to 10, characterized in that the operating conditions set of these steps are at least one of the following taken some together in combination, or separately, - the nature of the activation plasma the production of one or more activation cycles before grafting, the waiting time after activation and before grafting, the duration of metallization, the stirring rate of the metallization bath, the temperature of the metallization bath, - the nature of the metal of the metallization (nickel, or copper) .: 12 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que la durée d'action du plasma est inférieure ou égale à 15 secondes. 12 - Method according to one of claims 1 to 11, characterized in that the duration of action of the plasma is less than or equal to 15 seconds. 13 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que le bain de métallisation est un bain de cuivre. 13 - Method according to one of claims 1 to 12, characterized in that the metallization bath is a copper bath.
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