FR2799051A1 - COMPONENT WITH OPTICAL RECOGNITION MARKING - Google Patents

COMPONENT WITH OPTICAL RECOGNITION MARKING Download PDF

Info

Publication number
FR2799051A1
FR2799051A1 FR0010742A FR0010742A FR2799051A1 FR 2799051 A1 FR2799051 A1 FR 2799051A1 FR 0010742 A FR0010742 A FR 0010742A FR 0010742 A FR0010742 A FR 0010742A FR 2799051 A1 FR2799051 A1 FR 2799051A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
component
marker
cavity
edge
image processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
FR0010742A
Other languages
French (fr)
Inventor
Hans Hecht
Gerhard Hueftle
Rainer Schard
Uwe Konzelmann
Andreas Stark
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of FR2799051A1 publication Critical patent/FR2799051A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845Micromachined devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54453Marks applied to semiconductor devices or parts for use prior to dicing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Guiding Agricultural Machines (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

Composant (2) ayant un marqueur (1) reconnaissable par un système de traitement d'image optique pour définir une position de montage d'un composant à l'aide du marqueur. L'usinage défini des arêtes (3) ou mise en forme d'au moins un marqueur (1) permet un marqueur de qualité indépendante de la technique de fabrication, de celle de l'éclairage et de la qualité de la matière et permet ainsi de réaliser un marqueur stable à long terme pour que le système de traitement optique d'image ne nécessite pas d'adaptation à des conditions modifiées et pour que le contraste du marqueur (1) par rapport à la zone environnante soit bon, pour que les arêtes (3) et ainsi la position de montage du composant puissent être définies et reproductibles de manière très précise sur le composant.Component (2) having a marker (1) recognizable by an optical image processing system for defining a mounting position of a component using the marker. The defined machining of the edges (3) or shaping of at least one marker (1) allows a quality marker independent of the manufacturing technique, that of lighting and the quality of the material and thus allows to produce a long-term stable marker so that the optical image processing system does not require adaptation to modified conditions and so that the contrast of the marker (1) with respect to the surrounding area is good, so that the edges (3) and thus the mounting position of the component can be defined and reproduced very precisely on the component.

Description

Etat de la technique La présente invention concerne un composant ayantSTATE OF THE ART The present invention relates to a component having

au moins un marqueur reconnaissable par un système de traite-  at least one marker recognizable by a milking system

ment optique d'image.optical image.

L'invention concerne également un procédé de re- connaissance d'au moins un marqueur d'un composant ayant au moins un marqueur reconnaissable par le système de traitement d'image optique, et un procédé pour déterminer une position  The invention also relates to a method for recognizing at least one marker of a component having at least one marker recognizable by the optical image processing system, and to a method for determining a position.

de montage d'au moins un composant dans un système de traite-  for mounting at least one component in a milking system

ment d'image optique avec un composant ou au moins un.  optical image ment with a component or at least one.

Dans le cas des montages très précis de puces électroniques ou de composants dans ou sur des circuits, on utilise des systèmes de traitement d'image appliquant une technique d'éclairage optique, une caméra d'observation et un calculateur d'exploitation pour déterminer une position de montage permettant de commander un système de positionnement avec le composant que l'on veut monter. La reconnaissance d'une position de montage utilise l'arrondi en général non voulu mais lié à la fabrication des arêtes dans la zone de la  In the case of very precise assemblies of electronic chips or of components in or on circuits, image processing systems using an optical lighting technique, an observation camera and an operating computer are used to determine a mounting position for controlling a positioning system with the component to be mounted. Recognition of a mounting position uses rounding, which is generally unwanted but linked to the production of edges in the area of the

position de montage de la puce électronique. Ces zones arron-  mounting position of the electronic chip. These rounded areas

dies apparaissent par un éclairage de champ clair, sous la  dies appear in bright field lighting, under the

forme d'une lumière réfléchie coaxiale d'une source lumi-  form of coaxial reflected light from a light source

neuse, comme sombre dans la caméra d'observation et consti-  as dark in the observation camera and consti-

tuent ainsi un contraste exploitable par rapport aux zones  thus kill an exploitable contrast with respect to the zones

planes qui apparaissent claires.planes that appear clear.

Les inconvénients sont liés au fait que les ar-  The disadvantages are related to the fact that the ar-

rondis sont très peu prononcés, ce qui ne donne pas de con-  rounds are very little pronounced, which does not give cons

traste suffisant entre un arrondi et la zone de l'envi-  sufficient traste between a rounding and the surrounding area

ronnement de l'arrondi. Cela ne permet pas de détecter de ma-  rounding. This does not detect my-

nière précise la position de l'arête ou même de ne pas la dé-  niere specifies the position of the edge or even not to de-

tecter du tout; de plus, les arrondis peuvent varier du fait  tect at all; in addition, rounding may vary due to

des fabrications, de sorte que le contraste varie et le com-  fabrications, so that the contrast varies and the

posant risque d'être positionné dans des emplacements diffé-  poses the risk of being positioned in different locations

rents. Les arrondis provoqués par exemple par des retraits de  rents. Rounding caused for example by withdrawals from

matrice sont dépendants de l'affûtage des outils de fabrica-  are dependent on the sharpening of the manufacturing tools

tion et changent au cours du temps. Il serait possible d'adapter le système de traitement d'image à la variation  tion and change over time. It would be possible to adapt the image processing system to the variation

continue de l'arrondi. Mais, si l'on utilise plusieurs systè-  continues rounding. But if you use multiple systems,

mes de fabrication, on rencontre des difficultés, car les ar-  manufacturing, we encounter difficulties, because the ar-

rondis des composants fabriqués en même temps dans différents systèmes de fabrication sont différents et c'est pourquoi il serait difficile d'adapter de manière appropriée le système5 de traitement d'image. Avantages de l'invention La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et concerne à cet effet un composant du  The components produced at the same time in different manufacturing systems are different and therefore it would be difficult to adapt the image processing system 5 appropriately. Advantages of the invention The object of the present invention is to remedy these drawbacks and to this end relates to a component of the

type défini ci-dessus caractérisé en ce qu'au moins un mar-  type defined above characterized in that at least one

queur présente au moins une arête qui est inclinée, arrondie  has at least one edge which is inclined, rounded

ou aplatie.or flattened.

L'invention concerne également un procédé du type  The invention also relates to a method of the type

défini ci-dessus, caractérisé en ce que le système de traite-  defined above, characterized in that the processing system

ment d'image comprend une source d'éclairage optique, une ca-  Image ment includes an optical light source, a camera

méra d'observation et un calculateur d'exploitation et pour reconnaître au moins un marqueur, on utilise un éclairage de champ clair ou un éclairage de champ sombre avec éclairage  observation camera and an operating computer and to recognize at least one marker, bright field lighting or dark field lighting with lighting is used

incident coaxial.coaxial incident.

Suivant une autre caractéristique avantageuse de l'invention on réalise d'abord par une détermination relative de position, au moins un marqueur sur le composant à l'aide du système de traitement d'image pour définir une position de montage du composant, puis on transmet la position de montage au système de positionnement et enfin au moins la pièce est placée par le système de positionnement dans une position de  According to another advantageous characteristic of the invention, at least one marker on the component is first produced by a relative position determination using the image processing system to define a mounting position for the component, then transmits the mounting position to the positioning system and finally at least the part is placed by the positioning system in a position of

montage définie sur le composant.mounting defined on the component.

Le composant selon l'invention ou le procédé ont l'avantage par rapport à l'état de l'art, d'être indépendants de la technique de fabrication, de la technique d'éclairage ou de la qualité de la matière et de constituer ainsi des marqueurs ou repères beaucoup plus stables à long terme, de sorte que le système de traitement d'image n'a pas à être adapté à des conditions variables mais correspond à une forme définie des arêtes ou de la mise en forme. Le contraste du marqueur par rapport à sa zone d'environnement est tellement bon que les arêtes et ainsi la position de montage d'une pièce dans ou sur le composant se définissent de manière plus précise et sont plus reproductibles. Cela réduit le temps de fabrication en évitant des adaptations longues du système de traitement d'image. Le positionnement plus précis améliore entre autres le fonctionnement de la puce électronique par exemple le comportement reproductible vis-à-vis du courant d'attaque d'une puce de capteur dans un support de capteur d'un dispositif de débitmètre massique d'air. Le coût de la  The component according to the invention or the method has the advantage compared to the state of the art, of being independent of the manufacturing technique, of the lighting technique or of the quality of the material and of constituting thus much more stable markers or markers in the long term, so that the image processing system does not have to be adapted to variable conditions but corresponds to a defined shape of the edges or of the shaping. The contrast of the marker with respect to its surrounding area is so good that the edges and thus the mounting position of a part in or on the component are defined more precisely and are more reproducible. This reduces manufacturing time by avoiding long adaptations of the image processing system. The more precise positioning improves inter alia the functioning of the electronic chip for example the reproducible behavior with respect to the driving current of a sensor chip in a sensor support of a mass air flow meter device. The cost of

fabrication est également diminué grâce à une meilleure qua-  production is also reduced thanks to better quality

lité. Selon un avantage particulièrement intéressant, une modification géométrique simple ou la forme du composant  lity. According to a particularly advantageous advantage, a simple geometric modification or the shape of the component

sans influencer la fonction donne le résultat souhaité.  without influencing the function gives the desired result.

Suivant d'autres caractéristiques avantageuses de l'invention: une surface inclinée, un arrondi ou une surface à plat d'au moins un marqueur est accentué pour donner un bon contraste dans le système de traitement d'image, au moins un marqueur se trouve en dehors ou dans la zone d'une position de montage d'au moins un composant à monter en position de montage sur le composant, on saisit une position relative  According to other advantageous features of the invention: an inclined, rounded or flat surface of at least one marker is accentuated to give good contrast in the image processing system, at least one marker is found outside or in the area of a mounting position of at least one component to be mounted in the mounting position on the component, a relative position is entered

d'au moins une arête sur le composant par le système de trai-  at least one edge on the component by the processing system

tement d'image pour qu'à partir de la position d'au moins une arête existante, on puisse définir la position de montage d'au moins un composant à monter, au moins un marqueur est réalisé par une cavité ou un bossage sur l'élément avec une arête, au moins un marqueur présente une surface de section ronde et/ou polygonale au niveau d'une surface supérieure du composant, le composant est un support de capteur avec une cuvette à capteur en forme de cavité pour recevoir pour un élément de mesure d'un dispositif de mesure massique d'air,  image so that from the position of at least one existing edge, we can define the mounting position of at least one component to be mounted, at least one marker is produced by a cavity or a boss on the element with an edge, at least one marker has a round and / or polygonal cross-sectional surface at an upper surface of the component, the component is a sensor support with a sensor bowl in the form of a cavity for receiving for a measuring element of a mass air measuring device,

en particulier la masse de l'air aspiré du moteur à combus-  in particular the mass of air drawn in from the combustion engine

tion interne, au moins un marqueur est formé par une arête à congé ou une cavité le long des arêtes dans la cavité, le composant est en métal, en semi-conducteur, en céramique ou  internal tion, at least one marker is formed by a fillet edge or a cavity along the edges in the cavity, the component is made of metal, semiconductor, ceramic or

en matière plastique.made of plastic.

L'application du ou des marqueurs pendant le pro-  The application of the marker (s) during the pro-

cédé de fabrication du composant et une saisie complète du contour de la cavité ou du bossage sont particulièrement avantageuses.  yielded from manufacturing the component and a complete grasp of the outline of the cavity or the boss are particularly advantageous.

De plus, il est avantageux d'installer le mar-  In addition, it is advantageous to install the

queur dans la zone de la position de montage.  in the mounting position area.

Dessins: La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide de différents exemples de  Drawings: The present invention will be described below in more detail with the aid of various examples of

réalisation représentés de manière simplifiée dans les des-  realization represented in a simplified way in the

sins annexés dans lesquels: - les figures la-lg montrent une vue de dessus et une vue en coupe de différents modes de réalisation de marqueurs pour un composant, - les figures 2a-2f montrent différentes vues d'une cavité  attached sins in which: - Figures la-lg show a top view and a sectional view of different embodiments of markers for a component, - Figures 2a-2f show different views of a cavity

sans marqueur et deux possibilités de marqueur sur un com-  without marker and two possibilities of marker on a com-

posant, - la figure 3 montre un exemple d'un support de capteur d'un dispositif de débit massique d'air,  posing, - Figure 3 shows an example of a sensor support for a mass air flow device,

- la figure 4 est une coupe selon la ligne IV-IV de la fi-  - Figure 4 is a section along line IV-IV of the figure

gure 3, - la figure 5 montre deux marqueurs sur un composant à l'extérieur d'une cavité, - la figure 6 montre l'image originale d'une caméra d'observation, - la figure 7 est une vue schématique de l'éclairage de champ clair et d'un champ sombre, - la figure 8 montre l'effet de l'éclairage de champ clair  gure 3, - figure 5 shows two markers on a component outside a cavity, - figure 6 shows the original image of an observation camera, - figure 7 is a schematic view of the bright field and dark field lighting, - figure 8 shows the effect of bright field lighting

sur un marqueur.on a marker.

Description des exemples de réalisation  Description of the exemplary embodiments

Les figures la-lg sont des vues de dessus et des vues de côté d'un composant 2 avec des exemples de marqueurs (repères). La figure la est une vue de dessus du composant 2 avec un marqueur 1 ayant au moins une arête 3. Le marqueur 1 a par exemple une section carrée à la hauteur de la surface supérieure 12 du composant 2. La surface de la section en hauteur de la surface supérieure 2 peut par exemple également  Figures la-lg are top views and side views of component 2 with examples of markers (marks). Figure la is a top view of the component 2 with a marker 1 having at least one edge 3. The marker 1 has for example a square section at the height of the upper surface 12 of the component 2. The surface of the section in height of the upper surface 2 can for example also

être triangulaire, rectangulaire ou polygonale.  be triangular, rectangular or polygonal.

Les figures lb et lc montrent à titre d'exemple deux réalisations différentes du marqueur 1 en coupe selon la ligne A-A de la figure la. Le marqueur 1 est par exemple constitué par un bossage triangulaire 6 sur le composant 2 (figure lb) ou par une cavité triangulaire 7 (figure lc) dans le composant 2. Le bossage 6 ou la cavité 7 présente au moins une surface inclinée 8. Peu importe le côté duquel est prévue la surface inclinée 8. L'alignement différent de la surface  Figures lb and lc show by way of example two different embodiments of the marker 1 in section along the line A-A of Figure la. The marker 1 is for example constituted by a triangular boss 6 on the component 2 (FIG. 1b) or by a triangular cavity 7 (FIG. 1c) in the component 2. The boss 6 or the cavity 7 has at least one inclined surface 8. It does not matter which side the inclined surface is provided for. 8. Different alignment of the surface

inclinée 8 est également représenté aux figures lb, lc.  inclined 8 is also shown in Figures lb, lc.

L'arête 3 des figures lb, lc est par exemple perpendiculaire à la surface 12. Le bossage 6 peut également être par exemple conique. Un autre exemple de forme de marqueur 1 du composant  The edge 3 of Figures lb, lc is for example perpendicular to the surface 12. The boss 6 can also be for example conical. Another example of component marker 1 shape

2 est donné par la figure ld.2 is given by FIG. Ld.

La figure ld est une vue de dessus du composant 2 avec un marqueur 1 ayant au moins une arête 3. Le marqueur 1 a par exemple une surface de section semi-circulaire à la hauteur de la surface 12 du composant 2. La surface de la section à la hauteur de la surface supérieure 12 peut par exemple être également en forme de demi-ellipse. Le marqueur  FIG. 1d is a top view of the component 2 with a marker 1 having at least one edge 3. The marker 1 has for example a surface of semicircular section at the height of the surface 12 of the component 2. The surface of the section at the height of the upper surface 12 may for example also be in the form of a half-ellipse. The marker

1 est réalisé à titre d'exemple comme bossage 6 comme le mon-  1 is made by way of example as a boss 6 as the

tre la vue en coupe selon la ligne B-B de la figure ld donnée à la figure le. Le marqueur peut également être réalisé sous la forme d'une cavité 7. Le marqueur est constitué alors par un bossage 13. La courbure du bossage 13 peut être convexe ou  be the sectional view along line B-B of FIG. 1d given in FIG. The marker can also be produced in the form of a cavity 7. The marker then consists of a boss 13. The curvature of the boss 13 can be convex or

concave. L'arête 3 de la figure le est par exemple perpendi-  concave. The edge 3 of figure le is for example perpendicular

culaire à la surface 12.ring on the surface 12.

La figure if montre un autre exemple de forme de  Figure if shows another example of a form of

marqueur 1 pour le composant 2.marker 1 for component 2.

La figure if est une vue de dessus du composant 2 avec le marqueur. Le marqueur 1 a par exemple une surface de section ronde à la hauteur de la surface supérieure 12. La surface de la section au i'veau de la surface supérieure 12  Figure if is a top view of component 2 with the marker. The marker 1 has for example a round cross-sectional area at the height of the upper surface 12. The cross-sectional area of the upper surface 12

peut également être de formite par exemple elliptique. Le mar-  can also be of form, for example elliptical. On Tue-

queur 1 est par exemple réalisé comme une cavité 7 de section tronconique comme le montre la figure lg par une coupe le  queur 1 is for example made as a cavity 7 of frustoconical section as shown in Figure lg by a cut the

long de la ligne C-C à la figure lf.  along line C-C in Figure lf.

La cavité 7 peut également avoir une section se-  The cavity 7 can also have a cross section

mi-circulaire ou semi-elliptique.semi-circular or semi-elliptical.

La figure 2 montre à titre d'exemple comment une  Figure 2 shows as an example how a

cavité rectangulaire 15 peut recevoir des marqueurs 1. La fi-  rectangular cavity 15 can receive markers 1. The fi

gure 2a est une vue de dessus d'un composant 2 ayant une ca-  gure 2a is a top view of a component 2 having a

vité 15 de forme rectangulaire au niveau de la surface supé-  vity 15 of rectangular shape at the level of the upper surface

rieure 12. La cavité a un fond rectangulaire 16 et limitée par des arêtes 3. La cavité 15 et le fond 16 peuvent égale- ment avoir une autre géométrie polygonale et/ou ronde.5 La figure 2b montre une coupe suivant la ligne a-  lower 12. The cavity has a rectangular bottom 16 and bounded by edges 3. The cavity 15 and the bottom 16 can also have another polygonal and / or round geometry.5 FIG. 2b shows a section along line a-

a de la figure 2a sans marqueur 1 réalisée directement.  a of Figure 2a without marker 1 made directly.

L'arête 3 est perpendiculaire à la surface 12 et/ou le fond 16. A la figure 2c, le composant 2 est réalisé pour former un marqueur 1 résultant de la finition de l'arête 3 sur ou dans  The edge 3 is perpendicular to the surface 12 and / or the bottom 16. In FIG. 2c, the component 2 is produced to form a marker 1 resulting from the finishing of the edge 3 on or in

la cavité du composant 2 selon la figure 2a ou encore fabri-  the cavity of component 2 according to FIG. 2a or also manufacture

qué directement.that directly.

Des développements possibles de ce marqueur 1 sont donnés aux figures 2d, 2e représentant une coupe selon  Possible developments of this marker 1 are given in FIGS. 2d, 2e representing a section along

la ligne b-b de la figure 2c.line b-b in Figure 2c.

La figure 2d montre une arête 3 inclinée comme celle de la figure 2b à la hauteur de la surface supérieure 12 au moyen de la surface inclinée 8 par rapport à la cavité pour que la section de la cavité 15 soit plus grande au niveau de la surface supérieure 12 qu'au niveau du fond 16. A  Figure 2d shows an inclined edge 3 like that of Figure 2b at the height of the upper surface 12 by means of the inclined surface 8 relative to the cavity so that the section of the cavity 15 is larger at the surface higher than at bottom level 16. A

la place de la surface inclinée 8, on pourrait également pré-  instead of the inclined surface 8, one could also pre-

voir n'importe quel arrondi 13. La surface inclinée 8 ou l'arrondi 13 peuvent aller du niveau de la surface supérieure 12 jusqu'au niveau du fond 16. Mais cela n'est pas nécessaire  see any rounding 13. The inclined surface 8 or the rounding 13 can go from the level of the upper surface 12 to the level of the bottom 16. But this is not necessary

comme le montre également la figure 2d.  as also shown in Figure 2d.

Le marqueur 1 peut également être réalisé pour former une cavité 7 dans le fond 16 de la cavité 15 comme le montre la figure 2e. Par comparaison avec la figure lc ou la figure lg, le fond 16 constitue la surface supérieure 12 à partir de laquelle on réalise une cavité 7. A la place de la cavité 7, on peut également réaliser un bossage 6 au niveau  The marker 1 can also be produced to form a cavity 7 in the bottom 16 of the cavity 15 as shown in FIG. 2e. By comparison with FIG. 1c or FIG. 1g, the bottom 16 constitutes the upper surface 12 from which a cavity is made 7. In place of the cavity 7, it is also possible to make a boss 6 at the level

de l'arête 3 (figure 2b). La cavité 7 ou un bossage 6 éven-  of edge 3 (Figure 2b). The cavity 7 or a boss 6 eventually

tuellement existant peuvent être réalisés comme cela a déjà été décrit à la figure 1. En particulier, l'alignement de la  can be realized as already described in Figure 1. In particular, the alignment of the

surface inclinée 8 de la cavité 7 ne joue aucun rôle.  inclined surface 8 of the cavity 7 plays no role.

La surface inclinée 8 des arêtes inclinées 3 (fi-  The inclined surface 8 of the inclined edges 3 (fi-

gure 2b) de la cavité rectangulaire 15 de la figure 2d défi-  gure 2b) of the rectangular cavity 15 of FIG. 2d defi-

nit la position et la taille de la cavité, ce qui permet de déterminer une position de montage pour une puce électronique ou un composant. Pour déterminer la position de montage, il n'est pas nécessaire de saisir l'ensemble du contour du fond 16 de la cavité 15 ou la section de la cavité 15 au niveau de  nit the position and size of the cavity, which allows to determine a mounting position for a microchip or a component. To determine the mounting position, it is not necessary to grasp the entire contour of the bottom 16 of the cavity 15 or the section of the cavity 15 at

la surface supérieure 12. Il suffit de déterminer une posi-  the upper surface 12. It suffices to determine a posi-

tion de deux marqueurs non opposés. Il s'agit par exemple des marqueurs 17, 18 représentés à la figure 2f. Les marqueurs  tion of two non-opposing markers. These are, for example, markers 17, 18 shown in FIG. 2f. Markers

17, 18 forment une partie du marqueur 1 des figures 2d, 2e.  17, 18 form part of the marker 1 of FIGS. 2d, 2e.

Le marqueur 1 de la figure 2c est indiqué en traits interrom-  Marker 1 in Figure 2c is shown in broken lines.

pus. La réalisation des marqueurs 17, 18 dépend des modes de  pus. The production of markers 17, 18 depends on the modes of

réalisation des figures 1, 2d, 2e.realization of Figures 1, 2d, 2e.

Les marqueurs 17, 18 ne se touchent pas nécessai-  Markers 17, 18 do not touch each other

rement, car le point d'intersection de ces deux arêtes peut  because the point of intersection of these two edges can

se calculer, si la forme de la cavité 15 (par exemple un rec-  be calculated, if the shape of the cavity 15 (for example a rec-

tangle) est connue. Comme la taille de la cavité connue, on peut également calculer d'autres sommets de la cavité 15, ce qui permet de positionner de manière précise le composant  tangle) is known. Like the size of the known cavity, it is also possible to calculate other vertices of the cavity 15, which makes it possible to precisely position the component.

dans la cavité 15.in the cavity 15.

Pour chaque autre forme géométrique et dimension  For each other geometric shape and dimension

ou position de montage d'une puce électronique ou autres com-  or mounting position of an electronic chip or other com-

posants dans une cavité 15 qui existent par exemple et qui  posants in a cavity 15 which exist for example and which

sont connus du système de traitement d'image, il faut déter-  are known to the image processing system,

miner au préalable le nombre et la nature des marqueurs 1 qui sont nécessaires pour définir la position et la taille de la  Minimize beforehand the number and the nature of markers 1 which are necessary to define the position and the size of the

cavité 15.cavity 15.

Au moins un marqueur 1 peut être réalisé par une cavité supplémentaire 7 ou un bossage 6 ou comme congé d'au moins une arête 3 du composant 2 pendant une fabrication d'un  At least one marker 1 can be produced by an additional cavity 7 or a boss 6 or as a leave of at least one edge 3 of the component 2 during the manufacture of a

composant 2 ou au moins pendant une étape supplémentaire.  component 2 or at least during an additional step.

La figure 3 montre un support de capteur 20 comme  Figure 3 shows a sensor holder 20 as

exemple d'un composant qui fait partie d'un dispositif pour mesurer la masse d'un fluide notamment la masse de l'air as-  example of a component which is part of a device for measuring the mass of a fluid, in particular the mass of air as-

piré par un moteur à combustion interne. La construction du support de capteur 20 et du dispositif de mesure massique de l'air est décrite dans les documents DE 44 26 102 C2 ou35 US 5 693 879.  hacked by an internal combustion engine. The construction of the sensor support 20 and of the air mass measurement device is described in documents DE 44 26 102 C2 or 35 US 5 693 879.

Le support de capteur 20 comporte un élément de tôle 22 relié à un support de base 21; cet élément de tôle est muni d'un entourage de matière plastique 23. Le support de capteur 20 a une arête amont 24. Le support de capteur 20 est muni d'une cavité 27 avec un fond 28. Le fond 28 de la cavité est divisé par un canal 35 en une surface d'appui 36 et une surface de base de capteur 28. La surface d'appui 36 possède quatre arêtes 42a-d; une arête 42d constitue une  The sensor support 20 comprises a sheet metal element 22 connected to a base support 21; this sheet metal element is provided with a plastic surround 23. The sensor support 20 has an upstream edge 24. The sensor support 20 is provided with a cavity 27 with a bottom 28. The bottom 28 of the cavity is divided by a channel 35 into a bearing surface 36 and a sensor base surface 28. The bearing surface 36 has four edges 42a-d; an edge 42d constitutes a

arête pour le canal 35. De même la surface 38 du fond du cap-  ridge for channel 35. Similarly, the surface 38 of the bottom of the cap-

teur possède quatre arêtes 43a-d; une arête 43b constitue une arête pour le canal 35. Dans la cavité 27 du capteur, on a monté un composant ou un élément de mesure 46 représenté ici en traits interrompus; ce composant est balayé par le  tor has four edges 43a-d; an edge 43b constitutes an edge for the channel 35. In the cavity 27 of the sensor, there has been mounted a component or a measuring element 46 shown here in broken lines; this component is swept away by the

fluide. La procédure au montage sera décrite ultérieurement.  fluid. The assembly procedure will be described later.

La cavité 27 du capteur est munie de deux découpes 47, 47' parallèles au bord d'attaque amont 24 et formant les arêtes de la cavité 27 du capteur. Les découpes 47, 47' ont une rampe 8 qui existe déjà et ne sera plus considérée dans cette  The cavity 27 of the sensor is provided with two cutouts 47, 47 ′ parallel to the upstream leading edge 24 and forming the edges of the cavity 27 of the sensor. The cuts 47, 47 ′ have a ramp 8 which already exists and will no longer be considered in this

construction comme le marqueur 1.construction as marker 1.

Au niveau des arêtes 42a-c, 43a, c, d de la sur-  At the edges 42a-c, 43a, c, d of the sur-

face d'appui 36 et de la surface de base du capteur 38, en commençant par exemple creuser comme cela est représenté à la  bearing face 36 and the base surface of the sensor 38, starting for example to dig as shown in the

figure 2e, on réalise une rampe 8 qui constitue alors un mar-  FIG. 2e, a ramp 8 is produced which then constitutes a step

queur 1.queur 1.

Le marqueur 1 peut être constitué par une surface inclinée de l'arrête 42d, 43b du canal 35 au niveau du fond  Marker 1 may consist of an inclined surface of the stop 42d, 43b of channel 35 at the bottom

27 de la cavité du capteur ou au niveau du fond du canal 35.  27 of the sensor cavity or at the bottom of the channel 35.

On peut par exemple utiliser la rampe existant 8 des cavités  We can for example use the existing ramp 8 of the cavities

47, 47' comme marqueur 1.47, 47 'as marker 1.

La figure 4 est une coupe selon la ligne IV-IV de la figure 3. Elle montre l'élément de tôle 22 entouré par l'élément en matière plastique 23. Le marqueur 1 est par exemple prévu dans une cavité 7 sous la forme d'une rampe 8 dans la surface du fond du capteur 38. Ce marqueur 1 peut  Figure 4 is a section along the line IV-IV of Figure 3. It shows the sheet metal element 22 surrounded by the plastic element 23. The marker 1 is for example provided in a cavity 7 in the form of 'A ramp 8 in the bottom surface of the sensor 38. This marker 1 can

être réalisé comme cela a été décrit dans la partie de des-  be carried out as described in the part of

cription à la figure 2e. Les marqueurs 1 sont réalisés direc-  see Figure 2e. Markers 1 are made directly

tement par un outil de mise en forme approprié pendant la mise en forme de l'élément en matière plastique 23 du support de capteur 20. Le montage de l'élément de mesure 46 dans la  tement by a suitable shaping tool during the shaping of the plastic element 23 of the sensor support 20. The mounting of the measuring element 46 in the

cavité du capteur est de ce fait plus précis.  the sensor cavity is therefore more precise.

La figure 5 montre un composant 2 avec une cavité  Figure 5 shows component 2 with a cavity

rectangulaire 15 dans laquelle on veut placer une puce élec-  rectangular 15 in which we want to place an electronic chip

tronique ou un composant représenté ici comme élément de me-  or a component represented here as a metering element

sure 46 qui doit être positionné au milieu de manière très précise. Sur le composant 2, en dehors de la position de mon- tage de l'élément de mesure 46 et de la cavité 15, il y a  sure 46 which must be positioned in the middle very precisely. On component 2, apart from the mounting position of the measuring element 46 and the cavity 15, there are

deux marqueurs 1, 1' (voir figures la-lg). Le nombre de mar-  two markers 1, 1 '(see figures la-lg). The number of mar-

queurs 1, 1' entre eux ne correspondent pas nécessairement à la longueur d'une arête 51 ou à celle de l'arête de la cavité 15 à l'opposé de l'arête 51. La liaison directe des marqueurs 1, 1' forme une droite virtuelle 52. La droite virtuelle 52 est à une distance prédéterminée 56 de l'arête 51 ou de l'arête opposée à l'arête 51 dans la cavité 15, car l'arête 51 ou l'arête opposée et la ligne 52 sont parallèles. Mais il n'est pas nécessaire que la ligne 52 et que l'arête 51 ou l'arête opposée soient parallèles. Il suffit seulement d'une  queurs 1, 1 'between them do not necessarily correspond to the length of an edge 51 or that of the edge of the cavity 15 opposite the edge 51. The direct connection of the markers 1, 1' form a virtual straight line 52. The virtual straight line 52 is at a predetermined distance 56 from the edge 51 or from the edge opposite to the edge 51 in the cavity 15, because the edge 51 or the opposite edge and the line 52 are parallel. But it is not necessary that the line 52 and that the edge 51 or the opposite edge are parallel. It only takes one

position de la ligne 52 et de l'arête 51 ou de l'arête oppo-  position of line 52 and edge 51 or oppo-

sée, qui soit connue. Il existe un système de coordonnées 57 ayant un point nul, déterminé par rapport au composant 2. Si l'on connaît la distance des marqueurs 1, 1' l'un par rapport à l'autre, la position des marqueurs 1, 1' dans le système de coordonnées 57, la distance 56 ou la position de la ligne 52  known. There exists a coordinate system 57 having a zero point, determined with respect to component 2. If we know the distance of the markers 1, 1 'relative to each other, the position of the markers 1, 1' in the coordinate system 57, the distance 56 or the position of the line 52

et de l'arête 51 ou de l'arête opposée, ainsi qu'une géomé-  and edge 51 or the opposite edge, as well as a geometry-

trie de la cavité 15, on peut monter l'élément de mesure 46  sort of cavity 15, you can mount the measuring element 46

et procéder à son installation.and proceed with its installation.

Il est ainsi possible de réaliser des marqueurs 1, 1' sur un composant 2 et qui ne se trouvent pas à  It is thus possible to produce markers 1, 1 ′ on a component 2 and which are not located

l'extérieur de la position de montage. Comme certaines infor-  outside the mounting position. As some inform

mations d'une cavité telles que la forme (par exemple rectan-  mations of a cavity such as the shape (for example rectan-

gulaire) et les dimensions sont connues, par un choix  gular) and the dimensions are known, by a choice

approprié d'au moins un marqueur 1 sur le fond 2 et de la po-  appropriate at least one marker 1 on the bottom 2 and the po-

sition relative du marqueur par rapport à la cavité 15, on peut définir la position de montage. Mais il est également  relative position of the marker with respect to the cavity 15, the mounting position can be defined. But it is also

nécessaire que le composant à monter soit placé dans une ca-  the component to be mounted must be placed in a box

vité 15 ou sur un bossage. La position de montage peut n'être  vity 15 or on a boss. The mounting position may not be

qu'une partie d'une surface plane du composant 2.  only part of a flat surface of component 2.

La figure 6 représente l'image d'une caméra d'un système de prise de vues. Cette image de caméra est traitée par un calculateur d'exploitation 81 (figure 7), puis selon  FIG. 6 represents the image of a camera of a shooting system. This camera image is processed by an operating computer 81 (FIG. 7), then according to

un algorithme déterminé pour former une image à l'échelle.  a determined algorithm to form a scale image.

Les arêtes arrondies forment un passage optimum dans la sai-  The rounded edges form an optimum passage in the

sie d'image donnant un contraste idéal. C'est ainsi que l'on peut définir de manière précise un cintrage 63 et une arête 64. Le cintrage 63 et l'arête 64 sont indiqués par un trait interrompu. Une surface du composant 2, lisse, brillante, fait qu'il n'y aura pas de perturbation dans l'image à l'échelle.  image image giving ideal contrast. This is how one can precisely define a bend 63 and an edge 64. The bend 63 and the edge 64 are indicated by a broken line. A smooth, shiny component 2 surface means that there will be no disturbance in the scale image.

La figure 7 montre schématiquement une installa-  Figure 7 schematically shows an installation

tion de mesure d'un éclairage par un champ clair. Le compo-  measurement of lighting by a bright field. The composition

sant 2 est éclairé par une source lumineuse 70 avec une lumière coaxiale 71. La caméra 72 reçoit l'image réfléchie 75 venant du composant 2. La caméra 72 et la source d'éclairage 70 font entre elles un angle ax. La lumière dispersée 76 par le composant 2 n'est pas reçue par la caméra 72. Les surfaces réfléchissantes apparaissent comme claires, car elles sont perçues par la caméra 72 alors que les surfaces de dispersion apparaissent comme sombres, puisque non reçues par la caméra 72. Le principe de l'éclairage par un champ sombre est analogue. La source d'éclairage 70 éclaire un composant 2 avec de la lumière coaxiale. La caméra 72 est représentée  sant 2 is illuminated by a light source 70 with coaxial light 71. The camera 72 receives the reflected image 75 coming from the component 2. The camera 72 and the light source 70 form an angle between them. The light scattered 76 by the component 2 is not received by the camera 72. The reflecting surfaces appear as clear, because they are perceived by the camera 72 while the scattering surfaces appear as dark, since they are not received by the camera 72 The principle of lighting by a dark field is similar. The light source 70 illuminates a component 2 with coaxial light. Camera 72 is shown

dans ce cas en position en traits interrompus, car cette po-  in this case in dashed line position, because this po-

sition est différente de celle du composant 2 et reçoit toute la lumière dispersée 76, de sorte que les surfaces dispersées  sition is different from that of component 2 and receives all the scattered light 76, so that the scattered surfaces

et les surfaces réfléchissantes apparaissent comme sombres.  and the reflective surfaces appear dark.

La caméra 72 est reliée à un calculateur d'exploitation 81  The camera 72 is connected to an operating computer 81

qui exploite les données de la caméra 72 et transmet les pa-  which uses the data from camera 72 and transmits the pa-

ramètres nécessaires à la détermination de la position de  rameters necessary for determining the position of

montage vers un système de positionnement 82.  mounting to a positioning system 82.

La figure 8 montre schématiquement le fonctionne-  Figure 8 schematically shows how

ment de l'éclairage par un champ clair sur une arête de forme  lighting by a bright field on a shape edge

idéale, verticale 3 (figure 8a) et sur une arête inclinée 3.  ideal, vertical 3 (figure 8a) and on an inclined edge 3.

L'angle x entre la source d'éclairage 70 et la caméra 72 est  The angle x between the light source 70 and the camera 72 is

égal à zéro ou voisin de zéro.equal to zero or close to zero.

L'arête 3 idéalement verticale selon la figure 8a  The ideally vertical edge 3 according to FIG. 8a

réfléchit chacun des quatre rayons 87 indiqués schématique-  reflects each of the four rays 87 indicated schematically-

ment, de sorte que l'image de la caméra selon la figure 8b,  so that the camera image according to figure 8b,

c'est-à-dire la vue de dessus donnée à la figure 8a repré-  that is to say the top view given in FIG. 8a represented

sente une surface blanche.feels a white surface.

A la figure 8c, l'arête 3 est par exemple incli-  In FIG. 8c, the edge 3 is for example inclined

née, si bien que deux des faisceaux 87 ne sont pas réfléchis  born, so two of the beams 87 are not reflected

vers la caméra 72. Cela est vrai pour tous les faisceaux ar-  to camera 72. This is true for all rear beams.

rivant au niveau du marqueur 1 dans sa surface inclinée 8.  running at the level of marker 1 in its inclined surface 8.

L'image de caméra (figure 8d) donne une bande de largeur 88 correspondant à la projection verticale du marqueur 1 à la  The camera image (FIG. 8d) gives a band of width 88 corresponding to the vertical projection of the marker 1 at the

figure 8c.figure 8c.

Le montage d'une puce électronique ou d'un compo-  The mounting of an electronic chip or a

sant dans un autre composant 2 se fera comme cela a déjà été  health in another component 2 will be done as has already been

indiqué à propos des figures 3 et 5.  shown in connection with Figures 3 and 5.

Après la saisie optique à la détermination de la position de montage de la puce électronique ou du composant par le calculateur d'exploitation 81, cette information est transmise au système de positionnement 82; pour positionner  After the optical capture when determining the mounting position of the electronic chip or of the component by the operating computer 81, this information is transmitted to the positioning system 82; to position

le composant tel que l'élément de mesure 46, le système ef-  the component such as the measuring element 46, the ef-

fectue à l'aide du système de pince 84 la prise et le dépla-  use the gripper system 84 to pick up and move

cement pour que le composant, après son déplacement dans un  cement so that the component, after moving in a

plan parallèle à la position de montage, puis par un déplace-  plane parallel to the mounting position, then by a

ment perpendiculaire au plan de montage, puisse être mis en  perpendicular to the assembly plane, can be set

position prédéfinie de montage. On peut avoir un montage en-  predefined mounting position. We can have an assembly in-

core plus précis si par l'installation de la source d'éclairage et de la caméra, on définit une nouvelle fois la position de montage après pondération du système de prise dans le plan et éventuelle correction erreur/tolérance du système de préhension par la système de positionnement 82 à  more precise if, by installing the light source and the camera, the mounting position is again defined after weighting the gripping system in the plane and possible error / tolerance correction of the gripping system by the system positioning 82 to

l'aide d'un mouvement de correction qui en assure la compen-  by means of a corrective movement which ensures its compensation

sation. Par un déplacement perpendiculaire à la position de montage, on peut alors placer le composant dans sa position  station. By moving perpendicular to the mounting position, the component can then be placed in its position

de montage.mounting.

Claims (6)

R E V E N D I C A T I ON S ) Composant ayant au moins un marqueur reconnaissable par un système de traitement optique d'image, caractérisé en ce qu' au moins un marqueur (1) présente au moins une arête (3) qui est inclinée (8), arrondie (13) ou aplatie.CLAIMS S) Component having at least one marker recognizable by an optical image processing system, characterized in that at least one marker (1) has at least one edge (3) which is inclined (8), rounded ( 13) or flattened. 2 ) Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' une surface inclinée (8), un arrondi (13) ou une surface à plat d'au moins un marqueur (1) est accentué pour donner un  2) Component according to claim 1, characterized in that an inclined surface (8), a rounded (13) or a flat surface of at least one marker (1) is accentuated to give a bon contraste dans le système de traitement d'image.  good contrast in the image processing system. 3 ) Composant selon la revendication 2, caractérisé en ce qu' au moins un marqueur (1) se trouve en dehors ou dans la zone d'une position de montage d'au moins un composant à monter en  3) Component according to claim 2, characterized in that at least one marker (1) is located outside or in the region of a mounting position of at least one component to be mounted in position de montage sur le composant (2).  mounting position on the component (2). 4 ) Composant selon la revendication 3, caractérisé en ce qu' on saisit une position relative d'au moins une arête (3) sur le composant (2) par le système de traitement d'image pour qu'à partir de la position d'au moins une arête existante (3), on puisse définir la position de montage d'au moins un  4) Component according to claim 3, characterized in that a relative position of at least one edge (3) on the component (2) is entered by the image processing system so that from the position d '' at least one existing edge (3), we can define the mounting position of at least one composant à monter.component to be assembled. ) Composant selon la revendication 4, caractérisé en ce qu' au moins un marqueur (1) est réalisé par une cavité (7) ou un   ) Component according to claim 4, characterized in that at least one marker (1) is produced by a cavity (7) or a bossage (6) sur l'élément (2) avec une arête (3).  boss (6) on the element (2) with an edge (3). 6 ) Composant selon la revendication 5, caractérisé en ce qu' au moins un marqueur (1) présente une surface de section ronde et/ou polygonale au niveau d'une surface supérieure  6) Component according to claim 5, characterized in that at least one marker (1) has a surface of round and / or polygonal cross section at an upper surface (12) du composant (2).(12) of component (2). 7 ) Composant selon l'une quelconque des revendications 1  7) Component according to any one of claims 1 à 6, caractérisé en ce queto 6, characterized in that le composant (2) est un support de capteur (20) avec une cu-  component (2) is a sensor support (20) with a cu- vette à capteur (27) en forme de cavité (15) pour recevoir un élément de mesure (46) d'un dispositif de mesure massique d'air, en particulier la masse de l'air aspiré du moteur à  sensor cell (27) in the form of a cavity (15) for receiving a measurement element (46) of a mass air measurement device, in particular the mass of the air drawn in from the combustion interne.internal combustion. 8 ) Composant selon la revendication 7, caractérisé en ce qu' au moins un marqueur (1) est formé par une arête à congé ou une cavité (7) le long des arêtes (42, 43) dans la cavité (27). 9 ) Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que  8) Component according to claim 7, characterized in that at least one marker (1) is formed by a fillet edge or a cavity (7) along the edges (42, 43) in the cavity (27). 9) Component according to claim 1, characterized in that le composant (2) est en métal, en semi-conducteur, en cérami-  component (2) is made of metal, semiconductor, ceramic que ou en matière plastique.than or plastic. ) Procédé de reconnaissance d'au moins un marqueur d'un composant ayant au moins un marqueur reconnaissable par le   ) Method for recognizing at least one marker of a component having at least one marker recognizable by the système de traitement d'image optique, selon la revendica-  optical image processing system, according to the claim tion 1, caractérisé en ce que le système de traitement d'image comprend une source d'éclairage optique (70), une caméra d'observation (72) et un calculateur d'exploitation (81) et pour reconnaître au moins un marqueur, on utilise un éclairage de champ clair ou un éclairage de champ sombre avec éclairage incident (71) coaxial. 11 ) Procédé pour déterminer une position de montage d'au  tion 1, characterized in that the image processing system comprises an optical lighting source (70), an observation camera (72) and an operating computer (81) and for recognizing at least one marker, using bright field lighting or dark field lighting with coaxial incident lighting (71). 11) Method for determining an installation position of at least moins un composant dans un système de traitement d'image op-  at least one component in an image processing system op- tique avec un composant ou au moins un composant et d'un mar-  tick with a component or at least one component and a mar- queur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'  queur according to claim 1, characterized in that on réalise d'abord par une détermination relative de posi-  we first realize by a relative determination of posi- tion, au moins un marqueur (1) sur le composant (2) à l'aide du système de traitement d'image pour définir une position de montage du composant (46), puis on transmet la position de montage au système de positionnement (82) et enfin au moins la pièce (46) est placée par le système de positionnement (82) dans une position de montage définie sur le composant (2)  tion, at least one marker (1) on the component (2) using the image processing system to define a mounting position of the component (46), then the mounting position is transmitted to the positioning system ( 82) and finally at least the part (46) is placed by the positioning system (82) in a mounting position defined on the component (2)
FR0010742A 1999-08-21 2000-08-21 COMPONENT WITH OPTICAL RECOGNITION MARKING Withdrawn FR2799051A1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19939825A DE19939825A1 (en) 1999-08-21 1999-08-21 Component with optically recognizable marker for precision installation and assembly of electronic chips or components, has at least one constant shape marker in the form of a pointed, rounded or flattened feature

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2799051A1 true FR2799051A1 (en) 2001-03-30

Family

ID=7919255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0010742A Withdrawn FR2799051A1 (en) 1999-08-21 2000-08-21 COMPONENT WITH OPTICAL RECOGNITION MARKING

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2001124520A (en)
DE (1) DE19939825A1 (en)
FR (1) FR2799051A1 (en)
IT (1) IT1318755B1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3538188B2 (en) * 2002-04-02 2004-06-14 三菱電機株式会社 Thermosensitive flow rate detecting element and method of manufacturing the same
DE102010042022B4 (en) 2010-10-06 2022-12-15 Robert Bosch Gmbh Method for manufacturing a sensor device and sensor device manufactured by such a method
JP2012084606A (en) * 2010-10-07 2012-04-26 Tokai Rika Co Ltd Component mounting member and component mounting method
NL2011575C2 (en) * 2013-10-08 2015-04-09 Besi Netherlands B V Method for positioning a carrier with electronic components and electronic component produced with such method.

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4090068A (en) * 1975-09-03 1978-05-16 Siemens Aktiengesellschaft Process for the automatic adjustment of semiconductor wafers
JPS62173750A (en) * 1986-01-28 1987-07-30 Fujitsu Ltd Semiconductor device
US4824254A (en) * 1983-05-20 1989-04-25 Oki Electric Industry Co., Ltd. Alignment marks on semiconductor wafers and method of manufacturing the marks
US5432608A (en) * 1988-03-07 1995-07-11 Hitachi, Ltd. Method of making semiconductor integrated circuit, pattern detecting method, and system for semiconductor alignment and reduced stepping exposure for use in same
US5861320A (en) * 1995-03-10 1999-01-19 Nikon Corporation Position detection mark and position detection method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07335721A (en) * 1994-06-13 1995-12-22 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device with alignment mark
JPH10284359A (en) * 1997-04-11 1998-10-23 Mitsubishi Electric Corp Device and method for recognizing wafer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4090068A (en) * 1975-09-03 1978-05-16 Siemens Aktiengesellschaft Process for the automatic adjustment of semiconductor wafers
US4824254A (en) * 1983-05-20 1989-04-25 Oki Electric Industry Co., Ltd. Alignment marks on semiconductor wafers and method of manufacturing the marks
JPS62173750A (en) * 1986-01-28 1987-07-30 Fujitsu Ltd Semiconductor device
US5432608A (en) * 1988-03-07 1995-07-11 Hitachi, Ltd. Method of making semiconductor integrated circuit, pattern detecting method, and system for semiconductor alignment and reduced stepping exposure for use in same
US5861320A (en) * 1995-03-10 1999-01-19 Nikon Corporation Position detection mark and position detection method

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 012, no. 013 (E - 573) 14 January 1988 (1988-01-14) *

Also Published As

Publication number Publication date
DE19939825A1 (en) 2001-03-01
JP2001124520A (en) 2001-05-11
ITMI20001870A1 (en) 2002-02-10
ITMI20001870A0 (en) 2000-08-10
IT1318755B1 (en) 2003-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1733181B1 (en) Mixed optical and mechanical sensor and associated resetting method
EP1936260B1 (en) Automobile headlight module for a cut-off beam
EP0279730B1 (en) Method and device for tridimensional measurement
BE1017316A7 (en) Method and apparatus for scanning gemstone, comprises platform adapted to support gemstone, scanning system adapted to provide geometrical information concerning three-dimensional convex envelope of gemstone
FR2826727A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR DETECTING THE HUMIDITY OF A ROAD ON WHICH A VEHICLE IS MOVING
EP4182126B1 (en) Method for automatic monitoring of a system for deburring parts
FR2799051A1 (en) COMPONENT WITH OPTICAL RECOGNITION MARKING
FR2992738A1 (en) METHOD FOR DEFINING AN ASPHERIC LENS AND LIGHTING MODULE COMPRISING SUCH A LENS FOR A MOTOR VEHICLE PROJECTOR
EP1987472B1 (en) Biodetector functioning without contact
EP2754950B1 (en) Lighting flare for a motor vehicle
FR3103253A1 (en) LIGHT MODULE COMBINES IMAGING THE LIGHTED SURFACE OF A COLLECTOR
EP1193468B1 (en) Procedure to optically determine a profile and its application to the interior contour of a spectacleframe
EP0933585B1 (en) Vehicle headlight comprising a transversal source and able to generate a sharp dark-light cut-off
FR2525138A1 (en) APPARATUS FOR MACHINING OPTICAL LENSES
EP0970391A1 (en) Optical device for the contactless measurement of distance of a light source
FR3116806A1 (en) FLYING DRONE FOR INSPECTION OF SURFACES AND METHOD FOR INSPECTION OF SURFACES BY MEANS OF SUCH FLYING DRONE
FR3020585A1 (en) HEAD FOR WELDING DEVICE
EP3470727B1 (en) Lighting module forming a light pattern divided into an upper portion with net vertical ledges and a lower portion with fuzzy vertical edges
FR2817618A1 (en) Method for depositing a string of glue on the surface of a component using camera and computer controlled elements and a computer learning process to ensure glue is optimally deposited in terms of dimension and position
EP0966633B1 (en) Elliptical headlight for motor vehicle
EP3454096B1 (en) Fresnel lens with variable draw angle
WO1998033088A1 (en) Method for marking an object made of translucent synthetic material, in particular an ophthalmic lens, marked object and corresponding reader
EP1763684B1 (en) Optical device for measuring displacement velocity of a first movable element with respect to a second element
EP2565522A1 (en) Headlight for automobile
EP0903599A2 (en) Optical fiber fixing member, optical fiber array, optical waveguide module and method of measuring dimensional accuracy of optical fiber fixing member

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse